TW201024056A - Wire saw and wire saw system - Google Patents

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TW201024056A TW098144157A TW98144157A TW201024056A TW 201024056 A TW201024056 A TW 201024056A TW 098144157 A TW098144157 A TW 098144157A TW 98144157 A TW98144157 A TW 98144157A TW 201024056 A TW201024056 A TW 201024056A
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Shigeo Kobayashi
Hitoshi Gushiken
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Komatsu Ntc Ltd
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    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23D61/185Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • H01L21/302Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Description

201024056 六、發明說明. 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於將例如由半導體材料、磁性材料、陶曼等硬 '脆材料構成的工件,利用鋼絲進行切斷的線顯,以及具備 ' 有該線鋸機、與工件取放裝置的線鋸機系統。 【先前技術】 習知,此種技術有提案如專利文獻1與專利文獻2所揭示 ❹的構造。 專利文獻1所記载的習知構造,係在加工用親間的工件切 斷用鋼絲上方配置保持構件,該保持構件係在懸吊狀態下保 持工件而可於鋼絲升降。在工件上㈣定被保持體 ,該被保 持體係相對於上述保持構件,可滑動地支撐在加工用粮的轴 線方向。對機設k件取放裝置,並在該工件取放裝 置中》又置導引構件’該導引構件係支撐工件上的被保持體, 並在與線鑛機側的保持構件之間,導引工件的取放。 再者,專利文獻2所記載的習知構造,係在加工用輥之間 的鋼絲上方配置保持構件,該保持構件係將工件依懸吊狀態 • 保持王可朝鋼絲升降。在工件上面固定著被保持體,該被保 體係可相對於上述鱗構件,可賴地支撐至加工用輕轴 線方向的正交方向。 [專利文獻1]日本專利特開2__246643號公報 [專利文獻2]日本專利特開平1()_2()2499號公報 098144157 3 201024056 【發明内容】 (發明所欲解決之問題) 但是,該等習知構造會有如下述問題。 專利文獻1所記載的習知構造’藉由使工件上的被保持體 相對於線鋸機之保持構件,朝加工用輥軸線方向滑動而進 行。所以,當複數工件呈沿加工用輥軸線方向並設狀態下固 定於被保持體上、或者在加工用親轴線方向於被保持體上固 定長形工件的情況下,被保持體對保持構件的滑動距離會變 長。然後,滑動距離若變長,當保持構件導引方向與被保持 體移動方向不一致時,則於上述滑動時發生歪扭情形。所 以,當滑動距離較長時,便必須使被保持體移動方向與保持 構件導引方向正確一致,即便設置有供對被保持體的導入導 引至線鋸機側之構造,但工件的裝設作業仍頗為麻煩。 再者,專利文獻2所記載的習知構造,並未設置當將工件 上的被保持體對線鑛機側的保持構件進行裝設時,導引此項 導入的構造。因此,被保持體對保持構件的導入頗耗手續, 即便滑動方向係與加工用輥軸線方向呈正交方向,仍無法輕 易執行工件取放作業。 本發明係著眼於此種習知技術所存在問題而完成。目的在 於提供一種可輕易對線鋸機執行工件裝設的線鋸機及線鋸 機系統。 (解決問題之手段) 098144157 4 201024056 為達成上述目的,隸機發明卿行配置錢數支加工用 輥,且在該加工用輥的對向位置處,設置可裝卸地保持著工 件之保持手段,並利用在上述加工用輥間所張設的鋼絲切斷 •由該保持手段保持之工件’其特徵在於··將對上述保持手段 '裝卸工件的方向,設為與平行於上述加工用輥轴線的上下方 向平面相交叉的方向,且在該保持手段中設置導引工件相對 於裝設位置之導入的導入導引部。 ® 糾’即便在加工職軸線方向並設複數工件狀態下、或 即便工件在加I用輥減方向呈長形,仍可簡單地對保持手 段導人I件,可在未發生大幅滑動的情況下I設。所以,工 件的裝設作業可在不會發生歪扭情況下輕易進行。 #上述構造巾’工件相對上述㈣手段的裝卸方向,較佳係 設為與上述加工用輥軸線平行之上下方向的平面相正 方向。 ❹#者’上述構造巾,上述保持手段較佳係具有可滑動地懸 吊在工件上面所固定的被保持體,並將工件導引至被加工位 置,且保持於該被加工位置處;在該保持構件前端部設有上 •述導入導引部。若依此構造,因為保持構件具有工件=保持 機能與滑動導引機能,便可將構造簡單化,且利用導入導引 部的作用,便可不會歪扭而可圓滑地進紅件朝保持2件2 滑動。 再者’上述構造中’在上述保持手段中形成有限制面,以 098144157 5 201024056 限制上述被保持體位置,且設 構件靠近/_上述限制面 又ς可使上述保持 向移動,而在上述被伴持^梅構件朝上述靠近方 皮保持體雙上述限制面限制狀 於上述被保持體。若根據此種構造,因為限制面呈= 放,因而可輕易施行限制面的清掃。 打方開 再者’線鑛機系統發明係"請專利範圍第3或 載線《、及工件錢裝置構成;該工件取放裝置,复= 料位置料_柄位置之_動;該取放裝在= 述被保雜配置於上述保持構件高度位置處時由該工= 放裝置支撐玉件,並可錢與上述㈣構狀_放工件的 位置。所以,本發明中,使用工件取放裝置,便可輕易對線 鋸機進行工件裝卸作業。 ' 上述構造中,在線蘇機與工件裝置之間,亦可設置相對上 述保持構件’用以定位卫件取放裝置較位手段。如此_ ❹ 來’在對賴餘設L便可輕易地進行工件對保持構 件(即工件裝設位置)的定位。 再者,上述構造中’上述工件裝置較佳係設有導引構件, 其可滑動賴吊在卫件上面所固定的被保持體 ,而將工件導 引至線鋸機的保持構件前端。根據此種構造,便可在導引構 件與線鋸機的保持構件之間輕易地取放工件。 再者’上述構造中’上述工件裝置較佳係設有承接孤,該 承接孤係承接由上述導引構件所懸吊工件滴落的漿料。依此 098144157 6 201024056 的話’可防止線鋸機周邊地面等處遭受污染。 除此之外,較佳係設有固定手段,在上述導引構件由框架 支撐而可於靠近上述保持構件的位置、與遠離保持構件的位 置之間移動的情況下,至少可將導引構件固定在上述遠離位 置處。依此的話,便可使工件安定地位於裝卸位置處,俾使 工件易於裝卸。 ( (發明效果) ❹ 依如上述,根據本發明,可發揮工件對線鋸機輕易進行裝 卸作業的效果。 【實施方式】 以下’針對本發明一實施形態根據圖式進行說明。 如圖1所示,本實施形態的線鋸機系統具備有:線錯機 20、及工件取放裝置41。該線鋸機20係將工件w切斷;工 件裝置41係對該線鋸機20放置加工前的工件w、或取出加 ®卫完畢的工件W。 如圖1〜圖3所示,上述線鋸機20中,在基台21上的機 柱22上裝設有切斷機構23。該切斷機構23係具有相互間 隔且平行延伸的一對加工用輥24、25,在該等加工用棍24、 25的外周,依既定間距形成環狀溝24a、25a。在加工用粮 24、25的各環狀溝24&、25&中’連續捲繞由1條線材構成 的鋼絲26。然後,利用未圖示以移動用馬達使加工用粮24、 25進行旋轉,藉此,使鋼絲26在加工用輥24、25間移動。 098144157 7 201024056 此情況下,鋼絲26的移動會反覆進行一定量前進及一定量 後退’而使全體步進式前進、或朝單—方向連續前進。上= 加工_只要至少-對便可’但若相互間隔形成平行配置構 造的話’則亦可達3支以上。 線鑛機20的本體中,為取出及放入工件w,因而形成朝 加工用輥24、25軸線方向正交的方向開放的開口 2〇a。 在上述切斷機構23的上方位置處,配置漿料供應裝置 27然後,從漿料供應裝置27供給含有游離磨粒的裝料至❹ 加工用輥24、25間的鋼絲26。 在切斷機構23上方,於機柱22上可升降地配置用以支撐 工件w的工件支撐裝置28。如圖2所示,使用沿加工用輥 24、/5轴線方向複數並設之工件w,或未圖示,使用沿加工 用輕24、25㈣方向延伸的單—絲工件。 ㈣運轉時’鋼絲26會在切斷機構23的加工用輥24、25 之間的移動,Β Α μ 9R , 邊從漿料供應裝置27供應漿料至該鋼絲❹ Z b上,一^邊妥m 从 用工件支撐裝置28使工件W朝切斷機構23 下降。猎此,工# m 件W便被押抵於鋼絲26而被切斷。 接著,針對i r芍將上述工件W保持於線鋸機20上的構造進 行詳細說明。 如圖4〜圖6麻_
汀不,在上述工件W的上面黏著固定著玻璃 板31及金屬柄Q 入 02。在金屬板32上面利用未圖示之複數螺 "裴卸也安裴有金屬製被保持體33。在被保持體33上面 098144157 8 201024056 突設複數被保持片34,在各被铺片34_壁上面形成被 限制面34a。在相鄰接的各一對被保持片34内側,形成有 階梯狀第i卡合部34b與第2卡合部34c,以 機 呈裝設的狀態下,朝與上述加工賴24、25轴線方向機正交 的方向延伸。 如圖5〜圖7所示,供支撐上述 ϋ π付亍衩怠工 牛支撐構件35,係可升降地配置於線鑛機20上’且位在加 所懸掛一 #有作為料手段的複數倾構件。於上 保持體 =呈略m字狀。在I件支撐構件35上面配置 動手段的複數汽虹37,並利用螺栓38,使上為駆 固定在該等汽虹37的活塞桿37aT端。使上迷保持構㈣ 然後,猎由上述汽缸37的活塞桿3 保持構㈣便從上方位置移動至圖=作’ 處線所示之下方杨番未士 τ很貧線及圖7中依 心上的工件讲,合^ 態下,上述工件取放裝置 印移動到被保持體33上笛 保持構件36卡合的缺, 弟1卡口 4 34b與 持構件36 、 。一後’ S 1卡合部34b會朝 持構件36上之基_ 曰朝保 ⑽沒入上方的動作,使健#由^ 37的活塞捍 依實線麻之上方 ^射36移動至圖4與圖7中 合部施而向上拉且藉此,被保持體33經由第〗卡 _57 %到該破保持體%上的被限制面 201024056 工件w保持在懸吊於工件支撐構件㈣限 如圖3與圖7⑽,在地__⑽方,於讀 支撐構件35的下面突奴位構件39。然後,如圖3所示, 當工件W上的被保持體33沿導人導引部細導引移動至保 持構件36的基端側時,被保持體33後面抵接於該定位構件 39。藉此項抵接’被保持體33便相對於工件支撐構件% 被定位於前後方向既定位置處。 如圖4圖7所不,在上述各保持構件%的前端部,朝前 方突出形成可與被保持體33上之第1卡合部34b卡合的導 入導引。卩36a。該導人導引部⑽係湘傾斜面朝向前端 緣’且形成前端漸細形狀。然後,如圖7中虛線所示,依保 持構件36配置於下方位置的狀態下,祕持體33的第! 卡合部34b從導入導引部施办前端侧,導引移動至保持構 件36的基端側。然後,配置保持構件%,以使被保持體扣 的滑動方向成為與上述加24、25軸線通過上下方向 的平面呈正交之方向。但HW的加工並無問題時,亦 可配置保持構件36,以使被保持體扣的滑動方向成為與上 述加工㈣24、25減通過上下杨的平面呈斜交之方向。 其次’針對上駐件取放裝置41的構造及其義構造進 行詳細說明。 如圖1與圖8〜圖10所示’該工件取放裝置41的框架42, 098144157 10 201024056 47。 具備有:縱框部42a、以及從該縱框部42a卞端朝側邊突設 的一對臂部42b。在框架42的下面四角落安裝著車幹43。 框架42係設有用以移動工件取放裝置41的把手44。在框 架42的臂部42b間,透過支撐板46,在沿臂部4此的延長 方向,且以隔開一間隔的狀態下’在與臂部4此延長方向正 交的方向上配置複數輥45。在娜反46上岛設置 上述線鑛機20的基台21底面,係從設置讀線賴的 7專處之地面(未圖示)浮起。如圖i與圖8所示,在上述 線鑛機20的基台21底面,配置有作為引導構件的導引板 48’以使之在與加工用輥24、25轴線方向正交之方向延伸。 在導引板48前端形成有前端漸細形狀的導 τ八導3丨面48a。 然後^圖丨中箭頭所示,當工件取故裝置Μ的框架U 移動罪近線鋸機20的基台21時,輥45沿導”板48.的導入 導引面48a而被導引,並卡合於導引板仙的兩側面。夢由 :種=’工件取放裝置41便相對於線鑛機別,被定:於 加工用輥24、25軸線方向的既定位置。 ^ 起47卡合於導引板48前端,工件取 立大 .-p ™ ^ 衣夏41便被定位於 用輥24、25轴線方向的正交方向的既定位置。利用上 述㈣、定位聽47及料板48,構麵將工件取放穿置 41定位於上述巧支#構件35上的定位手段。 、 如圖1及圖8〜圖1〇所示,在上述框架^的縱框部42a 098144157 11 201024056 内侧面,可升降地支撐升降體49。然後,藉由旋轉升降用 把手50’利用由未圖示鏈輪與鏈條等所構成的升降機構, 使升降體49上升或下降。在升降體49上,箱型移動體51 被支撐成在水平面内可朝框架42的臂部42b其延長方向正 交之方向移動。然後,藉由旋轉移動用把手52,並利用由 未圖不之滾珠螺桿專所構成的移動機構’使移動體51在上 述方向移動。 如圖8及圖11〜圖12所示,在上述移動體51兩側内面,❹ 在與移動體51的移動方向呈正交的方向延長配置導轨53。 在移動體51内的二導執53間,支撐體54係利用複數親55 被支撐成可朝移動體51的移動方向正交之方向移動。在支 撐體54上固定有用以對該支撐體54進行移動操作用的把手 56。 如圖8〜圖11及圖13所示,在上述移動體51 —側的上面, 以一定間隔’使具有定位孔57a的一對定位板57配置於支 © 撐體54的移動方向。在支撑體54 —側安裝有固定板58。 該固定板58係具有可擇一與二定位板57的定位孔57a吻合 之插通孔58a。然後’支撐體54會移動至圖8〜圖1〇與圖 12所示之外侧位置(線鋸機20靠近工件W的位置)的狀態 下、以及支撐體54移動至圖12中虛線所示之靠近升降體 49内側位置(線鋸機20遠離工件w的位置)的狀態下,藉由 定位栓59從插通孔58a插通於其中一定位孔57a中,使支 098144157 201024056 撐體54定位固定於外側位置或内側位置。利用上述定位板 57、固定板58及定位栓59構成固定手段。 如圖1及圖8〜圖12所示,在上述支撐體54的上面前緣, 突設複數導引構件60。該等導引構件60可卡合於工件?上 的被保持體33上的第2卡合部34c。該等導引構件6〇係朝 向前端緣形成前端漸細形狀。然後,如圖8、圖1〇及圖12 所不’在各導引構件60卡合於被保持體33上的第2卡合部 © 34c狀態下’工件W會在懸吊的狀態下支撐在支撐體%的 前部。 如圖10及圖12所示,在上述支樓體54的前面配置複數 橡膝襯墊61。然後,當導引構件6〇插入被保持體犯的第2 卡口 I5 34c時11亥等橡膠襯墊61便緩衝地抵接於被保持體 33 ° 如圖8、圖9、圖上 m 圖12所不,在上述移動體51的底 罾面開口部62上安裝承接 吊著加工完畢的工件?的肤然後,在導引構件6〇上懸 體扣侧的㈣位置時下,#支撐體%移動至升降 漿料。 接盟63承接從工件W所滴下的 接著,就對依如上述 時的動作進行說明。 成線鑛機20,施行工件w裝卸 再者,當在線鋸機2 工件?係矛 -且-衣砹工仵WBf, ,'在其上面經由破璃板31與金屬板 如圖14所示,工件 工件支撐裝置28裝設工件ψ時, 098144157 201024056 32而固定被保軸33狀態下,搭载於卫件運搬用台車66 上,亚被搬送至與工件取放裝置41的對應位置。此 工件取«置41的支撐體54將被移動配置於圖 線 ^内側位置。然後’利用升降用把手如的操作= 沾進行升降,並利用移動用把手52的操作 = 移動,藉此,使支撐體54上的導引構件6〇配置於5 上的被保持體33上之第2卡合部地對應的位置。 在此^下’藉由操作把手56的操作,使支撐 12中虛線所示之内側位置移動至實線所示之外侧位置時 導引構件6◦便插人工件w上的被保持體33上之第2卡 34c中。錢,藉由升降體49上升,工件w會在懸吊^態 下被支撐於支掉體54前部。然後,藉由支樓體^從外侧位 置移動至内側位置,使卫㈣搭載於移動體51内。 另一方面,在線鑛機20的工件支撐裝置28中,利用各汽 缸37的突出動作,如圖6所示,保持構件%被移動配置於 下方位置。在此狀態下,如圖1中箭頭所示,已搭載工件w 的工件取放U 41被移動至與上述保持構件%對應的位 置。然後’藉由工件取放裂置41側的輥45與定位突起47, 卡合於線鋸機20側的導引板48,來決定工件取放農置41 相對於線鋸機20之既定的工件裝卸位置。 然後,工件取放裝置41的升降體49可視必要升降,且藉 由移動體51朝左右方向移動,懸吊於導引構件6〇的工件界 098144157 14 201024056 上之被保持體33上的第丨卡合部34b,被配置於線鋸機2〇 的工件支撐裝置28中,與保持構件36的導入導引部36& 對應的位置。在此狀態下,工件取放裝置41的支撐體Μ 會從内側位置移動至外側位置。所以,如圖7中虛線所示, 工件W上的被保持體33上之第1卡合部34b,會從工件支 撐構件35前方側沿保持構件36的導入導引部36a,滑動至 保持構件3 6的基端側。 然後,如圖3所不,藉由被保持體33抵接於在工件支撐 構件35下面所設置的定位構件39,定位於前後方向的既定 位置,而被保持體33的第1卡合部34b被配置於與保持構 件36呈卡合的位置。在此狀態下,藉由工件取放裝置41 的支撐體54從外側位置移動至内側位置,工件w便從工件 取放裝置41的導引構件6〇被取放至線鋸機2〇的保持構件 36。 此情況下,藉由上述輥45與導引板48的卡合,配置保持 構件36,以使被保持體33滑動方向成為與加工用輥24、25 轴線方向呈交叉的方向。所以,如圖2與圖4所示,在將複 數工件W並設於加工用輥24、25轴線方向的狀態下,而固 定於被保持體33時、或即便工件w係在加工用輥24、25 軸線方向呈長形時,亦相對於保持構件36不致歪扭而可順 利地取放工件W上的被保持體33。 然後,在線鋸機20的工件支撐裝置28中,各汽缸37進 098144157 15 201024056 灯/又入動作’便如圖4所示’保持構件⑽移動至上方位置, 且卡合於被_體33上的第1卡合部34b,賴保持體33 面向件支樓構件35的限制面咖而被拉起。藉由此種拉 起,該被保持體33上的被限制面他便壓接於工件支撐構 件35的限制面m件W被保持在懸吊於工件支撐構 件35的限制面35a狀態下,並安裝於被加工位置。 再者’線鋸機20中’在利用鋼絲26完成工件⑺的加工後, 认從件支撐農置28上拆卸加工完畢的工件w時,只要使 用工件取放Μ 41 ’且與上述功w裝設輕相反 作#可。 保 所以本只施形·%的構造具有以下效果。 ⑴相對上駐件支撐構件35的保持構件%,卫件%之 裝卸方向係與加工用觀24軸線平行之上下方向的平面呈正 又的方向。而,在上述保持構件36前端形成用則丨導工件 W導入裝設位置之導人導引部細。所以,即便於加工用链 24的軸線方向並設複數工件w的狀態下、或工件$係在: 工用輥24轴線方向呈長形時,仍可簡單地對保持構件% 導入工件W’且不用大幅滑動而可進行裝設。故,可不會發 生歪扭而可輕易執行工件w的裝設作業。 3 ⑵上述件支撐構件35係具有可滑動地鮮有在工件w 上面所固定的被歸體33,且將工件?導引至被加工位置, 並保持於該被加卫位置處的保持構件36,更在該保持構件 098144157 201024056 36前端部形成上述導入導引部36a。所以,上述保持構件 36具有工件W的保持機能與滑動導引機能,因而零件數較 少,可將構造簡單化。此外,藉由上述導入導引部36a的作 •用,便不致歪扭而可順利地將工件w導入保持構件祁。 • (3)在上述工件支撐構件35中,形成限制面35a,來限制 工件W上被保持體33上之被限制面34a的位置。且,保持 構件36利用 >飞缸37被拉起’在受上述被限制面34a在限制 ❹之狀態下,壓接於上述限制面35a。所以,工件评便被定位 於既疋位置,因而可實現高精度加工。且,因為保持構件 36兩側的限制面35a朝下方呈開放,因而可輕易地執行該 限制面35a的清掃。若在限制面35a附著有漿料的狀態下, 將工件W支撐於工件支樓構件35上時,雖會有工件w的位 置錯亂,導致無法施行高精度加工之虞,但本實施形態可簡 單地消除此種疑慮。相對於此,例如上述專利文獻2中,因 參為在L形狀的支稽部上面(即朝上的面),形成相當於本實施 形恕限制面35a的限制面,故該限制面的清掃較困難。 (4) 由於設置工件取放裝置41,係可在取放位置以及遠離 該位置間移動,且在將被保持體33配置於保持構件36的高 度位置時,在上述保持構件間取放並支撐工件¥,因而可輕 易地對線鋸機20執行工件w裝卸作業。 (5) 在線鋸機20與工件取放裝置41之間,設有相對保持 構件36進行工件取放襞置定位的耗、或導引板等 098144157 17 201024056 所構成的定位手段。所以,在工件W相對線鋸機20進行裝 設時,可使對保持構件36進行的工件定位變得容易,俾使 工件W的裝設作業更為容易。 (6) 在上述工件取放裝置41中設有為承接來自導引構件 60所懸吊之工件W的滴落漿料用之承接皿63。所以,可防 止線鋸機20周邊地面、與作業者衣服等,因漿料遭受污染 情況發生。 (7) 設置有定位板57、固定板58、及定位栓59,係在導 ◎ 引構件60靠近保持構件36的位置、以及遠離保持構件36 的位置等二位置處,用以固定支撐有導引構件60的支撐體 54。所以,相對於支撐構件35,可使工件W安定地位於裝 卸位置與待機位置,俾使工件W的裝卸作業更加容易。 (變化例) 另外,本實施形態亦可如下述變更具體化。 •將工件取放裝置41的升降體49或移動體51,作成利 © 用由電動馬達等所構成的驅動機構而進行升降或移動的構 造。 •將工件取放裝置41的支撐體54,作成利用由電動馬達 等構成的驅動機構,在内側位置與外側位置間進行移動的構 造。 •上述實施形態中,使工件W相對於加工用輥24進行升 降,以進行工件W的加工,但亦可相反的,作成使加工用輕 098144157 18 201024056 24進行升降以進行工件w加工的構造。 •工件取放裝置41的移域51上之定純57,僅設置 於支撐體54的前進位·。即,作成料引構件6Q靠近線 鑛機㈣工件支撐構件35位置時,由支標體54固定的構 造。 (其他的技術思想) ❹ 上述實施形態已有掌握,申請專利範圍未記载的技術思想 係如下。 ⑴-種線賴,係設有㈣構件,討滑祕懸吊在工 件上面所蚊的被保持體,並將卫件導引至被加工位置,且 鋪在該被加玉位置;並設有導人導弓丨部,係在該保持構件 刖端部,將工件導入同—保持構件。 ⑻如上述麟思想(A)項所記觀_,其巾,在上述保 持構件的上方位置設有驅動手段,係形成有限制面,以限制 上途被保持體位置,可使上述保持構件靠近/遠離上述限制 ^使上述保持構件朝上述靠近方向移動,而在被保持體受 上逸限制面限制的狀態下,壓接於上述被保持體。 ⑹-種線鑛⑽統,可在_機⑽私件取放裝置之 、Ί右件(W)且該取放裝置由可移動的框架(42)支撐, ==有工件簡部⑽),以將4(w)歸在線關⑽ 中所裝設妓設部⑽的高度位置;又,設有承接皿(63), 以承接由上述保持部⑽所保持時(_落的褒料。 098144157 201024056 【圖式簡單說明】 圖1為一實施形態線鋸機系統的要部立體示意圖。 圖2為圖1所示線鋸機系統中,線鋸機的要部放大正視· 圖3為同線鑛機的要部侧視圖。 。 圖4為同、_機的碍支樓裝置之放大正視圖。 圖5為同工件切裝置的要部立體示意圖。 圖 6 為對圖 4 所'^ τ /4* 4· _ iHr 32 正視圖 件支撐裝置’進行工件裝卸時的狀態 圖7為圖4所示7〜7線放大切剖圖。 置的放大立體 圖8為圖1所示線鑛機系統中,工件取放裂 示意圖。 ~ 圖9為同工件取玫裝置侧視圖。 圖10為同工件取放裝置的放大平面圖。 圖11為圖9所示1Η1線放大切剖圖。 圖12為圖Π)所示1Μ2線放大切剖圖。 圖13為支撐體對工件取放裝 部立體示意圖。 卿的讀構造之要 圖14為圖9戶斤千-r 態 侧視圖。’、料场取衫㈣鄕载時的狀 主要元件符號說明】 20 20a 線鋸機 開σ 098144157 20 201024056
21 基台 22 機柱 23 切斷機構 24、25 加工用幸昆 24a 、 25a 環狀溝 26 鋼絲 27 漿料供應裝置 28 工件支撐裝置 31 玻璃板 32 金屬板 33 被保持體 34 被保持片 34a 被限制面 34b 第1卡合部 34c 第2卡合部 35 工件支撐構件 35a 限制面 36 保持構件 36a 導入導引部 37 汽缸 37a 活塞桿 38 螺栓 098144157 21 201024056 39 定位構件 41 工件取放裝置 42 框架 42a 縱框部 42b 臂部 43 車輪 44 把手 46 支撐板 47 定位突起 48 導引板 48a 導入導引面 49 升降體 50 升降用把手 51 移動體 53 導執 54 支撐體 55 輥 56 操作把手 57 定位板 57a 定位孔 58 固定板 58a 插通孔
098144157 22 201024056
59 60 61 62 63 66 W 定位栓 導引構件 橡膠襯墊 開口部 承接m 工件運搬用台車 工件
098144157 23

Claims (1)

  1. 201024056 七、申請專利範圍: 1·一種線峨’其平行配置有複數支加工用輥,且在該加 工用輥的對向位置處,設置可裝卸地保持著工件之保持手 段並利用在上述加工用輥間所張設的鋼絲切斷由該保持手 段保持之1件,其舰在於:將對上述料手段裝卸工件的 方向,設為與平行於上述加工用輥軸線的上下方向平面相交 叉的方向在該保持手段中設置導引工件相對於裝設位置 之導入的導入導引部。 如申請專利範㈣1項之_機,其中,對上述保持手 •k裝卸工件的方向,係設為與平行於上述加I用輥軸線之上 下方向平面相正交之方向。 申明專利範圍第i項之線鑛機,其中,上述保持手段 二、、、構件其可滑動地懸吊在工件上面所固定的被保持 並將工件導引至被加工位置,且保持於該被加工位置 ,在該保持構件前端部設有上料人導引部。 4由如中請專利範’ 3項之線鑛機,其中,在上述保持手 ^形成有限制面’以限制上述被保持體位置,且設置驅動 保其可使上述保持構件靠近/遠離上述限制面,使上述 別而件朝上述靠近方向移動,而在上述被保持體受上述限 ’面限制之狀態下,壓接於上述被保持體。 5.一種線鑛機系統,包含下述構造: 申請專利朗第3或4項之_機;以及 098144157 201024056 工件取放裝置’其可在取放位置與遠離該處的位置之間移 動;該取放裝置係在將上述被簡體配置於上述保持構件高 度位置處時’由該王件取放I置支#工件,並可在其與上: 保持構件之間取放工件的位置。 /' ? 6·如申請專利範圍第5項之線鋸i系統,其中,在線鑛機 與工件取放裝置之間,設置㈣相對於上述料構件而定位 工件取放裝置之定位手段。 參 參 7. 如申請專利範圍第5項之線鑛機系統,其中,上 取放裝置具有: 、 ^工中 導引構件,其可滑動地懸吊在工件上面所^的被保持 體,而將工件導引至線鋸機的保持構件前端。 8. 如申請專利範圍第7項之線鋸機系統,1 取放裝置設有: 、 件 承接皿’其承接由上述導引構件所懸吊之工件滴落 料。 9. 如申請專利範圍第7或8項之線鑛機系統,与有. 固定手段’在上述導引構件由轉切”於靠近上述保 持構件的位置、與遠離保持構件的位置之間移動的情況下, 至夕可將V引構件固定在上述遠離位置處。 098144157 25
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI394623B (zh) * 2011-03-28 2013-05-01 Komatsu Ntc Ltd 線鋸機用升降機
TWI469838B (zh) * 2011-03-07 2015-01-21 Komatsu Ntc Ltd 度量夾具、線鋸及固定工作件的方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2477955B (en) * 2010-02-19 2015-01-28 Belron Hungary Kft Zug Branch Wire handling for vehicle glazing panel cut out
WO2012031900A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 Meyer Burger Ag Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine
JP5996308B2 (ja) 2012-07-10 2016-09-21 コマツNtc株式会社 ワイヤソー
JP6317120B2 (ja) * 2014-01-29 2018-04-25 高周波熱錬株式会社 線材の挿入装置、長尺ワークの巻取装置及び線材の挿入方法
JP7372097B2 (ja) * 2019-09-20 2023-10-31 コマツNtc株式会社 ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法
JP7372098B2 (ja) * 2019-09-20 2023-10-31 コマツNtc株式会社 ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法
CN113941939B (zh) * 2021-10-28 2022-06-24 连云港福东正佑照明电器有限公司 一种基于双面打磨机构的加工设备及其加工工艺

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3178653B2 (ja) * 1996-10-25 2001-06-25 株式会社東京精密 ワイヤソー
JPH10202499A (ja) * 1997-01-14 1998-08-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH1070172A (ja) * 1997-08-21 1998-03-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH11188600A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー及びワーク搬入出方法
JPH11262852A (ja) * 1998-03-19 1999-09-28 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切断終了検知装置付ワイヤーソー装置 及びワークの切断方法
JP3976556B2 (ja) * 2001-11-30 2007-09-19 Dowaホールディングス株式会社 ワイヤソー
JP4053800B2 (ja) * 2002-03-25 2008-02-27 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP4901550B2 (ja) * 2007-03-30 2012-03-21 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソー
JP2009282514A (ja) * 2008-04-24 2009-12-03 Kobe Steel Ltd 表示装置用Al合金膜、表示装置およびスパッタリングターゲット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI469838B (zh) * 2011-03-07 2015-01-21 Komatsu Ntc Ltd 度量夾具、線鋸及固定工作件的方法
TWI394623B (zh) * 2011-03-28 2013-05-01 Komatsu Ntc Ltd 線鋸機用升降機

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