TW201537282A - 資訊處理裝置、資訊處理方法及記錄媒體 - Google Patents

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Abstract

本發明的資訊處理裝置、資訊處理方法及記錄媒體，係可高精度取得顯示在電子束描繪裝置描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊，該資訊處理裝置包括：受理部，受理顯示圖案圖形的資訊的圖案資訊與利用拍攝電子束描繪裝置描繪的圖形的影像來取得的實際觀測輪廓線資訊；變換資訊取得部，取得將對圖案資訊顯示的圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上各校正輪廓點的捲積值與關於捲積值的臨界值之間的差的平方和進行最小化的資訊，即變換資訊；校正輪廓點取得部，利用變換資訊取得顯示與3個以上各實際觀測輪廓點對應之3個以上校正輪廓點的資訊的校正輪廓點資訊；及輸出部，輸出校正輪廓點資訊。利用該資訊處理裝置能夠高精度取得顯示在電子束描繪裝置描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊。

Description

資訊處理裝置、資訊處理方法及記錄媒體
本發明係有關於輸出顯示在電子束描繪裝置所描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊的資訊處理裝置等。
在製作光罩的工藝中，有稱作MPC(光罩製程校正Mask Process Correction)步驟(參照非專利文獻1)。此外，作為該步驟的方法，有稱作形狀輪廓校正(Contour Based Calibration)的方法(參照專利文獻1)。
【習知技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】美國專利申請公開第2011/0202893號說明書
【非專利文獻】
【非專利文獻1】“NDE-MDP”，〔online〕，日本控制系统股份有限公司，〔2014年3月12日檢索〕，網際網路〔URL：http://www.nippon-control-system.co.jp/catalog/NDE-MS.pdf〕
以往習知者，不能夠高精度地取得在形狀輪廓校正(Contour Based Calibration)中使用的資訊，即，顯示在電子束描繪裝置所描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊。
本案第一發明的資訊處理裝置，包括：受理部，受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，該圖案資訊是顯示令電子束描繪裝置描繪的圖形之圖案圖形的資訊，該實際觀測輪廓線資訊是顯示利用影像而取得之該 圖形的輪廓線的實際觀測輪廓線的資訊，所述影像是拍攝電子束描繪裝置按照前述圖案圖形所描繪的圖形的影像；變換資訊取得部，係利用圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，取得用於將實際觀測輪廓線上的點的3個以上各實際觀測輪廓點校正為該3個以上各實際觀測輪廓點校正後的點的3個以上校正輪廓點的資訊，且該資訊為將對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上的各校正輪廓點的捲積值與有關該捲積值的臨界值間的差的平方和進行最小化的資訊之變換資訊；校正輪廓點取得部，利用該實際觀測輪廓線資訊和變換資訊，取得與該3個以上各實際觀測輪廓點對應之該3個以上校正輪廓點，且取得顯示該所取得的3個以上校正輪廓點的資訊之校正輪廓點資訊；以及輸出部，輸出校正輪廓點資訊。
藉由這種結構，能夠高精度地得到顯示在電子束描繪裝置所描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊。
根據本發明的資訊處理裝置等，能夠高精度地得到顯示在電子束描繪裝置所描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊。
1‧‧‧資訊處理裝置
11‧‧‧受理部
12‧‧‧變換資訊取得部
13‧‧‧校正輪廓點取得部
14‧‧‧理想輪廓線取得部
15‧‧‧理想輪廓點取得部
16‧‧‧輸出部
9‧‧‧電腦系統
901‧‧‧電腦
902‧‧‧鍵盤
903‧‧‧滑鼠
904‧‧‧監視器
9011‧‧‧CD-ROM驅動器
9012‧‧‧MPU
9013‧‧‧ROM
9014‧‧‧RAM
9015‧‧‧硬碟
9016‧‧‧匯流排
9101‧‧‧CD-ROM
第1圖是實施方式1之資訊處理裝置1的方塊圖；第2圖是平滑處理和偏離值除去處理的示意圖；第3圖是計算理想輪廓點之處理的示意圖；第4圖是用於說明資訊處理裝置1之全體動作的流程圖；第5圖是用於說明資訊處理裝置1之全體動作的流程圖；第6圖是用於說明理想輪廓點資訊之取得處理的流程圖；第7圖是顯示圖案圖形的例子的圖；第8圖是顯示實際觀測輪廓線的例子的圖；第9圖是顯示實際觀測輪廓線資訊的例子的圖；第10圖是顯示校正輪廓點資訊的例子的圖；第11圖是顯示校正輪廓線的例子的圖；第12圖是顯示到對象點的路徑長度和到校正輪廓點的距離的圖； 第13圖是顯示校正輪廓點的圖；第14圖是顯示理想輪廓線的圖；第15圖是顯示除去校正輪廓點後之理想輪廓線的圖；第16圖是顯示理想輪廓線的圖；第17圖是顯示到對象點的路徑長度和到理想輪廓點的距離的圖；第18圖是顯示理想輪廓點資訊的例子的圖；第19圖是資訊處理裝置1的方塊圖；第20圖是資訊處理裝置1的方塊圖；第21圖是前述實施方式之電腦系統的示意圖；以及第22圖是前述實施方式之電腦系統的方塊圖。
以下，參照附圖對本發明的資訊處理裝置等的實施方式進行說明。此外，在實施方式中，標示相同標記的構成要素因執行相同動作，因此有時省略重複說明。此外，在實施方式中說明的各資訊的形式、內容等僅僅是示例性的，只要能夠顯示各資訊所具有的含意，不拘其形式、內容等。
(實施方式1)
在本實施方式中，對用於輸出由電子束描繪裝置所描繪的圖形輪廓線上的3個以上的點的資訊的資訊處理裝置1進行說明。
第1圖是本實施方式的資訊處理裝置1的方塊圖。資訊處理裝置1具備：受理部11、變換資訊取得部12、校正輪廓點取得部13、理想輪廓線取得部14、理想輪廓點取得部15、以及輸出部16。
受理部11受理圖案資訊、實際觀測輪廓線資訊、描繪圖形輪廓點資訊以及基準輪廓線資訊等。以下，關於這些資訊，依次進行說明。此外，在此，以下，將電子束描繪裝置按照圖案圖形所描繪的圖形適當地作為描繪圖形。此外，以下，將拍攝了該描繪圖形的影像作為拍攝影像。此外，以下，將拍攝影像內的描繪圖形適當作為攝影描繪圖形。此外，以下，將電子束描繪裝置根據圖案圖形描繪的圖形再進行模擬的圖形作為模擬圖形。此外，所謂圖案圖形是使電子束描繪裝置描繪的圖形。此外，通 常由SEM(掃描型電子顯微鏡)取得拍攝影像(描繪圖形的拍攝)。
所謂圖案資訊是顯示圖案圖形的資訊。圖案資訊，例如是所 謂稱作配置(佈局layout)資料或圖案資料等的資料。此外，圖案資訊的資料形式可以是任意的。圖案資訊的資料形式通常是稱作所謂遮罩設計資料或配置設計資料等的資料形式。圖案資訊的具體資料形式，例如是GDS-2、OASIS、MEBES等。此外，圖案資訊通常顯示1個圖案圖形。
此外，所謂實際觀測輪廓線資訊是顯示實際觀測輪廓線的資 訊。所謂實際觀測輪廓線是攝影描繪圖形的輪廓線。此外，實際觀測輪廓線資訊是具有構成實際觀測輪廓線之3個以上的點的座標的資訊。該3個以上的點通常是構成實際觀測輪廓線的所有點。此外，該3個以上的點，例如也可以是以可構成實際觀測輪廓線的程度來取樣的實際觀測輪廓線上的點。以下，將構成實際觀測輪廓線的點適當地設為實際觀測輪廓點。實際觀測輪廓點也可以說是實際觀測輪廓線上的點。此外，攝影描繪圖形的輪廓線，例如可由構成拍攝影像的像素來顯示。換言之，構成撮影描繪圖形的輪廓線的點通常由構成拍攝影像的像素來顯示。因此，實際觀測輪廓線資訊所具有的3個以上座標通常是該像素的座標。此外，實際觀測輪廓線資訊所具有的3個以上座標通常是整數。此外，取得實際觀測輪廓線資訊的方法或步驟等是習知的，因此省略詳細說明。
此外，作為描繪圖形輪廓點資訊是顯示3個以上描繪圖形輪 廓點的資訊。所謂描繪圖形輪廓點是構成描繪圖形輪廓線的點。此外，所謂描繪圖形輪廓線是描繪圖形的輪廓線。此外，描繪圖形輪廓點也可以說是描繪圖形輪廓線上的點。此外，描繪圖形輪廓點通常是不到需要進行校正的程度之正確的描繪圖形的輪廓線上的點。該校正，例如是位置偏移、大小、變形等的校正。此外，該校正，例如可以使座標變換(線性變換)。 即，描繪圖形輪廓點的一例，例如是校正輪廓點。所謂校正輪廓點是進行校正實際觀測輪廓點。此外，描繪圖形輪廓點，例如是不到需要進行校正的程度之正確的實際觀測輪廓點。
此外，描繪圖形輪廓線通常是不到需要進行校正程度之正確 的描繪圖形的輪廓線。即，描繪圖形輪廓線，例如是校正輪廓線。所謂校正輪廓線是進行校正的實際觀測輪廓線。此外，描繪圖形輪廓線，例如是 不到需要進行校正程度之正確的實際觀測輪廓線。
此外，以下，將不到需要進行校正程度之正確的實際觀測輪 廓點適當地設為正確實際觀測輪廓點。此外，以下，將不到需要進行校正程度之正確的實際觀測輪廓線適當地設為正確實際觀測輪廓線。此外，以下，將需要校正的實際觀測輪廓點適當地設為要校正實際觀測輪廓點。此外，以下，將需要校正的實際觀測輪廓線適當地設為要校正實際觀測輪廓線。此外，受理部11所受理的實際觀測輪廓線資訊所顯示的實際觀測輪廓線通常是要校正實際觀測輪廓線。
此外，描繪圖形輪廓點資訊是具有3個以上描繪圖形輪廓點 的座標的資訊。該3個以上描繪圖形輪廓點是構成描繪圖形輪廓線的描繪圖形輪廓點中任一3個以上描繪圖形輪廓點。此外，描繪圖形輪廓點資訊，例如也可以具有構成描繪圖形輪廓線之3個以上的所有描繪圖形輪廓點的座標。該座標由x座標和y座標的2個數值所構成。此外，該數值通常是整數，但是也可以是小數。
此外，所謂基準輪廓線資訊是顯示基準輪廓線的資訊。所謂 基準輪廓線是由圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的捲積值的分佈中的1個以上等值線中任1個等值線。具體來說，基準輪廓線，例如是顯示電子束強度之1個以上等值線中的任1個等值線。此外，該強度是電子束射入圖案圖形內全體時的該電子束的強度(對應於電子束描繪裝置的圖案圖形的圖形描繪時的強度)。此外，基準輪廓線資訊，例如是具有構成基準輪廓線之3個以上所有點的座標的資訊。此外，以下，將基準輪廓線資訊適當地設為定位輪廓線資訊。此外，以下，將基準輪廓線適當地設為定位輪廓線。
此外，關於電子束描繪裝置的構成和/或電子束描繪裝置所進 行的處理或動作等，由於是習知的，所以省略詳細說明。
此外，以下，將顯示3個以上實際觀測輪廓點的資訊適當地 設為實際觀測輪廓點資訊。該3個以上實際觀測輪廓點是構成實際觀測輪廓線的實際觀測輪廓點中之任意3個以上實際觀測輪廓點。此外，實際觀測輪廓點資訊，例如也可以具有構成實際觀測輪廓線之3個以上所有實際觀測輪廓點的座標。該座標由x座標和y座標的2個數值所構成。此外， 該數值通常是整數，但是也可以是小數。
此外，以下，將顯示描繪圖形輪廓線的資訊適當地設為描繪 圖形輪廓線資訊。描繪圖形輪廓線資訊是具有構成描繪圖形輪廓線之3個以上的點的座標的資訊。該3個以上的點通常是構成描繪圖形輪廓線的所有點。此外，該3個以上的點，例如可以是以可構成描繪圖形輪廓線的程度來取樣的描繪圖形輪廓線上的點。此外，描繪圖形輪廓線資訊具有的3個以上座標由x座標和y座標的2個數值所構成。此外，該數值通常是整數，但是也可以是小數。
此外，在本實施方式中，座標可以是向量。此外，受理部11 受理的實際觀測輪廓線資訊，例如可以是實際觀測輪廓點資訊。此外，受理部11受理的描繪圖形輪廓點資訊，例如可以是描繪圖形輪廓線資訊。
受理部11通常受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊。此外， 受理部11，例如也可以受理描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊。此外，受理部11，例如也可以受理實際觀測輪廓線資訊和基準輪廓線資訊。
此外，所謂受理是包括由觸控面板、鍵盤等輸入裝置輸入的 資訊的取得、儲存在光碟、磁碟、半導體記憶體等記錄媒體中的資訊的取得、經由有線或無線通信線路發送的資訊的受理等概念。
此外，受理部11的資訊和/或指示等的輸入裝置可以是基於功 能表畫面的裝置或鍵盤等任何一種。受理部11可由功能表畫面的控制軟體和/或鍵盤等的輸入裝置的裝置驅動器等來實現。
變換資訊取得部12取得變換資訊。所謂變換資訊是將實際觀 測輪廓點變換為對應的其他點的資訊。換言之，所謂變換資訊是利用實際觀測輪廓點的座標計算對應的其他點的座標的資訊。此外，變換資訊也可以是用於校正實際觀測輪廓點的資訊(用於對實際觀測輪廓點進行校正的資訊)。即，變換資訊可以是利用實際觀測輪廓點計算校正輪廓點的資訊。
此外，變換資訊通常是具有1個以上參數的資訊。該具有1 以上參數的資訊，例如是向量。此外，變換資訊，例如可以是函數。此外，該函數通常是具有該向量的函數。此外，以下，將作為向量的變換資訊適當設為變換向量。此外，以下，將作為函數的變換資訊適當設為變換函數。
此外，以下，所謂取得點是指取得點的座標。此外，同樣， 在以下，所謂計算點是指計算點的座標。此外，以下，所謂取得線是指取得顯示線的資訊。此外，同樣，以下，所謂計算線是指計算顯示線的資訊。顯示線的資訊，例如為具有構成線的2個以上的所有點的座標的資訊和/或顯示線的函數等。此外，通常，取得包括計算。
通常，變換資訊取得部12利用圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，取得變換資訊。此時，通常，變換資訊取得部12取得變換資訊和基準輪廓線資訊。
具體來說，變換資訊取得部12計算變換資訊、以及該臨界值，變換資訊為將對圖案圖形所示區域內的任意點擴展函數的3個以上各校正輪廓點的捲積值與有關該捲積值的臨界值之差的平方和進行最小化的變換資訊、以及相應臨界值。以下，該臨界值適當地作為捲積臨界值。此外，變換資訊取得部12利用該計算的臨界值，取得基準輪廓線資訊。此外，利用該臨界值取得基準輪廓線資訊的方法和/或步驟等是習知的，所以省略詳細說明。
在此，設變換資訊為變換向量。此外，設該變換向量為α。此外，設第i個實際觀測輪廓點的座標為xM i。此外，設捲積臨界值為T。此外，利用實際觀測輪廓點的座標和變換資訊將計算校正輪廓點的座標的函數設為M。此外，利用校正輪廓點的座標計算對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的校正輪廓點的捲積值的函數設為I。例如，變換資訊取得部12計算將數學公式1所計算的值進行最小化的α及T。
此外，計算數學公式1的α及T的解法，例如為非線型最小平方法。非線形最小平方法，例如為高斯牛頓法或萊文貝格-馬夸特(Levenberg-Marquardt)演算法等。此外，數學公式1的函數I是數學公式2。數學公式2是計算對圖案資訊顯示的圖案圖形所示區域圖案內之任意的點擴展函數的點x的捲積值的函數。此外，在數學公式2中，x為點x的座標。 此外，r為區域圖案內的點的座標。
此外，例如，數學公式2的函數p是數學公式3。數學公式3 是顯示某個點的電子束的散射(強度分佈)的函數，是點擴展函數(Point Spread Function：PSF)。此外，在數學公式3中，u是從原點(x，y)=(0，0)朝向點u的向量的大小(長度)。即，u是從原點朝向由數學公式2的“r-x”得到的座標的向量的大小。此外，在數學公式3中，σ是顯示電子束的散射程度的參數。
此外，在函數p為數學公式3的情況下，數學公式2是計算在圖案資訊所示圖案圖形內的區域(電子束的照射區域)圖案的全體入射了電子束時對點x的影響(能量)的大小的函數。該影響的大小也稱作電子束強度。
此外，若是滿足以下的所有條件的點擴展函數，函數p可以是任何一種。
(1)單調遞減。
(2)x->∞時，p(x)收斂到0。
(3)p(r)×r的0~∞區間的積分收斂到某個常數。
此外，例如，變換資訊取得部12也可以取得包括所計算的α的函數的數學公式1的M來作為變換資訊。
校正輪廓點取得部13利用實際觀測輪廓線資訊和變換資訊，取得校正輪廓點資訊。例如，該實際觀測輪廓線資訊是受理部11所受理的 實際觀測輪廓線資訊。此外，該變換資訊是變換資訊取得部12所取得的變換資訊。此外，例如，該變換資訊也可以是校正輪廓點取得部13預先保持的變換資訊。此外，以下，將變換資訊取得部12所取得的變換資訊適當地設為取得變換資訊。此外，以下，將校正輪廓點取得部13預先保持的變換資訊適當地設為保持變換資訊。
此外，校正輪廓點取得部13計算與3個以上各實際觀測輪廓 點對應的3個以上校正輪廓點。即，以每3個以上實際觀測輪廓點，校正輪廓點取得部13，對1個實際觀測輪廓點，計算與該實際觀測輪廓點對應的1個校正輪廓點。
例如，在使用取得變換資訊時，校正輪廓點取得部13從實際 觀測輪廓線資訊中來取得變換資訊取得部12取得變換資訊時所使用之3個以上實際觀測輪廓點的座標。此外，校正輪廓點取得部13對該3個以上各實際觀測輪廓點的座標應用取得變換資訊以計算3個以上校正輪廓點的座標。
在此，例如，在取得變換資訊為變換向量時，校正輪廓點取 得部13在3個以上各實際觀測輪廓點的座標應用該變換向量所具有的1個以上的參數，計算3個以上校正輪廓點的座標。該“應用參數”，例如為利用參數以進行預定的計算等。
此外，在取得變換資訊為變換函數時，校正輪廓點取得部13 將該3個以上各實際觀測輪廓點的座標代入該變換函數，計算3個以上校正輪廓點的座標。此外，校正輪廓點取得部13取得具有該計算的3個以上的校正輪廓點的座標的校正輪廓點資訊。
此外，在使用保持變換資訊時，例如，校正輪廓點取得部13 從實際觀測輪廓線資訊取得每預定間隔之3個以上實際觀測輪廓點的座標。此外，校正輪廓點取得部13利用所取得的3個以上實際觀測輪廓點的座標和保持變換資訊，計算3個以上校正輪廓點的座標。計算該校正輪廓點的座標的方法和/或步驟等與使用取得變換資訊時相同，所以省略說明。 此外，校正輪廓點取得部13取得具有該所計算之3個以上校正輪廓點的座標的校正輪廓點資訊。
理想輪廓線取得部14取得理想輪廓線資訊。所謂理想輪廓線 資訊是顯示理想輪廓線的資訊。此外，所謂理想輪廓線可以是近似3個以上校正輪廓點的曲線。此外，例如，理想輪廓線是描繪圖形的輪廓線，可以說是不包含雜訊或位置偏移等誤差之理想的輪廓線。
通常，理想輪廓線資訊是根據從基準點到對象點的路徑長度， 計算基準輪廓線上從對象點到與該對象點對應的理想輪廓點為止的距離的函數。所謂對象點是基準輪廓線上的點(基準輪廓點)，是作為用於計算到理想輪廓點的距離的對象的點。此外，所謂基準點是基準輪廓線上之任意的點(基準輪廓點)，是作為計算到對象點為止的路徑長度的基準的點。此外，所謂路徑長度是基準輪廓線的長度。即，例如，從基準輪廓線上的點a到基準輪廓線上的點b為止的路徑長度是從點a到點b的基準輪廓線的長度。
此外，例如，理想輪廓線資訊也可以是用於計算理想輪廓點 的座標的函數。例如，該函數也可以是用理想輪廓點的x座標計算理想輪廓點的y座標的函數，或者利用理想輪廓點的y座標計算理想輪廓點的x座標的函數。
此外，例如，理想輪廓線資訊也可以是具有構成理想輪廓線 之3個以上的點的座標的資訊。該3個以上的點通常是構成理想輪廓線的所有點。此外，例如，該3個以上的點也可以是以可構成理想輪廓線的程度進行採樣的理想輪廓線上的點。以下，將構成理想輪廓線的點適當地設為理想輪廓點。例如，理想輪廓點也可以稱為理想輪廓線上的點。此外，也可以由理想輪廓線資訊所具有的座標由x座標和y座標的2個數值所構成。此外，該數值通常是整數，但也可以是小數。
理想輪廓線取得部14通常利用校正輪廓點資訊和基準輪廓線 資訊，取得理想輪廓線資訊。該校正輪廓點資訊是校正輪廓點取得部13所取得的校正輪廓點資訊。此外，該基準輪廓線資訊是變換資訊取得部12所取得的基準輪廓線資訊。此外，例如，該校正輪廓點資訊也可以是受理部11所受理的描繪圖形輪廓點資訊。此外，該基準輪廓線資訊，例如也可以是受理部11所受理的基準輪廓線資訊。
此時，理想輪廓線取得部14取得理想輪廓線資訊，該理想輪 廓線資訊是根據從基準點到該對象點的路徑長度計算從基準輪廓線上的對 象點到與該對象點對應的理想輪廓點的距離的函數。例如，理想輪廓線取得部14首先計算3個以上各校正輪廓點和與該校正輪廓點對應的基準輪廓線上的點之間的距離。以下，將與該1個校正輪廓點對應的基準輪廓點適當地設為第一對應點。此外，理想輪廓線取得部14是根據從基準輪廓線上的任意點到第一對應點的路徑長度計算出所計算的距離的函數，計算出顯示近似該距離的曲線的函數以作為理想輪廓線資訊。以下，將該處理適當地作為平滑處理。之後，理想輪廓線取得部14除去與所計算的理想輪廓線資訊所示之理想輪廓線之間的距離滿足預定條件的大小的校正輪廓點。以下，將該處理適當地設為偏離值除去處理。此外，所謂除去校正輪廓點，例如是從校正輪廓點資訊中刪除該校正輪廓點的座標。此外，該偏離值除去處理，例如是使用Smirnov-Grubbs驗證等的方法來進行。此外，理想輪廓線取得部14對除去後的校正輪廓點應用前述平滑處理。此外，理想輪廓線取得部14再次利用所取得的理想輪廓線資訊進行偏離值除去處理，重複平滑處理和偏離值除去處理1次以上，直到作為除去對象的校正輪廓點消失為止。
此外，前述滑處理等的詳細步驟，例如以下所示。
(1)理想輪廓線取得部14將3個以上各校正輪廓點和基準輪廓線上之作為基準輪廓點的第一對應點一一加以對應。
(2)理想輪廓線取得部14對3個以上各校正輪廓點計算與第一對應點間的距離。
(3)理想輪廓線取得部14是顯示在(2)中計算之近似3個以上距離的曲線的函數，計算根據從基準輪廓線上的任意點到對應點的路徑長度計算該距離的函數，作為理想輪廓線資訊。
(4)理想輪廓線取得部14對3個以上各校正輪廓點，利用在(3)計算的理想輪廓線資訊(函數)計算該理想輪廓線資訊所示的理想輪廓線上的對應的點。以下，將與該1個校正輪廓點對應的理想輪廓線上的點適當地設為第二對應點。
(5)理想輪廓線取得部14對3個以上各校正輪廓點，計算與在(4)計算的第二對應點間的距離。
(6)理想輪廓線取得部14在(5)計算的距離大到滿足預定條件之程 度下刪除校正輪廓點。此外，理想輪廓線取得部14在不存在有作為刪除的對象的校正輪廓點的情況下，結束處理。
(7)理想輪廓線取得部14返回前述(3)。即，理想輪廓線取得部14對在(6)刪除後的3個以上校正輪廓點應用前述(3)的處理。
此外，在前述(1)，所謂將校正輪廓點和第一對應點加以對應是將校正輪廓點的座標和第一對應點的座標加以對應。此外，將校正輪廓點和基準輪廓點加以對應的方法和步驟等可以是任意的。理想輪廓線取得部14通常在基準輪廓線上之3個以上的點取得對基準輪廓線的法線。之後，理想輪廓線取得部14將位於該法線上的校正輪廓點和基準輪廓點(第一對應點)加以對應。
此外，在前述(3)，計算近似3個以上距離的曲線的方法和步驟等是習知的，因此省略詳細說明。
此外，前述的處理的示意圖，例如第2圖所示。
此外，理想輪廓線取得部14，例如可以僅利用校正輪廓點資訊取得理想輪廓線資訊。該校正輪廓點資訊是校正輪廓點取得部13所取得的校正輪廓點資訊。此外，該校正輪廓點資訊，例如也可以是受理部11所受理的描繪圖形輪廓點資訊。
此時，理想輪廓線取得部14，例如取得作為計算理想輪廓點的座標的函數的理想輪廓線資訊，或者具有構成理想輪廓線之3個以上所有理想輪廓點的座標的理想輪廓線資訊。
在計算作為用於計算理想輪廓點的座標之函數的理想輪廓線資訊的情況下，理想輪廓線取得部14，例如為對每連續的n個校正輪廓點，計算近似該n個校正輪廓點的直線或曲線之顯示的3個以上函數。該n最好為2以上，且小於校正輪廓點資訊所具有的校正輪廓點的座標的數。此外，此時，作為理想輪廓線取得部14的一例為計算通過兩端的2個校正輪廓點的函數。此外，計算該直線或曲線之顯示的函數的方法和步驟等是習知的，因此省略詳細說明。此外，理想輪廓線取得部14在該3個以上各函數上，將計算中所使用的校正輪廓點的座標所示的定義域或值域加以對應。通常，定義域較合適。此外，理想輪廓線取得部14取得3個以上定義域或值域所對應之3個以上函數的理想輪廓線資訊。
此外，在計算具有構成理想輪廓線之3個以上所有理想輪廓 點的座標的理想輪廓線資訊的情況下，理想輪廓線取得部14，例如與前述同樣，計算出定義域或值域所對應的3個以上函數。之後，理想輪廓線取得部14利用所計算的3個以上函數，計算由該函數所示的構成直線或曲線的3個以上的點的座標，即對應的定義域或值域的範圍內的座標。之後，理想輪廓線取得部14取得具有構成理想輪廓線之3個以上所有理想輪廓點的座標的理想輪廓線資訊。
此外，不限於僅利用校正輪廓點資訊來取得理想輪廓線資訊 的方法和步驟等。即，理想輪廓線取得部14，例如也可以僅利用校正輪廓點資訊，藉由前述以外的方法來取得理想輪廓線資訊。
理想輪廓點取得部15取得理想輪廓點資訊。所謂理想輪廓點 資訊是顯示3個以上理想輪廓點的資訊。此外，理想輪廓點資訊是具有3個以上理想輪廓點的座標的資訊。該3個以上理想輪廓點是構成理想輪廓線的理想輪廓點中任意3個以上理想輪廓點。此外，理想輪廓點資訊，例如也可以具有構成理想輪廓線的3個以上所有理想輪廓點的座標。該座標由x座標和y座標的2個數值所構成。此外，該數值通常是整數，但是也可以是小數。
理想輪廓點取得部15通常利用理想輪廓線資訊和基準輪廓線 資訊取得理想輪廓點資訊。該理想輪廓線資訊是理想輪廓線取得部14所取得的理想輪廓線資訊。此外，該理想輪廓線資訊是顯示理想輪廓線的函數。 此外，該函數是有關從基準輪廓線上的任意點起的路徑長度的函數。此外，該基準輪廓線資訊是理想輪廓線取得部14在理想輪廓線資訊的取得中所使用的基準輪廓線資訊。即，例如，理想輪廓線取得部14利用受理部11所受理的基準輪廓線資訊取得理想輪廓線資訊時，理想輪廓點取得部15使用受理部11所受理的基準輪廓線資訊。此外，例如，理想輪廓線取得部14利用變換資訊取得部12所取得的基準輪廓線資訊取得理想輪廓線時，理想輪廓點取得部15使用變換資訊取得部12所取得的基準輪廓線資訊。
此時，理想輪廓點取得部15，例如首先計算位於從基準輪廓 線上的基準點起任意的路徑長度的3個以上的點的對象點。該3個以上對象點的間隔通常是等間隔，但也可以不是等間隔。即，理想輪廓點取得部 15通常從基準輪廓線上的基準點起每預定的路徑長度計算3個以上對象點。此外，理想輪廓點取得部15，例如也可以從基準輪廓線上的基準點起每3個以上不同的任意路徑長度，計算3個以上對象點。此外，理想輪廓點取得部15利用理想輪廓線資訊(函數)，計算與所計算的3個以上各對象點對應的距離。之後，理想輪廓點取得部15將所計算的距離加到對象點上以計算理想輪廓點。之後，理想輪廓點取得部15取得具有3個以上理想輪廓點的座標的理想輪廓點資訊。此外，該處理的示意圖，例如第3圖所示。
此外，理想輪廓點取得部15，例如，利用理想輪廓線資訊取 得理想輪廓點資訊。該理想輪廓線資訊是理想輪廓線取得部14所取得的理想輪廓線資訊。此外，該理想輪廓線資訊是具有構成理想輪廓線之3個以上所有理想輪廓點的座標的資訊。此時，理想輪廓點取得部15取得從該理想輪廓線資訊起每預定間隔的3個以上理想輪廓點的座標。此外，理想輪廓點取得部15取得具有該所取得的3個以上理想輪廓點的座標的理想輪廓點資訊。
輸出部16通常輸出理想輪廓點資訊。該理想輪廓點資訊是理 想輪廓點取得部15所取得的理想輪廓點資訊。此外，輸出部16，例如為輸出校正輪廓點資訊。該校正輪廓點資訊是校正輪廓點取得部13所取得的校正輪廓點資訊。此外，輸出部16輸出的理想輪廓點資訊及校正輪廓點資訊通常是校正輪廓點資訊。即，輸出部16通常輸出理想輪廓點資訊及校正輪廓點資訊，作為校正輪廓點資訊。所謂校正輪廓點資訊是用於圖案圖形的校正的資訊。此外，校正輪廓點資訊也可以是具有3個以上座標的資訊。 此外，校正輪廓點資訊是正確顯示描繪圖形的輪廓線的資訊，也可以說是具有描繪圖形之輪廓線上的3個以上的點的座標的資訊。
此外，所謂輸出是包括顯示器的顯示、使用投影機的投影、 利用印表機的列印、音頻輸出、向外部裝置發送、向記錄媒體儲存、向其他處理裝置或其他程式等傳送處理結果等的概念。此外，有關發送、儲存、處理結果的傳送，係設為將輸出對象提示給最終用戶。
此外，輸出部16可以包括顯示器或擴音器等輸出裝置，也可 以不包括這些輸出裝置。輸出部16可藉由輸出裝置的驅動軟體或輸出裝置 的驅動軟體和輸出裝置等來實現。
此外，變換資訊取得部12、校正輪廓點取得部13、理想輪廓 線取得部14、理想輪廓點取得部15通常可藉由微處理器(MPU)或記憶體等來實現。此外，變換資訊取得部12等的處理步驟通常藉由軟體來實現，該軟體記錄在ROM等記錄媒體中。此外，變換資訊取得部12等也可以是藉由硬體(專用電路)來實現。
接著，利用流程圖，對資訊處理裝置1的全體動作進行說明。 此外，預定資訊的第i個資訊以“資訊〔i〕”來記載。第4圖是顯示資訊處理裝置1的全體動作的流程圖。該資訊處理裝置1利用圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，取得變換資訊和基準輪廓線資訊。此外，該資訊處理裝置1利用實際觀測輪廓點資訊和變換資訊，取得校正輪廓點資訊。此外，該資訊處理裝置1利用校正輪廓點資訊和基準輪廓點資訊，取得理想輪廓點資訊。此外，該資訊處理裝置1輸出理想輪廓點資訊。
(步驟S401)變換資訊取得部12判斷受理部11是否受理實際 觀測輪廓線資訊。在受理的情況下，進入步驟S402，沒有受理到時，返回步驟S401。
(步驟S402)變換資訊取得部12判斷受理部11是否已受理圖 案資訊。在受理的情況下，進入步驟S403，沒有受理到時，返回步驟S401。
(步驟S403)變換資訊取得部12利用在步驟S401受理的實際 觀測輪廓線資訊和在步驟S402受理的圖案資訊，取得變換資訊和基準輪廓線資訊。
(步驟S404)校正輪廓點取得部13利用在步驟S401受理的實際觀測輪廓線資訊和在步驟S403計算的變換資訊，取得校正輪廓點資訊。
(步驟S405)理想輪廓線取得部14利用在步驟S403取得的基準輪廓線資訊和在步驟S404取得的校正輪廓點資訊，對校正輪廓點資訊所示之3個以上各校正輪廓點計算該3個以上各校正輪廓點和第一對應點間的距離。
(步驟S406)理想輪廓線取得部14是顯示近似校正輪廓點資訊所示之3個以上各校正輪廓點和與該3個以上各校正輪廓點對應的第一對應點間的距離的曲線的函數，由基準輪廓線上的基準點到3個以上各第 一對應點的路徑長度，取得計算該對應於第一對應點的距離的函數之理想輪廓線資訊。
(步驟S407)理想輪廓線取得部14對校正輪廓點資訊所示之 3個以上各校正輪廓點，計算該3個以上各校正輪廓點和第二對應點間的距離。
(步驟S408)理想輪廓線取得部14對在步驟S407計算的3 個以上距離，判斷是否存在偏離值(以大到滿足預定條件的程度的距離)。 理想輪廓線取得部14，例如，對在步驟S407計算的3個以上各距離，判斷是否大到滿足預定條件的程度。此外，在大到滿足預定條件的程度的情況下，理想輪廓線取得部14判斷為是偏離值，此外，在不滿足預定條件的情況下，理想輪廓線取得部14判斷為不是偏離值。此外，在判斷為偏離值的數量為1個以上時，理想輪廓線取得部14判斷為存在偏離值。此外，在判斷為有偏離值的數量為0時，理想輪廓線取得部14判斷為不存在偏離值。 此外，在存在的情況下，進入步驟S409，在不存在時，進入步驟S410。
(步驟S409)理想輪廓線取得部14從校正輪廓點資訊刪除與在步驟S408判斷為偏離值的距離對應的校正輪廓點。之後，返回步驟S406。
(步驟S410)理想輪廓點取得部15利用在步驟S403取得的基準輪廓線資訊和在步驟S406取得的理想輪廓線資訊，取得理想輪廓點資訊。
(步驟S411)輸出部16輸出在步驟S410取得的理想輪廓點資訊。此外，輸出部16，例如也可以輸出在步驟S404取得的校正輪廓點資訊。之後，返回步驟S401。
第5圖是顯示利用所受理的描繪圖形輪廓點資訊或所取得的校正輪廓點資訊，取得理想輪廓點資訊並輸出該理想輪廓點資訊時的資訊處理裝置1的全體動作的流程圖。
(步驟S501)理想輪廓線取得部14判斷受理部11是否已受理描繪圖形輪廓點資訊。在受理的情況下，進入步驟S504，在沒有受理到時，進入步驟S502。
(步驟S502)理想輪廓線取得部14判斷受理部11是否已受理實際觀測輪廓點資訊。在受理的情況下，進入步驟S503，在沒有受理到時，返回步驟S501。
(步驟S503)校正輪廓點取得部13利用在步驟S502所受理的實際觀測輪廓點資訊和預先保持的變換資訊，取得校正輪廓點資訊。
(步驟S504)理想輪廓線取得部14判斷受理部11是否已受理基準輪廓線資訊。在受理的情況下，進入步驟S505，在沒有受理到時，返回步驟S501。
(步驟S505)在此，設在步驟S501受理的描繪圖形輪廓點資訊及在步驟S503取得的校正輪廓點資訊為處理對象點資訊。此外，設在描繪圖形輪廓點資訊所示的描繪圖形輪廓點及校正輪廓點資訊所示的校正輪廓點為處理對象點。理想輪廓線取得部14利用處理對象點資訊和在步驟S504受理的基準輪廓線資訊，對處理對象點資訊所示之3個以上各處理對象點計算該3個以上各處理對象點和第一對應點間的距離。
(步驟S506)理想輪廓線取得部14是顯示近似處理對象點資訊所示之3個以上各處理對象點和與該3個以上各處理對象點對應的第一對應點間的距離的曲線的資訊，利用從基準輪廓線上的基準點到3個以上各第一對應點為止的路徑長度，取得計算與該第一對應點對應的距離的函數之理想輪廓線資訊。
(步驟S507)理想輪廓線取得部14對處理對象點資訊所示之3個以上各處理對象點，計算該3個以上各處理對象點和第二對應點間的距離。
(步驟S508)理想輪廓線取得部14對在步驟S507計算的3個以上距離，判斷是否存在偏離值(大到滿足預定條件的程度的距離)。理想輪廓線取得部14，例如對在步驟S507計算的3個以上各距離，判斷是否以大到滿足預定條件的程度。此外，在大到滿足預定條件的程度時，理想輪廓線取得部14判斷為是偏離值，此外，在不滿足預定條件時，理想輪廓線取得部14判斷為不是偏離值。此外，在判斷為偏離值的數量為1以上時，理想輪廓線取得部14判斷為存在偏離值。此外，在判斷為偏離值的數量為0時，理想輪廓線取得部14判斷為不存在偏離值。此外，在存在的情況下，進入步驟S509，在不存在時，進入步驟S510。
(步驟S509)理想輪廓線取得部14從處理對象點資訊中刪除與在步驟S508判斷為偏離值的距離對應的處理對象點。之後，返回步驟 S506。
(步驟S510)理想輪廓點取得部15利用在步驟S504受理的基準輪廓線資訊和在步驟S506取得的理想輪廓線資訊，取得理想輪廓點資訊。
(步驟S511)輸出部16輸出在步驟S510取得的理想輪廓點資訊。之後，返回步驟S501。
此外，在第5圖的流程圖中，也可以藉由電源切斷或處理結束的中斷來結束處理。
此外，第6圖為對第4圖的流程圖的步驟S406及第5圖的流程圖的步驟S506的理想輪廓點資訊的取得處理進行說明的流程圖的一例。在第6圖中，理想輪廓線資訊設為函數b(r)。
(步驟S601)理想輪廓點取得部15利用基準輪廓線資訊，計算基準輪廓線的長度，並設為變數長度length。
(步驟S602)理想輪廓點取得部15計算“length/m”，設為變數v。在此，m是基準輪廓線上的對象點的數量。此外，v是2個對象點之間的路徑長度(間隔)。
(步驟S603)理想輪廓點取得部15對計數器i設為1。
(步驟S604)理想輪廓點取得部15計算“v×(i-1)”，設置成變數r。在此，r是從基準輪廓線上的基準點到對象點〔i〕的路徑長度。
(步驟S605)理想輪廓點取得部15計算b(r)，設置成變數d。
(步驟S606)理想輪廓點取得部15是對象點〔i〕中的法線，取得長度為d的法線，計算作為該法線的x分量的dx和作為y分量的dy。
(步驟S607)理想輪廓點取得部15在對象點〔i〕上加上(dx，dy)，設置成理想輪廓點〔i〕。具體來說，理想輪廓點取得部15在對象點〔i〕的x座標加上dx，設置成理想輪廓點〔i〕的x座標。此外，理想輪廓點取得部15在對象點〔i〕的y座標上加上dy，設置成理想輪廓點〔i〕的y座標。
(步驟S608)理想輪廓點取得部15判斷i是否為m。在為m時，返回到上位處理，在不是m時，進入步驟S609。
(步驟S609)理想輪廓點取得部15將i進行遞增。之後，返回步驟S604。
此外，前述中說明的資訊處理裝置1的全體動作僅是一例。 即，資訊處理裝置1的全體動作不限於前述說明。
(具體例)
接著，對資訊處理裝置1的動作的具體例進行說明。
(例1)
在本例中，利用圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊取得變換資訊和基準輪廓線資訊，並利用該變換資訊，對取得校正輪廓點資訊的例進行說明。此外，在本例中，設圖案資訊所示之圖案圖形之電子束描繪裝置所描繪的圖案圖形為第7圖中圖形。
首先，受理部11受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊。該實際觀測輪廓線資訊所示的實際觀測輪廓線，例如為第8圖所示。此外，該實際觀測輪廓線資訊，例如為第9圖所示。該實際觀測輪廓線資訊具有用於特予指定記錄的ID和3個以上實際觀測輪廓點的座標。項目名“x”是實際觀測輪廓點的x座標，項目名“y”是實際觀測輪廓點的y座標。
接著，變換資訊取得部12利用受理部11受理的圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，計算出將由數學公式1所計算的值進行最小化的α和T。計算該α及T的方法和步驟等是習知的，因此省略詳細說明。
接著，校正輪廓點取得部13將由所計算的α表現的變換資訊應用於第9圖的各實際觀測輪廓點的座標。之後，校正輪廓點取得部13計算校正輪廓點資訊。該校正輪廓點資訊，例如第10圖所示。此外，由第10圖的3個以上各校正輪廓點資訊所顯示的校正輪廓點所示的校正輪廓線，例如第11圖所示。
(例2)
在本例中，將說明有關利用校正輪廓點資訊或描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊取得理想輪廓點資訊，並取得理想輪廓點資訊的例子。此外，在本例中，對有關使用校正輪廓點資訊的例子進行說明。即，關於使用描繪圖形輪廓點資訊的例子，在本例中，“校正輪廓點”也可以稱作“描繪圖形輪廓點”。此外，受理部11受理描繪圖形輪廓點資訊。
首先，理想輪廓線取得部14對由校正輪廓點取得部13所取得的校正輪廓點資訊所示之3個以上各校正輪廓點，計算基準輪廓線上的 第一對應點。之後，理想輪廓線取得部14計算該3個以上各校正輪廓點和與該校正輪廓點對應的第一對應點間的距離。之後，理想輪廓線取得部14計算從基準輪廓線上的基準點到第一對應點的路徑長度r，將與該第一對應點對應的校正輪廓點和該第一對應點加以對應。其結果，理想輪廓線取得部14，例如取得第12圖所示的資訊。該資訊具有：用於特予指定記錄的ID、校正輪廓點的座標、與從該校正輪廓點對應的第一對應點之基準點起的路徑長度(項目名：r)、該校正輪廓點和第一對應點間的距離(項目名：b)。 項目名“x”是校正輪廓點的x座標，項目名“y”是校正輪廓點的y座標。此外，第13圖為第12圖所顯示r和d的關係的圖表的一例。
接著，理想輪廓線取得部14利用第13圖的圖表，計算近似b的r的函數。設該函數為b(r)，則b(r)所示的曲線的一例如第14圖。此外，該曲線是理想輪廓線。此外，顯示該曲線的函數b(r)是理想輪廓線資訊。
接著，理想輪廓線取得部14從第14圖的圖表中除去與理想輪廓線資訊之間的距離大到滿足預定條件的程度的校正輪廓點。之後，理想輪廓線取得部14計算近似b的函數b(r)，該b為與該除去後的校正輪廓點對應。由該除去後的b(r)所示的曲線，例如第15圖。理想輪廓線取得部14重複以下兩處理：除去作為偏離值的校正輪廓點的處理和計算近似與該除去後的校正輪廓點對應的b的函數b(r)的處理；直到滿足所謂結束條件，並取得理想輪廓線資訊。理想輪廓線取得部14之最終取得的理想輪廓線資訊b(r)所示之曲線的一例如第16圖。
接著，理想輪廓點取得部15從基準輪廓線上的基準點，計算每預定路徑長度的點之對象點。之後，理想輪廓點取得部15利用理想輪廓線取得部14所取得的理想輪廓線資訊的函數b(r)和與所計算的3個以上各對象點對應的路徑長度r，計算從該對象點到理想輪廓線的距離b。之後，理想輪廓點取得部15進行以下對應：將到對象點的r及該對象點的座標與該對象點的b加以對應。其結果，理想輪廓點取得部15，例如取得第17圖所示的資訊。該資訊具有：用於特予指定記錄的ID、從基準點到對象點為止的路徑長度(項目名：r)、對象點的座標、從對象點到校正輪廓點的距離(項目名：b)。項目名“x”是對象點的x座標，項目名“y”是對象點的y座 標。
接著，理想輪廓點取得部15對第17圖的3個以上各對象點， 計算相對於基準輪廓線的法線。之後，理想輪廓點取得部15對該計算出的法線應用與對象點對應的b，並計算該b的x分量、y分量。之後，理想輪廓點取得部15將所計算的x分量、y分量分別加到第17圖的x座標、y座標上，計算理想輪廓點的座標。之後，理想輪廓點取得部15取得具有3個以上理想輪廓點的座標的理想輪廓點資訊。該理想輪廓點資訊，例如第18圖所示。
以上，根據本實施方式的資訊處理裝置1，能夠高精度地取得 顯示電子束描繪裝置所描繪的圖形的輪廓線上之3個以上的點的資訊。其結果，能夠高精度地進行圖案圖形的校正中所使用的參數的校正。並且，其結果，能夠高精度地進行圖案圖形的校正。
此外，在本實施方式中，資訊處理裝置1，例如也可以不具備 理想輪廓線取得部14、理想輪廓點取得部15。此時的資訊處理裝置1的方塊圖是第19圖。此外，此時，受理部11通常受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊。此外，變換資訊取得部12，例如利用圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，取得變換資訊。此外，校正輪廓點取得部13，例如利用實際觀測輪廓線資訊和取得變換資訊，取得校正輪廓點資訊。此外，校正輪廓點取得部13，例如利用實際觀測輪廓線資訊和保持變換資訊，取得校正輪廓點資訊。此外，輸出部16輸出校正輪廓點取得部13所取得的校正輪廓點資訊。
此外，在本實施方式中，資訊處理裝置1，例如也可以不具備 變換資訊取得部12、校正輪廓點取得部13。此時的資訊處理裝置1的方塊圖是第20圖。此外，此時，受理部11通常受理描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊。此外，理想輪廓線取得部14，例如使用描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊，取得理想輪廓線資訊。此外，理想輪廓點取得部15利用基準輪廓線資訊和理想輪廓線資訊，取得理想輪廓點資訊。此外，輸出部16輸出理想輪廓點取得部15所取得的理想輪廓點資訊。
此外，前述各實施方式的資訊處理裝置，例如也可以是獨立運作的裝置、伺服器‧客戶系統的伺服器裝置。
此外，在前述各實施方式中，各處理或各功能可以由單一裝置或單一系統集中處理實現，或者藉由由多個裝置或多個系統分散處理來實現。
此外，在前述各實施方式中，各構成要素也可以由專用硬體構成，或者有關能夠由軟體實現的構成要素，也可以藉由執行程式來實現。例如，藉由CPU等程式執行部讀取執行記錄於硬體或半導體記憶體等記錄媒體中的軟體和程式，而能夠實現各構成要素。
此外，實現前述各實施方式的資訊處理裝置的軟體，例如是如下的程式。即，該程式是使得電腦產生下述各部功能的程式：受理部，受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，該圖案資訊是顯示使電子束描繪裝置來描繪的圖形之圖案圖形的資訊，實際觀測輪廓線資訊是顯示利用影像而取得的該圖形的輪廓線之實際觀測輪廓線的資訊，所述影像是拍攝電子束描繪裝置按照前述圖案圖形所描繪的圖形的影像；變換資訊取得部，利用前述圖案資訊和前述實際觀測輪廓線資訊，取得用於將前述實際觀測輪廓線上的點之3個以上各實際觀測輪廓點校正為將該3個以上各實際觀測輪廓點校正後的點之3個以上校正輪廓點的資訊，且該資訊為將對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上的各校正輪廓點的捲積值與有關該捲積值的臨界值間的差的平方和進行最小化的資訊之變換資訊；校正輪廓點取得部，利用前述實際觀測輪廓線資訊和前述變換資訊，取得與前述3個以上各實際觀測輪廓點對應的前述3個以上校正輪廓點，且取得顯示該所取得的3個以上校正輪廓點的資訊之校正輪廓點資訊；以及輸出部，輸出前述校正輪廓點資訊。
此外，實現前述各實施方式的資訊處理裝置，例如是如下的程式。即，該程式使得電腦產生下述各部功能的程式：受理部，受理描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊，該描繪圖形輪廓點資訊是顯示電子束描繪裝置按照圖案圖形所描繪的圖形之輪廓線上的點的3個以上描繪圖形輪廓點的資訊，該基準輪廓線資訊是顯示對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上各描繪圖形輪廓點的捲積值的分佈中之1個以上的等值線中任意1個等值線之基準輪廓線的資訊；理想輪廓線取得部，利用前述描繪圖形輪廓點資訊和前述基準輪廓線資訊，取得前述3個以上各描 繪圖形輪廓點和與對應於該3個以上各描繪圖形輪廓點的基準輪廓線上的點之對應點間的距離，並取得由基準輪廓線上的任意點到該對應點的路徑長度取得該距離的函數、即，顯示近似該距離的曲線之理想輪廓線的函數之理想輪廓線資訊，重複以下兩處理1次以上，以取得理想輪廓線資訊，該兩處理為：除去描繪圖形輪廓點的處理，該描繪圖形輪廓點為與由該理想輪廓線資訊所示之理想輪廓線間的距離以大到滿足預定條件的程度；及利用該削除後的3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的對應點間的距離來取得前述理想輪廓線資訊的處理；理想輪廓點取得部，利用前述基準輪廓線資訊和前述理想輪廓線資訊，取得從位於前述基準輪廓線上之任意的點起任意路徑長度的3個以上的點之對象點到對應於該對象點的前述理想輪廓線上的點的距離，且取得位在從前述對象點起而距該取得的距離的點，並取得顯示該所取得的點之3個以上理想輪廓點的資訊之理想輪廓點資訊；以及輸出部，輸出前述理想輪廓點資訊。
此外，在前述程式中，在前述程式所實現的功能中不包含只能以硬體來實現的功能。
此外，前述程式可以藉由從伺服器等下載來執行，也可以藉由讀取記錄在預定的記錄媒體(例如，CD-ROM等光碟或磁碟、半導體記憶體等)中的程式來執行。此外，該程式也可以用作構成程式產品的程式。
此外，執行前述程式的電腦可以是單數的，也可以是多數的。即，可以集中處理，或者可以分散處理。
此外，第21圖是執行前述程式、用於實現前述實施方式的資訊處理裝置等的電腦系統9的示意圖。前述實施方式能夠藉由在電腦硬體及其上執行的電腦程式來實現。
在第21圖中，電腦系統9具備：包含CD-ROM驅動器9011的電腦901、鍵盤902、滑鼠903、以及監視器904。
第22圖是電腦系統9的方塊圖。在第22圖中，電腦901除了CD-ROM驅動器9011之外，進一步具備：MPU 9012；用於儲存啟動程式等程式的ROM 9013，連接到MPU 9012；用於臨時儲存應用程式的指令且提供暫時儲存空間的RAM9014；用於儲存應用程式、系統程式及資料的硬碟9015；以及相互連接CD-ROM驅動器9011、MPU012等的匯流排 9016。在此雖然未圖示，但是電腦901還可以具備連接到LAN的網卡。
使得電腦系統9執行前述實施方式的資訊處理裝置等功能的 程式可以儲存在CD-ROM 9101中，插入CD-ROM驅動器9011中，並傳送到硬碟9015。也可以藉由以下方式代之：程式經由未圖示的網路發送到電腦901，並儲存到硬體9015。程式在執行時載入到RAM 9014。程式也可以從CD-ROM 9101或網路直接進行載入。
作為程式，可以不包含使電腦901執行前述實施方式的資訊 處理裝置等功能的作業系統(OS)或第三程式等。作為程式，只要包括在被控制的狀態下可存取適當功能(模組)、且能夠得到所希望的結果的指令的一部分就可以。關於電腦系統9如何進行動作是習知的，在此省略詳細說明。
本發明不限定於以上的實施方式，能夠進行各種變更，當然 其包含在本發明的範圍內。
【產業利用性】
如上所示，本發明的資訊處理裝置具有能夠高精度地取得顯示電子束描繪裝置所描繪的圖形之輪廓線上的3個以上的點的資訊的效果，作為進行MPC的裝置等而極為有用。
1‧‧‧資訊處理裝置
11‧‧‧受理部
12‧‧‧變換資訊取得部
13‧‧‧校正輪廓點取得部
14‧‧‧理想輪廓線取得部
15‧‧‧理想輪廓點取得部
16‧‧‧輸出部

Claims (9)

  1. 一種資訊處理裝置，包括：受理部，受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，該圖案資訊是顯示令電子束描繪裝置描繪的圖形之圖案圖形的資訊，前述實際觀測輪廓線資訊是顯示利用影像而取得的該圖形的輪廓線之實際觀測輪廓線的資訊，所述影像是拍攝電子束描繪裝置按照前述圖案圖形所描繪的圖形的影像；變換資訊取得部，利用前述圖案資訊和前述實際觀測輪廓線資訊，取得用於將前述實際觀測輪廓線上的點之3個以上各實際觀測輪廓點校正為該3個以上各實際觀測輪廓點校正後的點之3個以上校正輪廓點的資訊，且該資訊為將對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上的各校正輪廓點的捲積值與有關該捲積值的臨界值間的差的平方和進行最小化的資訊的變換資訊；校正輪廓點取得部，利用前述實際觀測輪廓線資訊和前述變換資訊，取得與前述3個以上各實際觀測輪廓點對應的前述3個以上校正輪廓點，且取得顯示該所取得的3個以上校正輪廓點的資訊的校正輪廓點資訊；以及輸出部，輸出前述校正輪廓點資訊。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的資訊處理裝置，進一步具備：理想輪廓點取得部，該理想輪廓點取得部利用前述校正輪廓點資訊取得理想輪廓點資訊，該理想輪廓點資訊是顯示近似前述3個以上校正輪廓點的曲線上的點之3個以上理想輪廓點的資訊，前述輸出部，係輸出前述理想輪廓點資訊。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的資訊處理裝置，其中，前述變換資訊取得部利用前述圖案資訊和前述實際觀測輪廓線資訊，取得將前述差的平方和進行最小化的變換資訊與有關前述捲積值的臨界值，並利用該臨界值和前述圖案資訊，取得基準輪廓線資訊，該基準輪廓線資訊是顯示圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的捲積值的分佈中之1個以上的等值線中任1個等值線的基準輪廓線的資訊， 進一步包括：理想輪廓線取得部，利用前述校正輪廓點資訊和前述基準輪廓線資訊，取得前述3個以上各校正輪廓點和與該3個以上各校正輪廓點對應的基準輪廓線上的點之對應點間的距離，並取得由基準輪廓線上的任意點到該對應點的路徑長度取得該距離的函數，即，顯示近似該距離的曲線之理想輪廓線的函數的理想輪廓線資訊，重複以下兩處理1次以上，以取得理想輪廓線資訊，該兩處理為：除去校正輪廓點的處理，該校正輪廓點為與由該理想輪廓線資訊所示之理想輪廓線間的距離以大到滿足預定條件的程度；以及利用該削除後的3個以上各校正輪廓點和與該3個以上各校正輪廓點對應的對應點間的距離來取得前述理想輪廓線資訊的處理；以及理想輪廓點取得部，利用前述基準輪廓線資訊和前述理想輪廓線資訊，取得從位於前述基準輪廓線上的任意的點起任意路徑長度的3個以上的點的對象點到對應於該對象點的前述理想輪廓線上的點的距離，且取得位在從前述對象點起而距該取得的距離的點，並取得顯示該所取得的點之3個以上理想輪廓點的資訊的理想輪廓點資訊，前述輸出部輸出前述理想輪廓點資訊。
  4. 一種資訊處理裝置，包括：受理部，受理描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊，該描繪圖形輪廓點資訊是顯示電子束描繪裝置按照圖案圖形所描繪的圖形的輪廓線上的點之3個以上描繪圖形輪廓點的資訊，該基準輪廓線資訊是顯示對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上各描繪圖形輪廓點的捲積值的分佈中之1個以上的等值線中任意1個等值線之基準輪廓線的資訊；理想輪廓線取得部，利用前述描繪圖形輪廓點資訊和前述基準輪廓線資訊，取得前述3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的基準輪廓線上的點之對應點間的距離，並取得理想輪廓線資訊，該理想輪廓線資訊為由基準輪廓線上的任意點到該對應點的路徑長度而取得該距離的函數、即，顯示近似該距離的曲線之理想輪廓線的函數，重複以下兩處理1次以上，以取得理想輪廓線資訊，該兩處理為：除去描繪圖形輪廓點的處理，該描繪圖形輪廓點為與由該理想輪廓線資訊所示之理 想輪廓線間的距離以大到滿足預定條件的程度；以及利用該削除後的3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的對應點間的距離來取得前述理想輪廓線資訊的處理；理想輪廓點取得部，利用前述基準輪廓線資訊和前述理想輪廓線資訊，取得從位於前述基準輪廓線上的任意的點起任意路徑長度的3個以上的點的對象點到對應於該對象點的前述理想輪廓線上的點的距離，且取得位在從前述對象點起而距該取得的距離的點，並取得顯示該所取得的點之3個以上理想輪廓點的資訊之理想輪廓點資訊；以及輸出部，輸出前述理想輪廓點資訊。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的資訊處理裝置，其中，前述描繪圖形輪廓點資訊是顯示3個以上實測輪廓點的資訊之實際觀測輪廓點的資訊，該3個以上實測輪廓點是實際觀測輪廓線上的點，該實際觀測輪廓線是利用拍攝電子束描繪裝置按照圖案圖形所描繪的圖形的影像來取得的該圖形的輪廓線，還包括：校正輪廓點取得部，該校正輪廓點取得部取得與前述3個以上各實際觀測輪廓點對應的前述基準輪廓線的坐標系的點，並取得校正輪廓點資訊，該校正輪廓點資訊是顯示該所取得的點之3個以上校正輪廓點的資訊，前述理想輪廓線取得部利用前述基準輪廓線資訊和前述校正輪廓點資訊，取得前述理想輪廓線資訊。
  6. 一種資訊處理方法，係利用受理部、變換資訊取得部、校正輪廓點取得部和輸出部來進行，該方法具有以下步驟：受理步驟，前述受理部係受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，該圖案資訊是顯示令電子束描繪裝置描繪的圖形之圖案圖形的資訊，實際觀測輪廓線資訊是顯示利用影像而取得的該圖形的輪廓線之實際觀測輪廓線的資訊，所述影像是拍攝電子束描繪裝置按照前述圖案圖形所描繪的圖形的影像；變換資訊取得步驟，前述變換資訊取得部係利用前述圖案資訊和前述 實際觀測輪廓線資訊，取得用於將前述實際觀測輪廓線上的點之3個以上各實際觀測輪廓點校正為將該3個以上各實際觀測輪廓點校正後的點之3個以上校正輪廓點的資訊，且該資訊為將對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上的各校正輪廓點的捲積值與有關該捲積值的臨界值間的差的平方和進行最小化的資訊的變換資訊；校正輪廓點取得步驟，前述校正輪廓點取得部係利用前述實際觀測輪廓線資訊和前述變換資訊，取得與前述3個以上各實際觀測輪廓點對應的前述3個以上校正輪廓點，且取得顯示該所取得的3個以上校正輪廓點的資訊之校正輪廓點資訊；以及輸出步驟，前述輸出部輸出前述校正輪廓點資訊。
  7. 一種資訊處理方法，係利用受理部、理想輪廓線取得部、理想輪廓點取得部和輸出部來進行，該方法具有以下步驟：受理步驟，前述受理部係受理描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊，該描繪圖形輪廓點資訊是顯示電子束描繪裝置按照圖案圖形所描繪的圖形的輪廓線上的點之3個以上描繪圖形輪廓點的資訊，該基準輪廓線資訊是顯示對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上各描繪圖形輪廓點的捲積值的分佈中之1個以上的等值線中任意1個等值線之基準輪廓線的資訊；理想輪廓線取得步驟，前述理想輪廓線取得部係利用前述描繪圖形輪廓點資訊和前述基準輪廓線資訊，取得前述3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的基準輪廓線上的點之對應點間的距離，並取得理想輪廓線資訊，該理想輪廓線資訊為由基準輪廓線上的任意點到該對應點的路徑長度而取得該距離的函數，即，顯示近似該距離的曲線之理想輪廓線的函數，重複以下兩處理1次以上，以取得理想輪廓線資訊，該兩處理為：除去描繪圖形輪廓點的處理，該描繪圖形輪廓點為與由該理想輪廓線資訊所示之理想輪廓線間的距離以大到滿足預定條件的程度；以及利用該削除後的3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的對應點間的距離來取得前述理想輪廓線資訊的處理；理想輪廓點取得步驟，前述理想輪廓點取得部係利用前述基準輪廓線 資訊和前述理想輪廓線資訊，取得從位於前述基準輪廓線上的任意的點起任意路徑長度的3個以上的點之對象點到對應於該對象點的前述理想輪廓線上的點的距離，且取得位在從前述對象點起而距該取得的距離的點，並取得顯示該所取得的點之3個以上理想輪廓點的資訊的理想輪廓點資訊；以及輸出步驟，前述輸出部輸出前述理想輪廓點資訊。
  8. 一種記錄媒體，係記錄使得電腦產生下述各部功能的程式：受理部，受理圖案資訊和實際觀測輪廓線資訊，該圖案資訊是顯示令電子束描繪裝置描繪的圖形之圖案圖形的資訊，實際觀測輪廓線資訊是顯示利用影像而取得之該圖形的輪廓線之實際觀測輪廓線的資訊，所述影像是拍攝電子束描繪裝置按照前述圖案圖形所描繪的圖形的影像；變換資訊取得部，利用前述圖案資訊和前述實際觀測輪廓線資訊，取得用於將前述實際觀測輪廓線上的點之3個以上各實際觀測輪廓點校正為將該3個以上各實際觀測輪廓點校正後的點之3個以上校正輪廓點的資訊，且該資訊為將對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上的各校正輪廓點的捲積值與有關該捲積值的臨界值間的差的平方和進行最小化的資訊；校正輪廓點取得部，利用前述實際觀測輪廓線資訊和前述變換資訊，取得與前述3個以上各實際觀測輪廓點對應的前述3個以上校正輪廓點，且取得顯示該所取得的3個以上校正輪廓點的資訊之校正輪廓點資訊；以及輸出部，輸出前述校正輪廓點資訊。
  9. 一種記錄媒體，係記錄使得電腦產生下述各部功能的程式：受理部，受理描繪圖形輪廓點資訊和基準輪廓線資訊，該描繪圖形輪廓點資訊是顯示電子束描繪裝置按照圖案圖形所描繪的圖形的輪廓線上的點之3個以上描繪圖形輪廓點的資訊，該基準輪廓線資訊是顯示對圖案圖形所示區域內之任意的點擴展函數的3個以上各描繪圖形輪廓點的捲積值的分佈中之1個以上的等值線中任意1個等值線之基準輪廓線的資訊； 理想輪廓線取得部，利用前述描繪圖形輪廓點資訊和前述基準輪廓線資訊，取得前述3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的基準輪廓線上的點之對應點間的距離，並取得理想輪廓線資訊，該理想輪廓線資訊為由基準輪廓線上的任意點到該對應點的路徑長度取得該距離的函數，即，顯示近似該距離的曲線之理想輪廓線的函數的理想輪廓線資訊，重複以下兩處理1次以上，以取得理想輪廓線資訊，該兩處理為：除去描繪圖形輪廓點的處理，該描繪圖形輪廓點為與由該理想輪廓線資訊所示之理想輪廓線間的距離以大到滿足預定條件的程度；以及利用該削除後的3個以上各描繪圖形輪廓點和與該3個以上各描繪圖形輪廓點對應的對應點間的距離來取得前述理想輪廓線資訊的處理；理想輪廓點取得部，利用前述基準輪廓線資訊和前述理想輪廓線資訊，取得從位於前述基準輪廓線上之任意的點起任意路徑長度的3個以上的點之對象點到對應於該對象點的前述理想輪廓線上的點的距離，且取得位在從前述對象點起而距該取得的距離的點，並取得顯示該所取得的點之3個以上理想輪廓點的資訊之理想輪廓點資訊；以及輸出部，輸出前述理想輪廓點資訊。
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