TW200912341A - TCP testing method and TCP testing apparatus - Google Patents

Description

200912341 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以測試ic元件之一種的TCP (Tape Carrier Package)或 C0F ( Chip 〇n Film)(以下將由 TCP、COF、及 TAB ( Tape Automated Bonding)封裝技術 所封裝的元件統稱之為「TCP」），所使用之Tcp測試方 法及TCP測試裝置。 【先前技術】 在1C元件等的電子元件製造過程中，必須使用用以 測試最終製造出的電子元件或其中間階段的元件等的性 能或功能的測試之電子元件測試裝置，在測試TCP的性能 及功能的情況下係使用TCP測試裝置。 TCP測試裝置一般係由下列構成：測試本體、測試頭、 及TCP處理裝置（以下亦簡稱為Tcp處理器）。該Tcp處 理器’將捲帶（亦包含膜片的概念，以下亦同）上形成複 數TCP的搬運帶從供應捲軸搬運到捲取捲軸時，將搬運帶 壓到電性連接於測試頭的探針卡的探針，冑TCP的輸出輸 入端子和探針電性連接，並依序執行複數·的測試。 在此種TCP測試裝置中，在後續程序中，藉由從供應 捲軸再搬運到捲取捲軸，而使得測試結果為「不良」的TCP 由退回打孔n打孔、使得特定職結果的TGp再次測試， 或者以不同的條件執行測試。 但是，為了要執行此種再搬運，必須將搬運帶從供應

2247-9704-PF 5 200912341 捲軸捲回捲取捲軸，或將供應捲軸和捲取捲軸交換架設 而花費較多準備時間’而造成設備使用率不良的問題： 【發明内容】 發明欲解決的課題 本發明欲解決的課題為提供能夠提高設備使用率的 TCP測試方法及TCP測試裝置。 解決課題之手段 (1)為達成上述目的，依據本發明之第i個觀點，提 供TCP測試方法，其係用以搬運形成複數Tcp的搬運帶， 將該搬運帶按壓到電性連結於測試頭的接觸部，藉由使該 TCP的輸出輸人端子和該接觸部的接觸端子接觸，而依序 測試上述複㈣TCP，其包含：測試步驟，其將該搬運帶 在第嫌1方向上搬運，依序測試上述TGp •，打孔步驟，將該 ，運帶在與該f 1方向相反的第2方向上搬運，將該搬運 f上特&之4 TCp打孔（參見中請專利範圍第1項）。 在上述發明中並不特別限定，然以此為佳：在該打孔 :驟中’依據該測試步驟中執行之測試的結果，將該搬運 特疋的TCP打孔（參見申請專利範圍第2項）。 ^ 述^月中並不特別限定’然以此為佳：更包含—

叶數步驟，其將兮· I u 、 將°亥搬運帶在與該第1方向相反的第2方向 上搬運，計數号.笛世 ^運帶上的該TCP的數量（參見申請專利 乾圍第9項）。 (2)為達点|_、+、〇 乂上迷目的’依據本發明之第2個觀點，提

2247-9704-PP 200912341 供一種TCP測試方法，其係用 帶，將嗲搬運册处厂 運开/成複數TCP的搬運 帶運▼备壓到電性連結於測試頭的接觸部，2 使遺TCP的輸出輸入端子和該接觸部的接觸端子^ 依序測试上述複數的TCP，其包含： 而 該搬運帶在第1方向±搬 ㈣減步‘驟’其將 万向上搬運，依序測試上述τ 試步驟’將該搬運帶在與該η方向相反的第2方第夠 運，依序測試上述Tcp (泉 σ上搬 、、 ^見甲明專利乾圍第3項）。 在上述發明中並不特別限定' 測試步驟中，再測古……，乂此“.在該第2 丹Ί式在㈣i測試步驟 之該TCP(參見申請專利範圍第4項）。 物果 測試=發定，此為佳:在… 見申請專利範圍第5項。測試步驟的條件執行測試（參 在上述發明中並不特別限定’然以此為 測試步驟中，以不闾 在β亥第2 、（夫見申Μ 第1測試步驟的溫度條件執行測 5式（參見申睛專利範圍第6 $卜 貝! 在述I明中並不特別限定，然以此為佳 測試步驟中，使用不 在該弟2 / 第1測試步驟的測試程式執行 Λ试（參見申請專利範圍第7項）。 仃 上述發明令並不特別， 試步驟中，以相同於… 在該第2剛 見申請專利範圍第測試步驟的條件執行測試（參 述么明中並不特別限定，然以此為佳 計數步驟’其將該搬運帶在與該第i方向相反的第2;; 2247— 7 200912341 上搬運，計數該搬運帶上的該％ 範圍第9項）。 、數里（參見申請專利 (3 )為達成上述目的，依據本 供一種TCP制·个赞明之弟3個觀點，提 •蔣# 其係用以搬運形成複數-的搬運 π，將錢”㈣料料料 ^ 使該TCP的輸出鈐入嫂工』 飞頌的接觸精由 仿库料、μ 知子和該接觸部的接觸端子接觸，而 依序測式上述複數的TCP，盆句 帶在第丨古其包含.搬運裝置，將該搬運 向或與該第1方向相反的第 . 1檢出裝置，在兮妒.軍担 p 運，第 、軍眸Μ 搬運帶在該第1方向上搬 於該第1方向上該第打孔裝置，其設置 將嗲Trp " 欢出衷置的下游處，依據測試結果 “ Γ打孔；第2檢出裝置，其設置於該…向上該 丁？置的下游處，在該搬運裝置將該搬運帶在 向上搬運時，檢杳兮拠，笛册 ^ f U㈣運帶上Μ有打孔；該第2檢 =，在该搬運裝置將該搬運帶在該第2方向上搬運時，檢 -該搬運帶上是否有該Tcp(參見申請專利範圍第10項）。 在上述發明中並不特別限定，然以此為佳：該第工檢 出衣置，在該搬運裝置將該搬運帶在該第2方向上搬運 時，檢查該搬運帶上是否有打孔（參見中請專利範圍第η 項）。 發明的效果 …依據本發明，在將搬運帶於相反於執行Tcp測試時的 第1方向的第2方向上搬運時，將該搬運帶上的Tcp打孔 或測试TCP，藉此能夠減少將搬運帶捲回的時間或交換架

2247-9704-PF 8 200912341 設的時間，而能夠提高設備使用率。 【實施方式】 下文配合圖式，說明本發明之實施型態。 首先，說明形成有本發明之實施型態的Tcp測試方法 之測4對象的TCP的搬運帶。第在各個1圖顯示搬運帶的 放大平面圖。 如第1圖所示，搬運帶30係由複數個相連的框以構 f (η為自然數），其係為沿著搬運帶3〇的長度方向以特 疋的長度分別區分而成。在本實施型態中，在各個框h中 刀另J 配了一個TCP31。如同圖所示，各個分別由 下列構成：搬運帶30的一部份、形成於該搬運帶3〇上的 配線32、以凸塊連結於配線32之一端的1(：晶片33、設置 於各配線32之另一端的測試墊34、將配線32《1(：晶片 33封住的模材（未圖示）。而且，搬運帶的各框中也可以 形成複數個TCP。 如第1圖所示’在搬運帶3〇上的各框Fn中，TCP31 的周圍設有4個對準記號36。TCP處理器2可以用這些對 準記號36為基準，將TCP31對於探針卡12決定其位置。 、、鏖之’說明用於本發明實施型態的TCP測試方法的TCp 測试裝置的構成。第2圖顯示本發明實施型態的Tcp測試 裝置的全體構成之正面圖，第3圖顯示本發明實施型態的 TCP測試裝置的控制系統的方塊圖。 如第2圖所示，本實施型態的TCP測試裝置1由下列

2247-9704-PF 200912341 構成·未特別圖示之 . n 、j D式本體、和測試本體電性連結的測 试頭10、設於測 1U之上側的TCP處理器2。 處理器2，藉由搬運搬運帶30，而可以依序測試 在搬運帶30上沿著其長度方向形成之各κρ3ΐ。 後u處理器2具有供應捲軸21及捲取捲軸22。在供應 ，认上捲了具有測試前的TCP31的搬運帶30。搬運帶 y 、應捲轴21捲出，由測試頭1 G執行了 TCP31的測試 後’再將其搬運，使其捲到捲取捲軸22上。 應捲軸21和捲取捲軸22之間設有3個間隔滾輪 3b 23c，用以使得從搬運帶3〇剝離的保護帶5〇從 i、應捲軸21跨越到捲取捲軸22。各間隔滾輪仏、聊、 23c分別可以上下移動，以調整保護帶“的張力。 在供應捲軸21的下方設有：供應側捲帶導軌24a、供 應側限制滾輪25a、供應側次扣鏈齒輪25。及供應側導軌 滾輪25e。從供應捲軸21捲出的搬運帶3〇, 一邊由供應側 捲帶導軌24a引導，同時經由供應側限制滾輪25a、供應 側次扣鏈齒輪25c及供應侧導軌滾輪25e送往推進單元26。 在捲取捲軸22的下方也設有捲取側捲帶導軌2 4b、捲 取側限制滾輪25b、捲取側次扣鏈齒輪25d及捲取側導軌 滾輪25f。通過推進單元26之後的搬運帶30,經過捲取側 導軌滾輪25f、捲取側次扣鏈齒輪25d及捲取側限制滚輪 25b’ 一邊由捲取側捲帶導軌24b引導著，一邊捲到捲取捲 軸22上。 在供應側導軌滚輪25e和捲取側導軌滾輪25f之間， 2247-9704-PF 10 200912341 ，有推進單元26。推進單元26包括：可以吸附維持 …推進器本體261、使得推進器本體261沿著z袖方 向上二移動㈣服馬達262、使職珠螺桿使推進器本體 261石者XY平面方向略微移動並使其以z 推進平台⑽（參見第3圖）、設置於推進器本體26= 游側（在第2圖中為左側）的扣鏈齒輪264、及設置於推 進器本體261下游側（在第2圖中為右侧）的主扣鍵齒； 265另外’雖然並未特別圖示，在推進單元μ上，設J 溫度調整裝置’其藉由向著搬運帶30上的1C晶片33吹溫 風或冷風，而將特定的熱應力施加於1C晶片33上。概 扣鏈齒輪264、265,係分別和第3圖所示之飼服馬達 ^ 的驅動轴連結而可以回轉。飼服馬達266、267 係以可以控制的方式連結於TCP處理器2的控制裝置29b。 在將搬運τ 3〇從供應捲軸21搬運到捲取捲轴Μ (以下將 此：向稱之為正方向）的情況下，控制…处驅動飼服 馬=66、267使其向特定方向（在第2圖中為逆時鐘方向） =°另一方面’使搬運帶30從捲取捲軸22回到供應捲 以下將此方向稱之為逆方向）的情況下，控制穿置 挪㈣伺服馬達266、267使其向上述料方向的減方 向（在^ 2圖中為順時鐘方向）回轉。順帶—提，後述之 由推進單元26將TCP31按壓到探針卡12時，控制裝置 控制伺服馬達2 6 6 4曰& 4 μ止 6以使侍張力扣鏈齒輪264向相反方向回 轉’而使得搬運帶30維持於適當之張力而不鬆他。 測試頭10以對向的方式設置在推進單元26的下方。

2247-9704-PF 11 200912341 ::試：10的上部，設置有裝有多數個探針Mi •吸附維持著搬運帶30的推進器本體261由伺… 262下降時’ TCP3丨的測試墊34和探。‘’、、 性接觸，由測試琴本1 # 卡12的探針121電 的測試。 本體（未圖不）透過測試頭執行TCP31 在推進單元26和捲取㈣軌滾輪2心間， 益27a及退出打孔器抓。標示打孔 ^ 4 1 &係由例如全屬 鑄椟和A缸構成，其依據測試結果， 、,風 _……個或複數個孔。::== τ由汽缸構成，在測試中被判斷為不良品的 本身、或在先前程序中形成了退出孔的ic 所具有的TCP31本身打孔。 日日片33 在供應側導軌滾輪25e和推進單元26之間，f 如CCD攝影機或CM〇s攝影機等構成之第^攝影機：二 可以拍攝搬運帶30。如第3圖所示，該 八 影像處理裝置29a連結。 景’機28a和 針對二運搬運帶3°的情況下’影像處理裝置29a 、弟1攝影機28a拍攝之影像資料進行旦 藉此以確認搬運帶30上是否有IC晶片33。另:方处，， ==運搬運帶3°的情況下，影像處理裳置29二二 確、在攝之影像資料進行影像處理，藉此以 大中判斷為不良的卿“已由退出打孔考 27b確貫打孔。控制裝i娜依據影像處確 認結果，執行飼服馬達266、267的驅動控制，以控制=

2247-9704-PF 12 200912341 帶3 0的搬運。 在推進單元26的 ⑽攝影機等構二方，設置有例如由⑽攝影機或 3〇 、 弟2攝影機2处，其可以拍攝搬運帶 0及探針121。如第_ 像處理裝晋川、击 圖所不’該第2攝影機28b也和影 相# 3、結，用於決定搬運帶30上的測試墊34 相對：楝針卡12的探針ΐ2ι的位置。 像；t處理裝置…針對由該第2攝影機28b#攝之影 進行影像處理，檢測出該影㈣料中料記號％(參 位^圖）的位置。影像處理裝置29a從該對準記號36的 位置异出測試墊34對於尨4+ 1 〇! 對於探針121的位置之修正量，並將該 離置傳送給控制裝置29b。控制裝置咖依據該修正量

j推進平台263,精確地決定測試塾34對於探針⑵ 位置。 J 再者，使用該第2攝影機28b，操作員可以透過於視 益（未圖示），確認搬運帶30的測試塾34及探針卡12 振針121的接觸狀態。 推進單元26和捲取側導執滾輪25f之間，設有由 攝影機或CMOS攝影機等構成之第3攝影機28。，以拍 運帶30。如第3圖所示，該第3攝影機2δ。

置29a連結。 I 在正方向搬運搬運帶 針對由該第3攝影機28c 藉此以確認在測試中判斷 孔器27b確實打孔。另一 3〇的情況下，影像處理裝置29a 拍攝之影像資料進行影像處理， 為不良的TCP31是否已由退出打 方面，在逆方向搬運搬運帶30的

2247-9704-PF 200912341 凊况下，影像處理裝置29a針 之吻料進行影像處理，藉此以確二 二7制裝置2肋依據影像處理裝置_的確認結 30的搬^達266、267的驅動控制，以控制搬運帶 繼之，說明由上述說明之TCP測試裝 測試方法。第4圖為通常的TCP測試方法的流程圖通爷的 例如，當操作員按屋操作盤上的開始鍵（未圖示）時， 2馬達266、267依據控制裳置挪的指令訊號驅動，扣 回輪264、265回轉，依序將搬運冑3〇在從供應捲轴耵 向者捲取捲軸22的正方向上搬運。 在此搬運期間，影像處理裝置29a針對由第】攝影機 28a拍攝之影像資料中的每一個框進行影像處理，確認框 中是否存在有1C晶片33 (步驟su)。 在確認影像資料中# IC晶片33的情況下，依據第$ 攝衫機28b拍攝的影像資料執行Tcp31的位置決定之後 推進單元26將具有該^晶片33的价31按壓到探針卡 12 ’使得探針121和測試墊34電性接觸。在此狀態下1 試器亡體和1C晶片33之間透過測試頭！。傳送接收測試訊 旒，藉此執行1C晶片33的測試（步驟Sl2)。 而且，TCP3!在測試中被判斷為不良的情況下，退出 打孔器27b將該TCP31打孔（步驟su)。而且，影像處 理裝置29a針對由該第3攝影機28c拍攝之影像資料進行 影像處理’藉此以確認不良的TCP31是否已確實打孔（步

2247-9704-PF 200912341 驟S14)。使用第3攝影機28c確 孔之後，將搬運帶30依序捲回捲取捲：TCP已經確實打 運帶30都捲回捲取捲轴22時，此 22 °當所有的搬 繼之，說明本第1實施型態的二的測試結束。 圖為本發明第i實施型態的咖 的測試方法。第5 在太眚#荆$ I 八方法的流程圖。 在本貫鈀型態中’如第5圖所 試方法的步驟S11和S12 一樣，在·述之通承的測 轴21向捲取捲轴22的正方向上搬^序從供應捲 依據由該第！攝影機28a拍攝之影像像處理裝置… 的有無（步驟S31 )，在;τ Ψ i 貝厂確涊iC晶片33 抽，隹… 中確認有1C晶片33的情況下， 推進早兀26將咖1按麼到探針卡12 月兄下 的測試（步驟S32)。 執订1C晶片33 在本實施型態中，在步驟S32中完 試之後，並不將不良Tcp打 曰日片33的測 不& TCP打孔，而依序將搬運帶3 取捲軸22。當全部的搬運帶3〇 2R7 π 口之後，伺服馬達266、 67-回轉，依序將搬運帶3。在從捲 軸21的逆方向上搬運。 捲 二=間，影像處理裝置29a針對由第3攝影機 :象貝枓中的母-個框進行影像處理，確認框 m在有ic晶片33(步驟s4"。再者，在該步驟 、可以藉由計算框中存在的1C晶片33的數量， ::以上在運帶3°都捲回供應捲軸21之後，計算搬運 ▼ 30上殘留的1C晶片33的總數。 在影像資料中確認有IC晶片33,並且該ic晶片Μ 2247-9704-PF 15 200912341 在步驟S32中的測試結果為不良的情 tpdqi ^ r退出打孔器27b 將該Tcm打孔（步，驟S42)。而且，影像處理装置… 針對由第^攝影機28“自攝之影像資料進行影像處理，以 相不良的TCP31是否已確實打孔（步驟s43)。在使用 第1攝影機28a確認不良的TCP已確實打 ^隹[打孔之後，依序將 搬運帶3〇捲回供應捲轴21。當所有的搬運帶30都捲回供 應捲軸21時，此一批次的測試結束。 如上所述’在此實施型態中’在將搬運帶逆方向搬 運時，將該搬運帶3Q上的不良TGp打孔，#此，能夠減少 將搬運帶30捲回的時間或交換架設的時間，而 〜 備使用率。 风n 口又 繼之，針對本發明第2實施型態的TCP測試方法進Γ

說明。第6圖為本發明帛2實施型態的Tcp測試方τ 程圖。 /；，L 在本實施型態中’如第6圖所示，和上述之通常的測 試方法的步驟S11〜S14 一樣，在搬運帶3〇依序從供應捲 轴21向捲取捲軸22的正方向上搬運時，依據由該第丄攝 影機28a拍攝之影像資料確認IC晶片33的有無（步驟 S51)，推進單元26將TCP31按壓到探針卡12，以執行κ 晶片33的測試（步驟S52)，由退出打孔器27b將不良 打孔（步驟S53)，依據第3攝影機28c拍攝之影像"資科 以確涊孔的有無（步驟S54 )，繼之，將搬運帶3〇依序捲 到捲取捲軸22上。 在本實施型態中，當全部的搬運帶3〇都捲回捲取捲軸 2247-9704-PF 16 200912341 22之後，伺服馬達266、？r71姑 — . 回轉，依序將搬運帶3〇在 從捲取捲軸22向供應捲軸21的逆方向上搬運。 在此搬運期間，影像處理裝置29a針對由第3攝影機 28c拍攝之心像貝料中的每一個框進行影像處理，確認框 中疋否存在有IC晶片33(步驟S61)。再者，在該步驟 S61中，也可以藉由計算框中存在的1C晶片33的數量， 而可以在將搬運帶3 〇都μ门μ十 郡捲回供應捲軸21之後，計算搬運 π 3 0上殘留的I c晶片3 3的總數。 在影像資料中確認有IC曰y q q 、， 。。 力丄L日日片3 3，亚且該I c晶片3 3 在步驟S52中為特定測μ 6士里ΛΑ & 、式…果的情況下，推進單元2 6將 TCP31按壓到探針卡12， 執订IC晶片3 3的再測試（步 驟S 6 2 )。在該再測試社击夕始.. ， Λ、D果之後，依序將搬運帶30捲回供 應捲轴2 1。當所有的撫；g «t <5 Λ Λι?上丄 1令扪飯運耶30都捲回供應捲軸21時，此 一批次的測試結束。# + @ ς R 9 Λ $（ ^ 仕步驟S62中再測試的對象，可以為 例如：步驟S52之測試中分魅蛊「 刀類為為不良品但須再測試 的種類之物等。 當全部的搬運帶30都捲回供應捲軸21之後，再度將 搬運帶3°在正方向上搬運’並以退出打孔器27b將步驟 S62的再測試中判斷為不良的Tcp3i打孔。 .如上所述’在此實施型態中’在將搬運帶3〇逆方向搬 運時1正方向搬運時的測試中為特定測試結果之了 c⑼ 再測δ式’藉此’能夠減少將招 少將搬運τ 30捲回的時間或交換 設的時間，而能夠提高設備使用率。 …、 繼之，針對本發明第3實施型態的TCP測試方法進行 2247-97〇4-pF 17 200912341 說明。第7圖為本發明第3實施型態的κρ測試 衣

程圖。 叼",L >、在本實施型態中，如第7圖所示，和上述之通常 試方法的步驟S11〜S14 -樣，在搬運帶3〇依正方向搬運 時’依據由該第i攝影機28a拍攝之影像資料確認ic 33的有無（步驟S71)，推進單元“將代”丨按壓到= 卡12，以執行IC晶片33的測試（步驟π” ，由退出 孔器27b將不良TCP打孔（步驟S73)，依據第3攝丁 28c拍攝之影像資料以確認孔的有無（步驟，繼 將搬運帶30依序捲到捲取捲軸22上。 、’ 在本實施型態中’當全部的搬運帶3〇都捲回捲取捲轴 ,广’伺服馬達266、267逆回轉，依序將搬運帶3〇在 從捲取捲軸22向供應捲軸21的逆方向上搬運。 在此搬運期間，影像處理裝置： ::拍r影像謝的每-個框進行影 疋否存在有IC晶片33 (步驟S81)。再者， S81中，也可以藉由計算框中存在 "驟 而可以在將搬運帶3。都捲回供應軸之後，4:運 帶30上殘留的IC晶片33的總數。 。十异搬運 若在影像資料中確認有IGa日^ 33，㈣ 該tcp31按虔到探針卡12，以執行 凡6將 Μ» 〇〇9 Λ y- 4- ^ 5 的谢試（步 驟S82)。在本實施型態中，在 施力η M m 宁係在不對TCP31 把加：度的狀況下執行测試，相料此，在步 係在藉由設置於推進單元26 ^ “的μ度調整裝置對Tcp3i施加

2247-9704-PF 18 200912341 溫度的狀態下執行測 實施型態不同，τ ，在本實施型態中，和第2 於搬運帶30上的 驟奶的測試結果如何，對於存在 步驟咖的測^1 有的議都執行步驟聊的測試。該 不同的«中和步驟S?2之測試結果的儲存於 〇〇 Μ, 1的測έ式結束之後，依序將撕·，重·《«： 3〇捲回供應捲軸21。 傻依序將搬運可 21時，此一批▲ 田、搬運帶30都捲回供應捲軸 批次的測試結束。 再者，當所有的搬運帶3〇 次將搬運帶依正方向搬運，由退二:捲軸：時，再 ⑽的測試中判斷為不良的tCP31打孔。/者=將步驟 的測試，除了測試溫度之外，還可以再者，步驟娜 以不同於步驟S7P &變更例如測試程式等， 个U於/驟S72的測試條件執行測試 試器本體中發生錯誤的情況下，在步卜，例如在測 行條件和步驟S72的相同的測試。 ’也可以執 如上所述，在此實施型態中’在將搬運帶逆方向搬 % ’係以不同於正方向搬運之條件執行測試，藉此，能 夠減少將搬運帶30捲回的時間或交換 曰 提高設備使用率。 &換--的時間’而能夠 上述說明的實施型態，係記载用以協助本發明的理 % ’並非記載用於限定本發明。因此， … ., ’上述實施型態中揭 4的各元件，係包含本發明技術領域 更或均等物。 _中所屬的所有設計變 例如，上述實施型態中’係以搬運册 30在供廍媒站 21及捲取捲軸22之間僅往返搬運—々 心 一人I進行說明，但是， 2247-9704-PF 19 200912341 3〇往返搬運2次以 本發明並不限定於此，也可以將搬運帶 上。 【圖式簡單說明】 第1圖顯示搬運帶的放大平面圖 第2圖顯示本發明實施型態的 成之正面圖。 測試裝 置的全體構 第3圖顯示本發明實施型態的 統的方塊圖。 劂忒襞置的控制系 第4圖為通常的TCP測試方法的、4 ^ , J机程圖。 第5圖為本發明第1實施型態 圖。 測試方法的流程 第6圖為本發明第2實施型態的 圖。 '則試方法的流程 第7圖為本發明第3實施型態的τ 圖。 剩試方法的流程 【主要元件符號說明】 1 TCP測試裝置 10測試頭 12探針卡 121探針 2 TCP處理琴 21供應掩輪

2247-9704-PF 20 200912341 2 2捲取捲轴 23a、23b、23c間隔滚輪 24a供應側捲帶導軌 24b捲取侧捲帶導軌 25a供應側限制滾輪 25b捲取側限制滾輪 2 5 c供應側次扣鏈齒輪 2 5 d捲取側次扣鏈齒輪 2 5 e供應側導軌滾輪 25f捲取側導軌滾輪 26推進單元 261推進器本體 262伺服馬達 263推進平台 2 6 4扣鏈齒輪 2 6 5扣鏈齒輪 2 6 6伺服馬達 267伺服馬達 2 7 a標示打孔器 27b退出打孔器 28a第1攝影機 28b第2攝影機 28c第3攝影機 29a影像處理裝置 2247-9704-PF 21 200912341 29b控制裝置 30搬運帶 31 TCP 3 2配線 33 1C晶片 34測試墊 36對準記號 F η框 50保護帶

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Claims (1)

1. 200912341 十、申請專利範圍： 1 · 一種捲帶式封裝 式封裝（TCP)的搬運*二,，用以搬運形成複數捲帶 頭的接觸部，藉由使該t搬運帶㈣到電性連結於測試 接觸端子接觸，而# ⑽出輸人端子和該接觸部的 測試步驟，農將 cp，其包含： 試上述TCP ; 向上搬運，依序測 打孔步驟，將該搬運帶在鱼該第 向上搬運，將該搬運 向相反的第2方 連咿上特定之該TCP打孔。 2 ·如申請專利蔚圍 方法’/u 園弟1項所述之捲帶式封裝測試方法 方法在該打孔步驟中，依據該 結果，將該搬運帶上特定的TCp打孔。巾執订之測成的 =種:帶式封裝測試方法，用以搬運形成複數 : '運:，將該搬運帶按壓到電性連結於測試爾 接^猎由使該TCP的輪出輸入端子和該接觸部的接觸端子 接觸，而依序測試上述複數的TCP，其包含： 第1測試步驟，其將該搬運帶在第1方向上搬運，依 序測試上述TCP ; 第2測試步驟，將該搬運帶在與該第1方向相反的第 2方向上搬運，依序測試上述TCP。 4·如申請專利範圍第3項所述之捲帶式封裝測試方法 方法，在該第2測試步驟中’僅再測試在該第丨測試步驟 中為特定測試結果之該TCP。 5.如申睛專利範圍第3項所述之捲帶式封裝測試方法 2247-9704-PF 23 200912341 '’在該第2測試步驟中，以不同於該第1測試步驟的 條件執行測試。 6.如申請專利範圍第5項所述之捲帶式封裝測試方法 方法’在該第2測試步驟中，以不同於該第1測試步驟的 温度條件執行測試。 7·如申請專利範圍第5項所述之捲帶式封裝測試方法 、、大 °亥第2測試步驟中，使用不同於該第1測試步驟 的測式程式執行測試。 、、8·如巾請專利範圍帛3項所述之捲帶式封I測試方法 方法’在該第2測試步驟中，以相同於該帛i測試步驟的 條件執行測試。 y .如申請專利範圍第1至—，p 其將該搬運帶在 I广'式方去方法’更包含—計數步輝，丹將該搬運帶在 1方向相反的第2方向上搬運，計數該搬運帶上的 §亥TCP的數量。 1 〇.—種捲帶式封裝測試方法梦罟 ΤΓΡ J飞万法裝置，用以搬運形成複數 TCP的搬運帶，將該搬運帶按壓到# & 鎚邶—丄 ▼妆縻幻電性連結於測試頭的接 觸4 ’糟由使該TCP的輸出輪入她工t > 羊桩縐 ㈣出輸入螭子和該接觸部的接觸端 子接觸，而依序測試上述複數的Tcp，其包含： 搬運裝置，將該搬運帶在第〗 反的第？ h 命在第1方向或與該第1方向相 反的弟2方向上搬運； 第1檢出裝置，在該搬運裝置 置將該搬運帶在該第1士 向上搬運時，檢查該搬運帶上是否有該τα; 打孔裝置，其設置於該第] /弟1方向上該第Ϊ檢出裝置的 2247-9704-PF 24 200912341 下游處，依據測試結果將該TCP打孔； 第2檢出裝置，其設置於該第1方向上該打孔裝置的 下游處，在該搬運裝置將該搬運帶在該第丨方向上搬運 時，檢查該搬運帶上是否有打孔； 該第2檢出裝置’在該搬運裝置將該搬運帶在該第2 方向上搬運時，檢查該搬運帶上是否有該TCp。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇 法裝置，” i檢出裝置，在該搬運：捲帶式封裝測試方 第2方向上搬運時，檢查該搬運帶上運= φ上疋否有打孔。 2247-9704-PF 25