TW200934973A - O-ringless seal couplings - Google Patents

Description

200934973 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明概言之係關於流體止封件。更具體而言，本發明之實施 例係關於非0型環流體耦合止封件（O-ringless fluid seal coupling)，用於例如液體過濾裝置、閥門及感測器等在關鍵流體 管理中所用之可操作的流體裝置。 【先前技術】 許多行業及諸多應用均利用金屬管子、接頭、及各種其他「管 道系統（plumbing)」組件來運送及控制關鍵流體流。此等組件可 由例如銅、不銹鋼或鋼等金屬製成。習知之流體止封件包括彈性〇 型環或襯墊。儘管此等止封件可相對廉價並可在大多數情形中有 政地達成密封，然而此等止封件並非在所有環境中皆有效。在特 疋應用中，例如在半導體處理中，所涉及之流體與所使用之金屬 組件、習知襯墊或彈性0型環發生反應及/或可被其污染。因此， 在此等行業中，管道系統組件係由例如含氟聚合物等呈高度惰性 之材料製成。 +例而σ，在微電子製程流體之液體過渡中所存在之嚴酷化學 裝境中，㊉常必須使用由耐化學品之材料（例如KALREz@ )製成 之0型環。然而’該等0型環可較為昂貴，且常常需要頻繁地更 換。 此外，在其中製程流體易於結晶之應用中，徑向或面止封件〇 型環周圍較小之死空間（deadspace)體積可導致製程流體結晶， ，以成止封件冷路或者對製程流體造成其他不利之影響。此 外〇型％雄、封面上之毛刺（burr)或其他表面缺陷可在各裝置之 200934973 間形成額外之漏點。 在嚴酷之化學環境中，可使用由耐化學品之材料（例如 KALREZ®)製成之襯墊。然而，此等設計可能需要一非常大之關 閉力（closure force )，且可能成本高昂。 因此，需要一種能解決上述缺陷並用於嚴酷化學環境流體系統 中、例如用於微電子製程流體之液體過濾裝置之改良非0型環流 體止封件。 【發明内容】 Ο 一種適用於嚴酷化學環境中並適用於可操作的流體裝置之非〇 型環流體止封件包括可操作的流體裝置以及用於達成密封之方 法。 於一實施例中，一種可操作的流體裝置包含一含氟聚合物 (fluoropolymer)本體部與一含氟聚合物容納部，該含默聚合物 (fluoropolymer )本體部與該含氟聚合物容納部可於一流體密封 連接處相互連接以容納該流體，該流體密封連接具有二錐台表 面，該二錐台表面開始時相互面對且當隨後形成該連接時相互嚙 〇 合，該等錐台表面其中之一係為凸的、其中之另一係為凹的，其 中當該等表面於其相嚙合之前相互面對時，其在角度上失配，且 其中該等錐台表面之第一密封接觸係位於各該錐台表面上之一沿 徑向向内之環形位置並接近内腔，且當該等配合部被推靠於一起 時，該密封接觸自該沿徑向向内之環形位置沿徑向向外擴張至包 含該二角度失配錐台表面至少其中之一之大部分。包含環形圈及 環形凹槽之適當環形結構可在該等錐台表面相嚙合時對該等錐台 表面提供徑向約束，且此種環形結構可提供額外之環形輔助密封。 200934973 於本發明之實施例申，一透過該流體緊密密封連接至-本懸部 之聚合物容納部界定一内腔，該内腔容納一流體控制部、一流體 過遽器部、以及—流體量測部其中之—。該本體部及該聚合物容 納部：該流雜緊密密封處界定圓筒形内壁部並具有一共用轴線。 於一特定實施例中，當第一配合部與第二配合部她合以形成 一非〇型環流體止封件時，三個密封面至少其中之―、二、或三 者可變形、撓曲或以其财式相對於各航合部自其未密封構I 發生畸變。 於某些實施例中，該非〇型環流體麵合件可用以在一微電子製 程流體系統中將-流體韻裝置輕合至過據室。於—實施例中， 於-輕合件中形成一單個非〇型環流體止封件。於另一實施例 中’於一耦合件中形成二非〇型 ,一 衣机體止封件。於再一實施例中， 形成三非〇型環流體止封件。 根據某些實施例，揭露包含一第—入 示配0 °卩及一第二配合部之非0 型環流體止封件，用以在二組件 — 、狀間形成—密封連接。該第-配 S部具有一近端，用以容置該第二 ^ 阢σ冲。該第—配合部亦具有 一运端，可操作地附連至該等組件1中 "5亥第一配合部亦具 -第-周緣部、一第二周緣部、以及設置於該第—周緣部與該 第二周緣部間之-環形槽部。該第—周緣部具有—第—密封面及 —第二密封面。該第二周緣部具有一第二 ^ 弗—在封面。於平行於軸線 -柷截面中’該第-密封面與該圓筒形内壁部界定一第一夾 角，且於平行於軸線之一橫截面中， 〜喊一 忒第二抢封面與該環形槽界 疋'一第—夹角。 β亥第一配合部具有一近端，用以 备置这第一配合部。該第二配 200934973 合部具有一遠端，可操作地附連至另一組件。該第二配合部亦具 有一第三周緣部、一第一配合密封面、及一第三配合密封面。該 第二周緣部具有一第二配合密封面。該第一配合密封面與該圓筒 形内壁部界定一第三夾角，且該第三密封面與該圓筒形内壁部界 定一第四夾角。 第一配合部及第二配合部被構造成使第—夾角不等於第三炎 角、且第二夾角不等於第四夾角。 3亥一配合部被構造成使其可組裝於一起。當該等部件組裝於一 〇 起時’在無任何軸向壓縮力作用於其上面之情況下，該環形圈係 用以容置第三周緣部，該第一密封面面對該第一配合密封面，該 第一达、封面係沿徑向鄰近該第二配合密封面，且該第三密封面面 對該第三配合密封面。 、‘方也加一力以將第一配合部沿轴向壓縮至第二配合部時，該力 透過第一配合部與第二配合部二者傳遞，使第一密封面被壓抵於 第一配合密封面上。該壓縮力使第一密封面與第一配合密封面至 ^ 少其中之一發生挽曲。 根據本發明之某些實施例，當施加一力以將第一配合部沿轴向 壓縮至第二配合部時，第一密封面與第一配合密封面至少其中之 一發生變形。 根據本發明之某些實施例，當施加一力以將第一配合部沿軸向 壓縮至第·一配合部時，該力透過第一配合部與第二配合部二者傳 遞’使第一密封面被壓抵於第二配合密封面上。此種壓縮使第二 岔封面與第二配合密封面至少其中之一發生撓曲。根據本發明之 其他實施例’該壓縮亦使第三密封面與第三配合密封面至少其中 200934973 之一發生撓曲。 根據本發明之某些實施例’第一夾角係為約45度（±2度），第 二灸角係為約5〇度（±2度）’第三夾角係為約4〇度（士2度），第 四失角係為約45度（±2度）。 根據本發明之某些實施例，該裝置係為所欲耦合之一組件之一 部分，該組件係用於過濾微電子製程流體之—液體過濾總成，另 一組件則係為一過濾器室。 根據本發明之某些實施例，第一配合部係由一含氟聚合物構 成。根據本發明之其他實施例，該含氟聚合物係選自由過氟烷氧 土（perfluoroalkoxy)及聚四氟乙浠（p〇iytetrafiu〇roethylene)所 組成之群組。 根據本發明之某些實施例，第二配合部係由一含氟聚合物構 成。根據本發明之其他實施例，該含氟聚合物係選自由過氟烷氧 基及聚四氟乙烯所組成之群組。 該耦合止封件之實施例之一特徵及優點在於，僅需一低嚙合力 即可將各止封件會合到一起。 該耦合止封件之實施例之另一特徵及優點在於，僅需—低密封 力來形成止封件。 、《亥耗σ止封件之實施例之另—特徵及優點在於該流體止封件 並非係由彈性體、彈性材料製成，而是由剛性材料製成，此適合 於流體控制裝置殼體之剛性材料。 —雜合止封件之實施例之另—特徵及優點在於，鄰近流體室之 密封面之壓縮載荷在-沿徑向向外之方向上減小進而鄰近該流 體室提供一最可靠之止封件。 200934973 該耦合止封件之實施例之另一特徵及優點在於，可以低之夾緊 力形成可在高流體壓力下使用之組合式止封件。 該耦合止封件之實施例之再一特徵及優點在於，可形成實質無 死空間之真正直通式流動路徑。 多重耦合止封件配置之實施例之一特徵及優點在於，可獲得增 強之製造容差。 以上對本發明各實施例之概述並非旨在描述本發明之每一所示 實施例或每一實施方案。而是，選取及描述該等實施例旨在使其 Ο 他熟習此項技術者可瞭解並理解本發明之原理及實作。下文之圖 式及詳細說明更具體地例示該等實施例。 【實施方式】 根據本發明之裝置可用於各種應用中，例如用於在一微電子製 程流體系統中將一容納部耦合至一本體部。 「流體控制」包括計量、用閥門實施調節（valving )、儲存以及 • - ·. . 開關，「流體調節」包括改變流體之配方或純度抑或特定條件，例 如溫度或壓力；「流體量測」包括偵測流體之一狀態或特性。本文 ❹ 中所述之「組合式（integral )」意指所提及之二組件、部分或元件 係為一體的，並由連續之共用材料形成。 參見第1圖，根據本發明某些實施例，一用以運送流體之可操 作流體裝置14大致包含在一流體密封連接20處相互嚙合之一聚 合物本體部24與一聚合物容納部22。當聚合物本體部24與聚合 物容納部22相嚙合時，流體密封連接20形成一非Ο型環流體緊 密止封件。 如第1及1B圖所示，根據本發明之某些實施例，聚合物本體部 200934973 24大致包含配合部26、外螺紋28、一内腔30、一圓筒形内壁部 128、位於流體緊密密封處之一圓筒形壁面部％、一對流體流動導 管120、122 ’並具有一近端48及一遠端50。圓筒形内壁部128 及圓筒形壁面部38二者係實質上關於轴線126呈圓形。 與聚合物本體部24成一體之配合部26大致包含第一環形圈 32、第二環形圈34及間隙36。第一環形圈32具有位於尖端4〇 上之凹錐台密封面42、以及鄰接之圓筒形壁面部38。凹的第一錐 台密封面42與軸線ai形成銳角Θ1。 當如第1B圖所示在剖視圖中觀察時，第一環形圈32、第二環 形圈34、及間隙36各自實質平行於軸線126。第二環形圈34自 本體部24沿軸向延伸遠離，並與第一環形圈32間隔一間隙％。 該第二環形圈34具有一尖端54且較第一環形圈32之尖端4〇沿 軸向更遠地突離本體部。於間隙36之遠端5〇處係為一圓弧表面 86 ° 第二環形圈具有-第三密封面56’第三密封面相對於共用轴線 成一夾角Φ2 ’夾角φ2亦係為朝内表面52上之夹角。 參見第1及1Α圖，根據本發明之某些實施例，聚合物容納部 22大致包含配合部58、可操作部6〇 (此處顯示為—過濾器）、殼 體62、内腔64、凸肩90、圓筒形内壁部13〇 '位於流體緊密密封 處之圓筒形壁面部82、以及軸線126。聚合物容納部”具有—遠 端66及一近端68。圓筒形内壁部13〇與圓筒形壁面部二者係 實質上關於軸線126呈圓形。 該可操作部可係用於流體控制、流體調節或流體量測，但並非 僅限於此。 200934973 與聚合物容納部22成一體之配合部58大致包含第三環形圈70 及凸錐台密封面74。凸的第二錐台密封面74與共用軸線al形成 銳角Θ3，共用軸線al亦平行於與凸錐台密封面74相鄰之圓筒形 壁面部82。 當如第1A圖所示在剖視圖中觀察時，第三環形圈70之朝内及 朝外表面係平行於或實質平行於軸線al。 第二環形圈34自本體部24沿軸向延伸遠離，並與第一環形圈 32間隔一間隙36。第二環形圈34具有一尖端54且較第一環形圈 〇 32之尖端40沿轴向更遠地突離本體部，以對該錐台密封面提供保 護。 於第三環形圈70之遠端50處係為一圓弧表面88。 根據本發明之某些實施例，夾角Θ1不等於夾角Θ3。於一實施例 中，夾角Θ1可約為45度，夾角Θ3則可約為40度。於另一實施例 中，夾角Θ1可約處於30度至60度之範圍内，而夾角Θ2可等於夾 . . * - 角Θ1加上約3至15度。 根據本發明之某些實施例，夹角φΐ不等於φ3。於一實施例中， 夾角φΐ可約為50度，而夾角φ3可約為45度。於另一實施例中， 夾角Φ3可約處於30度至60度之範圍内，而夾角φΐ可等於夾角φ3 加上約4至8度、較佳約5度。 根據本發明之某些實施例，容納總成22之配合部58可由例如 PFA (過氟烧氧基；perfluoroalkoxy )或PTFE (聚四氟乙稀； polytetrafluoroethylene )等含氟聚合物製成。根據本發明之某些實 施例，過濾室24之配合部26可由例如PFA (過氟烷氧基； perfluoroalkoxy)或 PTFE (聚四敦乙稀；polytetrafluoroethylene) ..π . .... 200934973 等含氟聚合物製成。根據本發明之某些實施例，容納部22之配合 部58與本體部24之配合部26可由不同之材料製成。根據本發明 之某些實施例，容納部22之配合部58與本體部24之配合部26 亦可由相同之材料製成。應注意，對於實際之密封面，使用例如 PFA等對於殼體而言呈足夠剛性之材料。 螺帽92具有凸肩94及内螺紋96。凸肩94係被造型成與容納部 22之凸肩90配合使用。内螺紋96係帶有相應螺紋以與外螺紋28 相响合。 容納部22與本體部24之耦合形成一非Ο型環流體緊密止封 〇 件。在運作中，容納部22及本體部24係藉助螺帽92相耦合。操 作員將螺帽92推進至容納部92之近端68，使凸肩94貼靠凸肩 90。推動螺帽92與容納部22二者，使圓弧表面88之近端68插 入環形槽36之近端48，如第3圖所示。接著，操作員轉動固持卡 圈（retaining collar ) 92，使内螺紋96與外螺紋28相嗜合，並繼 續轉動固持卡圈92，使配合部26與配合部58相嚙合，進而使各 錐台表面首先相互面對並隨後相互嚙合。 根據本發明之某些實施例，如第3圖所示，第一密封面74之近 端68接觸第一密封面42之遠端50，然而，因夾角Θ1與夾角Θ3 之值不相等，故在第二密封面74與第一密封面42之間存在一楔 形間隙98。此時，一間隙98存在於第三密封面76與第三密封面 56之間。一間隙亦存在於周緣部70之表面與環形槽部36之表面 之間。初始嚙合係靠近由本體部及容納部所界定之内腔或流體室 71 ° 進一步轉動螺帽92以施加一軸向壓縮力於錐台密封面74、42 12 200934973 上，便可達成一非〇型環止封件。旌势 疋緊螺帽92，直到間隙98、100 之截面積減小為止’如參考編號98, ιυο所不。此時，根據本發 明之某些實施例，密封面74發生 王雯^或撓曲；密封面42發生變 形或撓曲；或者第二密封面74與第— 六乐在封面42二者均發生變形 或撓曲。第4Α圖中繪示一實例性竇絲仓丨 貝J注貫施例，其中第二密封面74已 發生變形，進而形成一非〇型環止封件1〇2。 ❹ 根據本發明之某些實施例，藉由進—步轉動固持卡圈％以增大 轴向壓縮力’可達成又一非〇型環止封件。因該轴向壓縮力與第 -密封面42及第二密封面74之斜角幾何形狀之交互作用，第二 密封面46與第二密封面78可相 , 作立接觸。進一步轉動固持卡圈92 會更增大軸向壓縮力，此可你笛 此』使第—达、封面46及第二密封面％至 乂、其中之一發生變形或挽曲。第4B έ合- 乐415圖、'曰不一實例性實施例，其中 第*一禮、封面46已發生變开4，；隹品五，』， 王H進而形成—非〇型環止封件104。此 時’間隙98'、1 〇〇’之截面藉p审Α、Λ、 積已更為減小，如參考編號98〃、1 所示。 ❹根據本發月之某些實；^例，藉由進—步轉動固持卡圈％以增大 軸向壓縮力’可達成又一非〇型環止封件。由於該軸向壓縮力， 間隙98"可更為減小，且第三密封面^之近端㈣觸第三密封面 56之遠端5G’然而，因夾師與夾角Φ2之值不相等，故在第二 密封面76與第三密封面56之間仍可存在一模形間隙刚。藉由: 一㈣動固持卡圈92以減小間隙⑽之截面積，可達成又_非〇 型壞止封件。此時，第三密封面76發生變形或撓曲；第三密封面 56發生變形或撓曲；或者第三密封面％與第三密封面％二者均 發生變形或撓曲。第4C圖中繪示一實例性實施例，其中第三密封 13 200934973 面56已發生變形，進而形成—非〇型環止封件⑽。因該袖向壓 縮力、第一密封面42*第二密封® 74之斜角幾何形狀以及第 三密封面56及第三密封面76之斜角幾何形狀之交互作用，會更 促進第二密封面46及第二密封面78至少其中之一之變形或撓曲。 當聚合物本體部24與聚合物容納部22相嚙合並形成流體密封 連接20時，各該流體流動導f 12G、122可操作地連接至可操作 部60。 本發明某些實施例之另-態樣可係為如第5圖所示將多個配合 部200、202、204緊靠放置。於其他實施例中，多個配合部期、 210、212之放置可係為同心的。配合部％或％之同心配置要求 由-單個配合部26與-單個配合部58組合成最内之搞合2〇8,如 第6圖所示意性地繪示。對於從第—麵合向外同心配置之每一相 繼之耗合（例如耗合210及212)，必須將一對配合部％與一對 配合部58相組合’藉以形成僅與非〇型環止封件之「濕」側相接 觸之-流體路徑。此-同心配置之流體路徑214係繪示於第6及7 圖中。 在例如光刻職器等應用中，在—單個模製過濾室·中可需 要一個非〇型私輕合件（入口、出口及通氣口各一個）。因模製及 固化製程期間模製部件尺寸變化之影響，第5及6圖所示分組可 較耦合配合部之線性放置達成更嚴格之容差。 儘g本文係例示及闡述具體實例，然而此項技術中之通常知識 者應瞭解#何經4算能達成相同目的之配置皆可替代所示之具 體實例本申6月案意圖涵蓋本發明標的物之修改或變化形式。因 此心圖使本發明由隨附申請專利範圍及其法律等同範圍加以界 200934973 定。舉例而言，錐台表面可包含具有輕微之輪廓而不完全在幾何 上呈「錐形」之表面。在特定實施例中，錐台表面可具有不同之 外t，以在達成疋整之密封唾合時，該等錐台表面其中之一將發 生變形並從内徑向外徑唾合、而另—錐台表面將於更有限之區域 中嚙合。 【圖式簡單說明】 結合附圖閱讀上文對各實施例之更詳細說明，可更全面地理解 本發明之實施例，附圖中： =1圖係、為根據本發明之—實施例，—種具有—非〇型環流體 ，、二止封件㈣於密封地連接二組件之裝置之剖視正視圖； 第1A圖係為第1圖所示非0型環流體緊密止封件之一配合部 之剖視正視詳圖； σ 之:r:B圖係為第1圖所示非0型環流體緊密止封件之另一配合部 之4視正視詳圖； 〇 備H圖Γ為根據本發明之一實施例’一種設備之立體圖，該設 …一耦合至-過濾室之液體過濾總成； 之係，〗圖所示非0型環流體緊密止封件之對應配合部 第4A 圖/其中尚未形成非〇型環流體緊密止封件； 部之刊Ζ料弟1圖所示非〇型環流體緊密止封件之對應配合 :視詳圖’其令形成一非〇型環 第4Β圖係為笫〗團％ -斗 之剖視正相^ 不_〇型環流體緊密止封件之對應配合部 第，係：，二 之剖视正視f 不_型％流體緊密止封件之對應配合部 f圖’其中形成三非0型環止封件； 15 200934973 第5圖係為根據本發明一實施例之一種多重非〇型環流體緊密 止封件配置之立體圖，其中各非〇型環流體緊密止封件係相鄰設 置； 第6圖係為根據本發明一實施例之一種多重非〇型環流體緊密 止封件配置之立體圖，其中各非0型環流體緊密止封件係呈一同 心構造；以及 第7圖係為第6圖所示多重非Ο型環流體緊密止封件配置之連 接流體通道之剖視平面圖。 儘管本發明易於具有各種修改及替代形式，然附圖中以舉例方 式顯示並在上文中詳細描述其具體細節。然而，應理解，並非欲 將本發明限定至所述具體實施例。相反，本發明欲涵蓋仍屬於本 發明精神及範圍内之所有修改、等價及替代形式。 【主要元件符號說明】 14 :可操作流體裝置 22 :聚合物容納部 26 :配合部 30 :内腔 34 :第二環形圈 38 :圓筒形壁面部 42:凹的第一錐台密封面 48 :環形槽之近端 52 :朝内表面 56 :第三密封面 60 :可操作部 2〇:流體密封埠接 24 :聚合物本體部 28 :外螺紋 32 :第一環形圈 36 :間隙 40 :尖端 46 :第二密封面 50 :第三密封面之遠端 54 :尖端 58 :配合部 62 :殼體 200934973 64 :内腔 68 :第三密封面之近端 71 :流體室 76 :第三密封面 82 :圓筒形壁面部 8 8 :圓弧表面 92 :固持卡圈/螺帽 96 :内螺紋 ❹ 98…·間隙 100 :間隙 100” ：間隙 104 :非Ο型環止封件 108 :非Ο型環止封件 202 :配合部 206 :模製過滤室 210 :配合部 214:流體路徑 Θ1 :夾角 Θ3 :夾角 φ2 :夾角 66 :遠端 70 :第三環形圈 74 :凸的第二錐台密封面 78 :第二密封面 86 :圓弧表面 90 :凸肩 94 :凸肩 98 :間隙 98” ：間隙 100':間隙 102 :非Ο型環止封件 106 :間隙 200 :配合部 204 :配合部 208 :配合部 212 :配合部 al :軸線 Θ2 :夾角 φΐ :夾角 φ3 :夾角 • 17

Claims (1)

1. 200934973 七、申請專利範圍： 1. -種可操作的流體裝置’包含於一流體密封連接處相互喷合 之-聚合物本體部與一聚合物容納部，該本體部包含一對流 體流動導管、以及-可操作部’該可操作部係至少部分地容 納於一内腔中，該内腔係用於容納該流體並由具有一共用軸 線之該本體部與該容納部所界定，該可操作部提供流體控 制、流體調節、及流體量測其中之―，該本體部㈣流體緊 密密封處界筒形内壁部，該第—圓筒形 有-第-圓筒形壁面部，該容置部則於該流體緊密密封處界 定-第二圓筒形内壁部及一第二圓筒形内壁表面部該第— 内壁部及第二内壁部係被定位成與該流體相接觸，該流體緊 密密封包含： ” 與該本體部-體成型之-第一配合部、與該容納部—體 成型之一第二配合部，該第一配合部具有一凹錐台 (fmstoconical)密封面，該凹錐體密封面鄰接該第—内壁表 ®部且定位⑥自該本體部沿車由向延伸遠離之一第一環形圈之 -尖端上’該第一配合部更包含一第二環形圈，該第二環形 〇 圈自該本體部沿軸向延伸遠離、平行於該第一環形圈且與該 第-環形圈間隔-間隙，該第二環形圈具有_尖端且較該第 環开> 圈之該尖端沿軸向更遠地突離該本體部； έ亥第二配合部具有與該等第二内壁面部鄰接之—凸錐台 费封面’該凸錐台密封面之_徑向外邊緣鄰接自該容納部沿 軸向延伸遠離之一第三環形圈，該第三環形圈之尺寸適可配 合於該第一配合部之該間隙内； 18 200934973 一螺母，可與該容納部相嚙合，以將該容納部壓縮地連 接至該本體部； ‘ 該等錐台表面被定位成當該容納部被壓縮地連接至該本 體部時相嚙合，各該錐台表面與該共用軸線成一銳角，且於 該等錐台表面相嚙合之前，該等銳角係為不同的，其中當該 容納部被壓縮地連接至該本體部時，該等錐台表面間之一初 始接觸係鄰近該等内壁面部至少其中之一。 2. 如請求項1所述之可操作的流體裝置，其中各該錐台表面於 〇 嚙合處具有一内徑，且該凹錐體表面具有一内徑，該内徑等 於或小於該凸錐台表面之該内徑之3%。 3. 如請求項1或2所述之可操作的流體裝置，其中該可操作部 係為一過濾器。 4. 如請求項1或2所述之可操作的流體裝置，其中該可操作部 係為一閥門。 5. 如請求項1至4中任一項所述之可操作的流體裝置，其中於 該等錐台表面嚙合之前，該等錐台表面與該共用軸線所成之 ❹ 該等銳角其中之一係介於四十三度至四十七度範圍内，且於 該等錐台表面嚙合之前，該等錐台表面與該共用軸線所成之 該等銳角其中之另一係為四十八度至五十三度。 6. 如請求項1至5中任一項所述之可操作的流體裝置，其中該 本體部與該容納部係由過氟烧氧基（perfluoroalkoxy )及聚四 氣乙稀（polytetrafluoroethylene)至少其中之一所構成。 7. 一種可操作的流體裝置，包含可相互連接之一含氟聚合物 (fluoropolymer)本體部與一含氟聚合物容納部、由該本體 19 200934973 部與該容納部在其相互連接時所界定之用於容納流體之一内 腔、。至少部分地容納於該裝置之該内腔中之—可操作部，該 11操作π係用以流體控制、流體調節以及流體量測其中之 一，各該本體部與該容㈣當其相互連接時於—對配合部處 相互喷合’該等配合部界ι流體密封連接，該流體密封連 接包含： 二錐台表面’該二錐台表面開始時相互面對且當隨後形 成該連接時相互喷合，該等錐台表面其中之—係為凸的、且 中之另-係為凹的’其中當該等表面於其㈣合之前相互面 對時，其在角度上失配，且其中該等錐台表面之第—密封接 於㈣錐台表面上之—沿徑向向内之環形位置並接近 =腔，且當該等配合部被推靠於一起時，該密封接觸自該 内之環形位置沿徑向向外擴張至包含該二角度失配 錐σ表面至少其中之一之大部分。 2求項7所述之可操作的流體裝置，.其中各該配合部包含 9. ❹ Q —轴向L伸之凹槽’該沿軸向延伸之環形凹槽斑該另 -配合部上之—沿軸向突出之環形部㈣合。 、 二=…所述之可操作的流體裝置，其中各該配合部 型 既聚合物本體部及該含«合物容納部-體成 1〇’ 置’包含〜合於-流體密封連接處之 二 該流體之-内腔、-至少部分地容 鳩内腔中之可操作部，㈣作部__ 200934973 調知、及流體量測其中之_，該流體密封連接包含·· 該等、Γ台表面該二錐台表面於形成該連接時相互面對， 。表面其中之-係為凸的並與該軸線成—銳角、其令 台表面則係為凹的且與該軸向成—銳角當該等表 目：面對時’該凸錐台表面之該銳角係小於該凹錐台表面 I琢銳角。 1 i ❹ 12. ❹ 期^項Μ所述之流體密封連接’其t#於該第—密封接觸 上=等錐台表面初始喃合時，該喻合係位於各該錐台表面 之—沿經向向内之環形位置，且隨該等配合部被推靠於一 ，當該等錐台表面被沿㈣加載時，該密封接觸自該沿徑 "向内之環形初始嗔合位置沿徑向向外擴張至包含該二角度 失配錐台表面之大部分。 一種形成-流體密封連接之方法，财法包含以下步驟 使由—含氟聚合.物形成之—凹錐台密封面面對由一含氣 聚合物形成之-軸向對齊之凸錐台密封面各該錐台密封面 係與-可操作流體裝置之—對可連接殼體組件—體成型，各 該錐台密封面環繞—流體容納區域，該等錐台密封面係為角 度失配的； 於沿徑向限制該等錐台密封面以保持該軸向對齊之同 時’沿軸向對該等錐台密封面壓縮地加载，其中該等錐台密 封面初始時喷合於各該表面上之—沿徑向向内之密封:合 處’且藉由該等錐台表面之變形，㈣合沿徑向擴張而使該 密封唾合增大至包含該等錐台密封面至少其中之一之大部 分0 21 200934973 13. 提供與該對殼體 該對密封面自二 如請求項η所述之方法’t包含以下步驟 組件其中之一一體成型之額外一對密封面 錐台表面沿徑向向外間隔開β 14. 如請求項13所述之方法，更包含以下步驟 13所述之額外一對密封面沿徑向向外間隔 :提供自如請求項 開之額外一對密封 15. 〇 _ —種可操_«裝置’包Μ合於—流體密封接合部位之 -對殼體組件、-可操作部，該可操作部係至少部分地容納 於-内腔中’該内㈣由該對殼體組件所界定以用於容納該 流體，該可操作部提供流體控制、流體調節、及流體量測直 中之一，各該本體部及該容納部於該流體密封接合部位界^ -對因筒形内壁表面部’該對圓筒形内壁表面部被定位成與 該流體相接觸，該流體密封接合部位包含： ❹ -對二個配合部，分別與該二殼體組件其中之—一體成 且分別具有當形成該連接時相互面對之二角度失配錐台 表面其中之一’該等錐台表面其中之-係為凸的、其中之另 一係為凹的’其中該等錐台表面之第—密封接觸係位於該等 錐台表面上之-沿徑向向内之環形位置，且當該等配合部被 推靠於-起時，該密封接觸自該沿徑向向内之環形位置沿徑 向向外擴張至包含該二角度失配錐台表面之大部分。 一種形成-流體密封連接之方法，該方法包含以下步驟： *使由-含氟聚合物形成之—凹錐台密封面面對由一含氟 聚合物形成之-軸向對齊之凸錐台密封面，該等錐台密封面 於該面對期間係為角度失配； 22 16. 200934973 於沿徑向限制該等錐台密封面以保持該轴向對齊& 時，沿軸向對該等錐台密封面壓縮地加載，其中該等錐△= 封面初料喷合於各該錐台密封面上之一沿徑向向内之密: 喃合處’且當沿軸向對該等錐台密封面壓縮地加载時，藉由 該等錐台表面之變形，該喃合沿徑向擴張錢該密封嗜合增 大至包含該等錐台密封面至少其中之一之大部分。 "月求項16所述之方法，更包含以下步驟：密封地嚙合自該 子錐〇进、封面沿徑向向外之額外一對環形密封面。 23