JP2002346353A - マイクロ混合器 - Google Patents
マイクロ混合器Info
- Publication number
- JP2002346353A JP2002346353A JP2001158632A JP2001158632A JP2002346353A JP 2002346353 A JP2002346353 A JP 2002346353A JP 2001158632 A JP2001158632 A JP 2001158632A JP 2001158632 A JP2001158632 A JP 2001158632A JP 2002346353 A JP2002346353 A JP 2002346353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mixing
- outlets
- inlets
- units
- channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/40—Static mixers
- B01F25/42—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions
- B01F25/421—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions by moving the components in a convoluted or labyrinthine path
- B01F25/422—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions by moving the components in a convoluted or labyrinthine path between stacked plates, e.g. grooved or perforated plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/40—Static mixers
- B01F25/42—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions
- B01F25/43—Mixing tubes, e.g. wherein the material is moved in a radial or partly reversed direction
- B01F25/432—Mixing tubes, e.g. wherein the material is moved in a radial or partly reversed direction with means for dividing the material flow into separate sub-flows and for repositioning and recombining these sub-flows; Cross-mixing, e.g. conducting the outer layer of the material nearer to the axis of the tube or vice-versa
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/30—Micromixers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/56—General build-up of the mixers
- B01F35/561—General build-up of the mixers the mixer being built-up from a plurality of modules or stacked plates comprising complete or partial elements of the mixer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
- B01F35/717—Feed mechanisms characterised by the means for feeding the components to the mixer
- B01F35/7182—Feed mechanisms characterised by the means for feeding the components to the mixer with means for feeding the material with a fractal or tree-type distribution in a surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F2215/00—Auxiliary or complementary information in relation with mixing
- B01F2215/04—Technical information in relation with mixing
- B01F2215/0413—Numerical information
- B01F2215/0418—Geometrical information
- B01F2215/0431—Numerical size values, e.g. diameter of a hole or conduit, area, volume, length, width, or ratios thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/40—Mixing liquids with liquids; Emulsifying
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S366/00—Agitating
- Y10S366/03—Micromixers: variable geometry from the pathway influences mixing/agitation of non-laminar fluid flow
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ミキシング性能が良好で、その製作が容易な
安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供する。 【解決手段】 ２個のインレット１１ａ,１１ｂと２個
のアウトレット１２ａ,１２ｂとを具備した複数の混合
分配ユニット１０を備え、これらの複数の混合分配ユニ
ットを周期的に配列してなる複数枚の流路モジュール７
を積層して複数の層をなす流路を形成したものであっ
て、前記各流路モジュールの１つの混合分配ユニットに
おける２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、隣接する
次層の流路モジュールにおける２つの混合分配ユニット
の各１個のインレット１１ａ,１１ｂにそれぞれ個別に
連結して、２種類の液体Ａ,Ｂを混合したマイクロ混合
液を形成する。
安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供する。 【解決手段】 ２個のインレット１１ａ,１１ｂと２個
のアウトレット１２ａ,１２ｂとを具備した複数の混合
分配ユニット１０を備え、これらの複数の混合分配ユニ
ットを周期的に配列してなる複数枚の流路モジュール７
を積層して複数の層をなす流路を形成したものであっ
て、前記各流路モジュールの１つの混合分配ユニットに
おける２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、隣接する
次層の流路モジュールにおける２つの混合分配ユニット
の各１個のインレット１１ａ,１１ｂにそれぞれ個別に
連結して、２種類の液体Ａ,Ｂを混合したマイクロ混合
液を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミキシング性能が
良好で、その製作が容易な簡易な構造のマイクロ混合器
に関する。
良好で、その製作が容易な簡易な構造のマイクロ混合器
に関する。
【０００２】
【関連する背景技術】マイクロ混合器は、例えばマイク
ロマシンニング技術を用いてＳi等の半導体基板を加工
して製作される。具体的にはこの種のマイクロ混合器
は、例えば２種類の液（流体）Ａ,Ｂを混合して２層の
層流（Ａ＋Ｂ）を形成した後、この層流（Ａ＋Ｂ）をそ
の層方向に（Ａ＋Ｂ）／２ずつ２分割し、更にこれらの
２分割された２つの層流（Ａ／２＋Ｂ／２）を混合して
４層の層流（Ａ／２＋Ｂ／２＋Ａ／２＋Ｂ／２）を形成
した後、この層流をその層方向に更に２分割すると言う
処理を繰り返すことで、上記各液Ａ,Ｂがなす層（大き
さ）を徐々に細分化し、これによって前記各液Ａ,Ｂの
拡散を速めるように構成される。
ロマシンニング技術を用いてＳi等の半導体基板を加工
して製作される。具体的にはこの種のマイクロ混合器
は、例えば２種類の液（流体）Ａ,Ｂを混合して２層の
層流（Ａ＋Ｂ）を形成した後、この層流（Ａ＋Ｂ）をそ
の層方向に（Ａ＋Ｂ）／２ずつ２分割し、更にこれらの
２分割された２つの層流（Ａ／２＋Ｂ／２）を混合して
４層の層流（Ａ／２＋Ｂ／２＋Ａ／２＋Ｂ／２）を形成
した後、この層流をその層方向に更に２分割すると言う
処理を繰り返すことで、上記各液Ａ,Ｂがなす層（大き
さ）を徐々に細分化し、これによって前記各液Ａ,Ｂの
拡散を速めるように構成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のマ
イクロ混合器にあっては、流体（液）を混合・分配する
為の流路自体が微細であり、クリティカルな製作精度が
要求される。この為、その加工（製造）方法が複雑であ
り、しかも正確なアライメントを必要とするので製造コ
ストが高いと言う問題がある。また流路自体が微細なの
で、その流路構造が複雑な場合、液体粒子による目詰ま
りを起こし易い。特に流体を分配する為の幅の狭いスリ
ット部分において目詰まりが生じ易い。更には流体の流
れが不均衡となって所要とするミキシング性能を得るこ
とが困難となる等の欠点がある。
イクロ混合器にあっては、流体（液）を混合・分配する
為の流路自体が微細であり、クリティカルな製作精度が
要求される。この為、その加工（製造）方法が複雑であ
り、しかも正確なアライメントを必要とするので製造コ
ストが高いと言う問題がある。また流路自体が微細なの
で、その流路構造が複雑な場合、液体粒子による目詰ま
りを起こし易い。特に流体を分配する為の幅の狭いスリ
ット部分において目詰まりが生じ易い。更には流体の流
れが不均衡となって所要とするミキシング性能を得るこ
とが困難となる等の欠点がある。
【０００４】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、ミキシング性能が良好で、その
製作が容易な安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供
することにある。
たもので、その目的は、ミキシング性能が良好で、その
製作が容易な安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明に係るマイクロ混合器は、ｎ（ｎ＝２〜４）
個のインレットとｎ個のアウトレットとを具備した複数
の混合分配ユニットを備え、これらの複数の混合分配ユ
ニットを周期的に配列してなる複数枚の流路モジュール
を積層して複数の層をなす流路を形成したものであっ
て、上記各流路モジュールにおける前記各混合分配ユニ
ットを、該流路モジュールの上流面に前記ｎ個のインレ
ットを設けると共に、その下流面に前記ｎ個のアウトレ
ットを設け、これらのｎ個のインレットとｎ個のアウト
レットとをチャネルを介して連結した流路構造を有する
ものとして実現すると共に、前記各流路モジュールの１
つの混合分配ユニットにおけるｎ個のアウトレットを、
隣接する次層の流路モジュールにおけるｎ個の混合分配
ユニットの各１個のインレットにそれぞれ個別に連結し
たことを特徴としている。
べく本発明に係るマイクロ混合器は、ｎ（ｎ＝２〜４）
個のインレットとｎ個のアウトレットとを具備した複数
の混合分配ユニットを備え、これらの複数の混合分配ユ
ニットを周期的に配列してなる複数枚の流路モジュール
を積層して複数の層をなす流路を形成したものであっ
て、上記各流路モジュールにおける前記各混合分配ユニ
ットを、該流路モジュールの上流面に前記ｎ個のインレ
ットを設けると共に、その下流面に前記ｎ個のアウトレ
ットを設け、これらのｎ個のインレットとｎ個のアウト
レットとをチャネルを介して連結した流路構造を有する
ものとして実現すると共に、前記各流路モジュールの１
つの混合分配ユニットにおけるｎ個のアウトレットを、
隣接する次層の流路モジュールにおけるｎ個の混合分配
ユニットの各１個のインレットにそれぞれ個別に連結し
たことを特徴としている。
【０００６】即ち、本発明は、上流面側にｎ個のインレ
ットを設けると共に、下流面側にｎ個のアウトレットを
設け、これらのインレットとアウトレットとをチャネル
を介して連結して流路を形成た混合分配ユニットを備
え、これらの混合分配ユニットを複数個配列した板状の
流路モジュールを、複数枚積み重ねて多層構造化したマ
イクロ混合器を構築するものであって、前記各流路モジ
ュールにおける混合分配ユニットのｎ個のアウトレット
を、その下流側の流路モジュールにおけるｎ個の混合分
配ユニットの各１個のインレットにそれぞれ個別に連結
し、各混合分配ユニットのｎ個のインレットからそれぞ
れ導入されて混合した流体を、そのｎ個のアウトレット
からそれぞれ分配して出力し、これらのｎ個のアウトレ
ットからそれぞれ出力される流体を、下流側の流路モジ
ュールにおけるｎ個の混合分配ユニットにおける各１個
のインレットに個別に導くようにしたことを特徴として
いる。
ットを設けると共に、下流面側にｎ個のアウトレットを
設け、これらのインレットとアウトレットとをチャネル
を介して連結して流路を形成た混合分配ユニットを備
え、これらの混合分配ユニットを複数個配列した板状の
流路モジュールを、複数枚積み重ねて多層構造化したマ
イクロ混合器を構築するものであって、前記各流路モジ
ュールにおける混合分配ユニットのｎ個のアウトレット
を、その下流側の流路モジュールにおけるｎ個の混合分
配ユニットの各１個のインレットにそれぞれ個別に連結
し、各混合分配ユニットのｎ個のインレットからそれぞ
れ導入されて混合した流体を、そのｎ個のアウトレット
からそれぞれ分配して出力し、これらのｎ個のアウトレ
ットからそれぞれ出力される流体を、下流側の流路モジ
ュールにおけるｎ個の混合分配ユニットにおける各１個
のインレットに個別に導くようにしたことを特徴として
いる。
【０００７】本発明の好ましい態様は、前記インレット
およびアウトレットの個数ｎは２であって、前記各流路
モジュールに配列される複数の混合分配ユニットは、互
いに隣り合う２つの混合分配ユニット間において隣接す
る２個のアウトレットの配列間隔が、前記各混合分配ユ
ニットにおける２個のインレットの配列間隔と等しくな
るように配列される。より好ましくは、前記各流路モジ
ュールにおける複数の混合分配ユニットは、上記配列条
件の下で直線上に配列される。
およびアウトレットの個数ｎは２であって、前記各流路
モジュールに配列される複数の混合分配ユニットは、互
いに隣り合う２つの混合分配ユニット間において隣接す
る２個のアウトレットの配列間隔が、前記各混合分配ユ
ニットにおける２個のインレットの配列間隔と等しくな
るように配列される。より好ましくは、前記各流路モジ
ュールにおける複数の混合分配ユニットは、上記配列条
件の下で直線上に配列される。
【０００８】また本発明の好ましい態様は、前記各混合
分配ユニットにおけるｎ個のインレットの径、ｎ個のア
ウトレットの径、およびチャネルの幅とその深さを、ほ
ぼ同じ大きさのものとして形成される。尚、アウトレッ
トの径については、該アウトレットに連結される下流側
の流路モジュールにおけるインレットの径によって規定
されるようにしても良い。
分配ユニットにおけるｎ個のインレットの径、ｎ個のア
ウトレットの径、およびチャネルの幅とその深さを、ほ
ぼ同じ大きさのものとして形成される。尚、アウトレッ
トの径については、該アウトレットに連結される下流側
の流路モジュールにおけるインレットの径によって規定
されるようにしても良い。
【０００９】また上述した如くして複数の層をなして流
体を混合する流路を形成する場合、最下流の層をなす流
路モジュールに、該流路モジュールにおける複数の混合
分配ユニットの各アウトレットからそれぞれ出力される
流体を１つの流路にまとめる集合部を設けることが望ま
しい。特にこの集合部については、前記複数の混合分配
ユニットにおける各アウトレットからそれぞれ出力され
た流体を十分に混合するに必要な滞留時間を確保し得る
流路長を有するものとして実現することが望ましい。ま
た混合液がお互いに反応する場合には、その反応時間を
十分確保するように設定することが望ましい。
体を混合する流路を形成する場合、最下流の層をなす流
路モジュールに、該流路モジュールにおける複数の混合
分配ユニットの各アウトレットからそれぞれ出力される
流体を１つの流路にまとめる集合部を設けることが望ま
しい。特にこの集合部については、前記複数の混合分配
ユニットにおける各アウトレットからそれぞれ出力され
た流体を十分に混合するに必要な滞留時間を確保し得る
流路長を有するものとして実現することが望ましい。ま
た混合液がお互いに反応する場合には、その反応時間を
十分確保するように設定することが望ましい。
【００１０】本発明に係るより具体的なマイクロ混合器
は、２個のインレットと２個のアウトレットとをチャネ
ルを介して連結した流路構造をなす混合分配ユニット、
および／または２個のインレットと１個のアウトレット
とをチャネルを介して連結した流路構造をなす混合ユニ
ットを設けた複数枚の平板状の流路モジュールを積層し
て構成され、前記各流路モジュールにおける混合分配ユ
ニットおよび／または混合ユニットの各２個のインレッ
トを、その上流側の流路モジュールにおける２つの混合
分配ユニットおよび／または混合ユニットの各１個のア
ウトレットにそれぞれ個別に連結してなり、各流路モジ
ュールにおける混合分配ユニットおよび／または混合ユ
ニットの数を、その上流側から下流側に向けて順次１個
ずつ減らしながら流体を混合し、最終的には１つの流路
にまとめて出力する多層構造のものとして実現される。
は、２個のインレットと２個のアウトレットとをチャネ
ルを介して連結した流路構造をなす混合分配ユニット、
および／または２個のインレットと１個のアウトレット
とをチャネルを介して連結した流路構造をなす混合ユニ
ットを設けた複数枚の平板状の流路モジュールを積層し
て構成され、前記各流路モジュールにおける混合分配ユ
ニットおよび／または混合ユニットの各２個のインレッ
トを、その上流側の流路モジュールにおける２つの混合
分配ユニットおよび／または混合ユニットの各１個のア
ウトレットにそれぞれ個別に連結してなり、各流路モジ
ュールにおける混合分配ユニットおよび／または混合ユ
ニットの数を、その上流側から下流側に向けて順次１個
ずつ減らしながら流体を混合し、最終的には１つの流路
にまとめて出力する多層構造のものとして実現される。
【００１１】このときの好ましい態様は、前記混合分配
ユニットを、前記２個のインレットおよび２個のアウト
レットを、その中央に設けられてチャネルの向きを定め
る島状の仕切部を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ
対称に設けた構造を有するものとし、一方、前記混合ユ
ニットについては、上記混合分配ユニットにおける２個
のアウトレットの一方と、そのアウトレットに連なるチ
ャネルを省いた構造を有するものとして実現すれば良
い。
ユニットを、前記２個のインレットおよび２個のアウト
レットを、その中央に設けられてチャネルの向きを定め
る島状の仕切部を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ
対称に設けた構造を有するものとし、一方、前記混合ユ
ニットについては、上記混合分配ユニットにおける２個
のアウトレットの一方と、そのアウトレットに連なるチ
ャネルを省いた構造を有するものとして実現すれば良
い。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について、２種類の液体Ａ,Ｂを混合してその
拡散を速めるマイクロ混合器を例に説明する。図１はこ
の実施形態に係るマイクロ混合器の概略構成を示す分解
斜視図で、図中１,２は上下一対のプレート体である。
これらのプレート体１,２は、例えば厚みが５ｍｍ、一
辺の長さが５０ｍｍ程度の平板矩形状のＡl材やＳＵＳ
等からなる。これらの各プレート体１,２の四隅部に
は、貫通孔１ａとねじ孔２ａとがそれぞれ設けられてお
り、上部プレート体１の各貫通孔１ａを通して下部プレ
ート体２のねじ孔２ａに螺合する４本のボルト３によ
り、後述する複数枚の流路モジュールをその間に挟んで
結合一体化されるものとなっている。
実施形態について、２種類の液体Ａ,Ｂを混合してその
拡散を速めるマイクロ混合器を例に説明する。図１はこ
の実施形態に係るマイクロ混合器の概略構成を示す分解
斜視図で、図中１,２は上下一対のプレート体である。
これらのプレート体１,２は、例えば厚みが５ｍｍ、一
辺の長さが５０ｍｍ程度の平板矩形状のＡl材やＳＵＳ
等からなる。これらの各プレート体１,２の四隅部に
は、貫通孔１ａとねじ孔２ａとがそれぞれ設けられてお
り、上部プレート体１の各貫通孔１ａを通して下部プレ
ート体２のねじ孔２ａに螺合する４本のボルト３によ
り、後述する複数枚の流路モジュールをその間に挟んで
結合一体化されるものとなっている。
【００１３】しかして上部プレート体１の中央部には、
その対角線方向に３つの貫通孔（図示せず）が設けられ
ており、これらの各貫通孔には流体導入用のコネクタ４
ａ,４ｂと、流体取出用のコネクタ４ｃとがそれぞれ装
着されている。また下部プレート体２の中央部には、前
記流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂがそれぞれ装着され
た２つの貫通孔にそれぞれ対応して、図２(ａ)に示すよ
うに略三角形状をなす所定深さの流体導入チャネル５
ａ,５ｂが形成されている。これらの流体導入チャネル
５ａ,５ｂは、後述する流路モジュールに配列される混
合分配ユニットの並びに沿って設けられる所定厚みの隔
壁５ｃを介して区画されている。またこの下部プレート
体２には、後述する複数枚の流路モジュールを位置合わ
せして積み重ねる上でのガイドピン（図示せず）を垂直
に植設する為のピン孔６が設けられている。
その対角線方向に３つの貫通孔（図示せず）が設けられ
ており、これらの各貫通孔には流体導入用のコネクタ４
ａ,４ｂと、流体取出用のコネクタ４ｃとがそれぞれ装
着されている。また下部プレート体２の中央部には、前
記流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂがそれぞれ装着され
た２つの貫通孔にそれぞれ対応して、図２(ａ)に示すよ
うに略三角形状をなす所定深さの流体導入チャネル５
ａ,５ｂが形成されている。これらの流体導入チャネル
５ａ,５ｂは、後述する流路モジュールに配列される混
合分配ユニットの並びに沿って設けられる所定厚みの隔
壁５ｃを介して区画されている。またこの下部プレート
体２には、後述する複数枚の流路モジュールを位置合わ
せして積み重ねる上でのガイドピン（図示せず）を垂直
に植設する為のピン孔６が設けられている。
【００１４】さて上述したプレート体１,２間に積層し
て挟み込まれる複数枚（ｍ枚）の流路モジュール７（７
1,７2,〜７m）は、例えば厚みが０.８ｍｍ、一辺の長さ
２５ｍｍ程度の平板矩形状のＡl材からなる。これらの
各流路モジュール７は、図２(ｂ)に示すように前述した
流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂがそれぞれ装着された
２つの貫通孔にそれぞれ対応する貫通孔８ａ,８ｂと、
上述したガイドピンを挿通してその位置合わせに供せら
れる貫通孔９とをそれぞれ共通に備え、更に前記流体導
入チャネル５ａ,５ｂを区画する隔壁５ｃに沿って配列
された複数の混合分配ユニット１０を備える。
て挟み込まれる複数枚（ｍ枚）の流路モジュール７（７
1,７2,〜７m）は、例えば厚みが０.８ｍｍ、一辺の長さ
２５ｍｍ程度の平板矩形状のＡl材からなる。これらの
各流路モジュール７は、図２(ｂ)に示すように前述した
流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂがそれぞれ装着された
２つの貫通孔にそれぞれ対応する貫通孔８ａ,８ｂと、
上述したガイドピンを挿通してその位置合わせに供せら
れる貫通孔９とをそれぞれ共通に備え、更に前記流体導
入チャネル５ａ,５ｂを区画する隔壁５ｃに沿って配列
された複数の混合分配ユニット１０を備える。
【００１５】ちなみに上記混合分配ユニット１０は、例
えば図３にその概略構成を示すように、板状の流路モジ
ュール７における上流面（下面）側に設けた２個のイン
レット１１（１１ａ,１１ｂ）と、上記流路モジュール
７における下流面（上面）側に設けた２個のアウトレッ
ト１２（１２ａ,１２ｂ）とを備え、その上面側に穿い
た深さ０.４ｍｍの溝からなるチャネル１３を介して上
記各インレット１１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１
２ｂとを連結して、流路モジュール７の上下面間に流路
を形成した構造をなす。
えば図３にその概略構成を示すように、板状の流路モジ
ュール７における上流面（下面）側に設けた２個のイン
レット１１（１１ａ,１１ｂ）と、上記流路モジュール
７における下流面（上面）側に設けた２個のアウトレッ
ト１２（１２ａ,１２ｂ）とを備え、その上面側に穿い
た深さ０.４ｍｍの溝からなるチャネル１３を介して上
記各インレット１１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１
２ｂとを連結して、流路モジュール７の上下面間に流路
を形成した構造をなす。
【００１６】特にこの混合分配ユニット１０において
は、前記チャネル１３の中央に位置付けられて該チャネ
ル１３の向きを定める島状の仕切部１４が設けられてい
る。そして前記２個のインレット１１ａ,１１ｂ、およ
び２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、上記仕切部１
４を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた
構造となっている。またこの混合分配ユニット１０にお
けるインレット１１ａ,１１ｂの径、アウトレット１２
ａ,１２ｂの径、そしてチャネル１３の幅とその深さ
は、例えば０.４ｍｍとして互いに等しく設定され、更
に２個のインレット１１ａ,１１ｂは０.４ｍｍの間隔を
隔てて、また２個のアウトレット１２ａ,１２ｂは１.２
ｍｍの間隔を隔てて設けられている。
は、前記チャネル１３の中央に位置付けられて該チャネ
ル１３の向きを定める島状の仕切部１４が設けられてい
る。そして前記２個のインレット１１ａ,１１ｂ、およ
び２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、上記仕切部１
４を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた
構造となっている。またこの混合分配ユニット１０にお
けるインレット１１ａ,１１ｂの径、アウトレット１２
ａ,１２ｂの径、そしてチャネル１３の幅とその深さ
は、例えば０.４ｍｍとして互いに等しく設定され、更
に２個のインレット１１ａ,１１ｂは０.４ｍｍの間隔を
隔てて、また２個のアウトレット１２ａ,１２ｂは１.２
ｍｍの間隔を隔てて設けられている。
【００１７】しかして前述したｍ枚の流路モジュール７
（７1,７2,〜７m）は、それぞれ上述した構造をなす複
数の混合分配ユニット１０を所定の周期で配列した構造
を有する。そしてこれらの各流路モジュール７（７1,７
2,〜７m）における混合分配ユニット１０を隣接する流
路モジュール７（７1,７2,〜７m）間で順に連結して積
み重ねられて、多層構造化された流路を形成する。
（７1,７2,〜７m）は、それぞれ上述した構造をなす複
数の混合分配ユニット１０を所定の周期で配列した構造
を有する。そしてこれらの各流路モジュール７（７1,７
2,〜７m）における混合分配ユニット１０を隣接する流
路モジュール７（７1,７2,〜７m）間で順に連結して積
み重ねられて、多層構造化された流路を形成する。
【００１８】特に各流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）における１つの混合分配ユニット１０は、その２
個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、隣接する下流側の
流路モジュール７における２つの混合分配ユニット１
０,１０の各１個のインレット１１ａ,１１ｂにそれぞれ
個別に連結されるようになっている。換言すれば各流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）における１つの混合分
配ユニット１０の、２個のインレット１１ａ,１１ｂ
を、隣接する上流側の流路モジュール７における２つの
混合分配ユニット１０,１０の各１個のアウトレット１
２ａ,１２ｂにそれぞれ個別に連結されている。
７m）における１つの混合分配ユニット１０は、その２
個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、隣接する下流側の
流路モジュール７における２つの混合分配ユニット１
０,１０の各１個のインレット１１ａ,１１ｂにそれぞれ
個別に連結されるようになっている。換言すれば各流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）における１つの混合分
配ユニット１０の、２個のインレット１１ａ,１１ｂ
を、隣接する上流側の流路モジュール７における２つの
混合分配ユニット１０,１０の各１個のアウトレット１
２ａ,１２ｂにそれぞれ個別に連結されている。
【００１９】そして各流路モジュール７（７1,７2,〜７
m）における１つの混合分配ユニット１０は、その上流
側の流路モジュール７における互いに異なる２つの混合
分配ユニット１０の各１個のアウトレット１２ａ,１２
ｂからそれぞれ出力された流体を、その２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂからそれぞれ導入して混合し、その混
合した流体を２個のアウトレット１２ａ,１２ｂから、
その下流側の流路モジュール７における互いに異なる２
つの混合分配ユニット１０の各１個のインレット１１
ａ,１１ｂに対してそれぞれ分配して導出するようにな
っている。
m）における１つの混合分配ユニット１０は、その上流
側の流路モジュール７における互いに異なる２つの混合
分配ユニット１０の各１個のアウトレット１２ａ,１２
ｂからそれぞれ出力された流体を、その２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂからそれぞれ導入して混合し、その混
合した流体を２個のアウトレット１２ａ,１２ｂから、
その下流側の流路モジュール７における互いに異なる２
つの混合分配ユニット１０の各１個のインレット１１
ａ,１１ｂに対してそれぞれ分配して導出するようにな
っている。
【００２０】具体的にはこの実施形態に係るマイクロ混
合器においては、ｍ枚の流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）は、例えば図４に７段（７層）の流路を形成した
例を示すように、その最下流に位置付けられる最上段の
流路モジュール７1は１個の混合分配ユニット１０を備
え、その上流側の流路モジュール７2,〜７7となるに従
って、混合分配ユニット１０の数を順に１個ずつ増や
し、最上流に位置付けられる最下段の流路流路モジュー
ル７7においては７個の混合分配ユニット１０を備えた
ものとなっている。
合器においては、ｍ枚の流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）は、例えば図４に７段（７層）の流路を形成した
例を示すように、その最下流に位置付けられる最上段の
流路モジュール７1は１個の混合分配ユニット１０を備
え、その上流側の流路モジュール７2,〜７7となるに従
って、混合分配ユニット１０の数を順に１個ずつ増や
し、最上流に位置付けられる最下段の流路流路モジュー
ル７7においては７個の混合分配ユニット１０を備えた
ものとなっている。
【００２１】またこの実施形態においては、混合分配ユ
ニット１０の特殊なものとして、図３に示した構造の混
合分配ユニット１０における２個のアウトレット１２
ａ,１２ｂの一方と、該アウトレット１２に連なるチャ
ネル１３とを省略し、混合した流体の分配機能を省いた
構造の混合ユニット１５が、適宜、前記混合分配ユニッ
ト１０に代えて用いられている。この混合ユニット１５
は、２個のインレット１１ａ,１１ｂからそれぞれ導入
して混合した流体を、後述するようにその下流側の流路
流路モジュール７1,７2,〜７6における１つの混合分配
ユニット１０（混合ユニット１５）に導出すれば十分な
場合等に用いられる。
ニット１０の特殊なものとして、図３に示した構造の混
合分配ユニット１０における２個のアウトレット１２
ａ,１２ｂの一方と、該アウトレット１２に連なるチャ
ネル１３とを省略し、混合した流体の分配機能を省いた
構造の混合ユニット１５が、適宜、前記混合分配ユニッ
ト１０に代えて用いられている。この混合ユニット１５
は、２個のインレット１１ａ,１１ｂからそれぞれ導入
して混合した流体を、後述するようにその下流側の流路
流路モジュール７1,７2,〜７6における１つの混合分配
ユニット１０（混合ユニット１５）に導出すれば十分な
場合等に用いられる。
【００２２】そしてこれらの混合分配ユニット１０およ
び／または混合ユニット１５は、前記各流路モジュール
７において、その下流側（上段側）の１つの混合分配ユ
ニット１０（混合ユニット１５）における２個のインレ
ット１１ａ,１１ｂの各位置に、互いに隣接する２つの
混合分配ユニット１０および／または混合ユニット１５
の各１個のアウトレット１２ａ,１２ｂがそれぞれ位置
付けられるレイアウト（間隔）でそれぞれ配列されてい
る。
び／または混合ユニット１５は、前記各流路モジュール
７において、その下流側（上段側）の１つの混合分配ユ
ニット１０（混合ユニット１５）における２個のインレ
ット１１ａ,１１ｂの各位置に、互いに隣接する２つの
混合分配ユニット１０および／または混合ユニット１５
の各１個のアウトレット１２ａ,１２ｂがそれぞれ位置
付けられるレイアウト（間隔）でそれぞれ配列されてい
る。
【００２３】換言すれば各流路モジュール７において互
いに隣接する２つの混合分配ユニット１０（混合ユニッ
ト１５）は、その一方の混合分配ユニット１０（混合ユ
ニット１５）におけるアウトレット１１ａが、その下流
側（上段側）の１つの混合分配ユニット１０（混合ユニ
ット１５）における一方のインレット１１ａの位置に位
置付けられ、他方の混合分配ユニット１０（混合ユニッ
ト１５）におけるアウトレット１１ｂが、その下流側
（上段側）の上記混合分配ユニット１０（混合ユニット
１５）における他方のインレット１１ｂの位置に位置付
けられるように配列されている。この結果、ｍ枚の流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）を前述したように位置
合わせして積層するだけで、隣接する流路モジュール７
間において上記混合分配ユニット１０および／または混
合ユニット１５のインレット１１ａ,１１ｂとアウトレ
ット１２ａ,１２ｂとが上述した関係を以て互いに連結
されるようになっている。
いに隣接する２つの混合分配ユニット１０（混合ユニッ
ト１５）は、その一方の混合分配ユニット１０（混合ユ
ニット１５）におけるアウトレット１１ａが、その下流
側（上段側）の１つの混合分配ユニット１０（混合ユニ
ット１５）における一方のインレット１１ａの位置に位
置付けられ、他方の混合分配ユニット１０（混合ユニッ
ト１５）におけるアウトレット１１ｂが、その下流側
（上段側）の上記混合分配ユニット１０（混合ユニット
１５）における他方のインレット１１ｂの位置に位置付
けられるように配列されている。この結果、ｍ枚の流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）を前述したように位置
合わせして積層するだけで、隣接する流路モジュール７
間において上記混合分配ユニット１０および／または混
合ユニット１５のインレット１１ａ,１１ｂとアウトレ
ット１２ａ,１２ｂとが上述した関係を以て互いに連結
されるようになっている。
【００２４】かくして上述したように前記混合分配ユニ
ット１０および／または混合ユニット１５を所定個数ず
つ所定の周期で配列したｍ枚の流路モジュール７（７1,
７2,〜７m）を積み重ねて構成されるマイクロ混合器に
よれば、前述した如く下部プレート体２に設けられた２
つの流体導入チャネル５ａ,５ｂに２種類の流体（液
体）Ａ,Ｂを所定の圧力を以て導入すれば、図４に示す
ように一方の流体（液体）Ａは、最上流（最下段）の流
路モジュール７m（７7）における複数の混合分配ユニッ
ト１０（混合ユニット１５）のそれぞれに、その一方の
インレット１１ａを介して導入される。また他方の流体
（液体）Ｂは、最上流（最下段）の流路モジュール７m
（７7）における複数の混合分配ユニット１０（混合ユ
ニット１５）のそれぞれに、その他方のインレット１１
ｂを介して導入される。そしてこれらの流体（液体）
Ａ,Ｂは、各混合分配ユニット１０（混合ユニット１
５）におけるチャネル１３にてそれぞれ混合され、２個
のアウトレット１２ａ,１２ｂを介してそれぞれ分配し
て出力される。
ット１０および／または混合ユニット１５を所定個数ず
つ所定の周期で配列したｍ枚の流路モジュール７（７1,
７2,〜７m）を積み重ねて構成されるマイクロ混合器に
よれば、前述した如く下部プレート体２に設けられた２
つの流体導入チャネル５ａ,５ｂに２種類の流体（液
体）Ａ,Ｂを所定の圧力を以て導入すれば、図４に示す
ように一方の流体（液体）Ａは、最上流（最下段）の流
路モジュール７m（７7）における複数の混合分配ユニッ
ト１０（混合ユニット１５）のそれぞれに、その一方の
インレット１１ａを介して導入される。また他方の流体
（液体）Ｂは、最上流（最下段）の流路モジュール７m
（７7）における複数の混合分配ユニット１０（混合ユ
ニット１５）のそれぞれに、その他方のインレット１１
ｂを介して導入される。そしてこれらの流体（液体）
Ａ,Ｂは、各混合分配ユニット１０（混合ユニット１
５）におけるチャネル１３にてそれぞれ混合され、２個
のアウトレット１２ａ,１２ｂを介してそれぞれ分配し
て出力される。
【００２５】すると次段の流路モジュール７6において
は、上記流路モジュール７7の各混合分配ユニット１０
（混合ユニット１５）におけるアウトレット１２ａ側か
ら出力される流体（液体）[Ａ＋Ｂ／２]を新たに混合す
べき一方の流体（液体）Ａ１として、その混合分配ユニ
ット１０（混合ユニット１５）における一方のインレッ
ト１１ａを介して導入し、また流路モジュール７7の各
混合分配ユニット１０（混合ユニット１５）における他
方のアウトレット１２ｂ側から出力される流体（液体）
[Ａ＋Ｂ／２]を新たに混合すべき一方の流体（液体）Ｂ
１として、その混合分配ユニット１０（混合ユニット１
５）における他方のインレット１１ｂを介して導入す
る。そしてこれらの流体（液体）Ａ１,Ｂ１を、チャネ
ル１３にてそれぞれ混合し、２個のアウトレット１２
ａ,１２ｂを介してそれぞれ分配して出力する。
は、上記流路モジュール７7の各混合分配ユニット１０
（混合ユニット１５）におけるアウトレット１２ａ側か
ら出力される流体（液体）[Ａ＋Ｂ／２]を新たに混合す
べき一方の流体（液体）Ａ１として、その混合分配ユニ
ット１０（混合ユニット１５）における一方のインレッ
ト１１ａを介して導入し、また流路モジュール７7の各
混合分配ユニット１０（混合ユニット１５）における他
方のアウトレット１２ｂ側から出力される流体（液体）
[Ａ＋Ｂ／２]を新たに混合すべき一方の流体（液体）Ｂ
１として、その混合分配ユニット１０（混合ユニット１
５）における他方のインレット１１ｂを介して導入す
る。そしてこれらの流体（液体）Ａ１,Ｂ１を、チャネ
ル１３にてそれぞれ混合し、２個のアウトレット１２
ａ,１２ｂを介してそれぞれ分配して出力する。
【００２６】このような２系統の流体（液体）の混合と
その分配を、前記各流路モジュール７において順に繰り
返し実行することで、前述した２種類の流体（液体）
Ａ,Ｂの細分化（マイクロ混合）が進められ、最下流
（最上段）の流路モジュール７1から前記２種類の液体
Ａ,Ｂを混合して両者を均一に拡散させたマイクロ混合
液が取り出されることになる。
その分配を、前記各流路モジュール７において順に繰り
返し実行することで、前述した２種類の流体（液体）
Ａ,Ｂの細分化（マイクロ混合）が進められ、最下流
（最上段）の流路モジュール７1から前記２種類の液体
Ａ,Ｂを混合して両者を均一に拡散させたマイクロ混合
液が取り出されることになる。
【００２７】従ってこの実施形態に係るマイクロ混合器
によれば、複数の混合分配ユニット１０（混合ユニット
１５）を設けた平板状の複数の流路モジュール７（７1,
７2,〜７m）を積み重ねただけの簡単な構造で、２種類
の液体Ａ,Ｂを混合したマイクロ混合液を逸早く効果的
に形成することができる。しかも上記流路モジュール７
（７1,７2,〜７m）については、Ａl板やＳＵＳ板等を用
いて簡易に製作することができ、混合分配ユニット１０
（混合ユニット１５）の形成（加工）自体も容易なの
で、その製作コストが安価である。更には複数の流路モ
ジュール７（７1,７ 2,〜７m）間のアライメント精度に
ついても容易に高めることができ、その組み立て自体も
簡単なので、この点でもその製作コストの低廉化を図り
得る等の利点がある。
によれば、複数の混合分配ユニット１０（混合ユニット
１５）を設けた平板状の複数の流路モジュール７（７1,
７2,〜７m）を積み重ねただけの簡単な構造で、２種類
の液体Ａ,Ｂを混合したマイクロ混合液を逸早く効果的
に形成することができる。しかも上記流路モジュール７
（７1,７2,〜７m）については、Ａl板やＳＵＳ板等を用
いて簡易に製作することができ、混合分配ユニット１０
（混合ユニット１５）の形成（加工）自体も容易なの
で、その製作コストが安価である。更には複数の流路モ
ジュール７（７1,７ 2,〜７m）間のアライメント精度に
ついても容易に高めることができ、その組み立て自体も
簡単なので、この点でもその製作コストの低廉化を図り
得る等の利点がある。
【００２８】また前述した混合分配ユニット１０（混合
ユニット１５）におけるインレット１１ａ,１１ｂの
径、アウトレット１２ａ,１２ｂの径、そしてチャネル
１３の幅が互いにほぼ等しく設定されているので、混合
液による目詰まりが生じ難い。しかも混合分配ユニット
１０（混合ユニット１５）における２個のインレット１
１ａ,１１ｂ、およびアウトレット１２ａ,１２ｂが互い
に直交する方向にそれぞれ対称に設けられているので、
流体（液体）の流れ（層流）に対する対称性を良好に確
保して流体の不均一化を効果的に防止することができ、
更にはそのスループットを十分に高めることができる。
従ってそのミキシング性能（ミキシング効率）を十分に
高め、異種の液体を均質に混合した品質の高いマイクロ
混合液を容易に生成し得る等の実用上多大なる効果が奏
せられる。
ユニット１５）におけるインレット１１ａ,１１ｂの
径、アウトレット１２ａ,１２ｂの径、そしてチャネル
１３の幅が互いにほぼ等しく設定されているので、混合
液による目詰まりが生じ難い。しかも混合分配ユニット
１０（混合ユニット１５）における２個のインレット１
１ａ,１１ｂ、およびアウトレット１２ａ,１２ｂが互い
に直交する方向にそれぞれ対称に設けられているので、
流体（液体）の流れ（層流）に対する対称性を良好に確
保して流体の不均一化を効果的に防止することができ、
更にはそのスループットを十分に高めることができる。
従ってそのミキシング性能（ミキシング効率）を十分に
高め、異種の液体を均質に混合した品質の高いマイクロ
混合液を容易に生成し得る等の実用上多大なる効果が奏
せられる。
【００２９】尚、前述した混合分配ユニット１０につい
ては、例えば図５(ａ)〜(ｃ)にそれぞれ示す構造のもの
として実現することも可能である。図５(ａ)に例示する
混合分配ユニット１０は、２個のアウトレット１２ａ,
１２ｂ間の幅を広くしたものであり、また図５(ｂ)に例
示する混合分配ユニット１０は、チャネル１３の向きを
定める島状の仕切部１４を省略し、２個のアウトレット
１２ａ,１２ｂ間の幅を狭くしたものである。そして図
５(ｃ)に示す混合分配ユニット１０は、２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂ、および２個のアウトレット１２ａ,１
２ｂをチャネル１３の向きを定める島状の仕切部１４を
中心として点対称に平行四辺形状に配置したものであ
る。
ては、例えば図５(ａ)〜(ｃ)にそれぞれ示す構造のもの
として実現することも可能である。図５(ａ)に例示する
混合分配ユニット１０は、２個のアウトレット１２ａ,
１２ｂ間の幅を広くしたものであり、また図５(ｂ)に例
示する混合分配ユニット１０は、チャネル１３の向きを
定める島状の仕切部１４を省略し、２個のアウトレット
１２ａ,１２ｂ間の幅を狭くしたものである。そして図
５(ｃ)に示す混合分配ユニット１０は、２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂ、および２個のアウトレット１２ａ,１
２ｂをチャネル１３の向きを定める島状の仕切部１４を
中心として点対称に平行四辺形状に配置したものであ
る。
【００３０】このような各構造の混合分配ユニット１０
であっても、隣接する２つの混合分配ユニット１０にお
けるアウトレット１２ａ,１２ｂが、各混合分配ユニッ
ト１０における２個のインレット１１ａ,１１ｂ間の間
隔と等しくなるように配列すれば、複数の流路モジュー
ル７（７1,７2,〜７m）間において、そのインレット１
１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１２ｂの位置をそれ
ぞれ正確に合わせることが可能となるので、先の実施形
態と同様な効果が奏せられる。
であっても、隣接する２つの混合分配ユニット１０にお
けるアウトレット１２ａ,１２ｂが、各混合分配ユニッ
ト１０における２個のインレット１１ａ,１１ｂ間の間
隔と等しくなるように配列すれば、複数の流路モジュー
ル７（７1,７2,〜７m）間において、そのインレット１
１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１２ｂの位置をそれ
ぞれ正確に合わせることが可能となるので、先の実施形
態と同様な効果が奏せられる。
【００３１】また上述した実施形態においては、各流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）において複数の混合分
配ユニット１０（混合ユニット１５）を１列に直線上に
配列したが、例えば図６に示すように複数の混合分配ユ
ニット１０（混合ユニット１５）を複数列に亘って平行
に配列するようにしても良い。この場合、下部プレート
体２に設ける流体導入チャネル５ａ,５ｂについては、
混合分配ユニット１０（混合ユニット１５）における一
方のインレット１１ａ側、および他方のインレット１１
ｂ側にそれぞれ対応させて図６に示すように櫛歯状の流
路を形成して設けるようにすれば良い。
モジュール７（７1,７2,〜７m）において複数の混合分
配ユニット１０（混合ユニット１５）を１列に直線上に
配列したが、例えば図６に示すように複数の混合分配ユ
ニット１０（混合ユニット１５）を複数列に亘って平行
に配列するようにしても良い。この場合、下部プレート
体２に設ける流体導入チャネル５ａ,５ｂについては、
混合分配ユニット１０（混合ユニット１５）における一
方のインレット１１ａ側、および他方のインレット１１
ｂ側にそれぞれ対応させて図６に示すように櫛歯状の流
路を形成して設けるようにすれば良い。
【００３２】またこのようにして複数の混合分配ユニッ
ト１０（混合ユニット１５）を複数列に亘って配列した
場合には、最下流（最上段）の流路モジュール７1から
は、各列にそれぞれ対応してマイクロ混合液が出力され
ることになるので、例えば図７に示すように最下流（最
上段）の流路モジュール７1における流体出力面に、複
数の混合分配ユニットの各アウトレットからそれぞれ出
力されるマイクロ混合液を１つの流路にまとめる集合部
２０を設けることが望ましい。特にこの集合部２０につ
いては、前記複数の混合分配ユニットの各アウトレット
１２ａ（１２ｂ）からそれぞれ出力されたマイクロ混合
液を十分に拡散させて混合するに必要な滞留時間を確保
し得る流路長Ｌを有するものとして実現することが望ま
しい。また混合液がお互いに反応する場合には、その反
応時間を十分確保するように設定することが望ましい。
ト１０（混合ユニット１５）を複数列に亘って配列した
場合には、最下流（最上段）の流路モジュール７1から
は、各列にそれぞれ対応してマイクロ混合液が出力され
ることになるので、例えば図７に示すように最下流（最
上段）の流路モジュール７1における流体出力面に、複
数の混合分配ユニットの各アウトレットからそれぞれ出
力されるマイクロ混合液を１つの流路にまとめる集合部
２０を設けることが望ましい。特にこの集合部２０につ
いては、前記複数の混合分配ユニットの各アウトレット
１２ａ（１２ｂ）からそれぞれ出力されたマイクロ混合
液を十分に拡散させて混合するに必要な滞留時間を確保
し得る流路長Ｌを有するものとして実現することが望ま
しい。また混合液がお互いに反応する場合には、その反
応時間を十分確保するように設定することが望ましい。
【００３３】尚、本発明は上述した実施形態に限定され
るものではない。例えば各流路モジュール７に配列され
る複数の混合分配ユニット１０の中の一端部に位置する
混合分配ユニット１０の一方のアウトレット１２ａ（１
２ｂ）を、長いチャネルを介してその配列の反対側の端
部に配置された混合分配ユニット１０の近傍位置まで延
ばして設けるようにするならば、各流路モジュール７に
それぞれ配列される複数の混合分配ユニット１０の数を
等しくすることができる。
るものではない。例えば各流路モジュール７に配列され
る複数の混合分配ユニット１０の中の一端部に位置する
混合分配ユニット１０の一方のアウトレット１２ａ（１
２ｂ）を、長いチャネルを介してその配列の反対側の端
部に配置された混合分配ユニット１０の近傍位置まで延
ばして設けるようにするならば、各流路モジュール７に
それぞれ配列される複数の混合分配ユニット１０の数を
等しくすることができる。
【００３４】また実施形態おいては、２種類の流体（液
体）を混合するマイクロ混合器を例に説明したが、３種
類の流体（液体）を混合するようにマイクロ混合器を構
成することも可能である。この場合にはその混合分配ユ
ニット１０を、例えば図８にその概念を示すように、３
個のインレット１１ａ,１１ｂ,１１ｃと３個のアウトレ
ット１２ａ,１２ｂ,１２ｃを備えたものとし、３個のイ
ンレット１１ａ,１１ｂ,１１ｃからそれぞれ導入された
３種類の流体（液体）Ａ,Ｂ,Ｃをチャネル１３にて混合
して３層の層流（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）を形成するようにする。
そしてこの３層の混合流体である層流（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）
を、その層と直交する方向に３つ流れに分配し、３個の
アウトレット１２ａ,１２ｂ,１２ｃから（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）
／３なる流体としてそれぞれ取り出すように構成すれば
良い。
体）を混合するマイクロ混合器を例に説明したが、３種
類の流体（液体）を混合するようにマイクロ混合器を構
成することも可能である。この場合にはその混合分配ユ
ニット１０を、例えば図８にその概念を示すように、３
個のインレット１１ａ,１１ｂ,１１ｃと３個のアウトレ
ット１２ａ,１２ｂ,１２ｃを備えたものとし、３個のイ
ンレット１１ａ,１１ｂ,１１ｃからそれぞれ導入された
３種類の流体（液体）Ａ,Ｂ,Ｃをチャネル１３にて混合
して３層の層流（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）を形成するようにする。
そしてこの３層の混合流体である層流（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）
を、その層と直交する方向に３つ流れに分配し、３個の
アウトレット１２ａ,１２ｂ,１２ｃから（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）
／３なる流体としてそれぞれ取り出すように構成すれば
良い。
【００３５】この場合には、各混合分配ユニット１０に
おける３個のインレット１１ａ,１１ｂ,１１ｃ（３個の
アウトレット１２ａ,１２ｂ,１２ｃ）を、例えば図９に
示すように正六角形状の各頂点に１つ置きに配置し、複
数の混合分配ユニット１０をハニカム（蜂巣）状に配列
して、流路モジュール７でのインレット１１ａ,１１ｂ,
１１ｃを、上記流路モジュール７に隣接する流路モジュ
ール７における３つの混合分配ユニット１０における各
１個のアウトレット１２ａ,１２ｂ,１２ｃとを個別に連
結するようにすれば良い。
おける３個のインレット１１ａ,１１ｂ,１１ｃ（３個の
アウトレット１２ａ,１２ｂ,１２ｃ）を、例えば図９に
示すように正六角形状の各頂点に１つ置きに配置し、複
数の混合分配ユニット１０をハニカム（蜂巣）状に配列
して、流路モジュール７でのインレット１１ａ,１１ｂ,
１１ｃを、上記流路モジュール７に隣接する流路モジュ
ール７における３つの混合分配ユニット１０における各
１個のアウトレット１２ａ,１２ｂ,１２ｃとを個別に連
結するようにすれば良い。
【００３６】更には４種類の流体（液体）を混合するよ
うにマイクロ混合器を構成する場合にも、同様にして４
個のインレットと４個のアウトレットとを設けた混合分
配ユニット１０を構成すれば良い。但し、この場合、４
個のインレットまたは４個のアウトレットに対する各チ
ャネルを交差して形成することが必要となる。従って流
路モジュール７自体を多層構造化して上記各チャネルを
互いに異なる層を利用して形成するように構成すれば良
い。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することができる。
うにマイクロ混合器を構成する場合にも、同様にして４
個のインレットと４個のアウトレットとを設けた混合分
配ユニット１０を構成すれば良い。但し、この場合、４
個のインレットまたは４個のアウトレットに対する各チ
ャネルを交差して形成することが必要となる。従って流
路モジュール７自体を多層構造化して上記各チャネルを
互いに異なる層を利用して形成するように構成すれば良
い。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、多
層に積層される複数の流路モジュールにｍ個のインレッ
トおよびｍ個のアウトレットを備えた混合分配ユニット
を、所定の配列をなして複数形成し、上記各流路モジュ
ール間でそのインレットとアウトレットとを所定の配列
で順次結合した構造を有するので、その構造自体でが簡
単であり、容易に、しかも安価に製作することができ
る。しかもそのアライメント精度を十分に高くすること
も容易であり、流路の対称性を確保して混合流体に対す
るスループットを十分に高めることができる。従ってそ
のミキシング性能（ミキシング効率）を十分に高め、均
質で品質の高いマイクロ混合液を容易に、しかも逸早く
生成し得る等の実用上多大なる効果が奏せられる。
層に積層される複数の流路モジュールにｍ個のインレッ
トおよびｍ個のアウトレットを備えた混合分配ユニット
を、所定の配列をなして複数形成し、上記各流路モジュ
ール間でそのインレットとアウトレットとを所定の配列
で順次結合した構造を有するので、その構造自体でが簡
単であり、容易に、しかも安価に製作することができ
る。しかもそのアライメント精度を十分に高くすること
も容易であり、流路の対称性を確保して混合流体に対す
るスループットを十分に高めることができる。従ってそ
のミキシング性能（ミキシング効率）を十分に高め、均
質で品質の高いマイクロ混合液を容易に、しかも逸早く
生成し得る等の実用上多大なる効果が奏せられる。
【図１】本発明の一実施形態に係るマイクロ混合器の概
略構造を示す分解斜視図。
略構造を示す分解斜視図。
【図２】図１に示すマイクロ混合器に組み込まれる下部
プレート板に設けられる流体導入チャネルの構造と、複
数の流路モジュールの概略的な構造を示す図。
プレート板に設けられる流体導入チャネルの構造と、複
数の流路モジュールの概略的な構造を示す図。
【図３】流路モジュールに組み込まれる混合分配ユニッ
トの概略的な構造を示す部分斜視図。
トの概略的な構造を示す部分斜視図。
【図４】複数の流路モジュールにそれぞれ組み込まれる
混合分配ユニット間のインレットとアウトレットとの結
合構造と、これらの混合分配ユニットによる流体の混合
分配作用を説明するための図。
混合分配ユニット間のインレットとアウトレットとの結
合構造と、これらの混合分配ユニットによる流体の混合
分配作用を説明するための図。
【図５】流路モジュールに組み込まれる混合分配ユニッ
トの別の構成例を示す図。
トの別の構成例を示す図。
【図６】流路モジュールに組み込まれる複数の混合分配
ユニットの別の配列構造の例を示す図。
ユニットの別の配列構造の例を示す図。
【図７】最下流の流路モジュールに組み込まれる集合部
の構造と、その役割を説明するための図。
の構造と、その役割を説明するための図。
【図８】３個のインレットと３個のアウトレットとを備
えた混合分配ユニットの機能構成図。
えた混合分配ユニットの機能構成図。
【図９】３個のインレットと３個のアウトレットとを備
えた複数の混合分配ユニットの配列構造を示す図。
えた複数の混合分配ユニットの配列構造を示す図。
５ａ,５ｂ 流体導入チャネル ７,７1,７2,〜７m 流路モジュール １０ 混合分配ユニット １１ａ,１１ｂ,１１ｃ インレット １２ａ,１２ｂ,１２ｃ アウトレット １３ チャネル １４ 仕切部 １５ 混合ユニット ２０ 集合部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年５月２７日（２００２．５．２
７）
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (8)
- 【請求項１】 ｎ個のインレットとｎ個のアウトレット
とを具備した複数の混合分配ユニットを備え、これらの
複数の混合分配ユニットを周期的に配列した複数枚の流
路モジュールを積層して複数の層をなす流路を形成して
なり、 上記各流路モジュールにおける前記各混合分配ユニット
は、該流路モジュールの上流面に前記ｎ個のインレット
を設けると共に、その下流面に前記ｎ個のアウトレット
を設け、これらのｎ個のインレットとｎ個のアウトレッ
トとをチャネルを介して連結した流路構造を有し、 前記各流路モジュールの１つの混合分配ユニットにおけ
るｎ個のアウトレットを、隣接する下流側の流路モジュ
ールにおけるｎ個の混合分配ユニットの各１個のインレ
ットにそれぞれ個別に連結してなることを特徴とするマ
イクロ混合器。 - 【請求項２】 前記インレットおよびアウトレットの個
数ｎは、２〜４である請求項１に記載のマイクロ混合
器。 - 【請求項３】 前記インレットおよびアウトレットの個
数ｎは２個であって、 前記各流路モジュールに周期的に配列された複数の混合
分配ユニットは、 互いに隣り合う２つの混合分配ユニット間の隣接する２
個のアウトレットの配列間隔を、前記各混合分配ユニッ
トにおける２個のインレットの配列間隔と等しく設定さ
れている請求項１に記載のマイクロ混合器。 - 【請求項４】 前記各流路モジュールに周期的に配列さ
れた複数の混合分配ユニットは、直線上に配列されてい
る請求項３に記載のマイクロ混合器。 - 【請求項５】 前記各混合分配ユニットにおけるｎ個の
インレットの径、ｎ個のアウトレットの径、およびチャ
ネルの幅および深さは、ほぼ同じ大きさに形成されるこ
とを特徴とする請求項１に記載のマイクロ混合器。 - 【請求項６】 最下流に配される流路モジュールは、該
流路モジュールにおける複数の混合分配ユニットの各ア
ウトレットからそれぞれ出力される流体を１つの流路に
まとめる集合部を備え、 該集合部は、前記各アウトレットからそれぞれ出力され
た流体を混合するに必要な滞留時間を確保し得る流路長
を有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロ混
合器。 - 【請求項７】 ２個のインレットと２個のアウトレット
とをチャネルを介して連結した流路構造をなす混合分配
ユニットおよび／または２個のインレットと１個のアウ
トレットとをチャネルを介して連結した流路構造をなす
混合ユニットを設けた複数枚の平板状の流路モジュール
を積層してなり、 前記各流路モジュールにおける混合分配ユニットおよび
／または混合ユニットの各２個のインレットを、隣接す
る前層の流路モジュールにおける２つの混合分配ユニッ
トおよび／または混合ユニットの各１個のアウトレット
にそれぞれ個別に連結し、 各流路モジュールにおける混合分配ユニットおよび／ま
たは混合ユニットの数を、その上流側から下流側に向け
て順次１個ずつ減らしながら流体を混合し、１つの流路
にまとめて出力してなることを特徴とするマイクロ混合
器。 - 【請求項８】 前記混合分配ユニットは、前記２個のイ
ンレットおよび２個のアウトレットを、その中央に設け
られてチャネルの向きを定める島状の仕切部を挟んで互
いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた構造を有し、 前記混合ユニットは、上記混合分配ユニットにおける２
個のアウトレットの一方と、そのアウトレットに連なる
チャネルを省いた構造を有するものである請求項７に記
載のマイクロ混合器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158632A JP3694877B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | マイクロ混合器 |
| US10/477,577 US7066641B2 (en) | 2001-05-28 | 2002-05-24 | Micromixer |
| DE10296876T DE10296876B4 (de) | 2001-05-28 | 2002-05-24 | Mikro-Mischer |
| PCT/JP2002/005064 WO2002096543A1 (fr) | 2001-05-28 | 2002-05-24 | Micro-melangeur |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158632A JP3694877B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | マイクロ混合器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002346353A true JP2002346353A (ja) | 2002-12-03 |
| JP3694877B2 JP3694877B2 (ja) | 2005-09-14 |
Family
ID=19002320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001158632A Expired - Fee Related JP3694877B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | マイクロ混合器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7066641B2 (ja) |
| JP (1) | JP3694877B2 (ja) |
| DE (1) | DE10296876B4 (ja) |
| WO (1) | WO2002096543A1 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006026603A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Yamatake Corp | マイクロ混合器 |
| JP2006508795A (ja) * | 2002-12-07 | 2006-03-16 | エーアフェルト・ミクロテッヒニク・ベーテーエス・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 層流スタティック・マイクロミキサー |
| JP2007252979A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | マイクロリアクタによる化合物の製造方法、そのマイクロリアクタ、及びマイクロリアクタ用の分流器 |
| JP2007296452A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Osaka Prefecture Univ | マイクロミキサー |
| JP2007535394A (ja) * | 2004-02-13 | 2007-12-06 | フアクルダーデ・デ・エンゲンハリア・ダ・ウニバーシダーデ・ド・ポルト | ネットワークミキサーと関連する混合プロセス |
| EP1997553A2 (en) | 2007-05-28 | 2008-12-03 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | Fluid mixer and method for forming mixed fluid |
| WO2016059874A1 (ja) * | 2014-10-14 | 2016-04-21 | アルプス電気株式会社 | 流体混合装置 |
| WO2020231017A1 (ko) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 포항공과대학교 산학협력단 | 폴리이미드계 필름 기반 합성-모듈, 이의 제조방법 및 이를 이용한 유기포스페이트계 화합물의 대량 생산방법 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002092207A1 (en) * | 2001-05-17 | 2002-11-21 | Amalgamated Research, Inc. | Fractal device for mixing and reactor applications |
| JP3694877B2 (ja) * | 2001-05-28 | 2005-09-14 | 株式会社山武 | マイクロ混合器 |
| JP3794687B2 (ja) * | 2002-08-23 | 2006-07-05 | 株式会社山武 | マイクロ乳化器 |
| DE10318061A1 (de) * | 2003-04-17 | 2004-10-28 | Behr Gmbh & Co. Kg | Mischvorrichtung |
| US7147364B2 (en) * | 2003-09-29 | 2006-12-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mixer and liquid analyzer provided with same |
| DE102004001852A1 (de) * | 2004-01-13 | 2005-08-04 | Syntics Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Mischen wenigstens zweier Fluide in einer Mikrostruktur |
| EP1944079B1 (en) * | 2004-06-11 | 2012-05-30 | Corning Incorporated | Microstructure designs for optimizing mixing and pressure drop |
| WO2006031058A1 (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Spec Co., Ltd | Micro channel reactor |
| ITMI20060277U1 (it) * | 2006-07-28 | 2008-01-29 | Rigo S R L | Dispositivo miscelatore,particolarmente per l'erogazione di una resina o di altri prodotti miscelati con un gas espandente |
| US7520661B1 (en) * | 2006-11-20 | 2009-04-21 | Aeromed Technologies Llc | Static mixer |
| US8206025B2 (en) | 2007-08-07 | 2012-06-26 | International Business Machines Corporation | Microfluid mixer, methods of use and methods of manufacture thereof |
| WO2010009247A2 (en) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 3M Innovative Properties Company | Y-cross mixers and fluid systems including the same |
| KR101070311B1 (ko) | 2009-01-29 | 2011-10-06 | 한국표준과학연구원 | 마이크로플루이딕스 칩을 위한 플랫폼 장치 |
| US8511889B2 (en) * | 2010-02-08 | 2013-08-20 | Agilent Technologies, Inc. | Flow distribution mixer |
| US9539773B2 (en) * | 2011-12-06 | 2017-01-10 | Hrl Laboratories, Llc | Net-shape structure with micro-truss core |
| US9017806B2 (en) | 2012-03-23 | 2015-04-28 | Hrl Laboratories, Llc | High airflow micro-truss structural apparatus |
| CA2930212A1 (en) * | 2013-11-11 | 2015-05-14 | King Abdullah University Of Science And Technology | Microfluidic device for high-volume production and processing of monodisperse emulsions |
| TWI640357B (zh) * | 2017-03-23 | 2018-11-11 | 綠點高新科技股份有限公司 | 混煉裝置 |
| US11666874B2 (en) * | 2017-12-14 | 2023-06-06 | Glaxosmithkline Intellectual Property Deveelopment Limited | Methods and apparatus for variable emulsification |
| CN114505026B (zh) * | 2022-02-16 | 2023-09-26 | 微流科技(湖州)有限公司 | 一种多层级的微通道反应结构 |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1409259A (en) * | 1920-02-11 | 1922-03-14 | Sykora Rudolf | Fluid-distributing nozzle |
| US3856270A (en) * | 1973-10-09 | 1974-12-24 | Fmc Corp | Static fluid mixing apparatus |
| JPS5881432A (ja) | 1981-11-09 | 1983-05-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 液体分集装置 |
| US4550681A (en) * | 1982-10-07 | 1985-11-05 | Johannes Zimmer | Applicator for uniformly distributing a flowable material over a receiving surface |
| US4537217A (en) * | 1982-12-09 | 1985-08-27 | Research Triangle Institute | Fluid distributor |
| EP0285725B1 (en) * | 1987-04-10 | 1992-09-30 | Chugoku Kayaku Kabushiki Kaisha | Mixing apparatus |
| JPH0513391Y2 (ja) | 1989-07-05 | 1993-04-08 | ||
| US5137369A (en) * | 1991-01-18 | 1992-08-11 | Hodan John A | Static mixing device |
| JP3358850B2 (ja) * | 1993-08-17 | 2002-12-24 | 住友化学工業株式会社 | 長繊維強化熱可塑性樹脂組成物の製造装置、その製造方法及びその製造用被覆ダイ |
| US5595712A (en) * | 1994-07-25 | 1997-01-21 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Chemical mixing and reaction apparatus |
| US5658537A (en) * | 1995-07-18 | 1997-08-19 | Basf Corporation | Plate-type chemical reactor |
| DE29517100U1 (de) * | 1995-10-17 | 1997-02-13 | Zimmer Johannes | Strömungsteilungs- und -umformungskörper |
| DE19541266A1 (de) * | 1995-11-06 | 1997-05-07 | Bayer Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung chemischer Reaktionen mittels eines Mikrostruktur-Lamellenmischers |
| US5984519A (en) * | 1996-12-26 | 1999-11-16 | Genus Corporation | Fine particle producing devices |
| US5961932A (en) * | 1997-06-20 | 1999-10-05 | Eastman Kodak Company | Reaction chamber for an integrated micro-ceramic chemical plant |
| ES2224626T3 (es) * | 1998-03-23 | 2005-03-01 | Amalgamated Research, Inc. | Estructura fractal para la regulacion de escala y la distribucion de fluidos. |
| DE19927556C2 (de) * | 1999-06-16 | 2003-05-08 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Statischer Mikromischer und Verfahren zum statischen Mischen zweier oder mehrerer Edukte |
| WO2001028670A1 (en) * | 1999-10-20 | 2001-04-26 | The University Of Sheffield | Fluidic mixer |
| DE19961257C2 (de) * | 1999-12-18 | 2002-12-19 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Mikrovermischer |
| DE10005549A1 (de) * | 2000-02-09 | 2001-09-06 | Cpc Cellular Process Chemistry | Mikroreaktor für Reaktionsmedien in Form einer Suspension |
| US6890093B2 (en) * | 2000-08-07 | 2005-05-10 | Nanostream, Inc. | Multi-stream microfludic mixers |
| EP1309404A2 (en) * | 2000-08-07 | 2003-05-14 | Nanostream, Inc. | Fluidic mixer in microfluidic system |
| JP3694877B2 (ja) * | 2001-05-28 | 2005-09-14 | 株式会社山武 | マイクロ混合器 |
| JP2005131503A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Yamatake Corp | 増設流路モジュールおよび流体混合器 |
-
2001
- 2001-05-28 JP JP2001158632A patent/JP3694877B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-24 DE DE10296876T patent/DE10296876B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-24 WO PCT/JP2002/005064 patent/WO2002096543A1/ja active Application Filing
- 2002-05-24 US US10/477,577 patent/US7066641B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006508795A (ja) * | 2002-12-07 | 2006-03-16 | エーアフェルト・ミクロテッヒニク・ベーテーエス・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 層流スタティック・マイクロミキサー |
| US7909502B2 (en) | 2002-12-07 | 2011-03-22 | Ehrfeld Mikrotechnik Bts Gmbh | Static lamination micro mixer |
| JP4847700B2 (ja) * | 2002-12-07 | 2011-12-28 | エーアフェルト・ミクロテッヒニク・ベーテーエス・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 層流スタティック・マイクロミキサーおよび混合、分散、乳化または懸濁する方法 |
| JP2007535394A (ja) * | 2004-02-13 | 2007-12-06 | フアクルダーデ・デ・エンゲンハリア・ダ・ウニバーシダーデ・ド・ポルト | ネットワークミキサーと関連する混合プロセス |
| JP2006026603A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Yamatake Corp | マイクロ混合器 |
| JP2007252979A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | マイクロリアクタによる化合物の製造方法、そのマイクロリアクタ、及びマイクロリアクタ用の分流器 |
| JP2007296452A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Osaka Prefecture Univ | マイクロミキサー |
| EP1997553A2 (en) | 2007-05-28 | 2008-12-03 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | Fluid mixer and method for forming mixed fluid |
| WO2016059874A1 (ja) * | 2014-10-14 | 2016-04-21 | アルプス電気株式会社 | 流体混合装置 |
| JPWO2016059874A1 (ja) * | 2014-10-14 | 2017-07-20 | アルプス電気株式会社 | 流体混合装置 |
| WO2020231017A1 (ko) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 포항공과대학교 산학협력단 | 폴리이미드계 필름 기반 합성-모듈, 이의 제조방법 및 이를 이용한 유기포스페이트계 화합물의 대량 생산방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3694877B2 (ja) | 2005-09-14 |
| US20040145967A1 (en) | 2004-07-29 |
| WO2002096543A1 (fr) | 2002-12-05 |
| DE10296876B4 (de) | 2005-12-29 |
| US7066641B2 (en) | 2006-06-27 |
| DE10296876T5 (de) | 2004-07-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002346353A (ja) | マイクロ混合器 | |
| JP3794687B2 (ja) | マイクロ乳化器 | |
| JP4339163B2 (ja) | マイクロデバイスおよび流体の合流方法 | |
| DE4416343C2 (de) | Statischer Mikro-Vermischer | |
| EP1997553B1 (en) | Fluid mixer and method for forming mixed fluid | |
| US5904424A (en) | Device for mixing small quantities of liquids | |
| US7829039B2 (en) | Mixer system, reactor and reactor system | |
| US20060087917A1 (en) | Static lamination micro mixer | |
| WO2010024123A1 (ja) | 反応装置及び反応プラント | |
| US20080085227A1 (en) | Microreactor | |
| JP4257795B2 (ja) | マイクロリアクタ | |
| JP5013424B2 (ja) | マイクロチップ、マスターチップ | |
| JP2004016870A (ja) | マイクロリアクター及びそれを用いた化学反応方法 | |
| JP2006102681A (ja) | 流体混合器及びマイクロリアクタシステム | |
| JP2006043617A (ja) | マイクロ流体チップ | |
| EP2090353B1 (de) | Reaktionsmischersystem zur Vermischung und chemischer Reaktion von mindestens zwei Fluiden | |
| JP2006015272A (ja) | 平板静止型混合器 | |
| JP3694878B2 (ja) | マイクロ混合器 | |
| JP6046465B2 (ja) | 静止型流体混合装置 | |
| JP4298671B2 (ja) | マイクロデバイス | |
| JP2006255584A (ja) | マイクロリアクタ | |
| JP4478932B2 (ja) | マイクロ混合器 | |
| JP3873929B2 (ja) | 液体混合装置 | |
| JP2009095770A (ja) | マイクロリアクタ | |
| JP2004148235A (ja) | 微小流体混合器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050323 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050520 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050615 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20050617 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050617 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110708 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130708 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130708 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |