TW201305044A - 耐水性氮化鋁之製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種耐水性氮化鋁粉末之製造方法，其特徵為在溶劑中，以使中位直徑/一次粒徑之比成為1.4~5之方式分散於前述溶劑中之氮化鋁粉末，與由磷酸、磷酸之金屬鹽及具有碳數12以下之有機基之有機磷酸所組成群組選出之至少一種磷酸化合物接觸，而實施磷酸化合物處理步驟，且前述氮化鋁粉末之表面上存在以正磷酸離子換算為0.5~10mg/m2之比例之前述磷酸化合物。

Description

耐水性氮化鋁之製造方法
本發明係關於耐水性氮化鋁粉末之製造方法。詳言之，係關於獲得顯示良好耐水性，同時以高程度維持氮化鋁粉末既有之優異熱傳導性之氮化鋁粉末之製造方法。
以本發明方法製造之耐水性氮化鋁粉末於將其填充於散熱用複合材料時，可對該散熱用複合材料賦予高的熱傳導性。
近年來，隨著半導體裝置之功率密度上升，已要求對散熱材料之更高度散熱特性。
實現半導體裝置散熱之材料有稱為熱界面材料(Thermal interface material)之一連串材料，且其使用量正急速擴大中。該所謂熱界面材料為用以使半導體元件產生之熱散熱或使之逸出到框體等之路徑之熱阻抗緩和之材料，且以薄片狀、凝膠狀、油脂狀等各種形態使用。
該熱界面材料一般為使熱傳導性填料分散於環氧樹脂、矽氧樹脂等適當樹脂中之複合材料。至於該填料大多使用二氧化矽或氧化鋁。然而，二氧化矽、氧化鋁之熱傳導率分別不過是40W/mK及1W/mK左右。例如，使用二氧化鋁之複合材料之情況下，其熱傳導率係停留在1~3W/mK左右。
另一方面，近年來半導體裝置之功率密度上升，且其 所使用之熱界面材料均要求比過去高的熱傳導性。其中，使用熱傳導性高之氮化物系無機物質作為前述填料之熱界面材料之市場占有率正擴大中。該氮化物系無機物質中之熱傳導性之展現認為係由於金屬離子與陰離子之結合力強，故利用音子(phonon)傳播使熱傳導變得容易。上述氮化物系無機物質典型上係使用氮化鋁。
然而，氮化鋁被指出有以下問題點。第一，與構成前述複合材料之樹脂之親和性低，故無法對該樹脂高充填，且
第二，與水之反應性高，故在粉末狀態下，因與水接觸使表面水解，生成氫氧化鋁與氨。因此，因與樹脂之親和性低而使與樹脂之界面之熱阻抗增大之結果，現狀為無法獲得顯示滿意高熱傳導性的複合材料。
已嘗試將氮化鋁粉末之表面改質以改善該現狀。
例如，特開平11-209618號公報揭示以磷酸處理氮化鋁粉末表面之技術。依據該方法，雖然某種程度的改善粉末之耐水性，但與樹脂之親和性仍低。因此，複合材料之黏度上升變得顯著，無法以高填充率填充於樹脂中。其結果，應用該技術所得之複合材料之熱傳導性尚不充分。
特開平7-33415號公報揭示將表面經磷酸處理之氮化鋁粉末之表面進而以矽烷偶合劑、磷酸系偶合劑等處理而改良耐水性之技術。依據該技術，利用偶合劑之功能而提高與樹脂之親和性受到期待。然而，為了充分發揮偶合劑之功能故須使用相當量，使氮化鋁粉末之表面被覆層變 厚，其結果會有損及粉末表面熱傳導性之顧慮。而且，以二階段進行處理造成成本上升也是問題。
特開2002-226207號公報揭示於氮化鋁粉末表面形成氧化鋁層後，藉由進行磷酸處理，進而提高耐水性之技術。然而，利用該技術時，雖可獲得高的耐水性，但除粉末表面以磷酸處理形成被覆層以外，亦形成氧化鋁層，故有使氮化鋁粉末表面之熱傳導性更降低之問題。
據此，本發明之目的係提供一種顯示良好耐水性，同時減低賦予該耐水性之處理劑層厚度之耐水性氮化鋁粉末之製造方法。依本發明方法製造之耐水性氮化鋁粉末可減低處理層厚度，且可以高程度維持氮化鋁粉末既有之優異熱傳導性。將依本發明方法製造之耐水性氮化鋁粉末填充於散熱用複合材料時，可對該散熱用複合材料賦予高的熱傳導率。
本發明人等為達成上述目的而積極檢討之結果，將氮化鋁粉末或表面形成氮化鋁層之氮化鋁粉末(以下有時將該等總稱為「氮化鋁粉末」)以在溶劑中成為特定分散狀態之方式分散之狀態，藉由在該液中與特定磷酸化合物接觸，藉此可在前述氮化鋁粉末表面形成厚度薄的磷酸化合物層，而且因該層之存在，而成功地使氮化鋁粉末同時具有優異之耐水性與高的熱傳導性，因而完成本發明。
亦即，本發明為 一種耐水性氮化鋁粉末之製造方法，其特徵為在溶劑中，以使中位直徑/一次粒徑之比成為1.4~5之方式分散於前述溶劑中之氮化鋁粉末，與由磷酸、磷酸之金屬鹽及具有碳數12以下之有機基之有機磷酸所組成群組選出之至少一種磷酸化合物接觸，而實施磷酸化合物處理步驟，且前述氮化鋁粉末之表面上存在以正磷酸離子換算為0.5~10mg/m2之比例之前述磷酸化合物。
〈氮化鋁粉末〉
本發明中之氮化鋁粉末可無特別限制地使用以過去習知方法製造者。製造本發明中之氮化鋁粉末之方法可列舉為例如直接氮化法、還原氮化法、氣相合成法等。
本發明中使用之氮化鋁粉末為提高磷酸化合物處理步驟之處理效率，較好為其表面具有氧化鋁層者。該氧化鋁層可為因氮化鋁粉末儲存時自然氧化而形成之氧化膜層，亦可為利用刻意進行之氧化處理步驟而形成之氧化膜層。該氧化處理步驟可在氮化鋁粉末之製造過程中進行，或者亦可在製造氮化鋁粉末後，以另外步驟進行。例如，以還原氮化法獲得之氮化鋁粉末，由於基於去除反應時使用之碳之目的而在製造過程中具有氧化處理步驟，故於表面同樣存在有氧化鋁層。對於以還原氮化法獲得之氮化鋁粉末亦可進而進行氧化處理步驟。
以另外步驟進行氧化處理步驟時，各條件如下。
藉由在含氧環境中，較好在400~1,000℃之溫度，更好在600~900℃之溫度下，加熱氮化鋁粉末較好10~600分鐘，更好30~300分鐘之時間，而可在粉末表面形成氧化鋁層。上述含氧環境可使用例如氧、空氣、水蒸氣、二氧化碳等，但針對與本發明目的之關係，在空氣中尤其在大氣壓下處理即已足夠。
上述氧化鋁層之厚度只要在不使氮化鋁粉末之熱傳導性顯著下降之範圍決定即可，只要以成為2~10nm，更好以成為3.6~8nm左右之厚度之方式調整即可。
本發明中，氮化鋁粉末之一次粒徑係依據其用途適當決定，並無特別限制。本發明中之氮化鋁粉末之一次粒徑，作為個數平均粒徑，較好為0.1~2μm左右。氮化鋁粉末具有氧化鋁層時，上述之粒徑包含氧化鋁層之厚度。
本發明中之氮化鋁粉末之BET比表面積較好為1~5m2/g之值。
本發明中之氮化鋁粉末之一次粒子形狀並無特別限制，可為例如不定形狀、球狀等之任意形狀。
〈磷酸化合物〉
本發明中使用之磷酸化合物為由磷酸、磷酸之金屬鹽及具有碳數12以下之有機基之有機磷酸所組成群組選出之至少一種。
上述磷酸除正磷酸(H3PO4)以外，亦包含焦磷酸(H4P2O7)、偏磷酸((HPO3)n，其中，n為表示縮合度之整 數)等之縮合磷酸之概念。
上述磷酸之金屬鹽可列舉為上述磷酸之鹼金屬鹽、鹼土類金屬鹽、鋁鹽、鎵鹽、鑭鹽等。上述鹼金屬鹽可列舉為例如鋰鹽、鉀鹽、鈉鹽等；上述鹼土類金屬鹽可列舉為例如鎂鹽、鈣鹽、鍶鹽、鋇鹽等。
上述具有碳數12以下之有機基之有機磷酸可列舉為例如甲基膦酸、乙基膦酸、丙基膦酸、丁基膦酸、戊基膦酸、己基膦酸、辛基膦酸、乙烯基膦酸、苯基膦酸、甲基磷酸、乙基磷酸、丙基磷酸、丁基磷酸、戊基磷酸、己基磷酸、辛基磷酸、月桂基磷酸、甲基丙烯酸氫磷醯氧基乙酯等。本發明中之有機磷酸，在該等中可例示較佳為具有碳數6以下之有機基之有機磷酸，更佳者為甲基膦酸、乙基膦酸、丙基膦酸、丁基膦酸、戊基膦酸、己基膦酸、乙烯基膦酸、苯基膦酸、甲基磷酸、乙基磷酸、丙基磷酸、戊基磷酸、己基磷酸及甲基丙烯酸氫磷醯氧基乙酯，最好為苯基膦酸。苯基膦酸具有以下之構造。
苯基膦酸具有進一步提高所得耐水性氮化鋁粉末對樹脂之親和性之效果。因此，使用苯基膦酸製造之耐水性氮化鋁粉末在製造含有其之散熱用複合材料時，即使提高該 耐水性氮化鋁粉末之填充率仍不會提高複合材料之黏度，故具有可以低黏度獲得熱傳導性高之複合材料之優點。
本發明中，如上述之磷酸化合物可僅使用一種，或者亦可併用兩種以上。
〈磷酸化合物處理步驟〉
本發明之方法為經過以使中位直徑/一次粒徑之比為1.4~5之方式分散於溶劑中之上述氮化鋁粉末與上述磷酸化合物接觸之磷酸化合物處理步驟者。
本發明之磷酸處理步驟為以中位直徑/一次粒徑之比成為1.4~5之方式，使上述氮化鋁粉末分散於溶劑中而成漿料狀態。上述中位直徑為相當於粉末之粒徑分布曲線中之中央值之粒徑，例如可以市售之雷射繞射散亂式粒度分布計(例如日機裝(股)，型號「MT3300」等)進行之粒度分布測定而求得。上述一次粒徑意指構成粉末之最小單位之粒子之個數平均值，例如可由以掃描型電子顯微鏡獲得之圖像獲知。具體而言，簡單係使用市售之掃描型電子顯微鏡(例如日本電子(股)製造，型號「JSM-5300」等)在倍率2千倍或1萬倍下進行粉體之攝影，且測定視野內之任意100個粒子之大小，且取其平均值之方法。該中位直徑/一次粒徑之比較好為1.4~4，更好為1.4~3。
中位直徑/一次粒徑之比大於4時，為賦予充分耐水性，需要加厚處理劑層，其結果，使所得耐水性氮化鋁粉末之熱傳導性下降，而難以達成本發明之目的。另一方 面，上述中位直徑/一次粒烴之比小於1.4時，因薄的處理劑層而使顯示高的耐水性之效果達到極限，故分散成本方面變得不利。且，自中位直徑/一次粒徑過小之分散狀態獲得之耐熱性氮化鋁粉末會出現將其應用於散熱用複合材料時，會產生黏度上升變大之問題。另外，中位直徑過小時，在磷酸化合物處理步驟後較好進行之乾燥步驟中，會有引起強的凝聚之情況。粉碎該凝聚體時會使沒有處理劑層之新表面露出，而有損及耐水性之虞。
用以獲得該高分散狀態之較佳裝置可例示為例如分散機、均質機、超音波分散機、濕式球磨機、濕式振動球磨機、濕式珠粒研磨機、高壓均質機(nanomizer)、高壓分散機等之衝撞分散機等。
本發明中，可使溶劑中之氮化鋁粉末自如上述般之分散漿料狀態與磷酸化合物接觸，或者亦可在溶劑中使氮化鋁及磷酸化合物二者共存而成為上述之分散漿料。不管任一種情況，直到經歷後述之較佳接觸時間為止較好均維持上述分散狀態。
本發明中之磷酸化合物處理步驟係藉由使如上述分散狀態下之氮化鋁粉末與磷酸化合物接觸，於前述氮化鋁粉末之表面上，以正磷酸離子換算以0.5~10mg/m2之比例存在前述磷酸化合物。氮化鋁粉末表面之前述磷酸化合物之較佳濃度以正磷酸離子換算計為0.8~6.0mg/m2。藉由成為該存在比例，可在氮化鋁粉末之表面形成均勻薄膜厚之磷酸化合物層，可在不損及氮化鋁之熱傳導性下提高耐水 性。
併用兩種以上之磷酸化合物時，上述磷酸化合物之濃度為針對磷酸化合物全部之合計濃度。
本發明中，磷酸化合物較好併用下列：由磷酸及磷酸之金屬鹽所組成群組選出之至少一種所成之第一磷酸化合物，及由具有碳數12以下之有機基之有機磷酸選出之至少一種所成之第二磷酸化合物。
第一磷酸化合物及第二磷酸化合物之合計濃度較好在上述範圍內。因此，第二磷酸化合物之濃度以正磷酸離子換算較好為0.002~1.5mg/m2之比例，更好為0.01~0.8mg/m2之比例。藉由成為該比例，可對所得耐水性氮化鋁粉末賦予疏水性，且可更提高對散熱用複合材料中樹脂之填充率。
該磷酸化合物之存在比例可藉例如感應耦合電漿發光分析(ICP-AES)、原子吸光分析等而容易地定量。
本發明中之磷酸化合物處理步驟中使用之溶劑較好為可溶解上述磷酸化合物之溶劑，可列舉為例如水、醇類、酯類、酮類、醚類等。該等溶劑之具體例，上述醇類可列舉為例如甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、異丁醇等；上述酯類可列舉為例如甲酸甲酯、甲酸乙酯、甲酸丙酯、甲酸丁酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯等； 上述酮類可列舉為例如丙酮、甲基乙基酮等；上述醚類可列舉為例如二噁烷、二乙醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚等。該等溶劑可僅使用一種，或亦可併用兩種以上。
本發明中之磷酸化合物處理步驟中，使用水作為溶劑，就不需要防爆設備、溶劑回收設備等之觀點而言係較佳。
磷酸化合物處理步驟中之溶劑中之氮化鋁粉末與磷酸化合物之接觸可為例如將氮化鋁粉末分散在含有期望之磷酸化合物溶液中之方法，使磷酸化合物溶解於分散有氮化鋁粉末之溶劑中之方法，混合分散有氮化鋁粉末之溶劑與含磷酸化合物之溶液之方法，使氮化鋁粉末及磷酸化合物二者存在於溶劑中之狀態下創造出上述分散狀態之方法等。
氮化鋁粉末與磷酸化合物之接觸中使用之溶劑之使用比例，相對於反應系統之總質量(由氮化鋁粉末、磷酸化合物及溶劑所成之漿料之合計質量)，氮化鋁粉末與磷酸化合物之合計質量所占之比例較好為成為10~70質量%之比例，更好為成為20~60質量%之比例。
溶劑中之氮化鋁粉末與磷酸化合物之接觸較好在0~100℃，更好在10~80℃之溫度下進行較好5分鐘~50小時，更好10分鐘~25小時。
磷酸化合物處理步驟結束後之氮化鋁粉末漿料不去除剩餘溶劑，或者以傾析法、過濾等適當之方法去除剩餘溶劑後，較好提供於後述之乾燥步驟(溶劑餾除步驟)。
磷酸化合物處理步驟結束後不自氮化鋁粉末漿料去除剩餘溶劑而供給於乾燥步驟之情況，由於磷酸化合物處理步驟中使用之磷酸化合物全部殘留在粉末表面，故該步驟中使用之磷酸化合物量可由所得耐水性氮化鋁粒子中之磷酸化合物之期望存在比例容易地計算。
另一方面，由磷酸化合物處理步驟結束後之氮化鋁粉末漿料去除剩餘溶劑，供給至乾燥步驟時，由於磷酸化合物中之一部分與溶劑一起排出於系統外，故磷酸化合物處理步驟中使用之磷酸化合物中僅一部分殘留在粉末表面。即便是該情況，仍可藉由上述之感應耦合電漿發光分析(ICP-AES)、原子吸光分析等，獲知所得耐水性氮化鋁粒子上之磷酸化合物之存在比例。據此，用以使表面存在期望比例之磷酸化合物之磷酸化合物處理步驟中應使用之磷酸化合物之最適量，可由熟悉本技藝者以少許之預備實驗求得。
-乾燥步驟-
如上述，在溶劑中與磷酸化合物接觸之氮化鋁粉末較好提供於後續之乾燥步驟(溶劑餾除步驟)中。
在常壓下進行該乾燥步驟時，較好採用將氮化鋁漿料加熱至80~300℃之溫度範圍之方法。加熱溫度較好為100~280℃，更好為120~250℃。減壓乾燥之加熱溫度可 依據減壓度適當設定。
乾燥步驟中之乾燥溫度太低時，乾燥不充分而有損及所得耐水性氮化鋁粉末之耐水性之情況。另一方面，乾燥溫度太高時，會有誘發氮化鋁粉末之凝聚，且使表面之磷酸化合物分解或蒸散之情況。乾燥時間較好為1~48小時，更好為6~24小時。
該乾燥步驟可使用習知之方法及裝置。例如可採用以烘箱在大氣壓下乾燥，以烘箱在減壓下乾燥，噴霧乾燥機、介質流動乾燥、具備乾燥機構之搖動混練機、犁刀混合機(ploughshare mixer)等。
-磷酸化合物處理步驟之實施樣態-
如上述之磷酸化合物處理步驟(及任意之該等後續乾燥步驟)可藉一階段進行，亦可藉二階段進行。以一階段進行磷酸化合物處理步驟時，磷酸化合物可僅使用一種，或亦可併用兩種以上。以二階段進行磷酸化合物處理步驟時，各步驟中使用之磷酸化合物分別可僅使用一種，亦可併用兩種以上；各步驟中使用之磷酸化合物可相同，或者亦可分別不同。
本發明中之磷酸化合物處理步驟之最佳樣態為使由磷酸及磷酸之金屬鹽所組成群組選出之至少一種所組成之第一磷酸化合物，及由具有碳數12以下之有機基之有機磷酸選出之至少一種所成之第二磷酸化合物，同時或以不同順序依序接觸之情況，最好為上述第一磷酸化合物為磷酸 (H3PO4)或磷酸鋁(AlPO4)，上述第二磷酸化合物為苯基膦酸，且使該等同時接觸之情況。
據此，以本發明之最佳樣態進行時，可獲得表面具有以磷酸與苯基膦酸所成之層，且該等之合計存在比例以正磷酸離子換算為0.5~10mg/m2，較好為0.8~6.0mg/m2，而且其中之苯基膦酸之存在比例以正磷酸離子換算為0.002~1.5mg/m2，較好為0.01~0.8mg/m2之比例之耐水性氮化鋁粉末。
〈耐水性氮化鋁粉末〉
依據上述本發明之方法，可獲得耐水性氮化鋁粉末。
以本發明方法獲得之耐水性氮化鋁粉末，其表面上存在以正磷酸離子換算為0.5~10mg/m2之比例之磷酸化合物。該磷酸化合物推測為較好透過氧化鋁層，以化學性或物理性或該等二者與氮化鋁粉末之表面結合者。
以本發明方法獲得之耐水性氮化鋁粉末顯示良好的耐水性，同時以高程度維持氮化鋁粉末既有之優異熱傳導性。據此該耐水性氮化鋁粉末可適當地使用作為散熱用複合材料之填充劑。
〈散熱用複合材料〉
以本發明方法獲得之耐水性氮化鋁粉末，藉由使其與樹脂混合，可較好地使用作為散熱用複合材料。
此處可使用之樹脂亦可例示為熱可塑性樹脂及熱硬化 性樹脂之任一種。上述熱可塑性樹脂可列舉為例如聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物、聚甲基戊烯、聚氯化乙烯、聚偏氯化乙烯、聚乙酸乙烯酯、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、聚乙烯醇、聚乙縮醛、氟樹脂(例如聚偏氟化乙烯、聚四氟乙烯等)、聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸二丁酯、聚2,6-萘二甲酸乙二酯、聚苯乙烯、聚丙烯腈、苯乙烯-丙烯腈共聚物、ABS樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂、改質PPE樹脂、脂肪族聚醯胺、芳香族聚醯亞胺、聚醯亞胺、聚醯胺醯亞胺、聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸酯(例如聚甲基丙烯酸甲酯等)、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯(例如聚丙烯酸甲酯等)、聚碳酸酯、聚苯硫醚、聚碸、聚醚碸、聚醚腈、聚醚酮、聚醚醚酮、聚酮、液晶聚合物、離子聚合物等；
上述熱硬化性樹脂可列舉為例如環氧樹脂、丙烯酸樹脂、胺基甲酸酯樹脂、聚矽氧樹脂、酚樹脂、醯亞胺樹脂、熱硬化型改質PPE、熱硬化型PPE等。
如前述，以本發明方法獲得之耐水性氮化鋁粉末與樹脂之親和性優異。因此，與樹脂混合時可提高其填充率。以本發明方法獲得之耐水性氮化鋁粉末，相對於樹脂100質量份，可混合60~85質量份，進而75~85質量份時，亦可高填充混合。
使用以本發明方法獲得之耐水性氮化鋁粉末製造之散熱用複合材料之用途可列舉為例如家電製品、汽車、筆記型電腦等使來自所搭載之半導體零件之發熱有效地散熱之 散熱構件之材料。該等具體例可列舉為例如散熱油脂、散熱凝膠、散熱片、相變薄片(Phase Change Sheet)、接著劑等。上述複合材料除該等以外，亦可使用作為例如金屬基底基板、印刷基板、可撓性基板等中使用之絕緣層；半導體封裝劑、隙間填料(under filler)、框體、散熱片等。
實施例
以下，以實施例及用途例具體說明本發明，但本發明並不限於該等例。
以下實施例中之各種試驗分別以下述方法進行。
〈中位直徑/一次粒徑〉
使用掃描型電子顯微鏡(JSM-5300，日本電子(股)製造)，在倍率2千倍或1萬倍下進行粉體之攝影，測定視野內任意100個粒子之大小，以其平均值作為一次粒徑。
中位直徑為下述各例中以離子交換水稀釋剛混合．分散後之漿料，不經超音波照射，使用雷射繞射散射式粒度分布計(MT3300，日機裝(股)製造)測定粒度分布而求得。
中位直徑對上述一次粒徑之比設為「中位直徑/一次粒烴」。
〈氮化鋁粉末表面之氧化鋁層之膜厚〉
使用X射線光電子分光裝置(ESCA5701ci/MC， ULVAC PHI公司製造)，分析深度設為10nm，測定表面粉末之N1S、O1S、及Al2P之光譜，由AlN與Al2O3之比求得Al2O3層之膜厚。
例如，若為AlN 50%、Al2O3 50%，則氧化膜厚計算為5nm(分析深度之50%)。
〈氮化鋁粉末之耐水性〉
將氮化鋁粉末2g及離子交換水100g倒入容量120mL之鐵氟龍(註冊商標)製密封容器(PFA耐壓罐，FLON工業(股)製造)中，在120℃靜置，以pH試紙測定6小時後、12小時後及24小時後之水之pH。此時，pH值成為10以上判斷喪失耐水性。將至該耐水性喪失為止之時間分類成未達6小時(<6)、6小時以上未達12小時(<12)、12小時以上未達24小時(<24)及24小時以上(≧24)四階段，將此作為耐水時間。
〈複合材料之黏度〉
針對以研缽混合氮化鋁粉末2.0g及環氧樹脂(ZX-1059，新日鐵化學(股)製造)0.91g而獲得之試料，使用流變計(AR2000ex，TA Instruments公司製造)，測定於25.5℃之黏度。
〈複合材料之熱傳導率〉
在研缽中混合氮化鋁粉末8.0g及環氧樹脂(JER807， 三菱化學(股)製造)2.2g以及適量之2-甲氧基乙醇(和光純藥工業(股)製造)後，使用棒塗佈器(PI-1210，TESTER產業(股)製造)，將前述混合物塗佈於PET薄膜上，在80℃加熱1小時後，再於150℃加熱3小時乾燥硬化，而形成膜厚約200~300μm之塗膜。
此處，改變試料中2-甲氧基乙醇之使用量，以使乾燥硬化後之塗膜之膜厚落在上述範圍之方式調整試料之黏度。
使用迅速熱傳導率計(QTM-500，京都電子工業(股)製造)測定上述獲得之膜之熱傳導率。參考例係使用石英玻璃、矽氧橡膠及氧化鋯。
實施例1
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸(H3PO4，特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)9.4g及水1.5kg後，使用高壓均質機(NMS-200L，Nanomizer(股)製造)，以壓力100MPa予以分散、混合。接著，針對該分散混合物，使用噴霧乾燥機(R-100，PRECI(股)製造)，在入口溫度200℃乾燥後，再於烘箱中餘120℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例2
使用超微磨碎機(attritor)(MA-01C，三井三池製作所(股)製造)分散．混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)7.1g及乙醇1.5kg後，在100℃乾燥15小時，藉此獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例3
使用振動球磨機(NEW RIGHT，中央化工機商事(股)製造)分散．混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)4.7g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)0.1g及異丙醇1.5kg後，在200℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例4
混合氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)5.0g、乙烯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)0.2g及水1kg，且使用超音波分散機(GSD600HAT， GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘進行4次超音波處理後，在150℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例5
使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘將氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、乙烯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)8.0g及水1kg進行4次超音波處理後，在150℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例6
使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘將氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、丙基膦酸(和光純藥工業(股)製造)9.2g及水1kg進行2次超音波處理後，在200℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例7
使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘將氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、甲基丙烯酸氫磷醯氧基乙酯(PHOSMER M，New Chemical(股)製造)8.0g及水1kg進行4次超音波處理後，在150℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
又，所謂甲基丙烯酸氫磷醯氧基乙酯為磷酸與甲基丙烯酸羥基乙酯之酯(單酯及二酯之混合物)。
實施例8
混合氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸鋁之水溶液(100L，換算氧化物之濃度為8.5wt%-Al2O3及33.0wt%-P2O5，多木化學(股)製造)15.0g及水1kg，且使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘進行3次超音波處理。針對超音波處理後之混合物，使用噴霧乾燥機(R-100，PRECI(股)製造)，以入口溫度200℃乾燥後，再以250℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例9
混合氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸鋁之水溶液(100L，換算氧化物之濃度為8.5wt%-Al2O3及33.0wt%-P2O5，多木化學(股)製造)15.0g、乙烯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)0.20g及水1kg，且使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘進行3次超音波處理。針對超音波處理後之混合物，使用噴霧乾燥機(R-100，PRECI(股)製造)，以入口溫度200℃乾燥後，再以250℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例10
混合氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸鋁之水溶液(100L，換算氧化物之濃度為8.5wt%-Al2O3及33.0wt%-P2O5，多木化學(股)製造)15.0g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)0.20g及水1kg，且使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘進行3次超音波處理。針對超音波處理後之混合物，使用噴霧乾燥機(R-100，PRECI(股)製造)，以入口溫度200℃乾燥後，再以250℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例11
使用超微磨碎機(MA-01C，三井三池製作所(股)製造)分散．混合氮化鋁粉末(UM級，BET比表面積1.1m2/g，東洋鋁業(股)製造)1kg、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)5.0g、乙醇1.5kg後，在120℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
實施例12
使用超微磨碎機(MA-01C，三井三池製作所(股)製造)分散．混合氮化鋁粉末(JD級，BET比表面積2.2m2/g，東洋鋁業(股)製造)1kg、磷酸(特級，和光純藥工業(股)製造)4.0g及乙醇1.5kg後，在120℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表1。
比較例1
氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表2。
比較例2
氮化鋁粉末(UM級，BET比表面積1.1m2/g，東洋鋁業(股)製造)之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表2。
比較例3
氮化鋁粉末(JD級，BET比表面積2.2m2/g，東洋鋁業(股)製造)之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表2。
比較例4
使用混練用混練機(ACM-5LVT，小平製作所(股)製造)，使氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)7.1g及水600g分散．混合30分鐘後，在120℃乾燥15小時，獲得經磷酸處理之氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表2。
比較例5
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)9.4g及水1.5kg後，使用 高壓均質機(NMS-200L，Nanomizer(股)製造)，以壓力150MPa分散．混合。接著，使該混合物在200℃乾燥後，再於烘箱中120℃下乾燥15小時，獲得經磷酸處理之氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表2。
比較例6
使用混練用混練機(ACM-5LVT，小平製作所(股)製造)，將氮化鋁粉末(JD級，BET比表面積2.2m2/g，東洋鋁業(股)製造)1kg、磷酸(和光純藥工業(股)製造)6.0g及水1.5kg分散．混合30分鐘後，在120℃乾燥15小時，獲得經磷酸處理之氮化鋁粉末。
所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表2。
實施例13
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.14g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)8.0mg及水20g後，在120℃乾燥15小時。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例14
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.160g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)4.0mg及乙醇20g後，在120℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例15
將氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.08g、苯基膦酸(和光純藥工業(股) 製造)4.0mg及異丙醇20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.2。接著使該漿料在100℃加熱15分鐘，去除異丙醇，而獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例16
在大氣壓下，將氮化鋁粉末(UM級，BET比表面積1.1m2/g，東洋鋁業(股)製造)於800℃加熱1小時，進行表面之氧化處理。所得氮化鋁粉末之BET比表面積為1.3m2/g，氧化鋁層之膜厚為5.5nm。
將該氧化處理後之氮化鋁粉末20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.060g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)9.0mg及二噁烷20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.5。接著使該漿料在200℃加熱15分鐘，去除二噁烷，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例17
將實施例16中進行表面氧化處理之氮化鋁粉末20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.035g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)0.7mg及水20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.2。接著使該漿料在200℃乾燥15分鐘，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例18
將實施例16中進行表面氧化處理之氮化鋁粉末20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.035g、苯基膦酸(和光純藥製造)0.7mg及水20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.2。接著使該漿料在200℃乾燥15分鐘，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例19
在大氣壓下，將氮化鋁粉末(JD級，BET比表面積2.2m2/g，東洋鋁業(股)製造)於800℃加熱1小時，進行表面之氧化處理。所得氮化鋁粉末之BET比表面積為2.3m2/g，氧化鋁層之膜厚為6.1nm。
接著將該氧化處理後之氮化鋁粉末20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.080g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)1.0mg及異丙醇20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.3。接著使該漿料在200℃乾燥15分鐘，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例20
將氮化鋁粉末(F級，BET比表面積3.4m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.20g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)9.0mg及二噁烷20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.4。接著使該 漿料在180℃乾燥15分鐘，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例21
在大氣壓下，於900℃加熱氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1小時，進行表面之氧化處理。所得氮化鋁粉末之BET比表面積為2.8m2/g，氧化鋁層之膜厚為6.6nm。
接著將該氧化處理後之氮化鋁粉末20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.10g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)15.0mg及二噁烷20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.4。接著使該漿料在180℃加熱15分鐘，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例22
混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸鋁之水溶液(100L，換算 氧化物之濃度為8.5wt%-Al2O3及33.0wt%-P2O5，多木化學(股)製造)15.0g、苯基膦酸0.20g及水1kg。針對該混合物，使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘進行3次超音波處理，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.2。
接著，針對上述獲得之漿料，使用噴霧乾燥機(R-100，PRECI(股)製造)，以入口溫度200℃乾燥後，再以250℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚，及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例23
混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)1kg、磷酸鋁之水溶液(100L，換算氧化物之濃度為8.5wt%-Al2O3及33.0wt%-P2O5，多木化學(股)製造)20.0g、苯基膦酸0.20g及水1kg，且使用超音波分散機(GSD600HAT，GINSEN(股)製造)，以流量0.5L/分鐘進行3次超音波處理，獲得漿料。所得漿料之中位直徑/一次粒徑之比為2.3。
接著，針對上述獲得之漿料，使用噴霧乾燥機(R-100，PRECI(股)製造)，以入口溫度200℃乾燥後，再以250℃乾燥15小時，獲得耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚，及所得氮化鋁粉末之耐 水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例24
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.15g及水20g後，在120℃乾燥15小時，獲得經磷酸處理之氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
實施例25
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.14g、月桂基磷酸(ML-200，東邦化學工業(股)製造)4mg及水20g後，在120℃乾燥15小時，獲得經月桂基磷酸處理之氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表3。
比較例7
將氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g， TOKUYAMA(股)製造)20g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)10mg及水20g倒入樣品瓶中，震盪1分鐘後，在超音波洗淨槽中經超音波照射15分鐘後，在200℃乾燥15小時，獲得經膦酸處理之耐水性氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表4。
比較例8
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.78g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)4mg及水20g後，在120℃乾燥15小時，獲得經苯基膦酸處理之氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表4。
比較例9
在研缽中混合氮化鋁粉末(H級，BET比表面積2.6m2/g，TOKUYAMA(股)製造)20g、磷酸(特級，純度85wt%，和光純藥工業(股)製造)0.02g、苯基膦酸(和光純藥工業(股)製造)4mg及水20g後，在120℃乾燥15小時，獲得經苯基膦酸處理之氮化鋁粉末。
原料粉末之氧化鋁層之膜厚、及所得氮化鋁粉末之耐水性及使用該氮化鋁粉末製造之複合材料之黏度及熱傳導率示於表4。
表4中亦一併列示上述比較例1~3之結果。
實施例26(分析例)
上述實施例16中製造之耐水性氮化鋁粉末中之磷酸及苯基膦酸之含有比例分別以下述方法定量。其結果，針對磷酸為1.87mg/m2，苯基膦酸為0.38mg/m2，均顯示與由饋入量計算之值一致。
上述數值均為換算成正磷酸離子之值。
〈磷酸之定量分析〉
將耐水性氮化鋁粉末0.25g及氫氧化鉀水溶液(濃度1(w/v)%)10ml注入鐵氟龍(註冊商標)製之耐壓容器中，在160℃保持16小時後，冷卻至室溫。將耐壓容器內之液體全部量移到100mL之計量燒瓶中，以超純水補足後，使用ICP發光分析裝置(島津製作所(股)製造，型號「ICPS-7510」)定量，將磷之含量換算成相當於耐水性氮化鋁粉末之每單位面積之正磷酸離子之量。
〈苯基膦酸之定量分析〉
將耐水性氮化鋁粉末1g、四氫呋喃2mL、矽烷化劑(市售品；六甲基二矽烷、三甲基氯矽烷及吡啶之混合物：GL Science(股)製造)0.5mL及作為內部標準之棕櫚酸甲酯(東京化學工業(股)製造)1μL注入試驗管中並經密栓。將其充分攪拌，在60℃靜置1小時後，以離心分離回收上澄液。針對該上澄液，進行氣相層析予以定量，將苯基膦酸三甲基矽烷基化合物之含量，換算成相當於耐水性 氮化鋁粉末之每單位面積之正磷酸離子之量。
[發明效果]
以本發明方法製造之耐水性氮化鋁粉末顯示良好的耐水性，同時可儘可能減低賦予該耐水性之處理劑層膜厚，為使用於散熱用複合材料時之黏度上升較少者。
因此，應用以本發明方法製造之耐水性氮化鋁粉末獲得之散熱用複合材料為熱傳導性極為優異者。

Claims (5)

  1. 一種耐水性氮化鋁粉末之製造方法，其特徵為施行磷酸化合物處理步驟，而使磷酸化合物以正磷酸離子換算為0.5~10mg/m2之比例存在於氮化鋁粉末之表面上；其中該磷酸化合物處理步驟係在溶劑中使氮化鋁粉末以中位直徑/一次粒徑之比成為1.4~5之方式分散於該溶劑，並使該氮化鋁粉末與選自由磷酸、磷酸之金屬鹽及具有碳數12以下之有機基之有機磷酸所成群之至少一種磷酸化合物接觸。
  2. 如請求項1之耐水性氮化鋁粉末之製造方法，其中前述磷酸化合物處理步驟為使該氮化鋁粉末，以同時或以任意順序依序與、由選自由磷酸及磷酸之金屬鹽所成群之至少一種所構成之第一磷酸化合物，及由選自具有碳數12以下之有機基之有機磷酸之至少一種所構成之第二磷酸化合物接觸之步驟。
  3. 如請求項1或2之耐水性氮化鋁粉末之製造方法，其中上述具有碳數12以下之有機基之有機磷酸為含有苯基膦酸者。
  4. 如請求項3之耐水性氮化鋁粉末之製造方法，其中前述氮化鋁粉末表面之該苯基膦酸之存在比例，以正磷酸離子換算為0.002~1.5mg/m2。
  5. 一種耐水性氮化鋁粉末，其特徵為藉由如請求項 1或2之耐水性氮化鋁粉末之製造方法而製造者。
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