JPH1026652A

JPH1026652A - Ｉｃ測定治具

Info

Publication number: JPH1026652A
Application number: JP8198560A
Authority: JP
Inventors: Moritomo Oosato; 衛知大里
Original assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1996-07-10
Filing date: 1996-07-10
Publication date: 1998-01-27

Abstract

(57)【要約】【課題】隣り合うプローブ針の間に導電性の隔壁を設
けることによって、高周波特性を良好にし、隣り合うプ
ローブ針間でのクロストークを減少させる。【解決手段】ＩＣ測定治具は、ＩＣを着脱可能に保持
できるＩＣ保持体１０と、プローブ針を支持するプロー
ブ針支持体１２とからなる。プローブ針支持体１２に
は、測定すべきＩＣのリードに対応して、多数のプロー
ブ針２２が接着剤２３で針押さえ２４に配列固定されて
いる。針押さえ２４には多数の導電性の隔壁２５が互い
に平行に形成されていて、この隔壁２５で仕切られた空
間のそれぞれの内部にプローブ針２２が固定されてい
る。針押さえ２４は導電性材料（金属または導電性樹
脂）で一体に形成されているが、プローブ針２２が載る
部分だけは電気絶縁材料７６が被覆されている。また、
接着剤２３で固定されない部分では、プローブ針２２に
電気絶縁チューブ７８が被せられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、パッケージで封
止された状態のＩＣ部品を測定するための測定治具に関
する。

【０００２】

【従来の技術】パッケージで封止された状態のＩＣ部品
について、その電気特性を測定するには一般にテスタが
用いられる。この場合、ＩＣはＩＣソケットに装着さ
れ、このＩＣソケットにテスタが接続される。すなわ
ち、ＩＣのリードはＩＣソケットの内部の端子と接触
し、この内部端子が、ＩＣソケットの外部端子を介し
て、テスタに接続される。このＩＣソケット方式では、
ＩＣをＩＣソケットに装着するまでは、ＩＣは露出した
状態で搬送されることになり、ＩＣの取り扱いには注意
を要する。そこで、ＩＣを露出した状態で搬送するのを
避けるために、ＩＣを可搬式のＩＣソケットに装着した
状態で搬送するようなシステムにすると、ＩＣとＩＣソ
ケットとの間の電気的接触と、ＩＣソケットとテスタと
の間の電気的接触とが必要となり、電気的接触箇所が増
加する。電気的接触箇所が多くなると、測定誤差が増加
する原因となり、また、電気的接触に問題があった場合
に、どの部分の電気的接触箇所が問題なのか特定が困難
になる。

【０００３】上述のようなＩＣソケット方式の問題点を
解決するものとして、特開平７−２２９９４９号公報に
記載されたＩＣ測定治具が知られている。図１１は、こ
のＩＣ測定治具の斜視図である。このＩＣ測定治具は、
ＩＣを着脱可能に保持できるＩＣ保持体８０と、プロー
ブ針を露出した状態で支持するプローブ針支持体８２と
からなる。ＩＣ保持体８０は、上枠８４と下枠８６とを
備え、上枠８４は下枠８６に対して上下に移動可能であ
る。上枠８４の上下動に連動して、１対のリード押さえ
８８が開閉するようになっている。図１１は、上枠８４
が下がった状態を示しており、リード押さえ８８は開い
た状態にある。このＩＣ保持体８０は、長方形パッケー
ジの両側からリードが突き出たタイプのＩＣに適用され
るものである。ＩＣの長方形パッケージの短辺側は、１
対のサイドガイド９０に案内される。

【０００４】一方、プローブ針支持体８２には、測定す
べきＩＣのリードに対応して、多数のプローブ針９２が
針押さえ９４に接着剤で固定されている。プローブ針９
２は、針押さえ９４から先端までの間がすべて露出して
いる。プローブ針支持体８２には３個のガイドピン９６
が固定されていて、このガイドピン９６は、ＩＣ保持体
８０の下枠８６に形成されたガイド孔と係合する。

【０００５】ＩＣを測定するには、まず、ＩＣ保持体８
０の上枠８４の２箇所の押圧部８５をプッシャで押しつ
け、これによって、リード押さえ８８を開き、次に、真
空吸着パッドからＩＣを落とし込む。その後、押圧部８
５からプッシャを離せば、リード押さえ８８が閉じて、
ＩＣのセットが完了する。それから、ＩＣ保持体８０を
プローブ針支持体８２に押し付ければ、ＩＣ保持体８０
に保持されたＩＣのリードがプローブ針９２の先端に接
触する。そして、プローブ針支持体９２に接続されたテ
スタを用いてＩＣをテストする。

【０００６】このＩＣ測定治具によれば、次のような効
果が得られる。（１）ＩＣはＩＣ保持体に保持された状
態で取り扱うことができ、測定の際の取り扱いが容易に
なる。（２）複数のＩＣ保持体をキャリアに搭載してお
けば、複数のＩＣを同時にプローブ針に接触させること
ができる。（３）ＩＣ保持体にはＩＣのリードと電気的
に接触する部分が存在しないので、ＩＣ保持体の内部で
の電気的接触不良は全く生じないし、ＩＣ保持体ごとに
リードとの接触状態が変化するような問題も生じない。
（４）ＩＣ保持体の内部には電気的通路が存在しないの
で、ＩＣの測定の際に、ＩＣのリードからテスタまでの
距離が短くなり、また、ＩＣのリードとテスタとの間の
電気的接触箇所も少なくなる。（５）ＩＣ保持体やキャ
リアには高価な電気的接触部分が存在しないので、ＩＣ
保持体やキャリアが故障したり破損したりしても、これ
らを消耗品として交換できる。（６）プローブ針の先端
付近を、接地ラインや電源ラインに直接接続したり、あ
るいは、受動素子を介して接続したりすることによっ
て、プローブ針の先端付近から大電流を直接、接地ライ
ンや電源ラインに逃がしたり、特に高周波測定において
実装状態に近い状態でＩＣを測定したりできる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図１２は、図１１の従
来のＩＣ測定治具におけるプローブ針支持体の針押さえ
のプローブ針固定部分を拡大して示した断面図である。
電気絶縁樹脂でできた針押さえ９４の上面には多数の溝
９５が形成されている。この溝９５にプローブ針９２を
挿入して、その上から電気絶縁樹脂からなる接着剤９３
を流し込んで、これを固化させることにより、プローブ
針９２を針押さえ９４に固定している。

【０００８】図１１と図１２に示すような針押さえ構造
は、次のような問題がある。（１）高周波測定における
エネルギー損失が大きい、（２）高周波測定においてプ
ローブ針相互の間でのクロストークが大きい、（３）露
出したプローブ針の間にＩＣリードから半田片が落下す
ると、プローブ針の間でのショートの原因になる。

【０００９】この発明は、上述のような問題点を解決す
るためになされたものであり、その目的は、ＩＣ保持体
とプローブ針支持体とを別個に構成したタイプのＩＣ測
定治具において、プローブ針の支持構造を工夫すること
によって、高周波特性が良好でかつショートのおそれも
ないＩＣ測定治具を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明のＩＣ測定治具
は、複数のリードを有するＩＣを着脱可能に保持できる
ＩＣ保持体と、前記リードの配列に対応して配置された
複数のプローブ針を支持するプローブ針支持体とから構
成されているＩＣ測定治具において、隣り合うプローブ
針の間に導電性の隔壁が存在することを特徴としてい
る。そして、この導電性の隔壁は接地電位となってい
る。これにより、高周波測定の際にインピーダンスが整
合化されてエネルギー損失が少なくなり、従来よりも高
い周波数まで、低損失の測定ができる。また、特に高周
波測定において隣り合うプローブ針間でのクロストーク
が減少する。

【００１１】また、この発明では、プローブ針と導電性
の隔壁との間に電気絶縁性の材料を配置している。好ま
しくは、プローブ針に電気絶縁性の被覆を設けている。
この被覆の方法としては、プローブ針に電気絶縁チュー
ブを被せたり、プローブ針に電気絶縁材料をコーティン
グしたりする。このような被覆を施すと、ＩＣ測定の際
に、隣り合うプローブ針の間に、あるいはプローブ針と
導電性の隔壁との間に、ＩＣリードから半田片が落下し
ても、プローブ針間であるいはプローブ針と導電性の隔
壁との間でのショートを防止できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の一実施例の斜
視図である。このＩＣ測定治具は、ＩＣを着脱可能に保
持できるＩＣ保持体１０と、プローブ針を支持するプロ
ーブ針支持体１２とからなる。

【００１３】ＩＣ保持体１０は、上枠１４と下枠１６と
を備え、上枠１４は下枠１６に対して上下に移動可能で
ある。上枠１４の上下動に連動して、１対のリード押さ
え１８が開閉するようになっている。図１は、上枠１４
が下がった状態を示しており、リード押さえ１８は開い
た状態にある。このＩＣ保持体１０は、長方形パッケー
ジの両側からリードが突き出たタイプのＩＣに適用され
るものである。ＩＣの長方形パッケージの短辺側は、１
対のサイドガイド２０に案内される。

【００１４】プローブ針支持体１２には、測定すべきＩ
Ｃのリードに対応して、多数のプローブ針２２が接着剤
２３で針押さえ２４に配列固定されている。針押さえ２
４には多数の隔壁２５が互いに平行に形成されていて、
この隔壁２５で仕切られた空間のそれぞれの内部にプロ
ーブ針２２が固定されている。プローブ針２２は片持ち
梁形式であって、その先端付近は上方に折れ曲がってい
る。プローブ針２２の先端の形状はノミ形をしている。
プローブ針支持体１２には３個のガイドピン２６が固定
されていて、このガイドピン２６は、ＩＣ保持体１０の
下枠１６に形成されたガイド孔と係合する。

【００１５】ＩＣをセットするには、まず、ＩＣ保持体
１０の上枠１４の２箇所の押圧部１５をプッシャで押し
つけ、これによって、リード押さえ１８を開き、次に、
真空吸着パッドからＩＣを落とし込む。その後、押圧部
１５からプッシャを離せば、リード押さえ１８が閉じ
て、ＩＣのセットが完了する。

【００１６】図２（Ａ）は、隔壁と隔壁の間で針押さえ
を切断した状態の正面断面図である。針押さえ２４は、
プローブ針の長手方向に沿って、三つの領域２４ａ、２
４ｂ、２４ｃに分けることができる。隣り合う隔壁２５
の間において、第１領域２４ａでは高さＨ１の第１の段
部７２によって両側の隔壁２５をつないでいる。第２領
域２４ｂでは高さＨ２の第２の段部７４によって両側の
隔壁２５をつないでいる。第３領域２４ｃでは、両側の
隔壁２５の間は底面まで完全に開放している。そして、
第２の段部７４はその上面にプローブ針を固定する部分
であり、その高さＨ２は、第１の段部７２の高さＨ１よ
りも高く、また隔壁２５の高さＨ３よりも低くなってい
る。このように、針押さえ２４は、多数の隔壁２５と、
隣り合う隔壁２５の間の第１の段部７２及び第２の段部
７４とから構成されていて、これらが導電性材料（金属
または導電性樹脂）で一体に形成されている。ただし、
第２の段部７４の上面だけは電気絶縁材料７６が被覆さ
れている。すなわち、プローブ針が針押さえに接触する
部分だけは、電気絶縁材料７６が被覆されている。

【００１７】第２図（Ｂ）は針押さえにプローブ針を固
定した状態を示す正面断面図である。プローブ針２２は
第２の段部７４の上面の電気絶縁材料７６の上に載って
いて、電気絶縁樹脂からなる接着剤２３で接着固定され
ている。この図面において、プローブ針２２の左端は上
方に折れ曲がっていて、その上端がＩＣのリードとの接
触部になっている。また、右端は下方に折れ曲がってい
て、針押さえ２４の底面よりも下方に突き出している。
そして、第２の段部７４に接着固定されない部分では、
プローブ針２２に電気絶縁チューブ７８が被せられてい
る。なお、電気絶縁チューブ７８の上から接着剤２３で
固定すると、プローブ針２２が電気絶縁チューブ７８の
内部で動いてしまうので、接着剤２３で固定する部分だ
けは、プローブ針２２に電気絶縁チューブ７８を被せて
いない。したがって、電気絶縁チューブ７８は、接着剤
固定部分よりも先端側の電気絶縁チューブと、接着剤固
定部分よりも根元側の電気絶縁チューブとからなる。プ
ローブ針２２の先端の折れ曲がり部分のところではプロ
ーブ針２２が電気絶縁チューブ７８から露出しており、
また、プローブ針２２の根元付近においても針押さえ２
４の底面から下方に突き出るところでプローブ針２２が
電気絶縁チューブ７８から露出している。このように、
隣り合う隔壁２５の間の空間においては、プローブ針２
２は、接着剤２３で覆われるか、あるいは電気絶縁チュ
ーブ７８で覆われている。

【００１８】第２図（Ｃ）は第２図（Ｂ）の３Ａ−３Ａ
線断面図であり、第３図（Ａ）はその拡大図である。第
２図（Ｃ）では、隣り合う隔壁２５で仕切られた各空間
７９に１本ずつプローブ針２２が配置されているのがよ
くわかる。また、第３図（Ａ）では、プローブ針２２の
周囲が電気絶縁チューブ７８で覆われているのがよくわ
かる。電気絶縁チューブ７８の外面と隔壁２５とは接触
しておらず、両者の間には空間が存在している。第２図
（Ｃ）では、８本のプローブ針２２が針押さえ２４に固
定されているように描かれているが、実際には、測定す
べきＩＣのリード数に合わせて、多数のプローブ針２２
が針押さえ２４に固定されることになる。

【００１９】第３図（Ｂ）は第２図（Ｂ）の３Ｂ−３Ｂ
線で切断した拡大断面図である。プローブ針２２は、第
２の段部７４の上面の電気絶縁材料７６の上に載ってい
る。そして、隣り合う隔壁２５の間の空間は、プローブ
針２２が配置された状態で、電気絶縁樹脂からなる接着
剤２３が充填され、これが固まることによってプローブ
針２２が針押さえ２４に固定されている。なお、電気絶
縁材料７６として、接着剤２３と同じ材質のものを使う
こともできる。すなわち、第２の段部７４の上面に最初
に接着剤２３を薄く塗布して固化させ、これを電気絶縁
材料７６とし、その上にプローブ針２２を載せてから、
再び接着剤２３を充填して固化させる方法を採用するこ
ともできる。

【００２０】第３図（Ｃ）は第２図（Ｂ）の３Ｃ−３Ｃ
線で切断した拡大断面図である。隣り合う隔壁２５の間
の空間は針押さえの底面まで開放しており、この空間に
おいて、プローブ針２２が下方に向かって延びている。
この図面では、電気絶縁チューブ７８が針押さえの底面
付近までプローブ針２２を覆っているのがよくわかる。

【００２１】針押さえ２４の材質例を挙げると、金属の
例としては、アルミニウムやステンレス鋼を用いること
ができる。導電性樹脂の例としては、カーボンを混入し
た樹脂を用いることができる。アルミニウムの場合に
は、その表面を陽極酸化処理して、耐腐蝕性をもたせて
いる。この陽極酸化被膜は電気絶縁性なので、この被膜
を、針押さえ２４の第２の段部７４の上面の電気絶縁材
料７６として利用することができる。アルミニウム製の
針押さえの場合、その底面は上述の酸化被膜を除去し
て、後述のＧＮＤパターン４４との電気的接触を図って
いる。

【００２２】電気絶縁チューブ７８の一例を述べると、
線径０．３５ｍのプローブ針に対して、内径０．４ｍ
ｍ、外径０．４８ｍｍ、肉厚０．０４ｍｍのポリイミド
チューブを被せている。その装着方法を述べると、先端
を折り曲げた状態のプローブ針に対して、接着剤固定部
分よりも先端側に位置することになる電気絶縁チューブ
と、接着剤固定部分よりも根元側に位置することになる
電気絶縁チューブとを、順に、根元側から被せる。その
後、プローブ針の根元側を、根元側の電気絶縁チューブ
と共に折り曲げて、クランク形のプローブ針とする。

【００２３】図２に示した実施形態では、プローブ針と
導電性の隔壁との間に配置する電気絶縁材料として、プ
ローブ針に被せた電気絶縁チューブを用いているが、こ
の他の形態も可能である。例えば、プローブ針に電気絶
縁材料をコーティングするか、あるいは、隔壁の表面に
電気絶縁材料をコーティングすることで、電気絶縁チュ
ーブを省略できる。また、アルミニウム製の針押さえの
場合、隔壁の表面に陽極酸化被膜を形成しておけば、こ
れが、プローブ針と隔壁との間の電気絶縁材料としても
機能する。

【００２４】図４は、キャリアに搭載したＩＣ保持体
と、支持台に固定したプローブ針支持体とを示す正面断
面図である。ＩＣ保持体１０は、上下方向に弾性支持す
るための圧縮コイルバネ２８と、水平方向に弾性支持す
るための圧縮コイルバネ３０とを介して、キャリア３２
に搭載されている。圧縮コイルバネ２８はバネ受け２９
（図１も参照）とキャリア３２との間に介挿されてい
る。また、圧縮コイルバネ３０はキャリア本体と底板３
１との間に収納されている。

【００２５】図示のＩＣ保持体１０は、上枠１４を押し
下げた状態にあって、リード押さえ１８は開いた状態に
ある。ＩＣ３４を上方から落下させると、パッケージの
短辺側がサイドガイド２０に案内され、また、リード３
６の先端が、円弧状の断面を有するリードガイド３８に
案内されて、正しい位置に位置決めされる。上枠１４へ
の押し下げ力を解放すると、上枠１４と下枠１６との間
に介挿された圧縮コイルバネ３９の作用により、上枠１
４が上昇しする。その結果、リード押さえ１８が閉じ
て、リード押さえ１８の下端４０がリード３６を押さえ
る。

【００２６】一方、プローブ針支持体１２は支持台４２
に固定されている。プローブ針支持体１２の針押さえ２
４の底面は、支持台４２の上面のＧＮＤパターン（接地
電位の導電パターン）４４に接触していて、導電性の針
押さえ２４は接地電位になっている。プローブ針２２の
根元側は、支持台４２を貫通してから、支持台４２の下
面の配線パターン４６につながっている。この配線パタ
ーンは、支持台４２上の外部端子を経由してテスタに接
続される。

【００２７】リード押さえ１８を閉じてＩＣ３４をＩＣ
保持体１０に保持した状態でキャリア３２を搬送するこ
とができる。ＩＣ保持体１０をプローブ針支持体１２の
上方まで移動させてから、キャリア３２を支持台４２に
装着することにより、ＩＣ３４のリード３６にプローブ
針２２の先端を接触させることができる。ＩＣ保持体１
０の下枠１６には、リード３４と同数の貫通孔４８が形
成されていて、この貫通孔４８をプローブ針２２の先端
が通過して、リード３４の下面に接触する。なお、ＩＣ
保持体１０をプローブ針支持体１２に装着した状態での
プローブ針支持体１２の位置を一点鎖線で示す。

【００２８】図５は、ＩＣ保持体１０をプローブ針支持
体１２に装着した状態の正面断面図である。この図で
は、リード押さえ１８は閉じている。この断面図は、図
４とは異なる箇所で切断した断面を示しており、プロー
ブ針支持体１２側のガイドピン２６がＩＣ保持体１０側
のガイド孔に係合している状態を示している。圧縮コイ
ルバネ２８はＩＣ保持体１０を全体として下側に押しつ
ける役割を果たしており、このバネ２８の作用により、
ＩＣ保持体１０の下面５０がプローブ針支持体１２の上
面５２に確実に接触するようになっている。キャリア３
２の平面度が劣っていたとしても、このバネ２８の働き
によって、ＩＣ保持体１０とプローブ針支持体１２と
は、上下方向に正しく位置決めされる。

【００２９】図６（Ａ）はＩＣ保持体の平面図であり、
（Ｂ）は底面図である。平面図では、１対のリード押さ
え１８は閉じた状態にある。底面図においては、プロー
ブ針が貫通するための貫通孔４８が明瞭に示されてい
る。

【００３０】図７はＩＣ保持体の正面図であり、（Ａ）
は上枠１４が下がってリード押さえ１８が開いた状態に
あり、（Ｂ）は上枠１４が上がってリード押さえ１８が
閉じた状態にある。リード押さえ１８は回転シャフト５
４の所で回動できる。リード押さえ１８の両側にはピン
５６が固定されていて、このピン５６が上枠１４のガイ
ド孔５８内にスライド可能に係合することによって、上
枠１４の上下動に連動してリード押さえ１８が開閉す
る。

【００３１】図８はＩＣ保持体の側面図である。上枠１
４は圧縮コイルバネ３９によって下枠１６に対して上方
に押し上げられている。また、下枠１６に固定されたシ
ャフト６０に沿って、上枠１４がスライドするようにな
っている。

【００３２】図９は４個のＩＣ保持体１０をひとつのユ
ニットにまとめた状態を示す斜視図である。このＩＣ保
持体ユニットは、後述のキャリアに搭載して使用する。

【００３３】図１０はキャリアと支持台の一例を示す斜
視図である。キャリア３２には、８個の搭載孔６６が形
成されていて、各搭載孔６６に、図８に示したＩＣ保持
体ユニットを搭載できる。このＩＣ保持体ユニットは、
図２に示すような圧縮コイルバネ２８，３０を介して、
搭載孔６６内に弾性支持される。一方、支持台４２には
４個のプローブ針支持体１２を並べて固定し、このよう
な４個ひとまとまりのユニットを、８ユニット並べてい
る。すなわち、支持台４２にも３２個のプローブ針支持
体１２を固定する。このようなキャリア３２と支持台４
２とを用いることにより、３２個のＩＣを同時にプロー
ブ針に接触させることができる。キャリア３２に形成さ
れたガイド孔６８は、支持台４２に固定されたガイドピ
ン７０と係合できる。ガイド孔６８とガイドピン７０と
の係合は、キャリア３２と支持台４２との位置決めに用
いるものであるが、個々のＩＣ保持体とプローブ針支持
体との位置決めは、図１に示すガイドピン２６によって
決定される。

【００３４】

【発明の効果】この発明は、隣り合うプローブ針の間に
導電性の隔壁を設けることによって、従来よりも高い周
波数まで低損失の測定ができる。また、特に高周波測定
において隣り合うプローブ針間でのクロストークが減少
する。さらに、プローブ針と導電性の隔壁の間に電気絶
縁性の材料を配置しているので、隣り合うプローブ針の
間で、あるいはプローブ針と導電性の隔壁との間で、シ
ョートを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の斜視図である。

【図２】針押さえの付近を拡大して示した各種の断面図
である。

【図３】図２（Ｂ）の３Ａ−３Ａ線、３Ｂ−３Ｂ線、３
Ｃ−３Ｃ線断面図である。

【図４】キャリアに搭載したＩＣ保持体と、支持台に固
定したプローブ針支持体とを、拡大して示す正面断面図
である。

【図５】ＩＣ保持体をプローブ針支持体に装着した状態
の正面断面図である。

【図６】ＩＣ保持体の平面図と底面図である。

【図７】ＩＣ保持体の二つの状態を示した正面図であ
る。

【図８】ＩＣ保持体の側面図である。

【図９】４個のＩＣ保持体をひとつのユニットにまとめ
た状態を示す斜視図である。

【図１０】キャリアと支持台の一例を示す斜視図であ
る。

【図１１】従来のＩＣ測定治具の斜視図である。

【図１２】従来の針押さえの断面図である。

【符号の説明】

１０ＩＣ保持体１２プローブ針支持体２２プローブ針２３接着剤２４針押さえ２５隔壁２６ガイドピン４４ＧＮＤパターン４６配線パターン７６電気絶縁材料７８電気絶縁チューブ７９空間

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のリードを有するＩＣを着脱可能に
保持できるＩＣ保持体と、前記リードの配列に対応して
配置された複数のプローブ針を支持するプローブ針支持
体とからなり、ＩＣを保持した前記ＩＣ保持体を前記プ
ローブ針支持体に位置決め可能に装着することにより前
記リードが前記プローブ針に接触するように構成された
ＩＣ測定治具において、次の構成を備えるＩＣ測定治
具。（イ）前記ＩＣ保持体は、プローブ針を固定するための
針押さえを備えている。（ロ）前記針押さえは、導電性の複数の隔壁を備えてい
る。（ハ）前記隔壁で仕切られた空間のそれぞれの内部にプ
ローブ針が１本ずつ配置されている。（ニ）プローブ針が配置された状態の前記空間の少なく
とも一部に、電気絶縁樹脂からなる接着剤が充填され、
これによってプローブ針が針押さえに固定されている。（ホ）前記プローブ針は、前記空間内に配置されている
部分のうちの少なくとも前記接着剤で覆われていない部
分に、電気絶縁性の被覆が施されている。
【請求項２】複数のリードを有するＩＣを着脱可能に
保持できるＩＣ保持体と、前記リードの配列に対応して
配置された複数のプローブ針を支持するプローブ針支持
体とからなり、ＩＣを保持した前記ＩＣ保持体を前記プ
ローブ針支持体に位置決め可能に装着することにより前
記リードが前記プローブ針に接触するように構成された
ＩＣ測定治具において、隣り合うプローブ針の間に導電性の隔壁が存在してい
て、プローブ針と前記隔壁との間には電気絶縁性の材料
が存在していることを特徴とするＩＣ測定治具。
【請求項３】前記隔壁は接地電位であることを特徴と
する請求項１または２に記載のＩＣ測定治具。