TW201235783A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Katsuharu Inoue
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Sumitomo Chemical Co
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Description

201235783 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係於感光性樹脂組成物。 【先前技術】 對於近年來的液晶顯示面板等，稱爲間隙控制材料f PAoiospace；» )、光阻保護膜「overcoaf )及噴射「 ;用之隔壁的構件使用由感光性樹脂組成物所形成之圖型 ’或由感光性樹脂組成物所形成之塗膜。 作爲如此感光性樹脂組成物，在特開2 0 0 8 - 1 8 1 0 8 7號 公報已知含有樹脂、聚合性化合物、聚合啓始劑及溶劑， 作爲聚合性化合物僅含有二季戊四醇六丙烯酸酯Γ 的組成物。 特別爲將由感光性樹脂組成物所形成之圖型作爲間隙 控制材料使用時，該圖型必須具有除去加重時恢復至原來 形狀之機械特性，即必須具有柔軟性。該機械特性爲對於 將間隙控制材料賦予荷重時的變位量（總變位量），將此 解除時恢復原來形狀之變位量（彈性變位量）的比率之回 復率。 【發明內容】 然而’由過去所提之感光性樹脂組成物所得的圖型， 其回復率非必令人滿意。 本發明爲提供以下〔1〕〜〔9〕者。 -5- 201235783 〔1〕含有（A) 、（Bl) ' ( B2 ) 、 （C)及（D)之感 光性樹脂組成物。 (A )鹼（a /h /ί ；可溶性樹脂 (Β1)具有碳數2〜4的環狀醚結構及乙烯性不飽和 鍵之聚合性化合物 (Β2)與（Β1)相異的聚合性化合物 (C)聚合啓始劑 (D )溶劑 〔2〕（Β1)具有碳數2〜4的環狀醚及（甲基）丙嫌醯氧 基的聚合性化合物之〔1〕記載之感光性樹脂組成物。 〔3〕 （ Β1 )爲含有具有環氧乙烷基Γ 基及（甲 基）丙烯醯氧基之聚合性化合物或具有氧雜環丁基f oxefaw;；/ 基及（甲基）丙嫌酿氧基之聚合性化合物的[1 〕記載之感光性樹脂組成物。 〔4〕 （B2)爲分子內不具有環狀醚結構之（甲基）丙烯 酸酯的〔1〕乃至〔3〕中任一項記載之感光性樹脂組成物 〇 〔5〕 （B2)爲分子內未具有環狀醜結構，且具有3個以 上的（甲基）丙烯醯氧基之聚合性化合物的〔1〕乃至〔4 〕中任一項記載之感光性樹脂組成物。 〔6〕 （B1)的含有量對於（A)與（B2)之合計量而言 爲1質量％以上2 0質量％以下的〔1〕乃至〔5〕中任一項 記載之感光性樹脂組成物。 〔7〕 （A)爲含有選自不飽和羧酸及不飽和殘酸酐所成群 -6 - 201235783 之至少1種的結構單位、與選自來自具有碳數2〜4的環 狀醚結構及乙烯性不飽和鍵的單體之結構單位的加成聚合 物之〔1〕乃至〔6〕中任一項記載之感光性樹脂組成物。 〔8〕由〔1〕乃至〔7〕中任一項記載之感光性樹脂組成 物所形成之圖型。 〔9〕含有〔8〕記載之圖型的顯示裝置》 所謂本發明的感光性樹脂組成物，由該感光性樹脂組 成物所形成之圖型當除去加重時的回復率因較高，故機械 特性優良。_
本發明的感光性樹脂組成物係含有鹸可溶性樹脂（A )、具有碳數2〜4的環狀醚結構及乙烯性不飽和鍵之聚 合性化合物（B 1 )(以下有時稱爲「聚合性化合物（B 1 ) J )、與（B1)相異的聚合性化合物（B2)(以下有時稱 爲「聚合性化合物（B 2 )」）、聚合啓始劑（C )及溶劑 (D )之感光性樹脂組成物。且，本說明書中，作爲各成 分所例示的化合物若無特別限定，則可單獨或組合後使用 〇 使用於本發明的感光性樹脂組成物之樹脂爲鹼可溶性 樹脂（A )。其中’所謂鹼可溶性爲可溶解於鹼化合物之 水溶液的性質。作爲其中所謂的鹼化合物之水溶液，可舉 出由感光性樹脂組成物形成圖型時所得之顯像液。 作爲顯示前述鹼可溶性之樹脂，可舉出 樹脂（A-1):聚合選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐 所成群的至少1種（a )(以下有時稱爲「（ a )」）與具 201235783 有碳數2〜4的環狀醚結構與乙烯性不飽和鍵的單體（b) (以下有時稱爲「（b)」）所成的共聚物、 樹脂（A-2):聚合（a)及（b)、可共聚合之單體 (〇 (但（a )及（b )相異。）（以下有時稱爲「（ c ) 」）、（a)與（b)所成的共聚物、 樹脂（A-3 ):聚合（a)與（c)所成的共聚物、 樹脂（A-4 ):於聚合（a )與（c )所成的共聚物中 反應（b )所得之樹脂、 樹脂（A-5 ):於聚合（b )與（c )所成的共聚物中 反應（a )所得之樹脂等。 作爲鹼可溶性樹脂（A )，以選自樹脂（A-1 )及樹脂 (A-2)所成群的至少1種者爲佳，樹脂（Α_ι)爲較佳。 作爲（a)，具體可舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆 酸、〇-乙烯基安息香酸、m-乙烯基安息香酸、p-乙烯基安 息香酸等不飽和單羧酸類； 馬來酸、富馬酸、甲基順丁烯二酸、中康酸、衣康酸 、3 -乙烯基酞酸、4-乙烯基酞酸、3，4,5,6-四氫酞酸、 1，2,3，6-四氫酞酸、二甲基四氫酞酸、1、4-環己烯二羧酸 等不飽和二羧酸類； 含有甲基-5-降莰烯-2,3-二羧酸、5-羧基聯環〔2.2.1 〕庚-2-烯、5,6-二羧基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羧基- 5-甲基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羧基-5-乙基聯環〔2.2.1〕 庚-2-烯、5-羧基-6 -甲基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羧基- 6-乙基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯等羧基之聯環不飽和化合物類 201235783 馬來酸酐、甲基順丁烯二酸酐、衣康酸酐、3 -乙烯基 酞酸酐、4 -乙烯基酞酸酐、3,4,5,6-四氫酞酸酐、1，2,3,6-四氫酞酸酐、二甲基四氫酞酸酐、5,6-二羧基聯環〔2.2.1 〕庚-2 _烯無水物等不飽和二羧酸類無水物； 琥珀酸單〔2-(甲基）丙烯醯氧基乙基〕、酞酸單〔 2-(甲基）丙烯醯氧基乙基〕等2價以上的多元羧酸之不 飽和單〔（甲基）丙烯醯氧基烷基〕酯類； 如α-(羥基甲基）丙烯酸，於同一分子中含有羥基及 羧基的不飽和丙烯酸酯類等。 彼等中使用丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐等由共聚 合反應性的觀點或鹼溶解性的觀點來看爲佳。 對於本說明書，所謂「（甲基）丙稀酸」表示選自丙 烯酸及甲基丙烯酸所成群至少1種。「（甲基）丙烯醯基 」及「（甲基）丙烯酸酯」等亦表示具有相同意思。 (b)爲具有碳數2〜4的環狀醚結構（例如選自環氧 乙烷環、氧雜環丁烷環及四氫呋喃環所成群之至少1種） 之不飽和化合物，具有碳數2〜4的環狀醚結構與乙烯性 不飽和雙鍵之化合物爲佳，具有碳數2〜4的環狀醚結構 與（甲基）丙烯醯氧基之化合物爲更佳。該（b)係爲可 與上述之（a)或（c)進行共聚合者。 作爲（b) ’例如可舉出具有環氧乙烷基與乙烯性不 飽和鍵之單體（bl)(以下有時稱爲「（bl)」）、具有 氧雜環丁基與乙烯性不飽和鍵之單體（b2)(以下有時稱 -9 - 201235783 爲「（b2)」）、具有四氫呋喃基與乙烯性 體（b3 )(以下有時稱爲「（ b3 )」）等。 作爲（bl)，可舉出具有直鏈狀或分支 族烴經環氧基之結構與乙烯性不飽和鍵的琿 以下有時稱爲「（bl-Ι)」）、具有不飽和 氧基的結構與乙烯性不飽和鍵的單體（bl-: 稱爲「（bl-2)」）。 作爲（bl)以具有環氧乙烷基與（甲基 之單體爲佳，具有不飽和脂環式烴經環氧基 基）丙烯醯氧基的單體爲更佳。這些單體可 組成物的保存安定性更優良。 作爲（bl-Ι)，具體可舉出環氧丙基（ 酯、β-甲基環氧丙基（甲基）丙烯酸酯、β· (甲基）丙烯酸酯、環氧丙基乙烯基醚、〇. 環氧丙基醚、m-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、 基環氧丙基醚、α-甲基-〇-乙烯基苯甲基環拳 基-m-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-Ρ-環氧丙基醚、2，3-雙（環氧丙氧基甲基）萍 (環氧丙氧基甲基）苯乙烯、2,5-雙（環氧 苯乙烯、2，6-雙（環氧丙氧基甲基）苯乙烯 氧丙氧基甲基）苯乙烯、2，3,5-參（環氧丙 乙烯、2，3,6-參（環氧丙氧基甲基）苯乙烯 氧丙氧基甲基）苯乙烯、2，4,6-參（環氧丙 乙烯、特開平7-248 625號公報所記載之化合 :不飽和鍵之單 :狀不飽和脂肪 [體（bl-Ι)( 脂環式烴經環 ί )(以下有時 )丙烯醯氧基 之結構與（甲 使感光性樹脂 甲基）丙烯酸 -乙基環氧丙基 -乙烯基苯甲基 Ρ-乙稀基苯甲 ，丙基醚、α-甲 乙烯基苯甲基 ί乙烯、2,4-雙 丙氧基甲基） 、2,3,4-參（環 氧基甲基）苯 、3,4,5-參（環 氧基甲基）苯 •物等。. - -10- 201235783 作爲（bl-2)，可舉出乙烯基環己烯單氧化物、1,2-環氧基-4-乙烯基環己烷、3,4-環氧基環己基甲基丙烯酸酯 、3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 '式（I)所示化合 物、式（Π)所示化合物等。 Ο 〇
〔式（I)及式（Π)中，R1及R2彼此獨立表示氫原 子、或碳數1〜4的烷基，含於該烷基之氫原子可被羥基 取代。 X1及X2彼此獨立表示單鍵、-R3-、*-R3-〇-、*-R3-S-、*-r3-nh-。 R3表示碳數1〜6的烷二基。 *表示與0之結合鍵〕。 作爲碳數1〜4的烷基，具體可舉出甲基、乙基、n-丙基、異丙基、η-丁基、第二丁基、第三丁基等。 作爲羥基烷基，可舉出羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥 基乙基、1-羥基丙基、2-羥基丙基、3-羥基丙基、1-羥基-1-甲基乙基、2-羥基-1-甲基乙基、1-羥基丁基、2-羥基丁 基、3-羥基丁基、4-羥基丁基等。 作爲R1及R2,較佳可舉出氫原子、甲基、羥基甲基 、丨-羥基乙基、2-羥基乙基，更佳可舉出氫原子、甲基。 作爲烷二基，可舉出伸甲基、伸乙基、丙烷-1,2-二基 -11 - 201235783 、丙烷-1，3-二基、丁烷-u·二基、戊烷_丨，5_二基、己烷 1,6-二基等。 作爲X1及X2，較佳可舉出單鍵、伸甲基、伸乙基、 *-CH2-0-(*表示與〇之結合鍵）基、*_Ch2Ch2-〇_基更 佳可舉出單鍵、*-CH2CH2-0-基。 作爲式（I)所示化合物，可舉出式（1-丨）〜式（工 15)中任一所示化合物等。較佳可舉出式（μ)、式（1 3)、式（1-5)、式（、式（1-9)或式（l-U )〜式 (I-〗5)所示化合物。更佳可舉出式、式（Ι·7) 、式（I- 9 )或式（I _丨5 )所示化合物。 i?
〇 II
o II Η2〇=ΟΗ—C—〇 H 2C=CH —C O —CH2 H 2C=CH—C —〇—C2H4 o II H2C =CH—C~0 —C2H4—1 CH3〇 I II H 20=0-0一O CH30 C—0一CH2 CH30 I II Η2〇=〇—C—O—C2H4
(1-7) (Ml)
O II H2〇=CH -C —O—C2H4—s o II Η2〇=ΟΗ —C —〇一C2H4—N ch3〇 I II H2〇=C一C—O—C2H4—s
I II H2C ==C—C —O 一 (M3)
(1.15) CH3o I II H2°=c—C-〇-C2H4 -Η2〇=0—C 一。—ο kiXy a-ίο)
-12- 201235783 作爲式（II)所示化合物，可舉出式（Π-1 )〜式（ 11-15 )中任一所示化合物等。較佳可舉出式（II-1 )、式 (II-3 )、式（II-5)、式（II-7)、式（II-9 )或式（II- 11)〜式（11-15)所示化合物。更佳可舉出式（II-1)、 式（II-7 )、式（Π-9 )或式（II-1 5 )所示化合物。 Ο 〇
CH3〇 I II H2C—C—C—Ο一ο
式（I)所示化合物及式（II)所示化合物各可單獨作 爲（b 1 -2 )使用。又，這些可以任意比率下混合，亦可作 爲（b 1 -2 )使用。混合時，該混合比率以莫耳比表示時， 較佳爲式（I):式（II)爲5: 95〜95: 5，更佳爲10: 90 〜90: 10，特佳爲 20: 80 〜80: 20。 -13- 201235783 作爲（b2)，以具有氧雜環丁基與（甲基）丙烯醯氧 基之單體爲佳。作爲（b2 )，例如可舉出3-甲基-3-(甲 基）丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-(甲基）丙烯 醯氧基甲基氧雜環丁烷、3 -甲基- 3-(甲基）丙烯醯氧基乙 基氧雜環丁烷、3-乙基-3-(甲基）丙烯醯氧基乙基氧雜環 丁院等。 作爲（b3)以具有四氫呋喃基與（甲基）丙烯醯氧基 之單體爲佳。 作爲（b3)，具體可舉出四氫糠基丙烯酸酯（例如， 彼氏可特 V#150、大阪有機化學工業（股）(Osaka Orga/ti'c C/iemi'cfl/ )製）、四氫糖基甲基丙 烯酸酯等。 作爲（c)，可舉出（甲基）丙烯酸酯類、N-取代馬 來亞醯胺類、不飽和二羧酸二酯類、脂環式不飽和化合物 類、苯乙烯類、其他乙烯基化合物等。 作爲（甲基）丙烯酸酯類，可舉出甲基（甲基）丙烯 酸酯、乙基（甲基）丙烯酸酯、η-丁基（甲基）丙烯酸酯 、第二丁基（甲基）丙烯酸酯、第三丁基（甲基）丙烯酸 酯等烷基酯類； 環己基（甲基）丙烯酸酯、2-甲基環己基（甲基）丙 烯酸酯、三環〔5.2.1.02’6〕癸烷-8-基（甲基）丙烯酸酯 (該技術領域中作爲慣用名被稱爲二環戊基（甲基）丙烯 酸酯。）、三環〔5.2.1.02’6〕癸烯-8-基（甲基）丙烯酸 酯（該技術領域中作爲慣用名被稱爲二環戊烯基（甲基） -14 - 201235783 丙烯酸酯。）、二環戊氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、異莰 基（甲基）丙烯酸酯等環烷基酯類； 2-羥基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基丙基（甲基） 丙烯酸酯等羥基院基酯類； 苯基（甲基）丙烯酸酯、苯甲基（甲基）丙烯酸酯等 芳基及芳烷基酯類等。 作爲不飽和二羧酸二酯類可舉出馬來酸二乙酯、富馬 酸二乙酯、衣康酸二乙酯等。 作爲N-取代馬來亞醯胺類，可舉出N-苯基馬來亞醯 胺' N-環己基馬來亞醯胺、N-苯甲基馬來亞醯胺、N-琥珀 醯亞胺-3-馬來亞醯胺苯甲酸酯、N -琥珀醯亞胺-4 -馬來亞 醯胺丁酸酯、N -琥珀醯学胺-6 -馬來亞醯胺己酸酯N -琥珀 醯亞胺-3 -馬來亞醯胺丙酸酯、N - ( 9 -吖啶基）馬來亞醯胺 等。 作爲脂環式不飽和化合物類，可舉出聯環〔2,2·1〕 庚-2-烯、5 -甲基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5 -乙基聯環〔 2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基甲 基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-(2’-羥基乙基）聯環〔2.2.1 〕庚-2 -烯、5_甲氧基聯環〔2.2.1〕庚烯、5·乙氧基聯 環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二羥基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、 5,6-二（羥基甲基）聯環〔2.2_1〕庚-2-烯' 5,6-二（2’-羥 基乙基）聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5,6-二甲氧基聯環〔 2.2_1〕庚-2-烯、5,6-二乙氧基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基-5·甲基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基-5-乙基聯環〔 -15- 201235783 2.2.1〕庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基聯環〔2,2.1〕庚-2-烯 、5-第三丁氧基羰基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-環己氧基羰 基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5-苯氧基羰基聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、5，6-雙（第三丁氧基羰基）聯環〔2.2.1〕庚-2-烯、 5,6-雙（環己氧基羰基）聯環〔2.2.1〕庚-2-烯等聯環不飽 和化合物類等。 作爲苯乙烯類，可舉出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、m-甲 基苯乙烯、p-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、p_甲氧基苯乙烯 等。 作爲其他乙烯基化合物，可舉出（甲基）丙烯腈、氯 化乙烯基' 氯化亞乙烯、（甲基）丙烯醯胺、乙酸乙烯酯 、1，3· 丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1，3-丁二烯等。 作爲（c)使用苯乙烯、N -苯基馬來亞醯胺、N -環己 基馬來亞醯胺、N -苯甲基馬來亞醯胺、二環戊烯基（甲基 )丙烯酸酯、聯環〔2.2.1〕庚_2_烯等由共聚合反應性及 鹼溶解性的觀點來看爲佳。 對於樹脂（A-1) ’來自各單體之結構單位的比率對 於構成樹脂（A-1 )之結構單位合計莫耳數而言，以以下 範圍者爲佳。 來自（a)的結構單位；5〜60莫耳％ (較佳爲〜5〇 莫耳％ ) 來自（b)的結構單位；40〜95莫耳％ (較佳爲50〜 90莫耳％) 樹脂（Α· 1 )的結構單位之比率若在上述範圍時，感 -16- 201235783 光性樹脂組成物的保存安定性、形成圖型時的顯像性、以 及圖型之耐溶劑性、耐熱性及機械強度有成爲良好之傾向 〇 作爲樹脂（A-1 ) ，（ b )爲（bl )之樹脂（A-ι )爲 佳，（b)爲（bl-2)之樹脂（A-1)爲較佳。 樹脂（A-1)，例如可參考文獻「高分子合成之實驗 法J (大津隆行著發行所（股）化學同人第1版第1 刷1972年3月1日發行）所記載之方法及該文獻所記載 之引用文獻而製造。 具體可例示將（a)及（b)的所定量、聚合啓始劑及 溶劑等加入於反應容器中，例如藉由由氮取代大氣中的氧 ，使其成爲脫氧環境，一邊攪拌，一邊加熱及保溫的方法 。且，其中所使用的聚合啓始劑及溶劑等並無特別限定， 可使用該領域中一般使用者即可。例如作爲聚合啓始劑， 可舉出偶氮化合物（2,2’-偶氮二異丁腈、2,2’-偶氮雙（ 2，4-二甲基戊腈）等）或有機過氧化物（苯醯過氧化物等 )，作爲溶劑，若可溶解各單體者即可，作爲感光性樹脂 組成物的溶劑可使用後述溶劑（D )等。欲調整所得之樹 脂的分子量，在聚合反應時可加入連鎖移動劑。作爲連鎖 移動劑，可舉出η-丁烷硫醇、第三丁烷硫醇、η-十二烷硫 醇、2-磺醯基乙醇、硫乙醇酸、硫乙醇酸乙酯、硫乙醇酸 2-乙基己基、硫乙醇酸甲氧基丁基、3-磺醯基丙酸、含有 磺醯基之聚矽氧（KF-200 1 :信越化學製）等硫醇類；氯 仿、四氯化碳、四溴化碳等鹵素化烷基類等。 -17- 201235783 且，所得之共聚物爲將反應後的溶液直接使用於後述 感光性樹脂組成物的調製，或使用經濃縮或稀釋的溶液， 再沈澱等方法取出固體（粉體）者。特別作爲該聚合時的 溶劑’因使用與後述溶劑（D )之相同溶劑，可直接使用 反應後的溶液，可將製造步驟簡略化。 對於樹脂（A-2 )，來自各單體之結構單位的比率對 於構成樹脂（A-2 )之全結構單位合計莫耳數而言，以以 下範圍時爲佳。 來自（a)的結構單位；2〜40莫耳％ (較佳爲5〜35 莫耳％ ) 來自（b)的結構單位：2〜95莫耳％ (較佳爲5〜80 莫耳％ ) 來自（c)的結構單位；1〜65莫耳％ (較佳爲1〜60 莫耳％ ) 樹脂（A-2 )的結構單位比率若在上述範圍時，感光 性樹脂組成物的保存安定性、形成圖型時的顯像性、以及 圖型的耐溶劑性及耐熱性有成爲良好之傾向。 作爲樹脂（A-2 ) ’ （ b )爲（bl )之樹脂（A-2 )爲 佳’ （b)爲（bl-2)之樹脂（A-2)爲更佳。 樹脂（A-2 )可藉由與樹脂（A-1 )同樣之方法而製造 〇 對於樹脂（A-3 )，來自各單體的結構單位比率對於 構成樹脂（A 1 -1 )之全結構單位合計莫耳數而言，以以下 範圍時爲佳。 -18- 201235783 來自（a )的結構單位；2〜4 0莫耳％ (較佳爲5〜 莫耳％ ) 來自（c)的結構單位；60〜98莫耳％ (較佳爲65 95莫耳％) 樹脂（A-3)的結構單位比率爲上述範圍時，感光 樹脂組成物的保存安定性、形成圖型時的顯像性、圖型 耐溶劑性有成爲良好之傾向。 樹脂（A-3)可藉由與樹脂（A-丨）之同樣方法而製 〇 樹脂（A-4 )爲於（a)與（c)之共聚物反應（b) 得之樹脂。 樹脂（A-4 )例如可經由二段階之步驟製造。此時 參考上述文獻「高分子合成的實驗法」（大津隆行著 行所（股）化學同人第1版第1刷1972年3月1日 行）所記載之方法、特開2 0 0 1 _ 8 9 5 3 3號公報所記載之 法等而製造。 首先，作爲第一段階，與上述樹脂（A-1)的製造 法同樣下，得到（a )與（c )之共聚物。 此時，與上述同樣地，所得之共聚物可直接使用反 後之溶液、或使用經濃縮或稀釋的溶液，亦可使用以再 澱等方法取出之固體（粉體）者。又，以與上述相同的 苯乙烯換算之重量平均分子量及分子量分佈〔重量平均 子量（Mw) /數平均分子量（Μη)〕時爲佳。 然而，（a)及來自（c)的結構單位比率對於構成 3 5 性 的 造 所 可 發 發 方 方 應 沈 聚 分 前 -19- 201235783 述共聚物之全結構單位的合計莫耳數而言，以上 爲佳。 來自（a )的結構單位：5〜5 0莫耳％ (較佳 莫耳％ ) 來自（c )的結構單位：50〜95莫耳％ (較 90莫耳％) 其次，作爲第二段階，將來自所得之共聚 之羧酸及羧酸酐一部份，與前述（b)的環狀g 。因環狀醒的反應性商’不容易殘存未反應的 作爲使用於樹脂（A1-2 )的（b )以（bl )或, ，（：bl-Ι )爲更佳。 具體而言，繼續上述將燒杯內環境，自氮目 ，將對於（a)之莫耳數而言爲5〜80莫耳％之 基與環狀醚之反應觸媒（例如參（二甲基胺基弓 )對於（a) 、（b)及（c)之合計量而言爲〇. 量％、及聚合禁止劑（例如氫醌等）對於（a ) (c)之合計量而言爲0.001〜5質量％放入燒杯 〜1 3 0°C下，進行1〜1 〇小時反應，可得到樹辟 。且’與聚合條件同樣地，考慮到因製造設備g 熱量等，可適宜地調整裝入方法或反應溫度。 又’此時（b)的莫耳數對於（a)的莫耳數 〜75莫耳％爲佳’較佳爲〗5〜7〇莫耳％。藉由泊 ’感光性樹脂組成物的保存安定性、形成圖型聘 及感度、以及圖型的耐溶劑性及耐熱性之平衡窄 乂下範圍者 :爲1 0〜45 佳爲5 5〜 物的（a ) R進行反應 (b )，各 :b2 )爲佳 3空氣取代 (b)，羧 3基）酚等 00 1〜5質 、（b )及 內，在60 f ( A1-2 ) I聚合之發 而言以1 〇 i該範圍時 ;的顯像性 •變的良好 -20- 201235783 之傾向。 作爲樹脂（A·4 )的具體例，可舉出於（甲基）丙烯 酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲 基）丙烯酸酯進行反應之樹脂、於（甲基）丙烯酸/苯甲 基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸 酯進行反應之樹脂、於（甲基）丙烯酸/環己基（甲基） 丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應 之樹脂、於（甲基）丙烯酸/苯乙烯的共聚物使環氧丙基 (甲基）丙烯酸酯進行反應之樹脂、於（甲基）丙烯酸/ (甲基）丙烯酸甲基的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸 酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/N-環己基馬來亞 醯胺的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹 脂、於（甲基）丙烯酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲 基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸 醋進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/二環戊基（甲基 )两烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙 基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸 /二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使環氧丙基 (甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/ 二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ (甲基）丙烯酸甲基的共聚 物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲 基）丙烯酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞 Μ胺的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹 脂、於巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環 -21 - 201235783 氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂； 於巴豆酸/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧 丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/環己 基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸 酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/苯乙烯的共聚物使環氧丙 基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/巴豆酸 甲基的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹 脂 '於巴豆酸/N-環己基馬來亞醯胺的共聚物使環氧丙基 (甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/二環戊基 (甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/ 二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸酯的 共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使環 氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/二 環戊基（甲基）丙烯酸酯/巴豆酸甲基的共聚物使環氧丙 基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/二環戊 基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯胺的共聚物使環 氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂； 於馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環 氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/苯 甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯 酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/環己基（甲基）丙烯酸 酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂 -22- 201235783 、於馬來酸/苯乙烯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸 酯進行反應的樹脂、於馬來酸/馬來酸甲基的共聚物使環 氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/N_ 環己基馬來亞醯胺的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯 進行反應的樹脂、於馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ 苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯進行反應的樹脂 '於馬來酸/二環戊基（甲基）丙 烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（ 甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/二環戊基（ 甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/二環戊基（甲基）丙 烯酸酯/馬來酸甲基的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸 酯進行反應的樹脂、於馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸 酯/N-環己基馬來亞醯胺的共聚物使環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯進行反應的樹脂； 於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯 酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹 脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/苯甲基（甲基）丙烯酸 酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂 、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/環己基（甲基）丙烯酸酯 的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、 於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/苯乙烯的共聚物使環氧丙基 (甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/ 馬來酸酐/ (甲基）丙烯酸甲基的共聚物使環氧丙基（甲 -23- 201235783 基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來 酸酐/N-環己基馬來亞醯胺的共聚物使環氧丙基（甲基） 丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/ 二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的 共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 (甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環 己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯 酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環 戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使環氧丙基（甲 基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來 酸酐/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ (甲基）丙烯酸甲基的 共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 (甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯胺的共聚物使環氧丙基（甲基）丙烯酸酯 進行反應的樹脂； 於（甲基）丙烯酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯的共 聚物使3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹 脂、於（甲基）丙烯酸/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚 物使3,4_環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂 、於（甲基）丙烯酸/環己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物 使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、 於（甲基）丙烯酸/苯乙烯的共聚物使3，4-環氧基環己基 甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/ (甲基）丙烯酸甲基的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲 -24- 201235783 基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/N -環己 基馬來亞醯胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯 酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/二環戊基（甲 基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲 基）丙烯酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環己基（甲基） 丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/二環戊基（甲基） 丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基 丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/二環戊基 (甲基）丙烯酸酯/ (甲基）丙烯酸甲基的共聚物使3，4· 環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲 基）丙烯酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞 醯胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行 反應的樹脂； 於巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 3,4_環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 巴豆酸/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4 -環氧基 環己基甲基甲基丙嫌酸醋進行反應的樹脂、於巴豆酸/環 己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4 -環氧基環己基甲基 甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/苯乙烯的共聚 物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂 、於巴豆酸/巴豆酸甲基的共聚物使3,4-環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/N-環己基馬 -25- 201235783 來亞醯胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 進行反應的樹脂、於巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ 苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於巴豆酸/二環戊基（ 甲基）丙烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使 3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/巴豆酸甲基的共聚物 使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、 於巴豆酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯 胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反 應的樹脂； 於馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 馬來酸/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3，4-環氧基 環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/環 己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基 甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/苯乙烯的共聚 物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂 、於馬來酸/馬來酸甲基的共聚物使3,4-環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/N-環己基馬 來亞醯胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 進行反應的樹脂、於馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ -26- 201235783 苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4_環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於馬來酸/二環戊基（ 甲基）丙烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂 '於 馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使 3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/馬來酸甲基的共聚物 使3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、 於馬來酸/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯 胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反 應的樹脂； 於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯 酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行 反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/苯甲基（甲基 )丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸 酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/環己基 (甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基 丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/ 苯乙烯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進 行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/ (甲基）丙 烯酸甲基的共聚物使3,4·環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/N-環己基 馬來亞醯胺的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸 酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊 -27- 201235783 基（甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙烯酸酯的共聚物 使3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、 於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ 環己基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使3,4-環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬 來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯的共聚物使 3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂、於 (甲基）丙烯酸/馬來酸酐/二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ ( 甲基）丙烯酸甲基的共聚物使3,4-環氧基環己基甲基甲基 丙烯酸酯進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸/馬來酸酐/ 二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯胺的共聚 物使3,4_環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯進行反應的樹脂 等。 樹脂（A-5 )作爲第一段階，與上述樹脂（A-1 )的製 造方法同樣下得到（b )與（c )之共聚物。 此時，與上述同樣地，所得之共聚物可直接使用反應 後之溶液或使用經濃縮或稀釋的溶液，亦可使用經再沈澱 等方法所取出之固體（粉體）。 來自（b)及（c)的結構單位比率於構成前述共聚物 之全結構單位的合計莫耳數而言’以以下範圍者爲佳》 來自（b)的結構單位；5〜95莫耳％ (較佳爲10〜90 莫耳％ ) 來自（c )的結構單位；5〜9 5莫耳％ (較佳爲丨〇〜9 0 莫耳％ ) -28- 201235783 且’與樹脂（A-4)的製造方法同樣下，可於（b)與 來自共聚物中之（b)的環狀酸，反應具有（a)之竣酸或 羧酸酐而得。亦可於藉由環狀醚與羧酸或羧酸酐之反應所 產生的羥基，進一步反應羧酸酐。 於前述的共聚物反應之（a)的使用量對於（b)的莫 耳數而言以5〜80莫耳％爲佳。環狀醚的反應性高，不容 易殘存未反應的（b )，故作爲（b )以（b 1 )爲佳，以（ bl-Ι )爲更佳。 作爲樹脂（A-5)之具體例，可舉出於二環戊基（甲 基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使（ 甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於苯甲基（甲基）丙烯酸 酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯 酸進行反應的樹脂、於環己基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙 基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應 的樹脂、於苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物 使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸甲 基/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙燒 酸進行反應的樹脂、於N-環己基馬來亞醯胺/環氧丙基（ 甲基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹 脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙嫌 酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙 烯酸進行反應的樹脂 '於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環 己基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共 聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲 -29- 201235783 基）丙烯酸酯/苯乙嫌/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚 物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於（二環戊基（甲 基）丙烯酸酯/ (甲基）丙烯酸甲基/環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於二 環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯胺/環氧丙基 (甲基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的 樹脂； 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於苯甲基（甲 基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使巴 豆酸進行反應的樹脂、於環己基（甲基）丙烯酸酯/環氧 丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂 、於苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使巴豆 酸進行反應的樹脂、於巴豆酸甲基/環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於N-環己基 馬來亞醯胺/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使巴豆 酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲 基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚 物使巴豆酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸 酯/環己基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯 的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基） 丙烯酸酯/苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 巴豆酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ 巴豆酸甲基/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使巴豆 -30- 201235783 酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/…環 己基馬來亞醯胺/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 巴豆酸進行反應的樹脂； 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於苯甲基（甲 基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使馬 來酸進行反應的樹脂、於環己基（甲基）丙烯酸酯/環氧 丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂 、於苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使馬來 酸進行反應的樹脂、於馬來酸甲基/環氧丙基（甲基）丙 烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於N_環己基 馬來亞醯胺/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使馬來 酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲 基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚 物使馬來酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸 酯/環己基（甲基）丙嫌酸酯/環氧丙基（甲基）丙稀酸酯 的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於二.環戊基（甲基） 丙烯酸酯/苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 馬來酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸醋/ 馬來酸甲基/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使馬來 酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N_環 己基馬來亞醯胺/環氧丙基（甲基）丙儲酸酯的共聚物使 馬來酸進行反應的樹脂： 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙 -31 - 201235783 烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行 樹脂、於苯甲基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲 烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行 樹脂、於環己基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（甲 烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行 樹脂、於苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共 (甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於（ 丙烯酸甲基/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物 基）丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於（N-環 來亞醯胺/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 )丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於二環戊基 )丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙烯酸酯/環氧丙基（ 丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進 的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環己基（ 丙烯酸酯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 )丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於二環戊基 )丙烯酸酯/苯乙烯/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的 使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於 基（甲基）丙烯酸酯/ (甲基）丙烯酸甲基/環氧丙 基）丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸 反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/N-環 來亞醯胺/環氧丙基（甲基）丙烯酸酯的共聚物使 )丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂； 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/3，4-環氧基環己 反應的 基）丙 反應的 基）丙 反應的 聚物使 甲基） 使（甲 己基馬 (甲基 (甲基 甲基） 行反應 甲基） (甲基 (甲基 共聚物 二環戊 基（甲 酐進行 己基馬 (甲基 基甲基 -32- 201235783 甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂 '於苯甲基（甲基）丙烯酸酯/3，4-環氧基環己基甲基甲基 丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於 環己基（甲基）丙烯酸酯/3，4-環氧基環己基甲基甲基丙烯 酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於苯乙 烯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基 )丙烯酸進行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸甲基/3,4-環 氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸 進行反應的樹脂、於N-環己基馬來亞醯胺/3,4-環氧基環 己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反 應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基 )丙烯酸酯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物 使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基） 丙烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸酯/3,4-環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹 脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯乙烯/3，4_環氧基環 己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反 應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/(甲基）丙烯 酸甲基/ 3,4 -環氧基環己基甲基甲基丙稀酸酯的共聚物使（ 甲基）丙烯酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯 酸酯/N-環己基馬來亞醯胺/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙 烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸進行反應的樹脂； 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ 3,4-環氧基環己基甲基 甲基丙烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於苯甲 -33. 201235783 基（甲基）丙烯酸酯/ 3,4-環氧基環己基甲基甲基丙 的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於環己基（甲 烯酸酯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚 豆酸進行反應的樹脂、於苯乙烯/3,4 -環氧基環己基 基丙烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於 甲基/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物 酸進行反應的樹脂、於N-環己基馬來亞醯胺/3，4-環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反 脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基 酸酯/ 3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物 酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酉 基（甲基）丙烯酸酯/ 3,4-環氧基環己基甲基甲基丙 的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於二環戊基（ 丙烯酸酯/苯乙烯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯 共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲 烯酸酯/巴豆酸甲基/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙 的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂、於二環戊基（ 丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯胺/3,4-環氧基環己基 基丙烯酸酯的共聚物使巴豆酸進行反應的樹脂； 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/3，4-環氧基環己 甲基丙烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、 基（甲基）丙烯酸酯/3，4-環氧基環己基甲基甲基丙 的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於環己基（甲 烯酸酯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚 烯酸酯 基）丙 物使巴 甲基甲 巴豆酸 使巴豆 環氧基 應的樹 )丙烯 使巴豆 旨/環己 烯酸酯 甲基） 酸酯的 基）丙 嫌酸酯 甲基） 甲基甲 基甲基 於苯甲 烯酸酯 基）丙 物使馬 -34- 201235783 來酸進行反應的樹脂、於苯乙烯/ 3,4 -環氧基環己基甲基甲 基丙烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於馬來酸 甲基/ 3,4 -環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使馬來 酸進行反應的樹脂、於N-環己基馬來亞醯胺/3,4-環氧基 環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹 脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯甲基（甲基）丙烯 酸酯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使馬來 酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環己 基（甲基）丙烯酸酯/ 3,4_環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基） 丙烯酸酯/苯乙烯/ 3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的 共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙 烯酸酯/馬來酸甲基/ 3,4 -環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基） 丙烯酸酯/N-環己基馬來亞醯胺/ 3,4-環氧基環己基甲基甲 基丙烯酸酯的共聚物使馬來酸進行反應的樹脂； 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/3,4-環氧基環己基甲基 甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行 反應的樹脂、於苯甲基（甲基）丙烯酸酯/ 3,4 -環氧基環己 基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸 酐進行反應的樹脂、於環己基（甲基）丙烯酸酯/3,4 -環氧 基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙嫌酸及 馬來酸酐進行反應的樹脂 '於苯乙烯/3,4 -環氧基環己基甲 基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進 -35- 201235783 行反應的樹脂、於（甲基）丙烯酸甲基/3，4-環氧基環己基 甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐 進行反應的樹脂、於N-環己基馬來亞醯胺/3,4-環氧基環 己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來 酸酐進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/苯 甲基（甲基）丙烯酸酯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸 酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂 、於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/環己基（甲基）丙烯酸 酯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基 )丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基 )丙烯酸酯/苯乙烯/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯 的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、 於二環戊基（甲基）丙烯酸酯/ (甲基）丙烯酸甲基/3,4-環氧基環己基甲基甲基丙烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯 酸及馬來酸酐進行反應的樹脂、於二環戊基（甲基）丙烯 酸酯/N-環己基馬來亞醯胺/ 3,4-環氧基環己基甲基甲基丙 烯酸酯的共聚物使（甲基）丙烯酸及馬來酸酐進行反應的 樹脂等。 鹼可溶性樹脂（A)的聚苯乙烯換算之重量平均分子 量以 3，000〜100,000爲佳，較佳爲5，000〜50,000。驗可 溶性樹脂（A)的重量平均分子量若爲前述範圍時，感光 性樹脂組成物有著塗佈性優良的傾向，且製作圖型時的顯 像時，不容易產生曝光部之膜減少，且非曝光部因顯像而 容易除去。 -36- 201235783 鹼可溶性樹脂（A)的分子量分佈〔重量平均分子量 (Mw ) /數平均分子量（Μη )〕以1 . 1〜6.0爲佳，較佳爲 1.2〜4.0。分子量分佈若在前述範圍時，製作圖型時有著 顯像性優良之傾向。 鹼可溶性樹脂（A )的酸價爲20〜1 50mgKOH/g，以 40 〜135mgKOH/g 爲佳，較佳爲 50 〜135mgKOH/g。 鹼可溶性樹脂（A)的含有量對於鹼可溶性樹脂（A )、聚合性化合物（B 1 )及聚合性化合物（B 2 )的合計量 ，以5〜95質量％爲佳，較佳爲20〜80質量％，更佳爲40 〜6 0質量％。鹼可溶性樹脂（A )的含有量在前述範圍時 ，圖型可在高感度下形成，且顯像性優良。 本發明的感光性樹脂組成物含有聚合性化合物（B 1 ) 及聚合性化合物（B2 )。聚合性化合物（B 1 )爲具有碳數 2〜4的環狀醚與乙烯性不飽和雙鍵之聚合性化合物。作爲 聚合性化合物（B1) ’例如以具有碳數2〜4的環狀醚結 構與（甲基）丙烯醯氧基之聚合性化合物爲佳。 作爲聚合性化合物（B 1 )，例如可舉出具有環氧乙烷 基及乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物（B 1 - 1 )(以下有時 稱爲「（B1-1)」）、.具有氧雜環丁基及乙烯性不飽和鍵 之聚合性化合物（B1_2 )(以下有時稱爲「（ B卜2 )」） 及具有四氫呋喃基及乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物（ B1-3 )(以下有時稱爲「（B1-3)」）等。 作爲（B1-1) ’可舉出具有直鏈狀或分支狀不飽和脂 肪族烴經環氧之結構及乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物、 -37- 201235783 以及具有不飽和脂環式烴經環氧之結構及乙烯性不飽和鍵 的聚合性化合物。又，作爲（B卜1)，以具有環氧乙烷基 與（甲基）丙烯醯氧基之聚合性化合物爲佳。作爲具有直 鏈狀或分支狀不飽和脂肪族烴經環氧的結構與（甲基）丙 烯醯氧基之聚合性化合物，以環氧丙基（甲基）丙烯酸酯 爲特佳。作爲具有不飽和脂環式烴經環氧的結構及乙烯性 不飽和鍵之聚合性化合物，以選自式（I)所示化合物及 式（Π)所示化合物所成群之至少1種者爲特佳。 作爲（B1-2)，以具有氧雜環丁基與（甲基）丙烯醯 氧基之聚合性化合物爲佳，以3-乙基-3-丙烯醯氧基甲基 氧雜環丁烷爲特佳。 作爲（B1-3)以具有四氫呋喃基與（甲基）丙烯醯氧 基之化合物爲佳。 作爲聚合性化合物（B1)，具體可舉出作爲前述（b )所舉出的相同化合物。 聚合性化合物（B1)的使用量對於鹼可溶性樹脂（A )及聚合性化合物（B2)之合計量100質量份而言，以1 〜2 0質量份爲佳，較佳爲2〜1 5質量份。聚合性化合物（ B1)的量若在前述範圍時，機械特性可更一層良好。 聚合性化合物（B 1 )的使用量對於聚合性化合物（B2 )之含有量1〇〇質量份而Η，以1〜40質量份爲佳，較佳 爲2〜3 0質量份，特佳爲5〜1 0%質量份。聚合性化合物 (Β1)的量在前述範圍時，機械特性可進一步良好。 聚合性化合物（Β2)爲與聚合性化合物（Β1)相異的 •38- 201235783 聚合性化合物。聚合性化合物（B 2 )係由聚合啓始劑（C )所產生的活性自由基經聚合所得之化合物，例如於分子 內不具有環狀醚結構，且具有乙烯性不飽和鍵之化合物》 作爲聚合性化合物（B 2 )，例如可舉出作爲前述（a )及（c )所舉出的相同化合物。作爲聚合性化合物（b 2 )’例如可舉出於分子內不具有環狀醚結構之（甲基）丙 烯酸酯。 作爲具有2個乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物（B2) ’可舉出1，3_丁烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、1，3_丁烷二 醇（甲基）丙烯酸酯、1,6-己烷二醇二（甲基）丙烯酸酯 、乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、二乙二醇二（甲基）丙烯 酸酯、新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、三乙二醇二（甲基 )丙烯酸酯、四乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇二 丙烯酸酯、雙酚A之雙（丙烯醯氧基乙基）醚、乙氧基化 雙酚A二（甲基）丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二（甲基 )丙烯酸酯' 乙氧基化新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二（甲基）丙烯酸酯等。 作爲具有3個以上的乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物 (B2)，可舉出三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、季戊 四醇三（甲基）丙烯酸酯、參（2-羥基乙基）三聚異氰酸 酯三（甲基）丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三（甲基 )丙烯酸酯、丙氧基化三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯 、季戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基） 丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、三季戊四醇 -39- 201235783 四（甲基）丙烯酸酯、三季戊四醇五（甲基）丙烯酸 三季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、三季戊四醇七（甲 丙烯酸酯、三季戊四醇八（甲基）丙烯酸酯、季戊四 (甲基）丙烯酸酯與酸酐之反應物、二季戊四醇五（ )丙烯酸酯與酸酐之反應物、三季戊四醇七（甲基） 酸酯與酸酐之反應物、己內酯變性三羥甲基丙烷三（ )丙烯酸酯、己內酯變性季戊四醇三（甲基）丙烯酸 己內酯變性參（2 -羥基乙基）三聚異氰酸酯三（甲基 烯酸酯、己內酯變性季戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、 酯變性二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、己內酯變性 戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇 甲基）丙烯酸酯、己內酯變性三季戊四醇五（甲基） 酸酯、己內酯變性三季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、 酯變性三季戊四醇七（甲基）丙烯酸酯、己內酯變性 戊四醇八（甲基）丙烯酸酯、己內酯變性季戊四醇三 基）丙烯酸酯與酸酐之反應物、己內酯變性二季戊四 (甲基）丙烯酸酯與酸酐之反應物、己內酯變性三季 醇七（甲基）丙烯酸酯與酸酐之反應物等。 又，作爲聚合性化合物（B2 )，可舉出施予環氧 變性（以下有時可稱爲「EO變性」）或環氧丙烷變 以下有時可稱爲「PO變性」）的多元醇化合物之（ )丙烯酸酯類或具有尿烷鍵的丙烯酸酯、藉由環氧基 與丙烯酸之反應所生成之環氧基丙烯酸酯樹脂、具有 烷鍵之丙烯酸化合物。 酯、 基） 醇三 甲基 丙烯 甲基 酯、 )丙 己內 二季 四（ 丙烯 己內 三季 (甲 醇五 戊四 乙烷 性（ 甲基 樹脂 砂氧 -40- 201235783 作爲施予E 0變性的多元醇化合物，可舉出£ 〇變性 三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、ΕΟ變性季戊四醇四丙烯酸酯 、ΕΟ變性二季戊四醇五丙烯酸酯、Ε〇變性二季戊四醇六 丙烯酸酯等。 其中作爲聚合性化合物（Β2)，於分子內不具有環狀 醚結構’且具有3個以上的乙烯性不飽和鍵之聚合性化合 物爲佳，於分子內不具有環狀醚結構，且具有3個以上的 (甲基）丙烯醯氧基之聚合性化合物爲較佳，二季戊四醇 的（甲基）丙烯酸酯爲更佳，二季戊四醇五（甲基）丙烯 酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯爲特佳。 聚合性化合物（Β2 )的含有量對於鹼可溶性樹脂（A )、聚合性化合物（B 1 )及聚合性化合物（B2 )之合計量 而言，以5〜95質量％爲佳，較佳爲20〜80質量％，更佳 爲3 0〜7 0質量％，特佳爲4 0〜5 5質量％。聚合性化合物 (B2 )的含有量若在前述範圍時，有著感度或平滑性及信 頼性變良好之傾向。 本發明的感光性樹脂組成物含有聚合啓始劑（C )。 作爲聚合啓始劑（C )，若以藉由光或熱之作用進行聚合 爲開始的化合物即可，並無特別限定，可使用公知聚合啓 始劑。 作爲聚合啓始劑（C )，例如可舉出烷基苯酮化合物 、雙咪唑化合物、三嗪化合物、醯基膦氧化物化合物、肟 化合物。 又，亦可使用特開2008-18 1087號公報所記載之光及/ -41 - 201235783 或熱陽離子聚合啓始劑（例如，由鎗陽離子與來自路易氏 酸之陰離子所構成者）。其中以選自雙咪唑化合物、烷基 苯酮化合物及肟酯化合物所成群的至少1種者爲佳，特別 爲選自雙咪唑化合物及肟酯化合物所成群之至少1種者爲 佳。含有這些化合物之聚合啓始劑時，有著成爲高感度之 傾向故特佳。 作爲前述的烷基苯酮化合物，可舉出二乙氧基苯乙酮 、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯甲基二甲基縮酮、 2-羥基-1-〔 4- (2-羥基乙氧基）苯基〕-2-甲基丙烷-1-酮 、2-羥基- 〔 4_ ( 2-羥基-2-甲基-丙醯基）-苯甲基〕一 苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2-嗎啉 代-1-( 4-甲基磺醯基苯基）-2-甲基丙烷-1-酮、2-二甲基 胺基-2-苯甲基-1-( 4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基 胺基-2- ( 2-甲基苯甲基）-1- ( 4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮 、2-二甲基胺基-2- (3-甲基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基） 丁烷-1-酮、2-二甲基胺基-2- (4-甲基苯甲基）-1-(4-嗎 啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺基-2-(2-乙基苯甲基 )-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺基- 2-(2-丙基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2 -二甲基 胺基-2- ( 2 -丁基苯甲基）-1- ( 4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮 、2-二甲基胺基-2· (2,3-二甲基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯 基）丁烷-1-酮、2 -二甲基胺基- 2-(2、4 -二甲基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1·酮、2-二甲基胺基-2- (2-氯苯 甲基）-1-( 4-嗎啉代苯基）丁烷-丨-酮、2 -二甲基胺基-2- -42- 201235783 (2-溴苯甲基）-1- ( 4_嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基 胺基-2- (3-氯苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、 2-二甲基胺基- 2-(4-氯苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁 烷-1-酮、2-二甲基胺基-2- ( 3-溴苯甲基）-1- ( 4-嗎啉代 苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺基-2-(4-溴苯甲基）-1-( 4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺基-2- (2-甲氧基苯 甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺基- ΙΟ-甲氧基 苯甲基 ） -1-(4-嗎啉代 苯基） 丁烷 -1-酮、 2-二 甲基胺基-2- (4-甲氧基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁 烷-1-酮、2_二甲基胺基-2- (2-甲基-4-甲氧基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺基- 2-(2-甲基-4-溴苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-二甲基胺 基- 2-(2-溴-4-甲氧基苯甲基）-1-(4-嗎啉代苯基）丁烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-〔 4- ( 1-甲基乙烯基）苯基〕丙 烷-1 -酮之寡聚物等。 作爲前述之雙咪唑化合物，可舉出2,2’-雙（2-氯苯基 )-4,4’，5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙（2,3-二氯苯基）-4,4’，5,5’-四苯基雙咪唑（例如、特開平6-7 5 3 72號公報、 特開平6-75 3 73號公報等參照。）、2,2’-雙（2-氯苯基）-4,4’，5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙（2-氯苯基）-4,4’，5,5’-四（烷氧基苯基）雙咪唑、2,2’ -雙（2 -氯苯基）-4,4’，5,5’-四（二烷氧基苯基）雙咪唑、2,2’-雙（2-氯苯基 )-4,4’，5,5’-四（三烷氧基苯基）雙咪唑（例如參照特公 昭 48-3 8403號公報、特開昭 62- 1 74204號公報等）、 -43- 201235783 4,4’5,5’-位之苯基由烷氧羰基取代之咪唑化合物（例如參 照特開平7-10913號公報等）等。較佳可舉出2,2’-雙（2-氯苯基）-4,4，，5,5’-四苯基雙咪唑、2,2’-雙（2、3 -二氯苯 基）-4,4’，5,5’-四苯基雙咪唑、2,2，-雙（2、4-二氯苯基 )-4,4’，5,5’-四苯基雙咪唑。 作爲前述三嗪化合物，可舉出2,4 -雙（三氯甲基）-6-(4-甲氧基苯基）-1，3, 5-三嗪、2,4-雙（三氯甲基）-6-( 4_甲氧基萘基）-1，3,5-三嗪、2,4-雙（三氯甲基）-6-胡椒 基-1，3,5-三嗪、2,4-雙（三氯甲基）-6-(4-甲氧基苯乙烯 基）-1,3,5-三嗪、2,4-雙（三氯甲基）-6-〔 2-(5 -甲基呋 喃-2-基）乙烯基〕-1，3,5-三嗪、2,4-雙（三氯甲基）-6-〔 2-(呋喃-2-基）乙烯基〕-1，3,5-三嗪、2,4-雙（三氯甲基 )-6-〔2- (4-二乙基胺基-2-甲基苯基）乙烯基〕-1，3,5-三 嗪、2,4-雙（三氯甲基）-6-〔 2-(3,4-二甲氧基苯基）乙 烯基〕-1，3，5-三嗪等。 作爲前述的醯基膦氧化物化合物，可舉出2,4,6 -三甲 基苯醯二苯基膦氧化物等。 作爲前述肟酯化合物，可舉出N-苯醯氧-1-( 4-苯基 磺醯基苯基）丁烷-1-酮-2-亞胺、N-乙氧基羰氧基-1-苯基 丙烷-1-酮-2-亞胺、N-苯醯氧_1·( 4 -苯基磺醯基苯基）辛 烷-1-酮-2-亞胺、心乙酸基-1-〔9-乙基-6-(2-甲基苯醯）-9Η-咔唑基-3-基〕乙烷-1-亞胺、Ν-乙酸基- l-〔9-乙基- 6-{2 -甲基-4- ( 3，3-二甲基-2,4-二噁環戊基甲氧基）苯醯}-9Η-咔唑基-3-基〕乙烷-1-亞胺等。亦可使用販賣品的 • 44 - -02 ( 201235783
Irgacure Γ (註冊商標）ΟχΕ_01、OXE. 以上、Ciba · Japan广C/ύα «/叮心；公司製）、N-19 ADEKA公司製）等市。 進一步作爲聚合啓始劑（C)，可舉出苯偶因、 因甲基醚、苯偶因乙基醚、苯偶因異丙基醚、苯偶因 基醚等苯偶因系化合物：二苯甲酮、〇 -苯醯安息香酸 、4 -苯基二苯甲酮、4 -苯醯-4’ -甲基二苯基硫化 3,3’，4，4’-四（第三丁基過氧化羰基）二苯甲酮、2，4 甲基二苯甲酮等二苯甲酮系化合物；9,10-菲醌、、2-蒽醌、樟腦醌等醌系化合物；1 0 - 丁基-2 -氯吖啶酮、 基、苯基乙醛酸酸甲酯、二茂鈦化合物等。這些可與 聚合開始助劑（C 1 )進行組合後使用爲佳。 又，作爲具有引起連鎖移動的基之聚合啓始劑， 使用於特表2002-544205號公報所記載之光聚合啓始| 作爲前述具有引起連鎖移動之基的聚合啓始劑， 可舉出下述式（a)〜（f)的化合物。 丨1 9 ( 苯偶 異丁 甲酯 物、 ，6·三 -乙基 苯甲 後述 亦可 朝。 例如 -45- 201235783
⑻ (b) (〇)
(Φ (e)
H3COOC
1 柳 tiNC (f) 前述具有引起連鎖移動之基的聚合啓始劑亦可作爲構 成鹼可溶性樹脂（A)之成分（c)使用。
對於本發明的感光性樹脂組成物，可同時使用上述聚 合啓始劑（C )與聚合開始助劑（C 1 )。聚合開始助劑（ C1)爲與聚合啓始劑（C)組合後使用，其爲促進藉由聚 合啓始劑開始聚合之聚合性化合物的聚合所使用的化合物 或增感劑。作爲聚合開始助劑（C 1 )，可舉出下述式（III -46- 201235783 )〜式（v )所示化合物、噻吨酮化合物、胺化合物及羧 酸化合物等。
W1 1 〇、 11 5 C=CH-C—R5
N (in) I R4 〔式（111 )中’ w1所示虛線表示可由鹵素原子進行 取代之碳數6〜12的芳香環。 Y1表示-〇-或-S-。 R4表示碳數1〜6之1價飽和烴基。 R5表示可由鹵素原子進行取代之碳數1〜12的1價飽 和烴基或可由鹵素原子進行取代之碳數6〜12的芳基。〕 作爲鹵素原子’可舉出氟原子、氯原子、溴原子等。 作爲碳數6〜12的芳香環，可舉出苯環、萘環等。 作爲可由鹵素原子進行取代之碳數6〜12的芳香環， 例如可舉出苯環、甲基苯環、二甲基苯環、乙基苯環丙 基苯環、丁基苯環、戊基苯環、己基苯環、環己基苯環、 氯苯環、二氯苯環、溴苯環、二溴苯環、苯基苯環、氯苯 基苯環、溴苯基苯環、萘環、氯萘環、溴萘環等。 作爲碳數1〜6的1價飽和烴基，例如可舉出甲基、 乙基、η-丙基、異丙基、n-丁基、丨_甲基丙基、2甲基丙 基 '第三丁基、n-戊基、ι_甲基丁基、2•甲基丁基'、甲 基丁基、1,1-二甲基丙基、l52_二甲基丙基、2,2-二甲基丙 基、η-己基、環己基等。 作爲可被_素原子進行取代之碳數丨〜^的i價飽和 -47- 201235783 烴基’例如可舉出上述碳數1〜6的1價飽和烴基以外， 亦可舉出庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基 、1-氯丁基、2-氯丁基、3-氯丁基等。 作爲可由鹵素原子進行取代之碳數6〜12的芳基，可 舉出苯基、氯苯基 '二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴 苯基、聯苯基、氯聯苯基、二氯聯苯基、溴苯基、二溴苯 基、萘基 '氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。 作爲式（III )所示化合物，具體可舉出2-〔 2-側氧 基-2- (2-苯基）亞乙基〕-3 -甲基萘並〔2,1-d〕噻唑啉、 2-〔2 -側氧基-2- (2 -苯基）亞乙基〕-3 -甲基萘並〔l，2-d 〕噻唑啉、2-〔2-側氧基- 2-(2-苯基）亞乙基〕-3-甲基萘 並〔2,3-d〕噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 2-萘基）亞乙基 〕-3-甲基苯並噻唑啉、2-〔2-側氧基-2-(1-萘基）亞乙基 〕-3-甲基苯並噻唑啉、2-〔2-側氧基-2-(2-萘基）亞乙基 〕-3-甲基-5-苯基苯並噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 1-萘基 )亞乙基〕-3 -甲基-5-苯基苯並噻唑啉、2·〔2 -側氧基- 2-(2-萘基）亞乙基〕-3-甲基-5-氟苯並噻唑啉、2-〔2-側氧 基-2- ( 1-萘基）亞乙基〕-3-甲基-5-氟苯並噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2-(2-萘基）亞乙基〕-3·甲基-5-氯苯並噻唑啉 ' 2-〔2-側氧基- 2-(1-萘基）亞乙基〕-3-甲基-5-氯苯並 噻唑咐、2-〔2-側氧基- 2-(2-萘基）亞乙基〕-3-甲基- 5-溴苯並噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 1-萘基）亞乙基〕-3-甲 基-5-溴苯並噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 4-苯基苯基）亞乙 基〕-3-甲基苯並噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 4-苯基苯基） -48- 201235783 亞乙基〕-3 -甲基-5-苯基苯並噻唑咐、2-〔2 -側氧基- 2-( 2-萘基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔2, Ι-d〕噻唑啉、2-〔2-側 氧基-2-(2-萘基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔l，2-d〕噻唑啉 、2-〔2-側氧基-2-(4-苯基苯基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔 2,1-d〕噻唑啉、2-〔2-側氧基-2- (4-苯基苯基）亞乙基 〕-3-甲基萘並〔l，2-d〕噻唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 4-氟 苯基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔2,1-d〕噻唑啉、2-〔2-側氧 基-2-(4-氟苯基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔l，2-d〕噻唑啉 、2-〔2-側氧基- 2-(2-苯基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔2, Ια 〕 噁 唑啉、 2- 〔 2-側氧基 -2- ( 2-苯基） 亞 乙基〕 -3-甲基 萘並〔1,2-d〕噁唑啉、2-〔2-側氧基- 2-(2-苯基）亞乙基 〕-3-甲基萘並〔2,3-d〕噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 2-萘 基）亞乙基〕-3-甲基苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 1-萘 基）亞乙基〕-3-甲基苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 2-萘 基）亞乙基〕-3-甲基-5-苯基苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2-(1-萘基）亞乙基〕-3-甲基-5-苯基苯並噁唑啉、2-〔2-側氧基-2_ ( 2-萘基）亞乙基〕-3-甲基_5_氟苯並噁唑啉、 2-〔 2-側氧基-2- ( 1-萘基）亞乙基〕-3-甲基-5-氟苯並噁 唑啉、2-〔2-側氧基- 2-(2-萘基）亞乙基〕-3-甲基-5-氯 苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( b萘基）亞乙基〕-3-甲 基-5-氯苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 2-萘基）亞乙基 〕-3-甲基-5-溴苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 1-萘基） 亞乙基〕-3-甲基-5-溴苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基-2- ( 4-苯基苯基）亞乙基〕-3-甲基苯並噁唑啉、2-〔 2-側氧基- -49- 201235783 2_ ( 4·苯基苯基）亞乙基〕-3-甲基-5-苯基苯並卩惡哩琳、2· 〔2_側氧基-2-(1-萘基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔2，1-£1〕 噁唑啉、2-〔2-側氧基-2-(1-萘基）亞乙基〕-3_甲基萘並 〔1 2-d〕噁唑啉' 2·〔 2-側氧基_2- ( 4-苯基苯基）亞乙基 〕_3 -甲基萘並〔LU〕噁唑啉、2·〔2_側氧基-苯 基苯基）亞乙基〕_3·甲基萘並〔Hd〕嚼哩啉、2-〔 2-側 氧基_2_(4-氟苯基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔2,1-d〕噁唑 啉、2-〔2-側氧基- 2_(4-氟苯基）亞乙基〕-3-甲基萘並〔 1，2 - d〕嚼唑啉
此獨立表示碳數6〜12的芳香環或碳數2〜10的雜環，於 該芳香環及該雜環所含之氫原子可由鹵素原子所取代。Y2 〜Y5彼此獨立表示-0-或- S-»R6〜R9彼此獨立表示碳數1 〜12的1價飽和烴基或碳數6〜12的芳基，於飽和烴基及 該芳基所含之氫原子可由鹵素原子、羥基或碳數1〜6的 烷氧基所取代〕 作爲碳數6〜12的芳香環，可舉出式（III)所舉出的 同樣芳香環，於該芳香環所含之氫原子可由前述所舉出的 -50- 201235783 鹵素原子做任意取代。 作爲由鹵素原子所取代之碳數2〜10的雜環，可舉出 吡啶環、嘧啶環、噠嗪環、吡嗪環、吡喃環等。 作爲1價羥基取代飽和烴基，可舉出羥基甲基、羥基 乙基、羥基丙基、羥基丁基等。 作爲羥基取代芳基，可舉出羥基苯基、羥基萘基等。 作爲1價烷氧基取代飽和烴基，可舉出甲氧基甲基、 甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丁基、丁氧基甲基、乙 氧基乙基、乙氧基丙基、丙氧基丁基等。 作爲烷氧基取代芳基，可舉出甲氧基苯基、乙氧基萘 基等。 作爲式（IV)及式（V)所示化合物，具體可舉出二 甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二異丙氧基萘、二 丁氧基萘等二烷氧基萘類； 9,10 -二甲氧基蒽、2 -乙基-9,10 -二甲氧基蒽、9,10 -二 乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二異 丙氧基蒽、二丁氧基蒽、二戊氧基蒽、二己氧基蒽、甲氧 基乙氧基惠、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基異丙氧基恵、甲氧 基丁氧基惠、乙氧基丙氧基惠、乙氧基異丙氧基恵、乙氧 基丁氧基蒽、丙氧基異丙氧基蒽、丙氧基丁氧基蒽、異丙 氧基丁氧基蒽等二烷氧基蒽類； 二甲氧基苯並蒽、二乙氧基苯並蒽、二丙氧基苯並蒽 、二異丙氧基苯並蒽、二丁氧基苯並蒽等二烷氧基苯並蒽 類； -51 - 201235783 等。 作爲噻吨酮化合物，例如可舉出2-異丙基噻吨酮、4-異丙基噻吨酮、2,4 -二乙基噻吨酮、2,4 -二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。 作爲胺化合物，可舉出如三乙醇胺、甲基二乙醇胺、 三異丙醇胺等脂肪族胺化合物、4 -二甲基胺基安息香酸甲 酯、4-二甲基胺基安息香酸乙酯、4-二甲基胺基安息香酸 異戊酯、4_二甲基胺基安息香酸2-乙基己基、安息香酸2-二甲基胺基乙基、N，N-二甲基對苯胺、4,4’-雙（二甲基胺 基）二苯甲酮、4，4’-雙（二乙基胺基）二苯甲酮之芳香族 胺化合物。 作爲羧酸化合物，可舉出苯基磺醯基乙酸、甲基苯基 磺醯基乙酸、乙基苯基磺醯基乙酸、甲基乙基苯基磺醯基 乙酸、二甲基苯基磺醯基乙酸、甲氧基苯基磺醯基乙酸、 二甲氧基苯基擴醯基乙酸、氣苯基擴醯基乙酸、二氯苯基 磺醯基乙酸、N -苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、萘基硫乙酸、 N-萘基甘胺酸、萘氧基乙酸等芳香族雜乙酸類。 作爲聚合啓始劑（C )與聚合開始助劑（C 1 )之組合 ’可舉出苯乙酮化合物與噻吨酮化合物、苯乙酮化合物與 芳香族胺化合物，具體可舉出2-嗎啉代_丨_( 4_甲基擴醯 基本基）-2 -甲基丙院-1-酮與2,4-二乙基噻吨酮、2_二甲 基胺基-2-苯甲基-1-(4-嗎啉代苯基）丁院_卜酮與2,4_二 乙基噻吨酮、2-—甲基胺基-2-(4_甲基苯甲基）_丨_(4_嗎 啉代本基）丁院-1-酮與2,4 -一乙基噻吨酮、2_嗎琳代-卜 -52- 201235783 (4_甲基磺醯基苯基）-2-甲基丙烷―卜酮與2_異丙基噻吨 酮與4-異丙基噻吨酮、2_嗎啉代_1(4甲基磺醯基苯基 )-2 -甲基丙烷-1-酮與4，4’-雙（二乙基胺基）二苯甲酮、 2 -—甲基胺基-2-苯甲基-1- (4-嗎啉代苯基）丁烷_丨_酮與 4,4’-雙（二乙基胺基）二苯甲酮、2_二甲基胺基_2_(4-甲 基本甲基）-1-( 4·嗎啉代苯基）丁院-丨_酮與4,4，-雙（二 乙基胺基）二苯甲酮等。 其中亦以苯乙酮化合物與噻吨酮化合物之組合爲佳， 2-嗎啉代-1- ( 4-甲基磺醯基苯基）_2_甲基丙烷_丨_酮與 2,4-一乙基噻吨酮、2-嗎啉代-1-(4_甲基磺醯基苯基）-2_ 甲基丙烷-1-酮與2 -異丙基噻吨酮與4_異丙基噻吨酮爲更 佳。這些組合下在高感度得到可見光透過率高之圖型。 聚合啓始劑（C)的含有量對於鹼可溶性樹脂（a)、 聚合性化合物（B1)及聚合性化合物（B2)之合計量1〇〇 質量份而言’以〇_5〜30質量份爲佳，較佳爲1〜2〇質量 份，更加爲1〜1 0質量份。聚合啓始劑（C )的含有量若 在前述範圍時，可在高感度下得到圖型。 聚合開始助劑（C 1 )之使用量對於鹼可溶性樹脂（a )、聚合性化合物（B 1 )及聚合性化合物（B 2 )之合計量 100質量份而言’以〇·1〜10質量份爲佳，較佳爲0.3〜7 質量份。聚合開始助劑（C1)的量若在前述範圍時，可在 高感度下得到圖型，所得之圖型爲形狀良好者。 本發明的感光性樹脂組成物含有溶劑（D )。 作爲本發明中所使用的溶劑，例如可使用選自酯溶劑 -53- 201235783 (分子內含有-c ο ο -結構，未含有_0 -結構之溶劑）、醚溶 劑（分子內含有-〇-結構’未含有-C00_結構之溶劑）、酸 醋溶劑（分子內含有-c00 -結構與結構之溶劑）、酮溶 劑（分子內含有- CO -結構，未含有-coo_結構之溶劑）、 醇溶劑、芳香族烴溶劑、醯胺溶劑、二甲基亞砸等。 作爲酯溶劑，可舉出乳酸甲酯、乳酸乙醋、乳酸丁酯 、2 -羥基異丁烷酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異 丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、 丁酸乙醋、丁酸丁醋、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙醋、丙酮酸 丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、環己醇乙酸酯、γ-丁內酯等。 作爲醚溶劑，可舉出乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基 醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單丁基醚、二乙二醇單甲基 醚 '二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚、丙二醇單甲 基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基 醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氫呋喃 '四氫吡喃、1，4-二噁烷、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇 二乙基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二丙基醚、二 乙二醇二丁基醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。 作爲醚酯溶劑，可舉出甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸 乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙 酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙 酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2 -甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧 基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2- -54- 201235783 乙氧基丙酸乙醋、2 -甲氧基-2_甲基丙酸甲酯、2_乙氧基-2 -甲基丙酸乙醋、3 -甲氧基丁基乙酸醋、3 -甲基甲氧基 丁基乙酸酯、丙二醇單甲基魅乙酸醋、丙二醇單乙基酸乙 酸酯、丙二醇單丙基醚乙酸醋、乙二醇單甲基醚乙酸醋、 乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醒乙酸醋、二乙 二醇單丁基醚乙酸酯等。 作爲酮溶劑，可舉出4 -經基·4 -甲基-2-戊酮、丙酮、 2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、甲基-2-戊酮、環戊 酮、環己酮、異佛爾酮等。 作爲醇溶劑’可舉出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇 、環己醇、乙二醇、丙二醇、甘油等。 作爲芳香族烴溶劑’可舉出苯、甲苯、二甲苯、均三 甲苯等。 作爲醯胺溶劑’可舉出Ν，Ν·二甲基甲醯胺、Ν，Ν-二甲 基乙醯胺、Ν-甲基吡咯烷酮等。 這些溶劑可單獨亦可組合2種類以上使用。 上述溶劑中，由塗佈性、乾燥性的觀點來看，以1 atm 中之沸點爲120°C以上180°C以下的有機溶劑爲佳。其中亦 以丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、3 -乙氧基丙 酸乙酯、二乙二醇甲基乙基醚、3-甲氧基丁基乙酸酯' 3_ 甲氧基-1 - 丁醇等爲佳。溶劑（D )爲彼等溶劑時，可抑制 塗佈時之斑點，塗膜之平坦性亦爲良好。 感光性樹脂組成物中之溶劑（D)的含有量對於感光 性樹脂組成物所含之成分合計量而言，以60〜95質量。/。爲 -55- 201235783 佳，較佳爲63〜90質量％。換言之，感光性樹脂組成物的 固體成分以5〜40質量％爲佳，較佳爲1 0〜3 7質量％。溶 劑（D )的含有量若在前述範圍時，塗佈感光性樹脂組成 物之膜的平坦性會有較高之傾向。其中作爲固體成分，係 爲自感光性樹脂組成物除去溶劑（D)之量而言。 又，本發明的感光性樹脂組成物進一步含有多官能硫 醇化合物（T )者爲佳。所謂多官能硫醇化合物（T )爲於 分子內具有2個以上磺醯基（-SH)之化合物而言。特別 爲使用具有與來自脂肪族烴基之碳原子結合的2個以上磺 醯基之化合物時，本發明的感光性樹脂組成物之感度有提 高之傾向》 作爲多官能硫醇化合物（T)，具體可舉出己烷二硫 醇' 癸烷二硫醇、1,4-雙（甲基磺醯基）苯、丁烷二醇雙 (3 -磺醯基丙酸酯）、丁烷二醇雙（3 -磺醯基乙酸酯）、 乙二醇雙（3-磺醯基乙酸酯）、三羥甲基丙烷參（3-磺醯 基乙酸酯）、丁烷二醇雙（3-磺醯基丙酸酯）、三羥甲基 丙烷參（3-磺醯基丙酸酯）、三羥甲基丙烷參（3-磺醯基 乙酸酯）、季戊四醇肆（3-磺醯基丙酸酯）、季戊四醇肆 (3-磺醯基乙酸酯）、參羥基乙基參（3-磺醯基丙酸酯） 、季戊四醇肆（3 -磺醯基丁酸酯）、1,4 -雙（3 -磺醯基丁 氧基）丁烷等。 多官能硫醇化合物（T )的含有量對於鹼可溶性樹脂 (A)與聚合性化合物（Bi)與聚合性化合物（B2)之合 計量1 00質量份而言，以〇 1〜1 〇質量份爲佳，較佳爲 -56- 201235783 0.5〜7質量份。多官能硫醇化合物（T)的含有量若在前 述範圍時，感光性樹脂組成物的感度會變高，且顯像性會 有變的良好之傾向故較佳。 本發明的感光性樹脂組成物以含有界面活性劑（Ε ) 爲佳。作爲界面活性劑，例如可舉出聚矽氧系界面活性劑 、氟系界面活性劑、具有氟原子之聚矽氧系界面活性劑等 〇 作爲聚矽氧系界面活性劑，可舉出具有矽氧烷鍵之界 面活性劑。 具體可舉出Toray聚矽氧h/iconej DC3PA 、同 SH7PA、同 DC11PA、同 SH21PA、同 SH28PA、同 SH29PA、同 SH30PA、聚醚變性聚矽氧油 S Η 8 4 0 0 (商品 名· Toray · Dow Corning (股)(Dow Corning Tor ay ;製）、KP321、KP 3 22、KP 323、KP3 24、KP326 、KP3 40、KP341 (信越化學工業（股）(Shin-Etsu Chemical Co·, Ltd.)製）、TSF400、 TSF401 、 TSF410 、 TSF4300 、 TSF4440 、 TSF4445 、 TSF-4446 、 TSF4452 、 TSF4460 ( Momentive Performance Materials· Japan 合同會 公司(Momentive Performance Materials Japan Inc.)製 )等。 作爲氟系界面活性劑，可舉出具有氟碳鏈之界面活性 劑。 具體可舉出Furorinato Γ (註冊商標） F C 4 3 0 ' 同 FC431 (住友 3Μ (股）(Sumitomo 3Μ Limited -57- 201235783 ;製）、megafac ("Μ五G/F/C五）（註冊商標）F142D、同 F171、同 F172、同 F173、同 F177、同 F183、同 R30( DIC (股）製）、f-top (註冊商標）EF301、同 EF3 03、同 EF351、同 E F 3 5 2 ( M i t sub i sh i M a t er i al s C o r p o r a t i ο n 電 子化成（股）(Mitsubishi Materials Electronic Chemicals 製）、Sv^flon ( SURFLON)(註冊商標）S381 、同 S382、同 SC101、同 SC105(旭硝子（股）(ASAHI GLASS CO., LTD.)製）、E5844 ((股）DAIKIN ) fine chemical硏究所製）等。 作爲具有氟原子之聚矽氧系界面活性劑，可舉出具有 矽氧烷鍵及氟碳鏈之界面活性劑。具體可舉出megafac ( 註冊商標）R08、同 BL20、同 F47 5、同 F477、同 F443 ( DIC (股）製）等。較佳可舉出megafac (註冊商標） F475 ° 界面活性劑（E )的含有量對於感光性樹脂組成物所 含之成分合計量而言爲0.001質量％以上0.2質量％以下， 以0.002質量％以上0.1質量％以下爲佳，較佳爲0.01質 量％以上0.05質量％以下。藉由將界面活性劑在此範圍內 含有時，可使塗膜的平坦性變得良好。 本發明的感光性樹脂組成物以含有抗氧化劑（F )爲 佳。 作爲抗氧化劑（F )，可舉出酚系抗氧化劑、硫系抗 氧化劑、磷系抗氧化劑及胺系抗氧化劑。其中亦由圖型或 塗膜之著色較少的觀點來看，以酚系抗氧化劑爲佳。 -58- 201235783 作爲酚系抗氧化劑，例如可舉出2 -第三丁基-6 - ( 3 _ 第三丁基-2-羥基-5-甲基苯甲基）-4·甲基苯基丙烯酸酯、 2-〔 1- (2-羥基-3,5-二-第三戊基苯基）乙基〕-4,6-二-第 三戊基苯基丙烯酸酯、3,9 -雙〔2-{3- ( 3 -第三丁基-4 -羥 基-5-甲基苯基）丙醯氧基卜丨，^二甲基乙基〕-2,4,8，10-四 噁螺〔5.5〕十一烷烷、2,2’-伸甲基雙（6-第三丁基-4-甲 基酚）、4，4，-亞丁基雙（6-第三丁基-3-甲基酚）、4,4，-硫雙（2 -第三丁基-5_甲基酚）、2，2，-硫雙（6 -第三丁基· 4- 甲基酚）、1，3,5-參（3,5-二-第三丁基-4-羥基苯甲基）· 1，3,5-三嗪-2,4,6 ( 1H，3H，5H)-三酮、3,3’，3，，，5,5，，5”-六-第三丁基- a,a，，a，’-(均三甲苯- 2,4,6-三基）三-P -甲酚、季 戊四醇肆〔3.- ( 3,5-二-第三丁基-4-羥基苯基）丙酸酯〕' 2,6-二-第三丁基-4_甲基酧及6_〔3_(3_第三丁基-4_羥基- 5- 甲基苯基）丙氧基〕-2,4,8，10-四-第三丁基二苯並〔d、 f〕 〔 1，3,2〕二噁磷雜庚因等。 作爲前述酚系抗氧化劑，可使用販賣品。作爲被販賣 的酚系抗氧化劑，例如可舉出；註冊商標） BHT、GM、GS、GP (以上、全爲住友化學（股）製）、 /rgfl”〇A：(註冊商標）1〇10、W76、1330、3114(以上全爲 BASF公司製）等。 作爲硫系抗氧化劑，例如可舉出二月桂基3,3’·硫二 丙酸酯、雙肉豆蔻基3,3’-硫二丙酸酯、二硬脂醯基3,3，-硫二丙酸酯、季戊四醇肆（3_月桂基硫丙酸酯）等。作爲 前述硫系抗氧化劑’可使用販買品。作爲被販賣的硫系抗 -59- 201235783 氧化劑’例如可舉出Sumilizer (註冊商標）TPL-R、ΤΡ-D (以上全爲住友化學（股）製）等β 作爲磷系抗氧化劑’例如可舉出三辛基亞磷酸鹽、三 月桂基亞磷酸鹽、十三烷亞磷酸鹽、參（壬基苯基）亞磷 酸鹽、二硬脂醯基季戊四醇二亞磷酸鹽、四（十三烷基 )-1，1，3 -參（2 -甲基-5-第三丁基_4_羥基苯基）丁院二亞 磷酸鹽等。作爲前述磷系抗氧化劑，可使用販賣品。作爲 被販賣的磷系抗氧化劑，例如可舉出(註冊商標 )168、12、38(以上全爲 BASF公司製）、JDA： 5 7^329Κ、ADK STABPEP36(以上全爲 ADEKA 製）等 〇 作爲胺系抗氧化劑，例如可舉出Ν, Ν，-二-第二丁基-ρ -伸苯基二胺' Ν，Ν，-二異丙基-ρ_伸苯基二胺、ν，Ν，·二環己 基-Ρ-伸苯基二胺、Ν,Ν，-二苯基-Ρ-伸苯基二胺、ν，Ν，-雙（ 2-萘基）-Ρ-伸苯基二胺等。作爲前述胺系抗氧化劑，可使 用販賣品。作爲被販賣的胺系抗氧化劑，例如可舉出 Sumilizer (註冊商標）B P A、B P A - Μ 1、4 M L (以上全爲 住友化學（股）製）等。 抗氧化劑（F)的含有量對於鹼可溶性樹脂（Α) 1〇〇 質量份而言爲0.1質量份以上5質量份以下，以〇.5質量 份以上3質量份以下爲佳。抗氧化劑（F )的含有量在前 述範圍內時，圖型或塗膜之耐熱性會有變優良之傾向。抗 氧化劑（F )的含有量超過前述範圍時，恐怕會有感度降 低之傾向。 -60- 201235783 本發明的感光性樹脂組成物中視必要亦可並用塡充劑 、其他高分子化合物、密著促進劑、紫外線吸收劑、光安 定劑、連鎖移動劑等種種添加劑。 本發明的感光性樹脂組成物實質上未含有顏料及染料 等著色劑。即，本發明之感光性樹脂組成物中，對於組成 物全體之著色劑含量例如以未達1質量％爲佳，較佳爲未 達〇. 5質量。/〇。 本發明的感光性樹脂組成物在塡充於光路長爲1 cm之 石英管中，使用分光光度計，在測定波長400〜700nm之 條件下測定透過率時的平均透過率以70%以上爲佳，較佳 爲80%以上。 本發明的感光性樹脂組成物例如可混合鹼可溶性樹脂 (A )、聚合性化合物（B 1 )、聚合性化合物（B 2 )、聚 合啓始劑（C )、溶劑（D )、以及視必要使用之聚合開始 助劑（C 1 )、界面活性劑（E )、抗氧化劑（F )、多官能 硫醇化合物（T )及其他成分而調製。混合後之感光性樹 脂組成物在孔徑〇. 〇 1〜1 Ομπι程度之濾器下進行過濾爲佳 〇 本發明的感光性樹脂組成物在進行塗膜時，塗膜平均 透過率較佳爲90%以上，成爲95 %以上時更佳。該平均透 過率爲將加熱硬化（例如在1 〇 〇〜2 5 0 °C，5分鐘〜3小時 之條件下進行硬化）後厚度爲3 μηι之塗膜，使用分光光度 計，在測定波長400〜70 Onm之條件下進行測定時的平均 値。藉此，可得到可見光區域中的透明性優良之塗膜。 -61 - 201235783 作爲由本發明的感光性樹脂組成物製造圖型之方法’ 可舉出光微影法、噴射法、印刷法等。其中亦以光微影法 爲佳。光微影法爲將前述感光性樹脂組成物塗佈於基板上 ，經乾燥後形成未硬化塗膜，介著光罩使該未硬化塗膜進 行曝光而顯像之方法。對於光微影法，因爲於曝光時不用 光罩及/或不進行顯像，可形成上述未硬化塗膜之硬化物 的塗膜。 將這些塗膜或圖型作爲顯示裝置等構成元件之一部份 而形成並可被使用。 作爲基板，例如可舉出玻璃、金屬、塑質等基板，於 該基板可形成彩色過濾器、各種絶緣或導電膜、驅動電路 等。 藉由光微影法之圖型的形成，可在公知或慣用裝置或 條件下進行。例如可如下述而形成。 首先將本發明的感光性樹脂組成物塗佈於基板上。 塗佈如上述可使用旋轉塗佈機、隙縫與旋轉塗佈機、 隙縫塗佈、噴射、輥塗佈、含浸塗佈等種種塗佈裝置進行 〇 其次經乾燥或預燒烤後除去溶劑等揮發成分爲佳。藉 此，可得到平滑未硬化塗膜。 此時的塗膜之膜厚並無特別限定，依所使用的材料、 用途等可適宜地調整，例如調整至1〜6μιη程度。 且於所得之未硬化塗膜上介著欲形成目的圖型的光罩 ，以光，例如水銀燈 '發光二極體所產生的紫外線等進行 -62- 201235783 照射。此時的光罩形狀並無特別限定，形狀或尺寸則配合 圖型用途而做選擇即可。 近年的曝光機爲將未達3 5 Onm的光使用阻斷該波長區 域的濾器進行阻斷，或將436nm附近、408nm附近、 3 65nm附近的光使用可取出彼等波長區域的帶通濾波器進 行選擇性取出，可於曝光面全體進行均勻且略平行光線的 照射。若使用光罩對準曝光機（Mask Aligner)、光刻機 等裝置，此時必須進行罩與基板之正確位置的調整。 將曝光後的未硬化塗膜與顯像液接觸之所定部分，例 如溶解於非曝光部使其顯像後，可得到目的之圖型形狀。 顯像方法可使用攪煉顯像法、浸漬法、噴霧法等中任 —種皆可。且顯像時可將基板傾向於任意角度。 使用於顯像之顯像液以鹼性化合物的水溶液爲佳。 鹼性化合物亦可爲無機及有機鹼性化合物中任一種。 作爲無機鹼性化合物之具體例，可舉出氫氧化鈉、氫 氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二 氫銨、磷酸二氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、 碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等。 作爲有機鹼性化合物，例如可舉出四甲基銨氫氧化物 、2-羥基乙基三甲基銨氫氧化物、單甲基胺 '二甲基胺、 三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺 、二異丙基胺、乙醇胺等。 這些無機及有機鹼性化合物之水溶液中濃度以〇·〇1〜 I 0質量％爲佳，較佳爲〇·〇3〜5質量％。 -63- 201235783 前述顯像液亦可含有界面活性劑。 界面活性劑可爲非離子系界面活性劑、陰離子系界面 活性劑或陽離子系界面活性劑中任一種。 作爲非離子系界面活性劑，例如可舉出聚環氧乙烷烷 基醚、聚環氧乙烷芳基醚、聚環氧乙烷烷基芳基醚、其他 聚環氧乙院衍生物、氧基伸乙基/氧基伸丙基嵌合共聚物 '山梨醇酐脂肪酸酯、聚環氧乙烷山梨醇酐脂肪酸酯、聚 環氧乙烷山梨糖醇脂肪酸酯 '甘油脂肪酸酯、聚環氧乙烷 脂肪酸酯、聚環氧乙烷烷基胺等。 作爲陰離子系界面活性劑，例如可舉出如月桂醇硫酸 酯鈉或油醇硫酸酯鈉的高級醇硫酸酯鹽類、如月桂基硫酸 鈉或月桂基硫酸銨的烷基硫酸鹽類、如十二烷基苯磺酸鈉 或十二烷基萘磺酸鈉的烷基芳基磺酸鹽類等。 作爲陽離子系界面活性劑，例如可舉出如硬脂醯基胺 鹽酸鹽或月桂基三甲基銨氯化物的胺鹽或第四級銨鹽等。 鹼顯像液中之界面活性劑濃度以0.0 1〜1 0質量％的範 圍爲佳，較佳爲0.05〜8質量％，更佳爲0.1〜5質量％。 顯像後因進彳了水洗可得到圖型。且視必要，亦可進行 後燒烤。後燒烤例如以1 5 0〜2 4 0 °c的溫度範圍，1 〇〜1 8 0 分鐘爲佳。 如此由本發明的感光性樹脂組成物所得之圖型及塗膜 可作爲使用於製造構成彩色過濾器基板及/或陣列基板的 一部份之間隙控制材料及光阻保護膜、可製圖的光阻保護 膜、以噴射法進行彩色過濾器、液晶表示元件之ITO電極 -64- 201235783 、有機EL表示元件及電線配線基板等的隔壁爲有用，其 中以由本發明的感光性樹脂組成物所得之圖型因具有優良 機械特性，故作爲間隙控制材料時特別有用。 【實施方式】 實施例 以下藉由實施例更詳細說明本發明。例中的「％」及 「份」若無特別限定，則表示質量％及質量份。 (合成例1 ) 於具備迴流冷卻器、滴定漏斗及攪拌機的燒杯內將氮 以0.02 L/分鐘的流速流入作爲氮氣環境，放入3_甲氧基_ 1-丁醇200質量份及3 -甲氧基丁基乙酸酯105質量份，— 邊攪拌一邊加熱至70°C。其次溶解於甲基丙烯酸60質量 份、3,4-環氧基三環〔5.2.1.02·6〕癸基丙烯酸酯（將式（ 1-1)所示化合物及式（II-1)所示化合物以莫耳比5〇 : 5〇 下進行混合。）24〇質量份及、3-甲氧基丁基乙酸酯14〇 質量份後調製出溶液，將該溶解液使用滴定漏斗經4小時 在70 °C保溫下滴入燒杯內。
另一方面，將溶解聚合啓始劑2,2，-偶氮雙（2,4_二甲 基戊腈）30質量份於3_甲氧基丁基乙酸酯225質量份之 洛液，使用另外滴疋漏斗經4小時滴入燒杯內。當聚合啓 -65 - /口 201235783 始劑之溶液滴入終了後，在7 0 °C下保持4小時，其後冷卻 至室溫’得到固體成分32.6質量％，酸價1 i〇mg_KOH/g ( 固體成分換算）之共聚物（樹脂Aa)的溶液。所得之樹 脂Aa的重量平均分子量Mw爲13,400，分子量分佈（ Mw/Mn )爲2.50。樹脂Aa爲具有下述結構單位。
(合成例2 ) 於具備迴流冷卻器、滴定漏斗及攪拌機之燒杯內將氮 以0.02 L/分鐘流速流入作爲氮氣環境，放入二乙二醇乙基 甲基醚140質量份，一邊攪拌一邊加熱至70 °C。 其次將甲基丙烯酸40質量份、3,4 -環氧基三環〔 5.2.1.02·6〕癸基丙烯酸酯（式（Ι-l)所示化合物及式（ II-1)所示化合物的混合物、莫耳比= 50: 50) 340質量 份、二環戊烯基丙烯酸酯（式（xl)所示化合物及式（x2 )所示化合物之混合物，其中莫耳比= 50: 50) 20質量份 溶解於二乙二醇乙基甲基醚190質量份後調製出溶液。將 所得之溶解液使用滴下幫浦，經4小時於70°C的保溫下滴 入燒杯內。 -66 - 201235783 (χΐ> (χ2) 另一方面，將聚合啓始劑2,2’-偶氮雙（2，4-二甲基戊 腈）30質量份溶解於二乙二醇乙基甲基醚240質量份的溶 液，使用另外滴下幫浦，經5小時滴入燒杯內。 聚合啓始劑之溶液滴下終了後，在7 0 eC下保持4小時 ，其後冷卻至室溫，得到固體成分41.8%之共聚物（樹脂 Ab )的溶液。所得之樹脂Ab之重量平均分子量（Mw )爲 9.6M03，分子量分佈（Mw/Mn)爲2.02，固體成分換算 的酸價爲60mg-KOH/g。樹脂Ab具有下述結構單位。
合成例所得之樹脂重量平均分子量（Mw )及數平均 分子量_( Μη )之測定使用GPC法以以下條件進行。 裝置；Κ2479 ((股）島津製作所製）
管柱；SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
管柱溫度；40°C 溶劑；THF (四氫呋喃）
流速；1 . OmL/min 檢測器；RI
校正用標準物質；TSK STANDARD POLYSTYRENE -67- 201235783 F-40 、 F-4 、 F-288 、 A-2500 、 A-500 ( Tosho (股）( TOSOH CORPORATION) M ) 上述所得之聚苯乙烯換算的重量平均分子量及數平均 分子量之比（Mw/Mn)作爲分子量分佈。 實施例1〜3、比較例1 <感光性樹脂組成物之調製> 混合表1之成分，得到感光性樹脂組成物1〜4。 表1 K施例1 實施例2 _例3 實施例4 實施例5 比較例1 感光性樹脂組成物 1 2 3 4 5 6 鹼可溶性樹脂(A)(份） Aa 50 50 50 50 50 Ab 50 聚合性化合物(B1)(份） Bla 3 5 3 B1b 3 巳1c 3 聚合性化合物(B2)(份） 50 50 50 50 50 50 聚合啓始劑(〇 (份） 4 4 4 4 4 4 聚合開始助劑(C1)(份〉 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 多官能硫醇化合物(T)(份） 3 .3 3 3 3 3 界面活性劑¢)(份） 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 0.04 抗氧化劑(F)(份） 0.8 0.8 0.8 0.8 0.8 0.8 溶劑(D) (%) Da 26 26 26 26 26 Db 20 20 20 20 20 Dc 17 17 17 17 25 17 Dd 37 37 37 37 25 37 Do 50 固體成分S(%) 33 33 33 33 33 33 表1中各成分如以下所示。樹脂的份量數以固體成分 換算之質量份表示。 鹼可溶性樹脂（A )；
Aa :由合成例1所得之樹脂Aa Ab :由合成例2所得之樹脂Ab 聚合性化合物（B 1 ); •68- 201235783
Bla: 3-乙基-3-丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷（ΟΧΕ-10 ;大阪有機化學（股）製）
Bib:環氧丙基甲基丙烯酸酯（和光純藥（股）製） Blc: 3,4-環氧基三環〔5.2.1.〇2'0〕癸基丙烯酸酯（ 式（I -1 )所示化合物及式（11 -1 )所示化合物的混合物， 其中莫耳比=50 : 50 ) 聚合性化合物（B2 ):二季戊四醇六丙烯酸酯（ KAYARAD (註冊商標）DPHA ;日本化藥（股）(Nippon Kayaku Co., Ltd.)製） 聚合啓始劑（C) ; 2,2，-雙（2-氯苯基）-4,4·，5,5'-四 苯基-1，2’-雙咪唑（B-CIM;保土谷化學（股）製） 聚合開始助劑（Cl ) ; C2a : 2-〔 2-側氧基-2- ( 2-萘 基）亞乙基〕-3 -甲基苯並噻唑啉（式（IH-1)所示化合 物）
多官能硫醇化合物（T):季戊四醇肆（3 -磺醯基丙 酸酯）（SC有機化學（株）製；PEMP ) 溶劑（D )；
Da :丙二醇單甲基醚乙酸酯 Db : 3-乙氧基丙酸乙基 Dc : 3-甲氧基1-丁醇 Dd : 3-甲氧基丁基乙酸酯 -69- 201235783
De:二乙二醇甲基乙基醚 界面活性劑（E )； 聚醚變性聚矽氧油（Toray聚矽氧SH8400; TorayDow Corning (股）製） 抗氧化劑（F) ; 1，3,5-參（4_羥基_3,5-二-第三丁基 苯甲基）-1，3,5-三嗪- 2,4,6(1H，3H，5H)-三酮（IRGANOX (註冊商標）3114; Ciba’Japan公司製） 溶劑（D)爲混合感光性樹脂組成物之固體成分量至 如表1的「固體成分量（％ )」，溶劑（D )中之溶劑成 分中（Da )〜（De )之値爲以溶劑（D )中的質量比表示 <組成物之平均透過率> 對於所得之感光性樹脂組成物1〜4，各使用紫外可見 光近紅外分光光度計（V-650 ;日本分光（股.）製）（石 英管，光路長；lcm)，測定400〜700nm中之平均透過 率（％)。結果如表2所示。 <塗膜之平均透過率> 使用所得之感光性樹脂組成物1〜4，以以下條件製作 塗膜至各硬化後的膜厚爲3 μιη。 將2英吋角的玻璃基板（#1737; Corning公司製）以 中性洗劑、水及醇之順序洗淨後乾燥。於該玻璃基板上將 感光性樹脂組成物進行轉動塗布至後燒烤後膜厚爲3.Ομιη -70- 201235783 ’在減壓乾燥機（mi crotek (股）製）進行減壓乾燥至減 壓度爲66kPa後，在加熱板以80t進行2分鐘預先燒烤並 使其乾燥形成未硬化塗膜。冷卻後於形成該未硬化塗膜之 基板上，使用曝光機（TME-150RSK; T0PC0N (股）製 、光源；超高壓水銀燈），大氣環境下，照射曝光量 100mJ/cm2 (405nm基準）之光。且，此時對於未硬化塗 膜（感光性樹脂組成物）之照射爲將自超高壓水銀燈的放 射光通過光學濾器（LU0400 ;朝日分光（股）製）後進行 。光照射後於含有非離子系界面活性劑0.1 2%與氫氧化鉀 0.04%之水系顯像液中將前述未硬化塗膜在25t進行1〇〇 秒浸漬·搖動並顯像，其後在23 5 °C進行15分鐘加熱後得 到塗膜。 對於所得之塗膜，使用顯微分光測光裝置（OSP-SP200 ； OLYMPUS公司製），測定400〜700 nm中之平均 透過率（％ )。透過率變高表示吸收變小之意思。結果如 表2所示。 <圖型形成> 將2英吋角的玻璃基板（#1737; Corning公司製）以 中性洗劑、水及醇之順序洗淨後乾燥。於該玻璃基板上將 感光性樹脂組成物進行轉動塗布置後燒烤後之膜厚爲 4.0μηι，並以減壓乾燥機（microtek (股）製）減壓乾燥至 減壓度爲66kPa後，在加熱板於80°C進行2分鐘預先燒烤 後乾燥形成未硬化塗膜。冷卻後將形成該未硬化塗膜之基 -71 - 201235783 板與石英玻璃製光罩之間隔作爲1 Ομπί TME-150RSK ； TOPCON (股）製之光源 )，在大氣環境下，以曝光量100mJ/cm2 之光進行照射。且此時對於未硬化塗膜（ 物）之照射爲將自超高壓水銀燈的放射光 LU 0400 ;朝日分光（股）製）而進行。又 圖型（具有1邊爲19 μηι之正方形的透光 間隔爲ΙΟΟμπΟ於同一平面上形成的光罩 光照射後於含有非離子系界面活性劑 鉀0.04%之水系顯像液中將前述未硬化查 1 00秒浸漬·搖動後顯像，水洗後烤箱中《 分鐘後燒烤而得到圖型。 <圖型寬之測定> 將所得之圖型寬度使用三次元非接觸 統（Micromap MM5 2 7N-PS-M100 ;(股） SyWem·? he.)製）進行計測。對於 由基板面之5%高度圖型寬度。結果如表2 <機械特性（總變位量及回復率）> 對於所得之圖型，使用 Dynamic起 DUH-W201 ；(股）島津製作所製），測； μπι )及彈性變位量（μιη )，並算出回復率 回復率越高，柔軟性越高，故作爲間隙控i ，使用曝光機（ ;超高壓水銀燈 ( 405nm 基準） 感光性樹脂組成 通過光學濾器（ ，作爲光罩使用 部，該正方形之 〇 0.12%與氫氧化 艺膜在2 5 °C進行 E 23 5 °C 進行 15 表面形狀計測系 菱化系統公司r 圖型高度，測定 所示。 i微小硬度計（ £出總變位量（ (%)。圖型的 制材料爲有用。 -72- 201235783 將圖型作爲間隙控制材料使用時，可製造出強度優良的液 晶面板。結果如表2所示。由相同感光性樹脂組成物所形 成之圖型與塗膜顯示同樣機械特性。 -測定條件- 試驗模式；負荷-除荷試驗 試驗力 ；50mN 負荷速度 ：4.4 1 mN/sec 保持時間 ；5 s e c 壓子 ：圓錐台壓子（直徑50μπι) 回復率（％ )；(彈性變位量（μτη ) /總變位量（μιη ))X100 表2 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 實施例5 比較例1 感光性樹脂組成物 1 2 3 4 5 6 圖型寬Urn) 18.4 17.9 18.2 18.0 18.5 18.5 機械特性 總變位量("m) 0.42 0.49 0.46 0.40 0.38 0.50 回復率(％) 92 90 90 93 94 85 組成物之平均透過率(％) 89 90 91 90 91 90 塗膜之平均透過率（％) 99 99 99 99 99 99 產業上可利用性 本發明的感光性樹脂組成物可得到機械特性優良的圖 型。 -73-

Claims (1)

  1. 201235783 七、申請專利範圍： 1·—種感光性樹脂組成物，其特徵爲含有（A)、( Bl ) 、 ( B2) 、 （ C)及（D)，其中 (A)鹼可溶性樹脂 (B1)具有碳數2〜4的環狀醚結構及乙烯性不飽和 鍵之聚合性化合物 (B2)與（B1)相異的聚合性化合物 (C) 聚合啓始劑 (D) 溶劑。 2.如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其 中（B1)爲具有碳數2〜4的環狀醚結構及（甲基）丙烯 醯氧基的聚合性化合物。 3 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物’其 中（B1)含有具有環氧乙烷基及（甲基）丙烯醯氧基之聚 合性化合物，或具有氧雜環丁基及（甲基）丙烯醯氧基之 聚合性化合物者。 4.如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物’其 中（B2)爲於分子內不具有環狀醚結構之（甲基）丙嫌酸 酯。 5 ·如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物’其 中（B2)爲於分子內不具有環狀醚結構’且具有3個以上 的甲基）丙烯醯氧基之聚合性化合物。 6 ·如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物’其 中（B1)之含有量對於（A)與（B2)之合計量1〇〇質量 -74- 201235783 份而言爲1質量份以上20質量份以下。 7.如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其 中（A)爲含有來自選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所成 群的至少1種之結構單位、與來自具有碳數2〜4的環狀 醚結構及乙烯性不飽和鍵之單體的結構單位之加成聚合物 〇 8 · —種圖型，其特徵爲係由如申請專利範圍第1項 之感光性樹脂組成物所形成者。 9. 一種顯示裝置’其特徵爲含有如申請專利範圍第8 項之圖型者。 -75- 201235783 四 指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：無。 (二） 本代表圖之元件符號簡單說明：無 201235783 五 本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學 式：無
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