WO2015146313A1 - 情報処理装置、情報処理方法、および記録媒体 - Google Patents

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WO2015146313A1
WO2015146313A1 PCT/JP2015/053365 JP2015053365W WO2015146313A1 WO 2015146313 A1 WO2015146313 A1 WO 2015146313A1 JP 2015053365 W JP2015053365 W JP 2015053365W WO 2015146313 A1 WO2015146313 A1 WO 2015146313A1
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points
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大 角田
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日本コントロールシステム株式会社
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    • H01J2237/2817—Pattern inspection

Definitions

  • the present invention relates to an information processing apparatus that outputs information indicating three or more points on a contour line of a graphic drawn by an electron beam drawing apparatus.
  • MPC Manufacturing Process Correction
  • Contour Based Calibration see Patent Document 1
  • the information processing apparatus includes pattern information, which is information indicating a pattern figure to be drawn by the electron beam drawing apparatus, and an image obtained by photographing the figure drawn by the electron beam drawing apparatus according to the pattern figure.
  • pattern information which is information indicating a pattern figure to be drawn by the electron beam drawing apparatus, and an image obtained by photographing the figure drawn by the electron beam drawing apparatus according to the pattern figure.
  • the reception unit that receives the actual observation contour information that is the information indicating the actual observation contour that is the contour of the figure acquired by using the pattern information and the actual observation contour information, on the actual observation contour
  • This is information for correcting each of the three or more actual observation contour points that are the points of the three points to three or more correction contour points that are the points obtained by correcting the three or more actual observation contour points, and is an area indicated by the pattern figure
  • a conversion information acquisition unit that acquires conversion information that is information that minimizes a sum of squares of a difference between a convolution value for each of the three or more correction contour points of an arbitrary point spread function and
  • information processing apparatus or the like According to the information processing apparatus or the like according to the present invention, information indicating three or more points on the contour line of the graphic drawn by the electron beam drawing apparatus can be acquired with higher accuracy.
  • Block diagram of information processing apparatus 1 according to Embodiment 1 Overview of the smoothing process and outlier removal process Overview of the process for calculating the ideal contour point A flowchart for explaining the overall operation of the information processing apparatus 1 A flowchart for explaining the overall operation of the information processing apparatus 1 Flowchart for explaining acquisition process of the ideal contour point information
  • the figure which shows the example of the same pattern figure Diagram showing an example of a real observation contour The figure which shows the example of the same observation outline information
  • the figure which shows the example of the same correction outline A diagram showing the path length to the target point and the distance to the corrected contour point Diagram showing the corrected contour points Diagram showing the ideal outline
  • Block diagram of the information processing apparatus 1 Block diagram of the information processing apparatus 1 Overview of the computer system in the above embodiment Block diagram of a computer system in the above embodiment
  • FIG. 1 is a block diagram of the information processing apparatus 1 in the present embodiment.
  • the information processing apparatus 1 includes a reception unit 11, a conversion information acquisition unit 12, a corrected contour point acquisition unit 13, an ideal contour line acquisition unit 14, an ideal contour point acquisition unit 15, and an output unit 16.
  • the accepting unit 11 accepts pattern information, actual observation contour information, drawn figure contour point information, reference contour information, and the like. Hereinafter, these pieces of information will be described sequentially.
  • the figure drawn by the electron beam drawing apparatus according to the pattern figure will be referred to as a drawing figure as appropriate.
  • an image obtained by photographing the drawing figure is hereinafter referred to as a photographed image.
  • the drawing figure in the photographed image will be appropriately referred to as a photography drawing figure hereinafter.
  • a figure that simulates a figure that the electron beam drawing apparatus draws according to a pattern figure is hereinafter referred to as a simulated figure as appropriate.
  • the pattern figure is a figure to be drawn by the electron beam drawing apparatus.
  • acquisition of a captured image is usually performed by an SEM (scanning electron microscope).
  • the pattern information is information indicating a pattern figure.
  • the pattern information is, for example, so-called layout data or data called pattern data.
  • the data format of pattern information is not ask
  • the data format of the pattern information is usually a data format called so-called mask design data or layout design data. Specific data formats of the pattern information are, for example, GDS-2, OASIS, MEBES, and the like.
  • the pattern information usually indicates one pattern figure.
  • the actual observation contour information is information indicating the actual observation contour.
  • the actual observation outline is an outline of a photographed drawing figure.
  • the actual observation contour information is information having the coordinates of three or more points constituting the actual observation contour.
  • the three or more points are usually all points constituting the actual observation contour line.
  • the three or more points may be points on the actual observation contour sampled to such an extent as to constitute the actual observation contour.
  • the points constituting the actual observation contour line are appropriately referred to as actual observation contour points.
  • the actual observation contour point is a point on the actual observation contour line.
  • the outline of the photographed drawing figure is indicated by, for example, pixels constituting the photographed image. In other words, the points constituting the outline of the photographed drawing figure are usually indicated by the pixels constituting the photographed image.
  • the three or more coordinates included in the actual observation contour information are usually the coordinates of the pixel.
  • three or more coordinates included in the actual observation contour information are usually integers.
  • the method, procedure, etc. which acquire real observation outline information are well-known, detailed description is abbreviate
  • the drawing figure contour point information is information indicating three or more drawing figure contour points.
  • a drawing figure outline point is a point which comprises a drawing figure outline. Further, the drawing figure outline is an outline of the drawing figure. It can also be said that the drawing figure outline point is a point on the drawing figure outline.
  • the drawing figure outline point is usually a point on the outline of the drawing figure that is accurate to the extent that correction is not required.
  • the correction is, for example, correction of misalignment, size, distortion, and the like.
  • the correction is also coordinate conversion (linear conversion), for example. That is, the drawing figure contour point is, for example, a corrected contour point.
  • the corrected contour point is an actual observation contour point that has been corrected.
  • the drawn figure contour point is an actual observation contour point that is accurate to the extent that correction is not necessary, for example.
  • the drawing figure outline is usually an outline of the drawing figure that is accurate to the extent that correction is not required. That is, the drawing figure outline is, for example, a corrected outline.
  • the corrected contour is an actual observation contour that has been corrected.
  • the drawing figure outline is an actual observation outline that is accurate to the extent that correction is not required, for example.
  • an actual observation contour point that is accurate to the extent that correction is not necessary is hereinafter referred to as an accurate actual observation contour point as appropriate.
  • an actual observation contour line that is accurate to the extent that correction is not necessary is hereinafter referred to as an accurate actual observation contour line as appropriate.
  • the actual observation contour point that needs to be corrected is hereinafter referred to as an actual observation contour point that needs correction as appropriate.
  • the actual observation contour line that needs to be corrected is hereinafter referred to as an actual observation contour line that needs correction as appropriate.
  • the actual observation contour indicated by the actual observation contour information received by the receiving unit 11 is normally a correction required actual observation contour.
  • the drawing figure contour point information is information having the coordinates of three or more drawing figure contour points.
  • the three or more drawing figure outline points are any three or more drawing figure outline points among the drawing figure outline points constituting the drawing figure outline.
  • the drawing figure contour point information may include, for example, the coordinates of all three or more drawing figure contour points constituting the drawing figure contour line.
  • the coordinates consist of two numerical values, an x coordinate and a y coordinate.
  • the numerical value is usually an integer, but may be a decimal.
  • the reference contour information is information indicating the reference contour.
  • the reference outline is any one of one or more isolines in a distribution of convolution values of an arbitrary point spread function in an area indicated by a pattern figure.
  • the reference contour line is, for example, any one isoline of one or more isolines indicating the intensity of the electron beam.
  • the intensity is the intensity of the electron beam when the electron beam is incident on the entire pattern figure (intensity at the time of drawing the figure according to the pattern figure by the electron beam drawing apparatus).
  • the reference contour information is information having the coordinates of all three or more points constituting the reference contour, for example.
  • the reference contour information is hereinafter appropriately referred to as anchor contour information.
  • the reference contour line is hereinafter appropriately referred to as an anchor contour line.
  • actual observation contour point information information indicating three or more actual observation contour points is hereinafter referred to as actual observation contour point information as appropriate.
  • the three or more actual observation contour points are any three or more actual observation contour points among the actual observation contour points constituting the actual observation contour line.
  • the actual observation contour point information may include, for example, the coordinates of all three or more actual observation contour points constituting the actual observation contour line.
  • the coordinates consist of two numerical values, an x coordinate and a y coordinate. The numerical value is usually an integer, but may be a decimal.
  • the drawing figure outline information is information having the coordinates of three or more points constituting the drawing figure outline.
  • the three or more points are usually all points constituting the drawing figure outline. Further, the three or more points may be points on the drawing figure outline sampled to such an extent as to constitute the drawing figure outline.
  • the three or more coordinates included in the drawing figure outline information are composed of two numerical values, that is, an x coordinate and ay coordinate. The numerical value is usually an integer, but may be a decimal.
  • the coordinates may be vectors.
  • the actual observation contour information received by the receiving unit 11 may be, for example, actual observation contour point information.
  • the drawing figure outline point information received by the receiving unit 11 may be, for example, drawing figure outline information.
  • the accepting unit 11 usually accepts pattern information and actual observation contour information. Moreover, the reception part 11 may receive drawing figure outline point information and reference
  • Acceptance refers to acquisition of information input from an input device such as a touch panel or a keyboard, acquisition of information stored in a recording medium such as an optical disk, magnetic disk, or semiconductor memory, via a wired or wireless communication line. It is a concept that includes reception of information transmitted in the same manner.
  • the input means such as information and instructions in the reception unit 11 may be anything such as a menu screen or a keyboard.
  • the accepting unit 11 can be realized by control software for a menu screen, a device driver for input means such as a keyboard, and the like.
  • the conversion information acquisition unit 12 acquires conversion information.
  • the conversion information is information for converting an actual observation contour point into another corresponding point.
  • the conversion information is information for calculating the coordinates of other corresponding points using the coordinates of the actual observation contour points. It can also be said that the conversion information is information for correcting the actual observation contour point (information for correcting the actual observation contour point). That is, it can be said that the conversion information is information for calculating a correction contour point using the actual observation contour point.
  • the conversion information is usually information having one or more parameters.
  • the information having the one or more parameters is, for example, a vector.
  • the conversion information may be a function, for example.
  • the function is usually a function having the vector.
  • the conversion information that is a vector is hereinafter referred to as a conversion vector as appropriate.
  • the conversion information that is a function is hereinafter referred to as a conversion function as appropriate.
  • acquiring a point means acquiring the coordinates of the point.
  • calculating a point means calculating the coordinates of the point.
  • acquiring a line means acquiring information indicating the line.
  • calculating a line means calculating information indicating the line.
  • the information indicating the line is, for example, information having the coordinates of all the two or more points constituting the line, a function indicating the line, or the like.
  • the acquisition usually includes calculation.
  • the conversion information acquisition unit 12 usually acquires conversion information using pattern information and actual observation contour information. In this case, the conversion information acquisition unit 12 normally acquires reference contour information along with the conversion information.
  • the conversion information acquisition unit 12 calculates the sum of squares of the difference between the convolution value for each of the three or more correction contour points of an arbitrary point spread function in the region indicated by the pattern figure and the threshold value for the convolution value.
  • the conversion information to be minimized and the threshold value are calculated.
  • the threshold value is appropriately referred to as a convolution threshold value.
  • the conversion information acquisition part 12 acquires reference
  • the conversion information is a conversion vector.
  • the conversion vector is ⁇ .
  • the coordinate of the i-th actual observation contour point is set to x M i .
  • T is the convolution threshold.
  • M be a function that calculates the coordinates of the corrected contour point using the coordinates of the actual observation contour point and the conversion information.
  • a function for calculating a convolution value for a correction contour point of an arbitrary point spread function in the region indicated by the pattern graphic using the coordinates of the correction contour point is represented by I.
  • the conversion information acquisition unit 12 calculates ⁇ and T that minimize the value calculated from Equation 1.
  • the solution for calculating ⁇ and T in Equation 1 is, for example, the nonlinear least square method.
  • the nonlinear least square method include the Gauss-Newton method and the Levenberg-Marquardt method.
  • the function I in Expression 1 is Expression 2.
  • Formula 2 is a function that calculates a convolution value for a point x of an arbitrary point spread function within the area pattern indicated by the pattern graphic indicated by the pattern information.
  • x is the coordinate of the point x.
  • R is the coordinates of a point in the area pattern.
  • Equation 3 is a function indicating electron beam scattering (intensity distribution) at a certain point, and is a point spread function (Point ⁇ ⁇ Spread Function: PSF).
  • ⁇ is a parameter indicating the degree of electron beam scattering.
  • Equation 2 has an influence (energy) on the point x when the electron beam is incident on the entire region (electron beam irradiation region) pattern in the pattern figure indicated by the pattern information. Is a function for calculating the size of. It can be said that the magnitude of the influence is the intensity of the electron beam.
  • the function p may be anything as long as it is a point spread function that satisfies all of the following conditions. (1) It decreases monotonously. (2) When x-> ⁇ , p (x) converges to 0. (3) The integration in the interval from 0 to ⁇ of p (r) ⁇ r converges to a certain constant.
  • the conversion information acquisition unit 12 may acquire, for example, M in Equation 1 that is a function having the calculated ⁇ as conversion information.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 acquires the corrected contour point information using the actual observation contour line information and the conversion information.
  • the actual observation contour information is actual observation contour information received by the receiving unit 11.
  • the conversion information is conversion information acquired by the conversion information acquisition unit 12. Further, the conversion information may be, for example, conversion information held in advance by the corrected contour point acquisition unit 13.
  • the conversion information acquired by the conversion information acquisition unit 12 is appropriately referred to as acquired conversion information.
  • the conversion information held in advance by the corrected contour point acquisition unit 13 will be appropriately referred to as holding conversion information.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 calculates three or more corrected contour points corresponding to three or more actual observation contour points. That is, the corrected contour point acquisition unit 13 calculates one corrected contour point corresponding to the actual observation contour point for each of the three or more actual observation contour points.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 acquires, for example, the coordinates of three or more actual observation contour points used by the conversion information acquisition unit 12 for acquiring the conversion information from the actual observation contour information. To do. Then, the corrected contour point acquisition unit 13 applies the acquired conversion information to the coordinates of each of the three or more actual observation contour points, and calculates the coordinates of the three or more corrected contour points.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 applies, for example, one or more parameters of the conversion vector to the coordinates of each of the three or more actual observation contour points, The coordinates of three or more corrected contour points are calculated.
  • “Applying parameters” means, for example, performing a predetermined calculation using parameters.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 substitutes the coordinates of each of the three or more actual observation contour points into the conversion function, and uses the coordinates of the three or more corrected contour points. calculate. Then, the corrected contour point acquisition unit 13 acquires corrected contour point information having the coordinates of the calculated three or more corrected contour points.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 acquires, for example, the coordinates of three or more actual observation contour points at predetermined intervals from the actual observation contour information. Then, the corrected contour point acquisition unit 13 calculates the coordinates of the three or more corrected contour points using the acquired coordinates of the three or more actual observation contour points and the holding conversion information. Since the method and procedure for calculating the coordinates of the corrected contour point are the same as in the case of using the acquired conversion information, the description thereof is omitted. Then, the corrected contour point acquisition unit 13 acquires corrected contour point information having the coordinates of the calculated three or more corrected contour points.
  • the ideal contour acquisition unit 14 acquires ideal contour information.
  • the ideal outline information is information indicating an ideal outline.
  • the ideal contour line is also a curve that approximates three or more corrected contour points.
  • the ideal contour line is, for example, a contour line of a drawing figure, and can be said to be an ideal contour line that does not include errors such as noise and positional deviation.
  • the ideal contour information is usually a function that calculates the distance from the target point on the reference contour to the ideal contour point corresponding to the target point by the path length from the reference point to the target point.
  • the target point is a point on the reference contour line (reference contour point), which is a target for calculating the distance to the ideal contour point.
  • the reference point is an arbitrary point (reference contour point) on the reference contour line, and serves as a reference for calculating a path length to the target point.
  • the path length is the length of the reference contour line. That is, for example, the path length from the point a on the reference contour to the point b on the reference contour is the length of the reference contour from the point a to the point b.
  • the ideal contour line information may be a function for calculating the coordinates of the ideal contour point, for example.
  • the function may be, for example, a function that calculates the y coordinate of the ideal contour point based on the x coordinate of the ideal contour point, or a function that calculates the x coordinate of the ideal contour point based on the y coordinate of the ideal contour point.
  • the ideal contour information may be information having the coordinates of three or more points constituting the ideal contour, for example.
  • the three or more points are usually all points constituting the ideal contour line.
  • the three or more points may be points on the ideal contour sampled to such an extent as to form the ideal contour line, for example.
  • the points constituting the ideal contour line are appropriately referred to as ideal contour points.
  • the ideal contour point is, for example, a point on the ideal contour line.
  • the coordinates of the ideal contour information are composed of two numerical values, the x coordinate and the y coordinate. The numerical value is usually an integer, but may be a decimal.
  • the ideal contour acquisition unit 14 usually acquires ideal contour information using the corrected contour point information and the reference contour information.
  • the corrected contour point information is corrected contour point information acquired by the corrected contour point acquisition unit 13.
  • the reference contour information is reference contour information acquired by the conversion information acquisition unit 12.
  • the corrected contour point information may be, for example, the drawing figure contour point information received by the receiving unit 11.
  • the reference contour information may be reference contour information received by the receiving unit 11, for example.
  • the ideal contour acquisition unit 14 is a function that calculates the distance from the target point on the reference contour to the ideal contour point corresponding to the target point by the path length from the reference point to the target point. Get line information. For example, the ideal contour acquisition unit 14 first calculates the distance between each of the three or more corrected contour points and a point on the reference contour corresponding to the corrected contour point.
  • the reference contour point corresponding to the one correction contour point is appropriately referred to as a first corresponding point.
  • the ideal contour acquisition unit 14 is a function that calculates the calculated distance from a path length from an arbitrary point on the reference contour to the first corresponding point, and a function indicating a curve that approximates the distance is an ideal Calculate as contour information.
  • this processing is appropriately referred to as smoothing processing.
  • the ideal contour acquisition unit 14 removes correction contour points that are so large that the distance from the ideal contour indicated by the calculated ideal contour information satisfies a predetermined condition.
  • this processing is appropriately referred to as outlier removal processing.
  • removing the correction contour point means, for example, deleting the coordinates of the correction contour point from the correction contour point information.
  • the outlier removal processing is performed using a technique such as Smirnov-Grubbs test.
  • the ideal outline acquisition part 14 applies the said smoothing process with respect to the correction
  • the ideal contour acquisition unit 14 associates each of the three or more corrected contour points with the first corresponding point that is the reference contour point on the reference contour one by one.
  • the ideal contour acquisition unit 14 calculates the distance from the first corresponding point for each of the three or more corrected contour points.
  • the ideal contour acquisition unit 14 is a function indicating a curve that approximates the distance of 3 or more calculated in (2), and the distance is determined by a path length from an arbitrary point on the reference contour to a corresponding point.
  • a function to be calculated is calculated as ideal outline information.
  • the ideal contour acquisition unit 14 uses the ideal contour information (function) calculated in (3) for each of the three or more corrected contour points, on the ideal contour line indicated by the ideal contour information. Calculate the corresponding points.
  • a point on the ideal contour line corresponding to the one correction contour point is appropriately referred to as a second corresponding point.
  • the ideal contour acquisition unit 14 calculates the distance from the second corresponding point calculated in (4) for each of the three or more corrected contour points.
  • the ideal contour acquisition unit 14 deletes a corrected contour point that is so large that the distance calculated in (5) satisfies a predetermined condition. And the ideal outline acquisition part 14 complete
  • the ideal contour acquisition unit 14 returns to (3). That is, the ideal contour acquisition unit 14 applies the process (3) to three or more corrected contour points after the deletion in (6).
  • to associate the corrected contour point with the first corresponding point is to associate the coordinates of the corrected contour point with the coordinates of the first corresponding point.
  • the ideal contour acquisition unit 14 usually acquires a normal to the reference contour at three or more points on the reference contour. And the ideal outline acquisition part 14 matches the correction
  • FIG. 1 a schematic diagram of the above processing is, for example, FIG. 1
  • the ideal contour line acquisition unit 14 may acquire ideal contour line information using only the corrected contour point information, for example.
  • the corrected contour point information is corrected contour point information acquired by the corrected contour point acquisition unit 13. Further, the corrected contour point information may be, for example, the drawing figure contour point information received by the receiving unit 11.
  • the ideal contour acquisition unit 14 for example, ideal contour information that is a function for calculating the coordinates of the ideal contour point, or an ideal having the coordinates of all three or more ideal contour points constituting the ideal contour line. Get contour line information.
  • the ideal contour acquisition unit 14 When calculating ideal contour information, which is a function for calculating the coordinates of ideal contour points, the ideal contour acquisition unit 14 approximates the n corrected contour points for each of n consecutive corrected contour points, for example. Three or more functions indicating the straight line or curve to be calculated are calculated. The n is preferably 2 or more and smaller than the number of coordinates of the corrected contour point included in the corrected contour point information. At this time, the ideal contour acquisition unit 14 calculates a function that passes through two corrected contour points at both ends, for example. Further, since a method and a procedure for calculating a function indicating the straight line or curve are known, detailed description thereof will be omitted.
  • the ideal contour acquisition unit 14 associates the definition region or the value region indicated by the coordinates of the corrected contour point used for the calculation with the three or more functions.
  • a domain is usually preferred.
  • the ideal outline acquisition part 14 acquires the ideal outline information which is 3 or more functions with which the 3 or more definition area or value range matched.
  • the ideal contour acquisition unit 14 when calculating ideal contour information having coordinates of all three or more ideal contour points constituting the ideal contour, corresponds to, for example, a definition region or a value region as described above. Calculate the three or more functions attached. Then, the ideal outline acquisition unit 14 uses the calculated three or more functions, and is the coordinates of three or more points constituting the straight line or curve indicated by the function, and the corresponding domain or range of the corresponding range The coordinates in are calculated. And the ideal outline acquisition part 14 acquires the ideal outline information which has the coordinate of all the 3 or more ideal outline points which comprise an ideal outline.
  • the ideal outline acquisition unit 14 may acquire ideal outline information by a method other than the above using only the corrected outline point information, for example.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information.
  • the ideal contour point information is information indicating three or more ideal contour points.
  • the ideal contour point information is information having coordinates of three or more ideal contour points.
  • the three or more ideal contour points are any three or more ideal contour points among the ideal contour points constituting the ideal contour line.
  • the ideal contour point information may include, for example, the coordinates of all three or more ideal contour points that constitute the ideal contour line.
  • the coordinates consist of two numerical values, an x coordinate and a y coordinate. The numerical value is usually an integer, but may be a decimal.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 usually acquires ideal contour point information using ideal contour information and reference contour information.
  • the ideal outline information is ideal outline information acquired by the ideal outline acquisition unit 14.
  • the said ideal outline information is a function which shows an ideal outline.
  • the function is a function related to a path length from an arbitrary point on the reference contour line.
  • the reference contour information is reference contour information used by the ideal contour acquisition unit 14 to acquire ideal contour information. That is, for example, when the ideal contour acquisition unit 14 acquires ideal contour information using the reference contour information received by the reception unit 11, the ideal contour point acquisition unit 15 receives the reference contour received by the reception unit 11.
  • Use line information For example, when the ideal contour acquisition unit 14 acquires an ideal contour using the reference contour information acquired by the conversion information acquisition unit 12, the ideal contour point acquisition unit 15 acquires the conversion information acquisition unit 12.
  • the reference outline information is used.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 first calculates target points that are three or more points in an arbitrary path length from the reference point on the reference contour line.
  • the intervals between the three or more target points are usually equal intervals, but this need not be the case. That is, the ideal contour point acquisition unit 15 normally calculates three or more target points for each predetermined route length from the reference point on the reference contour line.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 may calculate three or more target points for every three or more different arbitrary path lengths from the reference point on the reference contour, for example. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 calculates distances corresponding to the calculated three or more target points using ideal contour line information (function).
  • the ideal contour point acquisition unit 15 calculates the ideal contour point by adding the calculated distance to the target point. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information having the coordinates of three or more ideal contour points.
  • a schematic diagram of the process is, for example, FIG.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information using, for example, ideal contour line information.
  • the ideal outline information is ideal outline information acquired by the ideal outline acquisition unit 14.
  • the ideal contour line information is information having the coordinates of all three or more ideal contour points constituting the ideal contour line.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 acquires the coordinates of three or more ideal contour points for each predetermined interval from the ideal contour line information. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information having the coordinates of the three or more acquired ideal contour points.
  • the output unit 16 normally outputs ideal contour point information.
  • the ideal contour point information is ideal contour point information acquired by the ideal contour point acquisition unit 15. Moreover, the output part 16 outputs correction
  • the corrected contour point information is corrected contour point information acquired by the corrected contour point acquisition unit 13.
  • the ideal contour point information and the corrected contour point information output from the output unit 16 are usually calibration contour point information. That is, the output unit 16 normally outputs ideal contour point information and corrected contour point information as calibration contour point information.
  • the calibration contour point information is information used for the calibration of the pattern figure.
  • the calibration contour point information is also information having three or more coordinates.
  • the calibration contour point information is information that accurately indicates the contour line of the drawing figure, and can be said to be information having the coordinates of three or more points on the contour line of the drawing figure.
  • output refers to display on a display, projection using a projector, printing with a printer, sound output, transmission to an external device, accumulation in a recording medium, processing to other processing devices or other programs, etc. It is a concept that includes delivery of results. In addition, regarding transmission, accumulation, and delivery of processing results, an output target is finally presented to the user.
  • the output unit 16 may be considered to include an output device such as a display or a speaker, or may not be included.
  • the output unit 16 can be realized by driver software of an output device or driver software of an output device and an output device.
  • the conversion information acquisition unit 12, the corrected contour point acquisition unit 13, the ideal contour line acquisition unit 14, and the ideal contour point acquisition unit 15 can be usually realized by an MPU, a memory, or the like.
  • the processing procedure of the conversion information acquisition unit 12 and the like is usually realized by software, and the software is recorded on a recording medium such as a ROM.
  • the conversion information acquisition unit 12 and the like may be realized by hardware (dedicated circuit).
  • FIG. 4 is a flowchart showing the overall operation of the information processing apparatus 1.
  • the information processing apparatus 1 acquires conversion information and reference contour information using pattern information and actual observation contour information. And the said information processing apparatus 1 acquires correction
  • Step S401 The conversion information acquisition unit 12 determines whether or not the reception unit 11 has received actual observation contour information. If accepted, the process proceeds to step S402; otherwise, the process returns to step S401.
  • Step S402 The conversion information acquisition unit 12 determines whether the reception unit 11 has received pattern information. If accepted, the process proceeds to step S403, and if not, the process returns to step S401.
  • Step S403 The conversion information acquisition unit 12 acquires conversion information and reference contour information using the actual observation contour information received in Step S401 and the pattern information received in Step S402.
  • Step S404 The corrected contour point acquisition unit 13 acquires corrected contour point information using the actual observation contour information received in step S401 and the conversion information calculated in step S403.
  • Step S405 The ideal contour acquisition unit 14 uses the reference contour information acquired in step S403 and the corrected contour point information acquired in step S404, and each of three or more corrected contour points indicated by the corrected contour point information. On the other hand, the distance between each of the three or more corrected contour points and the first corresponding point is calculated.
  • the ideal contour line acquisition unit 14 shows a curve that approximates the distance between the three or more corrected contour points indicated by the corrected contour point information and the first corresponding points corresponding to the three or more corrected contour points.
  • the ideal contour information which is a function and is a function for calculating a distance corresponding to the first corresponding point, is obtained from the path length from the reference point on the reference contour to each of the three or more first corresponding points.
  • Step S407 The ideal contour acquisition unit 14 calculates the distance between each of the three or more corrected contour points and the second corresponding point for each of the three or more corrected contour points indicated by the corrected contour point information.
  • Step S408 The ideal contour acquisition unit 14 determines whether there is an outlier (a distance that is large enough to satisfy a predetermined condition) for the distance of 3 or more calculated in Step S407. For example, the ideal contour acquisition unit 14 determines whether or not each of the three or more distances calculated in step S407 is large enough to satisfy a predetermined condition. If it is large enough to satisfy a predetermined condition, the ideal contour acquisition unit 14 determines that the value is an outlier, and if the predetermined condition is not satisfied, the ideal contour acquisition unit 14 Judge that it is not a value. When the number determined to be an outlier is 1 or more, the ideal contour acquisition unit 14 determines that an outlier exists. If the number determined to be an outlier is 0, the ideal contour acquisition unit 14 determines that no outlier exists. And when it exists, it progresses to step S409, and when that is not right, it progresses to step S410.
  • an outlier a distance that is large enough to satisfy a predetermined condition
  • Step S409 The ideal contour acquisition unit 14 deletes the corrected contour point corresponding to the distance determined to be an outlier in step S408 from the corrected contour point information. Then, the process returns to step S706.
  • Step S410 The ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information using the reference contour information acquired in step S403 and the ideal contour information acquired in step S406.
  • Step S411 The output unit 16 outputs the ideal contour point information acquired in Step S410. Further, the output unit 16 may output the corrected contour point information acquired in step S404, for example. Then, the process returns to step S401.
  • FIG. 5 shows the overall operation of the information processing apparatus 1 when the ideal contour point information is acquired using the received drawing figure contour point information or the acquired corrected contour point information and the ideal contour point information is output. It is a flowchart.
  • Step S501 The ideal contour acquisition unit 14 determines whether or not the reception unit 11 has received drawing figure contour point information. If accepted, the process proceeds to step S504, and if not, the process proceeds to step S502.
  • Step S502 The ideal contour acquisition unit 14 determines whether the reception unit 11 has received actual observation contour point information. If accepted, the process proceeds to step S503; otherwise, the process returns to step S501.
  • Step S503 The correction contour point acquisition unit 13 acquires correction contour point information using the actual observation contour point information received in step S502 and the conversion information held in advance.
  • Step S504 The ideal contour acquisition unit 14 determines whether the receiving unit 11 has received the reference contour information. If accepted, the process proceeds to step S505, and if not, the process returns to step S501.
  • Step S505 the drawing figure contour point information received in step S501 and the corrected contour point information acquired in step S503 are set as processing target point information. Further, the drawing figure contour point indicated by the drawing figure contour point information and the correction contour point indicated by the correction contour point information are set as processing target points.
  • the ideal contour acquisition unit 14 uses the processing target point information and the reference contour information received in step S504 for each of the three or more processing target points indicated by the processing target point information. The distance between the target point and the first corresponding point is calculated.
  • the ideal contour acquisition unit 14 calculates a curve that approximates the distance between the three or more processing target points indicated by the processing target point information and the first corresponding points corresponding to the three or more processing target points.
  • the ideal contour information which is a function for calculating the distance corresponding to the first corresponding point, is acquired based on the path length from the reference point on the reference contour to each of the three or more first corresponding points.
  • Step S507 For the three or more processing target points indicated by the processing target point information, the ideal contour acquisition unit 14 calculates the distance between the three or more processing target points and the second corresponding point.
  • Step S508 The ideal contour acquisition unit 14 determines whether there is an outlier (a distance that is large enough to satisfy a predetermined condition) for the distance of 3 or more calculated in Step S507. For example, the ideal contour acquisition unit 14 determines whether or not each of the three or more distances calculated in step S507 is large enough to satisfy a predetermined condition. If it is large enough to satisfy a predetermined condition, the ideal contour acquisition unit 14 determines that the value is an outlier, and if the predetermined condition is not satisfied, the ideal contour acquisition unit 14 Judge that it is not a value. When the number determined to be an outlier is 1 or more, the ideal contour acquisition unit 14 determines that an outlier exists. If the number determined to be an outlier is 0, the ideal contour acquisition unit 14 determines that no outlier exists. If it exists, the process proceeds to step S509, and if not, the process proceeds to step S510.
  • an outlier a distance that is large enough to satisfy a predetermined condition
  • Step S509 The ideal contour acquisition unit 14 deletes the processing target point corresponding to the distance determined to be an outlier in step S508 from the processing target point information. Then, the process returns to step S506.
  • Step S510 The ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information using the reference contour information received in step S504 and the ideal contour information acquired in step S506.
  • Step S511 The output unit 16 outputs the ideal contour point information acquired in Step S510. Then, the process returns to step S501.
  • the process may be terminated by powering off or a process termination interrupt.
  • step S406 of the flowchart of FIG. 4 is a flowchart for explaining the acquisition processing of the ideal contour point information in step S406 of the flowchart of FIG. 4 and step S506 of the flowchart of FIG.
  • the ideal contour information is a function b (r).
  • Step S601 The ideal contour point acquisition unit 15 calculates the length of the reference contour using the reference contour information, and sets it to the variable length.
  • Step S602 The ideal contour point acquisition unit 15 calculates “length / m” and sets it to the variable v.
  • m is the number of target points on the reference contour line.
  • v is a path length (interval) between two target points.
  • Step S603 The ideal contour point acquisition unit 15 sets 1 to the counter i.
  • Step S604 The ideal contour point acquisition unit 15 calculates “v ⁇ (i ⁇ 1)” and sets it to the variable r.
  • r is the path length from the reference point on the reference contour to the target point [i].
  • Step S605 The ideal contour point acquisition unit 15 calculates b (r) and sets it to the variable d.
  • Step S606 The ideal contour point acquisition unit 15 acquires a normal that is a normal at the target point [i] and has a length d, and is dx that is an x component of the normal and a y component. dy is calculated.
  • Step S607 The ideal contour point acquisition unit 15 adds (dx, dy) to the target point [i] and sets it to the ideal contour point [i]. Specifically, the ideal contour point acquisition unit 15 adds dx to the x coordinate of the target point [i] to obtain the x coordinate of the ideal contour point [i]. The ideal contour point acquisition unit 15 adds dy to the y coordinate of the target point [i] to obtain the y coordinate of the ideal contour point [i].
  • Step S608 The ideal contour point acquisition unit 15 determines whether i is m. If m, the process returns to the upper process, and if not, the process proceeds to step S609.
  • Step S609 The ideal contour point acquisition unit 15 increments i by 1. Then, the process returns to step S604.
  • Example 1 In this example, an example will be described in which conversion information and reference contour information are acquired using pattern information and actual observation contour information, and corrected contour point information is acquired using the conversion information.
  • the pattern figure indicated by the pattern information and the pattern figure to be drawn by the electron beam drawing apparatus is as shown in FIG.
  • the reception unit 11 receives pattern information and actual observation contour information.
  • the actual observation contour indicated by the actual observation contour information is, for example, FIG.
  • the actual observation contour information is, for example, FIG.
  • the actual observation contour line information includes an ID for uniquely identifying the record and the coordinates of three or more actual observation contour points.
  • the item name “x” is the x coordinate of the actual observation contour point
  • the item name “y” is the y coordinate of the actual observation contour point.
  • the conversion information acquisition unit 12 calculates ⁇ and T that minimize the value calculated by Equation 1 using the pattern information received by the receiving unit 11 and the actual observation contour information. Since methods and procedures for calculating ⁇ and T are well known, detailed description thereof will be omitted.
  • the corrected contour point acquisition unit 13 applies the conversion information expressed by the calculated ⁇ to the coordinates of each actual observation contour point in FIG. Then, the corrected contour point acquisition unit 13 calculates corrected contour point information.
  • the corrected contour point information is, for example, FIG. Moreover, the correction
  • Example 2 In this example, an example will be described in which ideal contour point information is acquired by using corrected contour point information or drawing figure contour point information and reference contour line information, and ideal contour point information is acquired.
  • an example using corrected contour point information will be described. That is, in the example using the drawing figure contour point information, “correction contour point” in this example is read as “drawing figure contour point”.
  • the drawing unit contour point information is received by the receiving unit 11.
  • the ideal contour acquisition unit 14 calculates a first corresponding point on the reference contour for each of three or more correction contour points indicated by the correction contour point information acquired by the correction contour point acquisition unit 13. Then, the ideal contour acquisition unit 14 calculates the distance between each of the three or more corrected contour points and the first corresponding point corresponding to the corrected contour point. Then, the ideal contour acquisition unit 14 calculates a path length r from the reference point on the reference contour to the first corresponding point, and calculates the corrected contour point corresponding to the first corresponding point and the first corresponding point. Associate. As a result, the ideal contour acquisition unit 14 acquires information shown in FIG. 12, for example.
  • the information includes an ID for uniquely identifying the record, the coordinates of the correction contour point, the path length (item name: r) from the reference point of the first corresponding point corresponding to the correction contour point, and the correction A distance between the contour point and the first corresponding point (item name: b).
  • the item name “x” is the x coordinate of the corrected contour point
  • the item name “y” is the y coordinate of the corrected contour point.
  • the graph showing the relationship between r and d in FIG. 12 is, for example, FIG.
  • the ideal contour acquisition unit 14 calculates a function of r that approximates b using the graph of FIG. If the function is b (r), the curve indicated by b (r) is, for example, FIG. The curve is an ideal contour line. The function b (r) indicating the curve is ideal contour line information.
  • the ideal contour acquisition unit 14 removes correction contour points that are so large that the distance from the ideal contour information satisfies a predetermined condition from the graph of FIG. Then, the ideal contour acquisition unit 14 calculates a function b (r) that approximates b corresponding to the corrected contour point after the removal.
  • the curve indicated by b (r) after the removal is, for example, FIG.
  • the ideal contour line acquisition unit 14 performs a process of removing a correction contour point that is an outlier and a process of calculating a function b (r) that approximates b corresponding to the corrected contour point after the removal. Iterate until it satisfies, and acquires the ideal outline information.
  • the curve indicated by the ideal outline information b (r) finally acquired by the ideal outline acquisition unit 14 is, for example, FIG.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 calculates a target point that is a point for each predetermined path length from the reference point on the reference contour line. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 uses the function b (r) that is the ideal contour information acquired by the ideal contour acquisition unit 14 and the calculated path length r corresponding to each of the three or more target points. The distance b from the target point to the ideal contour line is calculated. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 associates r up to the target point, the coordinates of the target point, and b at the target point. As a result, the ideal contour point acquisition unit 15 acquires information shown in FIG. 17, for example.
  • the information includes the ID for uniquely identifying the record, the path length from the reference point to the target point (item name: r), the coordinates of the target point, and the distance from the target point to the corrected contour point (item name). : B).
  • the item name “x” is the x coordinate of the target point
  • the item name “y” is the y coordinate of the target point.
  • the ideal contour point acquisition unit 15 calculates a normal to the reference contour for each of the three or more target points in FIG. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 applies b corresponding to the target point to the calculated normal, and calculates the x component and the y component of the b. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 adds the calculated x component and y component to the x coordinate and y coordinate of FIG. 17 to calculate the coordinates of the ideal contour point. Then, the ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information having the coordinates of three or more ideal contour points.
  • the ideal contour point information is, for example, FIG.
  • information processing apparatus 1 According to the information processing apparatus 1 according to the present embodiment, information indicating three or more points on the contour line of the graphic drawn by the electron beam drawing apparatus can be acquired with higher accuracy. As a result, it is possible to calibrate parameters used for pattern pattern correction with higher accuracy. Furthermore, as a result, the pattern figure can be corrected with higher accuracy.
  • the information processing apparatus 1 may not include the ideal contour line acquisition unit 14 and the ideal contour point acquisition unit 15, for example.
  • FIG. 19 is a block diagram of the information processing apparatus 1 in this case.
  • the receiving unit 11 normally receives pattern information and actual observation contour information.
  • the conversion information acquisition part 12 acquires conversion information using pattern information and real observation outline information, for example.
  • amendment contour point acquisition part 13 acquires correction
  • amendment contour point acquisition part 13 acquires correction
  • the output unit 16 outputs the corrected contour point information acquired by the corrected contour point acquisition unit 13.
  • the information processing apparatus 1 may not include the conversion information acquisition unit 12 and the correction contour point acquisition unit 13, for example.
  • FIG. 20 is a block diagram of the information processing apparatus 1 in this case.
  • the receiving unit 11 normally receives the drawing figure contour point information and the reference contour line information.
  • the ideal outline acquisition part 14 acquires ideal outline information, for example using drawing figure outline point information and reference
  • the ideal contour point acquisition unit 15 acquires ideal contour point information using the reference contour information and the ideal contour information.
  • the output unit 16 outputs the ideal contour point information acquired by the ideal contour point acquisition unit 15.
  • the information processing apparatus in each of the above embodiments may be a stand-alone apparatus or a server apparatus in a server / client system, for example.
  • each process or each function may be realized by centralized processing by a single device or a single system, or distributed by a plurality of devices or a plurality of systems. It may be realized by being processed.
  • each component may be configured by dedicated hardware, or a component that can be realized by software may be realized by executing a program.
  • each component can be realized by a program execution unit such as a CPU reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory.
  • the software that realizes the information processing apparatus in each of the above embodiments is, for example, the following program. That is, this program uses pattern information, which is information indicating a pattern figure, which is a figure to be drawn by the electron beam drawing apparatus, and an image obtained by photographing the figure drawn by the electron beam drawing apparatus according to the pattern figure.
  • the actual observation using the reception unit that receives the actual observation contour information which is information indicating the actual observation contour that is the contour line of the figure acquired in this way, the pattern information, and the actual observation contour information.
  • This is information for correcting three or more actual observation contour points that are points on the contour line to three or more correction contour points that are points obtained by correcting the three or more actual observation contour points.
  • the conversion information acquisition unit for acquiring conversion information, the actual observation contour line information, and the conversion information the three or more correction contour points corresponding to the three or more actual observation contour points are acquired. It is a program for functioning as a correction contour point acquisition unit that acquires correction contour point information that is information indicating three or more acquired correction contour points, and an output unit that outputs the correction contour point information.
  • the software that realizes the information processing apparatus in each of the above embodiments is, for example, the following program. That is, this program causes the computer to draw drawing contour point information that is information indicating three or more drawing contour points that are points on the contour line of the graphic drawn by the electron beam drawing apparatus according to the pattern graphic, and the pattern graphic.
  • Drawing contour points that are large enough to acquire ideal contour information that is a function that represents an ideal contour that is a curve that approximates the distance, and the distance from the ideal contour indicated by the ideal contour information satisfies a predetermined condition
  • an ideal contour acquisition unit that acquires ideal contour information, the reference contour information, and the ideal contour information, and an arbitrary path length from an arbitrary point on the reference contour 3
  • the distance from the target point that is the above point to the point on the ideal contour line corresponding to the target point is acquired, the point at the acquired distance is acquired from the target point, and the acquired point 3
  • Ideal contour point acquiring unit that acquires an ideal contour point information is a program for functioning as an output unit for outputting the ideal contour point information.
  • the functions realized by the program do not include functions that can only be realized by hardware.
  • the program may be executed by being downloaded from a server or the like, or a program recorded on a predetermined recording medium (for example, an optical disk such as a CD-ROM, a magnetic disk, a semiconductor memory, etc.) is read out. May be executed. Further, this program may be used as a program constituting a program product.
  • a predetermined recording medium for example, an optical disk such as a CD-ROM, a magnetic disk, a semiconductor memory, etc.
  • the computer that executes the program may be singular or plural. That is, centralized processing may be performed, or distributed processing may be performed.
  • FIG. 21 is an overview of the computer system 9 that executes the above-described program to realize the information processing apparatus and the like of the above-described embodiment.
  • the above-described embodiments can be realized by computer hardware and a computer program executed thereon.
  • the computer system 9 includes a computer 901 including a CD-ROM drive 9011, a keyboard 902, a mouse 903, and a monitor 904.
  • FIG. 22 is a block diagram of the computer system 9.
  • a computer 901 in addition to the CD-ROM drive 9011, a computer 901 is connected to an MPU 9012, a ROM 9013 for storing a program such as a bootup program, and the MPU 9012, and temporarily stores an instruction of an application program.
  • a RAM 9014 for providing a temporary storage space, a hard disk 9015 for storing application programs, system programs, and data, and a bus 9016 for mutually connecting a CD-ROM drive 9011, an MPU 9012, and the like are provided.
  • the computer 901 may further include a network card that provides connection to a LAN.
  • the program that causes the computer system 9 to execute the functions of the information processing apparatus and the like of the above-described embodiment may be stored in the CD-ROM 9101, inserted into the CD-ROM drive 9011, and further transferred to the hard disk 9015.
  • the program may be transmitted to the computer 901 via a network (not shown) and stored in the hard disk 9015.
  • the program is loaded into the RAM 9014 when executed.
  • the program may be loaded directly from the CD-ROM 9101 or the network.
  • the program does not necessarily include an operating system (OS) or a third-party program that causes the computer 901 to execute the functions of the information processing apparatus according to the above-described embodiment.
  • the program only needs to include an instruction portion that calls an appropriate function (module) in a controlled manner and obtains a desired result. How the computer system 9 operates is well known and will not be described in detail.
  • the information processing apparatus has an effect that information indicating three or more points on the contour line of a graphic drawn by the electron beam drawing apparatus can be obtained with higher accuracy. It is useful as an apparatus for performing the above.

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Abstract

　本発明は、パターン図形を示すパターン情報と、電子ビーム描画装置が描画した図形を撮影した画像を用いて取得される実観測輪郭線情報とを受け付ける受付部（１１）と、パターン情報が示すパターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込み値と、当該畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する情報である変換情報を取得する変換情報取得部（１２）と、変換情報を用いて、３以上の各実観測輪郭点に対応する３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得部（１３）と、補正輪郭点情報を出力する出力部（１６）とを備える情報処理装置（１）を提供する。　本発明の情報処理装置は、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を、より精度良く取得することができる。

Description

情報処理装置、情報処理方法、および記録媒体
　本発明は、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を出力する情報処理装置等に関するものである。
　フォトマスクを製造するプロセスにおいて、ＭＰＣ（Mask Process Correction、マスクプロセス補正）という行程がある（非特許文献１参照）。また、当該行程の手法として、Contour Based Calibrationという手法がある（特許文献１参照）。
米国特許出願公開第２０１１／０２０２８９３号明細書
"NDE-MDP"、［online］、日本コントロールシステム株式会社、［２０１４年３月１２日検索］、インターネット［URL：http://www.nippon-control-system.co.jp/catalog/NDE-MS.pdf］
　従来、Contour Based Calibrationに用いる情報であり、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を、より精度良く取得することができなかった。
　本第一の発明の情報処理装置は、電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報と、電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形を撮影した画像を用いて取得される図形の輪郭線である実観測輪郭線を示す情報である実観測輪郭線情報とを受け付ける受付部と、パターン情報と、実観測輪郭線情報とを用いて、実観測輪郭線上の点である３以上の各実観測輪郭点を、３以上の各実観測輪郭点が補正された点である３以上の補正輪郭点に補正するための情報であり、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込みの値と、畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する情報である変換情報を取得する変換情報取得部と、実観測輪郭線情報と、変換情報とを用いて、３以上の各実観測輪郭点に対応する３以上の補正輪郭点を取得し、取得した３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得部と、補正輪郭点情報を出力する出力部とを備える情報処理装置である。
　このような構成により、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を、より精度良く取得することができる。
　本発明による情報処理装置等によれば、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を、より精度良く取得することができる。
実施の形態１における情報処理装置１のブロック図 同スムージング処理と外れ値除去処理の概要図 同理想輪郭点を算出する処理の概要図 同情報処理装置１の全体動作について説明するフローチャート 同情報処理装置１の全体動作について説明するフローチャート 同理想輪郭点情報の取得処理について説明するフローチャート 同パターン図形の例を示す図 同実観測輪郭線の例を示す図 同実観測輪郭線情報の例を示す図 同補正輪郭点情報の例を示す図 同補正輪郭線の例を示す図 同対象点までの経路長と補正輪郭点までの距離とを示す図 同補正輪郭点を示す図 同理想輪郭線を示す図 同補正輪郭点除去後の理想輪郭線を示す図 同理想輪郭線を示す図 同対象点までの経路長と理想輪郭点までの距離とを示す図 同理想輪郭点情報の例を示す図 同情報処理装置１のブロック図 同情報処理装置１のブロック図 上記実施の形態におけるコンピュータシステムの概観図 上記実施の形態におけるコンピュータシステムのブロック図
　以下、本発明による情報処理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。また、本実施の形態において説明する各情報の形式、内容などは、あくまで例示であり、各情報の持つ意味を示すことができれば、形式、内容などは問わない。
　（実施の形態１）
　本実施の形態において、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を出力する情報処理装置１について説明する。
　図１は、本実施の形態における情報処理装置１のブロック図である。情報処理装置１は、受付部１１、変換情報取得部１２、補正輪郭点取得部１３、理想輪郭線取得部１４、理想輪郭点取得部１５、出力部１６を備える。
　受付部１１は、パターン情報、実観測輪郭線情報、描画図形輪郭点情報、基準輪郭線情報などを受け付ける。以下、これらの情報について、順次、説明する。また、ここで、電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形を、以下、適宜、描画図形とする。また、当該描画図形を撮影した画像を、以下、撮影画像とする。また、撮影画像内の描画図形を、以下、適宜、撮影描画図形とする。また、電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画する図形をシミュレートした図形を、以下、適宜、シミュレート図形とする。また、パターン図形とは、電子ビーム描画装置に描画させる図形である。また、撮影画像の取得（描画図形の撮影）は、通常、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）が行う。
　パターン情報とは、パターン図形を示す情報である。パターン情報は、例えば、いわゆるレイアウトデータや、パターンデータなどと呼ばれるデータである。また、パターン情報のデータ形式は、問わない。パターン情報のデータ形式は、通常、いわゆるマスク設計データや、レイアウト設計データなどと呼ばれるデータ形式である。パターン情報の具体的なデータ形式は、例えば、ＧＤＳ－２や、ＯＡＳＩＳ、ＭＥＢＥＳなどである。なお、パターン情報は、通常、１つのパターン図形を示す。
　また、実観測輪郭線情報とは、実観測輪郭線を示す情報である。実観測輪郭線とは、撮影描画図形の輪郭線である。また、実観測輪郭線情報は、実観測輪郭線を構成する３以上の点の座標を有する情報である。当該３以上の点は、通常、実観測輪郭線を構成するすべての点である。また、当該３以上の点は、例えば、実観測輪郭線を構成する程度にサンプリングされた実観測輪郭線上の点であってもよい。実観測輪郭線を構成する点を、以下、適宜、実観測輪郭点とする。実観測輪郭点は、実観測輪郭線上の点であるとも言える。また、撮影描画図形の輪郭線は、例えば、撮影画像を構成する画素により示される。言い換えると、撮影描画図形の輪郭線を構成する点は、通常、撮影画像を構成する画素により示される。従って、実観測輪郭線情報が有する３以上の座標は、通常、当該画素の座標である。また、実観測輪郭線情報が有する３以上の座標は、通常、整数である。なお、実観測輪郭線情報を取得する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。
　また、描画図形輪郭点情報とは、３以上の描画図形輪郭点を示す情報である。描画図形輪郭点とは、描画図形輪郭線を構成する点である。また、描画図形輪郭線とは、描画図形の輪郭線である。また、描画図形輪郭点は、描画図形輪郭線上の点であるとも言える。また、描画図形輪郭点は、通常、補正を行う必要のない程度に正確な描画図形の輪郭線上の点である。当該補正は、例えば、位置ずれや、大きさ、歪みなどの補正である。また、当該補正は、例えば、座標変換（線形変換）でもある。つまり、描画図形輪郭点は、例えば、補正輪郭点である。補正輪郭点とは、補正が行われた実観測輪郭点である。また、描画図形輪郭点は、例えば、補正を行う必要がない程度に正確な実観測輪郭点である。
　また、描画図形輪郭線は、通常、補正を行う必要のない程度に正確な描画図形の輪郭線である。つまり、描画図形輪郭線は、例えば、補正輪郭線である。補正輪郭線とは、補正が行われた実観測輪郭線である。また、描画図形輪郭線は、例えば、補正を行う必要がない程度に正確な実観測輪郭線である。
　なお、補正を行う必要がない程度に正確な実観測輪郭点を、以下、適宜、正確実観測輪郭点とする。また、補正を行う必要がない程度に正確な実観測輪郭線を、以下、適宜、正確実観測輪郭線とする。また、補正が必要な実観測輪郭点を、以下、適宜、要補正実観測輪郭点とする。また、補正が必要な実観測輪郭線を、以下、適宜、要補正実観測輪郭線とする。また、受付部１１が受け付ける実観測輪郭線情報が示す実観測輪郭線は、通常、要補正実観測輪郭線である。
　また、描画図形輪郭点情報は、３以上の描画図形輪郭点の座標を有する情報である。当該３以上の描画図形輪郭点は、描画図形輪郭線を構成する描画図形輪郭点のうちのいずれか３以上の描画図形輪郭点である。また、描画図形輪郭点情報は、例えば、描画図形輪郭線を構成する３以上のすべての描画図形輪郭点の座標を有していてもよい。当該座標は、ｘ座標とｙ座標の２つの数値からなる。また、当該数値は、通常、整数であるが、小数であってもよい。
　また、基準輪郭線情報とは、基準輪郭線を示す情報である。基準輪郭線とは、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の畳み込みの値の分布中における１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である。具体的に、基準輪郭線は、例えば、電子ビームの強度を示す１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である。また、当該強度は、パターン図形内の全体に電子ビームが入射されたときの当該電子ビームの強度（電子ビーム描画装置によるパターン図形に応じた図形の描画時の強度）である。また、基準輪郭線情報は、例えば、基準輪郭線を構成する３以上のすべての点の座標を有する情報である。また、基準輪郭線情報を、以下、適宜、アンカー輪郭線情報とする。また、基準輪郭線を、以下、適宜、アンカー輪郭線とする。
　なお、電子ビーム描画装置の構成や、電子ビーム描画装置が行う処理や動作などについては、公知であるので、詳細な説明を省略する。
　また、３以上の実観測輪郭点を示す情報を、以下、適宜、実観測輪郭点情報とする。当該３以上の実観測輪郭点は、実観測輪郭線を構成する実観測輪郭点のうちのいずれか３以上の実観測輪郭点である。また、実観測輪郭点情報は、例えば、実観測輪郭線を構成する３以上のすべての実観測輪郭点の座標を有していてもよい。当該座標は、ｘ座標とｙ座標の２つの数値からなる。また、当該数値は、通常、整数であるが、小数であってもよい。
　また、描画図形輪郭線を示す情報を、以下、適宜、描画図形輪郭線情報とする。描画図形輪郭線情報は、描画図形輪郭線を構成する３以上の点の座標を有する情報である。当該３以上の点は、通常、描画図形輪郭線を構成するすべての点である。また、当該３以上の点は、例えば、描画図形輪郭線を構成する程度にサンプリングされた描画図形輪郭線上の点であってもよい。また、描画図形輪郭線情報が有する３以上の座標は、ｘ座標とｙ座標の２つの数値からなる。また、当該数値は、通常、整数であるが、小数であってもよい。
　また、本実施の形態において、座標は、ベクトルであってもよい。また、受付部１１が受け付ける実観測輪郭線情報は、例えば、実観測輪郭点情報であってもよい。また、受付部１１が受け付ける描画図形輪郭点情報は、例えば、描画図形輪郭線情報であってもよい。
　受付部１１は、通常、パターン情報と、実観測輪郭線情報とを受け付ける。また、受付部１１は、例えば、描画図形輪郭点情報と、基準輪郭線情報とを受け付けてもよい。また、受付部１１は、例えば、実観測輪郭線情報と、基準輪郭線情報とを受け付けてもよい。
　また、受け付けとは、タッチパネルや、キーボードなどの入力デバイスから入力された情報の取得、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなどの記録媒体に格納されている情報の取得、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信などを含む概念である。
　また、受付部１１における情報や指示などの入力手段は、メニュー画面によるものや、キーボードなど、何でもよい。受付部１１は、メニュー画面の制御ソフトウェアや、キーボード等の入力手段のデバイスドライバなどで実現され得る。
　変換情報取得部１２は、変換情報を取得する。変換情報とは、実観測輪郭点を、対応する他の点に変換する情報である。言い換えると、変換情報とは、実観測輪郭点の座標を用いて、対応する他の点の座標を算出するための情報である。また、変換情報は、実観測輪郭点を補正するための情報（実観測輪郭点に対する補正を行うための情報）であるとも言える。つまり、変換情報は、実観測輪郭点を用いて、補正輪郭点を算出するための情報であるとも言える。
　また、変換情報は、通常、１以上のパラメータを有する情報である。当該１以上のパラメータを有する情報は、例えば、ベクトルである。また、変換情報は、例えば、関数であってもよい。また、当該関数は、通常、当該ベクトルを有する関数である。また、ベクトルである変換情報を、以下、適宜、変換ベクトルとする。また、関数である変換情報を、以下、適宜、変換関数とする。
　また、以下において、点を取得することとは、点の座標を取得することである。また、同様に、以下において、点を算出することとは、点の座標を算出することである。また、以下において、線を取得することとは、線を示す情報を取得することである。また、同様に、以下において、線を算出することとは、線を示す情報を算出することである。線を示す情報は、例えば、線を構成する２以上のすべての点の座標を有する情報や、線を示す関数などである。また、取得には、通常、算出も含まれる。
　変換情報取得部１２は、通常、パターン情報と、実観測輪郭線情報とを用いて、変換情報を取得する。この場合、変換情報取得部１２は、通常、変換情報と共に、基準輪郭線情報を取得する。
　具体的に、変換情報取得部１２は、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込みの値と、当該畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する変換情報と、当該閾値とを算出する。当該閾値を、以下、適宜、畳み込み閾値とする。そして、変換情報取得部１２は、当該算出した閾値を用いて、基準輪郭線情報を取得する。なお、当該閾値を用いて基準輪郭線情報を取得する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。
　ここで、変換情報が、変換ベクトルであるとする。また、当該変換ベクトルを、αとする。また、ｉ番目の実観測輪郭点の座標を、ｘＭ ｉとする。また、畳み込み閾値を、Ｔとする。また、実観測輪郭点の座標と変換情報とを用いて、補正輪郭点の座標を算出する関数を、Ｍとする。また、補正輪郭点の座標を用いて、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の補正輪郭点に対する畳み込み値を算出する関数を、Ｉとする。変換情報取得部１２は、例えば、数式１より算出される値を最小化するαおよびＴを算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　なお、数式１におけるαおよびＴを算出する解法は、例えば、非線型最小二乗法である。非線形最小二乗法は、例えば、ガウス・ニュートン法やLevenberg-Marquardt法などである。また、数式１における関数Ｉは、数式２である。数式２は、パターン情報が示すパターン図形により示される領域ｐａｔｔｅｒｎ内における任意の点拡がり関数の点ｘに対する畳み込み値を算出する関数である。また、数式２において、ｘは、点ｘの座標である。また、ｒは、領域ｐａｔｔｅｒｎ内の点の座標である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　また、数式２における関数ｐは、例えば、数式３である。数式３は、ある点における電子ビームの散乱（強度分布）を示す関数であり、点拡がり関数（Point Spread Function：PSF）である。また、数式３において、ｕは、原点（ｘ，ｙ）＝（０，０）から点ｕに向かうベクトルの大きさ（長さ）である。つまり、ｕは、原点から、数式２における「ｒ－ｘ」により得られる座標に向かうベクトルの大きさである。また、数式３において、σは、電子ビームの散乱の度合を示すパラメータである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　なお、関数ｐが数式３である場合、数式２は、パターン情報が示すパターン図形内の領域（電子ビームの照射領域）ｐａｔｔｅｒｎの全体に電子ビームが入射したときの点ｘに与える影響（エネルギー）の大きさを算出する関数である。当該影響の大きさは、電子ビームの強度であるとも言える。
　また、関数ｐは、以下の条件のすべてを満たす点拡がり関数であれば、何でもよい。
（１）単調に減少する。
（２）ｘ－＞∞のとき、ｐ（ｘ）が０に収束する。
（３）ｐ（ｒ）×ｒの０～∞の区間での積分が、ある定数に収束する。
　また、変換情報取得部１２は、例えば、算出したαを有する関数である数式１におけるＭを、変換情報として取得してもよい。
　補正輪郭点取得部１３は、実観測輪郭線情報と、変換情報とを用いて、補正輪郭点情報を取得する。当該実観測輪郭線情報は、受付部１１が受け付けた実観測輪郭線情報である。また、当該変換情報は、変換情報取得部１２が取得した変換情報である。また、当該変換情報は、例えば、補正輪郭点取得部１３が予め保持している変換情報であってもよい。なお、変換情報取得部１２が取得した変換情報を、以下、適宜、取得変換情報とする。また、補正輪郭点取得部１３が予め保持している変換情報を、以下、適宜、保持変換情報とする。
　また、補正輪郭点取得部１３は、３以上の各実観測輪郭点に対応する３以上の補正輪郭点を算出する。つまり、補正輪郭点取得部１３は、１つの実観測輪郭点に対して、当該実観測輪郭点に対応する１つの補正輪郭点を、３以上の実観測輪郭点ごとに算出する。
　例えば、取得変換情報を用いる場合、補正輪郭点取得部１３は、例えば、変換情報取得部１２が変換情報の取得に用いた３以上の実観測輪郭点の座標を、実観測輪郭線情報から取得する。そして、補正輪郭点取得部１３は、当該３以上の各実観測輪郭点の座標に対して取得変換情報を適用し、３以上の補正輪郭点の座標を算出する。
　ここで、取得変換情報が、例えば、変換ベクトルである場合、補正輪郭点取得部１３は、例えば、３以上の各実観測輪郭点の座標に当該変換ベクトルが有する１以上のパラメータを適用し、３以上の補正輪郭点の座標を算出する。当該「パラメータを適用する」とは、例えば、パラメータを用いた予め決められた計算を行うことなどである。
　また、取得変換情報が、変換関数である場合、補正輪郭点取得部１３は、当該３以上の各実観測輪郭点の座標を、当該変換関数に代入し、３以上の補正輪郭点の座標を算出する。そして、補正輪郭点取得部１３は、当該算出した３以上の補正輪郭点の座標を有する補正輪郭点情報を取得する。
　また、保持変換情報を用いる場合、補正輪郭点取得部１３は、例えば、実観測輪郭線情報から、予め決められた間隔ごとの３以上の実観測輪郭点の座標を取得する。そして、補正輪郭点取得部１３は、取得した３以上の実観測輪郭点の座標と、保持変換情報とを用いて、３以上の補正輪郭点の座標を算出する。当該補正輪郭点の座標を算出する方法や手順などは、取得変換情報を用いる場合と同様であるので、説明を省略する。そして、補正輪郭点取得部１３は、当該算出した３以上の補正輪郭点の座標を有する補正輪郭点情報を取得する。
　理想輪郭線取得部１４は、理想輪郭線情報を取得する。理想輪郭線情報とは、理想輪郭線を示す情報である。また、理想輪郭線とは、３以上の補正輪郭点を近似する曲線でもある。また、理想輪郭線は、例えば、描画図形の輪郭線であり、ノイズや位置ずれなどの誤差を含まない理想的な輪郭線であるとも言える。
　理想輪郭線情報は、通常、基準輪郭線上の対象点から当該対象点に対応する理想輪郭点までの距離を、基準点から当該対象点までの経路長により算出する関数である。対象点とは、基準輪郭線上の点（基準輪郭点）であり、理想輪郭点までの距離を算出する対象となる点である。また、基準点とは、基準輪郭線上の任意の点（基準輪郭点）であり、対象点までの経路長を算出する基準となる点である。また、経路長とは、基準輪郭線の長さである。つまり、例えば、基準輪郭線上の点ａから、基準輪郭線上の点ｂまでの経路長とは、点ａから点ｂまでの基準輪郭線の長さである。
　また、理想輪郭線情報は、例えば、理想輪郭点の座標を算出する関数であってもよい。当該関数は、例えば、理想輪郭点のｙ座標を、理想輪郭点のｘ座標により算出する関数や、理想輪郭点のｘ座標を、理想輪郭点のｙ座標により算出する関数であってもよい。
　また、理想輪郭線情報は、例えば、理想輪郭線を構成する３以上の点の座標を有する情報であってもよい。当該３以上の点は、通常、理想輪郭線を構成するすべての点である。また、当該３以上の点は、例えば、理想輪郭線を構成する程度にサンプリングされた理想輪郭線上の点であってもよい。理想輪郭線を構成する点を、以下、適宜、理想輪郭点とする。理想輪郭点は、例えば、理想輪郭線上の点であるとも言える。また、理想輪郭線情報が有する座標は、ｘ座標とｙ座標の２つの数値からなる。また、当該数値は、通常、整数であるが、小数であってもよい。
　理想輪郭線取得部１４は、通常、補正輪郭点情報と、基準輪郭線情報とを用いて、理想輪郭線情報を取得する。当該補正輪郭点情報は、補正輪郭点取得部１３が取得した補正輪郭点情報である。また、当該基準輪郭線情報は、変換情報取得部１２が取得した基準輪郭線情報である。また、当該補正輪郭点情報は、例えば、受付部１１が受け付けた描画図形輪郭点情報であってもよい。また、当該基準輪郭線情報は、例えば、受付部１１が受け付けた基準輪郭線情報であってもよい。
　この場合、理想輪郭線取得部１４は、基準輪郭線上の対象点から当該対象点に対応する理想輪郭点までの距離を、基準点から当該対象点までの経路長により算出する関数である理想輪郭線情報を取得する。例えば、理想輪郭線取得部１４は、まず、３以上の各補正輪郭点と、当該補正輪郭点に対応する基準輪郭線上の点との距離を算出する。当該１つの補正輪郭点に対応する基準輪郭点を、以下、適宜、第一対応点とする。そして、理想輪郭線取得部１４は、算出した距離を、基準輪郭線上の任意の点から第一対応点までの経路長により算出する関数であり、当該距離を近似する曲線を示す関数を、理想輪郭線情報として算出する。当該処理を、以下、適宜、スムージング処理とする。そして、理想輪郭線取得部１４は、算出した理想輪郭線情報により示される理想輪郭線との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい補正輪郭点を除去する。この処理を、以下、適宜、外れ値除去処理とする。また、補正輪郭点を除去するとは、例えば、当該補正輪郭点の座標を、補正輪郭点情報から削除することである。また、当該外れ値除去処理は、例えば、スミルノフ・グラブス検定などの手法を用いて行う。そして、理想輪郭線取得部１４は、除去後の補正輪郭点に対して、上記、スムージング処理を適用する。そして、理想輪郭線取得部１４は、再度、取得した理想輪郭線情報を用いて、外れ値除去処理を行い、除去の対象となる補正輪郭点がなくなるまで、スムージング処理と、外れ値除去処理とを１以上繰り返す。
　また、上記、スムージング処理などの詳細な手順は、例えば、以下のとおりである。
（１）理想輪郭線取得部１４は、３以上の各補正輪郭点と、基準輪郭線上の基準輪郭点である第一対応点とを、１つずつ対応付ける。
（２）理想輪郭線取得部１４は、３以上の各補正輪郭点に対し、第一対応点との距離を算出する。
（３）理想輪郭線取得部１４は、（２）で算出した３以上の距離を近似する曲線を示す関数であり、当該距離を、基準輪郭線上の任意の点から対応点までの経路長により算出する関数を、理想輪郭線情報として算出する。
（４）理想輪郭線取得部１４は、３以上の各補正輪郭点に対し、（３）で算出した理想輪郭線情報（関数）を用いて、当該理想輪郭線情報により示される理想輪郭線上の対応する点を算出する。当該１つの補正輪郭点に対応する理想輪郭線上の点を、以下、適宜、第二対応点とする。
（５）理想輪郭線取得部１４は、３以上の各補正輪郭点に対し、（４）で算出した第二対応点との距離を算出する。
（６）理想輪郭線取得部１４は、（５）で算出した距離が予め決められた条件を満たすほど大きい補正輪郭点を削除する。そして、理想輪郭線取得部１４は、削除の対象となる補正輪郭点が存在しない場合、処理を終了する。
（７）理想輪郭線取得部１４は、（３）に戻る。つまり、理想輪郭線取得部１４は、（６）での削除後の３以上の補正輪郭点に対して、（３）の処理を適用する。
　なお、上記（１）において、補正輪郭点と第一対応点とを対応付けるとは、補正輪郭点の座標と第一対応点との座標とを対応付けることである。また、補正輪郭点と基準輪郭点とを対応付ける方法や手順などは、問わない。理想輪郭線取得部１４は、通常、基準輪郭線上の３以上の点において、基準輪郭線に対する法線を取得する。そして、理想輪郭線取得部１４は、当該法線上に位置する補正輪郭点と基準輪郭点（第一対応点）とを対応付ける。
　また、上記（３）において、３以上の距離を近似する曲線を算出する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。
　また、上記の処理の概要図は、例えば、図２である。
　また、理想輪郭線取得部１４は、例えば、補正輪郭点情報のみを用いて、理想輪郭線情報を取得してもよい。当該補正輪郭点情報は、補正輪郭点取得部１３が取得した補正輪郭点情報である。また、当該補正輪郭点情報は、例えば、受付部１１が受け付けた描画図形輪郭点情報であってもよい。
　この場合、理想輪郭線取得部１４は、例えば、理想輪郭点の座標を算出する関数である理想輪郭線情報、または、理想輪郭線を構成する３以上のすべての理想輪郭点の座標を有する理想輪郭線情報を取得する。
　理想輪郭点の座標を算出する関数である理想輪郭線情報を算出する場合、理想輪郭線取得部１４は、例えば、連続するｎ個の補正輪郭点ごとに、当該ｎ個の補正輪郭点を近似する直線または曲線を示す３以上の関数を算出する。当該ｎは、２以上、かつ、補正輪郭点情報が有する補正輪郭点の座標の数よりも小さいことが好適である。また、このとき、理想輪郭線取得部１４は、例えば、両端の２つの補正輪郭点を通過する関数を算出する。また、当該直線または曲線を示す関数を算出する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。そして、理想輪郭線取得部１４は、当該３以上の各関数に、算出に用いた補正輪郭点の座標により示される定義域または値域を対応付ける。通常、定義域が好適である。そして、理想輪郭線取得部１４は、３以上の定義域または値域が対応付いた３以上の関数である理想輪郭線情報を取得する。
　また、理想輪郭線を構成する３以上のすべての理想輪郭点の座標を有する理想輪郭線情報を算出する場合、理想輪郭線取得部１４は、例えば、上記と同様に、定義域または値域が対応付いた３以上の関数を算出する。そして、理想輪郭線取得部１４は、算出した３以上の関数を用いて、当該関数により示される直線または曲線を構成する３以上の点の座標であり、対応付いている定義域または値域の範囲内の座標を算出する。そして、理想輪郭線取得部１４は、理想輪郭線を構成する３以上のすべての理想輪郭点の座標を有する理想輪郭線情報を取得する。
　なお、補正輪郭点情報のみを用いて、理想輪郭線情報を取得する方法や手順などは、問わない。つまり、理想輪郭線取得部１４は、例えば、補正輪郭点情報のみを用いて、上記以外の方法により、理想輪郭線情報を取得してもよい。
　理想輪郭点取得部１５は、理想輪郭点情報を取得する。理想輪郭点情報とは、３以上の理想輪郭点を示す情報である。また、理想輪郭点情報は、３以上の理想輪郭点の座標を有する情報である。当該３以上の理想輪郭点は、理想輪郭線を構成する理想輪郭点のうちのいずれか３以上の理想輪郭点である。また、理想輪郭点情報は、例えば、理想輪郭線を構成する３以上のすべての理想輪郭点の座標を有していてもよい。当該座標は、ｘ座標とｙ座標の２つの数値からなる。また、当該数値は、通常、整数であるが、小数であってもよい。
　理想輪郭点取得部１５は、通常、理想輪郭線情報と、基準輪郭線情報とを用いて、理想輪郭点情報を取得する。当該理想輪郭線情報は、理想輪郭線取得部１４が取得した理想輪郭線情報である。また、当該理想輪郭線情報は、理想輪郭線を示す関数である。また、当該関数は、基準輪郭線上の任意の点からの経路長に関する関数である。また、当該基準輪郭線情報は、理想輪郭線取得部１４が、理想輪郭線情報の取得に用いた基準輪郭線情報である。つまり、例えば、理想輪郭線取得部１４が、受付部１１が受け付けた基準輪郭線情報を用いて理想輪郭線情報を取得した場合、理想輪郭点取得部１５は、受付部１１が受け付けた基準輪郭線情報を用いる。また、例えば、理想輪郭線取得部１４が、変換情報取得部１２が取得した基準輪郭線情報を用いて理想輪郭線を取得した場合、理想輪郭点取得部１５は、変換情報取得部１２が取得した基準輪郭線情報を用いる。
　この場合、理想輪郭点取得部１５は、例えば、まず、基準輪郭線上の基準点から、任意の経路長にある３以上の点である対象点を算出する。当該３以上の対象点の間隔は、通常、等間隔であるが、そうでなくてもよい。つまり、理想輪郭点取得部１５は、通常、基準輪郭線上の基準点から、予め決められた経路長ごとに３以上の対象点を算出する。また、理想輪郭点取得部１５は、例えば、基準輪郭線上の基準点から、３以上の異なる任意の経路長ごとに、３以上の対象点を算出してもよい。そして、理想輪郭点取得部１５は、算出した３以上の各対象点に対応する距離を、理想輪郭線情報（関数）を用いて算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、算出した距離を、対象点に加算し、理想輪郭点を算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、３以上の理想輪郭点の座標を有する理想輪郭点情報を取得する。なお、当該処理の概要図は、例えば、図３である。
　また、理想輪郭点取得部１５は、例えば、理想輪郭線情報を用いて、理想輪郭点情報を取得する。当該理想輪郭線情報は、理想輪郭線取得部１４が取得した理想輪郭線情報である。また、当該理想輪郭線情報は、理想輪郭線を構成する３以上のすべての理想輪郭点の座標を有する情報である。この場合、理想輪郭点取得部１５は、当該理想輪郭線情報から、予め決められた間隔ごとの３以上の理想輪郭点の座標を取得する。そして、理想輪郭点取得部１５は、当該取得した３以上の理想輪郭点の座標を有する理想輪郭点情報を取得する。
　出力部１６は、通常、理想輪郭点情報を出力する。当該理想輪郭点情報は、理想輪郭点取得部１５が取得した理想輪郭点情報である。また、出力部１６は、例えば、補正輪郭点情報を出力する。当該補正輪郭点情報は、補正輪郭点取得部１３が取得した補正輪郭点情報である。また、出力部１６が出力する理想輪郭点情報および補正輪郭点情報は、通常、校正輪郭点情報である。つまり、出力部１６は、理想輪郭点情報および補正輪郭点情報を、通常、校正輪郭点情報として出力する。校正輪郭点情報とは、パターン図形の校正に用いる情報である。また、校正輪郭点情報は、３以上の座標を有する情報でもある。また、校正輪郭点情報は、描画図形の輪郭線を正確に示す情報であり、描画図形の輪郭線上の３以上の点の座標を有する情報であるとも言える。
　また、出力とは、ディスプレイへの表示、プロジェクターを用いた投影、プリンタでの印字、音出力、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積、他の処理装置や他のプログラムなどへの処理結果の引渡しなどを含む概念である。なお、送信や蓄積、処理結果の引渡しについては、出力対象が最終的にユーザに提示されるものとする。
　また、出力部１６は、ディスプレイやスピーカーなどの出力デバイスを含むと考えてもよいし、含まないと考えてもよい。出力部１６は、出力デバイスのドライバソフトまたは、出力デバイスのドライバソフトと出力デバイスなどで実現され得る。
　なお、変換情報取得部１２、補正輪郭点取得部１３、理想輪郭線取得部１４、理想輪郭点取得部１５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。また、変換情報取得部１２などの処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。なお、変換情報取得部１２などは、ハードウェア（専用回路）で実現されてもよい。
　次に、情報処理装置１の全体動作について、フローチャートを用いて説明する。なお、所定の情報におけるｉ番目の情報は、「情報［ｉ］」と記載するものとする。図４は、情報処理装置１の全体動作を示すフローチャートである。当該情報処理装置１は、パターン情報と実観測輪郭線情報とを用いて、変換情報と基準輪郭線情報とを取得する。そして、当該情報処理装置１は、実観測輪郭点情報と変換情報とを用いて、補正輪郭点情報を取得する。そして、当該情報処理装置１は、補正輪郭点情報と基準輪郭点情報とを用いて、理想輪郭点情報を取得する。そして、当該情報処理装置１は、理想輪郭点情報を出力する。
　（ステップＳ４０１）変換情報取得部１２は、受付部１１が実観測輪郭線情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合は、ステップＳ４０２に進み、そうでない場合は、ステップＳ４０１に戻る。
　（ステップＳ４０２）変換情報取得部１２は、受付部１１がパターン情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合は、ステップＳ４０３に進み、そうでない場合は、ステップＳ４０１に戻る。
　（ステップＳ４０３）変換情報取得部１２は、ステップＳ４０１で受け付けた実観測輪郭線情報と、ステップＳ４０２で受け付けたパターン情報とを用いて、変換情報と、基準輪郭線情報とを取得する。
　（ステップＳ４０４）補正輪郭点取得部１３は、ステップＳ４０１で受け付けた実観測輪郭線情報と、ステップＳ４０３で算出した変換情報とを用いて、補正輪郭点情報を取得する。
　（ステップＳ４０５）理想輪郭線取得部１４は、ステップＳ４０３で取得した基準輪郭線情報と、ステップＳ４０４で取得した補正輪郭点情報とを用いて、補正輪郭点情報が示す３以上の各補正輪郭点に対し、当該３以上の各補正輪郭点と第一対応点との距離を算出する。
　（ステップＳ４０６）理想輪郭線取得部１４は、補正輪郭点情報が示す３以上の各補正輪郭点と当該３以上の各補正輪郭点に対応する第一対応点との距離を近似する曲線を示す関数であり、基準輪郭線上の基準点から３以上の各第一対応点までの経路長により、当該第一対応点に対応する距離を算出する関数である理想輪郭線情報を取得する。
　（ステップＳ４０７）理想輪郭線取得部１４は、補正輪郭点情報が示す３以上の各補正輪郭点に対し、当該３以上の各補正輪郭点と第二対応点との距離を算出する。
　（ステップＳ４０８）理想輪郭線取得部１４は、ステップＳ４０７で算出した３以上の距離に対し、外れ値（予め決められた条件を満たすほど大きい距離）が存在するか否かを判断する。理想輪郭線取得部１４は、例えば、ステップＳ４０７で算出した３以上の各距離に対し、予め決められた条件を満たすほど大きいか否かを判断する。そして、予め決められた条件を満たすほど大きい場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値であると判断し、また、予め決められた条件を満たさない場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値でないと判断する。また、外れ値であると判断した数が１以上である場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値が存在すると判断する。また、外れ値であると判断した数が０である場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値が存在しないと判断する。そして、存在する場合は、ステップＳ４０９に進み、そうでない場合は、ステップＳ４１０に進む。
　（ステップＳ４０９）理想輪郭線取得部１４は、ステップＳ４０８で外れ値であると判断された距離に対応する補正輪郭点を、補正輪郭点情報から削除する。そして、ステップＳ７０６に戻る。
　（ステップＳ４１０）理想輪郭点取得部１５は、ステップＳ４０３で取得した基準輪郭線情報と、ステップＳ４０６で取得した理想輪郭線情報とを用いて、理想輪郭点情報を取得する。
　（ステップＳ４１１）出力部１６は、ステップＳ４１０で取得した理想輪郭点情報を出力する。また、出力部１６は、例えば、ステップＳ４０４で取得した補正輪郭点情報を出力してもよい。そして、ステップＳ４０１に戻る。
　図５は、受け付けた描画図形輪郭点情報、または、取得した補正輪郭点情報を用いて理想輪郭点情報を取得し、当該理想輪郭点情報を出力する場合の情報処理装置１の全体動作を示すフローチャートである。
　（ステップＳ５０１）理想輪郭線取得部１４は、受付部１１が描画図形輪郭点情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合は、ステップＳ５０４に進み、そうでない場合は、ステップＳ５０２に進む。
　（ステップＳ５０２）理想輪郭線取得部１４は、受付部１１が実観測輪郭点情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合は、ステップＳ５０３に進み、そうでない場合は、ステップＳ５０１に戻る。
　（ステップＳ５０３）補正輪郭点取得部１３は、ステップＳ５０２で受け付けた実観測輪郭点情報と、予め保持している変換情報とを用いて、補正輪郭点情報を取得する。
　（ステップＳ５０４）理想輪郭線取得部１４は、受付部１１が基準輪郭線情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合は、ステップＳ５０５に進み、そうでない場合は、ステップＳ５０１に戻る。
　（ステップＳ５０５）ここで、ステップＳ５０１で受け付けた描画図形輪郭点情報およびステップＳ５０３で取得した補正輪郭点情報を、処理対象点情報とする。また、描画図形輪郭点情報が示す描画図形輪郭点および補正輪郭点情報が示す補正輪郭点を、処理対象点とする。理想輪郭線取得部１４は、処理対象点情報と、ステップＳ５０４で受け付けた基準輪郭線情報とを用いて、処理対象点情報が示す３以上の各処理対象点に対し、当該３以上の各処理対象点と第一対応点との距離を算出する。
　（ステップＳ５０６）理想輪郭線取得部１４は、処理対象点情報が示す３以上の各処理対象点と、当該３以上の各処理対象点に対応する第一対応点との距離を近似する曲線を示す情報であり、基準輪郭線上の基準点から３以上の各第一対応点までの経路長により、当該第一対応点に対応する距離を算出する関数である理想輪郭線情報を取得する。
　（ステップＳ５０７）理想輪郭線取得部１４は、処理対象点情報が示す３以上の各処理対象点に対し、当該３以上の各処理対象点と第二対応点との距離を算出する。
　（ステップＳ５０８）理想輪郭線取得部１４は、ステップＳ５０７で算出した３以上の距離に対し、外れ値（予め決められた条件を満たすほど大きい距離）が存在するか否かを判断する。理想輪郭線取得部１４は、例えば、ステップＳ５０７で算出した３以上の各距離に対し、予め決められた条件を満たすほど大きいか否かを判断する。そして、予め決められた条件を満たすほど大きい場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値であると判断し、また、予め決められた条件を満たさない場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値でないと判断する。また、外れ値であると判断した数が１以上である場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値が存在すると判断する。また、外れ値であると判断した数が０である場合、理想輪郭線取得部１４は、外れ値が存在しないと判断する。そして、存在する場合は、ステップＳ５０９に進み、そうでない場合は、ステップＳ５１０に進む。
　（ステップＳ５０９）理想輪郭線取得部１４は、ステップＳ５０８で外れ値であると判断された距離に対応する処理対象点を、処理対象点情報から削除する。そして、ステップＳ５０６に戻る。
　（ステップＳ５１０）理想輪郭点取得部１５は、ステップＳ５０４で受け付けた基準輪郭線情報と、ステップＳ５０６で取得した理想輪郭線情報とを用いて、理想輪郭点情報を取得する。
　（ステップＳ５１１）出力部１６は、ステップＳ５１０で取得した理想輪郭点情報を出力する。そして、ステップＳ５０１に戻る。
　なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理を終了してもよい。
　また、図４のフローチャートのステップＳ４０６、および、図５のフローチャートのステップＳ５０６の理想輪郭点情報の取得処理について説明するフローチャートは、例えば、図６である。図６において、理想輪郭線情報は、関数ｂ（ｒ）であるものとする。
　（ステップＳ６０１）理想輪郭点取得部１５は、基準輪郭線情報を用いて、基準輪郭線の長さを算出し、変数ｌｅｎｇｔｈにセットする。
　（ステップＳ６０２）理想輪郭点取得部１５は、「ｌｅｎｇｔｈ／ｍ」を算出し、変数ｖにセットする。ここで、ｍは、基準輪郭線上の対象点の数である。また、ｖは、２つの対象点間の経路長（間隔）である。
　（ステップＳ６０３）理想輪郭点取得部１５は、カウンタｉに１をセットする。
　（ステップＳ６０４）理想輪郭点取得部１５は、「ｖ×（ｉ－１）」を算出し、変数ｒにセットする。ここで、ｒは、基準輪郭線上の基準点から対象点［ｉ］までの経路長である。
　（ステップＳ６０５）理想輪郭点取得部１５は、ｂ（ｒ）を算出し、変数ｄにセットする。
　（ステップＳ６０６）理想輪郭点取得部１５は、対象点［ｉ］における法線であり、長さがｄである法線を取得し、当該法線のｘ成分であるｄｘと、ｙ成分であるｄｙとを算出する。
　（ステップＳ６０７）理想輪郭点取得部１５は、対象点［ｉ］に（ｄｘ，ｄｙ）を加算し、理想輪郭点［ｉ］にセットする。具体的に、理想輪郭点取得部１５は、対象点［ｉ］のｘ座標に、ｄｘを加算し、理想輪郭点［ｉ］のｘ座標とする。また、理想輪郭点取得部１５は、対象点［ｉ］のｙ座標にｄｙを加算し、理想輪郭点［ｉ］のｙ座標とする。
　（ステップＳ６０８）理想輪郭点取得部１５は、ｉがｍであるか否かを判断する。ｍである場合は、上位処理にリターンし、そうでない場合は、ステップＳ６０９に進む。
　（ステップＳ６０９）理想輪郭点取得部１５は、ｉを１インクリメントする。そして、ステップＳ６０４に戻る。
　なお、上記で説明した情報処理装置１の全体動作は、あくまで一例である。つまり、情報処理装置１の全体動作は、上記の説明に限定されるものではない。
　（具体例）
　次に、情報処理装置１の動作の具体例について説明する。
　（例１）
　本例において、パターン情報と、実観測輪郭線情報を用いて、変換情報と基準輪郭線情報とを取得し、当該変換情報を用いて、補正輪郭点情報を取得する例について説明する。なお、本例において、パターン情報が示すパターン図形であり、電子ビーム描画装置に描画させるパターン図形は、図７であるものとする。
　まず、受付部１１は、パターン情報と実観測輪郭線情報とを受け付ける。当該実観測輪郭線情報により示される実観測輪郭線は、例えば、図８である。また、当該実観測輪郭線情報は、例えば、図９である。当該実観測輪郭線情報は、レコードを一意に特定するためのＩＤと、３以上の実観測輪郭点の座標を有する。項目名「ｘ」は、実観測輪郭点のｘ座標であり、項目名「ｙ」は、実観測輪郭点のｙ座標である。
　次に、変換情報取得部１２は、受付部１１が受け付けたパターン情報と実観測輪郭線情報とを用いて、数式１により算出される値を最小化するαとＴを算出する。当該αおよびＴを算出する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。
　次に、補正輪郭点取得部１３は、算出したαにより表現される変換情報を、図９の各実観測輪郭点の座標に適用する。そして、補正輪郭点取得部１３は、補正輪郭点情報を算出する。当該補正輪郭点情報は、例えば、図１０である。また、図１０の３以上の各補正輪郭点情報が示す補正輪郭点により示される補正輪郭線は、例えば、図１１である。
　（例２）
　本例において、補正輪郭点情報または描画図形輪郭点情報と、基準輪郭線情報とを用いて、理想輪郭点情報を取得し、理想輪郭点情報を取得する例について説明する。なお、本例において、補正輪郭点情報を用いる例について説明する。つまり、描画図形輪郭点情報を用いる例については、本例において、「補正輪郭点」を、「描画図形輪郭点」と読み替えるものとする。また、描画図形輪郭点情報は、受付部１１が受け付ける。
　まず、理想輪郭線取得部１４は、補正輪郭点取得部１３が取得した補正輪郭点情報により示される３以上の各補正輪郭点に対して、基準輪郭線上の第一対応点を算出する。そして、理想輪郭線取得部１４は、当該３以上の各補正輪郭点と、当該補正輪郭点に対応する第一対応点との距離を算出する。そして、理想輪郭線取得部１４は、基準輪郭線上の基準点から第一対応点までの経路長ｒを算出し、当該第一対応点に対応する補正輪郭点と、当該第一対応点とを対応付ける。この結果、理想輪郭線取得部１４は、例えば、図１２に示す情報を取得する。当該情報は、レコードを一意に特定するためのＩＤと、補正輪郭点の座標と、当該補正輪郭点に対応する第一対応点の基準点からの経路長（項目名：ｒ）と、当該補正輪郭点と第一対応点との距離（項目名：ｂ）とを有する。項目名「ｘ」は、補正輪郭点のｘ座標であり、項目名「ｙ」は、補正輪郭点のｙ座標である。また、図１２におけるｒとｄの関係を表すグラフは、例えば、図１３である。
　次に、理想輪郭線取得部１４は、図１３のグラフを用いて、ｂを近似するｒの関数を算出する。当該関数をｂ（ｒ）とすると、ｂ（ｒ）により示される曲線は、例えば、図１４である。また、当該曲線は、理想輪郭線である。また、当該曲線を示す関数ｂ（ｒ）は、理想輪郭線情報である。
　次に、理想輪郭線取得部１４は、図１４のグラフから、理想輪郭線情報との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい補正輪郭点を除去する。そして、理想輪郭線取得部１４は、当該除去後の補正輪郭点に対応するｂを近似する関数ｂ（ｒ）を算出する。当該除去後のｂ（ｒ）により示される曲線は、例えば、図１５である。理想輪郭線取得部１４は、外れ値である補正輪郭点を除去する処理と、当該除去後の補正輪郭点に対応するｂを近似する関数ｂ（ｒ）を算出する処理とを、いわゆる終了条件を満たすまで繰り返し、理想輪郭線情報を取得する。理想輪郭線取得部１４が最終的に取得した理想輪郭線情報ｂ（ｒ）により示される曲線は、例えば、図１６である。
　次に、理想輪郭点取得部１５は、基準輪郭線上の基準点から、予め決められた経路長ごとの点である対象点を算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、理想輪郭線取得部１４が取得した理想輪郭線情報である関数ｂ（ｒ）と、算出した３以上の各対象点に対応する経路長ｒとを用いて、当該対象点から理想輪郭線までの距離ｂを算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、対象点までのｒと、当該対象点の座標と、当該対象点におけるｂとを対応付ける。この結果、理想輪郭点取得部１５は、例えば、図１７に示す情報を取得する。当該情報は、レコードを一意に特定するためのＩＤと、基準点から対象点までの経路長（項目名：ｒ）と、対象点の座標と、対象点から補正輪郭点までの距離（項目名：ｂ）とを有する。項目名「ｘ」は、対象点のｘ座標であり、項目名「ｙ」は、対象点のｙ座標である。
　次に、理想輪郭点取得部１５は、図１７の３以上の各対象点に対して、基準輪郭線に対する法線を算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、当該算出した法線に対して、対象点に対応するｂを適用し、当該ｂのｘ成分、ｙ成分を算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、算出したｘ成分、ｙ成分を、図１７のｘ座標、ｙ座標のそれぞれに加算し、理想輪郭点の座標を算出する。そして、理想輪郭点取得部１５は、３以上の理想輪郭点の座標を有する理想輪郭点情報を取得する。当該理想輪郭点情報は、例えば、図１８である。
　以上、本実施の形態による情報処理装置１によれば、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を、より精度良く取得することができる。この結果、パターン図形の補正に用いるパラメータの校正を、より精度良く行うことができる。さらに、この結果、パターン図形の補正を、より精度良く行うことができる。
　なお、本実施の形態において、情報処理装置１は、例えば、理想輪郭線取得部１４、理想輪郭点取得部１５を備えていなくてもよい。この場合の情報処理装置１のブロック図は、図１９である。また、この場合、受付部１１は、通常、パターン情報と実観測輪郭線情報とを受け付ける。また、変換情報取得部１２は、例えば、パターン情報と実観測輪郭線情報とを用いて、変換情報を取得する。また、補正輪郭点取得部１３は、例えば、実観測輪郭線情報と取得変換情報とを用いて、補正輪郭点情報を取得する。また、補正輪郭点取得部１３は、例えば、実観測輪郭線情報と、保持変換情報とを用いて、補正輪郭点情報を取得する。また、出力部１６は、補正輪郭点取得部１３が取得した補正輪郭点情報を出力する。
　また、本実施の形態において、情報処理装置１は、例えば、変換情報取得部１２、補正輪郭点取得部１３を備えていなくてもよい。この場合の情報処理装置１のブロック図は、図２０である。また、この場合、受付部１１は、通常、描画図形輪郭点情報と、基準輪郭線情報とを受け付ける。また、理想輪郭線取得部１４は、例えば、描画図形輪郭点情報と、基準輪郭線情報とを用いて、理想輪郭線情報を取得する。また、理想輪郭点取得部１５は、基準輪郭線情報と、理想輪郭線情報とを用いて、理想輪郭点情報を取得する。また、出力部１６は、理想輪郭点取得部１５が取得した理想輪郭点情報を出力する。
　また、上記各実施の形態における情報処理装置は、例えば、スタンドアロンの装置であってもよいし、サーバ・クライアントシステムにおけるサーバ装置であってもよい。
　また、上記各実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよいし、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。
　また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよいし、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。
　また、上記各実施の形態における情報処理装置を実現するソフトウェアは、例えば、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報と、電子ビーム描画装置が前記パターン図形に応じて描画した図形を撮影した画像を用いて取得される当該図形の輪郭線である実観測輪郭線を示す情報である実観測輪郭線情報とを受け付ける受付部、前記パターン情報と、前記実観測輪郭線情報とを用いて、前記実観測輪郭線上の点である３以上の各実観測輪郭点を、当該３以上の各実観測輪郭点が補正された点である３以上の補正輪郭点に補正するための情報であり、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込みの値と、当該畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する情報である変換情報を取得する変換情報取得部、前記実観測輪郭線情報と、前記変換情報とを用いて、前記３以上の各実観測輪郭点に対応する前記３以上の補正輪郭点を取得し、当該取得した３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得部、前記補正輪郭点情報を出力する出力部として機能させるためのプログラムである。
　また、上記各実施の形態における情報処理装置を実現するソフトウェアは、例えば、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形の輪郭線上の点である３以上の描画図形輪郭点を示す情報である描画図形輪郭点情報と、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各描画図形輪郭点に対する畳み込みの値の分布中における１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である基準輪郭線を示す情報である基準輪郭線情報とを受け付ける受付部、前記描画図形輪郭点情報と、前記基準輪郭線情報とを用いて、前記３以上の各描画図形輪郭点と、当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する基準輪郭線上の点である対応点との距離を取得し、当該距離を基準輪郭線上の任意の点から当該対応点までの経路長により取得する関数であり、当該距離を近似する曲線である理想輪郭線を示す関数である理想輪郭線情報を取得し、当該理想輪郭線情報により示される理想輪郭線との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい描画図形輪郭点を削除する処理と、当該削除後の３以上の各描画図形輪郭点と当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する対応点との距離を用いて前記理想輪郭線情報を取得する処理とを１以上繰り返し、理想輪郭線情報を取得する理想輪郭線取得部、前記基準輪郭線情報と、前記理想輪郭線情報とを用いて、前記基準輪郭線上の任意の点から任意の経路長にある３以上の点である対象点から、当該対象点に対応する前記理想輪郭線上の点までの距離を取得し、前記対象点から当該取得した距離にある点を取得し、当該取得した点である３以上の理想輪郭点を示す情報である理想輪郭点情報を取得する理想輪郭点取得部、前記理想輪郭点情報を出力する出力部として機能させるためのプログラムである。
　なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。
　また、上記プログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよいし、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ－ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。また、このプログラムは、プログラムプロダクトを構成するプログラムとして用いられてもよい。
　また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよいし、複数であってもよい。つまり、集中処理を行ってもよいし、あるいは分散処理を行ってもよい。
　また、図２１は、前述のプログラムを実行して、前述の実施の形態の情報処理装置等を実現するコンピュータシステム９の概観図である。前述の実施の形態は、コンピュータハードウェア、およびその上で実行されるコンピュータプログラムで実現され得る。
　図２１において、コンピュータシステム９は、ＣＤ－ＲＯＭドライブ９０１１を含むコンピュータ９０１と、キーボード９０２と、マウス９０３と、モニタ９０４とを備える。
　図２２は、コンピュータシステム９のブロック図である。図２２において、コンピュータ９０１は、ＣＤ－ＲＯＭドライブ９０１１に加えて、ＭＰＵ９０１２と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ９０１３と、ＭＰＵ９０１２に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶するとともに一時記憶空間を提供するためのＲＡＭ９０１４と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、およびデータを記憶するためのハードディスク９０１５と、ＣＤ－ＲＯＭドライブ９０１１、ＭＰＵ９０１２等を相互に接続するバス９０１６とを備える。ここでは図示しないが、コンピュータ９０１は、さらに、ＬＡＮへの接続を提供するネットワークカードを備えていてもよい。
　コンピュータシステム９に、前述の実施の形態の情報処理装置等の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ－ＲＯＭ９１０１に記憶されて、ＣＤ－ＲＯＭドライブ９０１１に挿入され、さらにハードディスク９０１５に転送されてもよい。これに代えて、プログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ９０１に送信され、ハードディスク９０１５に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ９０１４にロードされる。プログラムは、ＣＤ－ＲＯＭ９１０１またはネットワークから直接、ロードされてもよい。
　プログラムは、コンピュータ９０１に、前述の実施の形態の情報処理装置等の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティープログラム等は、必ずしも含まなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいればよい。コンピュータシステム９がどのように動作するかは周知であり、詳細な説明は省略する。
　本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
　以上のように、本発明にかかる情報処理装置は、電子ビーム描画装置が描画した図形の輪郭線上の３以上の点を示す情報を、より精度良く取得することができるという効果を有し、ＭＰＣを行う装置等として有用である。
　１　情報処理装置
　１１　受付部
　１２　変換情報取得部
　１３　補正輪郭点取得部
　１４　理想輪郭線取得部
　１５　理想輪郭点取得部
　１６　出力部

Claims (9)

  1. 電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報と、電子ビーム描画装置が前記パターン図形に応じて描画した図形を撮影した画像を用いて取得される当該図形の輪郭線である実観測輪郭線を示す情報である実観測輪郭線情報とを受け付ける受付部と、
    前記パターン情報と、前記実観測輪郭線情報とを用いて、前記実観測輪郭線上の点である３以上の各実観測輪郭点を、当該３以上の各実観測輪郭点が補正された点である３以上の補正輪郭点に補正するための情報であり、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込みの値と、当該畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する情報である変換情報を取得する変換情報取得部と、
    前記実観測輪郭線情報と、前記変換情報とを用いて、前記３以上の各実観測輪郭点に対応する前記３以上の補正輪郭点を取得し、当該取得した３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得部と、
    前記補正輪郭点情報を出力する出力部とを備える情報処理装置。
  2. 前記補正輪郭点情報を用いて、前記３以上の補正輪郭点を近似する曲線上の点である３以上の理想輪郭点を示す情報である理想輪郭点情報を取得する理想輪郭点取得部をさらに備え、
    前記出力部は、
    前記理想輪郭点情報を出力する請求項１記載の情報処理装置。
  3. 前記変換情報取得部は、
    前記パターン情報と、前記実観測輪郭線情報とを用いて、前記差の二乗和を最小化する変換情報と、前記畳み込み値に関する閾値とを取得し、当該閾値と、前記パターン情報とを用いて、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の畳み込みの値の分布中における１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である基準輪郭線を示す情報である基準輪郭線情報を取得し、
    前記補正輪郭点情報と、前記基準輪郭線情報とを用いて、前記３以上の各補正輪郭点と、当該３以上の各補正輪郭点に対応する基準輪郭線上の点である対応点との距離を取得し、当該距離を基準輪郭線上の任意の点から当該対応点までの経路長により取得する関数であり、当該距離を近似する曲線である理想輪郭線を示す関数である理想輪郭線情報を取得し、当該理想輪郭線情報により示される理想輪郭線との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい補正輪郭点を削除する処理と、当該削除後の３以上の各補正輪郭点と当該３以上の各補正輪郭点に対応する対応点との距離を用いて前記理想輪郭線情報を取得する処理とを１以上繰り返し、理想輪郭線情報を取得する理想輪郭線取得部と、
    前記基準輪郭線情報と、前記理想輪郭線情報とを用いて、前記基準輪郭線上の任意の点から任意の経路長にある３以上の点である対象点から、当該対象点に対応する前記理想輪郭線上の点までの距離を取得し、前記対象点から当該取得した距離にある点を取得し、当該取得した点である３以上の理想輪郭点を示す情報である理想輪郭点情報を取得する理想輪郭点取得部とをさらに備え、
    前記出力部は、
    前記理想輪郭点情報を出力する請求項１記載の情報処理装置。
  4. 電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形の輪郭線上の点である３以上の描画図形輪郭点を示す情報である描画図形輪郭点情報と、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各描画図形輪郭点に対する畳み込みの値の分布中における１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である基準輪郭線を示す情報である基準輪郭線情報とを受け付ける受付部と、
    前記描画図形輪郭点情報と、前記基準輪郭線情報とを用いて、前記３以上の各描画図形輪郭点と、当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する基準輪郭線上の点である対応点との距離を取得し、当該距離を基準輪郭線上の任意の点から当該対応点までの経路長により取得する関数であり、当該距離を近似する曲線である理想輪郭線を示す関数である理想輪郭線情報を取得し、当該理想輪郭線情報により示される理想輪郭線との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい描画図形輪郭点を削除する処理と、当該削除後の３以上の各描画図形輪郭点と当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する対応点との距離を用いて前記理想輪郭線情報を取得する処理とを１以上繰り返し、理想輪郭線情報を取得する理想輪郭線取得部と、
    前記基準輪郭線情報と、前記理想輪郭線情報とを用いて、前記基準輪郭線上の任意の点から任意の経路長にある３以上の点である対象点から、当該対象点に対応する前記理想輪郭線上の点までの距離を取得し、前記対象点から当該取得した距離にある点を取得し、当該取得した点である３以上の理想輪郭点を示す情報である理想輪郭点情報を取得する理想輪郭点取得部と、
    前記理想輪郭点情報を出力する出力部とを備える情報処理装置。
  5. 前記描画図形輪郭点情報は、
    電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形を撮影した画像を用いて取得される当該図形の輪郭線である実観測輪郭線上の点である３以上の実測輪郭点を示す情報である実観測輪郭点情報であり、
    前記３以上の各実観測輪郭点に対応する前記基準輪郭線の座標系の点を取得し、当該取得した点である３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得部をさらに備え、
    前記理想輪郭線取得部は、
    前記基準輪郭線情報と、前記補正輪郭点情報とを用いて、前記理想輪郭線情報を取得する請求項４記載の情報処理装置。
  6. 受付部と、変換情報取得部と、補正輪郭点取得部と、出力部とを用いて行われる情報処理方法であって、
    前記受付部が、
    電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報と、電子ビーム描画装置が前記パターン図形に応じて描画した図形を撮影した画像を用いて取得される当該図形の輪郭線である実観測輪郭線を示す情報である実観測輪郭線情報とを受け付ける受付ステップと、
    前記変換情報取得部が、
    前記パターン情報と、前記実観測輪郭線情報とを用いて、前記実観測輪郭線上の点である３以上の各実観測輪郭点を、当該３以上の各実観測輪郭点が補正された点である３以上の補正輪郭点に補正するための情報であり、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込みの値と、当該畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する情報である変換情報を取得する変換情報取得ステップと、
    前記補正輪郭点取得部が、
    前記実観測輪郭線情報と、前記変換情報とを用いて、前記３以上の各実観測輪郭点に対応する前記３以上の補正輪郭点を取得し、当該取得した３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得ステップと、
    前記出力部が、
    前記補正輪郭点情報を出力する出力ステップとを備える情報処理方法。
  7. 受付部と、理想輪郭線取得部と、理想輪郭点取得部と、出力部とを用いて行われる情報処理方法であって、
    前記受付部が、
    電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形の輪郭線上の点である３以上の描画図形輪郭点を示す情報である描画図形輪郭点情報と、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各描画図形輪郭点に対する畳み込みの値の分布中における１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である基準輪郭線を示す情報である基準輪郭線情報とを受け付ける受付ステップと、
    前記理想輪郭線取得部が、
    前記描画図形輪郭点情報と、前記基準輪郭線情報とを用いて、前記３以上の各描画図形輪郭点と、当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する基準輪郭線上の点である対応点との距離を取得し、当該距離を基準輪郭線上の任意の点から当該対応点までの経路長により取得する関数であり、当該距離を近似する曲線である理想輪郭線を示す関数である理想輪郭線情報を取得し、当該理想輪郭線情報により示される理想輪郭線との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい描画図形輪郭点を削除する処理と、当該削除後の３以上の各描画図形輪郭点と当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する対応点との距離を用いて前記理想輪郭線情報を取得する処理とを１以上繰り返し、理想輪郭線情報を取得する理想輪郭線取得ステップと、
    前記理想輪郭点取得部が、
    前記基準輪郭線情報と、前記理想輪郭線情報とを用いて、前記基準輪郭線上の任意の点から任意の経路長にある３以上の点である対象点から、当該対象点に対応する前記理想輪郭線上の点までの距離を取得し、前記対象点から当該取得した距離にある点を取得し、当該取得した点である３以上の理想輪郭点を示す情報である理想輪郭点情報を取得する理想輪郭点取得ステップと、
    前記出力部が、
    前記理想輪郭点情報を出力する出力ステップとを備える情報処理方法。
  8. コンピュータを、
    電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報と、電子ビーム描画装置が前記パターン図形に応じて描画した図形を撮影した画像を用いて取得される当該図形の輪郭線である実観測輪郭線を示す情報である実観測輪郭線情報とを受け付ける受付部、
    前記パターン情報と、前記実観測輪郭線情報とを用いて、前記実観測輪郭線上の点である３以上の各実観測輪郭点を、当該３以上の各実観測輪郭点が補正された点である３以上の補正輪郭点に補正するための情報であり、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各補正輪郭点に対する畳み込みの値と、当該畳み込み値に関する閾値との差の二乗和を最小化する情報である変換情報を取得する変換情報取得部、
    前記実観測輪郭線情報と、前記変換情報とを用いて、前記３以上の各実観測輪郭点に対応する前記３以上の補正輪郭点を取得し、当該取得した３以上の補正輪郭点を示す情報である補正輪郭点情報を取得する補正輪郭点取得部、
    前記補正輪郭点情報を出力する出力部として機能させるためのプログラムを記録した記録媒体。
  9. コンピュータを、
    電子ビーム描画装置がパターン図形に応じて描画した図形の輪郭線上の点である３以上の描画図形輪郭点を示す情報である描画図形輪郭点情報と、パターン図形により示される領域内における任意の点拡がり関数の３以上の各描画図形輪郭点に対する畳み込みの値の分布中における１以上の等値線のうちのいずれか１つの等値線である基準輪郭線を示す情報である基準輪郭線情報とを受け付ける受付部、
    前記描画図形輪郭点情報と、前記基準輪郭線情報とを用いて、前記３以上の各描画図形輪郭点と、当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する基準輪郭線上の点である対応点との距離を取得し、当該距離を基準輪郭線上の任意の点から当該対応点までの経路長により取得する関数であり、当該距離を近似する曲線である理想輪郭線を示す関数である理想輪郭線情報を取得し、当該理想輪郭線情報により示される理想輪郭線との距離が予め決められた条件を満たすほど大きい描画図形輪郭点を削除する処理と、当該削除後の３以上の各描画図形輪郭点と当該３以上の各描画図形輪郭点に対応する対応点との距離を用いて前記理想輪郭線情報を取得する処理とを１以上繰り返し、理想輪郭線情報を取得する理想輪郭線取得部、
    前記基準輪郭線情報と、前記理想輪郭線情報とを用いて、前記基準輪郭線上の任意の点から任意の経路長にある３以上の点である対象点から、当該対象点に対応する前記理想輪郭線上の点までの距離を取得し、前記対象点から当該取得した距離にある点を取得し、当該取得した点である３以上の理想輪郭点を示す情報である理想輪郭点情報を取得する理想輪郭点取得部、
    前記理想輪郭点情報を出力する出力部として機能させるためのプログラムを記録した記録媒体。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109891461B (zh) * 2016-10-25 2023-02-03 三菱电机株式会社 地图数据生成装置、终端装置及地图数据生成方法
US11567413B2 (en) * 2019-02-25 2023-01-31 Asml Netherlands B.V. Method for determining stochastic variation of printed patterns

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10261562A (ja) * 1997-03-18 1998-09-29 Toshiba Corp 荷電粒子ビーム描画用の近接効果補正装置
JP2000114169A (ja) * 1998-06-12 2000-04-21 Matsushita Electronics Industry Corp パタ―ン形成方法
JP2006107209A (ja) * 2004-10-06 2006-04-20 Toshiba Corp パターン検査装置、近似曲線の作成方法、パターン検査方法およびプログラム

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6724507B1 (en) * 1998-07-02 2004-04-20 Fuji Xerox Co., Ltd. Image processing method and image processing apparatus
US6868175B1 (en) * 1999-08-26 2005-03-15 Nanogeometry Research Pattern inspection apparatus, pattern inspection method, and recording medium
JP4417763B2 (ja) * 2004-04-08 2010-02-17 大日本印刷株式会社 Ｓｅｍ画像の白帯領域抽出処理方法およびｓｅｍ画像における特徴量算出方法
CN101052993A (zh) 2004-11-05 2007-10-10 皇家飞利浦电子股份有限公司 用于医学图像配准的通用变换滤波合成
JP4695942B2 (ja) * 2005-08-22 2011-06-08 株式会社ニューフレアテクノロジー データの検証方法
JP4343929B2 (ja) * 2006-07-10 2009-10-14 株式会社日立製作所 微細パターン評価方法及び装置
JP5205983B2 (ja) * 2008-01-18 2013-06-05 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置のデータ作成方法、および電子線露光システム
JP4993128B2 (ja) * 2008-02-26 2012-08-08 大日本印刷株式会社 画像処理方法及びその方法を用いた画像処理装置
US20110202893A1 (en) * 2010-02-16 2011-08-18 Ir Kusnadi Contour Self-Alignment For Optical Proximity Correction Model Calibration
WO2012054547A1 (en) 2010-10-20 2012-04-26 Basf Coatings Gmbh Scratch-resistant refinish clearcoat
US8849054B2 (en) * 2010-12-23 2014-09-30 Samsung Electronics Co., Ltd Digital image stabilization
JP2013045372A (ja) * 2011-08-25 2013-03-04 Dainippon Printing Co Ltd 画像評価方法、描画条件選択方法、画像評価プログラム、描画条件選択プログラム
JP5810031B2 (ja) * 2012-04-27 2015-11-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 半導体回路パターン計測装置及び方法
JP5743955B2 (ja) * 2012-05-28 2015-07-01 株式会社日立ハイテクノロジーズ パターン検査装置およびパターン検査方法
US9978092B2 (en) * 2013-08-28 2018-05-22 Rakuten, Inc. Information processing device, information processing method, program for information processing device, and recording medium
US9646220B2 (en) * 2013-11-25 2017-05-09 GlobalFoundries, Inc. Methods and media for averaging contours of wafer feature edges

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10261562A (ja) * 1997-03-18 1998-09-29 Toshiba Corp 荷電粒子ビーム描画用の近接効果補正装置
JP2000114169A (ja) * 1998-06-12 2000-04-21 Matsushita Electronics Industry Corp パタ―ン形成方法
JP2006107209A (ja) * 2004-10-06 2006-04-20 Toshiba Corp パターン検査装置、近似曲線の作成方法、パターン検査方法およびプログラム

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
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