TW201400294A - 被研磨物保持材及用於此之積層板 - Google Patents
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Abstract
根據本發明，提供一種改善被研磨物保持材之翹曲或板厚精度、且抑制被研磨物上之刮痕之產生、耐磨耗性變得良好、進而於經濟方面亦有利的被研磨物保持材。本發明之被研磨物保持材係於最外層具有第1樹脂層，該第1樹脂層係於第1纖維基材含浸第1樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成者，上述第1纖維基材為玻璃纖維基材，且於除上述第1纖維基材以外之上述第1樹脂層中以50質量%以上之比例包含源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構。
Description
本發明係關於一種被研磨物保持材及用於此之積層板。
本申請案係基於2012年3月30日於日本提出申請之日本特願2012-078719號、及2012年12月10日於日本提出申請之日本特願2012-269289號並主張其優先權，將其內容引用於此。
於對矽晶圓、硬碟等被研磨物進行研磨時，被研磨物保持材所使用之積層板係使用重疊特定片數之於纖維基材含浸環氧樹脂等熱硬化性樹脂並加以乾燥而獲得之預浸材(prepreg)並一體地加熱加壓成形而成的積層板。
積層板係以下述方式加工成被研磨物保持材。自標準尺寸之積層板切出特定尺寸之圓板，於該積層板上開出1個或複數個圓形之孔。又，於圓板之周圍形成齒輪之齒。於使用以上述方式製作之被研磨物保持材進行研磨時，將上述保持材安裝於研磨機，於其圓形之孔保持被研磨物。使保持材之周圍之齒與驅動齒輪之齒嚙合而驅動保持材。伴隨於此，保持於圓形之孔之被研磨物亦被驅動，而將被研磨物之表面藉由與其抵接之研磨材進行研磨。
對被研磨物保持材要求之特性為耐磨耗性、板厚精度、翹曲特性、尺寸穩定性等。又，近年來，隨著對被研磨物要求之品質或性能變
高，要求抑制被研磨物上之刮痕(研磨傷)之產生之被研磨物保持材。
為了進行該等改善，作為形成不使被研磨物上產生刮痕之被研磨物保持材之材料，研究有芳香族聚醯胺(aramid)系纖維(例如參照專利文獻1)，但對被研磨物保持材要求進一步提高耐磨耗性，抑制隨著作為被研磨物之基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲，並提高板厚精度。
為了改善上述方面，研究有以下述方式獲得之被研磨物保持材等：將於芳香族聚醯胺纖維、PBO(poly-p-phenylene benzobisoxazole，聚對伸苯基苯并二噁唑)纖維、全芳香族聚酯纖維及高強度聚乙烯纖維等有機纖維基材含浸環氧樹脂等熱硬化性樹脂之組成物而成之預浸材作為表層，將於玻璃纖維基材含浸環氧樹脂等熱硬化性樹脂之組成物而成之預浸材作為中間層，並將該等預浸材積層並進行加熱加壓(例如參照專利文獻2)。然而，存在由表層所使用之有機纖維基材與中間層所使用之玻璃纖維材之線膨脹係數之差異等所導致之變形之問題，且於抑制隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度之方面存在改善之餘地。又，芳香族聚醯胺纖維、PBO纖維、全芳香族聚酯纖維及高強度聚乙烯纖維等有機纖維與玻璃纖維相比為高價，因此期望亦考慮到經濟性而於不使用有機纖維之情況下同時實現抑制被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度、及抑制被研磨物上之刮痕產生。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平11-309667號公報
[專利文獻2]日本特開2009-61531號公報
本發明係鑒於上述情況而成者，其目的在於提供一種被研磨物保持材，其藉由使用與中間層所使用之纖維基材相同之玻璃纖維基材作為表層所使用之纖維基材，而改善隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或板厚精度、且抑制被研磨物上之刮痕之產生、耐磨耗性變得良好、進而於經濟方面亦有利。
本發明可表示為如下。
本發明之被研磨物保持材係於最外層具有第1樹脂層，該第1樹脂層係於第1纖維基材含浸第1樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成者，且上述第1纖維基材為玻璃纖維基材，且於除上述第1纖維基材以外之上述第1樹脂層中以50質量%以上之比例包含源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構。
本發明之被研磨物保持材可設為於上述第1樹脂層中以25質量%以上且60質量%以下之比例包含上述第1纖維基材者。
本發明之被研磨物保持材可設為上述第1纖維基材為單位面積重量為30 g/m2以上且150 g/m2以下之玻璃纖維織布者。
本發明之被研磨物保持材可設為上述第1樹脂組成物包含選自酚醛清漆型環氧樹脂及酚醛清漆型酚樹脂中之1種以上之樹脂者。
本發明之被研磨物保持材可設為上述第1樹脂組成物於上述組成物100質量份中以40質量份以上且80質量份以下之比例包含酚醛清漆型環氧樹脂者。
本發明之被研磨物保持材可設為上述第1樹脂組成物於上述組成物100質量份中以20質量份以上且40質量份以下之比例包含酚醛清漆型酚樹脂者。
本發明之被研磨物保持材可設為上述第1樹脂組成物於上
述組成物100質量份中進而以5質量份以上且40質量份以下之比例包含雙酚A型環氧樹脂者。
本發明之被研磨物保持材可設為於內層具有1層或2層以上
之第2樹脂層，該第2樹脂層係於第2纖維基材含浸第2樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成者，且上述第2纖維基材為玻璃纖維基材者。
本發明之被研磨物保持材可設為上述第2纖維基材為單位面積重量為100 g/m2以上且220 g/m2以下之玻璃纖維織布者。
本發明之積層板可用於上述被研磨物保持材。
根據本發明，可獲得一種改善隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或板厚精度、且抑制被研磨物上之刮痕之產生、耐磨耗性變得良好、進而於經濟方面亦有利的被研磨物保持材。
1‧‧‧被研磨物保持材
2‧‧‧被研磨物保持材用之積層板
11‧‧‧圓形之孔
12‧‧‧齒輪之齒
21‧‧‧第1樹脂層
22‧‧‧第2樹脂層
211‧‧‧第1纖維基材
221‧‧‧第2纖維基材
圖1係表示本發明之被研磨物保持材之實施形態之平面圖。
圖2係表示本發明之被研磨物保持材所使用之積層板之實施形態之剖面圖。
以下使用圖式對本發明之實施形態進行說明。再者，於所有圖式中，對相同之構成要素標註相同之符號，適當省略說明。
於圖1中表示本發明之被研磨物保持材之實施形態之平面圖，於圖2中表示本發明之被研磨物保持材所使用之積層板之實施形態之剖面圖。
本發明之被研磨物保持材1例如為具有如圖1之平面圖所示之形狀之平板，此種被研磨物保持材1例如可藉由如下方式製作：自如圖2
所示之標準尺寸之積層板2切出特定尺寸之圓板，於所切出之圓板上開出1個或複數個圓形之孔11，並於圓板之周圍形成齒輪之齒12。於使用以上述方式製作之被研磨物保持材1進行被研磨物之研磨時，將被研磨物保持材1安裝於研磨機，於被研磨物保持材1之圓形之孔11保持被研磨物，使被研磨物保持材1周圍之齒輪之齒12與驅動齒輪之齒嚙合而驅動被研磨物保持材1與保持於被研磨物保持材1之圓形之孔11之被研磨物，可藉此進行研磨。
本發明之被研磨物保持材1及用於此之積層板2係於最外層
具有被研磨物保持材1，該被研磨物保持材1係於第1纖維基材211含浸第1樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成之第1樹脂層21者，其第1纖維基材為玻璃纖維基材，且於除第1纖維基材以外之第1樹脂層中以50質量%以上之比例包含源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構。藉此，可獲得改善隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或板厚精度、且抑制被研磨物上之刮痕之產生、耐磨耗性變得良好、進而於經濟方面亦有利的被研磨物保持材。更佳為於除第1纖維基材以外之第1樹脂層中包含60質量%以上之源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構，進而較佳為包含70質量%以上之源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構。藉此，可更顯著地發揮上述效果。再者，作為具有酚醛清漆骨架之樹脂，例如可列舉：苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環氧樹脂等酚醛清漆型環氧樹脂，苯酚酚醛清漆樹脂、甲酚酚醛清漆樹脂、三嗪酚醛清漆樹脂、腰果油改質酚醛清漆樹脂、三聚氰胺樹脂、苯氧基改質酚醛清漆樹脂、二甲苯改質酚醛清漆樹脂、均三甲苯改質酚醛清漆樹脂等酚醛清漆型酚樹脂等。又，所謂於除第1纖維基材以外之第1樹脂層中以特定之質量%之比例包含源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構，意指藉由包含特定量之上述具有酚醛清漆骨架之樹脂作為第1樹脂層中之第1樹脂組成物，可於除第1纖維基材以外之第1
樹脂層中提高耐磨耗性。
首先，詳細說明於本發明之被研磨物保持材1及用於此之積
層板2中構成最外層之第1樹脂層21。第1樹脂層21係於第1纖維基材211含浸第1樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成者。
作為第1樹脂層21所使用之第1纖維基材211，較佳為使
用單位面積重量為30 g/m2以上且150 g/m2以下之玻璃纖維織布，更佳為使用單位面積重量為48 g/m2以上且105 g/m2以下之玻璃纖維織布。藉此，可獲得抑制被研磨物上之刮痕之產生、提高耐磨耗性之效果。又，作為第1纖維基材211，較佳為使用長絲根數為100根以上且300根以下之玻璃纖維織布，更佳為使用長絲根數為150根以上且250根以下之玻璃纖維織布。藉此，可獲得抑制被研磨物上之刮痕之產生、提高耐磨耗性之效果。進而，作為第1纖維基材211，較佳為使用厚度為50 μm以上且150 μm以下之玻璃纖維織布，更佳為使用厚度為80 μm以上且120 μm以下之玻璃纖維織布。藉此，可獲得抑制被研磨物上之刮痕之產生、提高耐磨耗性之效果。
作為上述玻璃纖維織布，例如可列舉：IPC(Industrial Process Control，工業處理控制)規格之#1501、#1504、#2117、#2116、#1116、#3313、#2319、#1280、#1080、#1078、#1067、#106型者。該等玻璃纖維織布亦可為實施有開纖加工或扁平加工者。
作為構成第1樹脂層21所使用之第1纖維基材211之玻璃
成分，並無特別限定，但例如可列舉：E玻璃、NE玻璃、C玻璃、D玻璃、S玻璃、T玻璃、Q玻璃、AR玻璃等。該等之中，就耐磨耗性之觀點而言，較佳為T玻璃，就生產性、經濟性之觀點而言，較佳為E玻璃。
本發明之被研磨物保持材1較佳為於第1樹脂層21中以25
質量%以上且60質量%以下之比例包含第1纖維基材211，更佳為以45質量%以上且60質量%以下之比例包含第1纖維基材211。藉此，可提高改善
隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或板厚精度的效果。又，若為上述範圍內，則可獲得抑制被研磨物上之刮痕之產生之效果。又，就獲得抑制研磨機之蜂鳴之效果的觀點而言，較佳為於第1樹脂層21中以25質量%以上且50質量%以下之比例包含第1纖維基材211，更佳為以35質量%以上且50質量%以下之比例包含第1纖維基材211。
作為第1纖維基材211中含浸之第1樹脂組成物，較佳為脲樹脂、三聚氰胺樹脂、酚樹脂、環氧樹脂、不飽和聚酯樹脂、醇酸樹脂、胺酯樹脂等熱硬化性樹脂，尤佳為環氧樹脂。
作為環氧樹脂，只要為分子內具有2個以上之環氧基者即可，例如可列舉：雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚E型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、雙酚Z型環氧樹脂、雙酚P型環氧樹脂、雙酚M型環氧樹脂等雙酚型環氧樹脂，苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環氧樹脂等酚醛清漆型環氧樹脂，聯苯型環氧樹脂、二甲苯型環氧樹脂、聯苯芳烷基型環氧樹脂等芳基伸烷基型環氧樹脂，萘型環氧樹脂、蒽型環氧樹脂、苯氧基型環氧樹脂、二環戊二烯型環氧樹脂、降莰烯型環氧樹脂、金剛烷型環氧樹脂、茀型環氧樹脂等。
作為環氧樹脂，可單獨使用該等中之1種，亦可併用具有不同之重量平均分子量之2種以上，或者併用1種或2種以上其等之預聚物。就耐磨耗性之觀點而言，更佳為酚醛清漆型環氧樹脂，尤佳為甲酚酚醛清漆型環氧樹脂。酚醛清漆型環氧樹脂之含量並無特別限定，但更佳為於第1樹脂組成物100質量份中以40質量份以上且80質量份以下之比例包含酚醛清漆型環氧樹脂，尤佳為以40質量份以上且60質量份以下之比例包含酚醛清漆型環氧樹脂。藉此，可提高第1樹脂層21之表面硬度，可獲得提高耐磨耗性之效果。又，可藉由減緩樹脂之表層之磨損而延遲玻璃纖維露出於研磨面之時間，藉此，可獲得抑制被研磨物上之刮痕之產生之效果。
又，就積層板之翹曲之觀點而言，更佳為雙酚型環氧樹脂，
尤佳為雙酚A型環氧樹脂。雙酚A型環氧樹脂之含量並無特別限定，但更佳為於第1樹脂組成物100質量份中以5質量份以上且40質量份以下之比例包含雙酚A型環氧樹脂，尤佳為以10質量份以上且30質量份以下之比例包含雙酚A型環氧樹脂。藉此，可抑制被研磨物保持材之翹曲，提高被研磨物之平滑性。
於使用環氧樹脂作為第1纖維基材211中含浸之第1樹脂組
成物之情形時，可含有通常所使用之一般之環氧樹脂之硬化劑或硬化促進劑。作為可使用之硬化劑，可使用公知者，例如可列舉：苯酚酚醛清漆樹脂、甲酚酚醛清漆樹脂等酚醛清漆型酚樹脂或1,1,1-三羥基苯基乙烷等多酚類、芳香族胺、脂肪族胺等胺系硬化劑、酸酐、雙氰胺、醯肼化合物等。
作為硬化劑，可單獨使用該等中之1種，亦可併用2種以上。
就耐磨耗性之觀點而言，更佳為酚醛清漆型酚樹脂，尤佳為苯酚酚醛清漆樹脂。關於酚醛清漆型酚樹脂之含量並無特別限定，但更佳為於第1樹脂組成物100質量份中以20質量份以上且40質量份以下之比例包含酚醛清漆型酚樹脂，尤佳為以25質量份以上且35質量份以下之比例包含酚醛清漆型酚樹脂。藉此，可提高第1樹脂層21之表面硬度，可獲得提高耐磨耗性之效果。又，可藉由減緩樹脂之表層之磨損而延遲玻璃纖維露出於研磨面之時間，藉此，可獲得抑制被研磨物上之刮痕之產生之效果。
於第1纖維基材211含浸之第1樹脂組成物亦可包含無機填充材。作為可使用之無機填充材，並無特別限定，例如可列舉：氧化鋁、高嶺土、二氧化矽、氧化鈦、氫氧化鎂、氫氧化鋁、氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、滑石、雲母等。該等無機填充材可單獨使用，亦可併用2種以上。藉由使用無機填充材，可提高第1樹脂層之強度。又，藉由使用無機填充材，可減小第1樹脂層之線膨脹係數，因此藉由適當調整無機填充材之調
配量，可使第1樹脂層之線膨脹係數與下述第2樹脂層之線膨脹係數更接近，亦可抑制隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度。
其次，對於本發明之被研磨物保持材1及用於此之積層板2
中構成內層之第2樹脂層22詳細進行說明。第2樹脂層22係於第2纖維基材221含浸第2樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成者，且第2纖維基材為玻璃纖維基材。
作為第2樹脂層22所使用之第2纖維基材221，較佳為使
用單位面積重量為100 g/m2以上且220 g/m2以下之玻璃纖維織布，更佳為使用單位面積重量為140 g/m2以上且220 g/m2以下之玻璃纖維織布。藉此，可獲得抑制隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度的效果。又，作為第2纖維基材221，較佳為使用長絲根數為300根以上且500根以下之玻璃纖維織布，更佳為使用長絲根數為350根以上且450根以下之玻璃纖維織布。藉此，可獲得抑制隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度的效果。進而，作為第2纖維基材221，較佳為使用厚度為100 μm以上且250 μm以下之玻璃纖維織布，更佳為使用厚度為180 μm以上且200 μm以下之玻璃纖維織布。藉此，可獲得抑制隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度的效果。作為上述玻璃纖維織布，例如可列舉：IPC規格之#1116、#2116、#2117、#1504、#1501、#7628、#7629型者。該等玻璃纖維織布亦可為實施有開纖加工或扁平加工者。
作為構成第2樹脂層22所使用之第2纖維基材221之玻璃
成分，並無特別限定，例如可列舉：E玻璃、NE玻璃、AR玻璃、C玻璃、D玻璃、S玻璃、T玻璃、Q玻璃等。該等之中，就生產性、經濟性之觀點而言，較佳為E玻璃。
本發明之被研磨物保持材1較佳為於第2樹脂層22中以50
質量%以上且70質量%以下之比例包含第2纖維基材221，更佳為以60質量%以上且70質量%以下之比例包含第2纖維基材221。藉此，可提高改善隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或板厚精度的效果。
作為第2纖維基材221含浸之第2樹脂組成物，可使用與上
述第1樹脂組成物相同者。就翹曲或板厚精度之觀點而言，藉由適當調整無機填充材之調配量，可使上述第1樹脂層之線膨脹係數與第2樹脂層之線膨脹係數更接近，亦可抑制隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材上之翹曲或提高板厚精度。
其次，對本發明之被研磨物保持材1所使用之積層板2之製
造方法進行說明。於溶劑溶解第1樹脂組成物，製備固形物成分30~80質量%左右、較佳為50~70質量%之第1樹脂組成物清漆。將其含浸於第1纖維基材211後，加以乾燥而獲得第1預浸材。以相同之方式於溶劑溶解第2樹脂組成物，製備固形物成分30~80質量%左右、較佳為50~70質量%之第2樹脂組成物清漆。將其含浸於第2纖維基材221後，加以乾燥而獲得第2預浸材。再者，作為溶劑，可列舉：甲基乙基酮、甲苯/溶纖劑(cellosolve)、甲基乙基酮/甲苯、丙二醇單甲醚、二甲基甲醯胺、環己酮等。其後，於最外層(表面層)配置第1預浸材，於內層(中間層)配置第2預浸材，重疊特定片數之預浸材，夾入利用脫模膜被覆之鏡面板中，於加壓熱盤間進行加熱加壓成形，藉此可獲得積層板2。加熱加壓成形之條件並無特別限定，但通常於溫度160~200℃、壓力5~50 MPa下進行90~150分鐘左右。
又，預浸材之使用片數係根據矽晶圓、硬碟等被研磨物之種
類或研磨條件進行調整。又，被研磨物保持材1及用於此之積層板2之厚度係根據使用其之被研磨物之種類或研磨條件而適當選擇，通常為0.3~2.0 mm左右，較佳為0.4~1.0 mm左右。
[實施例]
其次，藉由實施例進而詳細地說明本發明，但本發明並不受該等例任何限定。
使用下述者作為各種原料。
(1)環氧樹脂
甲酚酚醛清漆型環氧樹脂1：DIC股份有限公司製造，EPICLON N-690(軟化點90℃，環氧當量225 g/eq)
雙酚A型環氧樹脂1：三菱化學股份有限公司製造，Epikote 1001(軟化點64℃，環氧當量475 g/eq)
(2)硬化劑
苯酚酚醛清漆樹脂1：SUMITOMO BAKELITE股份有限公司製造，PR-51470(軟化點107℃，羥基當量105 g/eq)
雙氰胺：Nippon Carbide Industries股份有限公司製造，DDA
(3)硬化促進劑
2-苯基-4-甲基咪唑(2P4MZ，2-phenyl-4-methylimidazole)：四國化成工業股份有限公司製造
(4)玻璃纖維織布
玻璃纖維織布1(GC1)：Unitika Glass Fiber股份有限公司製造，E10T(E玻璃製，單位面積重量106 g/m2，長絲直徑約5 μm，長絲根數約400根，厚度90 μm)
玻璃纖維織布2(GC2)：Unitika Glass Fiber股份有限公司製造，E18S(E玻璃製，單位面積重量210 g/m2，長絲直徑約9 μm，長絲根數約400根，厚度180 μm)
玻璃纖維織布3(GC3)：Unitika Glass Fiber股份有限公司製造，E06B(E玻璃製，單位面積重量48 g/m2，長絲直徑約5 μm，長絲根數約200根，
厚度55 μm)
芳香族聚醯胺纖維織布4(AC4)：ASAHI KASEI E-materials股份有限公司製造，芳香族聚醯胺纖維織布(Technora製，單位面積重量60.6 g/m2，長絲直徑18 μm，長絲根數65根，厚度95 μm)
實施例1
第1及第2纖維基材用之樹脂組成物清漆之製備
於由50質量份之甲酚酚醛清漆型環氧樹脂1、20質量份之雙酚A型環氧樹脂1、30質量份之苯酚酚醛清漆樹脂1、及0.1質量份之2P4MZ所構成之混合物作為溶劑添加甲基乙基酮，製備固形物成分55質量%之樹脂組成物A之清漆。
第1預浸材之製作
於玻璃纖維織布1含浸樹脂組成物A之清漆後進行乾燥，製作樹脂組成物量40質量%、玻璃纖維織布量60質量%之預浸材1A40(意指GC1/樹脂組成物A/樹脂組成物量40質量%)。
第2預浸材之製作
於玻璃纖維織布2含浸樹脂組成物A之清漆後進行乾燥，製作樹脂組成物量41質量%、玻璃纖維織布量59質量%之預浸材2A41(意指GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量41質量%)。
被研磨物保持材用積層板之製作
於最外層(表面層)配置2片預浸材1A40，於內層(中間層)配置3片預浸材2A41並重疊，夾入被覆有脫模膜之鏡面板中，於加壓熱盤間進行加熱加壓成形，製作長1250 mm、寬1250 mm、厚0.8 mm之積層板。加熱加壓成形之條件為加熱溫度180℃，加壓壓力40 MPa，加壓時間120分鐘進行操作。
被研磨物保持材之製作
由所獲得之被研磨物保持材用積層板使用雕銑機(router machine)製作如下被研磨物保持材：以連結齒輪之齒之凸部而成之線之外形尺寸成為515 mm之方式於外形上加工齒輪用之齒，並且保持被研磨物之孔之內徑尺寸成為200 mm。
實施例2~14、比較例1、4
以表1所示之組成進行調配，分別製備樹脂組成物A~G之清漆作為第1及第2纖維基材用之樹脂組成物之清漆。其後，根據表1所示之組合，於作為第1纖維基材之GC1~GC3以成為表1所示之GC量之方式含浸樹脂組成物之清漆後進行乾燥，而製作如下預浸材作為配置於最外層之預浸材：預浸材1B40(意指GC1/樹脂組成物B/樹脂組成物量40質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、1C40、1D40、1E40、1F40、1G40，1A50(意指GC1/樹脂組成物A/樹脂組成物量50質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、1B50、1C50，2A41(意指GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量41質量%)，3A74(意指GC3/樹脂組成物A/樹脂組成物量74質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、3B74、3C74、3D74、3E74。又，根據表1所示之組合，於作為第2纖維基材之GC2以成為表1所示之GC量之方式含浸樹脂組成物之清漆後進行乾燥。製作如下預浸材作為配置於內層之預浸材：預浸材2A41(意指GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量41質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、2B41、2C41、2D41、2E41、2F41、2G41，2A35(意指GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量35質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、2B35、2C35、2D35、2E35，並重疊表1所示之片數之預浸材而配置。除此以外以與實施例1相同之方式製作被研磨物保持材用積層板、被研磨物保持材。
比較例2、3
以表1所示之組成進行調配，分別製備樹脂組成物A、F之清漆作為第1及第2纖維基材用之樹脂組成物之清漆。其後，於作為第1纖維基材之芳
香族聚醯胺纖維織布AC4含浸樹脂組成物A、F之清漆後進行乾燥。製作如下預浸材作為配置於最外層之預浸材：預浸材4A55(意指AC4/樹脂組成物A/樹脂組成物量55質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、4F55。又，於作為第2纖維基材之GC2含浸樹脂組成物A、F之清漆後進行乾燥，而製作如下預浸材作為配置於內層之預浸材：預浸材2A41(意指GC2/樹脂組成物A/樹脂組成物量41質量%，以下僅樹脂組成物之種類不同)、2F41。除此以外以與實施例1相同之方式製作被研磨物保持材用積層板、被研磨物保持材。
評價方法
對實施例1~14、比較例1~4所製作之被研磨物保持材用積層板、被研磨物保持材進行下述評價，將結果示於表1。
玻璃轉移溫度
自所獲得之被研磨物保持材用積層板切出寬度10 mm、厚度0.8 mm、長度50 mm之試驗片，使用DMA(Dynamic Mechanical Analysis，動態熱機械分析)裝置(TA Instruments公司製造之DMA2980)，一面以5℃/min之比例進行升溫一面賦予頻率1 Hz之變形而進行動態黏彈性之測定。玻璃轉移溫度係設為tan δ顯示最大值之溫度。
硬度(巴氏硬度(Barcol hardness))
基於JIS K 6711「熱硬化性塑膠一般試驗方法」，對所獲得之被研磨物保持材用積層板測定25℃下之巴氏硬度(硬度計：GYZJ934-1)。
耐磨耗性
使用雙面研磨裝置對所獲得之被研磨物保持材515 mm之圓盤狀之積層板之中央附近開有200 mm之孔的被研磨物保持材用積層板進行研磨。於所獲得之被研磨物保持材之內部所存在之200 mm之孔部放入厚度0.7 mm之矽晶圓，以面壓9.8 MPa、載體轉速5 rpm、上下研磨片之轉速20 rpm
實施180分鐘之研磨。將磨耗量為12 μm以下者設為○，將超過12 μm者設為×。
翹曲
將所獲得之被研磨物保持材平置於平盤上，測定其翹起值。將翹起值為5 mm以下者設為○，將超過5 mm者設為×。
平滑性
對所獲得之被研磨物保持材使用接觸式表面粗度計求出表面凹凸差RMAX-RMIN。將RMAX-RMIN為4 μm以下者設為◎，將超過4 μm且為6 μm以下者設為○，將超過6 μm者設為×。
於最外層具有於第1纖維基材含浸第1樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成之第1樹脂層，使用玻璃纖維基材作為第1纖維基材，且於第1樹脂層中以50質量%以上之比例包含源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構的實施例1~14之結果均為玻璃轉移溫度(耐熱性)、巴氏硬度(表面硬度)較高，耐磨耗性、翹曲及平滑性優異。尤其是於使用單位面積重量為30 g/m2以上且150 g/m2以下之玻璃纖維織布作為第1纖維基材之實施例1~10、12~14中，成為平滑性特別優異之結果。
另一方面，於使用芳香族聚醯胺纖維織布代替玻璃纖維基材作為第1纖維基材之比較例2、3中，成為翹曲較差之結果。又，第1樹脂層中之源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構之比例未達50質量%之比較例1、3、4中，成為玻璃轉移溫度(耐熱性)、巴氏硬度(表面硬度)較低，耐磨耗性較差之結果。
[產業上之可利用性]
根據本發明，可獲得一種改善隨著基板之薄型化而產生之被研磨物保持材之翹曲或板厚精度、且抑制被研磨物上之刮痕之產生、耐磨耗性變得良好、進而於經濟方面亦有利的被研磨物保持材及用於此之積層板。因此，本發明可較佳地用於被研磨物保持材及用於此之積層板。因此，本發明於產業上極其有用。
2‧‧‧被研磨物保持材用之積層板
21‧‧‧第1樹脂層
22‧‧‧第2樹脂層
211‧‧‧第1纖維基材
221‧‧‧第2纖維基材
Claims (10)
- 一種被研磨物保持材，其係於最外層具有第1樹脂層，該第1樹脂層係於第1纖維基材含浸第1樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成，且上述第1纖維基材為玻璃纖維基材，且於除上述第1纖維基材以外之上述第1樹脂層中以50質量%以上之比例包含源自具有酚醛清漆骨架之樹脂之結構。
- 如申請專利範圍第1項之被研磨物保持材，其中於上述第1樹脂層中以25質量%以上且60質量%以下之比例包含上述第1纖維基材。
- 如申請專利範圍第1項或第2項之被研磨物保持材，其中上述第1纖維基材為單位面積重量為30 g/m2以上且150 g/m2以下之玻璃纖維織布。
- 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之被研磨物保持材，其中上述第1樹脂組成物包含選自酚醛清漆型環氧樹脂及酚醛清漆型酚樹脂中之1種以上之樹脂。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項之被研磨物保持材，其中上述第1樹脂組成物於上述組成物100質量份中以40質量份以上且80質量份以下之比例包含酚醛清漆型環氧樹脂。
- 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項之被研磨物保持材，其中上述第1樹脂組成物於上述組成物100質量份中以20質量份以上且40質量份以下之比例包含酚醛清漆型酚樹脂。
- 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項之被研磨物保持材，其中上述第1樹脂組成物於上述組成物100質量份中進而以5質量份以上且40質量份以下之比例包含雙酚A型環氧樹脂。
- 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項之被研磨物保持材，其係於內層具有1層或2層以上之第2樹脂層，該第2樹脂層係於第2纖維基材含浸第2樹脂組成物並對其進行加熱加壓而成者，且上述第2纖維基材為 玻璃纖維基材。
- 如申請專利範圍第8項之被研磨物保持材，其中上述第2纖維基材為單位面積重量為100 g/m2以上且220 g/m2以下之玻璃纖維織布。
- 一種積層板，其特徵在於：其用於申請專利範圍第1項至第9項中任一項之被研磨物保持材。
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