TW200846668A - Probe and probe card having the same - Google Patents

Description

200846668 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 、酋本發明係關於探針卡，且尤其係更關於用在測試例如半 導體晶圓、平面顯示器或類似者之檢驗物件的電特性之探 針及具有探針之探針卡。 - 【先前技術】 半v體裝置係透過包括晶圓生產、晶圓測試，晶粒封裝 專專之各種程序來製造。該晶圓測試稱為電晶粒分類測 • 試，其係用於測試半導體裝置的電特性。在電晶粒分類測 試中係藉由使探針卡之探針接針接觸半導體裝置的電極接 點，而後允許電流流經半導體裝置之電極接點，將半導體 裝置分類成可接受產品及不可接受產品。除了測試半導體 裝置以外，探針卡係用於測試在例如TFT-LCD(薄膜電晶 體液晶顯示器）、PDP(電漿顯示器面板）、〇EL(有機電致發 光）及類似者之平面顯示器的單元程序中之資料/閘極線。 _ 探針卡包括複數個用於直接接觸一欲測試之電極接點、 一用於支撐探針的支撐件及一用於在測試器之測試頭及探 針間發射電信號之印刷電路板。有時係有一空間變換器及 - 插入器係提供在探針卡之探針及印刷電路板間的情況。 • 二間變換裔用於確保探針在依一精細間距來配置探針之程 序期間以平滑方式電連接至印刷電路板。插入器具有一在 印刷電路板及空間變換器間發射電信號而保持探針卡平坦 的功能。 美國專利第7，150,095及7，138,812號揭示其中針類型探針 128501.doc 200846668 係連接至印刷電路板的探針卡。此等專利文件中揭示之各 探針卡包括-用於在印刷電路板上支撐探針之支標件。探 針係藉由絕緣材料固定至支撐件，且藉由焊接電連接至印 刷電路板。 而冑用以Jl所述專利文件中所揭示的先前技術探針 卡，探針需要透過探針定位夾具之使用來對準支撐件以供 、工人將探針固定至支撐件，且必須執行焊接以將探針接合 ^印刷電路板。此急劇地減少探針卡之生產力且難以控制 知►針的平面性。 此外，難以使先前技術之探針卡依—對—基礎來修復或 替換探針’因為該等探針係焊接至印刷電路板。換句話 2，當該等探針中之-有缺陷時，不可能僅移走有缺陷之 心針m之’除了 #換具有缺陷探針之探針卡以外沒 有其他選擇。 此外，在先前技術探針卡中，探針制絕緣材料逐一地 塗布以防止探針的短路，此導致增加生產成本及減少生產 力。 【發明内容】 鑑於在先前技術巾时之以上所述及其_題，本發明 之-目的係提供一種探針’其係易於固定在正確位置，且 可用減少生產成本來製造及大幅增加生產 該探針的探針卡。 禋八有 本發月之另-目的係提供一種高度可靠的探針，立可準 確連接一檢驗物件及一印刷電 ’ I制电路板，及一種具有該探針的 128501.doc 200846668 探針卡。 本發明之進一步目的将 的係美供一種能維持穩定連接至一 刷電路板的各電極接點的探針，及一 卡。 種/、有該探針的探針 本發明之又另-目的係提供—種可藉由易於自印刷電路 板移除其本身及-切件而“維護及修復成本之探針， 及一種具有該探針的探針卡。 在本發明之-態樣中，係提供一種用於在一測試頭及一 檢驗物件之電極接點間發射電信號的探針卡，其包含：一 印刷電路板，其連接至該測試頭且係具有複數個電極接 點，-支撐件，其附著至該印刷電路板，該支撐件具有一 下表面及㈣橫向表面’該支撐件包括在該下表面上提供 之對邊件、形成在該下表面上之該等邊件間的一通道及 形成在該下表面及該等相對橫向表面上之複數個隔開插入 槽；及複數個探針，其插入於該等插入槽内，該等探針之 各探針包括-第-臂部分，其係配裝至該支撐件之該等相 對橫向表面上的該等插入槽之各槽；一第二臂部分，其從 該第一臂部分之一第一末端延伸朝向該通道；一連接端子 邛分，其係提供在該第一臂部分之一第二末端處，以致該 連接端子部分可連接至該印刷電路板之該等電極接點的各 接點；及一接觸端子部分，其係提供在該第二臂部分之一 尖端處，用於接觸該檢驗物件之該等電極接點的各接點。 在本發明之另一態樣中，係提供一種用於在一測試頭及 一檢驗物件之電極接點間發射電信號的探針卡，其包含： 128501.doc -9- 200846668 一印刷電路板，其連接至該測試頭且係具有複數個電極接 點；一支撐件，其附著至該印刷電路板，該支撐件具有一 下表面及相對橫向表面，該支撐件包括在該下表面上提供 之一對邊件、形成在該下表面上之該等邊件間的一通道及 形成在該下表面及該等相對橫向表面上之複數個隔開插入 槽；複數個探針，其插入於該等插入槽内，該等探針之各

探針包括一第一臂部分，其係配裝至該支撐件之該等相對 橫向表面上的該等插入槽之各槽；一第二臂部分，其從該 第一臂部分之一第一末端延伸朝向該通道；一連接端子部 分，其係提供在該第一臂部分之一第二末端處，以致該連 接端子部分可連接至該印刷電路板之該等電極接點的各接 點，及一接觸端子部分，其係提供在該第二臂部分之一尖 端處，用於接觸該檢驗物件之該等電極接點的各接點；一 二間k換器，其係安裝在該印刷電路板及該支撐件間，該 空間變換！具有複數個f極接點，該等探針之各探針的該 連接端子部分連接至該空間變換器之該等電極接點的各接 點，及一插入器，其係安裝在該印刷電路板及該空間變換 器間，用於電互連該印刷電路板及該空間變換器。 ^在本發明之進一步態樣中，係提供一種用於一探針卡之 操針’其係用於在—印刷電路板及-檢驗物件之電極接點 間發射電信號，該探針卡包含··一第一臂部分；一第二臂 :::其係從該第一臂部分之一第一末端以一與該第一臂 P刀U肖度之關係延伸；—連接端子部分，直係提 供在該第-f部分之―第二末端處，以致該連接料部分 128501.doc 200846668 可電連接至該印刷電路板；及一接觸端子部分， 在該第二臂部分之一尖端處，用於接觸該檢驗物件之該等 電極接點的各接點。 【實施方式】 現將詳細參考附圖說明根據本發明之探針卡的較佳具體 實施例。 _ 圖1中所示係一根據本發明之第一具體實施例的探針 卡。參考圖1，第一具體實施例之探針卡100包括一印刷電 • 路板110、一加強件120及複數個探針裝配件13〇。 印刷電路板110係透過一彈簧針頭（pog〇)塊及一性能板 單元（其兩者係此項技術中為人熟知）連接至一測試器的測 試頭（未顯示）。印刷電路板110在其下表面上係具有複數個 電極接點112。加強件120係附著至印刷電路板U0之一上 表面’以增加其剛度及亦保持其平坦。 參考圖1至3,該等探針裝配件130之各者包括：一支撐 ，件140 ’其附著至印刷電路板110之下表面；及固定至支撐 件140的複數個探針15〇。支撐件ι4〇係由一絕緣材料製 成’例如氧化鍅（Zr〇2)或類似者之陶瓷材料。在本發明 中’支撐件140可藉由除了陶瓷材料以外之各種材料製 成。 一縱向延伸通道144係形成在支撐件14〇之一下表面的大 體上中間區。一對縱向延伸邊件142a及142b係提供在支撐 件140之下表面的相對周邊區上，其中通道料插入於其 間。複數個插入槽146係依彼此隔開之關係形成在支撐件 128501.doc 200846668 140的橫向表面及下表面上。插入槽146自支撐件140之相 對橫向表面141a及14lb延伸至邊件142a及142b。插入槽 146係在支撐件140之縱向中彼此隔開。該等插入槽146之 各槽包括：一第一槽146a，其形成在橫向表面141a及141b 之各者上；及一第二槽146b，其形成在該等邊件142a及 142b之各者上且接合第一槽146a。在本發明中，該等插入 槽146之各槽可由第一槽146a單獨形成，省略第二槽 146b。雖然第一槽146a及第二槽14613在所說明之具體實施 例中係成為一彼此相關之直角，但本發明不受其限制。或 者是’第一槽146a與第二槽146b之間的角度可為除了直角 以外的任意角度。 一對螺絲孔148係在支撐件140之相對縱向末端部分中形 成。支撐件1 4 0係藉由將一對螺絲114透過印刷電路板11 〇 之厚度鎖緊至螺絲孔148中，而穩固地牢固至印刷電路板 11〇之下表面。雖然螺旋突出件172a在本發明之一第一具 體實施例中具有一細長棒狀，但若有此需要可任意改變支 撐件140的寬度及長度。 參考圖2至4，探針150係插入及配裝至支撐件14〇之插入 槽146中。该專探針15〇之各探針係在一末端處電連接至印 刷電路板110，且使另一末端接觸一檢驗物件2(如同一半 導體晶圓、——平面顯示器或類似者）之電極接點4。該等探 針150之各探針包括一第一臂部分152 ; 一第二臂部分 154’其從第一臂部分152之一下末端垂直地延伸；一連接 端子部分156，其係形成在第一臂部分152之一上末端；及 128501.doc -12- 200846668 一臂部分154的尖端。 一臂部分152及第二臂 ’但本發明不受其限 ^ 了直角以外之任意角

度從第一臂部分152之下末端延伸。 一接觸端子部分158，其係形成在第二 雖然在所說明之具體實施例中，第一 部分154係成為一彼此相關之直角， 制。或者β

中，而第二臂部分154係插入及配裝至支撐件的第二槽 146b中。一切除部分154a係形成在第二臂部分154之上= 央區内如圖3所示，當第二臂部分154係插入及配裝至第 二槽146b中時，僅第二臂部分154之上周邊區（除了切除部 分154a以外）接觸支撐件14〇的下表面，其減少支撐件14〇 及第二臂部分154間之接觸區域。因此，當配裝探針15〇至 支撐件140時，歸因於插入槽146及第二臂部分154之加工 誤差的製造誤差被減至最少。 在其中弟一及弟二臂部分152及154彼此會合之接合處 中’係形成一具有第一凹處160的第一鉸鏈部分162。第一 凹處160之存在減少第一鉸鏈部分162的區域，因而使第一 鉸鏈部分162可彈性地變形。連接端子部分156沿支撐件 140之第一槽146a向上延伸，及接觸印刷電路板u〇之該等 電極接點112的各接點。連接端子部分ι56從第一臂部分 I52之上末端延伸，且包括一彈簧156a及一在彈簧156a的 尖端部分形成的第一端子156b，並連接至印刷電路板11〇 之該等電極接點112的各接點。 另一方面，接觸端子部分158包括一細長彈性臂158a， 128501.doc -13- 200846668 二臂部分154之尖端部分延伸

分164a的頂部末端。 其係從第 158b ，並 w工$直地延伸；及一連接臂部分 I彈性臂158a之中間部分及向上延伸部 。當該等探針150之各探針係從其侧面 才欢視柃，第二臂部分154、彈性臂158&及連接臂部分16仆 造成二角形。雖然在所說明之具體實施例中，向上延伸部 分164a係自第二臂部分154依直角延伸，但本發明不受其 限制。或者是，向上延伸部分16牝可依一除了直角以外的 角度從第二臂部分154向上延伸。 在一其中弟一臂部分154及向上延伸部分164a彼此會合 之接合處中，係形成一具有一第二凹處166的第二鉸鏈部 分168。第二凹處166之存在減少第二鉸鏈部分168的區 域，因而使第二鉸鏈部分168可彈性地變形。該等探針150 之各探針的第一及第二臂部分152及154係藉由絕緣樹脂 170穩定地牢固至支撐件140之插入槽146中的一對應槽。 可將包括環氧樹脂之各種黏著樹脂用作絕緣樹脂170。 如圖1中可見，第一具體實施例的探針卡100進一步包括 一固持件托架180及複數個保護部件190，其兩者協同以固 持及保護支撐件140。固持件托架180藉由複數個螺絲182 緊固至印刷電路板110之下表面。一用於容納支撐件140之 128501.doc -14- 200846668 空間184係形成在固持件托架18〇的中央區内。保護部件 190係藉由複數個螺絲192牢固至固持件托架之下表 面，以致其可圍、繞容納在空間184中之支撐件140的邊緣部 分。雖然在圖1中所示之具體實施例中係組合四個保護部 件190以形成矩形，但本發明不受其限制。可使用圍繞支 撐件140之邊緣部分的單一矩形框架取代保護部件ι9〇。 現將進行描述關於如以上組態之第一具體實施例的探針 卡之製造方法及操作。 參考圖1至3，探針裝配件13〇係首先製造以產生探針卡 1〇〇。在探針裝配件130的製程期間，該等探針15〇之各探 針的第一及第二臂部分152及154被插入及配裝至支撐件 140之插入槽146的一對應槽中。接著，該等探針15〇係藉 由塗敷絕緣樹脂170而穩定地牢固至插入槽丨46。此時，該 等探針150之接觸端子部分ι58係定位在通道ι44之内，且 探針150之連接端子部分156被允許在支撐件14〇上延伸。 絕緣樹脂1 70之塗敷方法的範例包括塗敷絕緣樹脂i 7〇至 插入槽146的第一方法，及塗敷絕緣樹脂17〇至探針15〇之 第二方法。在使用第一方法之情況下，絕緣樹脂17〇係首 先塗敷至支撐件140之插入槽146，接著該等探針ι5〇之各 探針的第一及第二臂部分152及154插入及配裝至插入槽 146之一對應槽中。在使用第二方法之情況下，首先將絕 緣樹脂170塗敷於第一及第二臂部分152及154，接著第一 及第二臂部分152及154係插入及配裝至插入槽ι46之一對 應槽中。若絕緣樹脂170係在將探針150插入插入槽146之 128501.doc 200846668 狀態中完全固化，則該等探針150之各探針的第一及第二 臂部分152及154被固持以防止自插入槽146之一對應槽移 除。 如圖3中說明，一旦該等探針150之各探針的第一及第二 臂部分152及154被配裝至插入槽146之一對應槽時，第一 及弟二凹處160及162係定位在邊件142 a及142b之外部角落 部分中。此意即，即使當邊件142a及142b之外部角落部分 具有加工誤差或當在支撐件140及探針150間存在製造誤差 時’探針150亦可準確地配裝至支撐件140之插入槽146。 例如，若邊件142a及142b之外部角落部分係依鈍角而非直 角加工時，第一及第二鉸鏈部分162及168亦可彈性地變 形’以致探針150可平滑地配裝至插入槽146。 在楝針裝配件13 0已依此方式製造後，固持件托架18 〇係 藉由使用螺絲182附著至印刷電路板11〇之下表面，而後探 針裝配件130係定位至固持件托架18〇的空間184内。其 後，螺絲114係透過印刷電路板11〇鎖緊至支撐件14〇的螺 絲孔148内，因而將支撐件140固定至印刷電路板11〇之下 表面。此時，探針150之連接端子部分156係電連接至印刷 電路板110的電極接點112。隨著連接端子部分156之第一 端子156b接觸電極接點n2，彈簧156a被壓縮以確保可使 第一端子156b在彈簧156a之偏壓力下保持穩定地連接至電 極接點112。此有助於防止探針15〇及印刷電路板ιι〇的電 極接點112間有缺陷連接的發生。 使用以上描述之探針卡100，探針15〇之第一端子15讣係 128501.doc -16- 200846668 藉由彈簧156a的彈性變形保持與印刷電路板11〇之電極接 點112的閉合機械接觸。此免除將焊接探針15〇至印刷電路 板110之需要，因而大幅地增加探針卡100的生產力及可靠 性。 此外，因為該等探針150之各探針的第一及第二臂部分 152及154係配裝至插入槽146之一對應槽，本發明之探針 卡100無須將一夾具用於在製程中定位探針15〇。因此，可 容易及準確地製造探針裝配件13〇，其有助於大幅地增加 探針卡100的生產力。 麥考圖3及4，當檢驗物件2係藉由本發明的探針卡j 〇〇測 忒時，若使該等探針150之各探針的第二端子158b接觸檢 驗物件2之對應電極接點4且由其壓下，彈性臂丨〗“會進行 彈性變形。因此，檢驗物件2之該等電極接點4的各接點係 保持與第二端子158七之閉合接觸。此時，強化部分164之 連接#部分164b藉由支撐彈性臂158a的中間部分來防止彈 性臂lS8a的塑性變形。此協助增加探針15〇之壽命，因而 改進其可靠性。 若探針裝配件13G之—變得有缺陷時，可易於僅移除及 取代有缺陷之探針裝g&件。此協助節省涉及維護及修復探 針卡100之成本。 圖5及6顯示一根據本發明之第二具體實施例的探針卡》 多考圖5及6 ’探針卡200包括—印刷電路板、一加強件 複數個探針聚配件丨3〇、一固持件托架刚、複數個 保護部件19〇、_插入器21。及一空間變換器細。在此方 128501.doc -17- 200846668 面中’印刷電路板110、加強件12〇、複數個探針裝配件 130、固持件托架18〇及複數個保護部件刚係與第一具體 實施例的探針卡100之該等組件相同。由於此原因，相同 組件係由相同參考數字指示但不會進行該方面之描述。 插入器210係容納於固持件托架18〇内的空間184内，以 發射電信號且亦保持探針卡細平坦。空間變換器22〇係安 裝在插入器210下。空間變換器咖係由一多層印刷電路板 222形成’ #包括透過插人器加電連接至印刷電路板ιι〇 的複數個電極接點224。 根據本發明之第二具體實施例的探針卡2〇〇係依以下方 式製造。 探針150係藉由使用絕緣樹脂17〇配裝至支撐件14〇之插 入槽146及穩定地牢固至其。接著，固持件托架18〇係附著 至印刷電路板110之下表面。插入器21〇及多層印刷電路板 222係逐一地容納在固持件托架ι8〇的空間184内。其後， 探針裝配件130係定位在多層印刷電路板222下，且螺絲 114係透過多層印刷電路板222鎖緊於螺絲孔148内。此 時，此等探針150之連接端子部分156插入及連接至多層印 刷電路板222的電極接點224。最後，保護部件190係藉由 使用螺絲192附著至固持件托架i 8〇之下表面，以致其可圍 繞支撐件140的邊緣部分。 在如以上組態之第二具體實施例的探針卡2〇〇中，電信 號係透過插入器210及多層印刷電路板222在印刷電路板 11 〇與探針150之間發射。若探針15〇係以高密度配置，其 128501.doc -18- 200846668 可易於藉由使用一在多層印刷電路板222中提供之層間導 體電路（未顯示）連接至印刷電路板11〇 ◊此意即第二具體實 施例的探針卡擔係極易用於以密集地配置之電極接點: 試半導體元件。 如以上描述’根據本發明之探針卡係—其中該等探針插 入及配裝至絕緣支樓件的插人槽中的結構。因此，可依容 ' 胃及準確方式製造探針卡，其導致減少生產成本及大幅增 加生產力。 籲 此外，本探針卡係由其支撐件及探針可易於從印刷電路 板移除的探針裝配件形成。此使在裝配件對裝配件之基礎 上取代-有缺陷探針裝配件係可能的，此有助於節省維護 及修復成本。 此外’本探針卡展現經改進之可#性，因為其探針能確 保檢驗物件及印刷電路板間之穩定連接。 本發明不限於以上所提出之具體實施例。熟習此項技術 • a士應理解可在不脫離中請專利_以義之本發明的範 疇下進行各種變化及修改。 【圖式簡單說明】 . 從以上結合附圖之較佳具體實施例的說明，將會明白本 I明之以上及其他目的與特徵，盆中· 請-示意性顯示根據本發明之第一具體實施例的探 針卡之分解透視圖； ”圖2係-說明根據本發明之第一具體實施例的探針卡之 探針裝配件的示意性透視圖； 128501.doc •19- 200846668 圖3係一說明根棱太路日 哲 ^ 屎本lx月之弟一具體實施例的探針卡之 探針裝配件的示意性斷面圖； 圖4係一顯示根攄太藤日 Μ 尿丰發明之弟一具體實施例的探針卡之 侧視立體圖； 圖5係一不思性顯示根據本發明之第二具體實施例的探 針卡之分解透視圖；及 圖6係一顯不根據本發明之第二具體實施例的探針卡之 楝針震配件的示意性斷面圖。

【主要元件符號說明】 2 檢驗物件 4 電極接點 100 探針卡 110 印刷電路板 112 電極接點 114 螺絲 120 加強件 130 探針裝配件 140 支撐件 141a 相對橫向表面 141b 相對橫向表面 142a 縱向延伸邊件 142b 縱向延伸邊件 144 縱向延伸通道 146 插入槽 128501.doc -20· 200846668 146a 第一槽 146b 第二槽 148 螺絲孔 150 探針 152 第一臂部分 * 154 第二臂部分 * 154a 切除部分 156 連接端子部分 • 156a 彈簧 156b 第一端子 158 接觸端子部分 158a 彈性臂 158b 第二端子 160 第一凹處 162 第一鉸鏈部分 164 強化部分 W 164 a 向上延伸部分 164b 連接臂部分 - 166 第二凹處 ^ 168 第二鉸鏈部分 170 絕緣樹脂 180 固持件托架 182 螺絲 190 保護部件 128501.doc •21 - 200846668 192 螺絲 200 探針卡 210 插入器 220 空間變換器 222 多層印刷電路板 224 電極接點 128501.doc -22-

Claims (1)

1. 200846668 十、申請專利範圍： 1. 一種用於在一測試頭與一檢驗物件之電極接點之間發射 電信號的探針卡，其包含： 一印刷電路板，其係連接至該測試頭且具有複數個 極接點； • 一支撐件，其係附著至該印刷電路板，該支撐件具有 -一下表面及相對橫向表面，該支撐件··包括在該下表面 上提供之一對邊件；形成在該下表面上之該等邊件間的 瞻一通道；及形成在該下表面及該等相對橫向表面上之複 數個隔開插入槽；及 插入於該等插入槽内之複數個探針，該等探針之各探 針包括-第-臂部分，其係配裝至該支撐件之該等相對 橫向表面上的該等插入槽之各槽；一第二臂部分，其從 該第一臂部分之一第一末端延伸朝向該通道；一連接端 子部分，其係提供在該第一臂冑分之一第三末端處，以 致該連接端子部分可連接至該印刷電路板之該等電極接 點的各接點，及-接觸端子部分，其係提供在該第二臂 15刀之大知處，用於接觸該檢驗物件之該等電極接點 的各接點。 2.如請求们之探針卡，其中該等插人槽之各槽包括一第 一槽’其係形成在該支撐件之該等相對橫向表面的各表 面上’及―第二槽’其係形成在該等邊件之各者上且接 合至^第-槽’該等探針之各探針的該第__臂部分插入 於該第一槽，該第二臂部分插入於該第二槽。 128501.doc 200846668 3·如請求項1之探針卡，其中該第二臂部分具有一切除部 分’其形成方式減少該支撐件及該第二臂部分間之一接 觸區域。 4·如請求項1之探針卡，其中該等探針之各探針進一步包 括一第一可彈性變形鉸鏈部分，其係提供在一其中該第 一臂部分與該第二臂部分彼此會合之接合處内。 5. 如請求項1之探針卡，其中該等探針之各探針的該連接 端子部分包括一彈簧，其係從該第一臂部分之該第二末 端延伸；及一第一端子，其係提供在該彈簧之_尖端 處。 6. 如請求項丨之探針卡’其中該接觸端子部分包括一彈性 臂，其係從該第二臂部分之該尖端延伸；及_第二端 子，其係提供在該彈性臂之一尖端處。 7. 如請求項6之探針卡’其中該等探針之各探針進—步包 化部分，其係用於強化該接觸端子部分 臂’該強化部分包括一向上延伸部分，該二 從該第二臂部分之嗲，丨、被A L 2< & 、狎口P刀 立… 延伸；及-連接臂部分， /、係用於互連該彈性臂之— 的-頂部末端。 丨刀及為上延伸部分 8.如請ί項7之探針卡，其中該等探針之各探針進一牛七 括弟二可彈性變形鉸鏈部分，其係提 /匕 9 Π =該向上延伸部分彼此會合之接合處一:。中該第 穩定地牢^ 二中該等探針係藉由一絕緣樹脂 該支撐件的該等插入槽。 12850l.doc -2- 200846668 i〇. -種用^在-測試頭與-檢驗物件之電極接點之間發射 電信號的探針卡，其包含： -印刷電路板，其係連接至該測試頭且具有複數個電 極接點； 一支樓件’其附著至該印刷電路方反，該支撑件具有一 下表面及相對橫向表面’該支撐件包括：在該下表面上 提供之一對邊件；形成在該下表面上之該等邊件間的一 通道；及形成在該下表面及該等相對橫向表面上之複數 個隔開插入槽； 插入於該等插入槽内之複數個探針，該等探針之各探 針包括一第一臂部分，其係配裝至該支撐件之該等相對 k向表面上的該等插入槽之各槽；一第二臂部分，其從 該第一臂部分之一第一末端延伸朝向該通道；一連接端 子部分，其係提供在該第一臂部分之一第二末端處，以 致該連接端子部分可連接至該印刷電路板之該等電極接 點的各接點；及一接觸端子部分，其係提供在該第二臂 口 P分之一尖端處，用於接觸該檢驗物件之該等電極接點 的各接點； 空間變換器，其係安裝在該印刷電路板與該支撐件 之間，該空間變換器具有複數個電極接點，該等探針之 各探針的該連接端子部分連接至該空間變換器之該等電 極接點的各接點；及 插入器’其係安裝在該印刷電路板與該空間變換器 之間’用於電互連該印刷電路板及該空間變換器。 128501.doc 200846668 1 1 · 種用於' ^操針卡之播/么to , 、十，/、係用於在一印刷電路板鱼 一檢驗物件之電極接點 ^ 段點之間發射電信號，該探針包含·· 一第一臂部分； 第：#邛刀’其係從該第-臂部分之-第-末端依 與該第臂部分具有一角度之關係延伸； 連接、子’其係提供在該第-臂部分之一第二 末端處，以致該連接端子部分可電連接至該印刷轉 板；及

   -接觸端子部分，其係提供在該第二臂部分之一尖端 處’用於接觸該檢驗物件之該等電極接點的各接點。 如請求項U之探針’其中該第二臂部分具有一上表面及 一在該上表面上形成之切除部分。 13. 如請求項11之探針’其進一步包含一第一可彈性變形鉸 鏈p ”八係提供在—其中該第__臂部分與該第二臂部 分彼此會合之接合處中。 14·如請求項11之探針’其中該連接端子部分包括-彈簧， 其係從該第-臂部分之該第二末端延伸；及一第一端 子，其係提供在該彈簧之一尖端處。 15.如請求項11之探針，其巾該接觸端子部分包括-彈性 臂，其係從該第二臂部分之該尖端延伸；及―第二端 子，其係提供在該彈性臂之一尖端處。 16·如明求項15之板針，其進一步包括一強化部分，其係用 於強化該接觸端子部分之該彈性臂，該強化部分包括一 向上延伸部分，該向上延伸部分從該第二臂部分之該尖 128501.doc 200846668 端向上延伸；及—連 的-中間部分及該向上延::分的其：用於互連該彈性臂 17·如請求項16之探針，其進-步：括〜:部末端。 鏈部分，其係提供在一其中該第_名弟二可彈性變形鉸 部分彼此會合之接合處内。 淨部分及該向上延伸

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