TW200948572A - Resin sealing device and resin sealing method - Google Patents

Description

200948572 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種電子零件之樹脂密封裝置及樹脂密 封成形方法，其係使用分注器將液狀樹脂供應於下模之模 穴，並藉由壓縮成形將裝設於基板之複數個晶片狀零件予 以樹脂密封。 【先前技術】 ❿ 扭， 將電子零件予以樹脂密封而形成封裝體之樹脂密封裝 置及方法，已開發有各種種類者且經實用化。其中之一係 使用分注器將在常溫為液狀之樹脂亦即液狀樹脂供應於下 模之模穴的方法。利用該方法即可逐次以一定量來供應液 狀樹脂（例如，參照專利文獻1)。 專利文獻1 :日本特開2003 — 165133號（第4頁、第4 圖） 【發明内容】 然而’習知之方法中，因係由作業者進行注入器對分 主器之安裝，而容易產生安裝誤失所造成之樹脂密封裝置 暫時彳τ止的情形，導致運轉率降低。又，由於作業者係根 據入器内之液狀樹脂的量來調節注入器之安裝位置’因 此產生作業變得繁雜之問題點。 、。。本發明之目的在於藉由於裝置裝載將注入器裝設於分 器的自動裝設機構’以謀求運轉率之提升與省力化。 3 200948572 以下說明中之括弧内的符號係以使說明中之用語與圖 式所不之構成7C件易於對照為目的而記述。又，該等符號 等並非意#「限定於圖式所示之構成元件，來解：說明中^ 之用語的意義」。 為了解決上述課題，本發明之樹脂密封裝置係具備上 模、與該上模相對向之下模、及設於該下模之模穴，在上 模與下模為開啟之狀態下，將液狀樹脂（3)供應於模穴，一 邊使裝設於基板之複數個電子零件介於上模與下模之間， 一邊在關閉該上模與該下模之狀態下使液狀樹脂〇)硬化， 藉此將該電子零件予以樹脂密封，其特徵在於，具備：注 入器（2)，用以收容液狀樹脂（3);柱塞（6)，其接觸收容於注 入器⑺之液狀樹脂(3);分注器⑴，用以連接注入器(2);桿 (5) ’係於分注器之注入器之連接部位，安裝成可進退 自如於m器之方向且於前端連結該柱塞⑹；鎖止機構 (14)，用以將到達分注器（1)之該連接部位的注入器（2)固定 於分注器⑴；以及控制部（18)，用以控制桿（5)及鎖止機構 (14)之動作；該控制部（18)係藉由使與柱塞（6)連結之桿 往分注器（1)側後退，使與該柱塞一起移動之注入器（2)到達 該分注器之該連接部位，以該狀態使該鎖止機構〇句作動於 該注入器與該分注器。 又，本發明之樹脂密封裝置，係在上述樹脂密封裝置 中’使與柱塞⑹連結時之桿（5) ’突出至到達該柱塞接觸收 谷；入器（2)之量在可吐出之範圍内最少量時之液狀樹脂 的位置。 200948572 .又，本發明之樹脂密封裝置，係在上述樹脂密封裝置 中，具備用以發出顯示注入器（2)已到達分注器（1)之該連接 部位之訊號的感測器（1 7)，且根據來自感測器（17)之訊號， 控制部（18)在判斷注入器（2)已到達該連接部位時，使桿 之後退停止，控制部（18)在判斷注入器（2)並未到達該連接部 位時，藉由既定警報手段發出警報。 又，本發明之樹脂密封裝置，係在上述樹脂密封裝置 φ 中，鎖止機構（14)具有將注入器（2)加以保溫之功能。 又本發明之樹腊密封方法，係具備上模、與該上模 相對向之下模、及設於該下模之模穴，在上模與下模為開 啟之狀態下，將液狀樹脂（3)供應於模穴，一邊使裝設於基 板之複數個電子零件介於上模與下模之間，一邊在關閉該 上模與該下模之狀態下使液狀樹脂（3)硬化，藉此將該電子 零件予以樹脂密封，其特徵在於，具備以下步驟：進行注 入器（2)與分注器⑴之對準’以使注人器⑺外筒之開口部與 〇 分注器（1)之注入器（2)之連接部位呈相對向的位置關係；將 在分注器（1)之該連接部位安裝成可進退自如於注入器P)之 方向之桿（5)的前端、與接觸收容於注入器⑺之液狀樹脂⑺ 的柱塞（6)加以連結；藉由使桿（5)後退，使與連結於該桿之 柱塞（6)—起移動的注入器（2)，到達分注器（1)之該連接部 位；為了將注入器(2)固定分注器⑴’以鎖止機構(14)固定 分注器（1)與已到達該分注器之該連接部位的注入器（2);以 及藉由使桿（5)前進以使液狀樹脂（3)從注入器（2)吐出，而將 液狀樹脂（3 )供應於模穴。 200948572 又，本發明之樹脂密封方法，係在上述樹脂密封方法 中，具備在連結桿（5)與柱塞（6)之步驟前，使該桿突出至 達該柱塞接觸收容於注入器（2)之量在可吐出之範圍内最少 量時之液狀樹脂之位置的步驟， ^ 又，本發明之樹脂密封方法，係在上述樹脂密封方法 中，具備：在從感測器（17)發出顯示注入器（2)已到達分注器 (1)之該連接部位的訊號時，使桿（5)之後退停止的步驟；以 及在注人H⑺並未到達纽器⑴之該連接部位時，藉由既 定警報手段發出警報的步驟。 又，本發明之樹脂密封方法，係在上述樹脂密封方法 中，鎖止機構（14)具有將注入器（2)加以保溫之功能。 根據本發明，由於藉由控制部（18)使與柱塞（6)連結之桿 (5)往分注器（1)側後退，使注入器（2)與柱塞（6)_起移動至= 注器（1)為止，並以鎖止機構（14)固定注入器（2)與分注= ⑴’因此可將注入器⑺自動裝設於分注器⑴。藉由有效運 用該自動裝設之機構’亦可自動更換注入器⑺。此外，若 將在既定連接部位安裝有注入器（2)之分注器⑴自動裝設: 裝置，則亦能將一連串之安裝步驟全部予以自動化。藉此， :防止因作業者所造成之安裝誤失，而可提升裝置之運轉 率’且可謀求因自動化帶來之省力化。 又，藉由預先使與柱塞（6)連結時之桿（5)突出至到達柱 塞（接觸收容於注入器⑺之量在可吐出之範圍内最少量時 之液狀樹脂）的位置，即可不受收容於注入器 脂⑺之量的影響，而將分注器⑺自動裝設於二之：f 200948572 【實施方式】 刀注器（1)，具有.疴狀部（8)、鎖止機構連接部（11)、 及前端為螺栓部⑺且可進退/旋轉自如之桿（5)。於筒狀部（8) 之外壁設有開口 (9) ’料吸引路徑⑽連接往吸引機構 (16)。樹脂密封裝置’具有：設於吸引路徑⑽之麼力感測 器（17)、及用以控制壓力感測器（17)或桿（5)等之動作的控制 P (18) /主入器（2)具有噴嘴（4)、及接觸於收容在注入器（2) 内之液狀樹脂(3)的柱塞(6)’於柱塞⑻之注入器開口端側的 中央部分具備螺孔（13)。藉由桿（5)前端之螺栓部（7)與柱塞 (6)中央部分之螺孔（13)來連結桿（5)與柱塞（6)。接著，依控 制部（1 8)之指示使桿（5)後退，藉此注入器（2)即與柱塞（6)一 起移動至分注器侧，注入器即嵌入筒狀部（8卜並藉由注入 器⑺之内壁封閉開口 (9)。藉此’壓力感測器(17)即感測到 氣壓之變化，控制部（18)便使桿（5)之後退停止，藉此注入器 (2)即連接於分注器⑴上之既定部位。此外，連接於既定部 位之注入器（2)係以鎖止機構〇 4)固定。 【實施例1】 參照圖1〜圖3說明本發明之樹脂密封裝置及樹脂密封 方法之實施例1。實施例i係關於一種將注入器自動裝設於 分注器之技術。圖i⑴〜（3)係分別在最多量之液狀樹脂收 谷於注入器之狀態下，表示分別安裝於既定位置之分注器 與注入器的載面圖（圖1(1))、表示桿與板塞連結之狀態的載 面圖（圖U 2 ))、表示桿後退而注入器到達分注器之既定連接 200948572 部位之狀態的截面圖（圖1(3))。圖 _ (3)係分別在最少量 之液狀树脂收容於注入器之狀態下’表示分別安裝於既定 位置之分注器與注人器的截面圖（圖2(1))、表示桿與柱塞連 2(2^'表示桿“而注入器到達分注 器之既定連接部位之狀態的截面圖（圖2(3))。圖3d)係鎖止 機構之截面圖、圖3⑺則表示在注人器到達分注器之既定 連接部位後，將鎖止機構裝設於注入器與分注器之狀態的 截面圖。 分注器1係預先安裝於初期位置(未圖示)。於本實施例 之樹脂密封裝置，設有^將分注器1從初期位置搬送至 既定部位之搬送機構（未圖示）。在該既定部位，注入器2係 安裝於分注器i。如圖1(1)所示’於注入器2收容有最多量 之液狀樹脂3。接荖，於详λ λ ^ 筏者於，支入盗2之前端安裝喷嘴4，以從 喷嘴4之前端吐出液狀樹脂3。 如圖1(1)所示’於位在分注_ 1前端之注入器2的連 接部位’ # 5係安裝成可進退自如於注人器2之方向且可 旋轉自如。桿5係安裝於包含馬達等之驅動機構（未圖示）， 並依控制部之指示而動作。帛5之端面係與設於注入器2 内之柱塞6相對向’於該桿5之前端設有公螺紋狀之螺栓 。才干5係突出至在收容於注入器2之液狀樹脂之量為可 吐出之範圍内最少量時’亦即注入器2内之柱塞6之位置 為最接近噴嘴4時（後述）為了到達柱塞所須且足夠的位 在圖1之情況下’柱塞6係位於在注入器2内最接近 分注器1之側。於分注器i之前端側設有從分注器丄突 200948572 • 出之筒狀部8。於筒狀部8之外壁設有開口 9。 透過吸引路徑10連通於吸引機構（未 汗口 9係 、击技 （禾圖不）。吸引路徑10仫 ，接於用以感測氣壓之壓力感測器（未圖示）。又於分主二 之前端側，設有從分注器1突出之鎖止機構連接部u" 鎖止機構連接部η具有圓筒狀之形狀，並圍繞 。 又’於鎖止機構連接部11之内壁，設有心固定U所； 之鎖止機構14的凸部12。凸部12 σ | θ τ •…外周面之固定槽15的形㈣f鎖止機 €>旋凸狀者。 ㈣狀者即可，例如銷狀或螺 圖U1)中，注入器2係安裝於既定位置，亦即注 部。於本實施例之樹脂密封裝置，從注入器收容部至 、主入」^觸杯5之位置’設有朝向分注器1之前端侧搬送 /主入窃2的注入器搬送機構（未圖示）。 曰圖1(1)所不，於注人器2内收容有液狀樹脂3，於對 應：置之位置’以在注入器2内接觸液狀樹脂3之方式預 ❹先-又有柱塞6。於柱塞6之注入器開口端側的中央部分則設 有螺孔1 3。 如圖1(2)、（3)所示，注入器2係設置成在分注器】前 端側之既定遠接ar # 、 連接°卩位，使分注器1之筒狀部8嵌入注入器2 之=側此時’如圖1 (2)所示，在注入器2搬送至柱塞6 與才干之接觸位置之處，藉由旋轉中之桿5前端的螺检部7 與柱塞6之螺孔13來連結桿5與柱塞6。桿5與柱塞6之 連、‘亦可使用氣動夹頭或磁性夾頭。 如圖1(2)所示’在連結桿5與柱塞6之後，桿5即後 9 200948572 退。藉此，注入器2便與柱塞ό 一起移動，而到達分注器 之既定連接部位（參照圖1(3))。 如圖2所示’在注入器2内之液狀樹脂3之量為可吐 出之範圍内最少量之情況下，柱塞6係位於最接近噴嘴4 之部分。此時，注入器2係在最接近分注器丨之位置固定 桿5與柱塞6(參照圖2(2))。接著，藉由桿5後退較短之距 離，注入器2便與柱塞6 —起移動，而到達分注器丨之既 定連接部位（參照圖2(3))。 當注入器2到達分注器i之既定連接部位後，藉由控 制部18所控制之鎖止機構搬送機構（未圖示），用以固定2 入器2之鎖止機構14即裝設於注入器2與分注器“參昭圖 3⑴、⑺)。鎖止機構14具有用以覆蓋注入器2之 筒部。於鎖止機構14之外周面， / 之m定仞罢& °又有用以決疋鎖止機構14 固疋位置的固定槽15。固定槽15只要是適於注入器2之 鎖止的形狀即可，可号署点 太…， 狀或L字狀等各種形狀。 本實施例之固定槽丨5禆开彡士、 之中心軸呈㈣ 絲成為使2條槽相對鎖止機構14 螺旋形狀鎖/而可在鎖止機構M之周圍半旋轉的局部 接部η内壁之凸部二裝:二藉:將配設在鎖止機構連 定…端部，再將::機:二止機：1:外周… 連接部II側來進行。又入®疋於鎖止機構 注入器2加以保溫之功能具體機而構言Μ Γ構成為具有將 隔熱材使用於鎖止機構14之材 ”要將填布電木等 止來自外部之熱的影響 ’卜。根據此構成，可防 以將〉主入器2内之液狀樹腊3的 200948572 溫度保持於一定。 以下，參照圖1說明當注入器2連接於分注器1時之 動作。圖2之情況的動作亦相同。首先，如圖1(1)所示， 藉由注入器搬送機構，使注入器2從注入器收容部至柱塞6 接觸桿5之位置為止，朝向分注器1之前端側移動。此時， 係將分注器1與注入器2予以對準後再使注入器2移動， 以使桿5之前端接觸安裝於注入器2内部之柱塞6的中央。 ❹

其次，如圖1 (2)所示，一邊使桿5旋轉一邊使桿5之 前端接觸柱塞6,以將桿5之螺栓部7插入位於柱塞6中央 部分之螺孔13。藉此，連結桿5與柱塞6。藉由至此為止 之步驟，不論收容於注入器2内之液狀樹脂3之量的多寡， 注入器2内之柱塞6與分注器1之桿5即連結。 其次，使桿5之旋轉停止後，便使桿5後退。藉此， 桿5與注入器2即一體後退。此步驟中，如圖1(3)所示， 使桿5後退直至設於筒狀部8外壁之開口 9被注入器2之 内壁封閉為止。 3又％樹脂岔封裝置之壓力感測 藉由開口 9受到封 器（未圖示），即感測到氣壓之變化，並發出顯示注入器2已 到達既定部位之訊號。接收到該訊號後之控制部（未圖示）， 便使桿5之後退停止。藉此，到達分注器丨之既定連接部 位的注入器2即停止。因此，即可將注入器2連接於既定 連接部位。 其次，將注入# 2 it接於既定連接部位後，藉由鎖止 機構搬送機構（未圖示）’將鎖止機構14裝—Λ Μ 衣6又y;注入器2與 11 200948572 分注器1(參照圖3(2))。在鎖止機構14之材料使用有隔熱材 的情況下，即可防止來自外部之熱的影響，以將注入器2 内之液狀樹脂3的溫度保持於一定。 藉由至此為止之步驟，不論收容於注入器2内之液狀 樹脂3之量的多寡，皆可自動進行將注入器2裝設固定於 刀/主器1之動作。又，藉由反向進行上述各步驟，即可自 動進行從分注器丨將注入器2拆卸搬出之動作。 此外，注入器2與分注器丨不僅可沿水平方向配置， 亦可A垂直方向配置。 ❹ 【實施例2】 參照圖4說明本發明之樹脂密封裝置及樹脂密封方法 之實施例2。實施例2係關於一種用以檢測注入器是否到達 分注器之既定連接位置的技術。圖4〇)係表示安裝於初期 位置之狀態之分注器與安裝於注入器收容部之狀態之注入 器的截面圖、4(2)係表示注人器到達分注器之既定連接 部位，而壓力感測器感測到氣壓之變化之狀態的截面圖。 針對與實施例丨共通之構成元件及動作，適當省略說 〇 明。注人H 2係連接於分注器丨前端側之既定連接部位。 如圖4(1)所示，於筒狀部8之外壁設有開口 9。該開口 9係 透過吸引路徑10連通於吸引機構16。吸引路徑1〇係連接 於用以感測氣壓之壓力感測器17。又，有關於注入器2是 否到達既定連接部位之訊號係從壓力感測器17接收，根$ 該訊號控制部（18)即藉由既定警報手段發出警報。警報=段 只要是可將異常通知於作業者者即可，可使用蜂鳴器或= 12 200948572 管等。 如圖4(2)所示，使注人哭1 α名 使左入器2移動直至分注器i前端側 之既定連接部位為止，以使分注器1之筒狀部8嵌入注入 器2之内側。此時’設於筒狀部8外壁之開 入器2之内壁封閉。藉此，連接於吸引路徑1〇之壓力感測 益17,即感測到氣壓之變化而檢測出注入器2已 連接部位。接著，控制部18根據從壓力感測器17接收到 ©之訊號’而判斷注人器2已到達既定連接部位。另—方面， 當注入器2未到達分注器1前端側之既定連接部位時，吸 於筒狀部8外壁之開〇 Q A ^ ° ㈣之開口 9即未藉由注入器内壁封閉。因此， 連接於吸引路徑1 〇之壓力咸 感測益17即無法感測到氣壓之 。在既疋條件下產生此狀態時，例如在從桿5之後退 開始起已持續經過既定時間之情況下，控制部、: 入器2並未到達既定連接部位而藉由警報手段發心 ”要作業者接收到警報並修正注入器2之位置 φ 開始樹脂密封裝置之動作。 室新 此外’對注入器2是否到達既定連接部位之檢 了壓力感測器17以外，亦可利光學感 …示 π用尤子A刈益或開關機構。 又’本發明並不限於上述各實施例，在 之意旨的範圍内，視須要 @ 發明 選擇採用。m可任意且^予以組合、變更或 【圖式簡單說明】 注入器 圖1⑴〜（3)係分別在最多量之液狀樹脂收容於 13 200948572 之狀態下，表示分別安裝於 衣歹、既疋位置之分注器盥 截面圖（圖1(1))、表示桿與柱 入器的 塞連、、、口之狀態的截面圖厂 1(2))、表示桿後退而注入 （圖 55巧運刀/主态之既定連接邱 狀態的截面圖（圖1(3))。 P位之 之狀^):(3)係分別在最少量之液狀樹脂收容於注入器 之狀。下’表示分別安裝於既定位置之分注器 截面圖（圖2(1))、表示桿斑知玄$ # 器的 表丁 #與柱塞連結之狀態的截面圖（圖

聊、表示桿後退而注入器到達分注器之既定連接部位之 狀態的截面圖（圖2(3))。 、圖3(1)係鎖止機構之截面圖、圖3(2)係表示在注入器到 達分注器之既定連接部位後，將鎖止機構裝設於注入器 分注器之狀態的截面圖。 、 圖4(1)係表示安裝於初期位置之狀態之分注器與安裝 於注入器收容部之注入器的截面圖、圖4(2)係表示注入器 到達分注n之既定連接部位，壓力感測器感測到氣壓之變 化之狀態的載面圖。

【主要元件符號說明】 分注器 1 注入器 1 液狀樹脂 喷嘴 ; 桿 $ 柱塞 14 200948572 7 螺栓部 8 筒狀部 9 開口 10 吸引路徑 11 鎖止機構連接部 12 凸部 13 螺孔 14 鎖止機構 15 固定槽 16 吸引機構 17 壓力感測器（感測器） 18 控制部

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Claims (1)

1. 200948572 七、申請專利範圍： 1、-種樹脂密封裝置’其具備上模、與該上模相對向 之下模、及設於該下模之模穴，在該上模與該下模為開啟 之狀態下，將液狀樹脂供應至該模穴，一邊使裝設於基板 之複數個電子零件介於該上模與該下模之間，一邊在關閉 該上模與該下模之狀態下使液狀樹脂硬化，藉此將該電子 零件予以樹脂密封，其特徵在於，具備： 注入器’用以收容液狀樹脂； ❹ 柱塞，其接觸收容於該注入器之液狀樹脂； 分注器’用以連接該注入器； 桿’係於該分注器之該注入器之連接部位，安裝成可 進退自如於該注人器之方向且於前端連結該柱塞； 鎖止機構，用以將到達該分注器之該連接部位的該注 入裔固定於該分注器；以及 控制部，用以控制該桿及該鎖止機構之動作； 該控制部係藉由使與該柱塞連結之該桿往該分注器側 =使與該柱塞—起移動之該注入器到達該分注器之該 =指’以該狀態使該鎖止機構作動於該注入器與該分 2、如巾請專·圍第丨項之樹脂密封裝置 该柱塞連結時之該桿’係突 ' T ,,A θ 係大出至到達該柱塞接觸收容於該 晋。…在可吐出之範圍内最少量時之液狀樹脂的位 、如申請專利範圍第…項之樹脂密封裝置其具 16 200948572 備用以發出顯示該注入器已到達該分注器之該連接部位之 訊號的感測器，且根據來自該感測器之訊號，該控制部2 判斷該注入器已到達該連接部位時，使該桿之後退停止 該控制部在判斷該注入器並未到達該連接部位時，挪 定警報手段發出警報。 ％ 4、 如申請專利範圍第i或2項之樹脂密封裝置，其中， 該鎖止機構具有將該注入器加以保溫之功能。 、， Ο Ο 5、 -種樹脂密封方法’其具備上模、與該上模相對向 之下模、及設於該下模之模穴’在該上模與該下模為開啟 之狀態下，將液狀樹脂供應於該模穴，一邊使裝設 之複數個電子零件介於$ 兮…… 模之間’一邊在關閉 模與該下棋之狀態下使液狀樹脂硬化，藉此將該電子 零件予以樹脂密封，其特徵在於，具備以下步驟： 進行該注入器與該分注器之對準，以使注入器外筒之 開口部與分注器之該注入 係. 之連接°卩位呈相對向的位置關 將在該分注器之該連接 文丨13L女裝成可進退自如於該注 入器之方向之桿的前端、鱼垃 , 收容於該注人器之液狀樹 舳的柱塞加以連結； 藉由使該桿後退，蚀彻、由u ._ 使與連結於該桿之該柱塞一起移動 的該注入器，到達該分 、秒勒 忑刀，主15之該連接部位； 為了將該注入器固定噹八 ^ ^ 疋該刀主器，以鎖止機構固定該分 主1§與已到達該分 〜人η ^ 益之該連接部位的該注入器；以及 11由使該桿前進以使液狀樹脂從該注入器吐出，而將 17 200948572 液狀樹脂供應於該模穴。 ό、如申請專利範圍第5項之樹脂密封方法，其具備在 連結該桿與該柱塞之步驟前，使該桿突出至到達該柱塞接 觸收容於該注入器之量在可吐出之範圍内最少量時之液狀 樹脂之位置的步驟。 7、 如申睛專利範圍第5或6項之樹脂密封方法，其具 備：在從感測器發出顯示 ”、 ^ . /主入器已到達該分庄器之該連 换。卩位的訊號時，使咭 ❹ 入器並未到達該分Mif退停止的步驟；以及在該注 段發出警報的步驟。連接部位時，藉由既定警報手 8、 如申§青專利範圍第$ ϋ 或< 6項之樹脂漆4 > . ^ 该鎖止機構具有將該注 在封方法，其中， 入盗加以保溫之功能。 八、圖式： (如次頁）

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