TW201427140A - 發光顯示器裝置及其製造方法 - Google Patents
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Abstract
一種發光顯示器裝置及一種製造該裝置之方法。該發光顯示器裝置係包括一基材、一第一電極安排於該基材上、一第一絕緣膜安排於該基材上且包括一第一開口，該第一開口係暴露出該第一電極的一部分、一第二絕緣膜安排於該第一絕緣膜上且包括一第二開口，該第二開口係暴露出該第一開口、一包括一發光材料的發光層安排於該第一電極的該經暴露的部分上，同時與該第一絕緣膜接觸、以及一第二電極安排於該發光層上；其中該第一電極與該第一絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異，係低於該第一電極與該第二絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異。
Description
本發明係關於一種發光顯示器裝置及其製造方法。
代表性地，平面顯示器裝置可分類為發光型及接受光型。發光型顯示器裝置可為一平板陰極射線管、電漿顯示器面板、電致發光裝置、或發光二極體。接受光型顯示器裝置可為一液晶顯示器。其中，電致發光裝置的優點為視角廣、對比性優越、及反應速度高，已被認為是下一世代的顯示器裝置。視形成發光層的材料而定，此一電致發光裝置係分類為無機發光裝置及有機發光裝置。
有機發光裝置係具有一設置於陽極電極與陰極電極之間的由有機材料所製成的發光層。若陽極電壓與陰極電壓係分別施用至這些電極，由陽極電極注入的電洞係透過電洞注入層與電洞傳輸層移動至發光層，電子則透過電子注入層與電子傳輸層移動至發光層。在發光層中，電子與電洞係再結合。透過此再結合產生激子，且當激子由激發態變化至基態時，發光層發射光以顯示影像。
此一有機發光裝置係包括一畫素定義膜，具有一開口以暴露出陽極電極，且發光層係形成在陽極電極上，陽極電極係透過畫素定義膜之開口而暴露。
一方面，發光層可經由印刷一發光材料於陽極電極上而形成，該陽極電極係經由噴墨印刷技術透過畫素定義膜之開口而暴露。
然而，由於陽極電極與畫素定義膜之間材料的差異，陽極電極相對於該畫素定義膜之開口中的發光材料之濕潤性係不同於該畫素定義膜之濕潤性。因此，發光層可形成在該畫素定義膜之開口中之陽極電極之一區域上以及該畫素定義膜之一區域上，具有一非均勻的厚度。
此外，當發光材料係印刷在該陽極電極(其係經由噴墨印刷技術透過該畫素定義膜之開口而暴露)上時，該發光材料會溢出該畫素定義膜之開口。
因此，在印刷發光材料在陽極電極(其係經由噴墨印刷技術透過該畫素定義膜之開口而暴露)上的情況中，難以在畫素定義膜之開口內形成具有均勻厚度的發光層，且難以精準地安置發光層在該開口之內部上。
因此，經由本發明所解決的一主題係提供一種發光顯示器裝置，其可透過精準地安置發光層於一所欲空間內且具有一均勻厚度以達成均勻的光發射。
經由本所發明所解決的另一主題係提供一種製造一發光顯示器裝置之方法，其可透過精準地安置發光層於一所欲空間內且具有一均勻厚度以達成均勻的光發射。
本發明其他的優點、主題及特徵係於下述說明中某程度上地加以闡述，且在審查下文後某程度上對具有通常知識者而言將變得明白或可由實踐本發明而獲知。
根據本發明之一方面，係提供一種發光顯示器裝置，其係包括一基材、一第一電極安排於該基材上、一第一絕緣膜安排於該基材上且包括一第一開口，該第一開口係暴露出該第一電極的一部分、一第二絕緣膜安排於該第一絕緣膜上且包括一第二開口，該第二開口係暴露出該第一開口、一包括一發光材料的發光層安排於經該第一開口而暴露的該第一電極的該部分上，同時與該第一絕緣膜接觸、以及一第二電極安排於該發光層上；其中該第一電極與該第一絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異，係低於該第一電極與該第二絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異。
第一絕緣膜相對於該發光材料之濕潤性可實質上相同於第一電極相對於該發光材料之濕潤性。第一電極與第一絕緣膜相對於該發光材料的接觸角可等於或低於10°，且第二絕緣膜相對於該發光材料的接觸角可等於或大於50°。第一電極可包括ITO(氧化銦錫)，且第一絕緣膜可包括氧化矽、氮化矽、及氮氧化矽之一者或多者。第一絕緣膜可包括一選自以下群組之材料：氧
化矽、氮化矽、及氮氧化矽，且第二絕緣膜可包括一選自以下群組之材料：苯并環丁烯(benzo cyclo butene，BCB)、聚醯亞胺(PI)、聚醯胺(PA)、丙烯系樹脂、及酚樹脂。發光層可包括包括Se的無機材料、包括Zn的無機材料、低分子量有機材料、及高分子量有機材料之一者或多者。第二絕緣膜可包括一感光材料。
基材可包括複數個畫素，且第一絕緣膜可為一畫素定義膜定義各該複數個畫素。複數個畫素可包括一紅色畫素區域、一綠色畫素區域、及一藍色畫素區域，該發光層可包括一紅色有機發光層安排於該紅色畫素區域內、一綠色有機發光層安排於該綠色畫素區域內、及一藍色有機發光層，安排於該藍色畫素區域內。發光層可包括一白色有機層，該白色有機層可包括一紅色有機層、一綠色有機層、及一藍色有機層。該白色有機層另可為包括一黃色有機層與一藍色有機層。
根據本發明之另一方面，係提供一種用於製造一發光顯示器裝置之方法，其係包括形成一第一電極於一基材上；形成一第一絕緣膜與一第二絕緣膜於該基材上，該第一絕緣膜可具有一第一開口暴露出該第一電極的一部分，該第二絕緣膜可具有一第二開口對應於該第一開口；形成一包括一發光材料的發光層於該第一電極的該經暴露的部分上，該發光層係同時與該第一絕緣膜接觸；以及形成一第二電極於該發光層上，該第一電極與該第一絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異，係可低於該第一電極與該第二絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差
異。
第一絕緣膜與第二絕緣膜之形成可包括沉積一第一絕緣材料於該基材的整個表面上以覆蓋該第一電極；沉積一第二絕緣材料於該第一絕緣材料的整個表面上；安排一遮罩於該第二絕緣材料的上側部分上，該遮罩係可具有一開口對應於該第一電極的一部分；使用光曝光該第二絕緣材料；藉由使用一顯影劑顯影該第二絕緣材料以形成具有該第二開口的該第二絕緣膜；以及藉由使用該第二絕緣膜作為一蝕刻遮罩蝕刻該第一絕緣材料以形成具有該第一開口的該第一絕緣膜。
第一絕緣膜與第二絕緣膜之形成另可為包括沉積一第一絕緣材料於該基材的整個表面上以覆蓋該第一電極；沉積一光阻膜於該具有一第一開口之第一遮罩的整個表面上，該第一開口係對應於該第一電極之一部分；藉由使用光曝光該光阻膜；藉由使用一顯影劑顯影該光阻膜以形成一光阻圖案；藉由使用該光阻圖案作為一蝕刻遮罩蝕刻該第一絕緣材料以形成具有該第一開口的該第一絕緣膜；移除該光阻圖案；沉積一包括一感光材料的第二絕緣材料於該第一絕緣膜上與經該第一絕緣材料之蝕刻而暴露的該第一電極的該部分上；安排一第二遮罩於該第二絕緣材料的上側部分上，該第二遮罩係具有一第二開口對應於該第一開口；使用光曝光該第二絕緣材料；以及藉由使用該顯影劑顯影該第二絕緣材料以形成具有該第二開口的該第二絕緣膜。
該形成該發光層可包括經由噴墨印刷技術印刷該發
光材料於該第一電極的該經暴露部分上。該形成該第一電極可包括安排該第一電極於該基材上的各紅色畫素區域、綠色畫素區域、及藍色畫素區域中。該發光層之形成可包括形成一紅色有機發光層於該紅色畫素區域中；形成一綠色有機發光層於該綠色畫素區域中；及形成一藍色有機發光層於該藍色畫素區域中。該發光層之形成可包括形成一白色有機發光層於各紅色、綠色、及藍色畫素區域中。
10‧‧‧遮罩
11‧‧‧開口
20‧‧‧光阻圖案
20a‧‧‧光阻膜
21‧‧‧開口
30‧‧‧第一遮罩
31‧‧‧第一開口
40‧‧‧第二遮罩
41‧‧‧第二開口
100‧‧‧發光顯示器裝置
110‧‧‧基材
120‧‧‧第一電極
130‧‧‧第一絕緣膜
130a‧‧‧第一絕緣材料
131‧‧‧第一開口
140‧‧‧第二絕緣膜
140a‧‧‧第二絕緣材料
141‧‧‧第二開口
150‧‧‧發光層
150a‧‧‧發光材料
160‧‧‧第二電極
200‧‧‧發光顯示器裝置
220‧‧‧第一電極
250R‧‧‧紅色發光層(有機層)
250G‧‧‧綠色發光層(有機層)
250B‧‧‧藍色發光層(有機層)
251‧‧‧電洞注入層
252R‧‧‧紅色有機層
252G‧‧‧綠色有機層
252B‧‧‧藍色有機層
253‧‧‧電子注入層
300‧‧‧發光顯示器裝置
320‧‧‧第一電極
350‧‧‧發光層(有機層)
351‧‧‧電洞注入層
352‧‧‧白色有機層
352R‧‧‧紅色有機層
352G‧‧‧綠色有機層
352B‧‧‧藍色有機層
352Y‧‧‧黃色有機層
353‧‧‧電子注入層
370‧‧‧色彩濾件
370R‧‧‧紅色濾件
370G‧‧‧綠色濾件
370B‧‧‧藍色濾件
θ1、θ2‧‧‧接觸角
S10‧‧‧第一電極形成步驟
S20‧‧‧第一與第二絕緣膜形成步驟
S30‧‧‧發光層形成步驟
S40‧‧‧第二電極形成步驟
I‧‧‧紅色畫素區域
II‧‧‧綠色畫素區域
III‧‧‧藍色畫素區域
參考下文詳細說明並考量伴隨的圖式，本發明之更完整的評價及其許多伴隨的優點將更為清楚明顯，同時更加被了解，其中類似的參考數字係指明相同或相似的組件，其中：第1圖係根據本發明第一具體實施態樣之發光顯示器裝置的剖面圖；第2圖係說明第1圖所繪示之發光層之發光材料與第一電極之間的接觸角以及發光層之發光材料與第一絕緣膜之間的接觸角的剖面圖；第3圖係說明發光層之發光材料與第二絕緣膜之間的接觸角的剖面圖；第4圖係根據本發明具體實施態樣之製造發光顯示器裝置之方法的流程圖；第5圖係顯示根據本發明第一具體實施態樣之形成在基材上之第一電極；
第6圖係顯示根據本發明第一具體實施態樣之形成在第5圖中結構上之第一絕緣材料；第7圖係顯示根據本發明第一具體實施態樣之形成在第6圖中結構上之包括一感光材料之第二絕緣材料；第8圖係繪示根據本發明第一具體實施態樣之曝光製程，其中一遮罩係用於圖案化該第二絕緣材料；第9圖係繪示根據本發明第一具體實施態樣之經由一顯影製程而被圖案化之後的第二絕緣膜；第10圖係繪示根據本發明第一具體實施態樣之經圖案化的第一絕緣膜，其中第二絕緣膜係用作一蝕刻遮罩；第11圖係繪示根據本發明第一具體實施態樣之經由噴墨印刷技術施加發光材料至第一電極之經暴露的部分上；第12圖係繪示根據本發明第一具體實施態樣之完全形成的發光層；第13圖係繪示根據本發明第一具體實施態樣之形成第二電極於發光層之頂部上；第14圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之施加一光阻膜至第一絕緣膜上；第15圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之一曝光製程，其中遮罩係用於圖案化安排於第一絕緣材料上的光阻膜；
第16圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之顯影之後的光阻圖案；第17圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之蝕刻製程與脫除製程(stripping process)之後的安排於一完成的第一絕緣膜中的第一開口；第18圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之施加包含一感光材料之第二絕緣材料至第17圖中結構上；第19圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之用於圖案化第二絕緣材料之曝光製程，其中係使用一第二曝光遮罩；第20圖係繪示根據本發明第二具體實施態樣之顯影之後具有一開口之完成的第二絕緣膜；第21圖係根據本發明第二具體實施態樣之發光顯示器裝置之剖面圖；第22圖係根據本發明第三具體實施態樣之發光顯示器裝置之剖面圖；第23圖係繪示第22圖中發光顯示器裝置中之白色有機發光層之一種結構的剖面圖；以及第24圖係繪示第22圖中發光顯示器裝置中之白色有機發光層之另一結構的剖面圖。
參考下文詳細描述的較佳具體實施態樣與伴隨的圖
式，本發明之優點和特點以及完成本發明的方法將更易於了解。然而，本發明可以許多不同的形式來體現，且不應被解釋為限制於在此所述之具體實施態樣。相反地，這些具體實施態樣係經提供以使此揭露更為徹底及完整，且將充分傳達本發明之概念予本領域中具有通常知識者，而本發明將僅由後附申請專利範圍所定義。
亦將了解，當一層被稱為在另一層或基材「上」時，其可以直接在另一層或基材上，或也可存在中介層。全文中，相同的參考數字表示相同的組件。
將了解，本文雖然可使用「第一、第二、第三」等術語來描述不同的元件、組件、區域、層及/或區段，但是這些元件、組件、區域、層及/或區段不應受到這些術語的限制。該等術語僅用於區分一元件、組件、區域、層或區段與另一元件、組件、區域、層或區段。因此，下文所討論之第一元件、組件、區域、層或區段可被稱為第二元件、組件、區域、層或區段，而不會偏離本發明的教示。
後文，將參考所附圖式描述本發明之具體實施態樣。
現回到第1至3圖，第1圖係根據本發明第一具體實施態樣之發光顯示器裝置的剖面圖，第2圖係說明第1圖所繪示之發光層之發光材料與第一電極之間的接觸角以及發光層之發光材料與第一絕緣膜之間的接觸角的剖面圖，及第3圖係說明發光層之發光材料與第二絕緣膜之間的接觸角的剖面圖。
現參考第1圖，根據本發明一具體實施態樣之發光顯示器裝置100係包括一基材110、一第一電極120、一第一絕緣膜130、一第二絕緣膜140、一發光層150、及一第二電極160。
基材110可包括一絕緣基材，該絕緣基材可由具有SiO2作為主要組分之透明玻璃材料所製成。在一些具體實施態樣中，該絕緣基材可由不透明的材料或塑膠材料所製成。此外，該絕緣基材可為一可撓性基材。
雖未經繪示，基材110可更包括其他結構形成於該絕緣基材上。其他結構的例子可為佈線、電極、絕緣膜等。在一些具體實施態樣中，基材110可包括複數個薄膜電晶體形成在該絕緣基材上。至少一部分之複數個薄膜電晶體的汲電極可電性連接至第一電極120。薄膜電晶體可包括一由非晶形矽、多晶矽或單晶矽所製成之主動區域。在一些具體實施態樣中，薄膜電晶體可包括一由氧化物半導體所製成之主動區域。
第一電極120係形成在基材110上，第一電極120可為一陽極電極，接收施加至薄膜電晶體之汲電極的信號且提供電洞至發光層150、或可為一陰極電極，接收信號並提供電子至發光層150。第一電極120可用作透明電極或反射電極。在第一電極120係用作透明電極的情況中，第一電極120可由ITO(氧化銦錫)、IZO(氧化銦鋅)、ZnO(氧化鋅)或In2O3所製成。在第一電極120係用作反射電極之情況中，第一電極120可經由以Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、或其化合物形成一反射膜接著形成ITO、
IZO、ZnO或In2O3於其上而形成。
第一絕緣膜130係形成於第一電極120上以定義一暴露出第一電極120的空間；此即，第一絕緣膜130係形成在第一電極120上以提供一第一開口131暴露出第一電極120。因此，第一絕緣膜130係允許發光層150透過第一開口131而形成在第一電極120上。
第二絕緣膜140係形成在第一絕緣膜130上以提供一第二開口141暴露出第一開口131。第二絕緣膜140允許發光層150透過第二開口141(暴露出第一開口131)而形成在第一電極120上。
第一絕緣膜130與第二絕緣膜140係由絕緣材料所製成。第一絕緣膜130與第二絕緣膜140係分別由不同的絕緣材料所製成，使得當發光層150的發光材料150a係經由噴墨印刷技術而印刷於第一電極120上時，第一電極120與第一絕緣膜130之間相對於發光材料150a之濕潤性的差異，係變得小於第二絕緣膜140與第一電極120之間相對於發光材料150a之濕潤性的差異。亦即，第一絕緣膜130係由具有濕潤性的絕緣材料所製成，其濕潤性係實質上相同於或相似於第一電極120相對於發光材料150a的濕潤性，但實質上不同於第二絕緣膜140之濕潤性。
原因在於，若第一絕緣膜之濕潤性係實質上相同於或相似於第一電極120相對於發光材料150a的濕潤性，則當發光層150係經由印刷發光材料150a在第一電極120(其係經由噴墨印刷技術透過第一絕緣膜130的第一開口131而暴露)上而形成時，發
光層150係以均勻的厚度形成在第一電極120以及第一絕緣膜130二者上。若發光層150係以均勻的厚度形成在第一絕緣膜130的第一開口131的內部上，可進行透過發光層150的均勻的光發射，因此可增進發光顯示器裝置100的顯示器品質。此外，若第一絕緣膜130的濕潤性係不同於第二絕緣膜140相對於發光材料150a的濕潤性，則當發光材料150a係印刷在第一電極120(其係經由噴墨印刷技術透過第一絕緣膜130的第一開口131而暴露)上時，可避免發光材料150a溢出第一絕緣膜130的第一開口131。於此，第二絕緣膜140可用作一阻擋件以包含發光層150的發光材料150a在所欲空間內，且避免發光層150的發光材料150a溢出至非所欲的區域。
第一電極120、第一絕緣膜130及第二絕緣膜140的濕潤性相對於發光材料150a的濕潤性係可由針對發光材料150a的接觸角表示。接觸角係當液體在固體表面呈熱力學平衡時的角度。
如第2圖所示，第一電極120與第一絕緣膜130相對於發光材料150a的接觸角θ1係可等於或低於10°。舉例言之，在第一電極120係由ITO製成的情況中，第一絕緣膜130可由氧化矽、氮化矽或氮氧化矽所製成。於此，由於第一電極120與第一絕緣膜130相對於發光材料150a的接觸角θ1係等於或低於10°，第一電極120與第一絕緣膜130相對於發光材料150a的濕潤性係優異的。優異的濕潤性係意指一小接觸角，使得液體廣泛地分佈在固體表面上，因此液體與固體表面接觸的程度係高的。
如第3圖所示，第二絕緣膜140相對於發光材料150a
的接觸角θ2可等於或高於50°。舉例言之，在第一絕緣膜130係由氧化矽、氮化矽、或氮氧化矽所製成的情況下，第二絕緣膜140可由苯并環丁烯(BCB)、聚醯亞胺(PI)、聚醯胺(PA)、丙烯系樹脂、及酚樹脂之至少一者所製成。於此，由於第二絕緣膜140相對於發光材料150a的接觸角θ2係等於或高於50°，因此第二絕緣膜140相對於發光材料150a的濕潤係低的。具有低濕潤性的結構可用作一阻擋件。
在一些具體實施態樣中，第二絕緣膜140可經形成以包括一感光材料。在此情況中，當具有第一開口131的第一絕緣膜130係經由光蝕刻製程(photolithography process)而形成時，第二絕緣膜140可用作一遮罩膜。因此，第二絕緣膜140不另外需要一光阻膜，因此製造發光顯示器裝置100之製程可經簡化。另一方面，在第二絕緣膜140不包括感光材料的情況中，具有第一開口131的第一絕緣膜130係使用一另外的遮罩而形成的。
發光層150係形成在第一電極120(其係經由第一絕緣膜130的第一開口131而暴露)上，且與第一絕緣膜130在第一絕緣膜130的第一開口131中接觸。發光層150係透過由第一電極120提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射光。更具體地說，若電洞與電子係提供至發光層150，二者係再結合以形成激子，且發光層150係在激子由激發態轉移至基態時發射光。發光層150可由包括Se或Zn的無機材料、或低分子量或高分子量有機材料所製成。
第二電極160係形成在發光層150上，且可為一陰極電極提供電子至發光層150、或可為一陽極電極提供電洞至發光層150。在與第一電極120相同的方式中，第二電極160可用作一透明電極或一反射電極。
雖未經繪示，發光顯示器裝置100可更包括一密封基材，其係安排於第二電極160的上側部分上。該密封基材可為一絕緣基材。一間隔件可設置於第二絕緣膜140上的第二電極160與該密封基材之間。在本發明一些具體實施態樣中，可省略該密封基材。於此情況中，由絕緣材料所製成之密封膜可覆蓋全部結構以保護該結構。
如上述，發光顯示器裝置100係包括第一絕緣膜130與第二絕緣膜140，其等係分別由不同的絕緣材料所製成，使得第一電極120與第一絕緣膜130之間相對於發光材料150a之濕潤性的差異，係變得低於第二絕緣膜140與第一電極120之間相對於發光材料150a之濕潤性的差異。
根據本發明第一具體實施態樣之發光顯示器裝置100，當發光層150係經由印刷發光材料150a在第一電極120(其係經由噴墨印刷技術透過第一絕緣膜130的第一開口131而暴露)上時，係避免發光材料150a逃出第一絕緣膜130的第一開口131，且發光層150係經形成以具有一均勻厚度在第一電極120與第一絕緣膜131二者上。
因此，由於發光層150可精準地安置於所欲空間內，
且可經形成為具有均勻的厚度，因此可達到透過發光層150的均勻的光發射，且因此可增進發光顯示器裝置100的顯示器品質。
接著，將描述根據本發明第一具體實施態樣之製造發光顯示器裝置100之方法。
現回到第4至13圖，第4圖係根據本發明具體實施態樣之製造發光顯示器裝置之方法的流程圖，第5至13圖係說明根據本發明具體實施態樣之製造發光顯示器裝置之第一方法的剖面圖。
參考第4圖，根據本發明具體實施態樣之製造發光顯示器裝置100之方法係包括一第一電極形成步驟S10、一第一與第二絕緣膜形成步驟S20、一發光層形成步驟S30、以及一第二電極形成步驟S40。
參考第5圖，第一電極形成步驟S10係一形成第一電極120於基材110上之步驟。具體言之，在第一電極形成步驟S10中，一透明電極材料或一反射材料係沉積在基材110(其上形成有薄膜電晶體)上，第一電極120係透過圖案化形成於其上。
參考第6至10圖，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，具有第一開口131的第一絕緣膜130係形成在基材110上以定義一空間暴露出第一電極120，具有暴露出第一開口131之第二開口141的第二絕緣膜140係形成在第一絕緣膜130上。
首先，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第6圖所繪示，一第一絕緣材料130a係經由沉積技術沉積在基材110的
整個表面上以覆蓋第一電極120。第一絕緣材料130a係形成第一絕緣膜130的材料，且相同於如上述之第一絕緣膜130的絕緣材料。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第7圖所繪示，一第二絕緣材料140a係經由沉積技術沉積在第一絕緣材料130a的整個表面上。第二絕緣材料140a係形成第二絕緣膜140的材料，相同於第二絕緣膜140的絕緣材料，且可包括一感光材料。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第8圖所繪示，具有一開口11的遮罩10係安排在第二絕緣材料140a的上側部分上，其安排狀態係開口11係對應於第一電極120的一位置且第二絕緣材料140a係使用光而曝光且係使用顯影劑而顯影。因此，如第9圖所繪示，係形成具有一第二開口141的第二絕緣膜140，第二開口141係安排於對應於第一電極120的一位置處。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第10圖所繪示，第一絕緣材料130a係使用第二絕緣膜140作為蝕刻遮罩而蝕刻，因此形成具有第一開口131之第一絕緣膜130，第一開口131係安排於對應於第一電極120的一位置處。
現參考第11與12圖，發光層形成步驟S30係形成發光層150於第一電極120(其係透過第一開口131而暴露)上的步驟。具體言之，在發光層形成步驟S30中，如第11圖所繪示，發光材料150a係排放至第一電極120(其係經由噴墨印刷技術透過第一開口131而暴露)上。因此，如第12圖所繪示，形成發光層150。
現參考第13圖，第二電極形成步驟S40係經由沉積技
術而沉積一透明電極材料或一反射材料至發光層150上以形成第二電極160的步驟。
雖未經繪示，該根據本發明第一具體實施態樣製造發光顯示器裝置100之方法可更包括安排一密封基材於第二電極160之上側部分上的步驟。此外，該根據本發明一具體實施態樣之製造發光顯示器裝置100之方法可更包括安排一間隔件於第二電極160與密封基材之間的步驟。
接著，將描述根據本發明一具體實施態樣製造發光顯示器裝置100之第二方法。根據本發明一具體實施態樣之製造發光顯示器裝置100之第二方法係包括如第4圖流程圖所示的步驟。然而，根據本發明一具體實施態樣製造發光顯示器裝置100之第二方法，僅第一與第二絕緣膜形成步驟S20不同於根據本發明第一具體實施態樣者。因此，下文將僅描述根據本發明一具體實施態樣之製造發光顯示器裝置100之第二方法之第一與第二絕緣膜形成步驟S20，將省略第一電極形成步驟S10、發光層形成步驟S30及第二電極形成步驟S40的重複說明。
現參考第14至20圖，根據該第二方法，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，在沉積第二絕緣材料140a之前，第一絕緣材料130a係經圖案化以製造第一開口131，藉此需要二個遮罩以進行此製程。因此，在形成第二開口141於第二絕緣材料140a中時，第一開口131以及第一電極120的該部分係經暴露。
首先，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第14
圖所繪示，第一絕緣材料130a係經由沉積技術而沉積在基材110的整個表面上以覆蓋第一電極120。第一絕緣材料130a係形成第一絕緣膜130的材料且相同於如上述之第一絕緣膜130的絕緣材料。此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，一光阻膜20a係經由沉積技術而沉積在第一絕緣材料130a的整個表面上。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第15圖所繪示，具有一第一開口31之第一遮罩30係安排於光阻膜20a之上側部分上，第一開口31係安排在對應於第一電極120的位置處，且光阻膜20a係使用光而曝光且係使用顯影劑而顯影。因此，如第16圖所繪示，係形成具有一開口21之光阻圖案20，開口21係安排為對應於第一電極120。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，第一絕緣材料130a係使用光阻圖案20作為一蝕刻遮罩而蝕刻，如第17圖所繪示，第一絕緣膜130係經製造且具有第一開口131(安排於對應於第一電極120的一位置處)。之後，移除光阻圖案20。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第18圖所繪示，第二絕緣材料140a係經由沉積技術而沉積在第一絕緣膜130與第一電極120上。第二絕緣材料140a係形成第二絕緣膜140的材料，相同於如上述之第二絕緣膜140的絕緣材料，且可包括一感光材料。
此外，在第一與第二絕緣膜形成步驟S20中，如第19圖所繪示，具有一第二開口41之第二遮罩40係安排在第二絕緣材
料140a的上側部分上，使得第二開口41係安排在對應於第一電極120的一位置處，且第二絕緣材料140a係使用光而曝光且係使用顯影劑而顯影。因此，如第20圖所繪示，係形成具有第二開口141之第二絕緣膜140，第二開口141係安排在對應於第一電極120的一位置處。
接著，將描述根據本發明第二具體實施態樣之發光顯示器裝置。現回到第21圖，第21圖係根據本發明第二具體實施態樣之發光顯示器裝置之剖面圖。參考第21圖，根據本發明第二具體實施態樣之發光顯示器裝置200係包括一基材110、一第一電極220、一第一絕緣膜130、一第二絕緣膜140、發光層250R、250G及250B、以及一第二電極160。發光顯示器裝置200係實行一有機發光顯示器裝置，其係分別透過發光層250R、250G及250B而發射紅光、綠光及藍光。
第一電極220係相似於第1圖中的第一電極120，然而，第一電極220係依基材110上各畫素而形成。於此，基材110係包括複數個畫素，且該複數個畫素係包括一紅色畫素區域I、一綠色畫素區域II及一籃色畫素區域III。第一電極220係形成在各紅色畫素區域I、綠色畫素區域II及藍色畫素區域III中。
發光層250R、250G及250B係相似於第1圖所繪示之發光層150。然而，發光層250R、250G及250B具體上係包括紅色有機層250R、綠色有機層250G及藍色有機層250B。
紅色有機層250R係形成在第一電極220上，第一電極
220係透過紅色畫素區域I中之第一絕緣膜130之開口而暴露。在第一電極220係陽極電極且第二電極160係陰極電極的情況中，紅色有機層250R係透過由第一電極220提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射紅光。
紅色有機層250R具體上可包括一電洞注入層251、一紅色有機層252R、及一電子注入層253，其等係依序地層壓在第一電極220上。電洞注入層251係使由第一電極220提供的電洞輕易地注入至紅色有機層252R中。電洞注入層251可由有機化合物所製成，例如4,4’,4’’-叁(3-甲基苯基苯基胺基)三苯基胺(MTDATA)、銅酞青(copper phthalocyanine，CuPc)、或聚(3,4-乙烯二氧噻吩，聚苯乙烯磺酸酯)(PEDOT/PSS)，但不限於此。
紅色有機層252R實質上係透過由第一電極220提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射紅光。紅色有機層252R可包括一種有機發光材料、或可經形成以包括一主體與紅色的摻雜物。主體的例子可為Alq3、4,4'-N,N'-二咔唑-聯苯(4,4'-N,N'-dicarbazol-biphenyl，CBP)、聚(n-乙烯基咔唑)(ploy(n-vinylcarbazole)，PVK)、9,10-二(萘-2-基)蒽(9,10-Di(naphthyl-2-yl)anthracene，AND)、4,4’,4”-三(N-咔唑基)三苯胺(4,4',4"-tris(N-carbazolyl)-triphenylamine，TCTA)、1,3,5-三(N-苯基苯並咪唑-2-基)苯(1,3,5-tris(N-phenylbenzimidazol-2-yl)benzene，TPBI)、3-第三-丁基-9,10-二(萘-2-基)蒽(3-tert-butyl-9,10-di(naphth-2-yl)anthracene，TBADN)、三茀(terflourene，E3)、
及雙芪(distyrylarylene，DSA)，但不限於此。另一方面，可使用PtOEP、Ir(piq)3、或Btp2Ir(acac)作為紅色摻雜物，但不限於此。
電子注入層253係使由第二電極160提供的電子輕易地注入至紅色有機層252R。電子注入層253的例子可為LiF與CsF，但不限於此。
雖未經繪示，紅色有機層250R可更包括一電洞傳輸層插置於電洞注入層251與紅色有機層252R之間，以進行電洞的順暢傳輸，以及一電子傳輸層插置於電子注入層253與紅色有機層252R之間，以進行電子的順暢傳輸。
另一方面，在第一電極220係陰極電極且第二電極160係陽極電極的情況中，紅色有機層250R可包括一電子注入層、一紅色有機層、及一電洞注入層，其等係依序層壓在第一電極220上。即使在此情況中，紅色有機層250R可更包括一電子傳輸層形成在電子注入層與紅色有機層之間，以及一電洞傳輸層形成在電洞注入層與紅色有機層之間。
綠色有機層250G係形成在第一電極220上，第一電極220係透過綠色畫素區域II中第一絕緣膜130之開口而暴露。在第一電極220係陽極電極且第二電極160係陰極電極的情況中，綠色有機層250R係透過由第一電極220提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射綠光。
綠色有機層250R具體上可包括一電洞注入層251、一綠色有機層252G、及一電子注入層253，其等係依序地層壓在第一
電極220上。綠色有機層250G係不同於紅色有機層250R，其差異僅在於綠色有機層250G係具有綠色有機層252G。因此，針對綠色有機層250G，僅將描述綠色有機層252G。
綠色有機層252R係實質上透過由第一電極220提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射綠光。綠色有機層252G可包括一種有機發光材料、或可經形成以包括一主體與綠色的摻雜物。主體的例子可為Alq3、4,4'-N,N'-二咔唑-聯苯(CBP)、聚(n-乙烯基咔唑)(PVK)、9,10-二(萘-2-基)蒽(AND)、4,4’,4”-三(N-咔唑基)三苯胺(TCTA)、1,3,5-三(N-苯基苯並咪唑-2-基)苯(TPBI)、3-第三-丁基-9,10-二(萘-2-基)蒽(TBADN)、三茀(E3)、及雙芪(DSA)，但不限於此。另一方面，可使用Ir(ppy)3、Ir(ppy)2(acac)或Ir(mpyp)3作為綠色摻雜物，但不限於此。
藍色有機層250B係形成在第一電極220上，第一電極220係透過藍色畫素區域III中第一絕緣膜130之開口而暴露)上。在第一電極220係陽極電極且第二電極160係陰極電極的情況中，藍色有機層250B係透過由第一電極220提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射藍光。
藍色有機層250B具體上可包括一電洞注入層251、一藍色有機層252B、及一電子注入層253，其等係依序地層壓在第一電極220上。藍色有機層250B係不同於紅色有機層250R，其差異僅在於藍色有機層250B係具有藍色有機層252B。因此，針對藍色有機層250B，僅將描述藍色有機層252B。
藍色有機層252B係實質上透過由第一電極220提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射藍光。藍色有機層252B可包括一種有機發光材料、或可經形成以包括一主體與藍色的摻雜物。主體的例子可為Alq3、4,4'-N,N'-二咔唑-聯苯(CBP)、聚(n-乙烯基咔唑)(PVK)、9,10-二(萘-2-基)蒽(AND)、4,4’,4”-三(N-咔唑基)三苯胺(TCTA)、1,3,5-三(N-苯基苯並咪唑-2-基)苯(TPBI)、3-第三-丁基-9,10-二(萘-2-基)蒽(TBADN)、三茀(E3)、及雙芪(DSA)，但不限於此。另一方面，可使用F2Irpic、(F2ppy)2Ir(tmd)、Ir(dfppz)3、三茀、4,4’-雙(4-二苯基胺基苯乙烯基)聯苯(DPAVBi)、或2,5,8,11-四-三級-丁基苝(2,5,8,11-tetra-t-butyl perylene，TBPe)作為藍色摻雜物，但不限於此。
另一方面，在第21圖中，第一絕緣膜130可作為畫素定義膜定義一畫素；當發光層250R、250G及250B係經由印刷發光層250R、250G及250B的發光材料在第一電極220(其係經由噴墨印刷技術透過第一絕緣膜130的第一開口131而暴露)上時，第一絕緣膜130亦用於形成具有均勻厚度的發光層250R、250G及250B在第一電極220與第一絕緣膜130二區域上。
此外，在第21圖中，當發光層250R、250G及250B的發光材料係印刷在第一電極220(其係經由噴墨印刷技術透過第一絕緣膜130之第一開口131而暴露)上時，第二絕緣膜140可用作避免發光材料逃出第一絕緣膜130之第一開口131的阻擋件。此外，在第二絕緣膜140包括一感光材料的情況中，當具有第一開口
131之第一絕緣膜130係經由光蝕刻製程而形成時，第二絕緣膜140可作為遮罩膜。
雖未經繪示，發光顯示器裝置200可更包括一密封基材，其係安排在第二電極160的上側部分上。該密封基材可為一絕緣基材。一間隔件可設置在第二絕緣膜140上之第二電極160與密封基材之間。在本發明一些具體實施態樣中，可省略該密封基材。在此情況中，由一絕緣材料所製成之密封膜可覆蓋全部結構以保護該結構。
如上述，根據本發明第二具體實施態樣之發光顯示器裝置200係包括發光層250R、250G及250B以實行一有機發光顯示器裝置，且包括第一絕緣膜130與第二絕緣膜140，其等係分別由不同的絕緣材料所製成，使得第一電極220與第一絕緣膜130之間相較於發光材料之濕潤性的差異，係變得小於第二絕緣膜140與第一電極220之間相較於發光材料之濕潤性的差異。
根據本發明另一具體實施態樣之發光顯示器裝置200，當發光層250R、250G及250B係經由印刷發光層250R、250G及250B的發光材料在第一電極220(其係經由噴墨印刷製程透過第一絕緣膜130之第一開口131而暴露)上而形成時，可避免發光層250R、250G及250B的發光材料溢出第一絕緣膜130的第一開口131，且具有均勻厚度的發光層250R、250G及250B係形成在第一電極220及第一絕緣膜130二者上。
因此，由於發光層250R、250G及250B係精準地安置
於所欲空間中且係經形成為具有均勻厚度，故可進行透過發光層250R、250G及250B之均勻的光發射，因此可增進發光顯示器裝置200的顯示器品質。
另一方面，與根據本發明第5至20圖之製造發光顯示器裝置100的方法相同的步驟係施加至根據本發明另一具體實施態樣之製造發光顯示器裝置200的方法。然而，根據本發明第二具體實施態樣製造發光顯示器裝置200之方法，在第一電極形成步驟S10中，第一電極220係依畫素安排在基材110上之紅色畫素區域I、綠色畫素區域II及藍色畫素區域III中。
此外，發光層形成步驟S30係包括形成紅色有機發光層250R在第一電極220(其係透過紅色畫素區域I中之第一絕緣膜131之第一開口131而暴露)上、形成綠色有機發光層250G在第一電極220(其係透過綠色畫素區域II中之第一絕緣膜130之第一開口131而暴露)上、以及形成藍色有機發光層250B在第一電極220(其係透過藍色畫素區域III中之第一絕緣膜130之第一開口131而暴露)上。
接著，將描述根據本發明第三具體實施態樣之發光顯示器裝置。現回到第22至24圖，第22圖係根據本發明第三具體實施態樣之發光顯示器裝置之剖面圖，第23圖係繪示第22圖之發光顯示器裝置中之白色有機發光層之一種結構的剖面圖，以及第24圖係繪示第22圖之發光顯示器裝置中之白色有機發光層之另一結構的剖面圖。
現參考第22圖，根據本發明第三具體實施態樣之有機發光顯示器300係包括一基材110、一第一電極320、一第一絕緣膜130、一第二絕緣膜140、一發光層350、一第二電極160、及一色彩濾件370。發光顯示器裝置300係實行透過發光層350發射白光的一有機發光顯示器裝置。
第一電極320係相似於第1圖中的第一電極120，然而，第一電極320具體上係依基材110上各畫素而形成。於此，基材110係包括複數個畫素，且該複數個畫素係包括一紅色畫素區域I、一綠色畫素區域II及一籃色畫素區域III。第一電極320係形成在紅色畫素區域I、綠色畫素區域II及藍色畫素區域III中。發光層350係相似於第1圖所繪示的發光層150，然而發光層350具體上係發射白光。
發光層350係形成在第一電極320上，第一電極320係透過紅色畫素區域I、綠色畫素區域II、及藍色畫素區域III中之第一絕緣膜131之第一開口131而暴露。在第一電極320係陽極電極且第二電極160係陰極電極的情況中，發光層350係透過由第一電極320提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射白光。
具體言之，發光層350可包括一電洞注入層351、一白色有機層352、及一電子注入層353，其等係依序地層壓在第一電極320上。由於電洞注入層351與電子注入層353係相同於第21圖中之電洞注入層251與電子注入層253，將省略其重複的說明。
白色有機層352具體上係透過由第一電極320提供的電洞與由第二電極160提供的電子的再結合而發射白光。
白色有機層352具體上可經由層壓一發射紅光的紅色有機層352R、一發射綠光的綠色有機層352G、及一發射藍光之藍色有機層352B而構型，如第23圖所繪示。白色有機層352發射白光，其中紅光、綠光及藍光係經混合。另一方面，在第23圖中，其係例示綠色有機層325G層壓在紅色有機層352R上，藍色有機層352B層壓在綠色有機層352G上。然而，本發明並不限於此任一層壓順序。由於紅色有機層352R、綠色有機層352G、及藍色有機層352B的構型可相同於紅色有機層252R、綠色有機層252G、及藍色有機層252B的構型，故將省略重複的說明。
此外，白色有機層325具體上可經由層壓一發射黃光之黃色有機層352Y與發射藍光的藍色有機層352B而構型，如第24圖所繪示。此白色有機層352發射白光，其中黃光與藍光係經混合。
色彩濾件370係安排在第二電極160的上側部分上，且包括一紅色濾件370R安排在紅色畫素區域I中、一綠色濾件370G安排在綠色畫素區域II中、及一藍色濾件370B安排在藍色畫素區域III中。色彩濾件370可經由過濾由發光層350發射的白光而發射紅色光、綠色光及藍色光。
在第22圖中，係例示一頂部發射型的有機發光顯示器裝置，然而，在底部發射型的有機發光顯示器裝置的情況中，色彩濾件可安裝在基材的底部表面上。在另一例子中，色彩濾件
可以一有機膜的形式提供在裝置中，如色彩濾件陣列(Color Filter on Array，COA)結構。
另一方面，在第22圖中，第一絕緣膜130可作為畫素定義膜定義畫素；當發光層350係經由噴墨印刷技術印刷發光材料而形成時，第一絕緣膜130亦用於形成具有均勻厚度的發光層350在第一電極320與第一絕緣膜130二區域上。
此外，在第22圖中，當發光層350的發光材料係經由噴墨印刷技術而印刷時，第二絕緣膜140可用作避免發光材料逃出第一絕緣膜130之第一開口131的阻擋件。此外，在第二絕緣膜140包括一感光材料的情況中，第二絕緣膜140可作為蝕刻遮罩，以供圖案化第一絕緣膜130以製造第一開口131。
雖未經繪示，發光顯示器裝置300可更包括一密封基材，其係安排在第二電極160的上側部分上。該密封基材可為一絕緣基材。一間隔件可設置在第二絕緣膜140上之第二電極160與密封基材之間。在本發明一些具體實施態樣中，可省略該密封基材。在此情況中，由一絕緣材料所製成之密封膜可覆蓋全部結構以保護該結構。
如上述，根據本發明第三具體實施態樣之發光顯示器裝置300係包括發光層350(其製造白光)，且包括第一絕緣膜130與第二絕緣膜140，其等係分別由不同的絕緣材料所製成，使得第一電極320與第一絕緣膜130之間相較於發光材料之濕潤性的差異，係變得小於第二絕緣膜140與第一電極320之間相較於發光材
料之濕潤性的差異。
根據本發明第三具體實施態樣之發光顯示器裝置300，當發光層350係經由噴墨印刷技術印刷發光層350的發光材料在第一電極320(其係透過第一絕緣膜130之第一開口131而暴露)上而製造時，可避免發光層350的發光材料逃出第一絕緣膜130的第一開口131，且具有均勻厚度的發光層350係形成在第一電極320及第一絕緣膜130二者上。因此，由於發光層350係安置在所欲空間中且係經形成為具有均勻厚度，故可達成透過發光層350之均勻的光發射，因此可增進發光顯示器裝置300的顯示器品質。
另一方面，與根據第5至20圖之製造發光顯示器裝置100的方法相同的步驟係施加至根據本發明第三具體實施態樣之製造發光顯示器裝置300的方法。然而，根據本發明第三具體實施態樣製造發光顯示器裝置300之方法，在第一電極形成步驟S10中，第一電極320係依畫素安排在基材110上之紅色畫素區域I、綠色畫素區域II及藍色畫素區域III上。此外，在發光層形成步驟S30中，發光層350係包括發射白光的白色有機層352，且係形成在第一電極320(其係透過各紅色畫素區域I、綠色畫素區域II及藍色畫素區域II中第一絕緣膜130之開口131而暴露)上。
總結詳細的說明，於此技術領域中具有通常知識者將認同可對較佳具體實施態樣進行許多變化與修改，而實質上未脫離本發明之原則。因此，所揭露的本發明之較佳具體實施態樣係為一般性與敘述性用意，而非用於限制性之目的。
100‧‧‧發光顯示器裝置
110‧‧‧基材
120‧‧‧第一電極
130‧‧‧第一絕緣膜
131‧‧‧第一開口
140‧‧‧第二絕緣膜
141‧‧‧第二開口
150‧‧‧發光層
160‧‧‧第二電極
Claims (19)
- 一種發光顯示器裝置，包含：一基材；一第一電極，安排於該基材上：一第一絕緣膜，安排於該基材上且包括一第一開口，該第一開口係暴露出該第一電極的一部分；一第二絕緣膜，安排於該第一絕緣膜上且包括一第二開口，該第二開口係暴露出該第一開口；一包括一發光材料的發光層，安排於經該第一開口而暴露的該第一電極的該部分上，同時與該第一絕緣膜接觸；一第二電極，安排於該發光層上，其中該第一電極與該第一絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異，係低於該第一電極與該第二絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該第一絕緣膜相對於該發光材料的濕潤性係實質上相同於該第一電極相對於該發光材料的濕潤性。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該第一電極與該第一絕緣膜相對於該發光材料的接觸角係等於或低於10°，且該第二絕緣膜相對於該發光材料的接觸角係等於或大於50°。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該第一電極係包含ITO (氧化銦錫)，且該第一絕緣膜係包含一選自以下群組之材料：氧化矽、氮化矽、及氮氧化矽。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該第一絕緣膜係包含一選自以下群組之材料：氧化矽、氮化矽、及氮氧化矽，且該第二絕緣膜係包含一選自以下群組之材料：苯并環丁烯(benzo cyclo butene，BCB)、聚醯亞胺(PI)、聚醯胺(PA)、丙烯系樹脂、及酚樹脂。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該發光層係包含一選自以下群組之材料：包括Se的無機材料、包括Zn的無機材料、低分子量有機材料、及高分子量有機材料。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該第二絕緣膜係包含一感光材料。
- 如請求項1所述之發光顯示器裝置，其中該基材係包括複數個畫素，且該第一絕緣膜係一畫素定義膜定義各該複數個畫素。
- 如請求項8所述之發光顯示器裝置，其中該複數個畫素係包含一紅色畫素區域、一綠色畫素區域、及一藍色畫素區域，該發光層係包含：一紅色有機發光層，安排於該紅色畫素區域內；一綠色有機發光層，安排於該綠色畫素區域內；以及一藍色有機發光層，安排於該藍色畫素區域內。
- 如請求項8所述之發光顯示器裝置，其中該發光層係包含一白色有機層。
- 如請求項10所述之發光顯示器裝置，其中該白色有機層係包含一紅色有機層、一綠色有機層、及一藍色有機層。
- 如請求項10所述之發光顯示器裝置，其中該白色有機層係包含一黃色有機層與一藍色有機層。
- 一種用於製造一發光顯示器裝置之方法，包含：形成一第一電極於一基材上；形成一第一絕緣膜與一第二絕緣膜於該基材上，該第一絕緣膜具有一第一開口暴露出該第一電極的一部分，該第二絕緣膜具有一第二開口對應於該第一開口；形成一包括一發光材料的發光層於該第一電極的該經暴露的部分上，該發光層係同時與該第一絕緣膜接觸；以及形成一第二電極於該發光層上，其中該第一電極與該第一絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異，係低於該第一電極與該第二絕緣膜之間相對於該發光材料之濕潤性的差異。
- 如請求項13所述之方法，其中該第一絕緣膜與該第二絕緣膜之形成係包含：沉積一第一絕緣材料於該基材的整個表面上以覆蓋該第一電極；沉積一第二絕緣材料於該第一絕緣材料的整個表面上；安排一遮罩於該第二絕緣材料的上側部分上，該遮罩係具有一開口對應於該第一電極的一部分；使用光曝光該第二絕緣材料； 藉由使用一顯影劑顯影該第二絕緣材料以形成具有該第二開口的該第二絕緣膜；以及藉由使用該第二絕緣膜作為一蝕刻遮罩蝕刻該第一絕緣材料以形成具有該第一開口的該第一絕緣膜。
- 如請求項13所述之方法，其中該第一絕緣膜與該第二絕緣膜之形成係包含：沉積一第一絕緣材料於該基材的整個表面上以覆蓋該第一電極；沉積一光阻膜於該第一絕緣材料的整個表面上；安排一第一遮罩於該光阻膜的上側部分上，該第一遮罩係具有一第一開口對應於該第一電極的一部分；使用光曝光該光阻膜；藉由使用一顯影劑顯影該光阻膜以形成一光阻圖案；藉由使用該光阻圖案作為一蝕刻遮罩蝕刻該第一絕緣材料以形成具有該第一開口的該第一絕緣膜；移除該光阻圖案；沉積一包括一感光材料的第二絕緣材料於該第一絕緣膜上與經該第一絕緣材料之蝕刻而暴露的該第一電極的該部分上；安排一第二遮罩於該第二絕緣材料的上側部分上，該第二遮罩係具有一第二開口對應於該第一開口；使用光曝光該第二絕緣材料；以及藉由使用該顯影劑顯影該第二絕緣材料以形成具有該第二 開口的該第二絕緣膜。
- 如請求項13所述之方法，其中該形成該發光層係包含經由噴墨印刷技術印刷該發光材料於該第一電極的該經暴露部分上。
- 如請求項13所述之方法，其中該形成該第一電極係包含安排該第一電極於該基材上的各紅色畫素區域、綠色畫素區域、及藍色畫素區域中。
- 如請求項17所述之方法，其中該發光層之形成係包含：形成一紅色有機發光層於該紅色畫素區域中；形成一綠色有機發光層於該綠色畫素區域中；以及形成一藍色有機發光層於該藍色畫素區域中。
- 如請求項17所述之方法，其中該發光層之形成係包含形成一白色有機發光層於各紅色、綠色、及藍色畫素區域中。
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