TW200800773A - Floating device and carrying device - Google Patents

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(1) (1)200800773 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於利用壓縮空氣等流體使對象物浮起的浮 起裝置及搬送裝置。 【先前技術】 習知技術，已提案有幾種利用壓縮空氣等流體使對象 物浮起的浮起裝置及搬送裝置。其中多數的浮起裝置，具 備有流體可通過的噴嘴或多孔質的構件。噴出古浮起裝置 和對象物之間的流體會產生壓力，利用該壓力使對象物浮 起。其相關技術是揭示在國際專利申請公開第 W003/0 6096 1號小冊或日本特許出願公開2000-62950號 公報。 【發明內容】 於浮起裝置中，可使對象物浮起的力（浮升力）的來 源’是流動在浮起裝置和對象物之間的流體壓力。壓力若 是根據位置有所不同時，則會產生不均勻的浮升力。若過 度不均勻時，則對象物會產生彎曲，恐怕會導致對象物失 去平衡而從浮起裝置上脫離或傾翻。 本發明是有鑑於上述問題點而爲的發明，目的在於提 ί共一種利用流體可使均勻浮升力施加於對象物的浮起裝置 及搬送裝置。 根據本發明的第i形式時，利用流體將具有平面狀下 (2) 200800773 面的對象物浮起用的浮起裝置’具備有：具平面狀上面的 基部；及形成在上述基部於上述上面具有開口部，被配置 成可產生空間使上述流體以均句壓力流動在上述開口部所 包圍的上述上面的區域和上述對象物的上述下面之間的上 * 述流體噴出用的噴出孔。 其中’上述噴出孔最好是至少在上述基部的上述上面 附近’朝上述區域的內側傾斜。此外，上述浮起裝置，最 φ 好是又具備有複數組的上述基部和上述噴出孔，各上述上 面是排列形成爲單一平面。另外，最好是又具備有可使通 過上述噴出孔的上述流體成爲均勻化的均勻化手段。再加 上’上述均勻化手段，最好是可使配置在上述噴出孔內部 的上述噴出孔寬度保持成均等的手段，或者是，被配置成 可連通於上述噴出孔的複數節流孔（throttle )。或者，上 述噴出孔最好是由矩形環狀或一對L字形或二組平行的直 線狀所成群的任一形狀。 φ 根據本發明的第2形式時，利用流體將具有平面狀下 面的對象物浮起後搬送用的搬送裝置，具備有：具平面狀 上面的基部；形成在上述基部於上述上面具有開口部，被 配置成可產生空間使上述流體以均勻壓力流動在上述開口 部所包圍的上述上面的區域和上述對象物的上述下面之間 的上述流體噴出用的噴出孔；及上述對象物驅動用的驅動 手段。 其中，上述噴出孔最好是至少在上述基部的上述上面 附近，朝上述區域的內側傾斜。此外，上述搬送裝置最好 -6 - (3) 200800773 是又具備有複數組的上述基部和上述噴出孔’各上述上面 是排列形成爲單一平面。另外，最好是又具備有可使通過 上述噴出孔的上述流體成爲均勻化的均勻化手段。再加 上，上述均勻化手段，最好是可使配置在上述噴出孔內部 ' 的上述噴出孔寬度保持成均等的手段，或者是被配置成可 ' 連通於上述噴出孔的複數節流孔（throttle )。或者，上述 噴出孔最好是由矩形環狀或一對L字形或二組平行的直線 φ 狀所成群的任一形狀。 【實施方式】 [發明實施形態] [第1實施形態] 第1圖爲表示本發明第1實施形態相關的搬送裝置1 的槪略構成透視圖，第2圖爲表示搬送裝置1的槪略構成 平面圖，第3圖爲第2圖從箭頭符號III所示方向看的箭 φ 頭方向視圖。 搬送裝置1是利用流體將具有平面狀部位的對象物浮 起後搬送用的裝置。對象物是指整體爲平面狀的物體，例 如最好是LCD (液晶顯示器）用的玻璃基板等，但並不一 定要整體爲平面狀的物體，只要其下面的至少一部份爲平 面狀的物體即可。爲讓對象物浮起例如是利用如空氣般的 流體。對象物W，如第1圖所示，是由搬送裝置1使其朝 垂直方向浮起，朝水平方向的一方向AR1搬送。搬送裝置 1具備有浮起裝置3和驅動手段5。 (4) 200800773 對象物W，若是爲LCD用的薄玻璃基板等需要在無 塵環境下進行搬送的物體時，上述搬送裝置1是可使用在 無塵室內等無塵環境下。以下，爲了方便說明，以對象物 w爲玻璃基板W時的例子進行說明。 上述浮起裝置3，具備有具平面狀上面的基部7於該 基部7 ’設有可噴出壓縮空氣的環狀流體噴出孔9。 流體噴出孔9是於上述基部7的上面設置成其開口部 φ 11大致包圍著上述基部7上面當中指定的區域（第2圖中 斜線所示區域）1 3。 於此，針對浮起裝置3進行更詳細的說明。 第4(a)圖爲浮起裝置3的剖面圖（表示第2圖的 IVA-IVB剖線剖面圖），第4 ( b )圖爲表示對應第4 (a)圖的浮起裝置3的壓力分佈圖。 上述流體噴出孔9’如第1圖、第2圖、第4(a)圖 所示，呈現長條形狹窄寬度的環狀狹縫的形狀。此外，上 φ 述流體噴出孔9，具有從上述開口部1 1起算的指定深度。 另外，上述流體噴出孔9是在上述基部7的至少上面 附近，傾斜成朝向上述區域13的內側。即，從上面的上 方看時，上述噴出孔9的淺部位是接近上述區域1 3，上述 上述流體噴出孔9的深部位是看起來較遠。 再加上，於上述區域1 3的外側，設有緣部15以環狀 包圍著上述區域13。緣部15從上方看時，具有較窄的寬 度。 搬送裝置1，具備有複數的上述浮起裝置3。各浮起 -8- (5) 200800773 裝置3的各基部7是排列在搬送裝置1的基台（未圖示） 上。複數的基部7，例如是排列成於水平方向彼此接近， 各上面形成爲單一平面。 另，上述緣部1 5，至少是在上述玻璃基板W的搬送 方向AR1形成爲狹窄。此外，上述各基部7，至少是於搬 ' 送方向AR1，形成爲彼此接近。 更詳細地說，從上方看時，浮起裝置3的基部7是形 φ 成爲長方形。基部7的長度方向是和搬送方向AR1 —致， 基部7的寬度方向是和上述搬送裝置1的寬度方向一致 (參照第1圖、第2圖）。 此外，如第4 ( a )圖所示，基部7，具備有：下側構 件1 9 ;及重疊在下側構件1 9上面的內側構件2 1和外側構 件23。下側構件1 9是於其上面具有環狀溝槽1 7。外側構 件2 3是配置成包圍著內側構件2 1。藉由外側構件2 3和內 側構件2 1彼此的稍微分離，使流體噴出孔9形成在兩者 φ 之間。上述溝槽17和上述流體噴出孔9是形成彼此連通 著。內側構件2 1的上面爲區域1 3，外側構件23的上面爲 緣部1 5。 另，第4(a)圖雖然是第2涵的IVA-IVB剖線所示 方向的基部7剖面圖，但同樣也是IVC-IVD剖線所示方向 的基部7剖面圖。 壓縮空氣是從未圖示的壓縮空氣供應裝置供應至上述 下側構件1 9的溝槽1 7，該供應的壓縮空氣是從上述流體 噴出孔9噴出。 -9 - 200800773 (6) 其次，針對驅動手段5進行以下說明。驅動手段5 一種爲了搬送由上述浮起裝置3浮起的玻璃基板W而 上述玻璃基板W朝水平方向加以驅動的手段。 上述驅動手段5，如第1圖或第2圖所示，具備有 * 數的滾輪27。該等各滾輪27是於上述搬送裝置的兩側 ' 排列配置在玻璃基板W的搬送方向。此外，未圖示的 達等致動器是透過鍊條等動力傳達構件（未圖示），使 φ 等各滾輪27連結成可驅動。藉此，使各滾輪27以相同 旋轉速度形成旋轉。 上述各滾輪27的上端部是位於1個水平面上，將 述玻璃基板W載置在上述各滾輪27而以上述各滾輪 的旋轉來搬送上述玻璃基板W。 此外，如第3圖所示，上述各滾輪27的上端部是 置成比上述基部7的上面還稍微位於上側。 另，驅動手段5，除了如上述般以滾輪構成以外， φ 能夠以可用輸送皮帶構成。或者，將驅動手段5構成爲 夾持來搬送玻璃基板W。 接著，針對搬送裝置1的動作進行說明。 如第1圖所示，在由搬送裝置1搬送著玻璃基板 的狀態下，由上述浮起裝置3使玻璃基板W形成浮 著。 因此，以下是針對該浮升狀態進行詳細說明。 如第4 ( a )圖所示，壓縮空氣是通過流體噴出孔9 噴出在基部7的上面。 是 將 複 馬 該 的 上 27 設 還 以 W 升 被 -10 - 200800773 ⑺

從環狀流體噴出孔9噴出的壓縮空氣，是形成爲環狀 的氣幕。噴出的壓縮空氣，如第4 ( b )圖所示，在開口部 11所包圍的區域13和玻璃基板W下面之間，產生可使上 述壓縮空氣以均勻壓力流動的空間A。藉由以具有均勻壓 ' 力的空間A支撐著上述玻璃基板W，使上述玻璃基板W ' 浮起。 根據浮起裝置3時，流體噴出孔9的開口部1 1是設 φ 置成大致包圍著上述基部7上面當中的區域13，因此當玻 璃基板W載置在上述基部7從上述開口部11噴出壓縮空 氣時’透過上述流體噴出孔9就會形成有環狀的氣幕。 接著，藉由以具有均勻壓力的空間A支撐著上述玻璃 基板W，就能夠使上述玻璃基板W獲得均勻的浮升力。 如上述因玻璃基板W是受到大致均勻的浮升力，所 以即使玻璃基板W的剛性小，還是能夠幾乎不彎曲地浮 起。 φ 此外，浮起裝置3又和習知技術般依賴流路壓損來支 撐玻璃基板的狀況不同，是由具有均勻壓力的空間A支撐 著玻璃基板W。所以，是以較少的壓縮空氣噴出量使玻璃 基板W浮得較高，因此，就能夠使玻璃基板W和基部7 之間的距離變大，藉此能夠避免玻璃基板W接觸到上述 基部7。 另外，根據浮起裝置3時，由於是由具有均与壓力的 空間A以均勻的力量支撐著玻璃基板W，因此即使是剛性 小的薄板狀玻璃基板W的端部偏離上述空間A，但上述端 -11 - 200800773 (8) 部還是難以接觸到上述基部7。 此外，根據浮起裝置3時，以流體噴出孔9的開口部 1 1設置成大致包圍著上述基部7上面當中的區域1 3，如 此形成的簡素構成就能夠形成具有均勻壓力的空間A。 ’ 再加上，根據浮起裝置3時，上述流體噴出孔9是於 • 上述基部7的至少上面附近，朝上述區域1 3的內側開口 在上述基部7。因此，上述區域13上的空間A的壓力就 φ 更容易成爲均勻。 另外，根據浮起裝置3時，由於上述流體噴出孔9是 形成爲長條形狹窄寬度的環狀，因此形成有上述流體噴出 孔9時的基部7加工容易。此外，異物不容易堵塞流體噴 出孔9。 根據浮起裝置3時，因緣部1 5爲狹窄寬度，所以能 .夠鄰接基部7配置成非常接近基部7。相對於此，具有均 勻壓力的空間A是爲大面積。於緣部1 5上，玻璃基板W φ 是不會受到浮升力，但玻璃基板W移動時，能夠馬上到 達鄰接的基部7上。因此，能夠避免上述玻璃基板W的 端部彎曲，能夠避免上述玻璃基板W的端部接觸到上述 基部7。 上述浮起裝置3的流體噴出孔9是於上述基部7的上 面具有開口部11，並且，在對象物平面狀的下面朝向上述 基部7放置在上述基部7上時，構成爲於上述開口部1 1 所包圍的區域產生有可使流體以均勻壓力流動的空間。 流體噴出孔9，也可變形成如第5圖所示的流體噴出 -12- 200800773 Ο) 孔9a或第6圖所示的流體噴出孔9b。第5圖變 體噴出孔9a是朝向基部7a的上面（玻璃基板W 大致成直角。第6圖變形例的流體噴出孔9b是 爲小圓形狀，複數的流體噴出孔9b是彼此相鄰。

' 此外，上述搬送裝置1是針對玻璃基板W

" 向搬送時的例子進行了說明，但在玻璃基板W 斜於水平方向的方向搬送時，同樣也可應用上述 φ 裝置1。 [第2實施形態] 第7圖爲表示本發明第2實施形態相關的搬 使用的浮起裝置50的槪略構成透視圖，第8圖爲 圖的 VIIIA-VIIIA剖線、VIIIB-VIIIB剖線剖面 對應第4(a)圖的圖面。第9圖爲表示浮起裝濯 解狀態透視圖。 φ 第2實施形態相關搬送裝置的浮起裝置5 0， 第1實施形態相關的浮起裝置3不同之處，是其 使通過流體噴出孔9的流體成爲均勻化的手段。 的構成，浮起裝置5 0是和浮起裝置3大致相同 是藉由將流體噴出孔9的寬度形成均等，以使通 出孔9的流體成爲均勻化。 浮起裝置50的流體噴出孔9是配備在第1 側構件21 )和第2構件（外側構件23 a )之間。 小突起5 1是一體形成在內側構件2 1、外側構件 形例的流 的下面） 各個形成 朝水平方 朝若干傾 上述搬送 送裝置所 r表示第7 圖，其是 [5 0的分 其和上述 具備有可 至於其他 。突起51 過流體噴 構件（內 複數的微 23a當中 -13- (10) 200800773 至少一方的構件上，藉此規定流體噴出孔9的寬度。 舉例說明，下側構件（和第1實施形態相關的下側構 件同樣構成的下側構件）1 9是形成爲矩形板狀，於該下側 構件1 9的上面設有矩形環狀溝槽1 7。 內側構件（和第1實施形態相關的內側構件同樣構成 的內側構件）2 1是形成爲各腳長度（4個斜邊長度）彼此 相等的等斜邊四角錐梯形。 φ 外側構件23 a是以內側構件21相同厚度（高度）形 成爲「口」字形。於外側構件2 3 a的4個內側斜面5 3 — 體設有微小突起5 1。 更詳細地說，是於外側構件23a的第1個斜面53 A的 長度方向大致中央部，設有朝斜面高度方向（空氣流動方 向）細長延伸的狹窄寬度突起51A。同樣地，於第1個斜 面53A鄰接的第2個斜面53B也設有突起51B，於第2個 斜面5 3 B鄰接的第3個斜面5 3 C也設有突起5 1 C，於第1 φ 個斜面53A及第3個斜面53C鄰接的第4個斜面53D也 設有突起5 1 D。 接著，在用螺栓等緊固構件將內側構件2 1和外側構 件23a組裝在下側構件19完成浮起裝置50的狀態下，外 側構件23a內側的各斜面53 (53A、53B、53C、53D)是 隔著指定的些許距離（相當於各突起51高度的距離）， 對內側構件21的各斜面55 (55A、55B、55C、55D)成平 行配置。即，各突起51的前端部是和內側構件21的各斜 面5 5形成接觸，藉此決定流體噴出孔9的寬度（內側構 -14- (11) (11)200800773 件21的斜面 55和外側構件23a的斜面53之間的距 離）。 從第7圖中可理解得知，將內側構件2 1和外側構件 23a組裝在下側構件19所構成的浮起裝置50 (基部7)的 大致外觀，是成爲上面中央部形成有矩形環狀開口部（流 體噴出孔9的開口部）1 1的長方體形狀。 另，於浮起裝置50，各突起5 1是形成爲細長的四角 柱狀，但也可形成爲其他的形態（例如小的長方體形狀或 圓柱狀），突起的位置也可位於斜面的端部而不位於中央 部，此外，1個斜面也可設有複數的突起。 再加上，只要設有可使內側構件21和外側構件23a 組裝在下側構件1 9時能夠達到良好精度的流體噴出孔9 之所需最小限度的突起即可。例如：也可於第9圖所示的 外側構件2 3 a，省略第3個斜面5 3 C的突起5 1 C，又可省 略第4個斜面53D的突起51D。 此外，於浮起裝置50，只在外側構件23a設有突起， 但也可只在內側構件2 1 (斜面5 5 )設有突起，又可在內 側構件2 1和外側構件2 3 a的雙方設有突起。即，如上 述，可於外側構件23 a、內側構件2 1當中的至少一方設有 突起。 根據浮起裝置5 0，因流體噴出孔9的寬度是由突起 5 1加以規定’所以容易形成有良好精度的流體噴出孔9寬 度，因此能夠提供組裝容易的浮起裝置50。 即’於本件發明相關的浮起裝置中，若流體噴出孔9 -15- 200800773 (12) 寬度精度差且不均等時，則從流體噴出孔9噴出的空氣量 會有所偏差等，如此一來將難以穩定形成具有均与壓力的 空間A。換句話說，流體噴出孔9的寬度精度對於讓對象 物浮起時的性能影響大° 第1實施形態相關的浮起裝置3 ’爲獲1%良好的流體 ' 噴出孔9的寬度精度，在內側構件21和外側構件2 3 a組 裝於下側構件19時，例如··於流體噴出孔9的部份事先 φ 設有墊片（shim)，將內側構件21和外側構件23a組裝 在下側構件19後，去除上述墊片（shim )，藉此獲得具 備有寬度精度良好之流體噴出孔9的浮起裝置3，但如上 述使用墊片（shim )的方法是需要較多的組裝時間。 浮起裝置50是在外側構件23 a設有突起5 1，利用突 起5 1決定流體噴出孔9的寬度，因此組裝時不需要使用 墊片（shim )，就容易形成有良好精度的流體噴出孔9寬 度。 修 另’外側構件2 3 a，例如是利用樹脂射出成型形成， 但外側構件23 a的突起$ 1是形成爲不會產生過熔低陷的 形態。 . 外側構件23 a以射出成型來形成時，容易一體構成具 備有斜面53及突起51的外側構件23，可使浮起裝置50 的零件數量變少’能夠更進一步降低組裝工數。另，內側 f冓ί牛21 ^ T _ _件〗9也是以利用樹脂射出成型構成爲 佳。 胃著1’#對第2實施形態相關的浮起裝置50的變形 -16- 200800773 (13) 例的浮起裝置6 1進行說明。 第10圖、第11圖是表示浮起裝置61的分解狀態 圖，第12圖爲第1 1圖從箭頭符號XII所示方向的箭頭方 向視圖，是表示浮起裝置61的組裝狀態圖，第1 3圖爲第 ’ 12圖從箭頭符號XIII所示方向的箭頭方向視圖。 ' 浮起裝置6 1，具備有浮起裝置50的下側構件1 9和內 側構件2 1經一體化的內側構件62。內側構件62是將溝槽 φ 1 7取代成在相當於浮起裝置50的下側構件1 9的部位在浮 起裝置50的內側構件21的根部，設有空氣供應至流體噴 出孔9用的複數貫通孔63。 浮起裝置6 1具備有支撐構件65。支撐構件65是在其 當中的一面具有朝長度方向延伸的開口溝槽66，形成爲對 其長度方向成垂直平面切割的剖面爲C字形。內側構件 62和外側構件23 a是設置在支撐構件65上，形成爲覆蓋 著開口溝槽66。複數組的內側構件62和外側構件23a是 φ 排列在支撐構件65的長度方向，於相鄰的外側構件23a 之間設有間隔件6 7。支撐構件6 5的長度方向端部是以蓋 構件69覆蓋著，藉此於支撐構件65的內部形成空間68。 於該空間68，當供應有來自未圖示空氣壓供應源的壓 縮空氣時，從流體噴出孔9就會噴出壓縮空氣，如第i 2 圖所示，使對象物W浮起。 另，也可省略間隔件67，只有內側構件62及外側構 件23 a排列設置在支撐構件65。 如上述’浮起裝置66 1是由內側構件62等組裝在支 -17- 200800773 (14) 撐構件65上所構成，因此容易形成普遍使用性高的長尺 度浮起裝置6 1。即，不用刻意準備長度不同規格化的好幾 種浮起裝置，於製作時就能夠容易變更長度。因此，可利 用在根據需求形成尺寸的搬送裝置上。 不過，上述各浮起裝置3、50、61，如第14圖（表示 ' 外側構件的槪略形態圖）所示，將外側構件23 a形成爲 「口」字形，但也可如第1 5圖所示組合2個「L」字形構 馨件來構成外側構件23 a，又也可如第1 6圖所示組合4個 「I」字形構件來構成外側構件23 a。再加上，也可組合1 個「口」字形構件和1個「I」字形構件來構成外側構件 23a。 [第3實施形態] 第1 7圖爲表示本發明第3實施形態相關的搬送裝置 所使用的浮起裝置8 0的槪略構成剖面圖，其是對應第8 φ 圖的圖面。第1 8圖爲表示中間構件8 1的槪略構成透視 圖。 第3實施形態相關的搬送裝置所使用的浮起裝置80, 和上述第1實施形態相關的浮起裝置3不同之處是具備有 可使通過流體噴出孔9的流體成爲均勻化的手段。第3實 施形態，其可使流體成爲均勻化的手段構成是和第2實施 形態不同。於第3實施形態，可使流體成爲均勻化的手段 是複數的節流孔（throttle) 82。至於其他的構成，浮起裝 置80是和浮起裝置3大致相同。複數的節流孔 -18- (15) 200800773 (throttle) 82是以減少流體的偏差來使通過流體噴出孔9 的流體成爲均勻化。 舉例說明，浮起裝置80是在內側構件21及外側構件 2 3 a和下側構件19之間，夾入設有薄板狀的中間構件（樹 脂等非透氣性的中間構件）8 1，於中間構件8 1的對應於 流體噴出孔9的位置，設有比流體噴出孔9的寬度還小直 徑的複數貫通孔83排列成「口」字形，由該等各貫通孔 φ 83構成上述節流孔（throttle) 82。上述各貫通孔83是形 成爲小直徑，因此例如以光触刻加工形成。 另，上述中間構件8 1也可採用多孔質材等具透氣性 的構件來構成節流孔（throttle) 82。上述多孔質材是以柔 軟材料爲佳。 根據浮起裝置80時，因是於流體噴出孔9設有節流 孔（throttle) 82，所以即使流體噴出孔9的寬度精度若干 變差，還是能夠避免從流體噴出孔9噴出的空氣量產生偏 φ 差，能夠穩定形成具有均勻壓力的空間A。 因此，不必使用墊片（shim )，只要將中間構件8 1 和內側構件2 1和外側構件23組裝在下側構件1 9，就能夠 容易組成浮起裝置8 0。 不過，與第2實施形態的浮起裝置5 0可變形成浮起 裝置61的例子相同，第3實施形態的浮起裝置8〇也可變 形成下述的浮起裝置90。 第19圖爲表示本發明第3實施形態相關浮起裝置8 0 變形例的浮起裝置90的剖面圖，其是對應第〗3圖的圖 -19- 200800773 (16) 面。 浮起裝置90具備有支撐構件65。支撐構件65是在其 當中的一面具有開口溝槽66。中間構件8 1是設置在支撐 構件65上，形成爲覆蓋著開口溝槽66。於中間構件81上 * 設置內側構件62，外側構件23a是設置成包圍著該內側構 • 件62。此外，根據需求於相鄰的外側構件2Sa之間設有間 隔件67。 ^ 另，對於浮起裝置80或浮起裝置90，同樣地也可如 第15圖或第16圖所示，是以分割的外側構件23a來構 成。此外，對於第1實施形態相關的浮起裝置3，同樣地 也可考慮變形爲如第1 3圖所示的變形例。再加上，也可 考慮構成爲具備有突起51和節流孔（throttle)的浮起裝 置。 本發明雖然是參照最佳實施形態進行了說明，但本發 明並不限定於上述實施形態。具有本技術領域之通常技術 φ 的人員，是可根據上述揭示內容，透過實施形態的修正甚 至於變形來實施本發明。 [產業上之可利用性] 本發明是可提供一種利用流體將均勻的浮升力施加於 對象物使對象物浮起的浮起裝置及搬送裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明第1實施形態相關的搬送裝置槪 -20- (17) 200800773 略透視圖。 第2圖爲表示搬送裝置槪略平面圖。 第3圖爲第2圖從箭頭符號ΠΙ所示方向的箭頭方_ 視圖。 第4(a)圖爲浮起裝置剖面圖（表示第2圖的IVA_ IVB剖線剖面圖），第4 ( b )圖爲表示對應第4 ( a )圖 的浮起裝置壓力分佈圖。 φ 第5圖爲表示流體噴出孔的變形例。 第6圖爲表示流體噴出孔的變形例。 第7圖爲表示本發明第2實施形態相關的搬送裝置所 使用的浮起裝置槪略透視圖。 第8圖爲表示第7圖的VIIIA-VIIIA剖線、VIIIB-VIIIB剖線剖面圖，其是對應第4 ( a)圖的圖面。 第9圖爲表示浮起裝置分解狀態透視圖。 第1〇圖爲表示浮起裝置分解狀態圖。 Φ 第11圖爲表示浮起裝置分解狀態圖。 第12圖爲第11圖從箭頭符號XII所示方向的箭頭方 向視圖，其是表示浮起裝置組裝狀態圖。 第13圖爲第12圖從箭頭符號XIII所示方向的箭頭 方向視圖。 第1 4圖爲表示外側構件槪略形態圖。 第1 5圖爲表示外側構件槪略形態圖。 第1 6圖爲表示外側構件槪略形態圖。 第1 7圖爲表示本發明第3實施形態相關的搬送裝置 -21 - (18) (18)200800773 所使用的浮起裝置槪略剖面圖’其是對應第8圖的圖面。 第1 8圖爲表示中間構件槪略透視圖。 第1 9圖爲表示本發明第3實施形態相關浮起裝置變 形例的浮起裝置剖面圖，其是對應第1 3圖的圖面。 【主要元件符號說明】 1 :搬送裝置 3 :浮起裝置 5 :驅動手段 7 :基部 7a :基部（變形例） 9 :流體噴出孔 9a :流體噴出孔（變形例） 9b :流體噴出孔（變形例） 1 1 :開口部 13 :區域 1 5 :緣部 1 7 :溝槽 1 9 :下側構件 2 1 :內側構件 23 :外側構件 23a :外側構件（第2實施形態） 27 :滾輪 5〇 :浮起裝置（第2實施形態） -22 - (19) (19)200800773 51 :突起 \ 51 A〜51D :突起 53 :斜面（外側構件的斜面） 53 A〜53D :斜面（外側構件的斜面） 55 :斜面（內側構件的斜面） 5 5 A〜5 5D :斜面（內側構件的斜面） 6 1 :浮起裝置（變形例） 62 :內側構件（變形例） 63 :貫通孔 65 :支撐構件 66 :開口溝槽 6 7 :間隔件 6 8 :空間 69 :蓋構件 80:浮起裝置（第3實施形態） 8 1 :中間構件 8 2 :節流孔 8 3 =貫通孔 90 :浮起裝置（變形例） A :空間 W =對象物 AR1 :搬送方向 -23-

Claims (1)

1. 200800773 ⑴ 十、申請專利範圍 1 · 一種浮起裝置，是利用流體使具有平面 象物浮起用的浮起裝置，其特徵爲，具備有： 具平面狀上面的基部；及 形成在上述基部於上述上面具有開口部， 產生空間使上述流體以均勻壓力流動於上述関 的上述上面的區域和上述對象物的上述下面5 體噴出用的噴出孔。 2.如申請專利範圍第1項所記載的浮起奏 上述噴出孔至少是在上述基部的上述上面附紀 域的內側傾斜。 3 .如申請專利範圍第1項所記載的浮起達 又具備有複數組的上述基部和上述噴出孔，名 排列形成爲單一平面。 4.如申請專利範圍第1項所記載的浮起缓 又具備有使通過上述噴出孔的上述流體成爲转 化手段。 5 .如申請專利範圍第4項所記載的浮起 上述均勻化手段是可使配置在上述噴出孔內 孔寬度保持成均等的手段。 6.如申請專利範圍第4項所記載的浮起 上述均勻化手段是被配置成可連通於上述噴 流孔（throttle )。 7.如申請專利範圍第1項所記載的浮起 狀下面的對

   被配置成可 口部所包圍 間的上述流 置，其中， ，朝上述區 置，其中， 上述上面是 置，其中， 勻化的均勻 置，其中， 的上述噴出 置，其中， 孔的複數節 置，其中， -24- (2) 200800773 上述噴出孔是由矩形環狀或一對L字形或二組平行的直線 狀所成群的任一形狀。 8 · —種搬送裝置，是利用流體使具有平面狀下面的對 象物浮起後搬送用的搬送裝置，其特徵爲，具備有： 具平面狀上面的基部；形成在上述基部於上述上面具 有開口部，被配置成可產生空間使上述流體以均勻壓力流 動於上述開口部所包圍的上述上面的區域和上述對象物的 φ 上述下面之間的上述流體噴出用的噴出孔；及 上述對象物驅動用的驅動手段。 9 ·如申請專利範圍第8項所記載的搬送裝置，其中， 上述噴出孔至少是在上述基部的上述上面附近，朝上述區 域的內側傾斜。 10·如申請專利範圍第8項所記載的搬送裝置，其 中，又具備有複數組的上述基部和上述噴出孔，各上述上 面是排列形成爲單一平面。 ^ φ 1 1 .如申請專利範圍第8項所記載的搬送裝置，其 中，又具備有使通過上述噴出孔的上述流體成爲均勻化的 均勻化手段。 1 2 .如申請專利範圍第1 1項所記載的搬送裝置，其 中，上述均勻化手段是可使配置在上述噴出孔內部的上述 噴出孔寬度保持成均等的手段。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項所記載的搬送裝置，其 中，上述均勻化手段是被配置成可連通於上述噴出孔的複 數節流孔（throttle)。 -25- (3) 200800773 14.如申請專利範圍第 8項所記載的搬送裝置，其 中，上述噴出孔是由矩形環狀或一對L字形或二組平行的 直線狀所成群的任一形狀。

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