KR101026685B1 - 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 정면 주요부 확대도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 좌측면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 평면도.
도 5(a, b)는 본 발명의 비접촉식 구동부의 제1 자석환(M1)이 구비된 제1 구동바(61)와 제2 자석환(M2)이 구비된 롤축(51)의 구성을 보이는 평면도.
도 6은 도 5(a, b)의 제1 자석환(M1)이 구비된 제1 구동바(61)와 제2 자석환(M2)이 구비된 롤축(51)의 상하 위치 관계를 보이는 정면도.
도 7(a, b)는 본 발명의 비접촉식 구동부의 제3 자석환(M3)이 구비된 제2 구동바(65)와 제3 자석환(M3)이 구비된 하부롤러축(11)의 구성을 보이는 평면도.
도 8은 도 7의 제3 자석환(M3)이 구비된 제2 구동바(65)와 제3 자석환(M3)이 구비된 하부롤러축(11)의 상하 위치 관계를 보이는 정면도.
11 : 하부롤러축 20 : 상부 롤러
30 : 하부 점착 롤러 40 : 상부 점착롤러
50 : 가이드롤부 51 : 롤축
52 : 롤핀 55 : 상부가이드롤부
56 : 상부롤축 57 : 상부롤핀
60 : 구동부 61 : 제1 구동바
65 : 제2 구동바 M : 구동모터
M1 : 제1 자석환 M2 : 제2 자석환
M3 : 제3 자석환 M4 : 제4 자석환
B1 : 제1 슬라이딩 지지체 R : 안내레일
Claims (5)
- 삭제
- 기판 클리닝장치에 있어서,
하부롤러축(11)을 중심으로 회전하는 하부 롤러(10)와;
상기 하부 롤러(10)와 평행하게 상기 하부 롤러(10) 상부에 구비되는 상부 롤러(20)와;
상기 하부 롤러(10)의 하부에 평행하게 구비되는 하부 점착 롤러(30)와;
상기 상부 롤러(20)의 하부에 평행하게 구비되는 상부 점착롤러(40)와;
롤축(51)을 중심으로 회전하며 진행하는 기판의 하부에서 기판이 상기 상부 롤러(20)와 하부 롤러(10) 사이를 통과하도록 가이드하는 가이드롤부(50)와;
상기 가이드롤부(50), 하부롤러(10), 및 상부 롤러(20) 중에서 적어도 하나를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된 구동부(60);를 포함하여 구성되고,
상기 구동부(60)는 상기 가이드롤부(50)를 비접촉식으로 회전시키되;
상기 구동부(60)는,
프레임(1)에 지지된 구동모터(M)와,
상기 구동모터(M)의 회전력으로 회전되고 기판 진행방향으로 평행하게 회동가능하게 지지된 제1 구동바(61)와,
상기 제1 구동바(61)에 소정간격으로 이격되어 구비된 복수개의 제1 자석환(M1)을 포함하여 구성되고;
상기 롤축(51)은 상기 제1 구동바(61)와 수직으로 이루며 서로 이격되게 배치되되 상기 제1 자석환(M1)과 상응하는 위치에 제2 자석환(M2)이 구비되어, 상기 제1 자석환(M1)이 회전되면 자력에 의한 반발력에 의해 상기 제2 자석환(M2)이 회전됨으로써 상기 제1 구동바(61)에 회전에 의해 상기 롤축(51)이 비접촉식으로 회전되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치. - 제2항에 있어서,
상기 하부 롤러(10), 상부 롤러(20), 하부 점착 롤러(30), 및 상부 점착롤러(40)는 기판 진행 방향으로 서로 평행하게 적어도 2개 이상 구비되고,
상기 가이드롤부(50)는 상기 롤축(51)의 외주에 복수개씩 고정된 롤핀(52)을 더 포함하고,
진행하는 기판의 상면과 하면을 가이드하여 기판의 말림 또는 접힘 현상이 방지되도록
상부롤축(56)과 상부롤핀(57)으로 구성된 상부가이드롤부(55)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치. - 기판 클리닝장치에 있어서,
하부롤러축(11)을 중심으로 회전하는 하부 롤러(10)와;
상기 하부 롤러(10)와 평행하게 상기 하부 롤러(10) 상부에 구비되는 상부 롤러(20)와;
상기 하부 롤러(10)의 하부에 평행하게 구비되는 하부 점착 롤러(30)와;
상기 상부 롤러(20)의 하부에 평행하게 구비되는 상부 점착롤러(40)와;
롤축(51)을 중심으로 회전하며 진행하는 기판의 하부에서 기판이 상기 상부 롤러(20)와 하부 롤러(10) 사이를 통과하도록 가이드하는 가이드롤부(50)와;
상기 가이드롤부(50), 하부롤러(10), 및 상부 롤러(20) 중에서 적어도 하나를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된 구동부(60);를 포함하여 구성되고,
상기 구동부(60)는 상기 하부 롤러(10)를 비접촉식으로 회전시키되;
상기 구동부(60)는,
프레임(1)에 지지된 구동모터(M)와,
상기 구동모터(M)의 회전력으로 회전되고 기판(B) 진행방향으로 평행하게 회동가능하게 지지된 제2 구동바(65)와,
상기 제2 구동바(65)에 구비된 제3 자석환(M3)을 포함하여 구성되고;
상기 하부롤러축(11)은 상기 제2 구동바(65)와 수직으로 이루며 서로 이격되게 배치되되 상기 제3 자석환(M3)과 상응하는 위치에 제4 자석환(M4)이 구비되어, 상기 제3 자석환(M3)이 회전되면 자력에 의한 반발력에 의해 상기 제4 자석환(M4)이 회전됨으로써 상기 제2 구동바(65)에 회전에 의해 상기 하부롤러축(11)이 비접촉식으로 회전되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치. - 제2항에 있어서,
상기 구동부(60)는 상기 하부 롤러(10)를 비접촉식으로 회전시키며,
상기 가이드롤부(50)와 상기 하부 롤러(10)의 양단은 제1 슬라이딩 지지체(B1)에 회동가능하게 지지, 고정되고,
상기 제1 슬라이딩 지지체(B1)는 프레임(1)에 고정된 안내레일(R)을 따라 삽입, 탈출 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치.
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CN201180047424.8A CN103348451B (zh) | 2010-10-01 | 2011-06-29 | 具备非接触式旋转装置的基板洗净装置 |
PCT/KR2011/004772 WO2012043973A1 (ko) | 2010-10-01 | 2011-06-29 | 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 |
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KR20100091037A (ko) * | 2009-02-09 | 2010-08-18 | 세메스 주식회사 | 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템 |
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KR0171491B1 (ko) * | 1994-09-20 | 1999-03-30 | 이시다 아키라 | 회전식 기판세정장치 |
KR100798145B1 (ko) * | 2006-08-01 | 2008-01-28 | 세메스 주식회사 | 회전 유닛 및 기판 세정 장치 |
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- 2010-10-01 KR KR1020100095731A patent/KR101026685B1/ko active IP Right Grant
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- 2011-06-29 WO PCT/KR2011/004772 patent/WO2012043973A1/ko active Application Filing
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KR102638937B1 (ko) * | 2023-08-29 | 2024-02-21 | (주)휴맥 | 기판 이물제거용 세정장치 |
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CN103348451B (zh) | 2015-11-25 |
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