TW201519997A - 凸緣機構 - Google Patents

Abstract

本發明之課題為提供一能抑制在裝設孔與凸座部之間發生磨擦之凸緣機構。解決手段為包含固定凸緣、加壓凸緣與固定螺帽的凸緣機構，該固定凸緣具備圓筒狀的凸座部、刀片裝設部與用於支撐切削刀片之側面的支承凸緣部，該加壓凸緣具有將內周支撐在刀片裝設部之裝設孔，並用於與固定凸緣將切削刀片挾持住，該固定螺帽用於將加壓凸緣固定到固定凸緣上。內周具有，從固定螺帽側朝切削刀片側擴徑之引導部、從切削刀片側朝固定螺帽側擴徑之脫離部，和形成於引導部與脫離部間的支撐稜部，且加壓凸緣是使支撐稜部接觸於刀片裝設部而受到支撐。

Description

凸緣機構 發明領域

本發明是有關於一種凸緣機構。

發明背景

在針對半導體晶圓等被加工物進行的精密切削加工中，被稱為切割裝置之切削裝置受到廣泛地利用。在切割裝置中，是透過被挾持在安裝於主軸(spindle)前端的凸緣機構上之切削刀片來切削被加工物(參照例如，專利文獻1)。凸緣機構是包含，固定於主軸之固定凸緣、在和固定凸緣間挾持切削刀片之加壓凸緣，和將加壓凸緣固定到固定凸緣上之固定螺帽而構成。

凸緣機構，是在將與形成於固定凸緣之主軸的軸線平行地突出之凸座部穿插在切削刀片之插通孔之狀態下，藉由將加壓凸緣的裝設孔裝設於凸座部，並將固定螺帽螺旋接合於凸座部之公螺紋，以利用固定凸緣與加壓凸緣將切削刀片挾持並固定。又，在凸緣機構中，是將加壓凸緣的裝設孔的內徑設定成，可供凸座部插入插通孔之程度的僅比凸座部的外徑稍大的尺寸。在此，是將裝設孔的內徑與凸座部的外徑之差設定成較小，以使固定凸緣的軸 線與加壓凸緣的軸線可位於同軸上。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2005-191096號公報

在這種凸緣機構中，由於裝設孔的內徑與凸座部的外徑僅有些微差距，所以將加壓凸緣裝設於固定凸緣之時，當加壓凸緣相對於固定凸緣僅稍微傾斜時，就會發生容易使裝設孔與凸座部相嵌合之，所謂的磨擦之問題。又，由於凸緣機構會被要求組合安裝之精度，當因為磨擦而在裝設孔的內周與凸座部的外周造成損傷時，就會變得無法滿足其組合安裝之精度，而恐有必須進行修理或更換之虞。

本發明是有鑑於上述情形而作成者，其目的為提供一種能抑制在裝設孔與凸座部間發生磨擦之凸緣機構。

為解決前述課題，並達成目的，本發明為固定在被支撐成可旋轉之主軸的前端，並可挾持用於對被加工物進行切削加工之環狀的切削刀片的凸緣機構，特徵在於，其包含：固定凸緣，具備在前端部的外周形成有公螺紋之圓筒狀的凸座部、形成於凸座部之軸向中間部，用於支撐切削刀片之內周面的刀片裝設部，和從凸座部的軸向後端部沿半徑方向朝外側突出而形成，用於支撐切削刀片其中 一邊的側面的支承凸緣部；環狀的加壓凸緣，於中心具有可供凸座部插入且內周受到刀片裝設部支撐之裝設孔，並可和固定凸緣將切削刀片挾持住；以及環狀的固定螺帽，螺旋接合於凸座部之公螺紋，並可將加壓凸緣固定到固定凸緣上。挟持切削刀片之可供凸座部插入之加壓凸緣的裝設孔之內周具有，從切削刀片側朝向固定螺帽側縮徑，用於引導加壓凸緣往凸座部的插入之引導部、從固定螺帽側朝向切削刀片側縮徑之脫離部，和形成於引導部與脫離部之間的支撐稜部，且加壓凸緣是使支撐稜部接觸於固定凸緣之刀片裝設部而受到支撐。

又，在上述凸緣機構中，宜將引導部形成為曲面。

依據此發明，由於可藉由讓內周以形成於擴徑之引導部與脫離部間之支撐稜部接觸於固定凸緣的刀片裝設部之方式，使加壓凸緣受到刀片裝設部支撐，因而可以將刀片裝設部相對於內周的接觸面積變小，而讓可以抑制在裝設孔與凸座部之間發生摩擦之效果得以實現。

1‧‧‧切削裝置

10‧‧‧旋轉驅動機構

11‧‧‧主軸

11a、331‧‧‧螺孔

11b、314a、331a‧‧‧母螺紋

12‧‧‧主軸殼體

20‧‧‧切削刀片

21、41a‧‧‧插通孔

21a‧‧‧內周面

211a、211b‧‧‧側面

3‧‧‧移動機構

3a‧‧‧X軸移動機構

3b‧‧‧Y軸移動機構

3c‧‧‧Z軸移動機構

30‧‧‧凸緣機構

31‧‧‧固定凸緣

311‧‧‧凸座部

311a‧‧‧刀片裝設部

311b‧‧‧公螺紋部

311c‧‧‧環狀凹部

311d、42a‧‧‧公螺紋

312‧‧‧主軸裝設部

312a‧‧‧主軸嵌合部

313‧‧‧支承凸緣部

313a、322a‧‧‧挾持突起

314‧‧‧固定機構安裝部

314a‧‧‧墊圈抵接部

32‧‧‧加壓凸緣

321‧‧‧裝設孔

321a‧‧‧內周

322‧‧‧凸緣部

323‧‧‧曲面部

323a‧‧‧引導部

323b‧‧‧支撐稜部

323c‧‧‧脫離部

324‧‧‧肋部

33‧‧‧固定螺帽

4‧‧‧撮像機構

40‧‧‧固定機構

41‧‧‧墊圈

42‧‧‧固定螺絲

42b‧‧‧六角孔

5‧‧‧切削機構

6‧‧‧本體部

r1‧‧‧半徑

r2‧‧‧曲率半徑

L‧‧‧寬度

圖1為顯示實施形態的切削裝置之構成例的立體圖。

圖2為顯示實施形態的凸緣機構之構成例的剖面圖。

圖3為顯示實施形態的凸緣機構之構成例的分解立體圖。

圖4為顯示實施形態的凸緣機構之構成例的分解剖面 圖；圖5為顯示曲面部之剖面圖。

圖6為顯示加壓凸緣相對於固定凸緣傾斜之狀態的剖面圖。

圖7為顯示以實施形態的凸緣機構挾持厚度大的切削刀片之狀態的剖面圖。

用以實施發明之形態

針對用於實施本發明之形態(實施形態)，一邊參照圖式一邊詳細地作說明。在以下之實施形態中所記載的內容並非用以限定本發明者。又，在以下所記載之構成要素中，包含本領域業者可容易推想得到者、實質上為相同者。此外，將以下所記載之構成適當地進行組合是可行的。又，在不脫離本發明之要旨的範圍內，可以進行各種構成的省略、置換或變更。

〔實施形態〕

圖1為顯示實施形態的切削裝置之構成例的立體圖。圖2為顯示實施形態的凸緣機構之構成例的剖面圖。圖3為顯示實施形態的凸緣機構之構成例的分解立體圖。圖4為顯示實施形態的凸緣機構之構成例的分解剖面圖。圖5為顯示曲面部之剖面圖。

圖1所示之切削裝置1是以圖3所示之凸緣機構30所挾持並固定之切削刀片20，對被加工物進行切削之加工裝置。如圖1所示，切削裝置1是包含夾頭台2、移動機構3、 撮像機構4和切削機構5而構成。被加工物並未特別受到限定，可以是例如，板狀的半導體晶圓或光裝置晶圓、板狀的無機材料基板、板狀的延性材料等、板狀的各種加工材料。在本實施形態中，是針對在被加工物的表面形成複數條相互直交之分割預定線的情況作說明。

夾頭台2是用於吸引保持被加工物者。並將夾頭台2形成為圓盤狀，且將上表面形成為平行於水平方向之平面。夾頭台2是由多孔陶瓷(porous ceramics)所構成，並被連接到圖未示之真空吸引源。

移動機構3是可使使夾頭台2與切削機構5在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向上相對移動者。移動機構3是包含X軸移動機構3a、Y軸移動機構3b與Z軸移動機構3c而構成。X軸移動機構3a將夾頭台2支撐成可相對於本體部6在X軸方向(相當於切削傳送方向)上進行相對移動。Y軸移動機構3b將切削機構5支撐成可相對於本體部6在Y軸方向(相當於分度傳送方向)上進行相對移動。Z軸移動機構3c將切削機構5支撐成可相對於本體部6在Z軸方向(相當於切入傳送方向)上進行相對移動。各個移動機構3a~3c可由例如，馬達、滾珠螺桿、螺帽等所構成。

撮像機構4是為了相對於被加工物之分割預定線(切割道)校準調整切削機構5，而在對切割道切削加工前進行拍撮者。撮像機構4可為例如，使用CCD(Charge Coupled Device)影像感測器之攝像機等。

切削機構5是用於對被加工物施行切削加工者。 如圖3所示，切削機構5是包含旋轉驅動機構10、切削刀片20、凸緣機構30和固定機構40而構成。

旋轉驅動機構10是可在高速下旋轉驅動切削刀片20者。旋轉驅動機構10具備主軸11、主軸殼體12和圖未示之馬達。主軸11是可供凸緣機構30可裝卸地固定在其前端者，並被支撐成可相對於主軸殼體12旋轉。主軸11形成為朝向前端縮徑之截頭圓錐體形。如圖3及圖4所示，主軸11具有形成有可和使凸緣機構30固定於其前端之固定機構40螺旋接合之母螺紋11b的螺孔11a。主軸殼體12是形成為筒狀，並可藉由徑向空氣軸承(radial air bearing)及止推空氣軸承(thrust air bearing)，將被插入之主軸11支撐成可旋轉。

如圖3所示，切削刀片20是形成為環形的圓板狀之切削研磨石，並可藉高速旋轉切削保持在夾頭台2上之被加工物者。切削刀片20可為例如，所謂金屬燒結刀片(metal bond blade)，樹脂黏合刀片(resin bond blade)，熔珠結合刀片(bead bond blade)等。切削刀片20，其厚度為數十μm左右，並具有柔軟性。切削刀片20具有對應後述之刀片裝設部311a(參照圖4)的外形之大小的圓形插通孔21。如圖2所示，切削刀片20會受到凸緣機構30的加壓凸緣32與固定凸緣31挾持住，而被固定在固定凸緣31上。

凸緣機構30是可將切削刀片20挾持並固定成可裝卸者，且為可裝卸地固定於主軸11的前端者。如圖2及圖3所示，凸緣機構30是包含固定凸緣31、加壓凸緣32和固定螺帽33而構成。

固定凸緣31形成為圓筒狀。如圖4所示，固定凸緣31具備凸座部311、主軸裝設部312、支承凸緣部313和固定機構安裝部314。

凸座部311是形成為沿固定凸緣31的軸向突出之圓筒狀。凸座部311具有刀片裝設部311a、公螺紋部311b和環狀凹部311c。刀片裝設部311a是形成於凸座部311的軸向中間部的外周，用於支撐圖3所示之切削刀片20之插通孔21的內周面21a。公螺紋部311b是形成於凸座部311的軸向前端部的外周，並於前端部形成有可與固定螺帽33螺旋接合的公螺紋311d。公螺紋部311b是以比刀片裝設部311a之外周還小的外徑形成其外周。環狀凹部311c是設置在刀片裝設部311a和公螺紋部311b之間。並將環狀凹部311c形成為外徑變得比公螺紋部311b之外周還小的溝狀。

主軸裝設部312位於固定凸緣31的軸向，並形成為與凸座部311為相反側地突出之圓筒狀。主軸裝設部312將其內周形成為對應主軸11前端之外周的形狀，並具有可與主軸11的前端相嵌合之主軸嵌合部312a。

支承凸緣部313是形成於凸座部311的軸向後端部之外周，並用於支撐切削刀片20其中一邊之側面211a者。在本實施形態中，是將支承凸緣部313設置在固定凸緣31之軸向中間部上。支承凸緣部313是從凸座部311的外周沿半徑方向向外側突出而形成。並將支承凸緣部313形成為比切削刀片20的外形還小之圓板狀。支承凸緣部313具有與切削刀片20其中一邊的側面211a相面對而接觸之挾持突起 313a。挾持突起313a是沿支承凸緣部313之外周形成，並在軸向上朝向凸座部311突出成環狀而形成。挾持突起313a是將與切削刀片20其中一邊的側面211a相面對而接觸之部分形成為平坦的平面。

固定機構安裝部314是用於安裝與主軸11的母螺紋11b相螺旋接合之固定機構40者。固定機構安裝部314將其內周(凸座部311之內周)形成為外徑比後述之墊圈41還大，並具有與墊圈41相抵接之墊圈抵接部314a。

如圖2所示，加壓凸緣32是用於和固定凸緣31將切削刀片20挾持住者。亦即，加壓凸緣32為可在和固定凸緣31之間將切削刀片20挾持而支撐住者。如圖3所示，加壓凸緣32是形成為環狀的圓板狀。加壓凸緣32具備裝設孔321、凸緣部322、曲面部323與肋部324。

如圖4所示，裝設孔321，是以加壓凸緣32的軸線為中心而形成為圓形。裝設孔321的內周321a形成為可供凸座部311插入之大小，並以可對應刀片裝設部311a之外周的大小之孔徑形成。

凸緣部322是用於支撐切削刀片20另一邊之側面211b者。是將凸緣部322形成為比切削刀片20的外形還小之圓板狀，並形成為與支承凸緣部313相同的大小。凸緣部322具有，與支承凸緣部313的挾持突起313a相對應，且與切削刀片20另一邊之側面211b相面對而接觸之挾持突起322a。夾持突起322a是沿凸緣部322的外周形成，並在軸向上朝向支承凸緣部313突出成環狀而形成。挾持突起322a是將與切 削刀片20另一邊之側面211b相面對而接觸的部分形成為平坦的平面。

曲面部323是於將加壓凸緣32相對於固定凸緣31進行裝卸時，如圖6所示，可容許加壓凸緣32相對於固定凸緣31的軸向傾斜者，且為即使在加壓凸緣32已傾斜的狀態下，仍然可將與刀片裝設部311a之接觸面積變小者。如圖4所示，曲面部323是從軸向中間部朝軸向兩端部，相對於加壓凸緣32的軸線將內周321a沿半徑方向朝外側形成彎曲的雙曲面狀。如圖5所示，在本實施形態中，曲面部323是將內周321a朝軸向兩端部側擴徑變成軸向剖面圓弧狀而形成。曲面部323具有平行於圖4所示之凸座部311的軸向之圓周面，且是藉由對將內徑設定成使加壓凸緣32相對於固定凸緣31位於同軸上之裝設孔321的內周321a之軸向兩端部側，例如，施行車床加工而形成。曲面部323是將軸向寬度形成為，與去掉挾持凸起322a及肋部324的軸向寬度後之凸緣部322的寬度相同。曲面部323，在軸向中間部與軸向兩端部之軸直交方向的差，為例如3~0.2mm左右。曲面部323具有引導部323a、支撐稜部323b和脫離部323c。亦即，內周321a具有引導部323a、支撐稜部323b和脫離部323c。

如圖4及圖5所示，引導部323a在軸向上，是設置在曲面部323之挾持突起322a側，並從固定螺帽33側朝向切削刀片20側擴徑而形成。亦即，引導部323a會從支撐稜部323b側朝向挾持突起322a側將內周321a擴徑。在本實施形態中，引導部323a是將裝設孔321的挾持突起322a側的端部 擴徑成軸向剖面圓弧狀。引導部323a的曲率半徑r2可為例如，在曲面部323的軸向中間部(即支撐稜部323b)上的內周321a之半徑r1以下，例如，可為10~3mm左右。如圖5所示，引導部323a的挾持突起322a側的端部，亦為曲面部323軸向之挾持突起322a側的端部，且是位於內周321a的肋部324中的軸向剖面平坦部分的延長線上。引導部323a之支撐稜部323b側之端部，亦為支撐稜部323b的軸向的引導部323a側的端部。相對於引導部323a之支撐稜部323b側的端部形成之切線，會與支撐稜部323b平行且在同一平面上。

支撐稜部323b是接觸於圖4所示之刀片裝設部311a而被支撐者。如圖5所示，支撐稜部323b形成於引導部323a與脫離部323c之間，且形成為相對於加壓凸緣32的軸線平行的圓周面狀。支撐稜部323b可將軸向寬度L形成例如，3~0.2mm左右。支撐稜部323b，使從其表面到內周321a的肋部324中的軸向剖面平坦部分之延長線為止的軸直交方向之長度，與曲面部323的軸向中間部和軸向兩端部之軸直交方向之差為相同長度。支撐稜部323b的直徑(即支撐稜部323b中的內周321a之直徑)，會與不具有曲面部323之情況的加壓凸緣的內周直徑相同。支撐稜部323b與刀片裝設部311a之間隙，是指將支撐稜部323b之內周與刀片裝設部311a之外周配置在同心圓上時之間隙，並可為例如，數μm到數十μm。

如圖4及圖5所示，脫離部323c是在軸向上，設置於曲面部323的肋部324側，並從切削刀片20側朝向固定螺 帽33側擴徑而形成。亦即，脫離部323c是從支撐稜部323b側朝向肋部324側將內周321a擴徑而形成。在本實施形態中，脫離部323c是將曲率半徑做成與引導部323a之曲率半徑相同。如圖5所示，脫離部323c的肋部324側的端部，亦為曲面部323的軸向肋部324側的端部，且亦為在內周321a的肋部324中的軸向剖面平坦部分的脫離部323c側的端部。脫離部323c的支撐稜部323b側的端部，亦為支撐稜部323b的軸向之脫離部323c側的端部。相對於脫離部323c的支撐稜部323b側的端部形成之切線，會與支撐稜部323b平行且在同一平面上。

肋部324是用於補強凸緣部322者。肋部324是從與挾持突起322a為相反側之凸緣部322的裝設孔321周圍突出成環狀而形成。並將肋部324從凸緣部322的突出量設定成，於將加壓凸緣32相對於固定凸緣31進行裝卸時，即使加壓凸緣32相對於固定凸緣31的軸向傾斜，也不會讓肋部324內周321a之固定螺帽33側的端部接觸到凸座部311的突出量。肋部324是將其內周321a形成為，相對於加壓凸緣32之軸向平行的圓周面狀。

固定螺帽33是用於將加壓凸緣32可裝卸地固定到固定凸緣31上者。如圖4所示，是將固定螺帽33形成為比公螺紋部311b還大之環狀。固定螺帽33具有，形成有可與公螺紋部311b的公螺紋311d螺旋接合之母螺紋331a的螺孔331。且是以對應公螺紋部311b之外周的大小形成螺孔331。

固定機構40是用於將凸緣機構30可裝卸地的固 定於主軸11的前端者。如圖3所示，固定機構40是包含墊圈41與固定螺絲42而構成。如圖4所示，是將墊圈41形成為可插入固定機構安裝部314之大小，並形成為可與墊圈抵接部314a抵接之大小。在本實施形態中，墊圈41為所謂的平墊圈。墊圈41具有，形成得比固定螺絲42的軸部還大，且形成得比固定螺絲42的頭部還小之插通孔41a。固定螺絲42具有，可與主軸11之母螺紋11b螺旋接合之公螺紋42a，和可供圖未示之內六角扳手等工具插入之六角孔42b。

在此，請參照圖1，說明如上所述地構成之切削裝置1之動作。首先，切削裝置1於藉由作業員等之操作而把被加工物載置於夾頭台2上後，可藉真空吸引源將被加工物吸引保持在夾頭台2上。接著，切削裝置1於透過撮像機構4拍攝被加工物之切割道，並依據所拍攝的切割道調整被加工物與切削機構5之校準後，就可以一邊從圖未示之噴嘴將切削水朝切削刀片20噴射，一邊使切削刀片20高速旋轉。接著，切削裝置1可藉著一邊使切削刀片20高速旋轉，一邊對複數條切割道各自進行將切削刀片20切入、加工傳送，及分度傳送，而對同一方向之所有切割道都施行切削加工以形成切削溝。然後，切削裝置1於對同一方向之所有切割道都施行過切削加工後，可以藉由使夾頭台2繞軸心旋轉90度，並以切削機構5重複地進行同樣的切削加工，而將被加工物分割成一個一個的晶片。

其次，參照圖2、圖4到圖6，就切削裝置1上的切削刀片20的更換作業予以說明。圖6是顯示加壓凸緣相對於 固定凸緣形成傾斜之狀態的剖面圖。再者，切削裝置1在進行切削刀片20之更換作業前，要將電源切斷。

首先，在透過操作，以加壓凸緣32與固定凸緣31挾持並固定切削刀片20之圖2所示之狀態中，藉由將固定螺帽33往鬆脫方向旋轉，就可以將固定螺帽33從公螺紋部311b拆下。在此，由於加壓凸緣32是將圖5所示之支撐稜部323b支撐在刀片裝設部311a上，且支撐稜部323b之內周與刀片裝設部311a之外周的上述間隙為數μm到數十μm，所以可讓加壓凸緣32與固定凸緣31的中心對齊(亦即位於同軸上)。因此，可以抑制加壓凸緣32相對於固定凸緣31之偏心。又，由於加壓凸緣32是將支撐稜部323b形成為相對於加壓凸緣32的軸線平行之圓周面狀，所以可以穩定地被支撐在刀片裝設部311a上。

接著，透過操作，藉由在軸向上，使加壓凸緣32朝與固定凸緣31為相反側之方向移動，就可以將加壓凸緣32從固定凸緣31上取下(拔出)。在此，由於曲面部323是藉由引導部323a與脫離部323c將軸向兩端部側之內周321a擴徑，並將支撐稜部323b上的內周321a與凸座部311之間的間隙做成最小，所以可將軸向兩端部側之內周321a與凸座部311之間隙擴大。因此，在不具有曲面部323，而使整個內周與凸座部311之間隙，變成與支撐稜部323b上的內周321a與凸座部311的間隙相同之情況下，當將加壓凸緣32相對於固定凸緣31的軸向傾斜時，則凸座部311會變得容易接觸到內周321a。另一方面，在具有曲面部323之加壓凸緣32中， 因為將軸向兩端部側之內周321a與凸座部311之間的間隙擴大，所以即使加壓凸緣32傾斜，凸座部311仍然不易接觸到引導部323a及脫離部323c。因此，即使加壓凸緣32在傾斜狀態下被從固定凸緣31拔出，也不易損傷到內周321a與凸座部311。

接著，透過操作，如圖4所示，將加壓凸緣32從凸座部311拔出後，以和加壓凸緣32同樣的方式將切削刀片20從凸座部311拔出。在此，切削刀片20，因其厚度為數十μm左右且具有柔軟性，所以不會有與刀片裝設部311a之間產生磨擦之情形。再者，在將固定凸緣31從主軸11卸下的情況中，是透過操作，藉由將固定螺絲42朝鬆脫方向旋轉，並將固定螺絲42從主軸11之螺孔11a取出，而將固定凸緣31從主軸11上卸下。卸下之固定凸緣31，可藉由與卸下所進行者為相反之作業順序，再次被固定到主軸11上。

接著，透過操作，藉由讓例如未使用等的切削刀片20之其中一邊的側面211a與挾持突起313a相面對到接觸為止，將切削刀片20移動到支承凸緣部313側，以將切削刀片20裝設於固定凸緣31上。在此，切削刀片20是將其內周面21a支撐在刀片裝設部311a上。

接著，透過操作，將加壓凸緣32朝向凸座部311移動。在此，圖5所示之引導部323a由於是將挾持突起322a側的內周擴徑而成，所以加壓凸緣32相對於固定凸緣31之軸向傾斜時，可與凸座部311的前端部接觸，同時將其前端部引導向裝設孔321內。

接著，透過操作，以將受到引導部323a所引導之凸座部311之前端部穿插於裝設孔321的方式，將加壓凸緣32移動到支承凸緣部313側。在此，凸座部311之前端部，是從引導部323a往支撐稜部323b及圖5所示之脫離部323c移動。又，由於脫離部323c是形成為從軸向之支撐稜部323b側朝向肋部324側將內周321a沿半徑方向向外側擴徑之軸向剖面圓弧狀，所以即使是加壓凸緣32相對於固定凸緣31之軸向傾斜的情況，也不容易接觸到凸座部311之前端部。

其次，透過操作，讓挾持突起322a與切削刀片20的另一側之側面211b相面對直到接觸為止，以將加壓凸緣32移動到支承凸緣部313側。在此，由於是將曲面部323朝向軸向兩端部側對內周321a進行擴徑，即使加壓凸緣32變成傾斜的狀態，凸座部311也不易接觸到引導部323a及脫離部323c，所以可藉由讓曲面部323於刀片裝設部311a上滑行移動，而將加壓凸緣32裝設到固定凸緣31上。

接著，透過操作，以將固定螺帽33之螺孔331朝公螺紋部311b推壓的狀態讓固定螺帽33繞可鎖緊的方向旋轉，藉以使母螺紋331a與公螺紋部311b之公螺紋311d螺旋接合，並將固定螺帽33固定於公螺紋部311b。於是，凸緣機構30可將切削刀片20挾持並固定住。

如以上所述，依據實施形態之凸緣機構30，即使加壓凸緣32相對於固定凸緣31之軸向傾斜，凸座部311也不易與引導部323a及脫離部323c接觸，因此，即使在加壓凸緣32為傾斜之狀態仍可對固定凸緣31進行裝卸。亦即，依 據實施形態之凸緣機構30，即使加壓凸緣32相對於固定凸緣31之軸向為傾斜之狀態，仍然可以做到抑制與凸座部311之間發生磨擦。從而，可透過實施形態之凸緣機構30，讓可以抑制在裝設孔321與凸座部311之間發生摩擦之效果得以實現。

又，依據實施形態之凸緣機構30，由於引導部323a可將凸座部311的前端部引導到裝設孔321內，且脫離部323c不易與凸座部311之前端部接觸，所以可以平順地將加壓凸緣32裝設到固定凸緣31上。

又，依據實施形態之凸緣機構30，因為曲面部323可容許加壓凸緣32相對於固定凸緣31的軸向傾斜之情形，所以即使加壓凸緣32變成傾斜狀態，仍然可以抑制在內周321a和刀片裝設部311a上造成損傷之情形。

又，依據實施形態之凸緣機構30，在挾持例如，直徑變成3英吋以上之大型切削刀片20的情況，並將支承凸緣部313及凸緣部322對應切削刀片20做成大型化時，為了確保支承凸緣部313及凸緣部322之強度，會將固定凸緣31本身及加壓凸緣32本身也做成大型化，並將凸座部311及內周321a沿軸向變長，所以雖然在內周321a不具有曲面部323的情況下與凸座部311間會容易發生磨擦，但是，因為將曲面部323形成為軸向剖面圓弧狀，所以可以抑制與凸座部311間發生磨擦之情形。

再者，在上述之實施形態中，切削刀片20雖然是形成為數μm到數十μm的厚度，但是並非受限於此者，如 圖7所示，只要在將支撐稜部323b配置於刀片裝設部311a上的狀態下，能將切削刀片20挾持並固定即可，所以，也可以形成例如，數百μm之厚度。藉此，可以在沿被加工物的外周之邊緣進行切削之，所謂的修邊(edge trimming)作業中應用凸緣機構30，並可以透過凸緣機構30挾持各種厚度之切削刀片20。

再者，代替在加壓凸緣32設置曲面部323之作法，也可以考慮在凸座部311的基端部側設置如曲面部323之類的突起。然而，像這樣將凸座部311之前端部側排除而在基端部側(即支承凸緣部313側)設置突起之情況，因為要將切削刀片20的內周面21a變成可以穿插於突起的大小，因此當要將厚度形成為數十μm左右之薄的切削刀片20裝設在固定凸緣31之凸座部311的基端部側時，凸座部311之基端部側的外周與內周面21a之間隙會變大，而無法在使切削刀片20的軸心與凸座部311的軸心相對齊的狀態下進行支撐。亦即，在凸座部311之基端部側設有突起的情況，會無法利用形成較薄的切削刀片20。或者，要限定在厚度為可將內周面21a定位在突起上的切削刀片20上使用。

又，在上述的實施形態中，雖然將引導部323a形成為軸向剖面圓弧狀，但並未受限於此者，只要是能將凸座部311之前端部引導向裝設孔321內者即可，所以也可以形成例如，軸向剖面斜面狀。此時，宜使引導部323a可容許加壓凸緣32傾斜。

又，在上述的實施形態中，雖然曲面部323是在 軸向上成為內周321a之一部分，但是在軸向上將整個內周321a都形成雙曲面狀亦可。藉此，與上述實施形態同樣地，可以抑制在裝設孔321與凸座部311間發生磨擦之情形，並可以將加壓凸緣32平順地裝設到固定凸緣31上。

11‧‧‧主軸

11a、331‧‧‧螺孔

11b、314a、331a‧‧‧母螺紋

20‧‧‧切削刀片

211a、211b‧‧‧側面

30‧‧‧凸緣機構

31‧‧‧固定凸緣

311‧‧‧凸座部

311a‧‧‧刀片裝設部

311b‧‧‧公螺紋部

311c‧‧‧環狀凹部

311d、42a‧‧‧公螺紋

312‧‧‧主軸裝設部

312a‧‧‧主軸嵌合部

313‧‧‧支承凸緣部

313a、322a‧‧‧挾持突起

314‧‧‧固定機構安裝部

32‧‧‧加壓凸緣

321‧‧‧裝設孔

321a‧‧‧內周

322‧‧‧凸緣部

323‧‧‧曲面部

324‧‧‧肋部

33‧‧‧固定螺帽

41‧‧‧墊圈

42‧‧‧固定螺絲

42b‧‧‧六角孔

r1‧‧‧半徑

r2‧‧‧曲率半徑

Claims (2)

1. 一種凸緣機構，為固定在被支撐成可旋轉之主軸的前端，並可挾持用於對被加工物進行切削加工之環狀的切削刀片的凸緣機構，其包含：固定凸緣，其具備：於前端部的外周形成有公螺紋之圓筒狀的凸座部、形成於前述凸座部之軸向中間部且用於支撐切削刀片之內周面的刀片裝設部、和從前述凸座部的軸向後端部沿半徑方向朝外側突出而形成，用於支撐前述切削刀片其中一邊的側面之支承凸緣部；環狀的加壓凸緣，於中心具有可供前述凸座部插入且內周受到前述刀片裝設部支撐之裝設孔，並可和前述固定凸緣將前述切削刀片挾持住；以及環狀的固定螺帽，螺旋接合於前述凸座部之前述公螺紋，並可將前述加壓凸緣固定到前述固定凸緣上；挾持前述切削刀片之可供前述凸座部插入之前述加壓凸緣的前述裝設孔之內周具有：從前述固定螺帽側朝向前述切削刀片側擴徑，用於引導前述加壓凸緣往前述凸座部的插入之引導部；從前述切削刀片側朝向前述固定螺帽側擴徑之脫離部；和形成於前述引導部與前述脫離部之間的支撐稜部；且前述加壓凸緣是使前述支撐稜部接觸於前述固定凸緣之前述刀片裝設部而受到支撐。
2. 如請求項1所述的凸緣機構，其中，是將前述引導部形成為曲面。