TW201007098A - Out-gas system of clean room and construction method thereof - Google Patents

Description

201007098 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於潔淨室之排氣系統及其施工方法，詳$ 之’係關於不使用雙重地面構造，於混凝土地面不另行加 工而僅以混凝土鋪設形成吸氣孔，於該吸氣孔具有圓筒狀 之外罩及吸氣所需之大小之開口，藉由設置由鋁構成之圓 板狀之蓋使承受振動與地震負荷之能力高於垂直層流型潔 淨室且成本低廉之潔淨室之排氣系統及其施工方法。 $ 【先前技術】 如周知，通常在如半導體之高積體電路之製造室、遺 傳工程學研究室、微粒子製造室等場所，為造成適合製造 過程之環境而設置垂直層流型潔淨室。垂直層流型潔淨室 係於離潔淨室之混凝土地面一定高度之上部設置進出層並 利用關連組件於進出層進出之構造。由於係將室内之污染 空氣排至由雙層地面構造構成之進出層之下段，故可維持 該潔淨室之清淨狀態。 然而，由於利用前述進出層之雙層地面構造係由高價 之進出層與關連組件構成，故裝備本身即為高價，且由於 需要將進出層在離開地面之狀態下堅實固定之精密施工過 程’故有施工成本上升之問題。 又，施工完畢後之進出層之雙層地面系統即使施工為 防塵構造，若發生實際耐震強度以上之地震，仍有支撐力 弱化而進出層崩壞之虞。又，若進出層崩壞之狀況發生， 會有由於配置於進出層之上面之高價之半導體關連裝備損 5 201007098 壞而導致損失大幅增加之問題。 【發明内容】 有鍛於前述之以往之問題而為之本發明之目的在於提 供不使用雙重地面構造，於混凝土地面不另行加工而僅以 混凝土鋪設形成吸氣孔，於該吸氣孔具有圓筒狀之外罩及 吸氣所需之大小之開口，藉由設置由鋁構成之圓板狀之蓋 使承受振動與地震負荷之能力高於垂直層流型潔淨室且成 本低廉之潔淨室之排氣系統及其施工方法。 9 本發明之另一目的在於提供於蓋形成廣面積之吸氣孔 並形成格子狀之肋以提供高支撐力，可藉由於蓋與配置於 外罩上之支撐架之間設置扣件防止搖動與噪音之潔淨室之 排氣系統及其抱工方法。 為達成前述目的’本發明之潔淨室之排氣系統係於用 於咼積體電路之製造室、遺傳工程學研究室、微粒子製造 至之潔淨室之排氣系統中’以包含隔一定間隔立設於地面 _ 所設之排氣管且於上段形成吸氣口且下段連結於前述排氣 官之圓筒狀外罩4、設於前述外罩4之上段内周緣之環狀之 支撐架3、配置於前述支撐架3之底面之圓弧狀之扣件2、 透過前述扣件2配設於前述支撐架3上且具備複數吸氣孔 並於該吸氣孔之周圍形成有提高支撐力之複數肋之圓板狀 之蓋1為特徵。 在此，前述支撐架3具有放置前述扣件2與前述蓋工 之段差狀剖面較理想。 又’别述支撐架3係以矽構成之密封材6黏貼於混凝 6 201007098 周緣較理想。 上面形成插設形成於蓋1之内面 e’且係由合成樹脂材質構成較理 又月J述蓋1區分形成為橫9個及縱9個之

1-b，於其間形成橫M 絲A 又價^個之辅助肋1-c較理想。 此外，前述蓋1择你士 & 係形成為以十字形肋Ι-d為中心使荷重 分散於周邊之主補強肋！ h

— 饲洩肋1-b，以圓形之内側肋1-f吸收分散 之荷重與全體之主補強肋l b之應力以防止變形較理想。 此外’别述蓋1具備為補強荷重支撐用最外側肋1 -e之 強度而形成於外周緣之外周緣補強肋Ng較理想。 此外，則述蓋1具備鄰接於前述最外側肋1 -e形成之内 側肋Ι-f’以在全域以相同時間與壓力進行填充，且於前述 最外侧肋Ι-e與内側肋之間左右對稱形成調節流速之瓶 頸部Ι-a較理想。

土地面構造體7之上段内 又’前述扣件2於其 之最外侧肋1 -e之凹槽 想0 本發明之另一態樣之潔淨室之排氣系統之施工方法係 施工用於高積體電路之製造室、遺傳工程學研究室、微粒 子製造至之潔淨室之排氣系統之方法，以包含將排氣管設 於地面之過程、將於上段形成有吸氣口之圓筒狀外罩4隔 一定間隔配置於前述排氣管上後將其下段連結於前述排氣 管之過程、形成將混凝土鋪設至前述外罩4之上段並埋有 外罩4之混凝土地面構造體7之過程、於前述混凝土地面 構造體7之上段内周緣塗布密封材以黏貼前述環狀支撐架3 之過程、於前述支撐架3之底面配置圓弧狀之扣件2之過 7 201007098 程、將形成於蓋1之内面之最外側肋l-e插設於形成於前述 扣件2之上面之凹槽2-e以將蓋1配設於支撐架3上之過 程、於前述混凝土地面構造體7之上面塗布磁磚或環氧塗 料以形成表層5之過程為特徵。 利用本發明之潔淨室之排氣系統及其施工方法，由於 構造面非常安定，且於形成有吸氣孔之蓋排列有最佳分割 之補強肋’故對集中荷重之支撐力甚高，將上面開口形成 最大55°/。之開口面積而能將潔淨室内部之氣流有效吸入， 排乳性能極優秀。又’由於以扣件吸收在蓋與配置於外罩 上之支樓架之間因搖動及衝擊而發生之嗓音或振動，故在 步行時發生之振動或噪音遠小於以往之具備進出層之潔淨 室之地面構造’可提供施工成本或系統之維修成本甚低廉 之潔淨室。 【實施方式】 以下參考圖式詳細說明本發明之較理想之實施形態。 圖1為顯示本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統 之爆炸圖。圖2為顯示本發明之一實施形態之潔淨室之排 氣系統之裝設狀態之剖面圖。圖3為顯示包含於本發明之 —實施形態之潔淨室之排氣系統之蓋之外面及内面之構造 之立體圖《圖4為顯示包含於本發明之一實施形態之潔淨 室之排氣系統之蓋之構造之俯視圖。圖5為顯示包含於本 發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統之扣件之部分構造 之立體圖。 據此，本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統不使 201007098 用雙重地面構造，於混凝土地面不另行加工而僅以混凝土 鋪設形成吸氣孔’於該吸氣孔具有圓筒狀之外罩及吸氣所 需之大小之開口，藉由設置由鋁構成之圓板狀之蓋使承受 振動與地震負荷之能力高於垂直層流型潔淨室且成本低 廉。 又，本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統於蓋形 成廣面積之吸氣孔並形成格子狀之肋以提供高支撲力，可 藉由於蓋與配置於外罩上之支撐架之間設置扣件防止搖動 與噪音。 亦即’本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統具 備：立設於潔淨室地面所設之排氣管（圖示省略）之圓筒狀外 罩4、設於此外罩4上之支撐架3、由鋁板構成之圓板狀之 蓋1。於蓋1區之後面形成橫9個及縱9個之肋而形成正四 角形之格子構造’於格子中央排列輔助肋以提供相對於圓 板狀板最大55%之開口面積並提供高支撐力。又，由於在 蓋1之下部與支撐架3之間配置有扣件2,故防止在蓋1與 支撑架3之間發生之搖動與嚼音。 詳言之，本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統係 在施工如半導體之高積體電路之製造室、遺傳工程學研究 室、微粒子製造室時，將排氣管設於地面。於該排氣管之 上段隔一定間隔配置於上段形成有吸氣口之外罩4後利 用通常之締結方式將外罩4之下段連結於排氣管。 之後，鋪設混凝土至外罩4之上段。如此，不須另行 施工便可將外罩4没於建築物之地面’藉此混凝土地面構 201007098 造體7完成。 在該狀態下，於外I 4之上段内周緣結合環狀之支樓 架。支撐架3係其剖面形狀為段差狀，若於外罩 載置圓板狀之蓋1，可維持該蓋 又 體7之高度相同。之上面與混凝土地面構造 亦即’由於支撐架3係、於料4之上段外側延伸一定 Ο 之長度之狀態，故支撐帛3係其外周緣於混凝土地面構造 體7之内部延伸一定長度。 此時，於支撐架3與混凝土地面構造體7之間塗布矽 等密封材6。密封材6係將支撲架3固^於混凝土地面構造 體7。 又，於支撐架3之底面配置圓弧狀之扣件2,於形成於 該扣件2之上面之凹槽2_e嵌合蓋丨之最外側肋丨—e。由於 該扣件2係以合成樹脂材質製造，故防止蓋i因振動而直 接抵接支撐架3並吸收衝擊，防止因搖動使噪音發生。 之後’形成複數吸氣孔’將於吸氣孔之周圍形成有提 高支律力之複數肋之圓板狀之蓋丨結合於扣件2之上面。 另一方面，為將污染空氣或灰塵有效送往蓋1，於混凝 土地面構造體7之上面塗布磁磚或環氧塗料以形成表層5。 因此，本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統比以 往技術之利用進出層造成潔淨室之地面之技術施工快速， 且所需成本低廉。又，由於僅利用混凝土構造艘本身而未 於地面上設置其他構造體或裝置，故具有對振動與如荷重 之外力非常安定之性能。 201007098 另方面，於蓋1之上面形成有長孔狀之複數之吸氣 孔。本發明之實施形態中’將蓋1之内面區分形成為橫9 個及縱9個之主補強肋於其間排列橫5個之輔助肋k 开v成二間後，將剩餘之長孔形狀之部分開口。藉此，可對 蓋1之面積隨開口部之大小確保最少17%最多55%之開 口面積。 又蓋1係开^成為以十字形肋^_d為中心使荷重分散於 冑邊之主補強肋1-b ’以圓形之内侧肋吸收分散之荷重 與全體之主補強肋l_b之應力以防止變形。 之後，於蓋1形成有嵌合於配置於支撐架3之上面之 扣件2之凹槽2-c以吸收蓋丨之荷重造成之衝擊等之最外側 肋1 -e。又，刖述蓋1為輔助最外侧肋丨之荷重而進一步 包含形成於外周緣之外周緣補強肋1-g。此時，考慮以鋁壓 鑄製造之蓋1之成形性，上下側之外周緣補強肋1-g之數量 比左右側之外周緣補強肋1-g之數量多較理想。 ❹考慮鋁壓鑄之成形性’為調節溶融鋁之流速以使蓋1 之成形於全域以相同時間與壓力進行填充，具備鄰接於最 外側肋Ι-e形成之内側肋丨-f，且於最外側肋1-e與内側肋 1 -f之間左右對稱形成調節流速之瓶頸部〗_a。因此，圓板 狀之鋁板之成形性提升，蓋1全體具有平均強度。 又’蓋1為配合具有段差狀之剖面之支撐架3之外型 大小以給予適當搖動，於最外侧肋1-e之外側形成可利用旋 盤加工之區間Ι-h’藉此，提高尺寸精度。 圖5之扣件2具有防止因在蓋丨與支撐架3之間搖動 201007098 s * 或衝擊而發生之振動及噪音等之機能。於以扣件2之兩側 壁2-a、2-b限制之凹槽2-c嵌合蓋1之最外侧肋i_e，於側 面凹槽2-d嵌合鋁板之外周緣補強肋丨_g。因此，結合於蓋 1之扣件2不會旋轉或被推動。 如上述’利用本發明，由於以扣件2吸收在蓋與配置 於外罩上之支撐架之間因搖動及衝擊而發生之與噪音或振 動’故在步行時發生之振動或嗓音遠小於以往之具備進出 ❹ 層之潔淨室之地面構造，可提供施工成本或系統之維修成 本甚低廉之潔淨室。因此’本發明之產業利用性可謂極高。 另外’在本說明書内雖以複數之理想實施形態記述本 發明，但應可瞭解，若為當業者，可不脫離申請專利範圍 揭不之本發明之範疇及思想而為多種變形及修正。 【圖式簡單說明】 圖1為顯示本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統 之爆炸圖。 φ 圖2為顯示本發明之一實施形態之潔淨室之排氣系統 之裝設狀態之剖面囷。 圖3為顯示包含於本發明之一實施形態之潔淨室之排 氣系統之蓋之外面及内面之構造之立艘圖。 圖4為顯不包含於本發明之一實施形態之潔淨室之排 氣系統之蓋之構造之俯視圖。 产圖5為顯不包含於本發明之一實施形態之潔淨室之排 氣系統之扣件之部分構造之立體圖。 【主要元件符號說明】 12 201007098 1 蓋 2 扣件 3 支撐架 4 外罩 5 表層 6 密封材 7 混凝土地面構造體

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Claims (1)

1. 201007098 十、申請專利範國： 1、 一種潔淨室之排氣系統，係用於高積體電路之製造 室、遺傳工程學研究室、微粒子製造室，其特徵在於包含： 圓筒形外罩4’隔一定間隔立設於地面所設之排氣管， 上段形成有吸氣口且下段連結於前述排氣管； 環形支撐架3，設於前述外罩4之上段内周緣； 圓弧形扣件2,配置於前述支撐架3之底面；以及 圓板狀蓋1’透過前述扣件2配設於前述支撐架3上且 ❿*備複數吸氣孔，於該吸氣孔周圍形成有提高支撐力之複 數肋》 2、 如申請專利範圍第1項之潔淨室之排氣系統，其中， 前述支撐架3具有放置前述扣件2與前述^之段差狀剖 面。 ^ 3、如申請專利範圍第i項之潔淨室之排氣系統，其中， 月’J述支揮架3係以發構成之密封材6黏貼於混凝土地面構 _ 造體7之上段内周緣。 & 4、如申請專利範圍第1項之潔淨室之排氣系統，其中， J述4件2於其上面形成有供形成於蓋丨内面之最外侧肋 e插叹之凹槽2_c ,且係由合成樹脂材質構成。 此、1如申請專利範圍第1項之潔淨室之排氣系統，其中， J述蓋1區为形成為橫9個及縱9個之主補強肋i-b，於其 間形成橫5個之輔助肋丨“。 ^ 如申切專利範圍第1項之潔淨室之排氣系統，其中， ⑴述蓋1係形成為以十字形肋U為申心使荷重分散於周邊 201007098 · 之主補強肋l-b，以圓形之内侧肋吸收分散之荷重與全 體之主補強肋Ι-b之應力以防止變形。 7、 如申請專利範圍第1項之潔淨室之排氣系統，其中， 前述蓋1具備為補強荷重支撐用最外側肋Ι-e之強度而形成 於外周緣之外周緣補強肋Ι-g。 8、 如申請專利範圍第丨項之潔淨室之排氣系統，其中， 剛述蓋1具備與前述最外側肋1-e鄰接形成之内侧肋卜f， _ 以在全域以相同時間與壓力進行填充，於前述最外側肋^ 與内側肋1-f之間左右對稱形成調節流速之瓶頸部1 -a。 9、 一種施工方法，係進行用於高積體電路之製造室、 遺傳工程學研究室、微粒子製造室之潔淨室之排氣系統之 施工，其特徵在於包含： 將排氣管設於地面之過程； 將於上段形成有吸氣口之圓筒狀外罩4隔一定間隔配 置於前述排氣管上後’將其下段連結於前述排氣管之過程； 鲁 將混凝土鋪設至前述外罩4之上段以形成埋有外罩4 之混凝土地面構造體7之過程； 於前述混凝土地面構造體7之上段内周緣塗布密封材 以黏貼前述環狀支撐架3之過程； 於前述支撐架3之底面配置圓弧形扣件2之過程； 將形成於蓋1内面之最外側肋i_e插設於形成於前述扣 件2上面之凹槽2-c，以將蓋1配設於支撐架3上之過程； 以及 於前述混凝土地面構造體7之上面塗布磁磚或環氧塗 15 201007098 料以形成表層5之過程。 十一、圈式： 如次頁

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