TW200949234A - Optical inspection system, and an inspection method for inspecting objects in which the said system is used - Google Patents

Optical inspection system, and an inspection method for inspecting objects in which the said system is used Download PDF

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TW098104983A
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Heui-Jae Pahk
Il-Hwan Lee
Sung-Bum Kang
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Snu Precision Co Ltd
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Description

200949234 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種視域檢查系統及使用其之被檢查體之 檢查方法；更詳細而言，其關於一種用以獲得並檢查各式 各樣被檢查體之掃描影像之視域檢查系統及使用其之被檢 查體之檢查方法。 【先前技術】 視域檢查系統係由下述構成：攝影機，其係拍攝各式各 樣物體之影像而獲得影像資料；及電腦，其係藉由影像處 理程式（Image Processing Program)處理從攝影機輸入之影 像資料。視域檢查系統應用於各式各樣領域，例如物體之 識別、檢查、測定、良品與不良品之篩選等。 於專利文獻1或專利文獻2等許多文獻揭示有視域檢查系 統。該等專利文獻之視域檢查系統係由工件台（Workpiece Stage)、攝影機台、控制器、攝影機及電腦所構成。工件 台係為了被檢查體之載入（loading)、卸除（unloading)、定 位（positioning)而構成為可於X軸及Y軸方向直線運動。攝 影機台設置於工件台上方，為了攝影機之定位及聚焦而構 成為可進行X轴、γ軸及z軸方向之直線運動及X軸、γ軸 及z軸之旋轉運動。控制器連接於電腦，其控制工件台、 攝影機台及攝影機之動作。 關於以往技術之視域檢查系統係使用高解像度之線掃描 攝影機，以便以微米單位精密地檢查被檢查體之缺陷。線 掃描攝影機係沿著1條水平線掃描被檢查體而獲得掃描影 138669.doc 200949234 像。例如 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display :薄膜電晶體-液晶顯示器）、PDP(Plasma Display Panel :電聚顯示面板）、OEL(〇rganic ElectroLuminescence : 有機電激發光）等之玻璃基板、胞（cell)、面板、模組該類 大型被檢查體之檢查係藉由複數線掃描攝影機來進行。複 數線掃描攝影機係將被檢查體全體分割為複數區域來掃 描。為了藉由電腦處理被檢查體之掃描影像，並算出缺陷 之座標值，於被檢查體顯示作為基準點之複數標記。 然而，於前述關於以往技術之視域檢查系統，由於複數 線掃描攝影機各個藉由複數攝影機台分別定位，因此在線 掃描攝影機之排列上花費許多時間及努力，而且會有線掃 描攝影機之正確排列非常困難的問題點。線掃描攝影機之 位置會由於許多要因，例如振動、衝擊、機構性變形等而 容易變動。因此，為了確保檢查之可靠性及重現性，需要 可容易掌握線掃描攝影機之位置之方法，必須定期地實施 線掃描攝影機之定位。 [專利文獻1]美國專利第7030351號說明書 [專利文獻2]美國公開專利申請案第2003/0197925A1號 說明書 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 因此，本發明係用於解決上述以往技術之問題點者，其 目的在於提供一種藉由對裝載並移送被檢查體之桌體提供 標記，可算出線掃描攝影機之處理參數（Processing 138669.doc 200949234
Parameter)之視域檢查系統，及使用其之被檢查體之檢查 方法。 本發明之其他目的在於提供一種可簡便地進行線掃描攝 影機之定位及排列之視域檢查系統，及使用其之被檢查體 之檢查方法。 本發明另外之目的在於提供一種可正確檢查被檢查體之 缺陷，並大幅提升可靠性及重現性之視域檢查系統，及使 用其之被檢查體之檢查方法。 [解決問題之技術手段] 為了達成上述目的，依據本發明之某觀點，提供一種視 域檢查系統，其係包含下述而成：工件台，其係含有放置 被檢查體之桌體，於用以裝載被檢查體之第1位置與用以 掃描被檢查體之影像之第2位置間移送桌體；複數線掃描 攝t/機，其係於第2位置，沿著對於被檢查體之移送方向 正父之方向配置，掃描被檢查體之影像而獲得掃描影像； 電腦其係連接於工件台及線掃描攝影機，處理從線掃 描攝影機所輸入之被檢查體之掃描影像；於桌體上面，提 供沿著線掃描攝影機之排列方向具有標記台座標值之複數 標記，以便可藉由線掃描攝影機獲得掃描影像；複數標記 中相鄰之2個標記配置於線掃描攝影機各個之視野内；複 數標记中從第1個標記到最後i個標記間之標記分別配置成 在線掃描攝影機中相鄰2個線掃描攝影機之視野内重叠； 成為從輸人自線掃描攝影機之複數標記之掃描影像 “己影像座標值’同時藉由標記影像座標值處理被檢 138669.doc 200949234 查體之掃描影像。 根據本發明之其他觀點，提供一種被檢查體之檢查方 法’其係藉由被檢查體之視域檢查系統檢查被檢查體之方 法，該被檢查體之視域檢查系統係包含：工件台，其係含 有放置被檢查體之桌體，於用以裝載被檢查體之第丨位置 與用以掃描被檢查體之影像之第2位置間，使桌體直線運 動，複數線掃描攝影機，其係於第2位置，沿著對於被檢 查體之移送方向正交之方向配置，掃描被檢查體之影像而 獲得影像資料；及電腦，其係連接於工件台及線掃描攝影 機，處理從線掃描攝影機所輸入之被檢查體之影像資料而 處理被檢查體之掃描影像；其中包含以下階段而成：於桌 體上面’提供沿著線掃描攝影機之排列方向具有標記台座 標值之複數標記，以便可藉由線掃描攝影機掃描其影像而 獲得掃描影像；藉由線掃描攝影機獲得複數標記之掃描影 像；從複數標記之掃描影像算出標記影像座標值；若標記 影像座標值對於標記台座標值符合容許誤差，則藉由線掃 描攝影機獲得被檢查體之掃描影像；從被檢查體之掃描影 像算出被檢查體之工件影像座標值；從工件影像座標值算 出被檢查體之工件影像-台座標值；及若工件影像-台座標 值對於為了被檢查體之檢查所設定之工件台座標值符合容 許誤差，則將被檢查體辨別作為良品。 【實施方式】 本發明之其他目的、特定優點及新穎特徵從賦予附圖關 連之以下詳細說明及適宜之實施例當可進一步明瞭。 138669.doc 200949234 以下，根據附圖來詳細說明關於本發明之視域檢查系統 及使用其之被檢查體之檢查方法。 首先’若參考圖1及圖2’關於本發明之視域檢查系統w 係檢查及測定例如玻璃基板、胞、模組等各式各樣被檢查 體2之缺陷4。關於本發明之視域檢查系統丨〇係為了被檢查 體2之正確檢查及測定，而具備上面被精密且平滑地最終 加工之平板20。於平板20之上面兩側’提供有用以裝載及 搬出被檢查體2之第1位置P1、及用以掃描並檢查被檢查體 2之影像之第2位置P2。平板20具有X轴、對於X轴方向呈 正交之Y轴、及對於X轴方向呈垂直之Z軸’由吸收振動及 衝擊之複數基座隔震器22安定地支持。基座隔震器22安裝 於基座24之上面。於平板20之上部安裝有高架框26。高架 框26係於第2位置P2，以與被檢查體2之移送方向呈正交之 方式，沿著X軸方向配置。 於平板20之上面，設置有裝載並移送被檢查體2之工件 台30。工件台30係由桌體32及線性致動器34所構成。桌體 32係於平板20之上方，配置成可沿著平板2〇之一方向，亦 即可沿著X轴或Y轴方向運動。被檢查體2係藉由夾具或固 定裝置等，固定地放置於桌體32之上面。於圖“列示工件 台30構成如使桌體32從第i位置P1沿著平板2〇之丫軸方向運 動。 線性致動器34安裝於平板20之上面與桌體32之下面間。 線性致動器34係由下述構成：i對線性運動導件刊，其係 安裝於平板20之上面與桌體32之下面間；及線性馬達38， 138669.doc 200949234 其係於線性運動導件36彼此間，以連結桌體32之方式安 裝。線性運動導件36係由下述構成：1對導軌36a，其係固 定於平板20之上面；及複數滑件36b，其係安裝為沿著導 軌36a滑動，並固定於桌體32之下面。桌體32係藉由線性 馬達38之驅動及線性運動導件36之導引而直線運動。 線性致動器34可由伺服馬達、導螺桿、滾珠螺帽及i對 線性運動導件構成。工件台3〇可由直角座標機器人構成， 該直角座標機器人具有使桌體32沿著平板2〇之X軸及Y軸 方向，進行直線來回運動之X軸及γ轴線性致動器。而 且，工件台30可由多軸機器人構成，該多軸機器人係使桌 體32沿著平板20之X軸、γ轴及2轴方向進行直線來回運 動，並以X軸、γ軸及Z軸為基準，使桌體32進行旋轉運 動。藉由直角座標機器人或多軸機器人之動作，放置於桌 體3 2之被檢查體2可正碟定位。 複數線掃描攝影機40-1、40-2、40-3 ..... 40-n係以排
列於第2位置P2之方式，沿著X軸方向配置於平板2〇之上 部。線掃描攝影機40-1、40-2、40-3 ..... 40-n係將被檢 查體2之影像予以分割拍攝，並輸出其掃描影像。線掃描 攝影機40-1 ' 40-2、40-3.....4〇_n分別設置於複數攝影 機台50。攝影機台5 0安裝於高架框％。由於線掃描攝影機 40-1、40-2、40-3.....4〇_n係藉由攝影機台50之動作進 行X軸、Y軸及Z轴方向之直線運動與X軸、γ軸及z轴之旋 轉運動，因此精密地實施線掃描攝影機40“、4〇_2、 3.....4〇_n之定位及聚焦。攝影機台50可構成如不藉由 138669.doc 200949234 高架框26而藉由線性致動器、直角座標機器人、多轴機器 人等之動作而運動。 關於本發明之視域檢查系統1〇具備連接於工件台3〇之線 性馬達38及線掃描攝影機40-1、40-2、40-3、…、40-n之 電腦60，以便可控制工件台3〇及線掃描攝影機4〇_1、40- 2 ' 40-3.....4〇_n之動作。於電腦60之資料庫62，用以檢 查被檢查體2及存在於被檢查體2之缺陷4之一連串資料之 例如被檢查體2之大小值、檢查區域之位置值、檢查基準 值等係作為工件台座標值而輸入並儲存。 電腦60係控制工件台30之動作，以使被檢查體2對於線 掃描攝影機40-1、40-2、40-3 ..... 40-n移動。而且，電 腦60係藉由影像處理程式，處理從線掃描攝影機4〇_丨、4〇· 2、40-3 ..... 40·η所輸入之掃描影像，並經由監視器64等 輸出裝置，輸出作為其結果所獲得之被檢查體2之掃描影 像或缺陷4之檢查結果等一連串資料。 參考圖3及圖4，於桌體32上面，提供用以進行線掃描攝 影機40·1、40-2、40-3.....4〇-η之定位及被檢查體2之掃 描影像之處理之複數標記Μ-1、Μ-2、Μ-3.....Μ-η。標 5£.Μ-1 . M-2 ^ M-3.....Μ-η之標記台座標值係儲存於電 腦60之資料庫62。電腦6〇係從輸入自線掃描攝影機仂」、 40-2 > 40-3 ..... 40-n之標記 Μ-1、Μ·2、M-3、...、M_n 之掃描影像，算出標記影像座標值。 複數標記Μ-1、M-2、M-3.....M_n係沿著線掃描攝影 機40-1、40-2、40-3 ..... 40_n之排列方向，亦即沿著X軸 138669.doc •10- 200949234 方向配置。標記M-l、M-2、M-3、…、M_n中相鄰2個標記 係配置於線掃描攝影機40_1、40-2、40-3 ..... 40-n分別 之視野（Field of View)FOV-l、FOV-2、FOV-3、…、FO"V-n 内。標記M-l、M-2.........Μ·η中第1個標記M-l與最 後1個標記M-n間之標記係分別配置成在線掃描攝影機4〇· 1、40-2、40-3.....4〇-η中相鄰2個線掃描攝影機之視野 内重疊。於圖3表示相鄰2個線掃描攝影機分別之重疊距離 ❹ ❷ 0V-1、0V-2、OV-3.....0V-n。於圖3及圖4表示十字形 之標記M-l、M-2、M-3.....M-η ’但其為例示，標記 1、M-2、M-3.....M_n可形成圓形或四角形等各式各樣 形狀。 接著，根據圖6及圖7，來說明藉由具有該類結構之關於 本發明之視域檢查系統所進行之被檢查體之檢查方法。 同時參考圖1至圖3 ’於桌體32上面，提供具有標記台座 標值之複數標記Μ-1、M-2、M-3、…、M-n(S 100)。將標 記M-l、M-2、M-3.....M_n分別之標記台座標值及被檢 查體2之工件台座標值輸入於電腦6〇之資料庫62而儲存 (S102)。 參考圖1、圖3及圖4’若被檢查體2放置於桌體32上面， 則藉由線性致動器34之動作，將桌體32從第1位置ρι移送 至第2位置P2(Sl〇4)。裝載於桌體32上之被檢查體2之移送 方向前端2a係配置於標記M-l、M-2、M-3、…、M-n之下 游。藉由電腦60之控制’單一方向地驅動線性馬達3 8，藉 由線性馬達38之單一方向驅動，桌體32從第}位置ρι移送 138669.doc • 11 · 200949234 至第2位置p2 32之移送。 線性運動導件36係呈直線運動地導引桌體 接著，藉由線掃描攝影機4〇_1、40-2、40-3、...、 ^+u*n 之動作掃描標記、…、Μ·η之影像，獲得 掃描影像（s106)，從標記Μ]、μ_2、μ·3、…、 描衫像算出標記影像座標值（sl〇8)。電腦6〇係傳送圖框觸 發信號至線掃描攝影機4〇_1、4〇2、4〇3、…、1 使線掃描攝影機4(M、4〇_2、4〇·3.....40-n同時掃插影 像。 於圖3至圖5表示圖框觸發線（FT)。參考圖3至圖5，圖框 觸發線FT係表示藉由電腦6〇之控制，對線掃描攝影機仂_ 1、40-2、40-3.....4〇-n給予圖框觸發信號，以使線掃描 攝〜機40-1、40-2、40-3 ..... 40·η同時掃描影像之時 點。圖框觸發線FT係配置於標記、Μ_2、Μ_3、... Μ-η之上游。若線掃描攝影機4〇丨' 402、、…、々Of 全部完善地排列，則如圖5所示，藉由線掃描攝影機4〇q、 4〇·2、40-3、…、4〇-n所獲得之掃描影像之所有掃描開始 點亦即Y轴方向之掃描開始點會與圖框觸發線FT一致。 線掃描攝影機4(Μ、40·2、4G-3.....40·η之所有掃描開 始點與圖框觸發線FT一致之線掃描攝影機糾“、4〇_2、仂_ 、40-n之完善排列在理論上雖可能，但實際上卻不 可能。 、40-n係將拍攝移 …、M-n之影像之 線掃描攝影機40-1、40-2、40-3、... 送之桌體32、及標記M-1、M-2、M-3、 138669.doc 12 200949234 M-2 掃描影像，輸人於電腦6G。如圖5所示，心心…… 二二'^_彡㈣包含”由線掃描攝影機4〇_ I；；2'40'3、·..、4°·η之掃描所獲得之影像圖框而輸入 於=60。電腦60係對影像圖框42之一處給予零點44,將 影像圖框42之零點44作為基準，㈣標 3子^Γη分別之標記影像座標值。於圖5，零_系給 予影像_之左上端’但零點44亦可因應必要而給予左 下端、右上端或右下端。 接著，電腦60係對於標記M-l、Μ-2、Μ·3.....Μ·η之 標記台座標值’判斷標記影像座標值是否符合容許誤差 (川〇)。標記影像座標值是否符合容許誤差係檢證線掃描 攝影機4(M、4G_2、格3、…、4G_n之處理參數來判斷。 處理參㈣由像素騎度、影像難之零狀X軸台座標 值〇X(mm)及Y軸台座標值〇Y(mm)、以及線掃描攝影機之 傾斜度所構成。像素解像度係意味掃描影像之1像素之實 ❹ 際尺寸值。線掃描攝影機40-1、40-2、4〇·3.....4〇_n之 處理參數係藉由標記台座標值及標記影像座標值求出。 對於標記M-1、M_2、Μ·3.....Μ-η之掃描影像之又轴 方向1像素之實際尺寸值ReX(mm/Px)係藉由數式1求出。 ReX係以線掃描攝影機40-1、40-2、40-3.....40-n之光學 系統所決定之值’但由於線掃描攝影機40-1、40-2、40· 3.....40-n之排列誤差等，可能發生細微誤差。因此， 為了被檢查體2之精密檢查，藉由數式1求出ReX。 [數式1] 138669.doc •13- 200949234
ReX=(^.：m
m2x-mjX 於此，X及x之正方向相同。IV^X係配置於線掃描攝影機 分別之視野内之2個標記中左標記之X軸台座標值。M2X為 2個標記中右標記之X軸台座標值。π^χ為2個標記中左標 記之X軸影像座標值。m2x為2個標記中右標記之X軸影像 座標值。 對於Z軸之線掃描攝影機分別之傾斜度（Θ)(弧度）係藉由 數式2求出。 [數式2]
^tan-lM2Y-MlY-tan-l(m2y-m]y)ReY M2X-MjX (m2x-m1x)ReX 於此，Μ2Υ係配置於線掃描攝影機分別之視野内之2個 標記中右標記之Y轴台座標值。m2y為2個標記中右標記之 Y軸影像座標值。 影像圖框42之零點44之X軸台座標值OX(mm)及Y軸台座 標值OY(mm)係藉由數式3求出。OX及OY為桌體上之實際 台座標值。 [數式3]
OX = MjX-mjXxReX
OY = Mj Υ - rrijy χ ReY - nijX x ReX x tanO 於此，X及x之正方向相同，Y及y之正方向相同。M!Y係 配置於線掃描攝影機分別之視野内之2個標記中左標記之Y 轴台座標值。n^y為2個標記中左標記之Y軸影像座標值。 138669.doc -14· 200949234 對於標記M-l、M-2、M-3.....M-n之掃描影像之γ軸 方向1像素之實際尺寸值為ReY(min/px) β ReY(mm/Px)係藉 由被檢查體之移送速度S(mm/sec)及觸發信號之週期C(sec) 所決定之值，ReY(mm/Px)係藉由數式4求出。 [數式4]
ReY=! 為了被檢查體2之掃描影像，線掃描攝影機^“、扣-
2、40-3、 、40-n之處理參數必須正確。線掃描攝影機 40-1、40-2 ' 40-3、… 40-n之處理參數若離開容許誤 差 標 2、 判 成 ，則無法正確檢查被檢查體2。若藉由標記台座標值及 記影像座標值之處理所算出之線掃描攝影機404、4〇· 4〇"3.....40_n之處理參數在容許誤差以内，則電腦60 斷線掃描攝影機40-1、40-2、40-3 ..... 40-n之排列完
若標記影像座標值不符合容許誤差，電腦6〇係停止線掃 描攝影機40-1、40-2、40-3 ..... 40-n，使線性致動器34 之線1±馬達38往其他方向驅動，使桌體32重新歸位至第i 位置P1(S112)。若桌體32重新歸位，則電腦6〇係經由監視 器64等輸出裝置，輸出請求線掃描攝影機4〇_丨、4〇_2、4〇_ ......4〇·η之排列之訊息後（S114)終了。作業人員係使線 掃描攝影機40-1、40-2、40-3 ..... 40-n分別之攝影機台 5〇動作’以使線掃描攝影機4(M、4〇_2、4〇3.....4()_n 進行X軸、γ轴及Z軸方向之直線運動與χ軸、γ轴及z軸之 138669.doc •15· 200949234 旋轉動作，藉此可精密地實施線掃描攝影機40-1、40-2、 40-3、…40-n之定位及聚焦，使線掃描攝影機40-1、40- 2、 40-3、... 40-n排歹1j 〇 另一方面，於前述階段S110，若標記影像座標值符合容 許誤差，則電腦60係藉由線掃描攝影機40-1、40-2、40- 3、 …40-n之動作掃描被檢查體2之影像，獲得掃描影像 (S116)。線掃描攝影機40-1、40-2、40-3、…40-n係掃描裝 載於桌體32上而移送之被檢查體2之影像，獲得掃描影 像，將被檢查體2之掃描影像輸入於電腦60。 電腦60係從被檢查體2之掃描影像算出工件影像座標值 (S118)，從算出之工件影像座標值算出工件影像-台座標值 (S120)。藉由電腦60之處理可算出台座標轉換式，其係可 將工件影像座標值轉換為工件影像-台座標值。電腦60係 於工件影像座標值代入台座標轉換式，算出工件影像-台 座標值。工件影像-台座標值為被檢查體2之實際台座標 值。 從工件影像座標值算出工件台座標值之台座標轉換式係 以數式5表示。 [數式5]
WX = OX + wxxReX WY = OY + wy x ReY + wx x ReX x tan^ 於此，WX(mm)為對於X轴之工件台座標值，WY(mm)為 對於Y軸之工件台座標值。wx為對於X軸之工件影像座標 值，wy為對於Y轴之工件影像座標值。 138669.doc -16- 200949234 電腦60係判斷藉由數式5所求出之工件影像座標值是否 符合工件台座標值之容許誤差（S122)。若工件影像-台座標 值符合工件台座標值之容許誤差，則電腦的係將被檢查體 2篩選作為良品（S124)。
若工件影像-台A健不符合工#台座m容許誤 差，則t腦60係將工件影像_台座標值不符合工件台座標 值之容許誤差之部分，作為缺陷4檢出（S126)，算出缺陷4 之缺陷台座標值（S128) 1⑽係從被檢查體2之掃描影 像算出缺陷4之缺陷影像座標值，於缺陷影像座標值，藉 由與求出工件影像-台座標值同樣之方法，代入台座標轉 換式’算出缺陷4之缺陷台座標值。缺陷台座標值係存在 於被檢查體2之缺陷4之實際座標值。 >考圖3至圖5，作為被檢查體2之-例，於TFT-LCD用 玻璃基f，在其製造步財可能發生異物、石頭、線路、 出凹*几（pit)等各式各樣缺陷4。該類異物等缺 陷4係藉由線掃描攝影機4(M、你2、体3、...4G_n之掃描 而匕3於玻璃基板之掃描影像。玻璃基板係藉由包含於掃 描影像之缺陷4之影像而被篩選作為不良品。 另:方面’ TFT_LCDs面板之液日m 口係藉由封膠 封。4 了檢查封膠之斷線及位置等，首先求出封 亦即求出封膝之目標值，並輸入於電腦6。 ’ 其後，從線掃描攝影機40_1、40-2、40-3、… 生封谬斷線之情況時，由於影像·台座標值會離開台座^ 138669.doc 17 200949234 值之容許範圍，因此TFT_LCD用面板被篩選作為不良品。 而且’電腦60係；}夺封膠發生斷線之部分辨別作為缺陷。而 且，從封膠之掃描影像所算出之封膠長度大於容許誤差之 情況時’將封膠辨別作為缺陷。 電腦60係經由監視器64等輸出裝置，顯示被檢查體2之 檢查結果，並儲存於資料庫62(sl3〇)。電腦6〇係算出缺陷 4之大小值，將有缺陷4之被檢查體2篩選作為不良品。最 後若被檢查體2之檢查完成，桌體32從第2位置P2重新歸位 至第1位置P1(S132)。因此，可正確檢查被檢查體2之缺陷❹ 4 ’大幅提升可靠性及重現性。 以上說明之實施例僅止於說明本發明之適宜之實施例， 不限定本發明之權利範圍。若為該當領域之同業者，可於 本發月之技術思想及申請專利範圍内，予以各式各樣變 更、變形或置換，應理解該等實施例亦屬於本發明之範 圍。 [產業上之可利用性] 如上述，依據關於本發明之視域檢查系統及使用其之被 ❹ 檢查體之檢查方法，藉由於裝載並移送被檢查體之桌體提 供作為檢查基準之標記，算出線掃描攝影機之處理參數， . 藉由處理參數之驗證，可簡便地進行線掃描攝影機之定位 及排列。而且，依據本發明，具有可正確檢查被檢查體之 缺陷’大幅提升可靠性及重現性之效果。 【圖式簡單說明】 圖1係表示關於本發明之視域檢查系統之結構之正面 138669.doc 200949234 {£) · 圃， 圖2係表不關於本發明之視域檢查系統之結構之側面 ISI . 圃， 圖3係表示關於本發明之視域檢查系統之桌體、標記及 線掃描攝影機之結構之俯視圖； 圖4係表示關於本發明之視域檢查系統之被檢查體、桌 體、彳示s己及線掃描攝影機之結構之俯視圖； 圖5係表示關於本發明之視域檢查系統之被檢查體及標 記之掃描影像之圖；及 圖ό及圖7係用以說明關於本發明之被檢查體之檢查方法 而表示之流程圖。 【主要元件符號說明】 2 被檢查體 2a 移送方向前端 4 缺陷 10 20 視域檢查系統 平板 22 基座隔震器 24 基座 26 30 32 34 36 高架框 工件台 桌體 線性致動器 線性運動導件 138669.doc -19- 200949234 36a 導執 36b 滑件 38 線性馬達 40-1 、 40-2 、 40-3 、 ...、40-n 線掃描攝影機 42 影像圖框 44 零點 50 攝影機台 60 電腦 62 資料庫 64 監視器 FOV-1、FOV-2、 FOV-3、…、FOV-n 視野 FT 圖框觸發線 M-l、M-2、M-3 、…、M-n 標記 OV-1、OV-2、OV-3 、…、OV-n 重疊距離 PI 第1位置 P2 第2位置 138669.doc -20-

Claims (1)

  1. 200949234 七、申請專利範圍： 1. 一種視域檢查系統，其特徵為包含下述構件： 件口 &係3有放置被檢查體之桌體，於用以裝載 前述被檢查趙之第1位置與用以掃描前述被檢查體之影 像之第2位置間移送前述桌體； 複數線掃描攝影機，其係於前述第2位置，沿著對於 前述被檢查體之移送方向正交之方向配置，掃㈣㈣ 檢查體之影像而獲得掃描影像；及 參 電腦，其係連接於前述工件台及前述線掃描攝影機， 處理從前料掃描攝频所輸人之前述被檢查體之掃描 影像； 於則述桌體上面’提供沿著前述線掃描攝影機之排列 方向具有標3己台座標值之複數標記，以便可藉由前述線 掃描攝影機獲得掃描影像；前述複數標記中相鄰之2個 私3己配置於則述線掃描攝影機各個之視野内；前述複數 標圮中從第1個標記到最後丨個標記間之標記分別配置成 在前述線掃描攝影機中相鄰2個線掃描攝影機之視野内 重疊；前述電腦係構成為：從自前述線掃描攝影機輸入 之前述複數標記之掃描影像算出標記影像座標值，同時 藉由前述標記影像座標值處理前述被檢查體之掃描影 像。 2.如請求項1之視域檢查系統，其中前述電腦係構成為： 若對於前述標記台座標值之前述標記影像座標值符合容 許誤差’則處理前述被檢查體之掃描影像。 138669.doc 200949234 3. 如請求項2之視域檢查系統，其中前述被檢查體含有可 藉由前述線掃描攝影機之掃描而獲得掃描影像之至少工 個缺陷；前述電腦構成為：處理前述缺陷之掃描影像， 將前述標記台座標值作為基準而算出前述缺陷之缺陷台 座標值。 σ 4. 如請求項1之視域檢查系統，其中前述桌體沿著γ軸方向 被移送；前述複數線掃描攝影機及前述複數標記係沿著 對於前述Υ軸方向正交之χ軸方向排列；前述電腦係構成 為·藉由下式求出對於前述標記之掃描影像之χ轴方向丨 像素之實際尺寸值ReX(mm/Px): Ρ,,χ - (Μ2Χ-Μ,Χ) m2x-m,x 於此，X及X之正方向相同；ΜιΧ係為配置於前述2個 線掃描攝影機之視野内之前述2個標記中左標記之χ轴台 座標值，Μ2Χ為前述2個標記中右標記之又轴台座標值，· 叫χ為前述左標記之料影像座標值，m2x為前述右標記 之X軸影像座標值。 ^ © 如明长項4之視域檢查系統，其中前述電腦係構成為： 藉由下式求^述線掃描攝影機各個對於z軸之傾斜度 (Θ)(弧度- Θ = tan'1 MiXiMjY (m2y-m,y)ReY ' 於此，前述m2y為前述右標記之Y軸台座標值，m2y為 前述右標記之γ轴影像座標值。 138669.doc 200949234 6.如請求項5之視域檢查系統，其中前述電腦係構成為： 使前述複數標記之掃描影像包含於藉由前述線掃描攝影 機之掃描所獲得之影像圖框，對前述影像圖框給予零 點，藉由下式求出前述零點之X軸台座標值OX(mm)及Y 軸台座標值OY(mm): OX = M,X - mjx x ReX ΟΥ - - miy χ ReY-miX χ ReX χ tanG 於此，Υ及y之正方向相同；MJ為前述左標記之Υ軸 ® 台座標值，miy為前述左標記之Υ軸影像座標值； ReY(mm/Px)係為對於前述複數標記之掃描影像之Y軸方 向1像素之實際尺寸值。 7.如請求項6之視域檢查系統，其中前述電腦係構成為： 藉由下式求出對於X軸之工件台座標值WX(mm)及對於Y 軸之工件台座標值WY(mm): WX = OX + WX χ ReX WY = OY + wy x ReY + wx x ReX x tan0 ® 於此，wx為對於X軸之工件影像座標值，wy為對於Y 軸之工件影像座標值。 - 8. —種被檢查體之檢查方法，其係藉由被檢查體之視域檢 , 查系統檢查被檢查體之方法；該被檢查體之視域檢查系 統係包含：工件台，其係含有放置被檢查體之桌體，於 用以裝載前述被檢查體之第1位置與用以掃描前述被檢 查體之影像之第2位置間，使前述桌體直線運動；複數 線掃描攝影機，其係於前述第2位置，沿著對於前述被 138669.doc 200949234 檢查體之移送方向正 交之方向配置’掃描前述被檢杳體 之影像而獲得影像眘 ^ 像資枓，及電腦，其係連接於前述工件 口及=述線掃&攝影機，處理從前述線掃描攝影機所輸 +之則述被檢查體之影像資料而處理前述被檢查體之掃 描影像；其特徵為包含以下階段： ;u述桌體上面’提供沿著前述線掃描攝影機之排列 方向具有標記台座標值之複數標記，以便可藉由前述線 掃描攝影機掃财影像而獲得掃描影像； ;如述線掃描攝影機獲得前述複數標記之掃描影 從前述複數標記之掃描影像算出標記影像座標值； _若别述‘ 5己影像座標值對於前述標記台座標值符合容 許誤差，則藉由前述線掃描攝影機獲得前述被檢查體之 掃描影像； 從前述被檢查體之掃描影像算出前述被檢查體之工件 影像座標值； 從前述工件影像座標值算出前述被檢查體之工件影像_ 台座標值；及 若對於為了前述被檢查體之檢查所設定之工件台座標 值’前述工件影像-台座標值符合容許誤差，則將前述被 檢查體辨別作為良品。 9.如請求項8之被檢查體之檢查方法，其中於提供前述標 5己之階段’將前述複數標記中相鄰之2個標記配置於前 述線掃描攝影機各個之視野内；前述複數標記中第1個 138669.doc 200949234 ίο. 11. ❹ 12. 13. ❹ 14. 15. 標記與最後1個標記間之標記係分別配置成在前述線掃 描攝影機中相鄰2個線掃描攝影機之視野内重叠。 如請求項9之被檢查體之檢查方法，其中於前述複數襟 記之上游，配置藉由前述電腦對前述線掃描攝影機傳= 圖框觸發信號之圖框觸發線；前述被檢查體之移送方向 前端係配置於前述複數標記之下游。 ° 如請求項8之被檢查體之檢查方法，其中前述標記影像 座標值是否符合容許誤差係從前述標記台座標值及前述 標記影像座標值，算出前述線掃描攝影機之處理參數/ 藉由前述處理參數之驗證來判斷。 如請求項11之被檢查體之檢查方法，其中若前述標記与 像座標值不符合容許誤差，則使前述桌體回到前述ζ 位置。 如請求項8之被檢查體之檢查方法，其中於算出前述工 件影像-台座標值之階段，從前述標記台座標值與前述標 記影像座標值之關係，算出可將前述標記台座標值轉^ 為前述標記影像座標值之台座標轉換式，於前述工件影 像座標值代入前述台座標轉換式，算出前述工件影像-台 座標值。 α 如請求項8之被檢查體之檢查方法，其中前述工件影像_ 台座標值若不符合容許誤差，則進一步包含以下階段： 將前述工件影像-台座㈣*符合容許誤差之部分作為缺 陷檢出，及算出前述缺陷之缺陷台座標值。 如請求項14之被檢查體之檢查方法，其中前述缺陷台座 138669.doc 200949234 標值係從前述標記台座標值與前述標記影像座標值之關 係，算出可將前述標記影像座標值轉換為前述標記台座 標值之σ座標轉換式，算出前述缺陷之缺陷影像座標值 後，於前述缺陷影像座標值代入前述台座標轉換式而算 出。 16. 17. 如請求項8之被檢查體之檢查方法’其中前述桌體沿著丫 轴方向移送；前述複數線掃描攝影機及前述複數標記係 沿著對於前述γ轴方向正交之χ軸方向排列；前述電腦係 藉由下式求出前述標記之掃描影像之χ軸方向“象素之實❿ 際尺寸值ReX(mm/Px): t?pv -ίΜ2^ΉΧ) m2x-m,x 於此，X及X之正方向相同；ΜιΧ為配置於前述2個線 掃描攝影機之視野内之前述2個標記中左標記之χ軸台座 標值，ΜΑ為前述2個標記中右標記之χ軸台座標值； 為前述左標記之χ轴影像座標值’ m2x為前述右標記 之X轴影像座標值。 ❹ 如請求項16之被檢查體之檢查方法’其中前述電腦藉由 下式求出前述線掃描攝影機各個對於Z軸之傾斜度（θ)(弧 . 度）： θ = tan·1 MiXlMiX-tan·〗 (m2y-m,y)ReY M2X - M】X (m2x-m1x)ReX 於此’前述M2Y為前述右標記之Y轴台座標值，m2y為 前述右標記之Y軸影像座標值。 138669.doc 200949234 18. 如請求項17之被檢查體之檢查方法，其中前述電腦係使 前述複數標記之掃描影像包含於藉由前述線掃描攝影機 之掃描所獲得之影像圖框，對前述影像圖框給予零點， 藉由下式求出前述零點之X軸台座標值OX(mm)及Y轴台 座標值OY(mm): OX = M!X - mix x ReX ΟΥ = MjY - miy x ReY-miX x ReX x tan0 於此，Y及y之正方向相同；Μβ為前述左標記之Y軸 台座標值，miy為前述左標記之Y軸影像座標值； ReY(mm/Px)為對於前述複數標記之掃描影像之Y轴方向 1像素之實際尺寸值。 19. 如請求項18之被檢查體之檢查方法，其中前述電腦係藉 由下式求出對於X軸之工件台座標值WX(mm)及對於Y軸 之工件台座標值WY(mm): WX = OX + wx X ReX WY = ΟΥ + wy χ ReY + wx x ReX x tanG 於此，wx為對於X轴之工件影像座標值，wy為對於Y 軸之工件影像座標值。 138669.doc
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8290240B2 (en) * 2008-06-11 2012-10-16 Sirona Dental Systems Gmbh System, apparatus, method, and computer program product for determining spatial characteristics of an object using a camera and a search pattern
KR101128913B1 (ko) * 2009-05-07 2012-03-27 에스엔유 프리시젼 주식회사 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법
IL208755A (en) * 2009-10-20 2016-09-29 Camtek Ltd High speed visualization test and method
US20140040158A1 (en) * 2012-07-31 2014-02-06 Kenneth L. Dalley, JR. Systems and methods for managing arrested persons
CN102788802A (zh) * 2012-08-29 2012-11-21 苏州天准精密技术有限公司 一种多相机的工件质量检测方法
US20140070076A1 (en) * 2012-09-12 2014-03-13 Goutham Mallapragda Real-Time Composite 3-D for a Large Field of View Using Multiple Structured Light Sensors
CN102914263B (zh) * 2012-10-17 2015-01-21 广州市佳铭工业器材有限公司 基于多相机图像拼接的工件自动检测设备
CN104270576B (zh) * 2014-10-23 2017-07-04 吉林大学 一种仿生伸缩式扇形复眼
CN104881135B (zh) * 2015-05-28 2018-07-03 联想(北京)有限公司 一种信息处理方法及电子设备
CN105100616B (zh) * 2015-07-27 2021-02-19 联想(北京)有限公司 一种图像处理方法及电子设备
JP6598807B2 (ja) * 2017-03-13 2019-10-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 検査方法および検査装置
US20190012782A1 (en) * 2017-07-05 2019-01-10 Integrated Vision Systems LLC Optical inspection apparatus and method
CN108074263B (zh) * 2017-11-20 2021-09-14 蔚来(安徽)控股有限公司 视觉定位方法和系统
AT521004B1 (de) * 2017-11-30 2022-10-15 Henn Gmbh & Co Kg Verfahren zur Positionierung von Messstellen an einem bewegten Gegenstand
KR102073711B1 (ko) * 2018-02-14 2020-02-05 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 리브 마크 두께 검사 방법
EP3755541A4 (en) * 2018-02-22 2021-11-03 Trelleborg Sealing Solutions U.S., Inc. SYSTEM AND METHOD FOR DETECTION OF THE STATE OF A JOINT
CN109357618A (zh) * 2018-10-26 2019-02-19 曙鹏科技（深圳）有限公司 一种极片宽度测量方法与极片宽度测量装置
CN109855531B (zh) * 2018-12-10 2021-04-23 安徽艾睿思智能科技有限公司 用于大幅面板型材料的尺寸测量系统及其测量方法
CN110441313A (zh) * 2019-07-30 2019-11-12 天津工程机械研究院有限公司 一种多工位、多角度视觉表面缺陷检测系统
CN111650208B (zh) * 2020-06-01 2021-08-27 东华大学 一种巡游式机织面料疵点在线检测器
CN113418865B (zh) * 2021-06-11 2023-07-28 华侨大学 工件规格自适应的全方位、集成化线扫视觉检测系统
CN116026260B (zh) * 2022-12-14 2023-09-05 广东九纵智能科技有限公司 用于多轴联动检测有限角度的二轴旋转装置及其标定方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3013833C2 (de) * 1979-04-13 1986-07-03 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Vorrichtung zur Prüfung eines auf einem Gegenstand befindlichen Musters auf Fehler
JPS5821146A (ja) * 1981-07-30 1983-02-07 Kirin Brewery Co Ltd 欠陥検査方法および装置
US4675730A (en) * 1985-09-06 1987-06-23 Aluminum Company Of America Video surface inspection system
US5768443A (en) * 1995-12-19 1998-06-16 Cognex Corporation Method for coordinating multiple fields of view in multi-camera
JPH10197455A (ja) * 1997-01-09 1998-07-31 Ricoh Co Ltd 表面欠陥検査装置
JP3934873B2 (ja) * 2000-12-05 2007-06-20 新日本製鐵株式会社 カメラ調整用パターンシート、カメラ調整方法
US6750466B2 (en) * 2001-02-09 2004-06-15 Wintriss Engineering Corporation Web inspection system
DE10217404A1 (de) * 2002-04-18 2003-11-06 Leica Microsystems Autofokusverfahren für ein Mikroskop und System zum Einstellen des Fokus für ein Mikroskop
JP4288922B2 (ja) * 2002-10-11 2009-07-01 パナソニック株式会社 接合部材の検査方法およびその検査装置
US7111781B2 (en) * 2003-09-29 2006-09-26 Quantum Corporation System and method for library inventory
US7117068B2 (en) * 2003-09-29 2006-10-03 Quantum Corporation System and method for library robotics positional accuracy using parallax viewing
US7030351B2 (en) * 2003-11-24 2006-04-18 Mitutoyo Corporation Systems and methods for rapidly automatically focusing a machine vision inspection system
JP4533824B2 (ja) * 2005-08-30 2010-09-01 株式会社日立製作所 画像入力装置及び校正方法
JP2007085912A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Omron Corp 位置測定方法及び位置測定装置並びに位置測定システム
JP5122737B2 (ja) * 2005-10-03 2013-01-16 株式会社名南製作所 木材の検査方法及び装置及びプログラム
KR100803046B1 (ko) * 2007-03-28 2008-02-18 에스엔유 프리시젼 주식회사 비전 검사 시스템 및 이것을 이용한 피검사체의 검사 방법

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WO2009104876A3 (ko) 2009-11-05
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