TW201409597A - 導引滾輪裝置 - Google Patents

Abstract

茲揭示一種導引滾輪裝置，該導引滾輪裝置包括轉移部件、複數個第一滾輪、第二滾輪、皮帶，及第二滾輪移動部件。該轉移部件支撐轉移物件，且該轉移部件將該轉移物件往轉移方向轉移。該複數個第一滾輪設置於該轉移物件之側邊，沿著該轉移方向做間隔，且該複數個第一滾輪將該轉移物件沿該轉移方向做導引。該等第二滾輪設置於該等鄰近第一滾輪之間，且該等第二滾輪設置於該轉移物件之側邊。該皮帶纏繞於該第一滾輪及該第二滾輪兩者上，且該第一滾輪相對於該轉移方向排列於第二滾輪之後。該第二滾輪位於該等鄰近第一滾輪之間。該第二滾輪移動部件使該第二滾輪於接近該轉移物件方向及遠離該轉移物件方向間做往復運動。

Description

導引滾輪裝置

本發明係關於導引滾輪裝置，本發明尤其關於導引對面轉移物件，使該轉移物件能沿轉移方向正常轉移之導引滾輪裝置。

當製作如平面顯示面板之顯示基板，時，各種如沉積、清洗、烘乾、蝕刻、曝光等製程經實施以形成圖案在基板上。再者，該等製程大多在加工室內進行相應之製程，因此該基板需被轉移進入各個加工室，或在該相應加工室中之製程完成時，轉移該基板以將該基板從該加工室取出。

現行使用於基板轉移裝置之基板轉移方法有：橫向轉移方法以轉移橫向支撐之基板、縱向轉移方法以轉移縱向支撐之基板、斜向轉移方法以轉移斜向支撐之基板等等。

該基板轉移過程中，若該基板正常轉移，則該基板沿著該轉移方向直線移動。然而，該基板可能不沿著該轉移方向直線移動，原因如：該基板轉移裝置之不平衡旋轉力或該基板轉移裝置之平整度缺陷等等。因此，為了該基板不沿著該轉移方向直線移動之情況做準備，將導引滾輪裝置安裝 於該基板之相對兩側以導引直線轉移該基板，以便該基板正常轉移。

第1圖圖示習知導引滾輪裝置之範例。

參照第1圖，習知導引滾輪裝置包括複數個導引滾輪20，該複數個導引滾輪20沿轉移方向A1做預定間隔，且各導引滾輪20可不費力地自由轉動。若轉移物件10在沿轉移方向A1移動中稍微偏離而碰撞導引滾輪20，導引滾輪20將轉動以使轉移物件10能往反方向移動，從而再次使轉移物件10沿轉移方向A1正常轉移。

然而，如第1圖(b)所示，若轉移物件10從轉移方向A1過度偏離且與導引滾輪20碰撞，則將產生問題。該問題為導引滾輪20不再轉動，且轉移物件10於導引滾輪20卡住且停止。為解決此問題，工作人員需手動控制導引滾輪20，以便轉移物件10能正常轉移。

因此，若該轉移物件卡在該導引滾輪上且不再沿該轉移方向轉移，產品製造效率將下降，因為製程裝置必需停止，且可能因過度施加外力於被轉移之該轉移物件而使該轉移物件受損壞。

因此，本發明設想解決前述問題，且本發明態樣係為提供導引滾輪裝置，該導引滾輪裝置包括滾輪，該滾輪能往接近轉移物件方向移動；以及另一滾輪，該另一滾輪導引轉移物件正常轉移，即使該轉移物件從該轉移方向過度偏離，也能從而防止該轉移物件卡在該滾輪中且不沿該轉移方 向轉移。

依據本發明之態樣，茲提供一導引滾輪裝置，包括括轉移部件，該轉移部件將該轉移物件沿該轉移方向轉移；複數個第一滾輪，該複數個第一滾輪設置於該轉移物件之側邊，沿該轉移方向做間隔，且該複數個第一滾輪將該轉移物件沿該轉移方向做導引；第二滾輪，該等第二滾輪設置於鄰近該等第一滾輪間，且該等第二滾輪設置於該轉移物件之側邊；皮帶，該皮帶纏繞於該第一滾輪及該第二滾輪兩者上，且該第一滾輪相對於該轉移方向排列於第二滾輪之後；第二滾輪移動部件，該第二滾輪移動部件使該第二滾輪於接近該轉移物件方向及遠離該轉移物件方向間做往復運動；第一滾輪旋轉驅動器，該第一滾輪旋轉驅動器轉動該第一滾輪，使纏繞於該第一滾輪及該第二滾輪之該皮帶轉動，其中在該轉移物件卡住且停在該皮帶上時，該第一滾輪旋轉驅動器之轉矩定義為基準轉矩，且導引滾輪裝置更包括：轉矩感測器，該轉矩感測器感測第一滾輪旋轉驅動器之轉矩；及控制器，該控制器控制該第二滾輪移動部件，在該轉矩感測器感測之轉矩等於或大於基準轉矩時，該第二滾輪移動部件移動該第二滾輪，使該第二滾輪往遠離該轉移物件方向移動，再使該第二滾輪往接近該轉移物件方向移動。

導引滾輪裝置更能包括輸入感測器，該輸入感測器感測該轉移物件之輸入，其中在該輸入感測器感測到該轉移物件輸入時，該第二滾輪移動部件移動該第二滾輪使該第二滾輪往接近該轉移物件方向移動。

導引滾輪裝置更能包括彈簧構件，該彈簧構件安裝於該第二滾輪中且彈性地促使該第二滾輪朝該轉移物件移動，該移動之方向橫向於該轉移方向，藉以當該轉移物件碰撞該第二滾輪或該皮帶時吸收一衝擊。

10‧‧‧轉移物件

20‧‧‧導引滾輪

100‧‧‧導引滾輪裝置

110‧‧‧轉移部件

120‧‧‧第一滾輪

130‧‧‧第二滾輪

140‧‧‧皮帶

160‧‧‧輸入感測器

170‧‧‧彈簧構件

A1‧‧‧轉移方向

B1‧‧‧接近轉移物件方向

B2‧‧‧遠離轉移物件方向

本發明之上述與/或其他態樣將由下列模範實施例之描述結合附圖，而更容易理解且清楚。其中附圖為：第1圖圖示習知導引滾輪裝置範例；第2圖圖示根據本發明實施例之導引滾輪裝置；第3圖圖示第一滾輪，第二滾輪及皮帶，該第一滾輪、第二滾輪及皮帶由第一滾輪旋轉驅動器轉動，而該第一滾輪旋轉驅動器係屬於第2圖之導引滾輪裝置；第4圖圖示說明轉移物件不沿轉移方向轉移時，第二滾輪之運轉。該第二滾輪係屬第2圖導引滾輪裝置。

第5圖圖示彈簧構件。該彈簧構件係屬第2圖導引滾輪裝置。

以下，根據本發明之導引滾輪裝置實施例將參考附圖做說明。

第2圖圖示根據本發明實施例之導引滾輪裝置；第3圖圖示第一滾輪、第二滾輪及皮帶，該等第一滾輪、第二滾輪及皮帶由第一滾輪旋轉驅動器轉動。該第一滾輪旋轉驅動器係屬第2圖之導引滾輪裝置；第4圖圖示說明轉移物件不沿轉移方向轉移時，該第二滾輪之運轉。該第二滾輪係屬第2 圖導引滾輪裝置。第5圖圖示彈簧構件。該彈簧構件係屬第2圖導引滾輪裝置。

參照第2圖至第5圖，此實施例中導引滾輪裝置100導引對側之轉移物件，以便該轉移物件能往轉移方向正常轉移。導引滾輪裝置100包括轉移部件110、複數個第一滾輪120、第二滾輪130、皮帶140、第二滾輪移動部件(不顯示)、第一滾輪旋轉驅動器(不顯示)、控制器(不顯示)、輸入感測器160，及彈簧構件170。

轉移部件110支撐轉移物件10底部，且轉移部件110將轉移物件10往轉移方向A1轉移。轉移部件110可包括滾珠螺絲、直線移動導引部件，及馬達等等。該直線移動導引部件沿轉移方向A1設置，且該馬達提供旋轉動力使滾珠螺絲轉動。轉移部件110可配合馬達之旋轉方向，將轉移物件10沿轉移方向A1轉移，或必要時將轉移物件10沿轉移方向A1之反方向轉移。

本說明書中，轉移物件10可指基板，該基板傳送無基板托盤；轉移物件10也可指置於基板托盤內之基板。

複數個第一滾輪120導引轉移物件10，使導引物件10沿轉移方向A1轉移。複數個第一滾輪120設置於轉移物件10之側邊，且沿轉移方向A1做間隔。第一滾輪120可由不傷害轉移物件10且不對轉移物件10造成靜電之材料製成。舉例而言，第一滾輪120可由聚醚醚酮(PEEK)或類者製成。

第一滾輪120可旋轉，且安裝於旋轉軸縱向穿透第 一滾輪120之中心部位。

第二滾輪130設置於鄰近第一滾輪120之間，且位於轉移物件10之側邊。同樣，第二滾輪130可由不傷害轉移物件10且不對轉移物件10造成靜電之材料製成。舉例而言，第二滾輪130可由聚醚醚酮(PEEK)或類者製成。第二滾輪130可旋轉，且安裝於旋轉軸縱向穿透第二滾輪130之中心部位。

第二滾輪130可沿轉移方向A1設置於所有鄰近滾輪120之間。或者，第二滾輪130可間歇性地安裝，使第二滾輪130於某些區域安裝於鄰近第一滾輪120之間，但於其他區域則不安裝於鄰近第一滾輪120之間。

皮帶140纏繞於第一滾輪120及第二滾輪130兩者上，且皮帶140與第一滾輪120及第二滾輪130一起轉動。如第2圖示，皮帶140纏繞於第一滾輪120上，第一滾輪120相對於轉移方向A1位於第二滾輪130後，且第二滾輪130位於鄰近第一滾輪120之間。

同樣，皮帶140可由不傷害轉移物件10且不對轉移物件10造成靜電之材料製成。

第二滾輪移動部件(不顯示)往復運動，使第二滾輪130往與轉移物件之轉移方向A1水平方向轉動。該往復運動往接近轉移物件方向B1或往遠離轉移物件方向B2。

在第二滾輪130往接近轉移物件方向B1移動狀態時，連接第一滾輪120旋轉軸與第二滾輪130旋轉軸之虛線傾斜於轉移方向A1。另一方面，在第二滾輪130往遠離轉移物件方向B2移動狀態時，連接第一滾輪120旋轉軸與第二滾 輪130旋轉軸之虛線基本上與轉移方向A1平行。

第二滾輪移動部件可由氣動汽缸、滾珠螺絲與旋轉馬達結合之結構、線性馬達，或類直線驅動部件所實現。此類直線驅動部件可由該領域熟悉技藝者容易地配置，因此此類直線驅動部件之詳細說明將省略。

第二滾輪移動部件可經配置獨立地移動各自第二滾輪130，或一起移動複數個第二滾輪130。

第一滾輪旋轉驅動器(不顯示)轉動第一滾輪120，因此第一滾輪旋轉驅動器轉動皮帶140。皮帶140纏繞於第一滾輪120及第二滾輪130上。第一滾輪旋轉驅動器可包括：馬達，提供旋轉動力以轉動第一滾輪120；及動力轉移部件，以將旋轉動力由馬達轉移至第一滾輪120。此類配置可由該領域熟悉技藝者容易地配置，因此此類配置之詳細說明將省略。

第一滾輪旋轉驅動器可經配置獨立地轉動各自第一滾輪120，或同時轉動複數個第一滾輪120。

控制器(不顯示)控制第二滾輪移動部件，使轉移物件10在不往轉移方向A1轉移而停止時正常轉移，即使第一滾輪120之轉動狀態係轉移物件10卡在皮帶140。

轉矩感測器提供給第一滾輪旋轉驅動器以感測第一滾輪旋轉驅動器之轉矩。在轉移物件10不碰撞皮帶140的狀態下，無阻礙皮帶140轉動之因素，因此皮帶140可被該第一滾輪旋轉驅動器之額定轉矩轉動。然而，如第4圖(a)所示，在轉移物件10碰撞皮帶140並於皮帶140卡住且停止之狀態下，皮帶140之轉動受阻礙，因此該第一滾輪旋轉驅動器轉 動皮帶140所需之轉矩增加。

此時轉移物件10於皮帶140卡住且停止的狀態下，比該第一滾輪旋轉驅動器額定轉矩更大之轉矩將稱為基準轉矩。

在轉移物件10於皮帶140卡住且停止時，若轉矩感測器感測之轉矩等於或大於上述定義之基準轉矩，該控制器控制第二滾輪移動部件，使第二滾輪130往遠離轉移物件方向B2移動，如第4圖(b)所示，再使第二滾輪130往接近轉移物件方向B1移動，如第4圖(c)所示。

關於第4圖(c)，第二滾輪130往接近轉移物件方向B1移動時，推擠轉移物件10之邊緣部分，因此轉移物件10之偏離角度受某種程度上之補償，使轉移物件10能返回轉移物件10之正常軌道，沿轉移方向A1轉移。

輸入感測器160感測到轉移物件10之輸入。

透過輸入感測器160感測到轉移物件10之輸入後，控制器控制第二滾輪移動部件使第二滾輪130往接近轉移物件方向B1移動。

可在輸入感測器160端之相對端設置輸出感測器(不顯示)提供給轉移部件110。輸出感測器感測到轉移物件10被取出後，控制器可控制第二滾輪移動部件，使第二滾輪130往遠離轉移物件方向B2移動。

彈簧構件170設置於第二滾輪130藉以當該衝擊為轉移物件10碰撞第二滾輪130或皮帶140時產生，吸收衝擊。

彈簧構件170彈性地促使第二滾輪130朝著轉移物 件10之方向A1被推擠，且方向橫向於轉移方向A1。轉移物件10碰撞第二滾輪130或皮帶140時，彈簧構件170之彈性往B1方向作用，朝著轉移物件10推擠第二滾輪130，因此彈簧構件170之彈性補償轉移物件10之偏離角度，從而使轉移物件10返回轉移方向A1。

根據實施例之前述配置之導引滾輪裝置包括該第二滾輪及該第一滾輪。該第二滾輪可往接近該轉移物件方向移動，而該第一滾輪用以導引該轉移物件，使該轉移物件正常轉移，從而達到防止該轉移物件於滾輪卡住且停止，即使轉移物件過度偏離於該轉移方向。

另外，根據實施例之該前述配置之導引滾輪裝置轉動該皮帶，以便偏離且碰撞該皮帶之該轉移物件能返回該轉移方向。該皮帶纏繞於該第一滾輪及該第二滾輪上。

另外，根據實施例之該前述配置之導引滾輪裝置拉回該第二滾輪，在該轉移物件於該皮帶卡住且停止時，使該第二滾輪前進，以便卡住且停止在該皮帶之該轉移物件能容易地返回該轉移方向。

另外，根據實施例之該前述配置之導引滾輪裝置包括該彈簧構件，該彈簧構件彈性地促使該第二滾輪朝該轉移物件移動，以便碰撞該皮帶之該轉移物件能容易地返回該轉移方向。

根據本發明，該導引滾輪裝置防止該轉移物件卡住且停止在滾輪上，即使轉移物件過度偏離於該轉移方向。

另外，根據本發明之導引滾輪裝置，能正常且容易 地返回該轉移方向的不止有偏離且碰撞該皮帶之該轉移物件，也包含卡住且停在該皮帶上之轉移物件。

雖然茲顯示及描述本發明之少數模範實施例，該領域熟悉技藝將理解，該等實施例可在不背離本發明之原則及精神下做變更。本發明之範圍在附加之請求項及請求項之等效物中做定義。

10‧‧‧轉移物件

100‧‧‧導引滾輪裝置

110‧‧‧轉移部件

120‧‧‧第一滾輪

130‧‧‧第二滾輪

140‧‧‧皮帶

160‧‧‧輸入感測器

A1‧‧‧轉移方向

B1‧‧‧接近轉移物件方向

B2‧‧‧遠離轉移物件方向

Claims (3)

1. 一種導引滾輪裝置，包括：一轉移部件，該轉移部件沿一轉移方向轉移一轉移物件；複數個第一滾輪，該等第一滾輪設置於該轉移物件之側邊，沿該轉移方向做間隔，且該等第一滾輪導引該轉移物件沿該轉移方向轉移；第二滾輪，該等第二滾輪設置於鄰近之該等第一滾輪間，且該等第二滾輪設置於該轉移物件之該等側邊；一皮帶，該皮帶纏繞於該第一滾輪及該第二滾輪兩者上，且該第一滾輪相對於該轉移方向，設置於該第二滾輪之後，且該第二滾輪設置於鄰近之該等第一滾輪間；一第二滾輪移動部件，該第二滾輪移動部件使該第二滾輪於接近該轉移物件方向及遠離該轉移物件方向間做往復運動；一第一滾輪旋轉驅動器，該第一滾輪旋轉驅動器轉動該第一滾輪，使纏繞於該第一滾輪及該第二滾輪兩者上之該皮帶轉動，其中在該轉移物件卡住且停在該皮帶上時，該第一滾輪旋轉驅動器之轉矩定義為基準轉矩，且該導引滾輪裝置更包括：一轉矩感測器，該轉矩感測器感測該第一滾輪旋轉驅動器之轉矩，及一控制器，該控制器控制該第二滾輪移動部件，在該轉矩感測器感測之轉矩等於或大於該基準轉矩時，該第二滾輪移動部件移動該第二滾輪，使該第二滾輪往遠離該轉移物件方向移動，再使該第二滾輪往接近該轉移物件方向移動。
2. 如請求項1所述之導引滾輪裝置，進一步包括：一輸入感測器，該輸入感測器感測該轉移物件之輸入，其中在該輸入感測器感測到該轉移物件輸入時，該第二滾輪移動部件移動該第二滾輪使該第二滾輪往接近該轉移物件方向移動。
3. 如請求項1所述之導引滾輪裝置，進一步包括：一彈簧構件，該彈簧構件安裝於該第二滾輪中且彈性地促使該第二滾輪朝該轉移物件移動，該移動之方向橫向於該轉移方向，藉以當該轉移物件碰撞該第二滾輪或該皮帶時吸收一衝擊。