TW201351877A - 縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器 - Google Patents

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Abstract

縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，具備非平衡端子(10)、平衡端子(20)、壓電基板、第1彈性表面波濾波器部(11)、第2彈性表面波濾波器部(12)、非平衡訊號配線、平衡訊號配線、將第1彈性表面波濾波器部(11)與第2彈性表面波濾波器部(12)加以連接之一對區段間配線、接地配線。第1彈性表面波濾波器部(11)包含第1IDT(111)與一對第2IDT及第3IDT(112)。第1IDT(111)具有遠離非平衡端子(10)側之梳形電極沿著中心軸(x)分割後之一對第1分割梳形電極(111a)。一對第1分割梳形電極(111a)在區段間配線連接於第2彈性表面波濾波器部(12)。第2IDT及第3IDT(112)之遠離非平衡端子(10)側之梳形電極分別連接於配線在區段間配線外側之接地配線。

Description

縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器
本發明係關於一種縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，尤其是關於相互地轉換非平衡訊號與平衡訊號之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。
近年來，隨著以行動電話為代表之移動體通訊機器之技術進步，資料通訊量之增加顯著。因此，對移動體通訊機器優先分配頻帶。又，由於資料通訊速度之高速化，與複數個頻帶對應之多帶化正在發展。
用在移動體通訊機器之頻率濾波器，由於與上述各種頻帶對應，其使用數增加。因此，小型之頻率濾波器之需要增加，以小型為特徵之一之彈性表面波濾波器廣泛地被利用。對彈性表面波濾波器謀求進一步小型化及衰減特性之提升。
專利文獻1：日本特表2006-527516號公報
專利文獻2：WO2005/031971號公報
專利文獻3：WO2006/009021號公報
為了提升衰減特性，如日本特表2006-527516號公報(專利文獻1)所揭示，一般而言使用縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。在縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，在與彈性表面波之傳遞方向正交之方向 縱向連接(串聯)二個彈性表面波濾波器。
圖4係以示意方式顯示平衡-平衡濾波器即習知縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構造及連接之電路圖。
圖4所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器4為傳送平衡訊號之平衡-平衡濾波器。縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器4具備一對平衡端子20及一對平衡端子21。縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器4係形成在壓電基板(未圖示)之主面上。縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器4進一步具備縱向連接之第1段之第1彈性表面波濾波器部41、與第2段之第2彈性表面波濾波器部42。藉由第1彈性表面波濾波器部41與第2彈性表面波濾波器部42縱向連接，可增加通帶外之衰減量。
第1彈性表面波濾波器部41包含在壓電基板上配置在與彈性表面波之傳遞方向正交之中心軸x上之第1中央IDT(Inter Digital Transducer)411、配置在第1中央IDT411之左右兩側之一對第1兩側IDT412、及配置成將第1兩側IDT412夾入之第1反射器413。
第1中央IDT411，為了與一對平衡端子21連接，具有接近平衡端子21側之梳形電極沿著中心軸x分割後之一對第1中央分割梳形電極411a。又，第1中央IDT411，在遠離平衡端子21側具有第1中央浮置梳形電極411b。
同樣地，第2彈性表面波濾波器部42包含在壓電基板上以與第1中央IDT411彼此對向之方式配置在中心軸x上之第2中央IDT421、配置在第2中央IDT421之左右兩側之一對第2兩側IDT422、及配置成將第2兩側IDT422夾入之第2反射器423。
第2中央IDT421，為了與一對平衡端子20連接，亦具有接近平衡端子20側之梳形電極沿著中心軸x分割後之一對第2中央分割梳形電極421a。又，第2中央IDT421，在遠離平衡端子20側具有第2中央浮置梳形電極421b。
第1兩側IDT412及第2兩側IDT422沿著中心軸x將彼此對向側之梳形電極分別左右連接。
在平衡-平衡濾波器，彼此反相位之平衡訊號(差動訊號)傳達至一對平衡端子。因此，與平衡端子21連接之第1中央IDT411及與平衡端子20連接之第2中央IDT421之各個不需以遠離平衡端子側之梳形電極連接於基準電位。是以，第1中央浮置梳形電極411b及第2中央浮置梳形電極421b可省略用以連接於作為基準電位之接地電位(GND)之接地配線。因此，平衡-平衡濾波器即縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器4可降低配線面積而適於小型化。
然而，作為用在移動體通訊機器之頻率濾波器之需求，非平衡-平衡濾波器較平衡-平衡濾波器為高。非平衡-平衡濾波器，設端子之一方為非平衡端子，設端子之另一方為平衡端子。非平衡-平衡濾波器，係將非平衡訊號與平衡訊號相互轉換之頻率濾波器。在WO2005/031971號公報(專利文獻2)揭示有非平衡-平衡濾波器即習知縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。
圖5係以示意方式顯示非平衡-平衡濾波器即習知縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖5所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器5，在替代 一對平衡端子21而具備一個非平衡端子10之點，與圖4所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器4相異。
第1彈性表面波濾波器部51包含在壓電基板上配置在與彈性表面波之傳遞方向正交之中心軸x上之第1中央IDT511、配置在第1中央IDT511之左右兩側之一對第1兩側IDT512、及配置成將第1兩側IDT512夾入之第1反射器513。
第1中央IDT511之梳形電極，與圖4所示之第1中央IDT411相異，未被分割。
同樣地，第2彈性表面波濾波器部52包含在壓電基板上以與第1中央IDT511彼此對向之方式配置在中心軸x上之第2中央IDT521、配置在第2中央IDT521之左右兩側之一對第2兩側IDT522、及配置成將第2兩側IDT522夾入之第2反射器523。
第2中央IDT521具有接近平衡端子20側之梳形電極沿著中心軸x分割後之一對第2中央分割梳形電極521a。又，遠離平衡端子20側之第2中央浮置梳形電極521b未連接於接地電位，為浮置電位。
在第1兩側IDT512及第2兩側IDT522，沿著中心軸x彼此對向側之梳形電極係分別左右連接。
非平衡訊號係傳至非平衡端子。因此，遠離非平衡端子側之梳形電極必須連接於基準電位。是以，在與非平衡端子10連接之第1中央IDT511，遠離非平衡端子10側之梳形電極連接於接地電位。
此時，在將第1彈性表面波濾波器部51與第2彈性表面波濾波器部52分別左右連接之一對區段間配線之內側形成接地配線。因此， 將導致區段間配線與接地配線交叉。此種情形下，如WO2006/009021號公報(專利文獻3)所揭示，係使區段間配線與接地配線立體地交叉。
圖6係顯示圖5所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器5中，形成在壓電基板500之主面上之IDT及配線之配置之俯視圖。圖6中，以示意方式顯示端子之電極墊及形成配線之配線層。以虛線顯示IDT之位置，賦予與圖5對應之符號。
在第1彈性表面波濾波器部51(未圖示)，在中心軸x上配置有第1中央IDT511。在其左右兩側配置有一對第1兩側IDT512。
在第2彈性表面波濾波器部52(未圖示)，配置有沿著中心軸x分割之第2中央IDT521。在其左右兩側配置有一對第2兩側IDT522。又，浮置電極墊50e係形成在第2中央IDT521之遠離平衡端子電極墊20e側。浮置電極墊50e未連接於接地電位，為浮置電位。第2中央浮置梳形電極521b與浮置電極墊50e連接。
非平衡訊號配線10f係形成為將一個非平衡端子電極墊10e與接近非平衡端子電極墊10e側之第1中央IDT511加以連接。
平衡訊號配線20f係形成為將一對平衡端子電極墊20e與接近平衡端子電極墊20e側之第2中央IDT521分別加以左右連接。
區段間配線30f係形成為將彼此對向側之第1兩側IDT512及第2兩側IDT522分別加以左右連接。
接地配線40f，係形成為在IDT之外側區域將接地端子電極墊40e與接近非平衡端子電極墊10e側之第1兩側IDT512及接近平衡端子電極墊20e側之第2兩側IDT522分別加以左右連接。
又，在第1彈性表面波濾波器部51與第2彈性表面波濾波器部52之區段間之區域，接地配線41f係形成為將接地端子電極墊40e與遠離非平衡端子電極墊10e側之第1中央IDT511分別加以左右連接。
在縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器5，區段間配線30f與接地配線41f交叉。因此，設有使區段間配線30f與接地配線41f立體交叉之立體交叉部60。在立體交叉部60，以上層之區段間配線30f與下層之接地配線41f不會電氣短路之方式，在上層與下層之間形成有絕緣層(未圖示)。
絕緣層必須較區段間配線30f與接地配線41f交叉之區域充分廣泛地形成。因此，在立體交叉部60無法將配線高密度地配置而降低配線面積。是以，設置立體交叉部60會妨礙縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器5之小型化。
因此，本發明係為了解決上述問題點而構成，其目的在於提供一種配線面積降低之小型之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。
為了達成上述目的，本發明形態之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，具備傳送非平衡訊號之一個非平衡端子、傳送平衡訊號之一對平衡端子、壓電基板、第1彈性表面波濾波器部、第2彈性表面波濾波器部、非平衡訊號配線、一對平衡訊號配線、一對區段間配線、接地配線。第1彈性表面波濾波器部，包含在壓電基板上配置在與彈性表面波之傳遞方向正交之中心軸上之第1IDT、配置在第1IDT之傳遞方向兩側之第2IDT及第3IDT、配置成將第2IDT及第3IDT在第1IDT之彈性表面波之傳遞方向夾入之第1反射器及第2反射器。第2彈性表面波濾波器部，包含在壓電 基板上與第1IDT在中心軸延伸方向分離既定距離配置之第4IDT、配置在第4IDT之彈性表面波傳遞方向兩側之第5IDT及第6IDT、配置成將第5IDT及第6IDT在第4IDT之彈性表面波之傳遞方向夾入之第3反射器及第4反射器。非平衡訊號配線，從非平衡端子分岐，分別連接於第2IDT及第3IDT之接近非平衡端子側之梳形電極。一對平衡訊號配線將平衡端子與第2彈性表面波濾波器部加以連接。一對區段間配線將第1彈性表面波濾波器部與第2彈性表面波濾波器部加以連接。接地配線分別連接於第1彈性表面波濾波器部及第2彈性表面波濾波器部之接地電位。第1IDT具有遠離非平衡端子側之梳形電極沿著中心軸分割後之一對第1分割梳形電極。一對第1分割梳形電極在區段間配線分別連接於第2彈性表面波濾波器部。第2IDT及第3IDT之遠離非平衡端子側之梳形電極分別連接於以中心軸為起點佈線在區段間配線外側之接地配線。
較佳為，第4IDT具有接近平衡端子側之梳形電極沿著中心軸分割後之一對第2分割梳形電極。一對第2分割梳形電極分別連接於平衡端子。一對第1分割梳形電極在區段間配線分別連接於第5IDT及第6IDT之遠離平衡端子側之梳形電極。接地配線連接於第5IDT及第6IDT之接近平衡端子側之梳形電極。
較佳為，第4IDT具有遠離平衡端子側之梳形電極沿著中心軸分割後之一對第2分割梳形電極。一對第2分割梳形電極在區段間配線分別連接於一對第1分割梳形電極。第5IDT及第6IDT之接近平衡端子側之梳形電極分別連接於平衡端子。接地配線連接於第5IDT及第6IDT之遠離平衡端子側之梳形電極。
較佳為，一對第1分割梳形電極係分割成彼此之訊號成為相反相位。
較佳為，一對第2分割梳形電極係分割成彼此之訊號成為相反相位。
較佳為，一對第1分割梳形電極之各個具有電極指。電極指之個數在一對第1分割梳形電極之間彼此相等。
較佳為，一對第2分割梳形電極之各個具有電極指。電極指之個數在一對第2分割梳形電極之間彼此相等。
較佳為，被非平衡訊號配線夾著之一對第1分割梳形電極未連接於非平衡訊號配線、區段間配線、接地配線之任一個。
較佳為，被區段間配線夾著之一對第2分割梳形電極未連接於非平衡訊號配線、區段間配線、接地配線之任一個。
1,3,4,5‧‧‧縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器
11,41,51‧‧‧第1彈性表面波濾波器部
111,411,511‧‧‧第1中央IDT
111a‧‧‧第1中央分割梳形電極
111b,311b,411b,511b‧‧‧第1中央浮置梳形電極
112,412,512‧‧‧第1兩側IDT
113,413,513‧‧‧第1反射器
12,32,42,52‧‧‧第2彈性表面波濾波器部
121,321,421,521‧‧‧第2中央IDT
121a,321a‧‧‧第2中央分割梳形電極
121b,321b,421b,521b‧‧‧第2中央浮置梳形電極
122,322,422,522‧‧‧第2兩側IDT
123,323,423,523‧‧‧第2反射器
10‧‧‧非平衡端子
10c,10e‧‧‧非平衡端子電極墊
10d,10f‧‧‧非平衡訊號配線
20,21‧‧‧平衡端子
20c,20e‧‧‧平衡端子電極墊
20d,20f‧‧‧平衡訊號配線
30d,30f‧‧‧區段間配線
40c,40e‧‧‧接地端子電極墊
40d,40f,41d,41f‧‧‧接地配線
50c,51c,50e‧‧‧浮置電極墊
60‧‧‧立體交叉部
100,500‧‧‧壓電基板
x‧‧‧中心軸
圖1係以示意方式顯示本發明實施形態1之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖2係顯示在圖1所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器形成在壓電基板之主面上之IDT及配線之布置之俯視圖。
圖3係以示意方式顯示本發明實施形態2之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖4係以示意方式顯示平衡-平衡濾波器即縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖5係顯示非平衡-平衡濾波器即習知縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖6係顯示在圖5所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器形成在壓電基板之主面上之IDT及配線之布置之俯視圖。
(實施形態1)
以下，參照圖1及圖2說明本發明之實施形態1。此外，對圖中相同或相當部分賦予相同符號，不重複其說明。
圖1係以示意方式顯示本發明實施形態1之彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖1所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1係具備一個非平衡端子10及一對平衡端子20之非平衡-平衡濾波器。縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1係形成在壓電基板(未圖示)之主面上。縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1進一步具備第1彈性表面波濾波器部11及第2彈性表面波濾波器部12。藉由將第1彈性表面波濾波器部11與第2彈性表面波濾波器部12加以縱向連接，使通帶外之衰減量變大。
第1彈性表面波濾波器部11包含第1中央IDT(第1IDT)111、一對第1兩側IDT(第2IDT及第3IDT)112、第1反射器(第1反射器及第2反射器)113。第1中央IDT111，在壓電基板上配置在與彈性表面波之傳遞方向正交之中心軸x上。一對第1兩側IDT112，配置在第1中央IDT111之左右(彈性表面波之傳遞方向)兩側。第1反射器113，配置成將第1兩側IDT112夾入。
IDT具有配置成彼此咬合之梳形電極。梳形電極具有帶狀之柵線及電極指。電極指從柵線之一方往正交方向延伸，彼此平行。
第1中央IDT111具有遠離非平衡端子10側之梳形電極沿著中心軸x分割後之一對第1中央分割梳形電極(第1分割梳形電極)111a。又，第1中央IDT111在接近非平衡端子10側具有第1中央浮置梳形電極111b。
第1兩側IDT，若比較左右，在沿著與彈性表面波之傳遞方向正交之方向之上下方向反向地配置有梳形電極。亦即，在左方接近非平衡端子10側之梳形電極在右方配置在遠離非平衡端子10側。在左方遠離非平衡端子10側之梳形電極在右方配置在接近非平衡端子10側。其原因在於，在將第1彈性表面波濾波器部11與第2彈性表面波濾波器部12分別加以左右連接之區段間配線，使傳送之訊號彼此成為相反相位。
第2彈性表面波濾波器部12亦包含在壓電基板上以與第1中央IDT111彼此對向之方式配置在中心軸x上之第2中央IDT(第4IDT)121、配置在第2中央IDT121之左右兩側之一對第2兩側(第5IDT及第6IDT)IDT122、配置成將第2兩側IDT122夾入之第2反射器(第3反射器及第4反射器)123。
第2中央IDT121將接近平衡端子20側之梳形電極沿著中心軸x分割。在此接近平衡端子20側分割後之一對第2中央分割梳形電極(第2分割梳形電極)121a具有彼此為相反相位且持有同等強度之訊號。此時，第2中央分割梳形電極121a之一對分割梳形電極之電極指之個數彼此相等為佳。又，第2中央IDT121在遠離平衡端子20側具有第2中央IDT121之第2中央浮置梳形電極121b。第2中央分割梳形電極之一對電極之訊號具 有彼此為相反相位且同等強度之訊號。因此，在與形成第2中央IDT121之第2中央分割梳形電極對向之第2中央浮置梳形電極121b，一對第2中央分割梳形電極之訊號彼此被抵銷，成為與連接於接地電位之狀態相同。
以下說明以上述方式構成之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1之連接方法。
在第1彈性表面波濾波器部11，來自一個非平衡端子10之非平衡訊號配線往左右分岐，分別左右連接於第1兩側IDT112之接近非平衡端子10側之梳形電極。遠離非平衡端子側之梳形電極必須連接於基準電位。因此，第1兩側IDT112之遠離非平衡端子10側之梳形電極分別左右連接於成為基準電位之接地電位(GND)。
第1中央分割梳形電極111a與第2兩側IDT122之遠離平衡端子20側之梳形電極分別左右連接。第1中央浮置梳形電極111b未連接於接地電位，為浮置電位。在第2兩側IDT122，接近平衡端子20側之梳形電極分別左右連接於接地電位。
在第2彈性表面波濾波器部12，來自一對平衡端子20之平衡訊號配線分別左右連接於第2中央分割梳形電極121a。遠離平衡端子側之梳形電極不須連接於基準電位。因此，第2中央浮置梳形電極121b未連接於平衡訊號配線與後述區段間配線與接地配線之任一個，為浮置電位。
以下，參照圖2說明以上述方式連接之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1之IDT及配線之布置。
圖2係顯示在圖1所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1形成在壓電基板100之主面上之IDT及配線之布置之俯視圖。圖2中， 以示意方式顯示端子之電極墊及形成配線之配線層。以虛線表示IDT之位置，賦予與圖1對應之符號。
端子之電極墊及IDT在與彈性表面波於壓電基板100之主面上傳遞方向正交之中心軸x配置成軸對稱。又，配線亦以成為等長配線之方式在中心軸x形成為軸對稱。
在第1彈性表面波濾波器部11(未圖示)，配置沿著中心軸x分割後之第1中央IDT111。在其左右兩側配置一對第1兩側IDT112。又，浮置電極墊51c形成在第1中央IDT111之接近非平衡端子電極墊10c側。浮置電極墊51c未連接於接地電位，為浮置電位。第1中央浮置梳形電極111b與浮置電極墊51c連接。
在第2彈性表面波濾波器部12(未圖示)，亦配置沿著中心軸x分割後之第2中央IDT121。在其左右兩側配置一對第2兩側IDT122。又，浮置電極墊50c形成在遠離平衡端子電極墊20c側。浮置電極墊50c亦未連接於接地電位，為浮置電位。第2中央浮置梳形電極121b與浮置電極墊50c連接。
非平衡訊號配線10d係左右分歧形成為連接一個非平衡端子電極墊10c與第1兩側IDT112之接近非平衡端子電極墊10c側。
平衡訊號配線20d係形成為分別左右連接一個平衡端子電極墊20c與分割後之第2中央IDT121之接近平衡端子電極墊20c側。
區段間配線30係形成為分別左右連接第1中央IDT111之遠離非平衡端子電極墊10c側與第2兩側IDT122之遠離平衡端子電極墊20c側。
接地配線40d係形成為在IDT之外側區域分別左右連接接地端子電極墊40c與第2兩側IDT122之接近平衡端子電極墊20c側。
又，在第1彈性表面波濾波器部11與第2彈性表面波濾波器部12之區段間之區域，接地配線41d係形成為分別左右連接接地端子電極墊40c與第1兩側IDT112之遠離非平衡端子電極墊10c側。
如上述，在縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1，非平衡訊號配線10d左右分岐並連接於第1兩側IDT112之接近非平衡端子電極墊10c側之梳形電極。藉此，接地配線40d從第1兩側IDT112之遠離非平衡端子電極墊10c側之梳形電極分別左右形成。伴隨於此，區段間配線30d從第1中央IDT111之梳形電極形成。是以，在區段間之區域，可在一對區段間配線30d外側設置接地配線41d。因此，區段間配線30d與接地配線41d未交叉，不設置立體交叉部亦可。因此，可實現配線面積降低後之小型之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。
此外，非平衡訊號配線10d從非平衡端子電極墊10c分岐並分別連接於第2IDT及第3IDT(第1兩側IDT)112之接近非平衡端子電極墊10c側之梳形電極。非平衡訊號配線10d所圍繞之第1IDT(第1中央IDT)111之浮置電極墊51c並未連接於接地電位即可獲得假想接地電位之作用。因此，不須以配線連接浮置電極墊51c與接地電位。是以，不須使連接於浮置電極墊51c之配線與分岐後之非平衡訊號配線10d交叉。因此，可提供能將非平衡訊號與平衡訊號相互轉換之小型之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。
實際上，使用晶粒尺寸600×800μm之壓電基板之情形，本 發明實施形態1之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1，與以往相較，可將壓電基板之主面之面積降低約10%。
(實施形態2)
本發明之實施形態1以外亦以不設置區段間配線與接地配線之立體交叉部之方式構成IDT，可布置配線。以下，參照圖3說明本發明之實施形態2。
圖3係顯示本發明實施形態2之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器之電極構成及連接之電路圖。
圖3所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器3，與圖1所示之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1第1彈性表面波濾波器部11相等，第2彈性表面波濾波器部不同。此外，對與縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器1相同之構成要素賦予同符號，不重複其說明。
第2彈性表面波濾波器部32包含第2中央IDT(第4IDT)321、一對第2兩側IDT(第5IDT及第6IDT)322、第2反射器(第3反射器及第4反射器)323。第2中央IDT321，在壓電基板上以與第1中央IDT111彼此對向之方式配置在中心軸x上。一對第2兩側IDT322，配置在第2中央IDT321之左右兩側。第2反射器323，配置成將第2兩側IDT322夾入。
第2中央IDT321具有遠離平衡端子20側之梳形電極沿著中心軸x分割後之一對第2中央分割梳形電極(第2分割梳形電極)321a。又，第2中央IDT321在接近平衡端子20側具有第2中央浮置梳形電極321b。第2中央浮置梳形電極321b未連接於接地電位，為浮置電位。
第1中央分割梳形電極111a及第2中央分割梳形電極321a 分別左右連接。
第1兩側IDT112及第2兩側IDT322，沿著中心軸x彼此對向側之梳形電極分別左右連接於接地電位。
如上述，實施形態2亦可將第1彈性表面波濾波器部11之接地配線設置於一對區段間配線之外側。因此，不使區段間配線與接地配線交叉，不設置立體交叉部亦可。是以，可實現配線面積降低後之小型之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。
此外，本發明之實施形態1及實施形態2中，雖說明僅配置一對兩側IDT之情形，但並非限定於此。即使是配置二對以上之兩側IDT之情形，藉由非平衡訊號配線從非平衡端子10左右分岐以等長配線形成，藉此可適用本發明。
又，圖1及圖3中，雖說明第1兩側IDT111在左右配置成上下反向，且第2兩側IDT122及第2兩側IDT322在左右配置成上下同向之情形，但並不限於此。圖2中，以同相位之訊號在左右分岐後之非平衡訊號配線10d流動且相反相位之訊號彼此在一對平衡訊號配線20d流動之方式適當決定兩側IDT之方向即可。例如，第1兩側IDT在左右配置成上下同向，左右之第2兩側IDT在左右配置成上下反向亦可。
再者，未連接於訊號配線之遠離端子側之梳形電極皆連接於接地電位。然而，替代此，使第1彈性表面波濾波器部及第2彈性表面波濾波器部之梳形電極分別彼此左右連接，亦無動作上之問題。
作為本發明之實施形態1及實施形態2圖示之梳形電極之構成僅為例示。梳形電極間之間隔、構成梳形電極之電極指之個數、間隔、 交叉寬等，可適當地調整。又，第1反射器及第2反射器不直接影響區段間配線及接地配線之形成方法，因此亦可適當地調整反射器之形狀。
本說明書揭示之實施形態之所有點皆為例示並非用來加以限定。本發明之範圍並非上述說明，而是由申請專利範圍所示，謀求包含與申請專利範圍均等之意義及在範圍內之所有變更。
1‧‧‧縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器
11‧‧‧第1彈性表面波濾波器部
111‧‧‧第1中央IDT
111a‧‧‧第1中央分割梳形電極
111b‧‧‧第1中央浮置梳形電極
112‧‧‧第1兩側IDT
113‧‧‧第1反射器
12‧‧‧第2彈性表面波濾波器部
121‧‧‧第2中央IDT
121a‧‧‧第2中央分割梳形電極
121b‧‧‧第2中央浮置梳形電極
122‧‧‧第2兩側IDT
123‧‧‧第2反射器
10‧‧‧非平衡端子
20‧‧‧平衡端子
x‧‧‧中心軸

Claims (9)

  1. 一種縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，係將非平衡訊號與平衡訊號相互轉換，其特徵在於，具備：一個非平衡端子，傳送該非平衡訊號；一對平衡端子，傳送該平衡訊號；壓電基板；第1彈性表面波濾波器部，包含在該壓電基板上配置在與彈性表面波之傳遞方向正交之中心軸上之第1IDT、配置在該第1IDT之該傳遞方向兩側之第2IDT及第3IDT、及配置成將該第2IDT及第3IDT在該第1IDT之該傳遞方向夾入之第1反射器及第2反射器；第2彈性表面波濾波器部，包含在該壓電基板上與該第1IDT在該中心軸延伸方向分離既定距離配置之第4IDT、配置在該第4IDT之彈性表面波傳遞方向兩側之第5IDT及第6IDT、及配置成將該第5IDT及第6IDT在該第4IDT之彈性表面波之傳遞方向夾入之第3反射器及第4反射器；非平衡訊號配線，從該非平衡端子分岐，分別連接於該第2IDT及第3IDT之接近該非平衡端子側之梳形電極；一對平衡訊號配線，將該平衡端子與該第2彈性表面波濾波器部加以連接；一對區段間配線，將該第1彈性表面波濾波器部與該第2彈性表面波濾波器部加以連接；以及接地配線，分別連接於該第1彈性表面波濾波器部及該第2彈性表面波濾波器部之接地電位； 該第1IDT具有遠離該非平衡端子側之梳形電極沿著該中心軸分割後之一對第1分割梳形電極；該一對第1分割梳形電極在該區段間配線分別連接於該第2彈性表面波濾波器部；該第2IDT及該第3IDT之遠離該非平衡端子側之梳形電極分別連接於以該中心軸為起點佈線在該區段間配線外側之該接地配線。
  2. 如申請專利範圍第1項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，該第4IDT具有接近該平衡端子側之梳形電極沿著該中心軸分割後之一對第2分割梳形電極；該一對第2分割梳形電極分別連接於該平衡端子；該一對第1分割梳形電極在該區段間配線分別連接於該第5IDT及該第6IDT之遠離該平衡端子側之梳形電極；該接地配線連接於該第5IDT及該第6IDT之接近該平衡端子側之梳形電極。
  3. 如申請專利範圍第1項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，該第4IDT具有遠離該平衡端子側之梳形電極沿著該中心軸分割後之一對第2分割梳形電極；該一對第2分割梳形電極在該區段間配線分別連接於該一對第1分割梳形電極；該第5IDT及該第6IDT之接近該平衡端子側之梳形電極分別連接於該平衡端子；該接地配線於該第5IDT及該第6IDT之遠離該平衡端子側之梳形電極 接地。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，該一對第1分割梳形電極係分割成彼此之訊號成為相反相位。
  5. 如申請專利範圍第2或3項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，該一對第2分割梳形電極係分割成彼此之訊號成為相反相位。
  6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，該一對第1分割梳形電極之各個具有電極指；該電極指之個數在該一對第1分割梳形電極之間彼此相等。
  7. 如申請專利範圍第2或3項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，該一對第2分割梳形電極之各個具有電極指；該電極指之個數在該一對第2分割梳形電極之間彼此相等。
  8. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，被該非平衡訊號配線夾著之該一對第1分割梳形電極未連接於該非平衡訊號配線、該區段間配線、該接地配線之任一個。
  9. 如申請專利範圍第2或3項之縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器，其中，被該區段間配線夾著之該一對第2分割梳形電極未連接於該非平衡訊號配線、該區段間配線、該接地配線之任一個。
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