JP6507644B2 - 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。

液体を噴射する噴射ヘッドを製造するにあたり、金属の平板（プレート）に対して、プレス加工により孔を空けたり、突起を設けたりする場合がある。例えば特許文献１に記載のプリンタのヘッドには、プレート状のキャビティ部に、インクを導入する導入口の孔が形成されている。このような孔をプレス加工で形成する際には、薄い金属平板の一方の面にダイスを設置し、他方の面からパンチを押し込んで、打ち抜くことによって孔を形成する。

特開２００９−１６０７８６号公報

ところが、平板にパンチを押し込んでいくときに、平板の表面には、パンチで引っ張られて周囲に肉流れが生じることによる歪みやうねり（反り）が発生する。この現象は、平板の厚みが薄いほど顕著に表れ、平板の平面度が低下し易いという問題がある。以上の事情を考慮して、本発明は、平板にプレス加工を施しても、平板の平面度を担保できるようにすることを目的とする。

［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、液体が噴射されるノズルが設けられた液体噴射面を規定する平板の平面領域に対して、半抜き加工により形成され、平面領域とは高さの異なる段差領域と、段差領域内に絞り加工により形成され、液体噴射側に突出する突起と、を設ける工程と、平板に対して、液体を供給する流路が設けられた流路部材を、突起が突出する側とは反対側に固定する工程とを有する。態様１では、液体噴射面を規定する平板（例えば液体噴射ノズルが形成されるノズル板を固定する固定板がある場合はその固定板、固定板がない場合はノズル板そのものでもよい）において、平面領域とは高さの異なる段差領域内に、液体噴射側に突出するように突起を形成してなるから、絞り加工（プレス加工）による歪みが抑制又は矯正されるので、プレス加工後の平板の平面度を担保することができる。また態様１では、絞り加工後の平面度が担保された平板に流路部材を固定することで、段差領域を設けない場合に比較して、流路部材をより確実に固定することができる。さらに態様１では、液体噴射面を規定する平板に、液体噴射側に突出する突起を設けるから、媒体が変形（例えばカール）して液体噴射面に近づいても、突起が邪魔になり媒体が液体噴射面までは届かない。これにより、媒体が液体噴射面に接触することを効果的に防止できる。なお、流路部材は、平板に直接固定してもよく、また他の部材を介して固定するようにしてもよい。

［態様２］
態様１の好適例（態様２）において、段差領域は、液体噴射側に突出するように形成される。態様２では、段差領域が液体噴射側（突起の突出側）に突出するように形成されるから、液体噴射面からの突起の高さは、突起の突出量と段差領域の突出量を加えた高さになる。これにより、段差領域が液体噴射側（突起の突出側）とは反対側に突出する構成と比較して、液体噴射面からの突起の高さを効果的に高くすることができる。

［態様３］
態様１または態様２の好適例（態様３）において、段差領域の側面は、半抜き加工により形成された剪断面である。態様３では、段差領域の側面が剪断面であり、破断面までは生じていないので、平板の強度を十分に維持できる。

［態様４］
態様１から態様３の何れかの好適例（態様４）において、段差領域内に突起を設ける工程において、半抜き加工により段差領域を形成した後に、絞り加工により突起を形成する。態様４では、半抜き加工により段差領域を形成した後に、絞り加工により突起を形成するから、絞り加工によって肉流れが生じても、半抜き加工により剪断された段差領域内に抑えることができるので、段差領域の周りの肉流れを抑制できる。こうして、絞り加工（プレス加工）による歪みを抑制することで、平板の平面度を担保できる。さらに、段差領域の形成がビード加工となるので、そのビード加工の効果によって平板の反りを抑えることができ、平面の耐久性（強度）を向上させることができる。なお、半抜き加工を複数回行うことにより段差領域を多段にしたとしても、平板の平面度が維持され易くなる。

［態様５］
態様１から態様３の何れかの好適例（態様５）において、段差領域内に突起を設ける工程において、絞り加工により突起を形成した後に、半抜き加工により段差領域を形成する。態様５では、絞り加工により突起を形成した後に、半抜き加工により段差領域を形成するから、先に行われる絞り加工によりその周囲に生じる肉流れにより歪みが発生しても、その後の半抜き加工による段差領域の形成がビード加工となるため、そのビード加工の効果によって、絞り加工（プレス加工）によって生じた歪みを矯正できる。これにより、平板の平面度を担保できる。

［態様６］
態様１から態様５の何れかの好適例（態様６）において、段差領域からの突起の突出量は、段差領域の平面領域からの段差量よりも大きい。態様６では、段差領域からの突起の突出量は、段差領域の平面領域からの段差量よりも大きいから、段差領域よりも突起の方を大きく突出させることができるので、液体噴射面に媒体が接触することをより効果的に防止できる。

［態様７］
態様１から態様６の何れかの好適例（態様７）において、突起の突出量は、平板の段差領域の厚みよりも大きい。態様７では、突起の突出量は、平板の段差領域の厚みよりも大きくなる程度に突起の高さが確保されるから、液体噴射面に媒体が接触することをより効果的に防止できる。

［態様８］
態様１から態様７の何れかの好適例（態様８）において、平板は、平面領域内に貫通口を有し、貫通口は、突起を形成した後に形成される。態様８では、絞り加工により突起を形成した後に、貫通口（例えば固定板に突起を形成する場合のノズル板を取り付ける開口部、ノズル板そのものに突起を形成する場合のノズル開口なども含まれる）が形成されるから、貫通口に絞り加工による歪みの影響が及ばないようにすることができる。これにより、平面領域に貫通口をより高精度に形成することができる。

［態様９］
態様８の好適例（態様９）において、平板は、平面領域内に厚みが互いに異なる厚肉領域と薄肉領域とを有し、貫通口は、薄肉領域内に設けられ、液体噴射ノズルが形成されるノズル板を有する液体噴射部は、ノズル板が貫通口内において液体噴射側に露出するように、平板に固定される。態様９では、平面領域内に厚みが互いに異なる厚肉領域と薄肉領域とを有し、ノズル板が液体噴射側に露出する貫通口を薄肉領域内に設けるから、厚肉領域によって平板の耐久性（強度）を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みが抑制され、平板の平面度を維持し易くすることができる。また、態様９では、ノズル板が液体噴射側に露出する貫通口を、薄肉領域内に設けるから、ノズル板と媒体との距離を近づけることができる。

［態様１０］
本発明の好適な態様（態様１０）に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、液体が噴射されるノズルが設けられた液体噴射面を規定する平板の平面領域に対して、厚みが互いに異なる厚肉領域および薄肉領域と、薄肉領域内に設けられた貫通口と、を形成する工程と、液体噴射ノズルが形成されるノズル板を有する液体噴射部を、ノズル板が貫通口内において液体噴射側に露出するように、平板に固定する工程とを有する。態様１０では、厚みが互いに異なる厚肉領域および薄肉領域と、薄肉領域内に設けられた貫通口とを形成するから、厚肉領域によって平板の強度を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みが抑制され、平板の平面度を維持し易くすることができる。また態様１０では、液体噴射ノズルが形成されるノズル板を有する液体噴射部を、ノズル板が貫通口内において液体噴射側に露出するように、平板に固定するから、ノズル板と媒体との距離を近づけることができる。さらに態様１０では、薄肉領域内に貫通口を形成するプレス加工後の平面度が担保された平板に液体噴射部を固定することで、液体噴射部をより確実に固定することができる。

［態様１１］
態様９または態様１０の好適例（態様１１）において、薄肉領域は、平板の液体噴射側とは反対側の表面が凹むように形成され、その凹んだ領域内に液体噴射部を固定する。態様１１では、薄肉領域は、平板の液体噴射側とは反対側の表面が凹むように形成され、その凹んだ領域内に液体噴射部を固定するから、薄肉領域を形成しないで液体噴射部を固定する場合に比較して、薄肉領域内の凹み量だけ液体噴射側に液体噴射部を固定できる。これにより、ノズル板と媒体との間隔を狭くすることができるので、噴射した液体の位置ずれ防止効果を高めることができる。

［態様１２］
態様９または態様１０の好適例（態様１２）において、薄肉領域は、平板の液体噴射側の表面が凹むように形成され、その凹んだ領域とは反対側の表面に液体噴射部を固定する。態様１２では、薄肉領域は、平板の液体噴射側の表面が凹むように形成され、その凹んだ領域とは反対側の表面に液体噴射部を固定するから、薄肉領域内の凹み量だけ、ノズル板と媒体との距離を大きくとることができる。これにより、媒体が変形（例えばカール）したとしても、例えば態様１１の場合と比較してノズル板に接触し難くなる。

［態様１３］
態様１または態様１２の好適例（態様１３）において、さらに、平板の平面領域に対して曲げ加工を行う工程と、平板の曲げ加工が施された部位に、液体の流路を形成する流路部材の側面を固定する工程とを有する。態様１２では、平板の平面領域に対して曲げ加工を行う工程を有するから、段差領域内の突起や薄肉領域内の貫通口をプレス加工により形成してから、平面領域に曲げ加工を行うことができる。これによれば、プレス加工の影響を受けずに曲げ加工を行うことができるので、曲げ加工を高精度に行うことができる。また態様１２では、平板の曲げ加工が施された部位に、液体の流路を形成する支持体の側面を固定する工程を有するから、上記の通り高精度に行われた曲げ加工が施された部位に支持体の側面を固定することができるので、より確実に固定することができる。

［態様１４］
本発明の好適な態様（態様１４）に係る液体噴射装置は、液体が噴射されるノズルが設けられた液体噴射面を規定する平板と、平板の平面領域とは高さの異なる段差領域内に、液体噴射側に突出するように設けられた突起とを具備する。態様１４では、液体噴射面を規定する平板において、平面領域とは高さの異なる段差領域内に、液体噴射側に突出するように突起を形成してなるから、突起を形成するためのプレス加工による歪みが抑制又は矯正されるので、プレス加工後の平板の平面度を担保することができる。

［態様１５］
本発明の好適な態様（態様１５）に係る液体噴射装置は、液体が噴射されるノズルが設けられたノズル板を有する液体噴射部と、複数の液体噴射部を固定する平板と、を備え、前記平板は、厚みが互いに異なる厚肉領域および薄肉領域と、前記薄肉領域内に設けられた貫通口とを有し、ノズル板は、貫通口内において液体噴射側に露出する。態様１５では、厚みが互いに異なる厚肉領域および薄肉領域と、前記薄肉領域内に設けられた貫通口とを有するから、厚肉領域によって平板の強度を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みが抑制され、平板の平面度を維持し易くすることができる。液体噴射装置の好例は、印刷用紙等の媒体にインクを噴射する印刷装置であるが、本発明に係る液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。

本発明の第１実施形態に係る液体噴射ヘッドを適用可能な印刷装置の構成図である。 図１に示す印刷装置の動作説明図であって、媒体の搬送に着目したものである。 複数の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射ユニットにおける媒体と対向する面の構成を示す平面図である。 図３に示す液体噴射ユニットにおける液体噴射ヘッドの１つの構成例を示す分解斜視図である。 図４に示す液体噴射部の断面図である。 図４に示す固定板の構成例を示す六面図である。 図６に示す固定板と液体噴射部との関係を説明するための図であって、（ａ）は図６に示す固定板のVII-VII断面図であり、（ｂ）は固定板に液体噴射部を固定した場合の断面図である。 図７に示す突起部の拡大図である。 第１実施形態の比較例を説明するための図であって、絞り加工のみで突起部を形成する際の断面図である。 液体噴射ヘッドを製造する工程の一部を示す図である。 固定板に対して段差領域内に突起を形成する第１の方法を説明するための図であって、先に行われる段差領域形成のための半抜き加工の工程図である。 図１１の半抜き加工に続いて行われる突起形成のための絞り加工の工程図である。 固定板に対して段差領域内に突起を形成する第２の方法を説明するための図であって、先に行われる突起形成のための絞り加工の工程図である。 図１３の絞り加工に続いて行われる段差領域形成のための半抜き加工の工程図である。 固定板に対して段差領域内に突起を形成する第３の方法を説明するための図であって、突起形成のための絞り加工と段差領域形成のための半抜き加工を同時に行う場合の工程図である。 第２実施形態における固定板と液体噴射部との関係の説明図であって、（ａ）は図６に示す固定板のVII-VII断面図であり、（ｂ）は固定板に液体噴射部を固定した場合の断面図である。 第２実施形態の変形例における固定板と各液体噴射部との関係の説明図であって、（ａ）は図６に示す固定板のVII-VII断面図であり、（ｂ）は固定板に液体噴射部を固定した場合の断面図である。 第２実施形態における固定板に対して、薄肉領域内に開口部を形成する方法を説明するための図であって、先に行われる薄肉領域形成のための面押し加工の工程図である。 図１８の面押し加工に続いて行われる開口部形成のための打ち抜き加工の工程図である。 第３実施形態における固定板の第２面の平面図と断面図である。 第４実施形態における固定板の第２面の平面図である。 第５実施形態における液体噴射ユニットの噴射面の平面図であって、ノズル板に突起部を形成する場合の具体例を説明するための図である。 第５実施形態の変形例における噴射面の平面図である。 第６実施形態における液体噴射ユニットの噴射面の平面図である。 第１〜第６実施形態における突起部の変形例として、突起部の断面形状を説明するための図である。

＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置について、インクジェット方式の印刷装置を例に挙げて説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るインクジェット方式の印刷装置１０の部分的な構成図である。第１実施形態の印刷装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体（噴射対象）１２に噴射する液体噴射装置であり、制御装置２２と搬送機構２４と液体噴射ユニット２６とを具備する。印刷装置１０には、インクを貯留する液体容器（カートリッジ）１４が装着される。

制御装置２２は、印刷装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構２４は、制御装置２２による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。図２は、媒体１２の搬送に着目した印刷装置１０の構成図である。図１および図２に例示される通り、搬送機構２４は、第１ローラー２４２と第２ローラー２４４とを包含する。第１ローラー２４２は、第２ローラー２４４からみてＹ方向の負側（媒体１２の搬送方向の上流側）に配置されて媒体１２を第２ローラー２４４側に搬送し、第２ローラー２４４は、第１ローラー２４２から供給される媒体１２をＹ方向の正側に搬送する。ただし、搬送機構２４の構造は以上の例示に限定されない。

図２に破線で図示される通り、第１ローラー２４２と第２ローラー２４４との間で媒体１２は液体噴射ユニット２６側に変形（例えばカール）し得る。例えば媒体１２を順次に反転させて両面にインクを噴射する場合（両面印刷）を想定すると、片面のみにインクが噴射された状態で媒体１２の変形は特に顕在化する。片面が印刷された状態で充分にインクを乾燥させれば媒体１２の変形は抑制され得るが、例えば多数の媒体１２を短時間で印刷する高速印刷の実行時には充分な乾燥時間を確保することが実際には困難であり、液体噴射ユニット２６側に変形した状態の媒体１２を搬送機構２４で搬送する必要がある。

図１の液体噴射ユニット２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御装置２２による制御のもとで媒体１２に噴射する。第１実施形態の液体噴射ユニット２６は、Ｙ方向に直交するＸ方向に長尺なラインヘッドである。図３は、液体噴射ユニット２６のうち媒体１２との対向面である液体噴射面（ノズル面）の平面図である。図３に例示される通り、液体噴射ユニット２６の液体噴射面には複数のノズル（噴射孔）Ｎが設置される。液体噴射面がＸ-Ｙ平面に平行な状態で所定の間隔をあけて媒体１２に対向するように液体噴射ユニット２６は配置される。搬送機構２４による媒体１２の搬送に並行して液体噴射ユニット２６が媒体１２にインクを噴射することで媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ-Ｙ平面（例えば変形のない媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。液体噴射ユニット２６によるインクの噴射方向（例えば鉛直方向の下向き）がＺ方向に相当する。また、液体噴射ユニット２６の液体噴射面のうち複数のノズルＮが分布する領域（以下「ノズル分布領域」という）Ｒの短手方向がＹ方向に相当し、ノズル分布領域Ｒの長手方向がＸ方向に相当する。図２の破線で例示したように変形した媒体１２を搬送する場面では、媒体１２が液体噴射ユニット２６の液体噴射面に接触し得る。このとき、液体噴射面にインクが残留していると、媒体１２にインクが付着する可能性がある。そこで、本実施形態では、液体噴射面から突出する突起部を形成して、媒体１２が液体噴射面に接触しないようにすることで、媒体１２にインクが付着することを防止できるようにしている。

このような突起部が形成される液体噴射ヘッドを備える第１実施形態の液体噴射ユニット２６について説明する。図３は、第１実施形態の液体噴射ユニット２６の構成例を説明するための図であって、媒体１２との対向面を示す平面図である。図３に例示される通り、第１実施形態の液体噴射ユニット２６は、複数（第１実施形態では６個）の液体噴射ヘッド３０を具備する。複数の液体噴射ヘッド３０は、Ｘ方向に沿って配列された状態で液体噴射ユニット２６の筐体（図示略）に固定される。

各液体噴射ヘッド３０は、液体噴射面を規定する平板として、複数のノズルＮを形成するノズル板４６を露出して固定する固定板３８を備える。固定板３８には、図３においてＺ方向の正側、すなわち複数のノズルＮから液体が噴射する側（以下「液体噴射側」と表記する）に突出するように突起部６０が形成される。具体的には、固定板３８にはノズル板４６を露出して配置する複数の開口部５２が形成され、各開口部５２の間に突起部６０が形成される。

このような液体噴射ユニット２６によれば、各液体噴射ヘッド３０に液体容器１４からインクが供給されると、そのインクが複数のノズルＮから噴射されて、図２に示すように液体噴射ユニット２６に対向して搬送された媒体１２に付着する。このとき、媒体１２がカールすることで液体噴射ヘッド３０の固定板３８に近づいても、突起部６０が固定板３８から液体噴射側に突出するので、媒体１２が開口部５２から露出するノズル板４６に接触しないようにすることができる。これにより、媒体１２にインクが付着することを効果的に防止できる。

次に、図３に示す液体噴射ヘッド３０の構成例について、図４を参照しながら詳細に説明する。図４は、液体噴射ヘッド３０の構成例を示す分解斜視図である。なお、図３に示す複数の液体噴射ヘッド３０はすべて同様の構成であるため、ここではその１つを取り出して説明する。図４に例示される通り、第１実施形態の液体噴射ヘッド３０は、複数（第１実施形態では６個）の液体噴射部３２と支持体３４と流路構造体３６と固定板３８とを具備する。支持体３４は、複数の液体噴射部３２を収容および支持する筐体であり、例えば樹脂材料の射出成形や金属材料のダイキャスト成形で形成される。また、複数の液体噴射部３２へ供給されるインクの流路を形成する。流路構造体３６は、液体容器１４から供給されるインクを複数の液体噴射部３２に分配するための流路が形成された構造体であり、例えば流路の開閉または圧力を制御するための弁構造や、流路内のインクに混入した気泡や異物を捕集するためのフィルターを包含する。なお、支持体３４と流路構造体３６とを一体に形成することも可能である。

各液体噴射部３２は、複数のノズルＮからインクを噴射するヘッドチップとして構成される。図３に例示される通り、各液体噴射部３２の複数のノズルＮは、Ｘ方向に交差するＷ方向に沿って２列に配列される。図３に例示される通り、第１実施形態のＷ方向は、Ｘ-Ｙ平面内でＸ方向およびＹ方向に対して所定の角度（例えば３０°以上かつ６０°以下の範囲内の角度）で傾斜する方向である。第１実施形態では、図３に例示される通り、Ｘ方向におけるピッチ（具体的には各ノズルＮの中心間の距離）ＰXがＹ方向におけるピッチＰYよりも狭くなるように複数のノズルＮの位置が選定される（ＰX＜ＰY）。以上の例示の通り、第１実施形態では、媒体１２が搬送されるＹ方向に対して傾斜したＷ方向に複数のノズルＮが配列されるから、例えば複数のノズルＮをＸ方向に沿って配列した構成と比較して、媒体１２のＸ方向における実質的な解像度（ドット密度）を高めることが可能である。

ここで、図４に示す液体噴射部３２の構成例について、図５を参照しながら詳細に説明する。なお、図４に示す複数の液体噴射部３２はすべて同様の構成であるため、ここではその１つを取り出して説明する。図５は、液体噴射部３２のＷ方向に直交する断面構成を示す断面図である。図５に例示される通り、第１実施形態の液体噴射部３２は、積層構造体である。ここでの液体噴射部３２は、２個のノズルＮを含み、各ノズルＮに液体を供給して噴射する構造をそれぞれ、Ｗ方向に平行な対称軸に関して線対称に配置して構成される。ただし、液体噴射部３２は、必ずしもこの構成に限られるものではなく、１個のノズルＮに対応する構造からなるものであってもよいし、Ｗ方向に沿った２列間においてノズルＮがＷ方向に千鳥配置となっていてもよい。液体噴射部３２は、流路部材の１例としての流路基板４１を備える。流路基板４１の一方側（Ｚ方向の負側）には、圧力室基板４２と振動板４３と筐体４４と封止板４５とが配置される。流路基板４１の他方側にはノズル板４６とコンプライアンス部４７とが配置される。液体噴射部３２の各要素は、概略的にはＷ方向に長尺な略平板状の部材であり、例えば接着剤で相互に固定される。

図５のノズル板４６は、複数のノズルＮが形成された基板である。第１実施形態のノズル板４６は、図４からも把握される通りＷ方向に長尺な平板であり、例えばシリコンの単結晶基板で形成される。具体的には、図３に例示される通り、Ｗ方向に沿って２列に配列する複数のノズルＮが各液体噴射部３２のノズル板４６に形成される。

図５の流路基板４１は、インクの流路を構成する平板である。第１実施形態の流路基板４１には、開口部４１２と供給流路４１４と連通流路４１６とが形成される。供給流路４１４および連通流路４１６はノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４１２は複数のノズルＮにわたり連続する貫通孔である。筐体４４に形成された収容部（凹部）４４２と流路基板４１の開口部４１２とを相互に連通させた空間は、液体容器１４から筐体４４の導入流路４４３を介して供給されるインクを貯留する貯留室（リザーバー）ＳRとして機能する。

図５のコンプライアンス部４７は、貯留室ＳR内のインクの圧力変動を抑制するための要素であり、弾性膜４７２と支持板４７４とを具備する。弾性膜４７２は、フィルム状に形成された可撓性の部材であり、貯留室ＳRの壁面（具体的には底面）を構成する。支持板４７４は、ステンレス鋼等の高剛性の材料で形成された平板であり、流路基板４１の開口部４１２が弾性膜４７２で閉塞されるように弾性膜４７２を流路基板４１の表面に支持する。支持板４７４のうち弾性膜４７２を挟んで貯留室ＳRに重なる領域には開口部４７６が形成される。支持板４７４の開口部４７６の内側の空間（以下「ダンパー室」という）ＳDで弾性膜４７２が貯留室ＳR内のインクの圧力に応じて変形することで貯留室ＳR内の圧力変動が抑制（吸収）される。すなわち、ダンパー室ＳDは、貯留室ＳR内の圧力変動が吸収されるように弾性膜４７２を変形させるための空間として機能する。

図５の圧力室基板４２にはノズルＮ毎に開口部４２２が形成される。振動板４３は、弾性的に振動可能な平板であり、圧力室基板４２のうち流路基板４１とは反対側の表面に固定される。圧力室基板４２の各開口部４２２の内側で振動板４３と流路基板４１とに挟まれた空間は、貯留室ＳRから供給流路４１４を介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳCとして機能する。各圧力室ＳCは、流路基板４１の連通流路４１６を介してノズルＮに連通する。また、振動板４３のうち圧力室基板４２とは反対側の表面には圧電素子４３２がノズルＮ毎に形成される。各圧電素子４３２は、相互に対向する電極層の間に圧電体層を介在させた駆動素子である。複数の圧電素子４３２は封止板４５で封止される。

以上に例示した構造の複数の液体噴射部３２が図４の固定板３８に固定される。図６は、固定板３８の構成図（六面図）である。図４および図６に例示される通り、第１実施形態の固定板３８は、支持部３８２と複数の周縁部３８４とを包含する。支持部３８２は、相互に反対側に位置する第１面Ｑ1と第２面Ｑ2とを含む平板状の部分である。図６に例示される通り、第１実施形態の支持部３８２は、Ｗ方向に延在する一対の縁辺とＸ方向に延在する一対の縁辺とで画定される矩形状（具体的には平行四辺形状）に成形される。支持部３８２の第１面Ｑ1はＺ方向の負側の表面であり、第２面Ｑ2はＺ方向の正側（媒体１２側）の表面である。支持部３８２の第２面Ｑ2は撥水加工されている。他方、各周縁部３８４は、支持部３８２の各縁辺に連続し、支持部３８２の第１面Ｑ1または第２面Ｑ2に対して略直交するようにＺ方向の負側に曲折された部分である。例えばステンレス鋼等の高剛性の材料で所定の形状に成形された平板を曲折することで支持部３８２と複数の周縁部３８４とが一体に構成される。

図７は、固定板３８（支持部３８２）と液体噴射部３２との関係を説明するための図である。図７（ａ）は、液体噴射部３２を取り付ける前の固定板３８の断面図であり、図６におけるVII-VII線の断面図に相当する。図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す固定板３８に液体噴射部３２を取り付けた場合の断面図である。図７（ｂ）に例示される通り、液体噴射ヘッド３０の複数の液体噴射部３２は、図７（ａ）に示す固定板３８の開口部５２にノズル板４６が露出するように、固定板３８の支持部３８２の第１面Ｑ1に固定される。そして、このように支持部３８２の第１面Ｑ1に複数の液体噴射部３２が固定された状態で、固定板３８の各周縁部３８４が例えば接着剤により図４に示す支持体３４に固定される。以上に例示した構造の複数の液体噴射ヘッド３０が、図３に例示される通り、固定板３８の第２面Ｑ2をＺ方向の正側に向けた状態でＸ方向に配列される。以上の説明から理解される通り、複数の液体噴射ヘッド３０の第２面Ｑ2で構成される平面が液体噴射面に相当する。

図６および図７に例示される通り、本実施形態のノズル板７２を露出する開口部５２は、媒体１２との対向面を構成する固定板３８の支持部３８２に形成される。支持部３８２には各液体噴射部３２に対応する複数（６個）の開口部５２が形成され、各開口部５２は相互に所定の間隔をあけてＸ方向に配列する。各開口部５２は、平面視（Ｚ方向に垂直な方向からみて）でＷ方向に沿って延在する長尺状の貫通孔である。図３に例示される通り、各液体噴射部３２のノズル板４６が１個の開口部５２の内側に位置する状態で各液体噴射部３２は支持部３８２の第１面Ｑ1に固定される。以上の説明から理解される通り、固定板３８の各開口部５２は、各液体噴射部３２の複数のノズルＮを露出させるための貫通孔である。図７に例示される通り、開口部５２の内側の空間（具体的には開口部５２の内周面とノズル板４６の外周面との隙間）には、例えば樹脂材料で形成された充填材５４が充填される。したがって、充填材５４を形成しない構成と比較して、開口部５２の内側の空間に大量のインクが進入および滞留する可能性を低減できるという利点がある。他方、親水性の樹脂材料で充填材５４を形成した構成では、各ノズルＮから噴射されたインクが充填材５４の表面に付着し易いという事情がある。

図７に例示される通り、第１実施形態では、コンプライアンス部４７の支持板４７４のうち弾性膜４７２とは反対側の表面が固定板３８の第１面Ｑ1に例えば接着剤で固定される。すなわち、支持板４７４の開口部４７６が固定板３８の第１面Ｑ1で閉塞される。支持板４７４の開口部４７６の内側で弾性膜４７２と第１面Ｑ1との間に挟まれた空間が、弾性膜４７２を振動させるためのダンパー室ＳDとして機能する。

図６および図７に例示される通り、本実施形態の突起部６０は、媒体１２との対向面を構成する固定板３８の支持部３８２に形成される。支持部３８２には複数（４個）の突起部６０が形成され、各突起部６０は固定板３８の第２面Ｑ2からＺ方向の正側（媒体１２側）に突出する。図３に例示される通り、第１実施形態の複数の突起部６０は、液体噴射面のうちノズル分布領域Ｒの内側に設置される。具体的には、各突起部６０は、Ｘ方向に相互に隣合う各開口部５２の間の領域に形成され、各開口部５２と同様にＷ方向に沿って延在する。すなわち、各突起部６０は、Ｗ方向の寸法が、Ｘ-Ｙ平面内でＷ方向に直交する方向の寸法を上回る長尺状（直線状）に形成される。Ｗ方向における突起部６０の寸法（全長）はＷ方向における開口部５２の寸法と同等である。図６から理解される通り、固定板３８の支持部３８２のうち各周縁部３８４（支持部３８２の各縁辺）と開口部５２との間の領域には突起部６０は形成されない。したがって、周縁部３８４の曲折に起因して開口部５２および突起部６０の各々の位置や相互間の位置関係に誤差が発生する可能性を低減することが可能である。また、周縁部３８４と開口部５２との間に突起部６０が形成された構成と比較して周縁部３８４の曲折が容易であるという利点もある。

図７に例示される通り、平面視で各突起部６０に重ならない位置に各液体噴射部３２は設置される。具体的には、液体噴射部３２のうち固定板３８の第１面Ｑ1に接合される支持板４７４は第２面Ｑ2側の各突起部６０には平面視で重ならない。また、各突起部６０のダンパー室ＳDは平面視で各突起部６０に重ならない。各突起部６０のダンパー室ＳDが平面視で各突起部６０に重なる構成では、突起部６０の内側の空間にダンパー室ＳDが連通し、ダンパー室ＳDの特性（容積や圧力）に誤差が発生する可能性がある。第１実施形態では各突起部６０が平面視でダンパー室ＳDに重ならないから、各ダンパー室ＳDの特性を均一化することが可能である。

第１実施形態の各突起部６０は、固定板３８と一体に形成される。具体的には、固定板３８に対する絞り加工により各突起部６０が形成される。絞り加工は、金属平板のプレス加工の１種であり、固定板３８の材料となる金属平板の表面にパンチを押し込んで突起を形成する加工方法である。このため、加工する平板の厚みが薄いほど、歪みやうねり（反り）が生じ易く、平面度が低下する問題がある。そこで、第１実施形態では、固定板３８に絞り加工による突起６０４を形成する際に、平面領域（例えば第１面Ｑ1）とは高さの異なる段差領域６０２も形成するようにしている。これによれば、後述するように、絞り加工（プレス加工）による歪みを抑制又は矯正することができるので、プレス加工後の平板の平面度を担保することができる。なお、後述するように、突起６０４と段差領域６０２とのいずれを先に形成してもよく、段差領域６０２という場合には、平面領域（例えば第１面Ｑ1）とは高さが既に異なることになる領域だけでなく、いずれ異なることになる領域をも含む。また、上記図３、図４、図６に示す突起部６０は、便宜上、段差領域６０２と突起６０４を直線で表したものである。

第１実施形態の段差領域６０２は、固定板３８の第２面Ｑ2から液体噴射側（突起６０４側）に突出するように形成される。ただし、段差領域６０２は、液体噴射側（突起６０４側）とは反対側に突出するようにしてもよい。段差領域６０２は、例えば半抜き加工により形成される。半抜き加工で平板（固定板３８）に段差領域６０２を形成する場合には、平板にパンチを押し込むときに、打ち抜かずに厚みの途中で止めることにより、段差領域６０２を形成することができる。このとき、パンチの押し込み量は、段差領域６０２の側面が剪断面を維持できる程度とする。パンチの押し込み量が一定量を超えると、段差領域６０２の側面には破断面が生じてしまう。このため、パンチの押し込み量は、段差領域６０２の側面に破断面が生じない程度の押し込み量が好ましい。なお、段差領域６０２は、半抜き加工で形成されたものに限られるものではない。例えばエッチングにより段差領域６０２を形成してもよい。なお、このような突起部６０の形成方法の詳細は後述する。

図８は、任意の１個の突起部６０の形状の具体例を示す拡大図である。図８に例示される通り、突起部６０の突起６０４は上述した段差領域６０２内に配置されている。突起６０４は、Ｗ方向（すなわち突起部６０の長手方向）の両端側に位置する端面６２と両端間に位置する側面６４とを含む立体的な構造体である。突起６０４のうち各側面６４が交差する頂上部は曲面状に成形される。図８には、Ｗ方向に平行な断面とＷ方向に垂直な断面とが併記されている。各断面図から理解される通り、第２面Ｑ2に対する突起６０４の端面６２の角度θaは、第２面Ｑ2に対する突起６０４の側面６４の角度θbよりも小さい。すなわち、突起６０４の各端面６２は側面６４と比較してなだらかな傾斜面である。

図８に例示される通り、第２面Ｑ2に対する突起部６０の高さＨは、半抜き加工により第２面Ｑ2側に押し出された部分の高さＨ１と、その高さＨ１にさらに第２面Ｑ2側に押し出された突起６０４の高さＨ２を加えたものとなる。このように、本実施形態の突起部６０は、その高さＨのうちの一部を段差領域の高さＨ１で補うことができる。これにより、絞り加工で形成する突起６０４の高さＨ２以上に突起部６０の高さＨを確保することができる。

突起６０４の高さＨ２は、Ｗ方向の全長のうち端面６２以外の区間で実質的に一定である。具体的には、突起６０４のＷ方向の全長のうち９０％以上の区間にわたり高さＨ２は所定値に維持される。図８に例示される通り、突起部６０の高さＨは固定板３８（支持部３８２）の板厚Ｔを上回る（Ｈ＞Ｔ）。具体的には、固定板３８の板厚Ｔが０.０８ｍｍ程度であるのに対し、突起部６０の高さＨは０.４ｍｍ〜０.６ｍｍ程度である。また、前述の通り、固定板３８の第２面Ｑ2は撥水加工されるから、第２面Ｑ2に形成される各突起部６０の表面（各端面６２および各側面６４）にも撥水性が付与される。したがって、突起部６０の表面にインクが残留する可能性を低減できるという利点がある。

なお、第１実施形態の突起部６０では、段差領域６０２内に突起６０４を形成するので、段差領域６０２の高さや厚みとの関係は以下の通りである。すなわち、段差領域６０２からの突起６０４の突出量Ｈ２は、段差領域６０２の平面領域（第２面Ｑ2）からの段差量Ｈ１よりも大きい。また突起６０４の突出量Ｈ２は、段差領域６０２の厚み（段差領域の平均的な厚み）Ｈ０よりも大きい。これにより、突起部６０は所定の高さを確保することができる。

前述のように、第１実施形態の突起部６０は、固定板３８の平面領域（第１面Ｑ1）とは高さの異なる段差領域６０２とともに形成されるから、絞り加工（プレス加工）による歪みが抑制又は矯正されるので、固定板３８の平面度を担保できる。これにより、固定板３８の平面度を維持した液体噴射ヘッド３０を製造することができる。

ここで、上述した段差領域６０２を形成せずに、絞り加工で突起部６０のみを形成する場合を本実施形態の比較例としてより詳細に説明する。図９は、平板８０に絞り加工で突起部６０を形成する場合の比較例を示す断面図である。図９に例示される通り、絞り加工で平板８０に突起部６０の突起８１を形成するには、平板８０の一方の面に、刃孔８４が形成されたダイス８２を設置する。平板８０の他方の面から、突起を備えたパンチ８６を配置し、ダイス８２の刃孔８４に押し込んでいく。平板８０にパンチ８６を押し込むときに、図９に示す矢印のように周囲表面を引き込むことになるので、平板８０の表面に歪みやうねり（反り）が生じ、平板８０の平面度が低下してしまう。このため、絞り加工を行う前に、平板８０に例えば図７（ａ）に示すような開口部５２が形成されていると、絞り加工を行ったときにその平面度が低下し、近傍の開口部５２では中心がずれたり、形状が変形したりする可能性がある。平板８０の厚みが薄いほど、また平板８０の厚みに対して突起８１の高さが高いほど、絞り加工により周囲表面が大きく引き込まれるので、平板８０に歪みや反りが生じ易く、平板８０の平面度が低下し易い。

このため、平板８０の厚みを厚くすることで、絞り加工による平面度の低下をある程度抑えることもできる。ところが、本実施形態にて絞り加工を行うのは、ノズル板４６を開口部５２から露出させて液体噴射面（ノズル面）を規定する固定板３８であるため、その厚みを厚くするほど、固定板３８とノズル板４６との間で段差が大きくなってしまう。固定板３８とノズル板４６との間で段差が大きくなるほど、例えば液体噴射面となる固定板３８の表面をワイパーで拭き取るときに拭き取り性が悪くなったり、ノズル板４６の表面が媒体１２から離れてインクの着弾位置の精度が低下したりするという不具合がある。

この点、第１実施形態では、絞り加工によって突起６０４を形成する際に、段差領域６０２も形成するから、後述するように、絞り加工（プレス加工）による歪みを抑制又は矯正することができる。これにより、本実施形態では、固定板３８の厚みを過度に厚くすることなく、固定板３８の平面度を担保できる。

また、第１実施形態では、このような突起部６０を、固定板３８の第２面Ｑ2からＺ方向の正側（媒体１２側）に突出するように形成するから、例えば図２に破線で図示されるように第１ローラー２４２と第２ローラー２４４との間で、媒体１２が液体噴射ユニット２６側に変形（例えばカール）したときに、その媒体１２が突起部６０に接触しても、固定板３８の第２面Ｑ2までは届かないので接触することもない。したがって、固定板３８の開口部５２の近傍（特に充填材５４）の表面やノズル板７２の表面に残留したインクが媒体１２に付着する可能性を大幅に低減することができる。

また、第１実施形態の段差領域６０２は、固定板３８の第２面Ｑ2から液体噴射側（突起６０４側）に突出するように形成されるから、段差領域６０２が液体噴射側（突起６０４側）とは反対側に突出する場合に比較して、突起部６０全体の高さＨを効果的に高くすることができる。第１実施形態の突起部６０のように、突起部６０の段差領域６０２からの突出量（突起６０４の高さ）Ｈ２を、段差領域６０２の平面領域（第１面Ｑ1）からの段差量（段差領域の高さ）Ｈ１よりも大きくすることで、突起６０４の突出量（高さ）Ｈ２の分だけ、突起部６０の高さＨを効果的に高くすることができる。また、突起部６０の突出量（高さ）Ｈを、段差領域６０２の厚みＨ０よりも大きくすることで、常に段差領域６０２から突起６０４を突出させることができる。これにより、固定板３８の開口部５２の近傍（特に充填材５４）の表面に残留したインクが媒体１２に付着する可能性を低減するのに効果的な高さの突起部６０を形成することができる。

このような突起部６０は、ノズル板７２が露出する開口部５２に近いほど、その開口部５２に媒体１２が接触する可能性を低下できるので、開口部５２の内側に残留したインクが媒体１２に付着する可能性をより低下させることができる。この点、第１実施形態では、このような開口部５２が形成された固定板３８に直接突起部６０が形成されるから、固定板３８とは別体の要素に突起部６０を形成する構成と比較して、固定板３８の開口部５２と突起部６０との距離を大幅に短縮することできる。したがって、開口部５２の内側に残留したインクが媒体１２に付着する可能性を低減できるという前述の効果は格別に顕著である。しかも、上記のように固定板３８の開口部５２と突起部６０との距離が短縮されるので、開口部５２の内側に残留したインクが媒体１２に付着することを防止するために必要な突起部６０の高さＨも低減できる。したがって、媒体１２と固定板３８との間に必要な間隔（いわゆるプラテンギャップ）をより縮小することができるので、結果的に媒体１２の表面におけるインクの着弾位置の誤差を低減できるという利点もある。

また、上述したように第１実施形態の固定板３８は、ノズル板４６以外の部材（具体的には流路基板４１およびコンプライアンス部４７）を介してノズル板４６に固定される。すなわち、固定板３８とノズル板４６とは双方とも流路基板４１の一方側（Ｚ方向の正側）に配置される。したがって、例えば固定板３８をノズル板４６の表面に直接に接合する構成と比較して、媒体１２とノズル板４６との間の間隔を縮小することができるので、結果的に媒体１２の表面におけるインクの着弾位置の誤差を低減できるという利点もある。また、複数の液体噴射部３２が共通の固定板３８に固定されるから、例えば各液体噴射部３２が個別の部材に固定される構成と比較して、各液体噴射部３２の相互間の位置関係を高精度に調整できるという利点がある。

また、第１実施形態では、突起部６０の高さＨが固定板３８（支持部３８２）の板厚Ｔを上回る（Ｈ＞Ｔ）から、例えば突起部６０の高さＨが固定板３８の板厚Ｔを下回る構成と比較して、固定板３８の第２面Ｑ2に対する媒体１２の接触を有効に防止できるという利点がある。更に、開口部５２の内周面とノズル板４６の外周面との隙間（両者間の空間の容積）を小さくし、当該隙間に充填される充填材５４の表面に対するインクの付着を低減することが可能である。

なお、突起部６０の端面６２の角度θaが急峻（例えば直角に近い）な構成では、端面６２と第２面Ｑ2とで構成される角部に媒体１２の先端が係止して媒体１２にシワ等の変形が発生する可能性がある。第１実施形態では、端面６２の角度θaが側面６４の角度θbよりも小さい角度に抑制されるから、媒体１２の先端が端面６２に係止する可能性（ひいては媒体１２の変形の可能性）を低減できるという利点がある。

＜液体噴射ヘッド３０の製造方法＞
以上に例示した液体噴射ヘッド３０の製造方法を以下に説明する。図１０は、液体噴射ヘッド３０の製造するための工程図である。

図１０（ａ）〜（ｃ）の工程では、平板１１０をプレス加工や曲げ加工をすることにより固定板３８が製造される。先ず図１０（ａ）において平板１１０に突起部６０を形成する。第１実施形態では、段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を設けることにより突起部６０が形成される。このように、段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を形成することで、絞り加工による歪みの影響を段差領域６０２以外の平面領域に及ばないようにすることができるので、平板の平面度を担保できる。これらの突起部６０の形成方法の詳細については後述する。

続いて、図１０（ｂ）において、平板１１０に貫通口の１例としての開口部５２を形成する。開口部５２は、打ち抜き加工により形成する。ただし、これに限られず、半抜き加工後に突出した部分を取り除くことにより形成してもよい。第１実施形態では、上述したように突起部６０を形成しても平板１１０の平面度を担保できるので、突起部６０を形成してから開口部５２を形成することにより、突起部６０の絞り加工の影響を受けずに開口部５２を形成できる。これにより、平板１１０に開口部５２をより高精度に形成することができる。

次いで、図１０（ｃ）において、平板１１０に周縁部３８４を形成する。周縁部３８４は、曲げ加工により形成される。突起部６０を形成してから周縁部３８４を形成することにより、突起部６０の絞り加工の影響を受けずに周縁部３８４を形成できる。これにより、平板１１０に周縁部３８４をより高精度に形成することができる。

次に、図１０（ｄ）において、図１０（ａ）〜（ｃ）にて製造された固定板３８に、流路部材としての流路基板４１を含む液体噴射部３２を固定する。液体噴射部３２は、例えば接着剤により固定板３８の支持部３８２の第１面Ｑ1（平面領域）に固定され、流路基板４１の側面は周縁部３８４に固定される。これによれば、突起部６０の絞り加工の影響を受けずに平面度が保持された平面領域に液体噴射部３２を固定することができるから、液体噴射部３２や流路基板４１をより確実に固定することができる。なお、その他の工程は図示を省略しているが、固定板３８の周縁部３８４が例えば流路構造体３６を連結する支持体３４に接着剤により固定される。こうして、複数の液体噴射部３２が固定板３８に固定されることにより、流路部材としての流路基板４１がコンプライアンス部４７を介して固定板３８に固定される。なお、流路基板４１は、コンプライアンス部４７を介さずに固定板３８に直接固定するようにしてもよい。

＜段差領域６０２内に突起６０４を配置した突起部６０の形成方法＞
ここで、平板１１０にプレス加工を施して固定板３８を形成する際に、段差領域６０２内に突起６０４を形成する突起部６０の形成方法についてより詳細に説明する。突起部６０の形成する方法としては、上述したように、半抜き加工により段差領域６０２を形成してから、絞り加工により突起６０４を形成する方法（第１の方法）、絞り加工により突起６０４を形成してから、半抜き加工により段差領域６０２を形成する方法（第２の方法）、絞り加工による突起６０４と半抜き加工による段差領域６０２とを同時に形成する方法（第３の方法）が適用可能であるので、以下これらについて順に説明する。

（第１の方法）
最初に、半抜き加工により段差領域６０２を形成してから、絞り加工により突起６０４を形成する第１の方法について説明する。図１１、図１２は、第１実施形態による突起部６０を形成する第１の方法を説明するための工程図である。図１１は、先に行われる半抜き加工の工程図であり、図１２は、続いて行われる絞り加工の工程図である。

先ず、図１１に例示する通り、平板１１０に対して半抜き加工を施すことにより段差領域６０２を形成する。半抜き加工は、段差領域６０２の形状に合わせて成形されたパンチ１２０およびダイス１３０からなるプレス用金型を用いて行われる。ここでは図８に示す段差領域６０２の形状に合うように、基端から先端にかけて刃幅が変わらず、先端面が平面である断面矩形状のパンチ１２０を用いる。半抜き加工におけるパンチ１２０の刃幅Ｐとダイス１３０の刃幅Ｄとのクリアランスは、パンチ１２０の刃幅Ｐがダイス１３０の刃幅Ｄよりも若干大きくなるようにすることが好ましい。

図１１（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１３０を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１２０を設置する。図１１（ｂ）に示すように、パンチ１２０を所定の押し込み量だけ押し込むことにより、平板１１０はダイス１３０に押し出されて段差領域６０２が形成される。このときのパンチ１２０の所定の押し込み量は、段差領域６０２の内側面６０３に剪断面が形成される範囲で決定する。これによれば、平板１１０の強度を保持したまま段差領域６０２を形成できる。所定の押し込み量までパンチ１２０を押し込んだ後、平板１１０からパンチ１２０を引き抜く。こうして図１１（ｃ）に示すように、平板１１０に段差領域６０２が形成される。

次に、図１２に例示する通り、先に半抜き加工によって形成した段差領域６０２内に、絞り加工を施すことにより突起６０４を形成する。絞り加工は、突起６０４の形状に合わせて成形されたパンチ１２２およびダイス１３２からなるプレス用金型を用いて行われる。ここでは図８に示す突起６０４の形状に合うように、基端から先端に向けて刃幅が徐々に小さくなる凸形状のパンチ１２２を用いる。絞り加工におけるパンチ１２２の刃幅Ｐとダイス１３２の刃幅Ｄとのクリアランスは、パンチ１２２の基端の刃幅Ｐがダイス１３２の刃幅Ｄよりも小さくなるようにすることが好ましい。なお、第１の方法では、絞り加工を行う前に半抜き加工で段差領域６０２を形成するので、第１の方法の絞り加工に用いるダイス１３２としては、刃孔の平板１１０側に、絞り加工用の刃幅Ｄよりも大きく、平板１１０からダイス１３２側に突出し、段差領域６０２が挿入できる程度の幅Ｄｗと深さＤｈの段差１３３を形成する。

図１２（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１３２を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１２２を設置する。図１２（ｂ）に示すように、パンチ１２２を所定の押し込み量だけ押し込むことにより、平板１１０はダイス１３２に押し出されて突出し、突起６０４が形成される。このときのパンチ１２２の所定の押し込み量は、突起６０４の高さに応じて決定する。所定の押し込み量までパンチ１２２を押し込んだ後、平板１１０からパンチ１２２を引き抜く。こうして図１２（ｃ）に示すように、段差領域６０２内に突起６０４が形成され、これにより本実施形態による突起部６０が平板１１０に形成される。そして、これら図１１、図１２の工程を複数の突起部６０について行うことにより、平板１１０に複数の突起部６０を形成することができる。なお、同じ平板１１０に複数の突起部６０を形成する場合には、図１１の工程を繰り返して先に複数の段差領域６０２を形成した後に、図１２の工程を繰り返して各段差領域６０２に突起６０４を形成することによって、複数の突起部６０を形成してもよい。

このような突起部６０を形成する第１の方法によれば、半抜き加工により段差領域６０２を形成してから、その段差領域６０２内に絞り加工により突起６０４を形成するので、絞り加工によって肉流れが生じても、半抜き加工により剪断された段差領域６０２内にその肉流れを抑えることができるので、段差領域６０２の周りの肉流れを抑制できる。こうして、絞り加工（プレス加工）による歪みを抑制することで、平板１１０の平面度を担保できる。さらに、複数の突起部６０について突起６０４が形成される部位にそれぞれ段差領域６０２が形成されるから、段差領域６０２の形成によるビード加工の効果によって、平板１１０の反りを抑えることができ、平面の耐久性（強度）を向上させることができる。

（第２の方法）
次に、絞り加工により突起６０４を形成してから、半抜き加工により段差領域６０２を形成する第２の方法について説明する。図１３、図１４は、第１実施形態による突起部６０を形成する第２の方法を説明するための工程図である。図１３は、先に行われる絞り加工の工程図であり、図１４は、続いて行われる半抜き加工の工程図である。

先ず、図１３に例示する通り、絞り加工を施すことにより突起６０４を形成する。絞り加工は、突起６０４の形状に合わせて成形されたパンチ１２４およびダイス１３４からなるプレス用金型を用いて行われる。ここでのパンチ１２４としては、図８に示す突起６０４の形状に合うようにするため、第１の方法による図１２と同様の形状のパンチ１２２を用いることができる。絞り加工におけるパンチ１２４の刃幅Ｐとダイス１３４の刃幅Ｄとのクリアランスは、パンチ１２４の基端の刃幅Ｐがダイス１３４の刃幅Ｄよりも小さくなるようにすることが好ましい。

図１３（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１３４を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１２４を設置する。図１３（ｂ）に示すように、パンチ１２４を所定の押し込み量だけ押し込むことにより、平板１１０はダイス１３４に押し出されて突出し、突起６０４が形成される。このときのパンチ１２４の所定の押し込み量は、突起６０４の高さに応じて決定する。所定の押し込み量までパンチ１２４を押し込んだ後、平板１１０からパンチ１２４を引き抜く。こうして図１３（ｃ）に示すように、段差領域６０２内に突起６０４が形成される。

次に、図１４に例示する通り、平板１１０に対して半抜き加工を施すことにより、先の絞り加工によって形成した突起６０４を包含するように段差領域６０２を形成する。半抜き加工は、段差領域６０２の形状に合わせて成形されたパンチ１２６およびダイス１３６からなるプレス用金型を用いて行われる。ここでは図８に示す段差領域６０２の形状に合うようにするため、第１の方法による図１１と同様の形状のパンチ１２０を用いることができる。半抜き加工におけるパンチ１２６の刃幅Ｐとダイス１３６の刃幅Ｄとのクリアランスは、パンチ１２６の刃幅Ｐがダイス１３６の刃幅Ｄよりも若干大きくなるようにすることが好ましい。

図１４（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１３６を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１２６を設置する。図１４（ｂ）に示すように、パンチ１２６を所定の押し込み量だけ押し込むことにより、平板１１０はダイス１３６に押し出されて段差領域６０２が形成される。このときのパンチ１２６の所定の押し込み量は、段差領域６０２の内側面６０３に剪断面が形成される範囲で決定する。これによれば、平板１１０の強度を保持したまま段差領域６０２を形成できる。所定の押し込み量までパンチ１２６を押し込んだ後、平板１１０からパンチ１２６を引き抜く。こうして図１４（ｃ）に示すように、平板１１０の突起６０４が形成された部位に突起６０４を包含する段差領域６０２が形成される。これにより本実施形態による突起部６０が平板１１０に形成される。そして、これら図１３、図１４の工程を複数の突起部６０について行うことにより、平板１１０に複数の突起部６０を形成することができる。なお、同じ平板１１０に複数の突起部６０を形成する場合には、図１３の工程を繰り返して先に複数の突起６０４を形成した後に、図１４の工程を繰り返して各段差領域６０２内に突起６０４を形成することによって、複数の突起部６０を形成してもよい。

このような突起部６０を形成する第２の方法によれば、絞り加工により突起６０４を形成してから、半抜き加工により突起６０４を包含するように段差領域６０２を形成するから、先に行われる絞り加工によりその周囲に生じる肉流れにより歪みが発生しても、その後の半抜き加工による段差領域６０２の形成がビード加工となるため、そのビード加工の効果によって、絞り加工（プレス加工）によって生じた歪みを矯正できる。これにより、平板１１０の平面度を担保できる。さらに、段差領域６０２を形成する前に突起６０４を形成するので、突起６０４を形成する絞り加工に用いるダイス１３６に、段差領域６０２が入る段差１３３を設ける必要がない。この点で、第２の方法によれば、絞り加工に用いるダイス１３６に、段差領域６０２が入る段差１３３が必要となる第１の方法に比較してプレス金型を簡素化できる。

（第３の方法）
次に、絞り加工による突起６０４と半抜き加工による段差領域６０２とを同時に形成する第３の方法について説明する。図１５は、第１実施形態による突起部６０を形成する第３の方法を説明するための工程図である。

第３の方法では、突起６０４と段差領域６０２の形状に合わせて成形されたパンチ１２０およびダイス１３０からなるプレス用金型を用いて行われる。第３の方法で用いられるパンチ１２０は、例えば段差領域６０２を形成するための半抜き加工用刃元部１２７と、突起６０４を形成するための絞り加工用刃先部１２８とを一体にして構成される。半抜き加工用刃元部１２７は図１１に示すパンチ１２０と同様の形状で構成し、絞り加工用刃先部１２８は図１２に示すパンチ１２２の刃先と同様の形状で構成される。これに合わせて、ダイス１３９も、段差領域６０２を形成するための半抜き加工用刃孔部１３７と、突起６０４を形成するための絞り加工用刃孔部１３８とを一体にして構成される。

図１５（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１３９を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１２９を設置する。図１５（ｂ）に示すように、パンチ１２４を押し込むことにより、平板１１０はダイス１３９の絞り加工用刃先部１２８に押し出されて突出し、突起６０４が形成される。その後、パンチ１２９を抜かずにさらに押し込むことにより、図１５（ｃ）に示すように平板１１０はダイス１３６の半抜き加工用刃元部１２７に押し出されて、先に形成された突起６０４を包含するように段差領域６０２が形成される。

このような突起部６０を形成する第３の方法によれば、絞り加工により突起６０４と半抜き加工により段差領域６０２を一度の加工で形成することができる。これにより、平板１１０に、段差領域６０２とその段差領域６０２内の突起６０４とを同時に形成することができる。これにより、絞り加工を行っても、平板１１０の平面度を担保できる。さらに、パンチ１２９とダイス１３９を変えずに段差領域６０２と突起６０４を一度に形成できるから、パンチ１２９とダイス１３９の位置合わせも一度で済むので、段差領域６０２と突起６０４とを別々に行う第１の方法、第２の方法と比較して、加工の手間を省くことができる。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を以下に説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図１６は、第２実施形態における固定板３８と液体噴射部３２との関係の説明図であり、第１実施形態の図７に対応する。図１６（ａ）は図６に示す固定板３８のVII-VII断面図であり、図１６（ｂ）は固定板３８に液体噴射部３２を固定した場合の断面図である。平板に開口部５２を形成するための打ち抜き加工も、絞り加工と同様に、プレス加工の１種であり、平板の一方の面にダイスを設置して、他方の面からパンチを押し込んで、開口部５２を形成する。このため、絞り加工の場合と同様に、平板に打ち抜き加工のみで開口部５２を形成すると、パンチを押し込むときに歪みやうねりが生じ易く、平板の平面度が低下する問題がある。

このようなプレス加工による歪みやうねりを抑制するため、第１実施形態においては、平板（固定板３８）の平面領域とは高さの異なる段差領域６０２を形成し、この段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を形成する構成について説明した。これに対して、第２実施形態では、図１６に例示される通り、固定板３８を構成する平板に互いに厚みの異なる肉厚領域５２４と薄肉領域５２２を形成し、薄肉領域５２２内にプレス加工による開口部５２を形成する。これによれば、厚肉領域５２４を厚くすることができるので、厚肉領域５２４によって平板の強度を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みを抑制することができるので、第２実施形態においても、平板（固定板３８）の平面度を担保することができる。

具体的には、平板（固定板３８）には、互いに厚みが異なる薄肉領域５２２と厚肉領域５２４とが形成される。図１６（ａ）に示す薄肉領域５２２は、固定板３８の液体噴射部３２が固定される面（第１面Ｑ1）が凹むように形成される。薄肉領域５２２は、第１面Ｑ1から見れば、厚肉領域５２４に対して高さの異なる段差領域となる。これによれば、図１６（ｂ）に例示される通り、薄肉領域５２２内に形成した開口部５２にノズル板４６が露出するように、薄肉領域５２２内の凹んだ部位に液体噴射部３２を固定することができる。したがって、薄肉領域５２２を形成しないで液体噴射部３２を固定する場合に比較して、薄肉領域５２２内における第１面Ｑ1の凹み量だけ液体噴射側に液体噴射部３２を固定できるので、ノズル板４６と媒体１２との間隔を狭くすることができる。これにより、噴射した液体の位置ずれ防止効果を高めることができる。

なお、薄肉領域５２２の構成は上述した例示に限られるものではない。図１７（ａ）に例示される通り、薄肉領域５２２は、固定板３８の液体噴射部３２が固定される面とは反対側の面（第２面Ｑ2）が凹むように形成してもよい。この場合は、図１７（ｂ）に例示される通り、薄肉領域５２２内に形成した開口部５２にノズル板４６が露出するように、薄肉領域５２２内の第１面Ｑ1側に液体噴射部３２を固定する。これによれば、図１６（ｂ）の場合と比較して、薄肉領域５２２内における第２面Ｑ2の凹み量だけ、ノズル板４６と媒体１２との距離を大きくとることができる。これにより、図２に示すように媒体１２が変形（例えばカール）したとしても、図１６（ｂ）の場合よりノズル板４６に接触し難くなる。ただし、図１６（ｂ）に示すように固定板３８の第１面Ｑ1が凹むように薄肉領域５２２を形成すれば、固定板３８の液体噴射側の面（第２面Ｑ2）を凹ませずに済むので、図１７（ｂ）の場合に比較して、固定板３８の液体噴射側の面（第２面Ｑ2）の凹凸を少なくすることができる。これにより、液体噴射側の面（第２面Ｑ2）にインクが溜まり難くなるという利点がある。

第２実施形態の薄肉領域５２２は、例えば面押し加工などのプレス加工により形成される。ただし、薄肉領域５２２の形成方法は、面押し加工に限られるものではなく、薄肉領域５２２をエッチングなどで形成してもよい。薄肉領域５２２を形成した後に、その薄肉領域５２２内に、例えば打ち抜き加工により開口部５２を形成する。なお、開口部５２は、半押し加工を行った後に、押し出された部分を取り除くことによって形成するようにしてもよい。なお、薄肉領域５２２内に開口部５２を形成する方法の詳細は後述する。

以上の説明から理解される通り、第２実施形態では、固定板３８を構成する平板に互いに厚みの異なる肉厚領域５２４と薄肉領域５２２を形成し、薄肉領域５２２内にプレス加工による開口部５２を形成するから、厚肉領域５２４によって平板の強度を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みを抑制することができるので、平板（固定板３８）の平面度を維持し易くすることができる。これにより、固定板３８の平面度を維持した液体噴射ヘッド３０を製造することができる。しかも、ノズル板４６が露出する開口部５２を、薄肉領域５２２内に設けるから、ノズル板４６と媒体１２との距離を近づけることができる。なお、図１６、図１７では、本実施形態の薄肉領域５２２を形成する固定板３８には、突起部６０が形成される場合を例に挙げて説明したが、これに限られず、突起部６０が形成されなくてもよい。

＜薄肉領域５２２内にノズル板配置用の開口部５２を形成する方法＞
ここで、平板にプレス加工を施して固定板３８を形成する際に、ノズル板４６を配置するための開口部５２を薄肉領域５２２内に形成する方法についてより詳細に説明する。ここでは、平板１１０に、第１面Ｑ1側が凹となる図１６（ａ）に示す薄肉領域５２２を面押し加工により形成してから、その薄肉領域５２２内に打ち抜き加工により開口部５２を形成する場合を例に挙げる。図１８、図１９は、第２実施形態によるノズル板配置用の開口部５２を形成する方法を説明するための工程図である。図１８は、先に行われる面押し加工の工程図であり、図１９は、続いて行われる打ち抜き加工の工程図である。

先ず、図１８に例示する通り、平板１１０に対して面押し加工を施すことにより図１６（ａ）に示す薄肉領域５２２を形成する。面押し加工は、薄肉領域５２２の形状に合わせて成形されたパンチ１４０およびダイス１５０からなるプレス用金型を用いて行われる。ここでは図１６（ａ）に示す薄肉領域５２２の形状に合うように、基端から先端にかけて刃幅が変わらず、先端面が平面である断面矩形状のパンチ１４０を用いる。ダイス１５０としては、薄肉領域５２２を形成する部位を支持する支持面が平坦なものを用いる。

図１８（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１５０を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１４０を設置する。そして、図１８（ｂ）に示すように、パンチ１４０を所定の押し込み量だけ押し込むことにより、平板１１０はダイス１５０に押圧されて薄肉領域５２２が形成される。このときのパンチ１４０の所定の押し込み量は、薄肉領域５２２の内側面６０３に剪断面が形成される範囲で決定する。これによれば、平板１１０の強度を保持したまま薄肉領域５２２を形成できる。所定の押し込み量までパンチ１４０を押し込んだ後、平板１１０からパンチ１４０を引き抜く。こうして図１８（ｃ）に示すように、平板１１０に厚肉領域５２４とは厚みの異なる薄肉領域５２２が形成される。

なお、平板１１０に第２面Ｑ2側が凹となる図１７（ａ）に示す薄肉領域５２２を形成する場合には、パンチ１４０とダイス１５０の設置位置を逆にすればよい。具体的には、平板１１０の第１面Ｑ1にダイス１５０を設置し、平板１１０の第２面Ｑ2にパンチ１４０を設置して、パンチ１４０を押し込んで押圧するようにすればよい。

次に、図１９に例示する通り、先に半抜き加工によって形成した薄肉領域５２２内に、打ち抜き加工を施すことにより開口部５２を形成する。打ち抜き加工は、開口部５２の形状に合わせて成形されたパンチ１４２およびダイス１５２からなるプレス用金型を用いて行われる。ここでは図１６（ａ）に示す開口部５２の形状に合うように、基端から先端にかけて刃幅が変わらず、先端面が平面である断面矩形状のパンチ１４２を用いる。ここでのダイス１５２としては、パンチ１４２の刃形に合わせた断面矩形の刃孔を備えたものを用いる。打ち抜き加工におけるパンチ１４２の刃幅Ｐとダイス１５２の刃幅Ｄとのクリアランスは、パンチ１４２の刃幅Ｐがダイス１５２の刃幅Ｄよりも若干小さくなるようにすることが好ましい。

図１９（ａ）に示すように、平板１１０の一方の面（第２面Ｑ2）にダイス１５２を設置して、平板１１０の他方の面（第１面Ｑ1）にパンチ１４２を設置する。図１９（ｂ）に示すように、平板１１０をパンチ１４２で打ち抜くことにより、平板１１０に開口部５２が形成される。平板１１０からパンチ１４２を引き抜くと、図１９（ｃ）に示すように、薄肉領域５２２内に開口部５２が形成され、これにより本実施形態による開口部５２が平板１１０に形成される。そして、これら図１８、図１９の工程を複数の開口部５２について行うことにより、平板１１０に複数の開口部５２を形成することができる。なお、同じ平板１１０に複数の開口部５２を形成する場合には、図１８の工程を繰り返して先に複数の薄肉領域５２２を形成した後に、図１９の工程を繰り返して各薄肉領域５２２に開口部５２を形成してもよい。

以上説明した方法によれば、平板１１０には、互いに厚みの異なる厚肉領域５２４と薄肉領域５２２とが形成され、ノズル板４６を露出する開口部５２が薄肉領域５２２内に形成される。これによれば、より厚い厚肉領域５２４に薄肉領域５２２を形成できるので、平板の耐久性（強度）を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みを抑制することができるので、平板（固定板３８）の平面度を維持し易くすることができる。また、なお、面押し加工により薄肉領域５２２を形成してから、その薄肉領域５２２内に打ち抜き加工により開口部５２を形成するので、打ち抜き加工（プレス加工）による歪みが抑制又は矯正されるので、これによっても平板の平面度を担保することができる。

また、第２実施形態では、薄肉領域５２２内に開口部５２を形成する方法として、平板１１０に薄肉領域５２２を形成してから、薄肉領域５２２内に打ち抜き加工により開口部５２を形成する方法を例に挙げたが、これに限られるものではない。例えば平板１１０に打ち抜き加工により開口部５２を形成してから、面押し加工により薄肉領域５２２を形成するようにしてもよい。また、平板１１０に薄肉領域５２２と開口部５２を同時に形成するようにしてもよい。

＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態を以下に説明する。図２０は、第３実施形態にかかる液体噴射ヘッド３０の構成例を示す図である。ここでは、上述した第１実施形態による突起部６０の形成方法を適用可能な液体噴射ヘッド３０の他の構成例として、ノズルＮの乾燥等を防ぐための封止機構（キャップ）２８が固定板３８に当接する領域を考慮して突起部６０を形成した場合の具体例を挙げる。

図２０には、固定板３８の第２面Ｑ2とIX-IX線の断面図とが併記されている。図２０の断面図から理解される通り、封止機構２８は、複数のノズルＮの清掃等の保守動作の実行時に固定板３８の第２面Ｑ2（液体噴射面）に接触して各ノズルＮを密閉する複数の封止体２８２を具備する。図２０の封止機構（キャップ）２８は、１個の液体噴射ヘッド３０に対して２個の封止体２８２を使用する場合を例に挙げたものである。各封止体２８２は、基礎部２８４と封止部２８６とが一体に形成された弾性体であり、例えば樹脂材料の射出成形で形成される。

基礎部２８４は平板状の部分であり、封止部２８６は、基礎部２８４の周縁から突出する環状（具体的には矩形枠状）の部分である。封止部２８６のうち基礎部２８４とは反対側の頂上面が固定板３８の第２面Ｑ2に当接することで各ノズルＮが密閉される。図２０に例示される通り、固定板３８の複数の突起部６０は、第２面Ｑ2のうち封止体２８２に接触する環状の領域（以下「封止領域」という）Ｌ以外の領域に形成され、平面視で封止領域Ｌには重ならない。具体的には、第２面Ｑ2のうち平面視で封止領域Ｌの内周縁の内側の領域（封止領域Ｌで包囲された領域）に複数の突起部６０が形成される。以上の通り、第１実施形態では、固定板３８の第２面Ｑ2のうち封止領域Ｌには突起部６０が形成されないから、封止領域Ｌ内に突起部６０を形成した構成と比較して、封止体２８２（封止部２８６）を第２面Ｑ2に密着させて各ノズルＮを充分に密閉できるという利点がある。

図２０に示す突起部６０は、第１実施形態と同様に段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を形成してなるから、絞り加工（プレス加工）による歪みが抑制又は矯正されるので、プレス加工後の平板の平面度を担保することができる。これにより、図２０に示す構成の液体噴射ヘッド３０においても、固定板３８の平面度を維持した液体噴射ヘッド３０を製造することができる。また、図２０に示す開口部５２についても、第２実施形態と同様に、厚みの異なる厚肉領域５２４と薄肉領域５２２を形成し、その薄肉領域５２２内で抜き打ち加工により開口部５２を形成するようにしてもよい。これにより、厚肉領域５２４によって平板の強度を向上させることができる。これにより、プレス加工による歪みが抑制され、平板の平面度を維持し易くすることができる。

＜第４実施形態＞
本発明の第４実施形態を以下に説明する。ここでは、上述した第１実施形態による突起部６０の形成方法を適用可能な液体噴射ヘッド３０の他の構成例として、突起部６０の構成を変えた場合の具体例を挙げる。

図２１は、第４実施形態にかかる液体噴射ヘッド３０の構成例であり、固定板３８の第２面Ｑ2の平面図である。図２１に例示される通り、第４実施形態の固定板３８に形成された複数の突起部６０は、複数の第１突起部６０Aと複数の第２突起部６０Bとを包含する。複数の第１突起部６０Aは、相互に間隔をあけてＸ方向に配列するとともに各々がＷ方向に延在する。同様に、複数の第２突起部６０Bは、相互に間隔をあけてＸ方向に配列するとともに各々がＷ方向に延在する。第１突起部６０Aと第２突起部６０BとはＸ方向に沿って交互に配列する。

図２１に例示される通り、第４実施形態の固定板３８の第２面Ｑ2（ノズル分布領域Ｒ）を、Ｙ方向に第１領域Ｒ1と第２領域Ｒ2と第３領域Ｒ3とに便宜的に区分する。第１領域Ｒ1は第２領域Ｒ2からみてＹ方向の正側に位置し、第３領域Ｒ3は第２領域Ｒ2からみてＹ方向の負側に位置する。第１突起部６０Aは、第１領域Ｒ1と第２領域Ｒ2とにわたりＷ方向に延在し、第３領域Ｒ3には形成されない。他方、第２突起部６０Bは、第２領域Ｒ2と第３領域Ｒ3とにわたりＷ方向に延在し、第１領域Ｒ1には形成されない。以上の説明から理解される通り、第４実施形態では、第１突起部６０Aと第２突起部６０Bとは、媒体１２が搬送されるＹ方向における位置が相違するとともに、Ｙ方向において相互に部分的に（すなわち第２領域Ｒ2内で限定的に）重複する。

このような第４実施形態における各突起部６０（第１突起部６０A、第２突起部６０B）についても、第１実施形態と同様に、段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を配置した構成である。図２１では、便宜上、段差領域６０２と突起６０４を突起部６０（第１突起部６０A、第２突起部６０B）として直線で表している。

第４実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第４実施形態では、突起部６０が第２面Ｑ2の全域にわたりＷ方向に延在する構成と比較して突起部６０が短縮されるから、突起部６０の形成に起因した固定板３８の変形（特に突起部６０を絞り加工で形成する場合の変形）を抑制できるという利点がある。なお、第１突起部６０Aと第２突起部６０BとがＹ方向に沿って重複しない構成（例えば第１突起部６０Aおよび第２突起部６０Bの何れも第２領域Ｒ2には形成されない構成）では、図２１の第２領域Ｒ2で媒体１２が固定板３８の第２面Ｑ2に接触するから、開口部５２の内側に残留したインクが媒体１２に付着する可能性がある。第４実施形態では、第１突起部６０Aと第２突起部６０BとがＹ方向において相互に部分的に重複するから、各突起部６０の長さを短縮した構成にも関わらず、第２面Ｑ2に対する媒体１２の接触を有効に防止できるという利点がある。

＜第５実施形態＞
本発明の第５実施形態を以下に説明する。上述した第１〜第４実施形態では、複数のノズル板４６を固定する固定板３８を設けた液体噴射ヘッドについて、固定板３８を、液体噴射面を規定する平板として例示し、その固定板３８に絞り加工による突起部６０を形成した場合を説明した。第５実施形態では、固定板３８を設けない液体噴射ヘッドについて、ノズル板７２そのものを、液体噴射面を規定する平板として例示し、そのノズル板７２に絞り加工による突起部６０を形成する場合について説明する。

図２２は、第５実施形態の液体噴射ユニット２６のうち媒体１２に対向する液体噴射面の平面図である。図２２に例示される通り、第５実施形態の液体噴射ユニット２６は、媒体１２に対向するノズル板７２を具備するＸ方向に長尺なラインヘッドである。ノズル板７２は、媒体１２の全幅にわたるＸ方向に長尺な平板である。

図２２に例示される通り、Ｘ方向に配列する複数のノズル分布領域７４がノズル板７２には画定される。各ノズル分布領域７４は、平面視で台形状（具体的には等脚台形）の領域である。Ｘ方向に相互に隣合う各ノズル分布領域７４の間で上底と下底との位置関係が反転するように複数のノズル分布領域７４が画定される。各ノズル分布領域７４には、Ｘ方向およびＹ方向にわたり複数のノズルＮが形成される。以上の説明から理解される通り、ノズル板７２のうちＺ方向の正側に位置する表面（媒体１２との対向面）は、複数のノズルＮが設置された液体噴射面として機能する。

図２２に例示される通り、第５実施形態のノズル板７２の液体噴射面には複数の突起部６０が形成される。各突起部６０は、Ｘ方向に交差する方向に沿って形成されて液体噴射面から突出する。具体的には、Ｘ方向に相互に隣合う各ノズル分布領域７４の間隙内で台形の各脚の方向に沿う直線状の突起部６０が形成される。すなわち、第５実施形態の各突起部６０は、Ｘ方向に傾斜する方向に沿って延在する。図１７に例示される通り、Ｘ方向に相互に隣合う各突起部６０は、Ｘ方向に直交する軸線Ａに対して線対称の関係にある。

図２２に例示される通り、第５実施形態の液体噴射ユニット２６は複数の貯留室ＳRを具備する。各貯留室ＳRは、第１実施形態と同様に、複数のノズルＮから噴射されるインクを貯留する空間である。具体的には、平面視で（液体噴射面に垂直な方向からみて）各ノズル分布領域７４の頂点に対応した位置に貯留室ＳRが形成される。貯留室ＳRから複数の流路に分配されたインクが各ノズルＮから噴射される。図２２から理解される通り、第５実施形態の各突起部６０は、平面視で貯留室ＳRに重なる位置に設置される。他方、各ノズルＮは平面視で貯留室ＳRに重ならない位置に形成される。以上の通り、第５実施形態では、液体噴射面のうち平面視で貯留室ＳRに重なる領域（本来的にノズルＮが形成されない領域）が突起部６０の形成に有効に利用されるから、貯留室ＳRに重ならないように突起部６０を形成する構成と比較して複数のノズルＮを高密度に配置することが可能である。

このような第５実施形態の各突起部６０の形状は上述した各実施形態と同様である。第５実施形態では、ノズル板７２そのものに設ける各突起部６０を、第１実施形態と同様に、段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を配置して構成する。なお、図２２では、便宜上段差領域６０２と突起６０４を突起部６０として直線で表している。

以上に例示した第５実施形態では、ノズル板７２そのものに設ける各突起部６０を、第１実施形態と同様に、段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を配置して構成するから、第１実施形態と同様の効果が得られる。また、ノズル板７２を構成する平板に、突起部６０を形成してから、貫通口の他の例としてのノズルＮの開口を形成することで、ノズルＮの開口に絞り加工による歪みの影響が及ばないようにすることができる。また、複数のノズルＮが配列された液体噴射面から突出する突起部６０が、ラインヘッドの長手方向であるＸ方向に交差（直交または傾斜）する方向に沿って設置される。したがって、Ｘ方向に沿って突起部６０が形成された構成と比較して、媒体１２が搬送されるＹ方向の広範囲にわたり液体噴射面に対する媒体１２の接触を防止できるという利点もある。

なお、図２２では、Ｘ方向に相互に隣合う各ノズル分布領域７４の間隙の全長にわたり突起部６０が延在する構成を例示したが、例えば図２３に例示される通り、各ノズル分布領域７４の間隙の一部のみに突起部６０を形成することも可能である。図２３の構成では、各ノズル分布領域７４の間隙に突起部６０の形成用のスペースを確保する必要がないから、各ノズル分布領域７４を相互に近接して配置することで複数のノズルＮを高密度に配置できるという利点がある。

＜第６実施形態＞
本発明の第６実施形態を以下に説明する。ここでは、固定板３８を設けない液体噴射ヘッドについて、ノズル板７２そのものを、液体噴射面を規定する平板とし、そのノズル板７２に突起部６０を形成する他の具体例について説明する。

図２４は、第６実施形態の液体噴射ユニット２６のうち媒体１２に対向する液体噴射面の平面図である。図２４に例示される通り、第６実施形態の液体噴射ユニット２６は、Ｘ方向に千鳥状に配列（いわゆるスタガ配置）された複数の液体噴射ヘッド３０を具備する。複数の液体噴射ヘッド３０の各々は、複数のノズルＮがＸ-Ｙ平面内に形成されたノズル板７２を具備する。各液体噴射ヘッド３０のノズル板７２のうち媒体１２に対向する液体噴射面には複数の突起部６０が形成される。各突起部６０は、Ｘ方向に交差（直交または傾斜）する方向に沿って形成されて液体噴射面から突出する。

このような第６実施形態の各突起部６０の形状は上述した各実施形態と同様である。第６実施形態では、ノズル板７２そのものに設ける各突起部６０を、第１実施形態と同様に、段差領域６０２内に絞り加工による突起６０４を配置して構成する。また、ノズル板７２を構成する平板に、突起部６０を形成してから、貫通口の他の例としてのノズルＮの開口を形成することで、ノズルＮの開口に絞り加工による歪みの影響が及ばないようにすることができる。なお、図２４では、便宜上段差領域６０２と突起６０４を突起部６０として直線で表している。これにより、第６実施形態においても前述の各形態と同様の効果が実現される。

以上に例示した第１実施形態から第６実施形態は、複数のノズルＮが設置された液体噴射面から突出する突起部６０が設置された構成として包括的に表現され、液体噴射面を形成する部材の機能や用途は不問である。第１実施形態ないし第４実施形態のように固定板３８で液体噴射面が形成されるか、第５実施形態または第６実施形態のようにノズル板７２で液体噴射面が形成されるかに関わらず、前述の各形態で例示した各種の構成（例えば突起部６０の形状等）が同様に適用される。

＜変形例＞
以上に例示した形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）突起部６０の突起６０４の断面形状（Ｗ方向に垂直な断面内における突起６０４の表面の形状）は前述の各形態の例示に限定されない。例えば図２５に例示した断面形状の突起６０４により突起部６０を形成することも可能である。図２５（ａ）の突起６０４は断面形状が矩形状（長方形状）であり、図２５（ｂ）の突起６０４は断面形状が弓形状である。図２５（ａ）の突起６０４は段差領域６０２と同様に半抜き加工で形成するようにしてもよい。なお、突起６０４の断面形状は線対称な形状に限定されない。例えば、図２５（ｃ）のように、液体噴射面（第２面Ｑ2）に垂直な側面６０４Aと液体噴射面に傾斜する側面６０４Bとで構成される三角形状の断面形状の突起６０４で突起部６０を形成することも可能である。前述の実施形態や図２５（ｂ）および図２５（ｃ）のように突起部６０の突起６０４が液体噴射面に対する傾斜面を包含する構成では、例えば図２５（ａ）の構成と比較して、液体噴射面に付着したインクをワイパーにより効果的に払拭できるという利点がある。

また、突起部６０の段差領域６０２の断面形状（Ｗ方向に垂直な断面内における段差領域６０２の表面の形状）も前述の各形態の例示に限定されない。例えば図２５（ｄ）に示すように、異なる幅の段差領域６０２を複数段（図２５（ｄ）では２段）重ねて形成するようにしてもよい。この場合には、小さな幅の段差領域６０２Aほど第２面Ｑ2から液体噴射側に向けて配置され、小さな幅の段差領域６０２Aが大きな幅の段差領域６０２B内に含まれるように形成する。この場合、段差領域６０２Aおよび段差領域６０２Bの半抜き加工を行ってから、絞り加工で突起６０４を形成してもよく、絞り加工で突起６０４を形成してから、段差領域６０２Aおよび段差領域６０２Bの半抜き加工を行うようにしてもよい。また、段差領域６０２は２段に限られず、３段以上形成してもよい。このように、半抜き加工を複数回行うことにより段差領域６０２を多段にすることで、より平板の平面度が維持され易くなる。また、突起部６０の突起６０４の平面形状（Ｚ方向からみた突起部６０の外形）は前述の各形態の例示には限定されない。例えば平面形状、弓形状（半月状）に形成してもよい。

（２）第１実施形態から第４実施形態では、各液体噴射部３２におけるコンプライアンス部４７の支持板４７４を固定板３８の第１面Ｑ1に固定したが、液体噴射部３２のうち固定板３８に接合される部材は支持板４７４に限定されない。例えば、液体噴射部３２のうち固定板３８との対向面以外の場所にコンプライアンス部４７を設置した構成やコンプライアンス部４７を省略した構成では、流路基板４１のうちＺ方向の正側の表面を固定板３８の第１面Ｑ1に例えば接着剤で固定することも可能である。

（３）液体噴射部３２がインクを噴射する方式は、圧電素子を利用した前述の方式（ピエゾ方式）に限定されない。例えば、加熱により圧力室内に気泡を発生させて圧力室内の圧力を変化させる発熱素子を利用した方式（サーマル方式）の液体噴射ヘッドにも本発明は適用され得る。

（４）以上の各形態で例示した印刷装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１０……印刷装置（液体噴射装置）、１２……媒体、１４……液体容器、２２……制御装置、２４……搬送機構、２４２……第１ローラー、２４４……第２ローラー、２６……液体噴射ユニット、３０……液体噴射ヘッド、３２……液体噴射部、３４……支持体、３６……流路構造体、３８……固定板、３８２……支持部、３８４……周縁部、４１……流路基板（流路部材）、４２……圧力室基板、４３……振動板、４４……筐体、４５……封止板、４６，７２……ノズル板、４７……コンプライアンス部、４７２……弾性膜、４７４……支持板、５２……開口部、５２２……薄肉領域、５２４……厚肉領域、５４……充填材、６０……突起部、６０２（６０２A、６０２B）……段差領域、６０４……突起、１１０……平板、１２０、１２２、１２４、１２６、１２９、１４０、１４２……パンチ、１３０、１３２、１３４、１３６、１３９、１５０、１５２……ダイス、Ｑ1……第１面、Ｑ2……第２面、Ｎ……ノズル、ＳR……貯留室、ＳC……圧力室、ＳD……ダンパー室。

Claims (13)

1. 液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   液体が噴射されるノズルが設けられた液体噴射面を規定する平板の平面領域に対して、半抜き加工により形成され、前記平面領域とは高さの異なる段差領域と、前記段差領域内に絞り加工により形成され、液体噴射側に突出する突起とを含み、第１方向に延在し、当該第１方向に交差する第２方向に配列する第１突起部および第２突起部を設ける工程と、
   前記平板に対して、前記液体を供給する流路が設けられた流路部材を、前記突起が突出する側とは反対側に固定する工程とを有し、
   前記第１突起部は、第１部分と、当該第１部分から前記第１方向における第１側に延在する第２部分とを含み、
   前記第２突起部は、第３部分と、当該第３部分から前記第１方向における前記第１側とは反対側の第２側に延在する第４部分とを含み、
   前記第１部分と前記第３部分とは、前記第２方向からみて相互に重複し、
   前記第２部分と前記第２突起部とは、前記第２方向からみて相互に重複せず、
   前記第４部分と前記第１突起部とは、前記第２方向からみて相互に重複しない
   液体噴射ヘッドの製造方法。
2. 前記段差領域は、液体噴射側に突出するように形成される
   請求項１の液体噴射ヘッドの製造方法。
3. 前記段差領域の側面は、前記半抜き加工により形成された剪断面である
   請求項１または請求項２の液体噴射ヘッドの製造方法。
4. 前記段差領域内に前記突起を設ける工程において、
   前記半抜き加工により前記段差領域を形成した後に、前記絞り加工により前記突起を形成する
   請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッドの製造方法。
5. 前記段差領域内に前記突起を設ける工程において、
   前記絞り加工により前記突起を形成した後に、前記半抜き加工により前記段差領域を形成する
   請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッドの製造方法。
6. 前記段差領域からの前記突起の突出量は、前記段差領域の前記平面領域からの段差量よりも大きい
   請求項１から請求項５の何れかの液体噴射ヘッドの製造方法。
7. 前記突起の突出量は、前記平板の前記段差領域の厚みよりも大きい
   請求項１から請求項６の何れかの液体噴射ヘッドの製造方法。
8. 前記平板は、前記平面領域内に貫通口を有し、
   前記貫通口は、前記突起を形成した後に形成される
   請求項１から請求項７の何れかの液体噴射ヘッドの製造方法。
9. 前記平板は、前記平面領域内に厚みが互いに異なる厚肉領域と薄肉領域とを有し、
   前記貫通口は、前記薄肉領域内に設けられ、
   液体噴射ノズルが形成されるノズル板を有する液体噴射部は、前記ノズル板が前記貫通口内において液体噴射側に露出するように、前記平板に固定される
   請求項８の液体噴射ヘッドの製造方法。
10. 前記薄肉領域は、前記平板の液体噴射側とは反対側の表面が凹むように形成され、その凹んだ領域内に前記液体噴射部を固定する
    請求項９の液体噴射ヘッドの製造方法。
11. 前記薄肉領域は、前記平板の液体噴射側の表面が凹むように形成され、その凹んだ領域とは反対側の表面に前記液体噴射部を固定する
    請求項９の液体噴射ヘッドの製造方法。
12. さらに、前記平板の平面領域に対して曲げ加工を行う工程と、
    前記平板の曲げ加工が施された部位に、液体の流路を形成する支持体の側面を固定する工程と、を有する
    請求項１から請求項１１の何れかの液体噴射ヘッドの製造方法。
13. 液体が噴射されるノズルが設けられた液体噴射面を規定する平板と、
    前記平板の平面領域とは高さの異なる段差領域内に、液体噴射側に突出するように設けられた突起を含み、第１方向に延在し、当該第１方向に交差する第２方向に配列する第１突起部および第２突起部を具備し、
    前記第１突起部は、第１部分と、当該第１部分から前記第１方向における第１側に延在する第２部分とを含み、
    前記第２突起部は、第３部分と、当該第３部分から前記第１方向における前記第１側とは反対側の第２側に延在する第４部分とを含み、
    前記第１部分と前記第２部分とは、前記第２方向からみて相互に重複し、
    前記第２部分と前記第２突起部とは、前記第２方向からみて相互に重複せず、
    前記第４部分と前記第１突起部とは、前記第２方向からみて相互に重複しない
    液体噴射ヘッド。

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