TW200905381A - Photosensitive conductive paste for electrode formation and electrode - Google Patents

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200905381 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種電漿顯示面板（PDp)之電極。更特定 言之，本發明係關於一種藉由對光可圖案化膠予以改質來 改良曝光寬容度且賦予改良之P£)p品質之技術。 【先前技術】 PDP包括量測為寬度為8〇 _至1〇〇㈣且長度為〇5瓜至 1.5 m之1000個或1000個以上之電極。此等電極較佳無缺 陷且具有優良直線性。銀通常用於電極中所含有之導電金 屬顆粒。 光微影最近已廣泛用於形成在PDP中之電極。在此方法 中，首先塗佈光可圖案化膠。然後，藉由將包含光可圖案 化膠之薄膜曝光且顯影來形成圖案。伴隨近年來玻璃基板 之增加之大小，在曝光期間已使用接近式曝光。接近式曝 光思指一種藉以當在光罩與待曝光之塗佈薄膜之間提供數 百微米之間隙時進行曝光的系統。 在使用光可圖案化膠來形成圖案之情況下，需要增加製 程寬容度。即，需要增加曝光條件之自由度。在較低製程 寬容度之情況下，圖案形狀可取決於曝光條件而容易地改 變，或電極之寬度可變得不均勻。對取決於曝光條件之圖 案形狀之改變的光敏性會引起較低自由度，且可甚至導致 對生產過程之約束。當進行接近式曝光時，特定言之，所 形成之電極寬度傾向於大於所設計之電極寬度，進而導致 影像銳度之降低，且需要針對此情況之對策。 122942.doc 200905381 曰本專利特許公開申請案第2003-1 95487號揭示一種技 術，其中出於形成精細、尖銳之透明電極之目的而添加紫 外線吸收劑。根據此公開案，紫外線吸收劑之添加使得有 可能減少曝光之光在膠體中之散射。紫外線吸收劑之實例 包括基於偶氮基之染料、基於胺基酮之染料、基於二苯幷 痕0南之染料、基於喹啉之染料、基於蒽醌之染料、基於二 苯甲酮之染料、基於氰基丙烯酸二苯酯之染料、基於三噪 之染料及基於對胺基苯曱酸之染料。 【發明内容】 本發明之一目標為提供即使在傾向於導致電極寬度之辦 加之曝光條件（諸如，接近式曝光）下仍能夠達成較高圖案 解析度之方式。 本發明係關於一種用於形成電極之光敏性導電膠，其包 含：導電金屬顆粒、一玻璃黏合劑、一單體、一光引發 劑、一有機聚合物黏合劑、一有機介質及碳黑。 此外，本發明係關於一種使用上文提及之導電膠而形成 之電極。 此汗，本發明係關 Ό ’M2 X* Ο 本發明進一步係關於一種用於形成一電極之方法，其包 含=下步驟：在—基板上塗佈—用於形成電極之光敏性導 電膠’用於升i成電極之該光敏性導電膠包含導電金属顆 破璃點合劑、-單體、—光引發劑、—有機聚合物 黏口劑、-有機介質及碳黑；使該經塗佈之導電膠乾燥； 使用-光罩來對—藉由使該導電膠乾燥而形成之薄膜進行 122942.doc 200905381 曝光；藉由將該經曝光之薄膜顯影而獲得一 燃燒該所得電極圖案。 n圖案，及 使用本發明之電極膠使得有可能實現較高解析戶。 外，本發明之電極膠幾乎不引起歸因於曝光條件之ς。此 擾動，且提昇關於曝光條件之自由度。因為即使添加 黑仍顯現較少效應，所以可最小化藉由推合添加二炭 之對該電極的有害效應。 已 【實施方式】 本發明之第-態樣係關於-種用於形成電極之光敏 電膠，其包含：導電金屬顆粒、玻璃黏合劑、單體'光 發劑、有機聚合物黏合劑、有機介質及碳黑。 1 本發明之膠體為光可圖案化膠。換言之，由於塗佈了膠 :’接著在預定部位曝光，因此由光引發劑誘發聚合。通 常使用紫外光。藉由利用進行聚合之部位與未進行聚合之 部位之間的解析度差來形成圖案。 σ 較佳的是，在導電膠表面層中及在導電膠内之光學散射 較低以改良在光敏性製程中的解析度。若在表面層中及在 導電膠内發生光學散射’則結果’甚至在未曝光之部位處 亦進行聚合，藉此導致圖案寬度偏離所要寬度。在極端情 況下’結果，鄰近的線相連接。 在本發明中，在膠體中含有碳黑。碳黑防止曝光之光在 表面層中及在膠體内之散射，藉此引起具有戶斤要形狀且具 有較高解析度之圖案的形成。 此外’碳黑之添加增加曝光條件之自由度。此優點在實 122942.doc 200905381 際生產配置中極其顯著。在進行接近式曝光之情況下，藉 由添加碳黑來抑制圖案寬度之增加係尤其有效的。特定言 之在進行接近式曝光之情況下，將銀用於導電金屬顆粒 極其有效。儘管圖案寬度在進行接近式曝光之情況下會容 易增加，但目為銀具妹高光反射率，所以即使在進行接 近式曝光之情況下’使用銀膠來應用本發明亦將實現較高 解析度。

备進仃接近式曝光時’不存在對間隙之特定限制。可將 本發明應用於（例如）150 _或15〇帅以上之接近式曝光， 抑或300 μπι或300 μηι以上之接近式曝光。 如上文所描述，順序提供對用於形成電極之光敏性導電 膠之組成組份的解釋。下文指示之組份可用於除碳黑之外 的組份。然而，所指示之組份僅為實例，且亦可使用其他 =\此外，該等組份可由新研發之組份替代，或可添加 新研發之組份。 (Α)導電金屬顆粒 導：=顆粒將導電性給予由本發明之膠體形成的電 極6玄導電金屬顆粒包括金、银、舶. 實於上…“ 鈀、銅及其組合。 丁本發明之組合物中使用任何形狀之金屬浐 末’包括球狀顆粒及薄片(桿體 、屬私 粉末係選自包含金, 體及板片）。較佳金屬 厶h 金銀、鈀、鉑、銅及其組合之群。 金屬粉末為銀。銀係通常可 Μ °之群。最佳 屬（如，幻相比ml 便宜的。與其他金 、k結溫度相對較低。此外七A 在έ有氧氣之氣氛(諸如，空氣) ’有可能 孔）下粍結銀金屬。顆粒較佳 122942.doc 200905381 為球狀的。較佳地， 10 μπι之範圍内。 至少80%重量之導電金屬顆粒在〇 .5 μηι至

基於總膠體重量，導電金屬顆粒含量通常為5〇至如心。 (Β)玻璃黏合劑（玻璃粉） 在本發明中使用之玻璃黏合劑（玻璃粉）促進導電組份顆 粒之燒結。自環境觀點來看，玻璃黏合劑較佳為無紹且無 鎘之基於Bi之非晶、低熔點的玻璃黏合劑。其他無鉛、低 熔點之玻璃為基於P或基於Ζη·Β之組合物。然而，基於p之 玻璃不具有良好抗水性，且Ζη_Β玻璃難以在非晶狀態下獲 知·’因此基於Bi之玻璃係較佳的。可在不添加鹼金屬之情 況下製得具有相對較低熔點之Bi玻璃，且則玻璃幾乎不具 有製成粉末之問題。在本發明中，具有以下特徵之Bi玻璃 係最佳的。 舉例而言，下文描述一種玻璃組合物。然而，本發明並 不限於該組合物。 ⑴玻璃組合物 55 至 85 wt% B12O3 0至 20 wt% Si〇2 0至 5 wt% AI2O3 2至 20 wt% B2〇3

0至 20 wt% ZnO 0至1 5 wt% 選自BaO、CaO及SrO之氧化物中之一或 多者（在氧化物混合物之情況下，最大總量高達15 wt%)。 0至 3 wt% 選自 Na2〇、K2O、CS2O 及 Li2〇 之氧化 122942.doc 200905381 物中之—或多者（在氧化物混合物之情況下，最大總量高 達 3 wt%)。 一基於纟,《膠體重置，玻璃黏合劑含量通常為1至1 〇 。 當玻璃黏合劑含量過少時，對基板之結合係較弱的。 (C)單體 在本發明中適用之單體組份包括含有至少一可聚合伸乙 基之化合物及含有至少一可加成聚合烯系不飽和基團之化 合物。經由光之曝光來聚合單體。 由自由基誘發此等化合物之鏈式延伸加成聚合。單體化 合物並非為氣態的（亦即，具有高於丨〇〇C之沸點）。單體化 合物對有機聚合黏合劑具有增塑效應。 可獨立或與其他單體組合使用之較佳單體包括：第三丁 基（曱基）丙烯酸酯、1，5-戊二醇二（曱基）丙烯酸酯、N，N_二 甲基胺基乙基（甲基）丙烯酸酯、乙二醇二（曱基）丙烯酸 酉曰、1，4-丁二醇二（曱基）丙烯酸酯、二甘醇二（曱基）丙烯酸 西曰、己一醇二（曱基）丙烯酸酯、匕^丙二醇二（曱基）丙烯酸 西曰、癸一醇二（甲基）丙烯酸酯、1,4-環己二醇二（曱基）丙稀 酸酯、2,2-二羥甲基丙烷二（甲基）丙烯酸酯、甘油二（曱基） 丙烯酸酯、三丙二醇二（曱基）丙烯酸酯、甘油三（甲基）丙 烯St S曰、二經甲基丙烧三（曱基）丙烯酸酯、在美國專利第 3,380,38 1號中描述之化合物、2,2_二（對羥苯基）丙烷二（甲 基）丙稀酸酯、異戊四醇四（曱基）丙烯酸酯、三甘醇二丙稀 酸醋、聚氧伸乙基^，二（對羥乙基）丙烷二甲基丙稀酸 酉曰、雙盼A 一 [3-(甲基）丙烯醯氧基-2-經丙基]&|、雙齡a一 122942.doc •10- 200905381 [2-(曱基）丙烯醯氧基乙基]醚、154_丁二_ _ 吁一〇 -甲基丙稀醯 氧基-2-羥丙基）醚、三甘醇二曱基丙烯酸酯、聚氧丙基三 羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、 丁二醇[sic]三（曱基）丙烯酸酯、2,2,4-三甲基a，％戊二醇_ (甲基）丙烯酸酯、1-苯乙烯丨，2_二曱基丙烯酸酯、反丁烯 二酸二烯丙酯、苯乙烯、M_苯二酚二曱基丙烯酸酯、

1’4-二異丙稀基苯A1，3,5_三異丙稀基苯[(甲基）丙稀酸酿意 謂丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯]。 其他適用單體為具有低於300之分子量的烯系不飽和化 合物，例如，由烷二醇或聚烷二醇（諸如，含有1至1〇個醚 鍵之C2:烷二醇）製備的烷二醇二丙烯酸酯或聚烷二醇二 丙烯酸酯，及在美國專利第2,927,〇22號中描述之烷二醇二 丙烯酸酯或聚烷二醇二丙烯酸酯，諸如含末端可加成聚合 之伸乙基鍵之烧一醇二丙烯酸酯或聚烧二醇二丙稀酸酯。 其他較佳單體為聚氧乙烯化三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯 酸酯、乙基化異戊四醇丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三（甲基） 丙烯酸酯、二異戊四醇單羥基五丙烯酸酯及^心癸二醇二 甲基丙稀酸醋。 其他較佳單體為單羥基聚已内酯單丙烯酸酯、聚乙二醇 —丙烯酸酯（分子量：約200)及聚乙二醇二甲基丙烯酸酯 (刀子量’約4〇〇)。基於乾燥光可聚合層之總重量，不飽和 單體組份含量為1至20 wt%。 在以引用之方式併入本文中之美國專利第5,〇32,49〇號中 揭示了其他適用單體。 122942.doc 200905381 基於總膠體重量，單體含量通常為3至1〇 _%。 (D)光引發劑 合適光引發劑為熱惰性的’但在低於⑽之溫度下暖 光於光化輻射時將產生自由|。此等光引發劑為在共麵碳 環系統内具有兩個分子内環之化合物且包括(未)經取代： 多核杳寧’例如：9，10'葱酿、2-甲基蒽酿' 2-乙基蒽醌、 2-第三丁基蒽醌、八甲基蒽醌、丨，4_萘醌、9，1〇_菲醌、笨

[a]蒽-7，12-二酮、2,3_幷四苯_5,12_二酮、2_甲基^，心蔡 酿、1，4-二甲基蒽酿、2,3_二甲基g酉昆、2_苯基葱酉昆、 二苯基蒽醌、惹醌（retem}uin〇ne)[音譯]、7,8,9，1〇_四氫稠 四苯-5，12-二酮及四氫苯[a]蒽_7，12二酮。在美國 專利第2,760,863號中描述其他適用之光引發劑[當然，— 些光引發劑在85t之低溫下係熱活性的，諸如：鄰位縮酮 烷酮醇（例如，安息香及新戊偶姻）；偶姻醚（諸如，安息香 甲醚或乙醚）；甲基安息香、α_烯丙基安息香、α_苯基安 息香、噻噸酮及其衍生物、供氫體、烴取代之芳族偶姻 等]。 基於總膠體重量’光引發劑含量通常為5至丨5 wt〇/。。 (E)有機聚合物黏合劑 聚合黏合劑在本發明之組合物中係重要的，且較佳視其 水顯影性及較高解析度而選擇。以下組合物之黏合劑滿足 該等要求。該等黏合劑可為以下各物製成的共聚物及互聚 物（混合共聚物）：（1)非酸性共聚單體，諸如Ci ig丙烯酸烷 酯、C〖-10f基丙烯酸烷酯、苯乙烯、經取代之苯乙烯或其 122942.doc 】2 200905381 及（2)包括占總聚合物重量之至少】5 之烯系 餘和羧酸的酸性共聚單體。 利用遠酸性官能基，在驗性水溶液（諸如，0.4 wt%之石山 酸鋼水溶液）中之顯影係可能的。若酸性共聚單體含量^ ㈣哪，則驗性水溶液不可完全沖走組合物。若酸性共 聚早體含量在30%以上，則組合物在顯影條件下具有較低 穩定性’且僅將成像區域部分地顯影。合適酸性共聚單體 可為：烯系不餘和單缓酸（諸如，丙婦酸、甲基丙稀酸、 丁稀酸等）’·稀系不飽和二幾酸（諸如，反丁烯二酸、衣康 酸、檸康酸、乙稀琥5白酸、順丁烯二酸等）、其半醋，以 及（有時）其酸奸及混合物。為在較低氧氣氣氛中清潔燃 燒’曱基丙烯酸聚合物比丙烯酸聚合物受青睞。 田非I性共聚早體為上述之丙烯酸烷酯或甲基丙烯酸烷 醋時’在聚合黏合劑中之非酸性共聚單體含量較佳通常為 至少50 Wt%’較佳為7〇至75心。當非酸性共聚單體為苯

乙烯或經取代之笨乙A 彿寻在1 5黏合劑中之非酸性乒聚 單體含量較佳通常為5〇 wt% ’其中剩餘5〇㈣為酸針，諸 如’順丁稀二酸軒半醋。較佳經取代之苯乙稀為α-甲基苯 乙稀。 儘官並非車乂佳，但聚合黏合劑之非酸性部分可含有小於 約5〇 Wt%之替代聚合物之丙稀酸烧醋、甲基丙浠酸醋、苯 乙或、、&取代之本乙烯部分的其他非酸性共聚單體。舉例 而s ’該荨共聚單體句技兩陡 Λ μ料及丙稀酿 月下元全燃燒較困難，因此該單體 122942.doc •13- 200905381 含里應小於總聚合黏合劑重量之約25 wt%。黏合劑可由符 合上述各種標準之單一共聚物或共聚物之組合組成。除上 述共聚物之外，其他實例包括：聚烯烴（諸如，聚乙烯、 聚丙烯、聚丁烯、聚異丁烯、乙烯·丙烯共聚物等），以及 聚醚（諸如，包括聚氧化乙烯之低碳氧化浠聚合物卜 可由通常用於丙烯酸酯聚合領域中之溶液聚合技術來製 備此等聚合物。 & 通常，上述酸性丙烯酸酯聚合物可藉由以下方式而獲 得：在具有相對較低沸點（75〇c至150。〇之有機溶劑中混= α-或β-烯系不飽和酸（酸性共聚單體）與一或多個可共聚合 乙烯系單體（非酸性共聚單體）以獲得10°/。至60%之單體混 合物溶液，接著將聚合觸媒添加至單體，接著聚合。在溶 劑之回流溫度下，在環境壓力下加熱所得混合物。在完成 聚合反應之後，將所得酸性聚合物溶液冷卻至室溫。回收 樣本並量測樣本之聚合物黏度、分子量及酸當量。 上述含有酸之聚合黏合劑較佳具有低於5〇,〇〇〇之分子 量。 當藉由絲網印刷來塗佈該等組合物時，聚合黏合劑較佳 具有超過60。(：之Tg(玻璃轉移溫度）。 基於總膠體重量，聚合物黏合劑含量通常為10至30 wt〇/。。 (F)有機介質 有機質主要用於使含有精細粉碎組合物之分散液易於 在陶瓷及其他基板上塗佈。因此首先，有機介質較佳能夠 以穩定方式分散固體組份，且第二，有機介質之流變性質 122942.doc -14- 200905381 將良好之塗佈性賦予分散液。 在有機介質中，可& 豹〜m入 為/谷刮混合物之溶劑組份較佳選自能 夠兀全洛解聚合物及農 "有機组伤之材料。溶劑係選自相 對於膠體組合物纽份主 ό . ' ”、、、性（非反應性）之材料。溶劑係選 自，、有足夠尚之揮發性& # # m〜"此，即使在相對較低之 义如c 堂佈時，仍會自分散液良好地蒸發， 但在印刷製程之情況 揮發性較佳並非過高，過高揮發 性在至溫下會導致膠體在 ^ A 隹、，，糸網上快逮乾燥。可有利地用於 ^合物中之溶劑在環㈣力下較佳具有低於賣c、、 =低於250(：之_點。該等溶劑可為：脂肪醇或其 、曰人此、 曰），箱類（如松香、或βΐ品醇或其 _ —酵早丁醚及乙二醇酯（諸如，丁基 乙一醇乙趟乙酸g旨）；丁其上— i曰），丁基卡必醇及卡必酯（諸如，丁基 必醇乙酸酯及卡必醇乙酸 吁^酉曰），TeXanol(2,2,4_三甲基」3_ 戊二醇單異丁酸醋）及其他合適溶劑。 ’ 基於總膠體重量，有機介質含量通常為20至40 wt%。 (G)碳黑 夕種類型之碳黑可用於碳黑 使用之市售之碳黑產品的 Monarch®700 〇 。亦可使用市售之碳黑。可 實例包括由Cabot製造的 對碳黑之物理性質不存在特定限制。舉例而言，碳$之 比表面積較佳為5〇 m2/至 4，且即使在僅添加少 里厌黑時，使用具有2〇〇 2 8次00 m /g以上之比表面積 的精細顆粒仍能夠將膠體上 邑為黑色，藉此降低線寬與光 122942.doc -15- 200905381 罩之差’且使線邊緣較明顯。 基於總膠體重量，添加之碳里 反…的里較佳為0.01至0.5 wt%， 且更佳為0.05至0.2 wt〇/〇。因為石卢里目 馬奴黑具有相當強之紫外線吸 收效應，所以在添加極少量碳黑之情況下即可獲得充分之 效應。結果，可最小化添加劑對多種特徵之效應。此外， 因為較其他紫外線吸收劑而言 反黑極其低廉，所以其亦有 助於降低生產成本。 若碳黑之紫外線吸收效靡 收政應心金’則曝光之光不能夠充分 到達塗佈勝體下方，藉此引 之圖案开> 狀偏離所要大小之風 險。相反地，若添加之量不銳 置小约則存在不能夠充分獲得碳 黑之效應的風險。因此，馨於此等因素來確定最佳量。 (H)額外組份 在此項技術中已知之Λ卜笪金 之此#頜外組份為分散劑、穩定劑、 增塑劑、釋放劑、剝色劑、消泡劑、濕潤劑等。在以引用 之方式併入本文中之美國專利第5,〇32,49〇號中 材料。 本發明之膠體用於形成電極。舉例而言，其用於形成電 漿顯不面板（PDP)之電極。儘管 B FJ3P具有後面板電極及前 面板電極，但可將本發明瘅用 月應用於其中之任一者。因為 用關於PDP結構及PDp 4吝十、+ 心 生產方法之已知技術，戶斤以此處省 略其解釋。 本發明之第二態樣為-種用於形成電極之方法，其包含 以下步驟：在基板上塗佈用於形成電極之光敏性導電膠， 用於形成電極之該光敏性導電膠包含導電金屬顆粒、玻璃 122942.doc -16 ‘ 200905381 黏：劑、單體、光引發劑、有機聚合物黏合劑、有機介質 及碳黑’碳黑大體上不改變膠體在可見光範圍内之反射 率；使經塗佈之導電膝乾燥；使用光單來對藉由使導電膠 乾燥而形成之薄膜進行曝光；藉由將經曝光之薄膜顯影而 獲得電極圖案；及燃燒所得電極圖案。 下文概述一種用於形成電極之典型方法。 Ο 首先，將諸形成電極之光敏性導電膠塗佈至基板上， 該光敏性導電膠包含：導電金屬顆粒、玻璃黏合劑、單 體光引發劑、有機聚合物黏合劑、有機介質及碳黑。因 為先前已描述導電膠，所以此處省略其解釋。 可視應用而選擇在上面塗佈導電膠之基板。舉例而言， 在形成PDP之後面板電極之情況下，將夥體塗佈至後玻璃 面板上。舉例而言’在塗佈期間，藉由絲網印刷來塗佈整 個表面。 接著’使、經塗佈之導電膠乾燥。㈣對乾燥條件不存在 特定限制（只需能夠使導電膠乾燥即可），但可（例如）使導 電膠在100C下乾燥歷時10至2〇分鐘。此外，可使用（例如） 輸送機型紅外線乾燥器來進行乾燥。在㈣中，在乾燥之 後的電極厚度通常為8 μπι至Η) μηι。 八 使用光罩來對經乾燥之導電膠之薄膜進行曝光。光罩具 有需要形成之電極圖帛，且藉由#光，&穿過光罩輻射^ 所要圖案上。對在曝光期間使用之光的波長不存在特定限 制且可使用（例如）i線（365 nm)。根據所使用之膠體之組 伤、其薄膜厚度等來改變曝光條件。儘管對曝光量不存在 122942.doc -17- 200905381 特疋限制’但其通常為丨⑽^/^至丨⑽❹如 在本發明中，對薄膜進行曝光之步驟較佳為接近式曝 光。由碳黑獲得之效應在接近式曝光中係顯著的。在以 3々〇〇 μιη或300 _以上之間隙進行接近式曝光的情況下，此 等效應尤其顯著。此外，如先前所描述，本發明在將銀用 於導電金屬顆粒之情況下係顯著的。 藉：將經曝光之薄膜顯影而獲得圖案。可利用鹼性溶液 來進仃,、„頁衫。舉例而言，〇 4%石炭酸鋼水溶液可用於驗性溶 液可藉由使用某一方式（諸如，在基板上將此類型之驗 性办液噴霧至薄膜上或將具有經曝光之薄膜之基板浸沒至 鹼性溶液中）來獲得經顯影之電極圖案。 最終，燃燒經顯影之電極圖案。可在具有歡溫度分布 之燒成爐中進行燃㉟。在燃燒#月間之最高溫度較佳為 4CHTC至60(TC ’且更佳為5〇〇u6〇〇ec。燃燒日夺間較佳為工 小時至3小時。在燃燒之後，藉由冷卻而獲得具有所要圖 案之電極。在乾燥之後的電極厚度通常為4 _至5 _。 實例 實例1 將8重量份之能夠利用鹼性水溶液來顯影的有機樹脂黏 合劑(甲基丙婦酸甲醋與甲基丙稀酸之共聚物，酸值.12〇 mgK〇H/g，重量平均分子量：_〇)，_量份之光引發 劑（2·甲基小硫基）苯基]1嗎琳基丙+酮及乙基_4_ 二甲基胺基笨甲酸s旨之1:1混合物）、〇·5重量份之光敏劑 (2,4-二乙基隹嘲酮）、〇.3重量份之增稍劑（聚乙稀心各咬嗣 122942.doc -18- 200905381 與乙酸乙稀S旨之共聚物）及〇·〇2重量份之熱聚合抑制劑 (1，4,4-三甲基·2,3_重氮雙環[3 2 2]壬_2_烯·ν，ν，_二氧化物） 溶解於16重量份之有機介質（texan〇1)中。將6重量份之反 應性單體（三羥甲基丙烷三丙烯酸酯）、〇·2重量份之黏度穩 定劑（丙二酸）、〇.03重量份之碳黑、1〇重量份之玻璃黏合 劑（軟化點：41〇。〇，Pb〇_Bi2〇3_B2〇3)及73重量份之銀顆粒 形式的導電金屬顆粒（比表面積：〇5 m2/g)攪拌至此溶液 卜隨後，藉由利用三輥混合器捏合，使混合物形成為用 於形成電極之光敏性導電膠。 實例2 除了將添加之碳黑的量改變為〇.〇5重量份之外，以與實 例1相同之方式獲得用於形成電極的光敏性導電膠。 實例3 " 除了將添加之碳黑的量改變為_重量份之外，以與實 例1相同之方式獲得用於形成電極的光敏 比較實例1 " 同之方式獲得用於 除了不添加碳黑之夕卜，以與實例⑷ 形成電極的光敏性導電谬。 [評估] 在以下製程條件下，使用實例卜 實例1之膠體來產生PDP電極㈣3及比較 在圖1及表1中展示結果。 ' 特徵進行評估。 〇塗佈：藉由利用400不錄鋼筛網在量例A 之高應變點玻璃基板上印刷來進行塗^而為5 cm X 7.5 cm 122942.doc •19- 200905381 )乾燥·藉由在ir爐中維持i00〇c之溫度歷時】5分鐘來 進行乾燥。 曝光·利用紫外線曝光設備來進行接近式曝光，該 紫外線曝光設備配備有用於在兩組條件下（由架空量3 0 0 μ»!及5〇〇 μπι組成）之光源的高壓汞燈。具有1〇叫1至8〇 μιη 之線群的負遮罩用於光罩。累積曝光量為_ 。 IV)顯衫.使用輸送機型顯影器在維持於之溫度下 f

的0.4 /()¼酸鈉水溶液中進行顯影，歷時17秒。使顯影時間 (17心）為自未經曝光之部分移除薄膜所需要之時間量（斷 裂）的近兩倍。 v)使用光顯微鏡型之長度測量儀器來量測經顯影之線之 解析度及線寬，以估計與曝光遮罩之線寬偏差。 表1

如表1及圖1中所展示，在未添加碳黑之比較實例^中 隨著曝光量增加，遮罩與圖案寬度之間的差極大地增加。 另方面，在添加碳黑之實例1至實例3中，圖案寬度在曝 光置增加時之增加小於比較實例丨之圖案寬度在曝光量增 加時之增加。基於此等結果’表明碳黑之添加增加了曝光 條件之自由度。此外，&良了邊緣銳度且增加了解析度。 122942.doc •20· 200905381 —出於參考目的，在圖2至圖5中展示比較實例丨及實例丨至 貫：3之圖案的相#。圖2為比較實例1之圖案的相片。圖3 ，貫例1之圖案的相片。圖4為實例3之圖案的相4。圖5為 實例4之圖案的相片°如圖2至圖5中所示，可看出，即使 曝光里增加，但碳黑之添加仍導致較窄之線厚度。 為了凋查碳黑之添加對電特徵之效應，對實例丨至實例3 及比較實例1之圖案言周查燃燒後之薄膜厚度、冑阻及比電 阻。在表2中展示此等結果。 表2.在550。(：下燃燒之具有4 cm長度之1〇〇 μιη線的電特徵

如表2中所不，添加之碳黑量極少，且未證實對燃燒後 之圖案電特徵的效應。 實例4 8重量份之能夠利用鹼性水溶液來顯影的有機樹脂黏合 劑（曱基丙烯酸甲酯與曱基丙烯酸之共聚物，酸值：12〇 mgKOH/g，重量平均分子量：6400)，1.2重量份之光引發 劑（2-曱基-1-[4-(曱硫基）苯基]嗎你基丙及乙基_4_ 二曱基胺基苯甲酸酯之1:1混合物）、〇·5重量份之光敏劑 (2,4-二乙基噻噸酮）' 〇.3重量份之增稠劑（聚乙烯吡咯啶酮 與乙酸乙烯酯之共聚物）及〇.〇2重量份之熱聚合抑制劑 122942.doc -21 - 200905381 (1,4,4-三甲基-2,3-重氮雙環[3.2_2]壬_2_烤_邮,_二氧化物） 溶解於16重量份之有機介質（texan〇1)中。6重量份之反應 性單體（三羥甲基丙烷三丙烯酸酯）、〇 2重量份之黏度穩定 劑（丙二酸）、0.05重量份之碳黑' ίο重量份之破璃黏入劑 (軟化點：550°c，平均粒徑：〇.8_，m2〇3-Si〇2_B2〇3)及 66重量份之銀顆粒形式的導電金屬顆粒（比表面積：〇·5 m2/g)被攪拌至此溶液中。隨後，藉由利用三輥混合器捏 合，混合物形成用於形成電極之光敏性導電膠。 實例5 " 以與實 除了將添加之碳黑的量改變為〇 〇8重量份之外 例4相同之方式獲得用於形成電極的光敏性導電膠 實例6 " 以與實 除了將添加之碳黑的量改變為0. i 0重量份之外： 例4相同之方式獲付用於形成電極的光敏性導電膠 實例7 " 以與實 除了將添加之碳黑的量改變為〇15重量份之外， 例4相同之方式獲得用於形成電極的光敏性導電膠 實例8 以與實 除了將添加之碳黑的量改變為〇2〇重量份 例4相同之方式獲得用於形成 比較實例2 似戌导電膠 除了不添加碳黑之外，以盥 形成電極的光敏性導電膠。$ 4相同之方式獲得用於 [評估] 122942.doc -22-

200905381 在以下製程條件下，使用實例4至實例8及比較實例2之 膠體來產生咖電極，接著對其特徵進行評估。此外，產 生兩種類型之電極，其由單層類型（其中在基板上形成銀 電極)及雙層類型(其中在黑色電極上形成銀電極)組成。在 表3及表4中展示結果。 =塗佈：藉由利用400不錄鋼_網在量測為5咖75咖 之高應變點玻璃基板上印刷來進行塗佈。 H)乾燥：藉由在IR爐中維持1〇〇。。之溫度歷時15分鐘來 進行乾燥。 iii) 曝光：利用配備用於弁湄古 用扣％尤源之咼壓汞燈的紫外線曝光 設備，以300，及500叫之架空量，經由具有1〇叫至 哗之線群的負遮罩且在_碟…累積曝光量下進行接 近式曝光。 iv) 顯影：使用輸送機型顯影器，在維持於3代之溫度下 的0.4%碳酸納水溶液中進行顯影，歷時⑺少。使顯影時間 (17秒)為自未經曝光之部分移除薄膜所需要之時間量(斷 裂）的近兩倍。 vMW光㈣鏡型之長度測量儀器來量測經顯影之線之 解析度及線寬’以估計與曝光遮罩之線寬偏差。 122942.doc •23· 200905381 表3.在顯影（在600 mJ/cm2之曝光量下）之後，在銀單層部 分之7 0 μηι線與遮罩之7 0 μπι線之間的線寬像差 比較實例2 實例4 實例5 實例6 實例7 實例8 添加至光敏性銀 膠之碳黑的量 (重量份） 無 0.05 0.08 0.10 0.15 0.20 在以300 μηι之架 空量顯影之後 51 38 28 25 23 20 在以500 μπι之架 空量顯影之後 76 53 46 40 36 33 表4.在顯影（在600 mJ/cm2之曝光量下）之後，在銀/黑色雙 層部分之70 μπι線與遮罩之70 μηι線之間的線寬像差 比較實例2 實例4 實例5 實例6 實例7 實例8 添加至光敏性銀 膠之碳黑的量 (重量份） 無 0.05 0.08 0.10 0.15 0.20 在以300 μπι之架 空量顯影之後 31 30 23 23 20 17 在以500 μηι之架 空量顯影之後 49 43 37 37 33 30 如表3及表4中所示，儘管當曝光量增加時，通常線寬增 加且關於原始遮罩之設計的準確性降低（如在比較實例2 中），但在實例4至實例8中，當碳黑之量增加時，線寬之 改變量降低且關於遮罩之準確性增加。此外，改良了邊緣 銳度且增加了解析度。 儘管添加碳黑之效應在單層之情況下係顯著的，但亦在 銀電極形成於黑色電極上之系統中證實由添加碳黑產生之 效應。 出於參考目的，在圖6至圖11中展示描繪比較實例2及實 122942.doc -24- 200905381 例4至實例8之圖案的相片。圖6為 片。圖7為實例4之圖案的相片。 例2之圖案的相 片。圖9為實例6之圖案的相片。圖 片。圖11為實例8之圖案的相片。

導致較窄之線厚度。 圖8為實例5之圖案的相 圖1 Ο A實例7之圖案的相 £圖11中所示，可 加’但碳黑之添加可 【圖式簡單說明】 圖1為展示曝光量與顯影後之線寬之間的關係的圖表 圖2為比較實例圖案的相片； 圖3為實例1之圖案的相片； 圖4為實例3之圖案的相片； 圖5為實例4之圖案的相片； 圖6為比較實例2之圖案的相片； 圖7為實例4之圖案的相片； 圖8為實例5之圖案的相片； 圖9為實例6之圖案的相片； 圖10為實例7之圖案的相片；及 圖11為實例8之圖案的相片。 122942.doc •25·

Claims (1)

1. 200905381 申請專利範圍 1.:用於形成電極之光敏性導電膠，其包含：導電金屬 人1 &璃黏合劑、—單體、-光引發劑、-有機聚 s物黏合劑、一有機介質及碳黑。 -於二J1之用於形成電極之光敏性導電膠，其中基於 〜膠體重量，該碳黑之含量為001至05秦 3. t請求項1之用於形成電極之光敏性導電膝 其中該 C u 導電顆粒係選自由金 群。 4.如請求項3之用於形成電 導雷乂电棧之先敏性導電膠，其中該 V電金屬顆粒為銀顆粒。 •1 電極，其係使用如請求们之導電膠而形成。 種咖，其具有如請求項5之電極。 ‘種用於形成一電極之 .^ 々凌其包含以下步驟·· 在一基板上塗佈—用Μ卫，1 Λ 用於妒忐雷1 ;形成電極之光敏性導電膠， 、 極之光敏性導電膠包含導電金屬顆拉 璃黏合劑、_罝舯 电金屬顆拉、一 劑、-有機介質及碳黑； 有機“物黏. 使該經塗佈之導電膠乾燥； 使用-光罩來對—藉由使 進行曝光； /礼森而形成之薄； "字x、··工曝光之薄膜顯影獲 燃燒該所得電極圖案。 電極圖案；及 8.如請求項7之用 Μ成1極之m中用於對以 銀 名白、纪、銅及其組合組成 5.6. 7. 122942.doc 200905381 膜進行曝光之該步驟係使用接近式曝光。虫°月求項7之用於形成一電極之方法，其中基於總膠體 重1，該碳黑之含量為〇 ίο.如請求項7之用於形成— 屬顆粒係選自由金、銀 的顆粒。 11.如請求項1〇之用於形成 屬顆粒為銀顆粒。 〇 1 至 0.5 wt%。 電極之方法，其中該等導電金 錄、鈀、銅及其組合組成之群 電極之方法，其中該等導電金

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