TW200815723A - Heat treatment device - Google Patents

Description

200815723 九、發明說明： .【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種將被處理物加以熱處理之埶處 理裝置。 【先前技術】 先别’熱處理裝置眾所周知有#由在收容被處理物之 熱處理部内使空氣循環而加熱前述被處理物，將該被處理 物加以熱處理之物件。 _:種熱處理裝置’有時係使用於例如fpd (平面面板 :、員T ）製W工序中之光阻劑或有機物薄膜的預烘工序及 後烘工序。在這些工序中，告 一 田由玻璃基板等所構成之被處 破”、、處理時，含有光阻劑等 座I旦曰 4寻 < 輝發性成分會氣化而產 生大置幵華物，而會有前述昇 理裝置周彡，或者附著在周邊等之熱處 報中此策，有例如在曰本特開平號公 報中δ己载有在取入外氣而以加埶考 ， 處if邱囟m 4 乂加熱态加熱後，送入前述熱 慝理邛内，同時排出前 執_裡# &从 處 内之空氣，藉此使前述 再处s各κ # 上4 *又地換氣，能抑制昇華物之 冉結日日化及附著在周邊。 但疋’當如上述般地換 要非常多之電 夺在加熱取入之空氣時需 電力，熱處理裝置全體之消耗電力會變多。 【發明内容

2014-9084-PF 5 200815723 本發明之目的’係在於提供一種解決上述問題之熱處 理裝置。 本鲞明之另一目的’在於提供一種能減少熱處理裝置 全體之消耗電力的熱處理裝置。

具體說來，本發明係一種熱處理震置，其包括：熱處 理機構，在被處理物被收容於熱處理部内之狀態下，一邊 使前述熱處理部内之空氣循環一邊加熱，藉此：將前述被 處理物加以熱處理；以及換氣機構，加熱外氣而送入前述 熱處理。卩内，同化排出w述熱處理部内之空氣，藉此，將 前述熱處理部内加以換氣；其特徵在於：而且包括換氣量 調整機構，前述換氣量調整機構，係當前述熱處理機構不 熱處理被處理物時，降低由前述換氣機構所致之換氣量， 使其比前述熱處理機構熱處理被處理物時之換氣量還要 少 〇 又，本發明係一種熱處理裝置，其包括：熱處理部， _可收容被處理物·，加熱機構，加熱空氣，以使前述熱處理 部内之溫度達到能熱處理前述被處理物之溫度；以及換氣 機構，使丽述熱處理部内換氣；其特徵在於：其包括當前 述被處理物在熱處理時間以外時，降低由換氣機構所致之 換氣量，使其換氣量比熱處理時還要少之換氣量調整機 構。 又，本發明係一種熱處理裝置，其包括：熱處理部， 可收谷被處理物；加熱機構，加熱空氣，以使前述熱處理 部内之溫度達到能熱處理前述被處理物之溫度；以及換氣 2014-9084-PF 6 200815723 機構’使前述熱處理部内換氣；其特徵在於：其包括當前 述被處理物被熱處理結束後，降低由換氣機構所致之換氣 量的換氣量調整機構。 【實施方式】 以下’參照圖面來詳細說明實施本發明之最佳形態。 第1圖係本發明第1實施形態熱處理裝置1A之概略 _ 構成圖。前述熱處理裝置1A，係使用於FPD製造工序之物 件，被設於無塵室内，亦即被稱做無塵室烤箱。 月丨J述熱處理裝置1A，係包括具有以絕熱壁圍繞空間而 成之絶熱室20的裝置本體2。絕熱室20内部，係以分隔 壁24被分隔成左右。而且’比分隔壁24還要左侧之部分 係成熱處理部21，比分隔壁24還要右側之部分係成空調 部23。在分隔壁24形成有開口，前述開口内配設有過濾 器31。可通過前述開口來通氣。又，雖然未圖示，在裝置 _ 本體2處，設有連通熱處理部21内部與空調部23内部之 連通路徑。 在前述熱處理部21内部，設有能使複數被處理物（以 下單稱工件）W在上下並列狀態下被保持之工件保持部 22。而且’工件w，係在被保持於前述工件保持部22之狀 恶下被收容於熱處理部21内。工件w係例如玻璃基板等。 在前述空調部23設有加熱器32及送風機23。作為加 熱機構之加熱器32，係藉由由通電所致之發熱（焦耳熱） 而加熱空调部2 3内之空氣。送風機3 3，係使空調部2 3 2014-9084-PF 7 200815723 氣通過過濾器31而送入熱處理部21内 以送風機^空氣被送入熱處理部21内時，心理且 内之空氣，係通過未圖示之連通路徑而回到空調部^ 2。1 回到空调部23内之空氣，係再度以加熱器32來加埶 弋熱處理部21内之空氣，係在舆空調部 、循衩邊加熱，藉此，收容於熱處 會被熱處邳。+ θ 1 d内之工件w …、 ’、P，加熱器32及送風機33，係由#献 處理部^内之空氣一邊循環—邊加熱，^由使熱 加以熱處理之埶處理樯m 成將工件w 熱處理部21與空調部2 係-使在 w進行熱處理之溫度。 ‘-的項加熱到能對工件 =，加熱器32，係並非僅在熱處 在非熱處理時也會作動。亦即，即使工徠動 處理部21內日士 κι P使件讲未被收容在熱 内之溫熱器32’能使熱處理部21 門I Μ度維持在既定溫度。 在前述空調部23連接有吸氣風管Ο， 部以連接有排氣風管42β在排氣風 在H處理 稱做鼓風編。而且，當風扇心:，：有風扇(也 内之空氣會通過排氣風管42而被排出二：:：理广21 之叙你 ^ 同伴者上述 之動作，外氣會自吸氣風管 内。被送入空調部23内之外氣，係/:而送入空調部Μ 通過禍、请Μ ’、 力17熱器32加熱後， ?而被送入熱處理部21内。如此一來，熱處 風;Γ 。㈣，錢風f41、減風管& 及加熱器32,係構成加熱外氣而送入熱處理部21

2014-9084-PP 8 200815723 内同時排出熱處理部21内之空氣，藉此使熱處理部21 内換乳之換氣機構4。而且，加熱器32，係前述換氣機構 4舆刖述熱處理機構3共通使用。而1，換氣機構，係以 吸乱風官41、排氣風管42及風扇43來構成，加熱器32 也可以僅用做熱處理機構3之一個要素。 幻述及氣風管41，係具有導入外氣之1支導入風管 41c、及自丽述導入風管41ε分歧之2支流入風管 _ 41a，41b。外氣係通過2支流入風管41a，41b而流入到空 調部23内。而且，也可以不設置導入風管41c，由流入風 管41a，41b直接導入外氣。 月ίΐ述流入風管41a，41b之中，在一邊（在第丨圖之下 侧）之流入風管41a設有風量調整用之手動擋板44A，在 另邊（在第1圖之上侧）之流入風管41b設有風量調整 用之自動擋板51A。 月il述排氣風管42，係具有流出熱處理部21内之空氣 φ 的2支流出風管42a，42b、及使前述流出風管42a，42b之 空氣合流而導出外部之！支導出風管42c。而且，導出風 管42c之中途設有前述風扇43。 前述流出風管42a，42b之中，在一邊（第1圖右側） 流出風管42a設有風量調整用之手動擋板44B，在另一邊 (第1圖左侧）流出風管42b設有風量調整用之自動擋板 51B 〇 設於前述流入風管41b之自動擋板51A及設於前述流 出風管42b之自動擋板51B，係構成第2圖所示之換氣量 2014-9084-PF 9 200815723 "周整機構5A °前述換氣量調整機構5A，係在自動擋板 51A，51B之外，具有用於調整自動擋板5lA，5lB開度之擋 板控制部52。 M述擔板控制部52,係當前述熱處理機構3不熱處理 工件¥時，控制驅動自動擋板51A，51B，以使降低換氣機 構4之換氣1以低於前述熱處理機構3熱處理工件w時之 換氣里。以下，芩照第3圖所示時序表而具體說明擋板控 制部52實施之控制。 首先，當工件w未被搬入熱處理部21内時，擋板控 制部52,係驅動自動擋板51Α，51β使流入風管4比及流出 風官42b在關閉方向移動，而使自動擋板η a，5ib成為全 閉狀I、此日守之換氣量，係只要使熱處理部21内靜壓保 持-定程度即可，手動擋板44A，44B之開度係被設定成能 確保該種換氣量之程声& 0

里 < 缸度而且，此時之自I動擋板51A，51B 無需為全㈣態。亦即’藉由與手動擔板44Α，44β之關係， 也可以使桃入風官4lb及流出風;|> 42b成僅打開少許之狀 在工件w被搬入熱處理部21内時，擔板控制部 係驅動自動擒W1A，51B使流入風管仙及流出風管似 往打開方向移動。此時’為了防止熱處理冑2i内溫度不 穩定，擒板控制部52,係花費既定時間（例如1G分鐘） 來慢慢使自動擔板51A，51B成全開狀態。當工件w被搬入 熱處理部内時，開始由熱處理機構3所致之工… 處理。工件W隨著熱處理而揮發成分開始蒸發，但是，: 2014-9084-PF 10 200815723 熱處理剛開始後不久的產生量很少，所以還沒有問題。 在此’所謂使工件W搬入熱處理部21内時，係設於 熱處理裝置内且檢知有無工件W之例如光電偵知器（未圖 不）等工件檢知機構檢知到工件w時之謂。而且，當熱處 理裝置1A被組合入FpD製造工序生產線内時，也可以接 受來自圖外上游裝置等之工件搬入訊號。又，在此情形 下’如第3圖中箭頭a所示，也可以在自上游裝置等搬入 件W之疋8寸間i接收訊號，而如第3圖中假想線所 示，比實際搬入工件w之時點還要快地開始驅動自動擋板 51A,51B 。 •丨丨丨跟八恐处狂部内經過既定時間名 至工件W被搬出熱處理部21為止之間，擋板控制部 係維持自動擋板叫⑽為全開狀態，以使能確保既定 氣量。 當由熱處理機構3所致之卫件w熱處理結束後，工 W自熱處理部21被搬出時，擋板控制部52,係當工件 被搬出熱處.理部21後再經過一定時間，換言之在前 工件檢知機構無檢知工件時開始 : ^ ^ 疋％間後，驅動 動擋板51A，51B使流入風管$ 1 h另、古山 ^叙…“ 出風管42b往關閉

向私動’而使自動擋板51Α，51β成全閉狀I 防止熱處理部21内之空氣溫度不穩定，或者，為二 在熱處理部21内含有殘留揮於& " 參』 52,係經過既定時間（例如1〇 狺扳控制‘ 、’里）使自動擒板^A G 7 成全閉狀態。亦即，在工件w熱， 外和間之換氣量

2014-9084-PF 200815723 係比工件w熱處理時之換氣量還要少。而且，依揮發成分 之產生里不同，也可以在工件w被搬出熱處理部時之 同時，開始驅動自動擋板51Α，51β。 如此一來，在第1實施形態之熱處理裝置1Α中，藉 由換氣量調整機構5A，在非熱處理時之換氣量會被壓抑： 所以S非熱處理知’加熱器32加熱外氣所需之電力會 變少，能降低熱處理裝置全體之消耗電力。 而且，在第1實施形態中，雖然使流入風管41a，41b 及流出風管42a，42b分別表示設置2支之形態，但是，當 自動檔板51A’ 51B知用具有狹縫之擋板時，也可以省略一 邊Xml入風管4 1 a、一邊流屮爾其j 〇 r> - 遭现出風官42a及手動擋板44A，44B 〇 接著參第4圖〜第6圖來說明本發明第2實施形 態之熱處理裝㈣。而且，在與第】實施形態相同構成部 分則賦予同一編號，其說明則予以省略。 在第2實施形態之熱處理裝置1B中，吸氣風管41及 排氣風管42係分別以1支風管來構成，在這些吸氣風管 41及排氣風管42上設有手域板44A，44B。 熱處理裝置1B，係具有當熱處理機構3不熱處理工件 :時:減少由換氣機構4所致之換氣量，使其換氣量比埶 處理機構3熱處理工件W時還 、 义、+、德〆曰 了還要）的換氣量調整機構5B〇 則述換氣置調整機構5B，係且 控制部53。 I、有控制風扇43轉速之風扇 前述風扇控制部53,如第6圖心1以# 被搬入熱處理部21内時，維 ，、田 。未 、八扇轉速較慢，當工件

2014-9084-PF 12 200815723 W被搬入熱處理部21内時，經過既定時pa〆 〇 守間（例如10分鐘） 後使風扇4 3轉速逐漸加快。 而且，與第1實施形態相同地，所★ 所明使工件w搬入埶 處理部21内時，係設於熱處理裝置内 、

知知有無工件W 之例如光電偵知器（未圖示）等工件檢知 紙稱檢知到工件 W時之謂。又，當熱處理裝置1B被組合 、rru製造工序生 產線内時，也可以接受來自圖外上游裝 哥之工件搬入訊 號，也可以在自上游裝置等搬入工件¥之一〜 α 疋時間前接收 A號，而自貫際搬入工件ψ前加快風扇* 3 逮。 而且，當工件W被搬入熱處理部21 ^ ^ w π 日寸，雖然開始由 熱處理機構3所致之工件f熱處理，但是 一& 目工件f搬入 熱處理部21内經過既定時間後，至工件 、 破搬出熱處理 部21為止之間，風扇控制部53，係維 '領43之轉速， 以使能確保既定換氣量。 當由熱處理機構3所致之工件w熱處理結束時，在工 件Ψ被搬出熱處理部21時，風扇控制部53，= 工

保自工件W 被搬出熱處理部21再經過一定時間後，經過既定時間（例 如1 〇分鐘）逐漸使風扇43轉速減慢。而且，盎， 厶匕 ，、1·貫方包 形恶相同地’也可以在自熱處理部21搬出 , 仟W之同時， 減慢風扇43之轉速。 如此一來，也能獲得與第〗實施形態相同致果。 而且，風扇控制部53,如第7圖所示，當工件W尚未 被搬入熱處理部21内時，也可以事先停止風扇，在工 件w被搬入熱處理部21内前’使風扇43·以低轉速旋轉， 2014-9084-PP 13 200815723 或者如第7圖假想線所示，也可以直到工件界被搬入熱 處理邛21内為止事先停止風扇43 ’當工件W被搬入時， 再驅動風扇43。 、 接著，說明本發明第3實施形態之熱處理襞置。前述 熱處理裝置，雖然未圖示，係在第1實施形態熱處理裝置 1A中之換氣量調整機構5A加上第2實施形態之風扇控制 部53。亦即，換氣量調整機構5八，係含有擔板控制部^ 及風扇控制部53。 _ #使用這種熱處理裝置時，如第8圖所示，也可以使 自動擋板51A，51B與風扇43獨纟，或者，使其相關連而 控制之。例如，也可以使風扇43之驅動與自動擋板 51A’51B之開放同時，或者，使其有時間差而驅動兩=。 而且，在第1實施形態〜第3實施形態中，也可以在 ㈣機構吸氣風管41中途另外設置加熱器，而使吸氣風 管41直接連接到熱處理部21。 _^在此’概要說明本實施形態。 ⑴在本實施形態、中，係、以換a量調整機構來抑制 非熱處理時之換氣量，所以，在非熱處理時換氣機構用於 加熱外氣之必要電力很少，能減少熱處理裝置全體之消耗 電力。 (2 )在本實施形態中，前述換氣機構，係具有吸入 外氣之吸氣風管、及排出前述熱處理部内空氣之排氣風 管，前述換氣量調整機構，係具有：自動擔板，分別設於 前述吸氣風管及排氣風管，用於風量調整；以及擋板控制 2014-9084-PF 14 200815723 部，當前述熱處理機構熱處理被處理物 播板使其往打開前述吸氣風管及排氣風管之=料自動 前述熱處理機構不熱處理被處理物時，向移動，當 使其往關閉前述吸氣風管及排氣風管之方^述自動擋板 (3 )在本實施形態中，前述換氣機槿夕動。 刖述熱處理部内空氣之排氣風管、有排出 途之風扇，前述換氣量調整機構，係且有：述排氣風管中 構熱處理被處理物時，使前述風扇之轉速 熱處理被處理物時，使前述風扇之轉::慢: ”二?形態中，具有與前述熱處理部分隔之 刖述熱處理機構，係使前述熱處理部内之办5 + 與丽述空調部之間一邊循環一邊加熱。 二札在 (5 )在本實施形態中，係以換氣量調整機槿 非熱處理時之換氣量，所以，在 末抑制 加熱外氣之必要電力"、m广加熱機構用於 f電力很一心熱處理裝置全體 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明第！實施形態熱處理裝置之概略 圖 構成 $ 2圖係第〗實施形態換氣量調整機構之方塊圖。 第3圖係第1實施形態熱處理裴置之時序圖。〇。 第4圖係本發明第2實施形態熱處理裝置之概略構 2014-9084-ΡΡ 15 200815723 第5圖係第2實施形態換氣量調整機構之方塊圖。 第6圖係第2實施形態熱處理裝置之時序圖。 第7圖係變形例之時序圖。 第8圖係第3實施形態熱處理裝置之時序圖。 【主要元件符號說明】

2 裝置本體 3 熱處理機構 4 換氣機構 20 絕熱室 21 熱處理部 22 工件保持部 23 空調部 24 分隔壁 31 過濾器 32 加熱器 33 送風機 41 吸氣風管 42 排氣風管 43 風扇 52 擋板控制部 53 風扇控制部 1A 熱處理裝置

2014-9084-PF 16 200815723 1B 熱處理裝置 41a，41b流入風管 41c 導入風管 42a，42b流出風管 ^ 42c 導出風管 44A 手動擋板 44B 手動擋板 51A 自動擋板 ® 51B自動擋板 5A 換氣量調整機構 / 5B 換氣量調整機構 W 被處理物 2014-9084-PF 17

Claims (1)

1. 200815723 看 十、申請專利範圍·· 1 · 一種熱處理裝置，包括： 熱處理機構，在被處理物被收容於熱處理部内之狀態 下，一邊使前述熱處理部内之空氣循環一邊加熱，藉此， 將前述被處理物加以熱處理；以及 換氣機構’加熱外氣而送入前述熱處理部内，同時排 出前述熱處理部内之空氣，藉此，將前述熱處理部内加以 • 換氣； 其特徵在於： 而且包括換氣量調整機構，前述換氣量調整機構，係 當可述熱處理機構不熱處理被處理物時，降低由前述換氣 機構所致之換氣量，使其比前述熱處理機構熱處理被處理 物時之換氣量還要少。 ^ 2.如申請專利範圍第1項所述之熱處理裝置，其中， 如述換氣機構係具有吸人外翁 , 力叹八外乱之及乳風官、及排出前述埶 • 處理部内空氣之排氣風管； …、 前述換氣量調整機構係具有·· 自動擋板，分別設於前述吸氣風管與前述排氣風管， 用於調整風量；以及 ^板彳工制邛，當一述熱處理機構熱處理被處理物時， 控制驅動前述自叙# 4c & & y ^ 動擋板使其彺打開前述吸氣風管與前述 排氣風管之方向移動 ^ ^ 夕動田則途熱處理機構不熱處理被處理 物時，控制驅動# 11述自動擋板使其往闕閉前述吸氣風管盥 珂述排氣風管之方向移動。 2014-9084-PF 18 200815723 ，其中， 之排氣風 前述 管、 一申明專利範圍弟1項所述之熱處理裝置 換氣機構係具有排出前述熱處理部内空氣 及設於前述排氣風管中途之風扇； 蚋I換氣里凋整機構係具有風扇控制部，前述風扇控 制邛係在則述熱處理機構熱處理被處理物時加大前述風 羽之轉速在4述熱處理機構不熱處理被處理物時減 述風扇之轉速。 j 4·如申請專利範圍第1至3項中任-項所述之熱處理 叙置，其中，具有與前述熱處理部分隔之空調部， 一前述熱處理機構係一邊使前述熱處理部内空氣在座 前述空調部之間循環一邊加熱。 /、 5· —種熱處理裝置，包括： 熱處理部，可收容被處理物； 加熱機構，加熱空氣，以使前述熱處理部内之溫度達 到能熱處理前述被處理物之溫度；以及 _ 換氣機構，使前述熱處理部内換氣；其特徵在於： 包括當前述被處理物在熱處理時間以外時，降低由換 氣機構所致之換氣量，使其換氣量比熱處理時還要少之換 氣量調整機構。 、 6 · —種熱處理裝置，包括： 熱處理部，可收容被處理物； 加熱機構，加熱空氣，以使前述熱處理部内之溫度達 到能熱處理前述被處理物之溫度；以及 換氣機構，使前述熱處理部内換氣；其特徵在於： 2014-9084-PF 19 200815723 包括當前述被處理物被熱處理結束後，降低由換氣機構所 致之換氣量的換氣量調整機構。

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