TW200931575A - Clean conveyance system - Google Patents

Description

200931575 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於最適合顯示裝置製造等需要潔淨環境作 業的搬運系統。 【先前技術】 液晶顯示器（LCD)、電漿顯示器（PDP )、電致發 〇 光顯示器（eld)等顯示裝置的製造，是需要避免微細麈 埃或水分的附著’因此需要潔淨環境。潔淨環境並不只針 對各作業’對於連結各作業間的搬運裝置也是相同期望能 夠達到潔淨環境。 通常，爲了達到上述潔淨環境，利用無塵室。典型的 無塵室’具備：具有腔室可使空氣流動在內部的天花板； 具有和天花板相同腔室的地板；及可連通兩腔室使空氣回 流的風管。再加上，無塵室又具有利用特別濾器從空氣去 ® 除微細塵埃及其他污染物質的送風裝置，典型的例如該送 風裝置是設置在天花板。淨化後的空氣是利用送風裝置從 .天花板流下，藉此使內部達到潔淨環境。爲了維持高標準 . 淨化程度，及爲了防止濾器變差，潔淨空氣並未流出外部 而是聚集在地板的腔室，通過上述風管回流至天花板的腔 室，重覆通過送風裝置的濾器。 無塵室，具有上述特別的構造，因此無法容易構築。 此外，爲了天花板及地板的腔室，需要不能設有裝置的龐 大閒置空間。如顯示裝置製造等龐大作業的裝置及該作業 -5- 200931575 間的搬運裝置全部若都要容納在無塵室，同時又要兼顧閒 置空間，則無塵室勢必成爲極大規模。 於是就提案有可使搬運裝置個別達到潔淨環境的技 術。該相關技術是揭示在日本專利特開2006-24841號公 報。 【發明內容】 〇 根據上述的相關技術，通過濾器的空氣是可提昇裝置 周圍的潔淨度，但空氣會流往外部不回流，因此所獲得的 潔淨度有限，同時不可忽視濾器會變差。若欲附加設置可 使空氣回流的裝置，則裝置全體勢必變複雜，此外恐怕會 造成其規模過大。 本發明是有鑑於上述課題所硏創的發明，其目的是提 供一種直接設置在地板面就能夠簡易構築，能夠回流潔淨 空氣的無塵搬運系統。 ® 根據本發明之—形態’搬運系統是設置在地板面上搬 運對象物。上述搬運系統’具備：具有可操作成封閉的第 1開口及可操作成封閉的第2開口，設置在上述地板面 上，構成爲當上述第1開口和上述第2開口封閉時就可在 內部圍成密閉空間的外殼；設置在上述外殼內，構成爲從 上述第1開口朝第2開口搬運上述對象物的搬運裝置；及 設置在上述外殻內，可淨化上述密閉空間內的空氣，供應 潔淨空氣的送風裝置。 其中’以上述送風裝置可從上述搬運裝置下側朝上側 -6- 200931575 吹出上述潔淨空氣爲佳。此外，又以上述搬運系統又具備 有構成爲可讓流體朝上方噴出使上述對象物上浮的浮上裝 置爲佳。另外，又以上述送風裝置可從上述浮上裝置下側 朝上側吹出上述潔淨空氣爲更佳。再加上，最好是上述浮 上裝置其噴出的上述流體爲上述送風裝置所供應的上述潔 淨空氣。 © 【實施方式】 [發明之最佳實施形態] 接著’參照圖面對本發明的實施形態進行說明。本說 明書是透過申請專利範圍及圖面，將前方、後方、左方及 右方分別定義成圖面中所標記的FF、FR、L及R的方 向。上述定義是爲了方便說明本發明，因此本發明並不限 於此。以下’搬運的對象物是以顯示裝置的素材即玻璃基 板爲例子進行說明，但本發明的實施並不限於此。此外， ® 密閉空間的內部也可以不是充滿空氣，而是充滿其他氣體 例如氮氣。 本發明實施形態的無塵搬運系統1，如第1圖至第3 圖所示’以設置在地板上使用。地板面，爲了防止塵埃產 生例如最好是在砂漿上塗抹有聚氨酯樹脂等形成的塗料， 但並不限於此。 無塵搬運系統1，具備有包圍著其內部的腔室3。腔 室3具有前面板5、後面板7、左面板9及右面板11，形 成爲可從前後左右遮蔽其內部。各面板5、7、9、11是彼 200931575 此氣密連結著，再加上，各面板5、7、9、11的上端氣密 覆蓋著天花面板13。此外，各面板5、7、9、11的下 端，構成爲對地板面接觸成氣密。或者，腔室3的地板面 側也可不開放，由地板面板封閉著。各面板彼此的連結也 可不需要爲永久性，而是能夠拆卸。特別是，天花面板 1 3是以可拆卸爲佳。 後面板7和前面板5，分別具有玻璃基板W搬入和搬 © 出用的開口 15、21。腔室3，又具備有開口 15、21分別 封閉用的後遮板17和前遮板23，該後遮板17和前遮板 23是分別利用缸筒19、25的上下驅動成爲可開閉操作。 此外，遮板17、23，也可以具有左右方向活動性來取代 上下方向活動性。遮板17、23位於封閉位置時，構成爲 可封閉開口 15、21成氣密。 即，腔室3是設置在地板面上當各開口 15、21由遮 板1 7、2 3封閉時在其內部圍成密閉空間。另，如以上所 V 述，當設有地板面板時，僅由面板圍成密閉空間，地板面 也可以不參與成爲密閉空間包圍要素。 上述腔室3內，設有從搬入用開口 15延伸至搬出用 開口 21的支撐框架27。支撐框架27上，設有沿著其形 成排列，包含複數浮上裝置47的搬運裝置29。複數浮上 裝置47是排列形成在前後方向及左右方向的雙方。 搬運裝置29是在支撐框架27上的左端及右端附近， 具有分別排列形成在玻璃基板W搬運方向的複數滾輪 3 1。各滾輪3 1是分別透過旋轉軸使其和蝸輪3 5成一體連 -8- 200931575 結著，各滾輪31是由托座33支撐成旋轉自如。一對驅動 軸37是配備成貫通在支撐框架27的前後方向，各驅動軸 37具備有可和各蝸輪35咬合成驅動的蝸桿39。各驅動軸 的前端，透過聯結器等連結有可驅動的馬達41輸出軸。 如此一來，各滾輪31，就會承接馬達41的驅動力，以相 同的旋轉速度進行旋轉。如第1圖所示，上述各滾輪31 的上端部，比上述浮上裝置47的上面還要稍微突出上 © 方，配置成一致位於單一的面上。玻璃基板W，即使是於 浮上裝置47使其上浮的狀態，如第1圖所示，還是能夠 接觸於承接有驅動力的滾輪31。 馬達41可以不需設置成一對，兩驅動軸37也可透過 鏈條等適宜的結合手段連結於單一馬達。此外，也可取代 滾輪，將可驅動的箝位器或輸送帶等搬運手段應用在搬運 裝置29。 於支撐框架27上在左右端附近的滾輪31之間，設有 ® 具複數貫通孔45的鋼板43。各浮上裝置47是分別對應 貫通孔45設置在鋼板43上，各貫通孔45是分別連通於 . 浮上裝置47的內部。浮上裝置47分別具備有貫通在上面 的噴出孔49。即，從貫通孔45流入的空氣是經由浮上裝 置47的內部從噴出孔49噴出。 貫通孔49，最好是形成如第2圖所示從上方看時成 矩形的環狀，但並不限於此。橢圓形的環狀，或環的一部 份爲封閉的形狀等其他各種的形狀都可應用在該貫通孔 49。爲了讓噴出孔的寬度形成爲相同，噴出孔內也可設有 -9- 200931575 構件或突起。 上面附近，具 鋼板43 送風裝置5 1 微細塵埃及其 風機。複數送 浮上裝置4 7 ( 〇 定在支撐框架 入外殼3所包 朝上方即朝搬 47是透過貫3 朝上方噴出 送風裝置 器55是透過f 定在濾器55 ]

爲了增強 在送風裝置5 壓手段。此外 1也可追加設 制手段。 無塵搬運 干增壓的增壓 若能夠適當管 此外，噴出孔49，至少是於浮上裝置47 有朝內方成例如4 5 °的傾斜。 的下方，配備有朝上方供應潔淨空氣的複 '各個送風裝置51，具備有：可從空氣去 他污染物質的濾器；及可吹出潔淨空氣的 風裝置51是彼此隔著間隔或是成鄰接沿 即沿著搬運裝置29 )排列，透過托座53 27。利用上述的構造，可使送風裝置51 圍的密閉空間內部的空氣，經由濾器淨化 運裝置29及浮上裝置47供應。浮上裝 I孔45取入該潔淨空氣，然後從噴出孔 ，也可以是如第4圖所示的變形例。即， Ε座57固定在支撐框架27。鼓風機59是 τ方，吸取密閉空間內部的空氣朝濾器5 5 浮上裝置47賦予玻璃基板W的浮力，也 I和浮上裝置47之間設有追加送風裝置等 ，爲了浮力的控制等的目的，無塵搬運系 有能夠靜態以至動態控制送風裝置能力的 系統1，也可具備有能夠使內部密閉空間 手段。透過增壓能夠防止外部的塵埃侵入 理塵埃的侵入，則降低外殼3的氣密程度 的 數 除 鼓 著 固 吸 後 置 4 9 濾 固 送 可 增 統 控 若 〇 亦 -10- 200931575 無妨。 本實施形態的無塵搬運系統1，其動作如以下m 。 首先，是由遮板17、23封閉搬入和搬出用的開口 15、21。接著’啓動送風裝置51，吸取外殼3所包圍的 密閉空間內的空氣，將空氣淨化後供應至上方。潔胃@ m 是通過浮上裝置47供應至密閉空間內。密閉空間內的潔 淨空氣回流進入送風裝置51，更加以淨化，因此密閉空 〇 間內的空氣潔淨度會逐漸提昇。最好是能夠讓潔淨度充分 上昇’此外可能的話’最好是搬運系統連絡用的前後裝g 的內部潔淨度也可與此相同。 當潔淨度已充分上昇時》就由缸筒19驅動後遮丰反 17，開啓搬入用的開口 15。搬運流程中是從上游側的裝 置，將玻璃基板W搬入至無塵搬運系統1內，使其位於 搬運裝置29上的區域A。由於空氣是從浮上裝置47噴 出，因此玻璃基板就成爲上浮狀態。若有需要則盡可能短 ^ 時間驅動前遮板17封閉開口 15。 接著，驅動馬達41使驅動軸37同步旋轉。透過蝸輪 35和蝸桿39的咬合，驅動軸37的旋轉會傳至各滾輪 31。玻璃基板W，是透過接觸於旋轉的滾輪31，使其以 上浮狀態朝搬出用的開口 21搬運。 當玻璃基板W接近搬出用的開口 21時，就由缸筒25 驅動前遮板23，開啓搬出用的開口 21。然後玻璃基板W 就會被搬出在無塵搬運系統1外，若有需要則盡可能短時 間驅動後遮板23封閉開口 2 1。 -11 - 200931575 根據本實施形態時，即使房間不具有無塵室的特別構 造即天花板及地板具備有腔室，還是能夠簡單實現局限於 無塵搬運系統內的潔淨環境。由於能夠節省腔室造成的閒 置空間，因此對於裝置的平面配置就能夠提供較大的自由 度。由於潔淨空氣不流出至外部，因此能夠追求高潔淨度 空氣的同時，有利於省能效率。由於不需要附加設有空氣 回流用的裝置，因此能夠使裝置全體規模變小。此外，運 Ο 轉中幾乎全部的期間都會回流有潔淨度高的空氣，因此能 夠抑制濾器變差。 本發明是參照最佳實施形態進行了說明，但本發明並 不限於上述實施形態。根據上述揭示內容，具有本技術領 域之通常技術的人員，都可透過實施形態的修正或變形來 實施本發明。 [產業上之可利用性] © 提供一種直接設置在地板面就能夠簡易構築，能夠回 流潔淨空氣的無塵搬運系統。 【圖式簡單說明】 第1圖爲本發明一實施形態無塵搬運系統的橫剖面 圖。 第2圖爲上述無塵搬運系統的平面剖面圖。 第3圖爲上述無塵搬運系統的縱剖面圖，圖中I-Ι剖 線爲表示第1圖的剖線，Π-Π爲第2圖的剖線。 -12- 200931575 第4圖爲無塵搬運系統變形例剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 :無塵搬運系統 3 :外殼 5 :前面板 7 :後面板 Ο 9 :左面板 1 1 :右面板 13 :天花面板 1 5 :搬入用的開口 1 7 :後遮板 19 :缸筒 21 :搬出用的開口 2 3 :前遮板 ❹ 25 :缸筒 27 :支撐框架 29 :搬運裝置 31 :滾輪 33 :托座 35 :蝸輪 3 7 :驅動軸 3 9 :蝸桿 4 1 :馬達 -13- 200931575 ❹ :鋼板 :貫通孔 :浮上裝置 :噴出孔 :送風裝置 :托座 :濾器 :托座 :鼓風機 區域 :前方 :後方 左方 右方 玻璃基板 -14-

Claims (1)

1. 200931575 十、申請專利範圍 1· 一種搬蓮系統，是設置在地板面上搬運對象物用 的搬運系統，其特徵爲，具備： 具有可操作成封閉的第1開口及可操作成封閉的第2 開口’設置在上述地板面上，構成爲當上述第1開口和上 述第2開口封閉時就可在內部圍成密閉空間的外殼； 設置在上述外殼內，構成爲從上述第1開口朝第2開 © 口搬運上述對象物的搬運裝置；及 設置在上述外殼內，可淨化上述密閉空間內的空氣， 供應潔淨化空氣的送風裝置。 2.如申請專利範圍第1項所記載的搬運系統，其 中，上述送風裝置是可從上述搬運裝置下側朝上側吹出上 述潔淨化空氣。 3-如申請專利範圍第1項所記載的搬運系統，其 中，又具備有構成爲可讓流體朝上方噴出使上述對象物上 ® 浮的浮上裝置。 4. 如申請專利範圍第3項所記載的搬運系統，其 .中，上述送風裝置是可從上述浮上裝置下側朝上側吹出上 述潔淨化空氣。 5. 如申請專利範圍第3項所記載的搬運系統，其 中，上述浮上裝置’其噴出的上述流體爲上述送風裝置所 供應的上述潔淨化空氣°