JP3135944U - 被研磨物保持材用リペアシートとそれを用いた被研磨物保持材 - Google Patents

Abstract

【課題】被研磨物保持材の長寿命化、低コスト化を可能とすること。
【解決手段】研磨加工により摩耗した被研磨物保持材の再使用のためにその主面に貼り付け加工される被研磨物保持材用リペアシートであって、繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるプリプレグからなり、前記被研磨物保持材と同一平面形状に打ち抜き加工されているもの。
【選択図】図１

Description

本考案は、水晶、ガラス、シリコン、フェライト等の被研磨物の研磨加工に用いられる被研磨物保持材（ラッピングキャリア）を再使用するために用いる被研磨物保持材用リペアシートとそれを用いた被研磨物保持材に関する。

被研磨物保持材は、水晶、ガラス、シリコン、フェライト等の各種の被研磨物を平面研磨装置で研磨加工する際、この被研磨物を保持するものとして使用されている。被研磨物保持材は、周囲に歯車を有する円盤状とされており、この円盤状部分に被研磨物を保持するための被研磨物保持穴が設けられている。そして、この被研磨物保持穴に被研磨物を配置した状態で平面研磨装置に装着し、該平面研磨装置に設けられた一対の対向する回転盤を接触させつつ回転させることで、該回転盤の内側表面に設けられた研磨布と研磨剤とによって被研磨物が研磨される。

被研磨物保持材としては、従来はＳＫ鋼等の金属板が多く使用されていたが、金属板は研磨加工中に流出する金属成分が半導体等の性能に悪影響を与えるため、近年では繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸、硬化させた繊維強化型樹脂シートが広く用いられるようになっている。このような繊維基材としては、例えばガラス繊維が用いられている。

しかし、繊維基材がガラス繊維からなる被研磨物保持材については、平面研磨装置による研磨加工中に摩擦によってガラス繊維が削れてガラス粉が発生し、最終的にこのガラス粉が被研磨物の表面に付着してスクラッチ傷を発生させ、研磨加工の歩留まりを低下させる。

このため、近年では研磨加工におけるガラス粉等の不純物の発生を抑制すべく、被研磨物保持材における繊維基材として、ガラス繊維基材の代わりに耐摩耗性に優れるアラミド繊維、ポリエステル繊維等の有機繊維基材を使用することが検討されている。

上述したように、繊維基材としてガラス繊維を用いた被研磨物保持材については、研磨加工中に徐々にその表面が磨耗することによってガラス粉が発生し、最終的にこのガラス粉が被研磨物の表面に付着してスクラッチ傷を発生させ、研磨加工の歩留まりを低下させる。このようなスクラッチ傷の発生による研磨加工の歩留まりの低下から、繊維基材としてガラス繊維を用いた被研磨物保持材については比較的短期間で寿命とされ、新規な被研磨物保持材へと交換されている。このため、繊維基材としてガラス繊維を用いた被研磨物保持材については、その長寿命化、低コスト化が求められている。

一方、上述したように被研磨物保持材における繊維基材として、ガラス繊維基材の代わりに耐摩耗性に優れるアラミド繊維、ポリエステル繊維等の有機繊維基材を使用することが検討されている。しかしながら、このような有機繊維基材を使用した被研磨物保持材は必ずしも十分な強度を有しておらず、またこのような有機繊維基材は比較的高価であることから被研磨物保持材の製造コストが上昇するという問題がある。

本考案は、上記課題を解決するためになされたものであって、被研磨物保持材の長寿命化、低コスト化が可能な被研磨物保持材用リペアシートを提供することを目的としている。また、本考案は、このような被研磨物保持材用リペアシートを利用して再生された低コストな被研磨物保持材を提供することを目的としている。

本考案の被研磨物保持材用リペアシートは、研磨加工により摩耗した被研磨物保持材の再使用のためにその主面に貼り付け加工されるものであって、繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるプリプレグからなり、前記被研磨物保持材と同一平面形状に打ち抜き加工されていることを特徴としている。

本考案の被研磨物保持材用リペアシートにおいては、前記プリプレグがガラス繊維からなる繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるものであり、前記熱硬化性樹脂組成物がその硬化物のＤＭＡ法による常温での引っ張り弾性率が２００ＭＰａ以上４０００ＭＰａ以下となるものであることが好ましい。また、本考案の被研磨物保持材用リペアシートは、前記打ち抜き加工がビク型を用いて行われたものであることが好ましい。

本考案の被研磨物保持材は、研磨加工により摩耗した被研磨物保持材と、前記被研磨物保持材の少なくとも一方の主面に貼り付けられた本考案の被研磨物保持材用リペアシートとを具備することを特徴としている。

本考案によれば、被研磨物保持材の長寿命化あるいは低コスト化が可能な被研磨物保持材用リペアシートを提供することができる。また、本考案によれば、このような被研磨物保持材用リペアシートを利用した低コストな被研磨物保持材を提供することができる。

以下、本考案について説明する。本考案の被研磨物保持材用リペアシート（以下、単にリペアシートと呼ぶ）は、研磨加工により摩耗した被研磨物保持材の再使用のためにその主面に貼り付け加工されるものであって、繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるプリプレグからなり、被研磨物保持材と同一平面形状に打ち抜き加工されていることを特徴としている。

本考案のリペアシートは、繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるプリプレグからなるため、被研磨物保持材の主面に重ね合わせて加熱、加圧等を行うことで容易に接着することができる。そして、本考案のリペアシートは、予め被研磨物保持材と同一平面形状に打ち抜き加工されているため、被研磨物保持材に位置合わせして接着するだけで被研磨物保持材を容易に補修することができる。このため、本考案のリペアシートによれば、被研磨物保持材を容易に長寿命化できると共に、磨耗した被研磨物保持材を再利用して新規な被研磨物保持材とできる点で被研磨物保持材を低コストなものとすることもできる。

以下、本考案のリペアシートについて、図面を参照してさらに詳細に説明する。図１は、本考案のリペアシート１の一例を示した平面図である。リペアシート１は、例えば円盤状の支持部２と、その外周部に設けられた歯車部３と、円盤状の支持部２に設けられた複数の被研磨物保持穴４とを有している。上述したように、リペアシート１は被研磨物保持材、すなわち研磨加工により摩耗した被研磨物保持材（図示せず）と同様な平面形状に打ち抜き加工されたものであり、リペアシート１の円盤状の支持部２、歯車部３および被研磨物保持穴４が、それぞれ被研磨物保持材の円盤状の支持部、歯車部および被研磨物保持穴と重なり合うように同一の位置に同一の形状で形成されている。

図２は、図１に示すリペアシート１のＡ−Ａ線断面を模式的に示した断面図である。リペアシート１はプリプレグ５からなるものであり、このプリプレグ５は具体的には繊維基材６に熱硬化性樹脂組成物７を含浸させた後、この熱硬化性樹脂組成物７を半硬化状態としたものである。

リペアシート１の厚さは、必ずしも限定されるものではないが、３０μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。リペアシート１の厚さが３０μｍ未満であると、被研磨物保持材に貼り付けて使用した場合にリペアシート１が磨減しやすく、被研磨物保持材の寿命が短くなるおそれがあるため好ましくなく、一方２００μｍを超えると、製造時の打ち抜き加工が困難となるおそれがあり、また被研磨物保持材に貼り付けて使用した場合に、その厚さが過度に厚くなるおそれがあるため好ましくない。

リペアシート１は、図２に示されるように単層のプリプレグ５からなるものであってもよいし、図示しないが複数層のプリプレグ５からなるものであってもよい。プリプレグ５は、リペアシート１を単層のプリプレグ５からなるものとするか、また複数層のプリプレグ５からなるものとするかによっても異なるが、１０μｍ以上２００μｍ以下の厚さのものが好適に用いられる。

プリプレグ５を構成する繊維基材６は、織布または不織布のいずれであってもよい。また、繊維基材６は、例えば繊維を平行に引き揃えて一方向性としたものであってもよい。繊維基材６を不織布とすることで、方向性を持たず、全方向にほぼ等しい強度や剛性を備えたものとすることができる。また、繊維基材６を織布または一方向性のものとすることで、高い剛性を得ることができ、特に大型の被研磨物保持材に対して使用する場合に、該被研磨物保持材の形状保持を有利にすることができ、また平面研磨装置の各種歯車からの負荷に対しても高い耐久性を有するものとすることができる。

繊維基材６を構成する繊維としては、ガラス繊維の他、例えば炭素繊維、アラミド繊維、ＰＢＯ繊維（ポリ−Ｐ−フェニレンベンズビスオキサゾール繊維）、全芳香族ポリエステル繊維等が挙げられる。プリプレグ５の加工性、例えば打ち抜き加工性や、製造コストの観点からは、ガラス繊維が好適なものとして挙げられる。ガラス繊維からなる繊維基材６としては、例えばＩＰＣ−ＥＧ−１４０に規定される平織りＥガラスクロス等が好適なものとして挙げられる。

なお、リペアシート１が複数層のプリプレグ５からなる場合、各プリプレグ５における繊維基材６の繊維の種類や、繊維基材６の形態は必ずしも同様なものである必要はなく、各層毎に繊維基材６の繊維の種類や、繊維基材６の形態が異なっていてもよい。

繊維基材６に含浸させる熱硬化性樹脂組成物７は、例えば（Ａ）熱硬化性樹脂、（Ｂ）硬化剤および（Ｃ）硬化促進剤からなるものである。（Ａ）成分の熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂およびビスマレイミド樹脂等から選択される少なくとも１種が好適に用いられるが、これらの中でも、接着性、その他の信頼性およびコスト等の観点から、特にエポキシ樹脂が好適に用いられる。

エポキシ樹脂としては、１分子中に２個以上のエポキシ基を有するものであれば特に限定されず、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ビフェニル骨格を含有するような多官能のエポキシ樹脂が挙げられ、これらは単独又は２種以上が混合されたものであってもよい。

（Ｂ）成分の硬化剤および（Ｃ）成分の硬化促進剤としては、（Ａ）成分の各種の熱硬化性樹脂に対して通常用いられている硬化剤、硬化促進剤が挙げられ、（Ａ）成分の熱硬化性樹脂に合わせて適宜選択して用いられる。例えば（Ａ）成分の熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂である場合、（Ｂ）成分の硬化剤としては、ジシアンジアミド、芳香族ジアミン等のアミン系硬化剤、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のフェノール系硬化剤、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸等の酸無水物硬化剤等が挙げられ、また（Ｃ）成分の硬化促進剤としては、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、三フッ化ホウ素アミン錯体、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。

熱硬化性樹脂組成物７は、必要に応じてその硬化物を可塑化するためのエラストマー等の変性剤を含有することができる。例えばエラストマーとしては、アクリルゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、カルボキシ含有アクリロニトリルブタジエンゴム等の各種合成ゴム、ゴム変性の高分子量化合物、高分子エポキシ樹脂、変性ポリイミド、変性ポリアミドイミド等が挙げられ、これらは単独または２種以上が混合されたものであってもよい。これらの中でも、特に合成ゴム、ゴム変性高分子化合物、高分子エポキシ樹脂等が好適なものとして挙げられる。

熱硬化性樹脂組成物７における各成分の配合割合は、好適には（Ａ）成分の熱硬化性樹脂が６０質量％以上９０質量％以下、（Ｂ）成分の硬化剤が０．５質量％以上３５質量％以下、（Ｃ）成分の硬化促進剤が０．０５質量％以上５質量％以下である。また、熱硬化性樹脂組成物７がエラストマーを含有する場合、エラストマーの含有割合は、熱硬化性樹脂組成物７の全体に対して、１質量％以上３０質量％以下であることが好ましい。エラストマーの含有割合が１質量％未満では、硬化物の可塑化に効果が少なく、３０質量％を超えると繊維基材６への熱硬化性樹脂組成物７の含浸が困難となるおそれがある。

熱硬化性樹脂組成物７は、その硬化物の常温での引っ張り弾性率が２００ＭＰａ以上４０００ＭＰａ以下となるものが好ましい。硬化物の常温での引っ張り弾性率が２００ＭＰａ未満となるものの場合、または４０００ＭＰａを超えるものの場合、後述するリペアシート１への加工のための打ち抜き加工の際に、粉落ち、毛羽立ち等の問題が発生するおそれがある。なお、熱硬化性樹脂組成物７の硬化物の常温での引っ張り弾性率は、該硬化物に対する常温での動的粘弾性試験（ＤＭＡ）により求められるものであり、例えばセイコーインスツルメンツ社製 ＤＭＳ６１００を用いて、周波数１Ｈｚで測定されるものである。

プリプレグ５における熱硬化性樹脂組成物７の質量比率は３０質量％以上７０質量％以下であることが好ましい。プリプレグ５における熱硬化性樹脂組成物７の質量比率が３０質量％未満であると、プリプレグ５の表面平滑性が低下するおそれがあり、一方、プリプレグ５は繊維基材６と熱硬化性樹脂組成物７とから構成されているため、熱硬化性樹脂組成物７の質量比率が７０質量％を超えると相対的に繊維基材６の質量比率が低下し、強度や剛性が十分でなくなるおそれがある。

さらに、プリプレグ５において半硬化状態とされた熱硬化性樹脂組成物７は、１５０℃でのゲルタイムが５０秒以上１５０秒以下となっていることが好ましい。熱硬化性樹脂組成物７の１５０℃でのゲルタイムが５０秒未満であると、熱硬化性樹脂組成物７の硬化時間が短く、被研磨物保持材へ加熱、加圧等によって貼り付ける際に被研磨物保持材に熱硬化性樹脂組成物７が十分に接触せず、十分な接着力を得られないおそれがあり、また１５０秒を超えると被研磨物保持材への加熱、加圧等による貼り付けに時間がかかり、生産性に優れない。

このようなプリプレグ５は、例えば上述した組成を有する熱硬化性樹脂組成物７をメチルエチルケトン、トルエン、アセトン、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、シクロヘキサノン等の好適な有機溶剤で希釈して樹脂溶液とし、これを繊維基材６に含浸、加熱乾燥させ半硬化状態とすることで製造することができる。繊維基材６への樹脂溶液の含浸は、例えば樹脂溶液が収容された浸漬槽内に繊維基材６を通過させるなどの公知の方法によって行うことができる。また、含浸、加熱乾燥させる熱硬化性樹脂組成物７は、例えば５０℃以上１５０℃以下の温度で１分以上３０分以下の加熱処理を行うことによって半硬化状態とすることができ、またゲルタイムも調整することができる。

リペアシート１を単層のプリプレグ５からなるものとする場合、このようにして製造されたプリプレグ５を被研磨物保持材と同一の平面形状に打ち抜き加工することで容易に製造することができる。この場合、リペアシート１の厚さは、プリプレグ５の厚さを変更することで容易に調整することができる。

一方、リペアシート１を複数層のプリプレグ５からなるものとする場合、例えば複数枚のプリプレグ５を予め被研磨物保持材と同一の平面形状に打ち抜き加工しておき、これを位置合わせして重ね合わせた後に加熱、加圧等により一体化することによって製造してもよいし、また例えば打ち抜き加工が行われていない複数枚のプリプレグ５を重ね合わせて加熱、加圧等により一体化した後、これを被研磨物保持材と同一の平面形状に打ち抜き加工することによって製造してもよい。この場合、リペアシート１の厚さは、プリプレグ５の厚さを変更することによって、またはプリプレグ５の積層数を変更することによって容易に調整することができる。

打ち抜き加工に関しては、一般的な金型の他、例えばビク型（トムソン型）のような比較的簡便な型を用いて行うことができる。ビク型は、例えばベースとなるベニヤ板や樹脂板（ダイボード）にレーザーで溝加工を施し、その溝と同じ形状に曲げた鋼の刃物を埋め込んだものであり、一般的な金型に比べて構造が簡単で、低コストなものである。本考案では、上述したようにプリプレグ５を構成する繊維基材６としてガラス繊維を用い、また熱硬化性樹脂組成物７としてその硬化物の常温での引っ張り弾性率が特定範囲内となるものを用いることで、上述したビク型のような比較的簡便な型を用いて容易かつ適切に打ち抜き加工することができる。

このようにして得られたリペアシート１は、研磨加工により摩耗した被研磨物保持材を再使用するためにその主面に貼り付け加工されて使用される。そして、本考案の被研磨物保持材は、このようにして被研磨物保持材の少なくとも一方の主面にリペアシート１が貼り付けられてなるものである。以下、リペアシート１の使用方法および本考案の被研磨物保持材の製造方法について併せて説明する。

図３は、リペアシート１が適用される被研磨物保持材１０であって、研磨加工に使用される前の状態を示す断面図である。被研磨物保持材１０は、リペアシート１と同様、円盤状の支持部１２と、その外周に設けられた歯車部１３と、支持部１２に設けられた複数の被研磨物保持穴（図示せず）とから構成されている。被研磨物保持材１０は、例えばガラス繊維からなる繊維基材に熱硬化性樹脂組成物が含浸、硬化されてなるものであり、その厚さは例えば０．３ｍｍ以上１．２ｍｍ以下である。

このような被研磨物保持材１０を研磨加工に使用すると、研磨加工中にその表面が徐々に磨耗し、さらに磨耗が進行することによって繊維基材を構成するガラス繊維が削れ、ガラス粉を発生させる。このガラス粉は、被研磨物の表面にスクラッチ傷を発生させ、研磨加工の歩留まりを低下させる原因となる。このため、ガラス粉が発生し、被研磨物の表面にスクラッチ傷が発生するようになった時点で、その被研磨物保持材１０は寿命とされる。図４は、寿命とされた被研磨物保持材１０を模式的に示す断面図である。摩耗により、被研磨物保持材１０の表面から繊維基材を構成するガラス繊維１６が露出するようになっている。

本考案のリペアシート１は、このような被研磨物保持材１０の主面に貼り付け加工されて使用される。被研磨物保持材１０へのリペアシート１の貼り付けは、まず、図５に示すように被研磨物保持材１０のそれぞれの主面にリペアシート１を配置する。このとき、リペアシート１の円盤状の支持部２が被研磨物保持材１０の円盤状の支持部１２と、リペアシート１の歯車部３が被研磨物保持材１０の歯車部１３と、リペアシート１の被研磨物保持穴４（図示せず）が被研磨物保持材１０の被研磨物保持穴（図示せず）と、それぞれ重なり合うように位置合わせを行って配置する。

その後、両主面にリペアシート１が配置された被研磨物保持材１０を金型内に挿入し、加熱、加圧等により、被研磨物保持材１０の両主面にリペアシート１を接着して一体化する。このようにすることで被研磨物保持材１０が補修され、また本考案の被研磨物保持材が製造される。金型としては、被研磨物保持材１０にリペアシート１を接着して一体化できるものであれば特に限定されるものではなく、高精度の大型プレス等を用いることができるのは勿論のこと、汎用フレキシブル基板の製造に用いられる快速プレス等も用いることもできる。加熱、加圧条件は、リペアシート１の厚さ等によっても異なるものの、例えば温度が１００℃以上１８０℃以下、圧力が０．５ＭＰａ以上４ＭＰａ以下、時間が１分以上１２０分以下とされる。

図６は、このようにして補修が行われた被研磨物保持材１０、すなわち本考案の被研磨物保持材（以下、再生被研磨物保持材と呼ぶ）２０を示す平面図である。また、図７は、図６に示される再生被研磨物保持材２０のＡ−Ａ線断面を示す断面図である。図６に示されるように、再生被研磨物保持材２０は、円盤状の支持部２２と、その外周に設けられた歯車部２３と、支持部２２に設けられた複数の被研磨物保持穴２４とから構成されている。

再生被研磨物保持材２０は、図７にも示されるように、研磨加工に使用され、摩耗した被研磨物保持材１０と、その両主面に接着されたリペアシート１とから構成されている。そして、再生被研磨物保持材２０における円盤状の支持部２２はリペアシート１の円盤状の支持部２と被研磨物保持材１０の円盤状の支持部１２とが重なり合わされて構成されており、同様に歯車部２３はリペアシート１の歯車部３と被研磨物保持材１０の歯車部１３とが重なり合わされて構成されており、また被研磨物保持穴２４はリペアシート１の被研磨物保持穴４と被研磨物保持材１０の被研磨物保持穴１４とが重なり合わされて構成されている。

このような再生被研磨物保持材２０は、従来の被研磨物保持材と同様にして研磨加工に使用することができる。図８、９は、再生被研磨物保持材２０の被研磨物保持穴２４に半導体ウェハー等の被研磨物３０を保持した状態で、この被研磨物３０の研磨加工のために再生被研磨物保持材２０を装着した平面研磨装置４０を示したものであり、図８はその平面図を示し、図９は断面図を示したものである。

例えば図９に示されるように、平面研磨装置４０は上下に回転盤４１、４２を有し、その回転盤４１、４２の内面にそれぞれ研磨布４３、４４が貼り付けられている。また、研磨布４３、４４には、不図示のノズルから研磨剤が供給されるようになっている。さらに下側の回転盤４２には、内面中心部に太陽歯車４５が設けられ、さらに外周部外側にリング４７によって固定された内歯歯車４６が設けられている。再生被研磨物保持材２０は、太陽歯車４５と内歯歯車４６とに同時に噛み合うように装着され、太陽歯車４５の回転駆動により自転と共に太陽歯車４５の周りを公転するようになっている。

上記平面研磨装置４０により被研磨物３０の両面を研磨加工するときは、まず上側の回転盤４１を上昇させたのち、再生被研磨物保持材２０の被研磨物保持穴２４に被研磨物３０を嵌め込む。次いで、鎖線で示すように回転盤４１を下降させ、内面の研磨布４３を被研磨物３０の上面に接触させた状態にする。そして、不図示のノズルから研磨剤を吐出しながら太陽歯車４５を回転させると共に、回転盤４１、４２を互いに反対方向に回転させることで、再生被研磨物保持材２０に保持された被研磨物３０の両面が研磨される。

以上、本考案のリペアシートとそれを用いた被研磨物保持材（再生被研磨物保持材）について説明したが、本考案のリペアシートおよび再生被研磨物保持材は上記実施形態に限定されるものでなく、必要に応じて、かつ本考案の趣旨に反しない限度において適宜その構成を変更することができる。

例えば、リペアシートの平面形状、すなわち支持部、歯車部および被研磨物保持穴の形状、具体的には歯車部の歯数、被研磨物保持穴の個数や配置等は、再生される被研磨物保持材の形状に応じて適宜変更することができる。また、再生される被研磨物保持材についても、上述したような繊維基材がガラス繊維からなるものが特にガラス粉の発生により比較的短期間で寿命とされ、本考案のリペアシートを使用する効果が大きくなるが、その他の繊維からなる繊維基材を用いたものについても本考案のリペアシートを使用することができ、また十分な効果を得ることができる。

本考案のリペアシートの一例を示す平面図。 図１に示されるリペアシートのＡ−Ａ線断面を模式的に示す断面図。 リペアシートが適用される被研磨物保持材（研磨加工前）を示す断面図。 図３に示される被研磨物保持材の研磨加工後の状態を示す断面図。 図４に示される被研磨物保持材へのリペアシートの貼り付け方法を示す断面図。 本考案の被研磨物保持材の一例を示す平面図。 図６に示される被研磨物保持材のＡ−Ａ線断面を示す断面図。 本考案の被研磨物保持材が装着された平面研磨装置を示す平面図。 図８に示される平面研磨装置の断面図。

符号の説明

１…リペアシート、２…支持部、３…歯車部、４…被研磨物保持穴、５…プリプレグ、６…繊維基材、７…熱硬化性樹脂組成物、１０…被研磨物保持材、１２…支持部、１３…歯車部、１４…被研磨物保持穴、１６…露出したガラス繊維、２０…被研磨物保持材（再生被研磨物保持材）、２２…支持部、２３…歯車部、２４…被研磨物保持穴、３０…被研磨物、４０…平面研磨装置、４１…上側回転盤、４２…下側回転盤、４３…上側研磨布、４４…下側研磨布、４５…太陽歯車、４６…内歯歯車、４７…リング

Claims (4)

1. 研磨加工により摩耗した被研磨物保持材の再使用のためにその主面に貼り付け加工される被研磨物保持材用リペアシートであって、
   繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるプリプレグからなり、前記被研磨物保持材と同一平面形状に打ち抜き加工されていることを特徴とする被研磨物保持材用リペアシート。
2. 前記プリプレグはガラス繊維からなる繊維基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸させてなるものであり、かつ前記熱硬化性樹脂組成物はその硬化物のＤＭＡ法による常温での引っ張り弾性率が２００ＭＰａ以上４０００ＭＰａ以下となるものであることを特徴とする請求項１記載の被研磨物保持材用リペアシート。
3. 前記打ち抜き加工がビク型を用いて行われたことを特徴とする請求項１または２記載の被研磨物保持材用リペアシート。
4. 研磨加工により摩耗した被研磨物保持材と、
   前記被研磨物保持材の少なくとも一方の主面に貼り付けられた請求項１乃至３のいずれか１項記載の被研磨物保持材用リペアシートと
   を具備することを特徴とする被研磨物保持材。

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