TW200538472A - The component of fluid transporter - Google Patents

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200538472 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於移送流體用構件。 【先前技術】 由四氟乙烯/全氟（烷基乙烯醚）共聚物〔PEA〕所 成的管件等成形品，因爲具有耐藥品性，不易污染內部流L 0 動的液體等，故可被使用於以往爲了移送高純度的液體的 配管材料，特別是半導體製造裝置的配管材料等，但是 PFA管件有藥液穿透性大的問題。 爲了提昇藥液低穿透性，列舉例如聚氯三氟乙燦（ PCTFE)，作爲緊密形成於既有的PEA管件之外管的材料 (參考例如專利文獻1 )，但是此配管，實際上於多層壓 出成形PFA及PCTFE時，PCTFE有成形時的耐熱性、耐 應力裂紋性差的問題。 φ CTFE的共聚物，亦曾提議含有50〜99.8莫耳％之 TFE及/或CTFE、0.1〜49.99莫耳％之TFE及CTFE以外 的含氟單體、及0.01〜5莫耳％之至少1種選自衣康酸、 檸康酸、與此等的酸酐之共聚組成之含氟聚合物（參考例 如專利文獻2 )，此含氟聚合物以提昇黏著強度爲目的， 必須含有衣康酸等化合物作爲共聚組成，但未具體揭示關 於同時含有TFE與CTFE作爲共聚組成之含氟聚合物。 〔專利文獻1〕曰本特開平9-137900號公報 〔專利文獻2〕歐州專利申請公開第丨3 7 5 5 3 9號說明 -5- 200538472 (2) 書 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 本發明的目的鑑於該現狀，係提供兼具有成形時的耐 熱性、耐應力裂紋性，及藥液低穿透性之移送流體用構件 〔用以解決課題之手段〕 本發明的移送流體用構件，其特徵爲含有由含氟聚合 物及/或非含氟有機材料所成之層〔P〕、及由氯三氟乙 烯共聚物所成之層〔Q〕之層合物所成。 以下詳細說明本發明。 本發明的移送流體用構件係由含層〔P〕及層〔Q〕 之層合物所成。 φ 該層〔P〕係由含氟聚合物及/或非含氟有機材料所 成。 該含氟聚合物係至少具有1個以上的氟原子之聚合物 〇 該含氟聚合物係至少1種選自由四氟乙燃〔TFE〕/ 全氟（烷基乙烯醚）〔PAVE〕共聚物、TFE/六氟丙烯〔 HFP〕共聚物、乙烯〔Et〕/ TFE共聚物、聚氯三氟乙烯 〔PCTFE〕、Et /氯三氟乙烯〔CTFE〕共聚物〔ECTFE 及聚偏氟乙烯〔PVdF〕所成之群。 200538472 (3) 本說明書中，該〔PCTFE〕係實質上僅聚合CTFE之 CTFE均聚物。 構成該層〔P〕之含氟聚合物亦可爲CTFE共聚物。 可構成該層〔P〕之CTFE共聚物，亦可爲由與構成 後述的層〔Q〕之CTFE共聚物的單體相同的單體所成者 ，但是兩CTFE共聚物的單體相同時，層〔P〕與層〔Q〕 係藉由單體比率的不同及/或下述拉伸狀態的不同而區別 ，舉例來講，該構成層〔P〕之CTFE共聚物及構成層〔Q 〕之CTFE共聚物皆爲Et/CTFE共聚物時，例如各層的 CTFE共聚物係以Et與CTFE的共聚組成比之不同點而區 別。 構成該層〔P〕之含氟聚合物爲CTFE共聚物時，層 〔P〕與層〔Q〕之其中一方可爲拉伸物，而另一方爲非 拉伸物，構成層〔P〕之拉伸物與構成層〔Q〕之拉伸物 亦可爲拉伸條件不同之層合物。 該含氟聚合物由耐藥品性優異的觀點而言，以由 TFE/PAVE共聚物所成者爲佳。 該TEF/PAVE共聚物中之PAVE，係以下述式（II) CF2 = CF-ORf1 ( Π )

(式中，Rf1表示碳數1〜8的全氟院基）所示之全氟 (烷基乙烯醚）爲佳，該一般式（H)所示全氟（烷基乙 烯醚）可列舉全氟（甲基乙烯醚）〔PMVE〕、全氟（乙 基乙烯醚）〔PEVE〕、全氟（丙基乙烯醚） 〔PPVE〕、 全氟（丁基乙烯醚）等，其中又以PMVE、PEVE或PPVE 200538472 (4) 爲佳。 該 TFE/PAVE 共聚物亦以 TFE/PMVE共聚物或 TFE/PPVE共聚物爲佳，以TFE/PPVE共聚物爲更佳。 該TFE/PAVE共聚物亦可爲共聚了可與TFE及PAVE 共聚的其它單體者。 該可共聚之其它的單體並沒有特別限定，但可列舉例 如後述之單體〔A〕者等。 p 該含氟聚合物用3 00 °C以上的成形溫度熔融成形時， 每1〇6個碳數的不安定末端基爲80個以下者爲佳，每 1〇6個碳數超過80個，則在成形溫度3 00 °C以上的熔融成 形時易產生發泡，較佳的上限爲40個，更佳的上限爲20 個，特別佳的上限爲6個，該不安定末端基數若在該範圍 內，以測量界限的觀點而言，例如可將下限定爲1個。 以未達3 00°C的成形溫度熔融成形時，每106個碳數 的不安定末端基以超過80個爲佳，以未達3 00 °C的成形 φ 溫度熔融成形時，每1〇6個碳數爲80個以下，則會有黏 著性降低的狀況，較佳的下限爲1 00個，更佳的下限爲 150個，特別佳的下限爲180個，最佳的下限爲220個， 以未達3 00 °C的成形溫度熔融成形時，該不安定末端基數 只要在該範圍內，由生產性觀點而言，例如可定上限爲 500 個。 該不安定末端基之數係用紅外線分光光度計〔IR〕測 量所得到之値，該不安定末端基通常藉由進行藉由加成鏈 轉移劑或聚合時所使用的聚合起始劑而形成於主鏈末端者 200538472 (5) ，爲來自鏈轉移劑或聚合起始劑的構造者。 本說明書中之該「不安定末端基」爲-CF2CH2OH、- CONH2、-COF、-COOH、-cooch3、-cf = cf2、或-cf2h ，該不安定未端基其中又以-cf2ch2oh、-conh2、-COF 、-COOH、-COOCH3易影響黏著性、熔融成形時的發泡。 該不安定末端基之數，係將CTFE共聚物的粉末藉由 用比熔點高50°C的成形溫度、5MP a的成形壓力壓縮成形 所得到之厚度〇· 25〜0.3 0mm的薄膜薄片，進行紅外線吸 收光譜分析，與既知薄膜的紅外線吸收光譜比較後決定種 類’由此光譜差異依下式計算出個數。 末端基的個數（每106個碳數）= (lxK) / t 1 :吸光度 K :校正係數 t :薄膜厚度（mm ) 對象物的末端基的校正係數列示於表i。 〔表1〕 末端基 吸收周波數（cnr1 ) 補正係數 -COF 18 84 4 0 5 COOH 1813，（ 1 795- 1 792 )，1775 4 5 5 -CO〇CH3 1795 3 5 5 conh2 343 8 4 0 8 -ch2oh 3 648 2325 200538472 (6) 表1的校正係數係爲了計算每1 06個碳數的末端基由 範本化合物的紅外線吸收光譜決定之値。 該含氟聚合物中之不安定末端基，可藉例如由曝露在 含氟氣體中之方法、在水存在下添加所希望的金屬或金屬 鹽後加熱之方法而安定化。 本發明之層合物亦可爲具有由非含氟有機材料所成之 層〔Ρ〕者，該非含氟有機材料爲不含氟原子之有機材料 I ，該非含氟有機材料較佳爲與層〔Q〕的氟樹脂可共同壓 出之樹脂。 因爲本發明的層合物爲具有該層〔Q〕者，由即使層 〔Ρ〕非爲耐藥液穿透性、耐氣體穿透性、及耐燃料穿透 性優異者時，只要層合物整體可達到耐穿透性的觀點而言 ，層〔Ρ〕並非一定要爲耐藥液穿透性、耐氣體穿透性、 及耐燃料穿透性優異者，但是層〔Ρ〕的非含氟有機材料 並非排除使用具有耐藥液穿透性、耐氣體穿透性、及耐燃 φ 料穿透性之樹脂者，而且以使用具有耐藥液穿透性、耐氣 體穿透性、及耐燃料穿透性之樹脂爲佳。 該可作爲非含氟有機材料使用之具有耐藥液穿透性、 耐氣體穿透性、及耐燃料穿透性之樹脂，以由結晶化度高 的聚合物所成的樹脂爲佳，由結晶化度高、而且具有極性 官能基之分子間力大之聚合物所成的樹脂更佳。 該極性官能基，係具有極性之可參與與CTFE共聚物 (該CTFE共聚物可爲黏著性氟樹脂）的黏著之官能基， 該極性官能基可爲與不安定末端基相同的官能基，但亦可 -10- 200538472 (7) 爲不同的官能基。 該極性官能基並沒有特定限制，例如除了上述作爲不 安定末端基者之外，可列舉氰基、硫化物基等，其中又以 羧基氧基、氰基、硫化物基、羥基爲佳，更佳爲羥基。 該非含氟有機材料係以聚醯胺系樹脂、及/或聚烯烴 系樹脂爲佳。 該聚醯胺系樹脂係由分子內具有醯胺鍵〔-NH-C ( =0 | )-〕作爲重覆單元之聚合物所成者。 該聚醯胺系樹脂亦可爲分子內的醯胺鍵爲脂肪族結構 或與脂環族結構鍵結之聚合物所成之所謂的尼龍樹脂，或 分子內的醯胺鍵爲與芳香族結構鍵結之聚合物所成之所謂 的芳族聚酰胺（Aramid )樹脂的任一種。 該尼龍樹脂並沒有特別的限制，可列舉例如由尼龍6 、尼龍66、尼龍1 1、尼龍1 2、尼龍6 1 0、尼龍612、尼 龍6/66、尼龍66/12、尼龍46、間苯二甲基二胺/己二酸 φ 共聚物等之聚合物所成者，亦可由此等中組合2種以上使 用。 該芳族聚酰胺樹脂並沒有特別的限制，可列舉例如聚 對苯對苯二甲醯胺、聚間苯異苯二甲醯胺。 該聚醯胺系樹脂亦可爲由不具有醯胺鍵作爲重覆單元 的結構嵌段共聚或接枝聚合於分子的一部分之高分子所成 者，如此的聚醯胺樹脂，可列舉例如由尼龍6/聚酯共聚物 、尼龍6/聚醚共聚物、尼龍12/聚酯共聚物、尼龍12/聚 醚共聚物等之聚醯胺系彈性體所成者，此等聚醯胺系彈性 -11 - 200538472 (8) 體可經由尼龍寡聚物與聚酯寡聚物介由酯鍵嵌段共聚所得 者’或尼龍寡聚物與聚醚寡聚物介由醚鍵嵌段共聚所得者 。該聚酯寡聚物可列舉例如聚己內酯、聚乙烯己二酸酯等 ，該聚醚寡聚物可列舉例如聚乙二醇、聚丙二醇、聚四甲 二醇等’該聚醯胺系彈性體以尼龍6/聚四甲二醇共聚物、 尼龍12/聚四甲二醇共聚物爲佳。 該聚醯胺系樹脂，因爲即使由聚醯胺系樹脂所成之層 | 爲薄層，亦可得到充足的機械的強度，其中可列舉尼龍6 、尼龍66、尼龍11、尼龍12、尼龍610、尼龍612、尼 龍6/66、尼龍66/12、尼龍6/聚酯共聚物、尼龍6/聚醚共 聚物、尼龍12/聚酯共聚物、尼龍12/聚醚共聚物等，可 組合此等中之2種以上使用。 該聚烯烴系樹脂係具有來自不具有氟原子的含乙烯基 單體之單體單元之樹脂，該不具有氟原子之含乙烯基單體 並沒有特別的限制，例如可爲關於氟樹脂之該非含氟之乙 φ 烯性單體，但要求與層〔Q〕等之相對材料之層間黏著性 的用途，則以具有該極性官能基者爲佳。 該聚烯烴系樹脂並沒有特別的限制，例如聚乙烯、聚 丙烯、高密度聚烯烴之外，可列舉使該聚烯烴以馬來酸酐 等改性之改性聚烯烴等。 該非含氟有機材料除了該聚醯胺系樹脂及聚烯烴系樹 脂之外，可列舉由乙烯/乙烯醇共聚物所成的樹脂、聚尿 烷樹脂、聚酯樹脂、聚芳族聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、 聚醯胺醯亞胺樹脂、聚二苯醚樹脂、聚甲醛樹脂、聚碳酸 -12- 200538472 (9) 酯樹脂、丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、丙烯腈/丁二烯 /苯乙烯樹脂〔AB S〕、氯乙烯系樹脂、纖維素系樹脂、 聚醚醚酮樹脂〔PEEK〕、聚礪樹脂、聚醚楓樹脂〔PES〕 、聚醚醯亞胺樹脂、聚苯硫醚樹脂等。 本發明的層合物中之層〔P〕係可爲該氟樹脂及/或 非含氟有機材料中更添加導電性材料而具有導電性者，導 電性材料並沒有特別的限制，可列舉例如金屬、碳等導電 | 性單體粉末或導電性單體纖維，氧化鋅等之導電性化合物 的粉末，表面導電化處理粉末等。 該導電性單體粉末或導電性單體纖維沒有特別的限制 ，可列舉例如銅、鎳等之金屬粉末，鐵、不鏽鋼等之金屬 纖維，碳黑、碳纖維等。 該表面導電化處理粉末係在玻璃珠、氧化鈦等之非導 電性粉末的表面上施以導電化處理而得到的粉末，該導電 化處理的方法並沒有特別限制，可列舉例如金屬濺鍍、無 φ 電解電鍍等。 該導電性材料中，以有利於經濟性及防止靜電蓄積的 觀點而言，又以碳黑較適合被使用。 該·樹脂及/或非含氟有機材料添加該導電性材料時 ，以熔融混練預先製作成顆粒爲佳。 製作顆粒時之熔融混練後的顆粒加熱條件，構成層〔 P〕之高分子材料爲氟樹脂時，一般以氟樹脂的玻璃轉移 點溫度以上、未達氟樹脂的熔點的溫度進行，通常於i 3 0 〜2 0 0 °C，以進行1〜4 8小時爲佳。藉由預先製作顆粒而 -13- 200538472 (10) 使導電性材料均勻分散在所得到的層〔P〕之氟樹脂中， 可賦予均質的導電性。構成層〔P〕的高分子材料爲非含 _有機材料時’一般以該非含氟有機材料的熔點以上、未 達熱分解溫度的溫度熔融混練而製作顆粒。 該導電性材料的添加量，基於氟樹脂及/或非含氟有 機材料的種類、層合物所要求的導電性能、成形條件而適 當決定’但相對於1 〇〇質量份的氟樹脂或非含氟樹脂以1 Φ 〜3 0質量份爲佳，較佳的下限爲5質量份，較佳的上限 爲20質量份。 該氟樹脂及/或非含氟有機材料中添加導電性材料所 成的導電性組成物的表面電阻値以lxl〇G〜1χ1〇9Ω · cm 爲佳’更佳的下限爲1 χΙΟ2 Ω · cm，更佳的上限爲1 xlO8 Ω · cm ° 本說明書中，該「導電性組成物的表面電阻値」，係 將該導電性材料與該氟樹脂及/或非含氟有機材料熔融混 φ 練所得到的顆粒，投入熔融指數量測儀中，在該熔融指數 量測儀中以2 0 0〜4 0 0 °C的任意溫度加熱、壓出後所得到 的壓出單股的表面電阻値，使用電池式絕緣電阻計測量所 得到之値。 本發明之層〔P〕，除了該導電性材料以外，在無損 於本發明的目的範圍，亦可添加例如熱穩定劑等的穩定劑 、補強劑、塡充劑、紫外線吸收劑、顏料等之各種添加劑 。層〔P〕可藉由添加如此的添加劑而提昇熱穩定性、表 面硬度、耐摩損性、帶電性、耐候性等的特性。 -14- 200538472 (11) 對該氟樹脂及/或非含氟有機材料導入黏著性官能基 的方法，一般係使用後述之分子構造中具有所希望的黏著 性B㉟基本身或可變化成黏著性官能基的官能基之聚合起 始劑進行聚合之方法。該黏著性官能基例如爲具有羧基者 時，以過氧化二碳酸酯作爲聚合起始劑聚合該各單體之方 法’在經濟面、耐熱性、耐藥品性等品質面而言爲佳。 層〔Q〕係由氯三氟乙儲共聚物〔CTFE共聚物〕所 成者。 本發明之移送流體用構件藉由使用c T F E共聚物作爲 層〔Q〕的材料，不僅具有水蒸氣低穿透性、氣體屏障性 ，亦具有PCTFE從末被確認的藥液低穿透性，而且亦可 達成成形時的耐熱性、耐藥品性、及耐應力裂紋性者。 該CTFE共聚物係以由2〜98莫耳％之氯三氟乙烯單 元、及98〜2莫耳％之來自可與CTFE共聚的單體〔A〕 之單體〔A〕單元所構成者（以下亦稱爲「CTFE共聚物 (I )」）爲佳。 本說明書中，該「CTFE單體」係CTFE共聚物的分 子結構上之來自氯三氟乙烯的部分〔-cfci-cf2-〕，該「 單體〔A〕單元」係同樣爲在CTFE共聚物的分子結構上 加成單體〔A〕所成之部分。 該單體〔A〕只要是可與CTFE共聚之單體即可，並 沒有特別的限制，此外，可爲至少1種或2種以上，可列 舉TFE、Et、偏氟乙烯〔vdF〕、PAVE、及下述一般式（ I)， -15- 200538472 (12) CX3X4 = CX1(CF2)nX2 ( I ) (式中，X1、X3、X4可相同或相異，表示氫原子或 氟原子，X2表示氫原子、氟原子或氯原子，η表示1〜 的整數）所示之乙烯單體、下述一般式（III ) CF2 = CF-OCH2 = ORf ( III ) (式中，Rf表示碳數1〜5的全氟烷基）所示之烷基 全氟乙烯醚衍生物等。 0 該單體〔A〕係至少1種選自由TFE、Et、VdF、 PAVE、及該一般式（I )所示乙烯單體所組成之群者爲佳 〇 該單體〔A〕係可爲PAVE、該一般式（I)所示乙烯 單體、及/或該一般式（III)所不的院基全氟乙嫌醚衍 生物，各1種或組合2種以使用。 該一般式（I )所示乙烯單體並沒有特別的限制，但 可列舉例如HFP、全氟（1，1，2-三氫-1-己烯）、全氟（ φ 1，1，5-三氫-1-戊烯）、下述一般式（IV) H2C = CX5Rf5 ( IV ) (式中，X5爲H、F或CF3，Rf5爲碳數1〜10的全 氟烷基）所示之全氟（烷基）乙烯等。 該全氟（烷基）乙烯係以全氟（丁基）乙烯爲佳。 該一般式（III )所示烷基全氟乙烯醚衍生物，Rf爲 碳數1〜3的全氟烷基者爲佳，更佳爲CF2 = CF_〇ch2-cf2cf3。 該單體〔A〕亦可使用可與CTFE共聚之不飽和羧酸 -16- 200538472 (13) 類。 該不飽和羧酸類並沒有特別的限制，可列舉例如（甲 基）丙烯酸、巴豆酸、馬來酸、富馬酸、衣康酸、檸康酸 、中康酸、烏頭酸等之碳數3〜6的不飽和脂肪族羧酸類 等，亦可爲碳數3〜6的不飽和脂肪族聚羧酸類。 該不飽和脂肪族聚羧酸類並沒有特別的限制，可列舉 例如馬來酸、富馬酸、衣康酸、檸康酸、中康酸、烏頭酸 等，亦可爲可爲馬來酸、富馬酸、衣康酸、檸康酸等的酸 酐者。 該單體〔A〕可爲2種以上，但其中1種爲VdF、 PAVE及/或HFP時，可不必倂用衣康酸、檸康酸及此等 之酸酐。 該單體〔A〕所使用的PAVE，係與構成層〔P〕的 TFE/PAVE共聚物之PAVE同樣槪念，以該一般式（Π ) 所示的PAVE爲佳，更佳爲PMVE、PEVE或PPVE。 該CTFE共聚物較佳爲由CTFE單元、四氟乙烯單元 〔TFE單元〕、及來自可與CTFE及TFE共聚的單體〔B 〕之單體〔B〕單元所構成之CTFE共聚物（以下亦稱爲 「CTFE共聚物（II )」）。 本說明書中，該「TFE單元」係CTFE共聚物（II) 的分子結構上之來自四氟乙烯之部分〔-CF2_CF2-〕 ’該 「單體〔B〕單元」係同樣爲在CTFE共聚物的分子結構 上加成單體〔B〕所成之部分。

該單體〔B〕只要是分子內具有氟原子’可與CTFE -17- 200538472 (14) 及TFE共聚之單體即可，並沒有特別的限制，此外，可 列舉該單體〔A〕所列示之TFE以外者等。 該單體〔B〕較佳爲至少1種選自由Et、VdF、PAVE 、及下述一般式（I )所示乙烯單體所組成之群者爲佳。 該CTFE共聚物（II)中，該單體〔B〕單元爲10〜 〇·1莫耳％，該CTFE單元及該TFE單元合計爲90〜99.9 莫耳％爲佳，該單體〔B〕單元未達0.1莫耳％則成形性、 _ 耐環境應力裂紋性及耐壓力裂紋性易劣化，超過1 〇莫耳 %則藥液低穿透性、耐熱性、機械特性會有劣化的傾向。 該單體〔B〕單元爲PAVE時，該單體〔B〕單元較 佳下限爲〇. 5莫耳％，較佳上限爲5莫耳％，更佳上限爲3 莫耳％。 本發明的CTFE共聚物中之該單體〔A〕單元的比率 ，係經由19F-NMR等分析所得到之値，具體而言，可依 據單體的種類適當組合NMR分析、紅外線分光光度計〔 φ IR〕、元素分析、螢光X線分析後所得到之値。 構成該層〔Q〕之CTFE共聚物可爲2元共聚物或3 元以上的共聚物，例如2元共聚物可列舉CTFE/TFE共聚 物、CTFE/PAVE 共聚物、CTFE/VdF 共聚物、CTFE/HFP 共聚物、CTFE/Et共聚物，3元以上的共聚物可列舉 CTFE/TFE/HFP 共聚物、CTFE/TFE/VdF 共聚物、CTFE/ TFE/PAVE 共聚物、CTFE/TFE/HFP/PAVE 共聚物、CTFE/ TFE/VdF/PAVE共聚物等，其中又以 CTFE/TFE/PAVE共 聚物爲佳。 -18- 200538472 (15) 該CTFE共聚物亦可爲CTFE與Et及/或含氟單體之 共聚物’具有該共聚物組成之CTFE共聚物可列舉例如 CTFE/TFE/Et 共聚物、CTFE/TFE/Et/PAVE 共聚物等。 該CTFE共聚物亦可爲構成樹脂、彈性體的任一之聚 合物，但較佳爲構成樹脂者。 該CTFE共聚物可藉由塊狀聚合、溶液聚合、乳化聚 合、懸濁聚合等之先前技術習知的聚合方法而得到，但是 | 以藉由懸濁聚合所得到者爲佳。 該CTFE共聚物以熔點〔Tm〕爲150°C〜3 00 °C者爲 佳，較佳的下限爲1 6 0 °C，更佳的下限爲1 7 0 °C，較佳的 上限爲2 9 0 °C。 該熔點〔Tm〕係用差示掃描熱量計〔DSC〕以10°C /分鐘的速度昇溫時之熔解波峰所對應之溫度。 該CTFE共聚物以供給於加熱試驗之1質量％的CTFE 共聚物分解的溫度〔Tx〕爲370 °C以上者爲佳，較佳的下 φ 限爲3 8 0 °C，更佳的下限爲390°C，該熱分解溫度〔Tx〕 只要在該範圍內，可將上限定於45 0 °C。 該熱分解溫度〔Tx〕係藉由使用差示熱•熱重量測量 裝置〔TG-DTA〕測量供給於加熱試驗之CTFE共聚物的 質量減少1質量％時的溫度所得到之値。 該CTFE共聚物係該熔點〔Tm〕與分解1質量％的 CTFE共聚物的溫度〔Tx〕之差〔Tx-Tm〕爲150°C以上者 爲佳。未達1 50 °C則可成形的範圍過窄而使成形條件的選 擇幅度變小，該CTFE共聚物因爲可成形溫度範圍如上述 -19- 200538472 (16) 一'樣莧’進彳了共同壓出成形時，可使用筒溶點聚合物作爲 相對材料，該差〔Tx-Tm〕的較佳下限爲1 70°C，該差〔 Tx-Tm〕只要在該範圍內，由成形條件的選擇幅度充分的 寬之觀點而言，上限可定於例如21〇°C。 該CTFE共聚物係測量用薄片的35質量％鹽酸穿透係 數以2·5χ1〇·13 ( g · cm ) / (cm2 ·秒）以下者爲佳，測量 用薄片的3 5質量％鹽酸穿透係數較佳上限爲1 . 5 X 1 (Γ 13 ( g _ · cm ) / ( cm2 ·秒），更佳上限爲 l.OxlO·13 ( g · cm) / ( cm2 ·秒），該測量用薄片之35質量％鹽酸穿透係數 只要在該範圍內，較佳的下限可定於例如〇·〇〇1χ1 〇·13 ( g • c m ) / ( c m2 ·秒） 該測量用薄片係藉由將該CTFE共聚物用高於熔點50 °C的成形溫度、5MPa的成形壓力所得到之厚度0.2mm薄 片。 該CTFE共聚物，相對於比較用單層管件（a)的35 • 質量％鹽酸穿透係數〔P y〕之測量用層合管件（A )的35 質量％鹽酸穿透係數〔Ρχ〕的比率〔Px/Py〕爲0.7以下者 爲佳，該〔Px/Py〕的較佳上限爲0.5，更佳上限爲0.2， 該〔Px/Py〕只要在該範圍內，較佳下限可定於例如0.001 〇 該測量用層合管件（A ) ’係將以本發明的CTFE共 聚物作爲形成外層的聚合物，CTFE共聚物的熔點超過 210 °C時，以四氟乙烯/全氟（丙基乙烯醚）共聚物〔 PFA〕，CTFE共聚物的熔點21 0°C時以下時，以四氟乙嫌 -20 - 200538472 (17) /全氟（甲基乙烯醚）共聚物〔MFA〕作爲形成內層的聚 合物，各自置入多層擠壓機中；CTFE共聚物的熔點超過 2 1 〇 °C時，設定內層的汽缸溫度爲3 8 (TC，外層的汽缸溫 度爲比本發明的CTFE共聚物熔點高75〜105 °C的溫度， 模頭溫度爲3 95 °C ; CTFE共聚物的熔點21(TC以下時，設 定內層的汽缸溫度爲270 °C ’外層的汽缸溫度爲高於本發 明的CTFE共聚物熔點75〜90 °C的溫度，模頭溫度爲290 °C ;藉由拉取速度〇.5m/分鐘進行多層擠壓成形所得到 的管件，外層厚度係外層厚度與內層厚度合計的1 2 · 6%。 該比較用單層管件（a)係除了不使用該CTFE共聚物以 外，使用與該測量用層合管件（A )相同的條件，用四氟 乙烯/全（烷基乙烯醚）共聚物所得到的管件，爲與該測 纛用層合管件（A)的內層相同厚度的管件。 該CTFE共聚物係相對於比較用單層管件（b)的35 質量％鹽酸穿透係數〔Py〕之測量用管件（B )的35質量 %鹽酸穿透係數〔Pz〕的比率〔Pz/Py〕爲0.7以下者爲佳 ，該〔Pz/Py〕的較佳上限爲0.5，更佳上限爲0.2，該〔 Pz/Py〕只要在該範圍內，較佳下限可定於例如0.001。 該測量用管件（B )係對該測量用層合管件（A )進 行加壓試驗後所得到的管件，該比較用單層管件（b )係 對該比較用層合管件（a )進行加壓試驗後所得到的管件 〇 該加壓試驗係將該測量用管件（A )及比較用單層管 件（a)切取長度30cm，一端用 SWAGELOK公司製的蓋 -21 - 200538472 (18) 子封住後裝滿純水，另一端的端部接上馬達 置，此加壓裝置整體的溫度調整至25 °C之 秒/循環進行0〜2MPa的斷續性加壓操作之 該C T F E共聚物以3 0 0 °C以上的成形溫 形時，每106個碳數的不安定末端基爲80 ，超過80個則在成形溫度3 00 °C以上的熔 生發泡，較佳的上限爲40個，更佳的上限| 佳的上限爲6個，該不安定末端基數只要在 測量界限的觀點而言，例如可定下限爲1個 以未達3 00°C的成形溫度熔融成形時， 的不安定末端基以超過80個爲佳，以未達 溫度熔融成形時，每1〇6個碳數爲80個以 著性降低的狀況，較佳的下限爲1 〇〇個， 1 5 0個，特別佳的下限爲1 8 0個，最佳的下 以未達3 00 °C的成形溫度熔融成形時，下述 基數只要在該範圍內，由生產性觀點而言， 爲5 00個。 該不安定末端基之數係用紅外線分光光 量所得到之値。 該CTFE共聚物以未達3 00°C的溫度進 加熱處理時，以具有黏著功能性官能基者爲 中，「黏著功能性官能基」係該CTFE共聚 聚合物的分子結構的一部分，意指可參與該 與基材的黏著性者，該黏著功能性官能基只 而構成加壓裝 恒溫槽內以1 試驗。 度進行熔融成 個以下者爲佳 融成形時易產 i 20個，特別 該範圍內，以 〇 每1〇6個碳數 3 0 0 °C的成形 下，則會有黏 更佳的下限爲 限爲220個， 的不安定末端 例如可定上限 度計〔IR〕測 行熔融成形或 佳，本說明書 物中所含有的 CTFE共聚物 要是可參與如 -22- 200538472 (19) 此的黏著性者，不只是一般被稱爲官能基者’亦包含~般 被稱爲醚鍵等之鍵結的構造。 該黏著功能性官能基只要是可參與氟樹脂與基材的黏 著性者即可，並沒有特別的限制’可列舉例如羧基、羥基 、胺基等，該「羧基」係由碳-氧雙鍵所構成的碳數2價 之基，以-C ( =0 )-所示者爲代表。該羧基並沒有特別的 限制，可列舉例如碳酸酯基、鹵化甲醯基、甲醯基、羧基 、酯鍵〔-C ( =0 ) 0 -〕、酸酐鍵〔-C ( =0 ) 0-C ( =0 )-〕、異氰酸酯基、醯胺基、醯亞胺基〔-c ( =0 ) -NH-C ( =0 )-〕、尿烷鍵〔-NH-C ( =0 ) 0-〕、胺基甲醯基〔 NH2-C(=0)-〕、胺基甲醯基氧基〔nh2-c(=o) 0-〕 、脲基〔NH2-C ( =0 ) -NH-〕、草胺醯基〔NH2-C ( =0 )-C ( =〇 )-〕等的化學結構上的一部分者等。 該碳酸酯係- 〇C(=0) 0-R1 (式中’ R1爲表示有機基 )所示者，該式中R1有機基可列舉例如碳數1〜20的烷 基、具有醚鍵之碳數2〜20的烷基等，以碳數1〜8的烷 基、具有醚鍵之碳數2〜4的烷基等爲佳，該碳酸基可列 舉例如- 0C(=0) 0CH3、-0C(=0) OC3H7、-0C(=0) OC8H17、-oc (=〇) 〇ch2ch2ch2och2ch3 等爲佳。 該醯胺基爲下述一般式 〔化1〕 —C—N~R3 II 12 0R2 -23- 200538472 (20) (式中，R2爲氫原子或有機基，R3爲有機基）所示 之基。 該醯胺基、醯亞胺基、尿烷鍵、胺基甲醯基、胺基甲 酸基氧基、脈基、早肢酸基寺的氣原子上所鍵結的氯原子 亦可由例如院基等烴基所取代。 該黏著功能官能機，由易導入的觀點，及所得到的塗 膜具有適度的耐熱性及較低溫的優良黏著性的觀點而言， p 以醯胺基、胺基甲醯基、羥基、羧基、碳酸酯基爲佳，其 中又以碳酸酯基更佳。 該C T F E共聚物，具有黏著功能性官能基者時，可爲 由主鏈末端或側鏈的任一上具有該黏著功能性官能基之聚 合物所成者，亦可由主鏈末端及側鏈兩者皆具有之聚合物 所成者，主鏈末端上具有黏著功能性官能基時，主鏈的兩 端的末端上可皆具有，亦可僅在任一端的末端上具有。該 CTFE共聚物係在主鏈末端及/或側鏈上具有該黏著功能 φ 性官能基，同時或取代此等，黏著功能性官能基爲一般被 稱爲醚鍵結等之鏈結之結構時，可爲主鏈中含有該功能性 官能基。該CTFE共聚物由主鏈末端上具有黏著功能性官 能基之聚合物所成者，由不會使機械特性、耐藥品性顯著 降低之理由，此外有利於生產性、成本面之理由而言爲佳 〇 該CTFE共聚物由側鏈上具有黏著功能性官能基之聚 合物所成者時，可藉由使含有黏著功能性官能基的單體’ 與因應目的氟樹脂之種類及添加的含氟單體及/或非含氟 -24- 200538472 (21) 單體共聚合而得到。本說明書中，該「含黏著功能性官能 基之單體」係意指具有黏著功能性官能基之單體，該含黏 著功能性官能基之單體係可具有或亦可不具有氟原子，但 該含氟單體及非含氟單體爲不具有黏著功能性官能基者， 由此點在槪念上可與具有黏著功能性官能基之含黏著功能 性官能基之單體上區別。 含黏著功能性官能基之單體，係下述一般式（IV ) , CX22 = CY2- ( Rf4 ) η·Ζ2 ( IV) (式中，Z2表示具有羥基、羰基或胺基之官能基， X2及Y2可相同或相異，表示氫原子或氟原子，Rf4表示 碳數1〜40的伸烷基、碳數1〜40的含氟氧基伸烷基、具 有醚鍵之碳數1〜40的含氟伸烷基、或具有醚鍵之碳數1 〜40的含氟氧基伸烷基，η表示0或1 )所示之不飽和化 合物爲佳。本說明書中，該「羥基、羰基或胺基之官能基 」可爲羥基，可爲羰基，亦可爲胺基，意指可爲具有此等 φ 的黏著功能性官能基之任一的官能基。 該含黏著功能性官能基之單體，亦可爲不飽和二鹼酸 的單酯、伸乙烯碳酸酯、馬來酐、馬來酸等。 該CTFE共聚物爲主鏈末端上具有黏著功能性官能基 之聚合物，該黏著功能性官能基爲由碳酸酯基之聚合物所 成者時，可藉由使用過氧化碳酸酯作爲聚合起始劑聚合之 方法而製得，使用該方法則導入碳酸酯基及導入的控制非 常容易，由經濟性面、耐熱性、耐藥品性等的品質面等而 言爲佳。 -25- 200538472 (22) 該過氧化碳酸酯，以下述式 〔化2〕 R4—〇—C—Ο—0一C一0

II II 0 0 R4——0—C—0—0—R5 II 〇

〇 〇 (式中，R4及R5可爲相同或相異，爲碳數1〜15的 直鏈狀或支鏈狀的一價飽和烴基、或末端上具有院氧基之 碳數1〜1 5的直鏈狀或支鏈狀的一價飽和烴基，r6表示 Φ 碳數1〜1 5的直鏈或支鏈狀的二價飽和烴基、或末端上具 有烷氧基之碳數1〜15的直鏈狀或支鏈狀的二價飽和烴基 )所示之化合物爲佳。 其中之該過氧化碳酸酯又以二異丙基過氧化碳酸酯、 二-η-丙基過氧化二碳酸酯、t-丁基過氧化二異丙基碳酸酯 、雙（4-t-丁基環己基）過氧化二碳酸酯、二-2 乙基己 基過氧化二碳酸酯等爲佳。 該CTFE共聚物爲主鏈末端上具有黏著功能性官能基 之聚合物，該黏著功能性官能基由碳酸酯基以外的聚合物 -26- 200538472 (23) 所成者時，與該之導入碳酸酯時同樣的藉由使過氧化碳酸 酯、過氧化二碳酸酯、過氧化酯、過氧化醇等之過氧化物 作爲聚合起始劑進行聚合，可導入來自過氧化物的黏著功 能性官能基。此外，「來自過氧化物」意指，由含於過氧 化物之官能基直接導入，或藉由由含於過氧化物之官能基 換成直接被導入的官能基而間接導入。 過氧化碳酸酯、過氧化酯等之該聚合起始劑的使用量 φ 係依目的之氟樹脂的種類及組成、分子量、聚合條件、所 使用的起始劑的種類等而不同，但相對於所得到的1 00質 量份的聚合物，以0.05〜20質量份爲佳，特別佳的下限 爲〇. 1質量份，特別佳的上限爲1 0質量份。 該CTFE共聚物亦可爲含有塡充劑、顏料、導電性材 料、熱安定劑、補強劑、紫外線吸收劑等添加劑者，爲橡 膠時，亦可爲含有交聯劑、受酸劑、加硫劑、加硫促進劑 、硬化觸媒等之添加劑者。 φ 其中該導電性材料可列舉例如美國專利第466323 3 0 號說明書、曰本特開平3 - 1 740 1 8號公報等中所記載之碳 原纖維等。 該塡充劑等之添加劑在無損於CTFE共聚物的性質的 範圍內添加爲佳。 CTFE共聚物添加導電性材料所成之氟樹脂導電性組 成物的表面電阻値以以lxlOG〜1χ109Ω · cm爲佳，更佳 的下限爲1 X 1 Ο2 Ω · cm，更佳的上限爲1 X 1 Ο8 Ω · cm。

構成本發明的移送流體用構件之該層合物中，層〔P -27- 200538472 (24) 〕及層〔Q〕可相連或不相連，此外，相連時層〔p〕及 層〔Q〕可黏合或不黏合。 本發明之移送流體用構件中之層合物可爲僅由層〔p 〕及層〔Q〕所構成者，亦可爲含有層〔P〕或層〔q〕以 外的其它層者，該其它層並沒有特別的限定，可列舉例如 該移送流體用構件中之保護層、著色層、標識層、用於防 靜電之介電體層等，保護層、介電體層等由其功能而言， φ 置於該移送流體用構件的最外層爲佳。 構成本發明之移送流體用構件之該層合物，亦可爲具 有由以無機膜作爲層〔P〕或層〔Q〕以外的其它層之層 合結構者。該無機膜爲由無機物所成者，該無機膜係無機 含有率以50質量％以上者爲佳，未達50質量％則氣體屏 障性有劣化的狀況，該無機膜由氣體屏障性觀點而言，無 機含有有率較佳下限爲80質量％，更佳的下限爲90質量 %，特別佳爲1 00質量％，但因爲形成該無機膜時會有混 φ 入少量的有機物的情況，故由工業生產性的觀點而言，亦 可爲無機含有率爲95質量％以下，較佳爲99質量％以下 者。該無機含有率係爲該無機膜中所含成份中之無機物的 含有率，本說明書中，該無機含有率係該無機膜厚而可剥 離且離析時，爲測量灰化前後的質量變化所得到之値，因 爲該無機膜薄而無法剥離時，爲藉由電子分光法〔ESC A 〕、全反射紅外線吸收法〔ATR-IR〕等的表面分析所得 到之値。 該無機物以可賦予所得到的含氟成形物氣體屏障性者 -28- 200538472 (25) (以下亦稱爲「氣體屏障性無機物」）爲佳，該氣體屏障 性無機物可列舉例如鋁、矽、鈦、鋅、锆、鎂、錫、銅、 鐵等之金屬；該金屬的氧化物、氮化物、氟化物等之金屬 化合物；類鑽石碳〔DLC〕等之碳等，該氣體屏障性無機 物可爲1種或2種以上。 該氣體屏障性無機物，其中以具有透明性、氣體屏障 性優異之觀點而言，以氧化鋁、氧化矽、DLC爲佳；該氣 體屏障性無機物由氣體屏障性優異的觀點而言，以氧化鋁 、氧化矽爲佳；由耐藥品性的觀點而言，及該含氟成形物 爲具有彎曲形狀者時，使用後述的電漿化學蒸鍍法（電漿 CVD法）可有效率的形成之觀點而言，以DLC較佳。該 氧化鋁爲A10x ( x表示0.5〜2 )所示之化合物，該氧化矽 係SiOy(y表示0.5〜2)所示之化合物，爲具有該彎曲面 形狀者可列舉例如管件狀、軟管狀等的圓筒形狀者。 該無機膜係該氣體屏障性無機物爲DLC時，一般而 言，由藉由被稱爲i碳或氧化非晶體碳（a_C ·· Η )之硬質 碳以碳原子間的sp3鍵爲主體所形成的碳所成的膜，係爲 非晶質、具有高折射率之具有非常平滑形態者，此由DLC 所成之膜，一般可藉由下述的方法分析結構，由拉曼光譜 中經分離爲1 3 9001^1附近的D光譜帶與1 5 3 0cm-1附近的 G光譜帶之拉曼光譜相對強度比（ID/IC )進行評估sp2鍵 SP3鍵的比率。總之ID/IG愈小存在較多的SP3性的鍵（參 考文獻，山本尙之：Tribologist，Vol. 41，Νο·9，ρ·760 ( 1996) ) ° -29- 200538472 (26) 此外，一般而言，DLC膜中含有碳以外的元素，但氫 及其它元素於DLC膜中所含有的濃度，受到作爲碳源使 用之原料氣體的種類、電漿生成氣體環境中之雜質的量及 添加物的量、電漿生成條件、電極的配置方法等的影響， 例如作爲碳源使用原料氣體中含有氫時，所得到的DLC 膜中通常含有7質量％以下的氫。此外作爲碳源使用之原 料氣體中含有氧時及電漿生成時真空度低的情況下，會有 φ 原料氣體中的氧及空氣中的氧被固定於DLC膜中的情況 ，於氣體屏障面並不佳，DLC膜中的氧以5質量％以下爲 佳。 該無機膜以厚度 5χ1(Γ9〜lxl(T6m者爲佳，未達 5xl 〇_9m則會有因爲膜太薄而使氣體穿透性變高之情況， 超過1 X 1 (T6m則會有因爲柔軟性及可撓性劣化，依其形狀 而不同，容易裂開，及氣體穿透性變高的情況。該無機膜 由氣體穿透性的觀點而言，較佳的下限爲lxl(T8m，較佳 % 的上限爲更佳的上限爲8xl(T8m。該無機膜由 柔軟性、可撓性及透明性的觀點而言，特別佳的上限爲 7 X 1 (Γ8 m 〇 本說明書中’該無機膜的厚度，因爲所得到的含氟成 形物的表面有數十xl(T1Gm左右的凹凸及柔軟性，無法測 量該含氟成形物之實際的無機膜厚度，故爲藉由以下的方 法測量所得到之値。亦即，使用KAPTON (登記商標）黏 著帶’在一部分預先經過遮蔽的矽晶圓上，於該含氟成形 體形成無機膜的同時形成無機膜，取出後，經遮蔽的部分 -30- 200538472 (27)

與未被遮蔽的部分的階差用Talystep( TAYLOR HOBSON 公司製）測量’將晶圓上所形成的無機膜的厚度定爲該含 氟成形物中之無機膜的厚度。 該無機膜由所得到的含氟成形物的用途而言，以透明 性優異者爲佳，該無機膜以霧値爲3 0 %以下者爲佳，2 0 % 以下者爲更佳，該無機膜只要是霧値位於該範圍內，由保 持於一般所要求的透明性的觀點而言，可爲〇 . 5 %以上者 p ’更可爲1 %以上者。該無機膜要爲該之透明性優異者以 厚度小者爲佳，由該DLC所成的膜爲佳。本說明書中， 該霧度値係依據JIS K 7136使用霧度計（東洋精機製作 所公司製，直接讀取霧度計）所測量之値。 本發明之移送流體用構件中之層合物以僅由層〔P〕 及層〔Q〕所構成者爲佳。 本發明的層合物中，相連之各層的交界面不一定要明 確’由構成各層的聚合物的分子鏈之間自相連的面互相侵 φ 入，而成爲濃度梯度之層結構亦可。 移送本發明的移送流體用構件之流體可爲氣體、液體 之任一，該液體亦可爲揮發性液體，亦可爲含硏磨劑的固 體微粒子之流體。 該流體並沒有特別的限定，可列舉例如牛乳等之飮食 物、氣體、藥液等。 該氣體並沒有特別的限定，可列舉例如臭氧、氫、氧 、低分子量氟碳等，此等所例示之氣體亦可爲使用於半導 體製造領域之氣體。 -31 - 200538472 (28) 該藥液並沒有特別的限定，可列舉例如乙酸、甲酸、 甲酚、苯酚等有機酸，氫氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、鹽酸 等之無機酸類，過氧化氫等之過氧化物，磷酸：過氧化氫 、硫酸：過氧化氫等的該無機酸類與過氧化氫水之混合液 ，氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨水等鹼溶液，甲醇、乙醇等之 醇類，乙二胺、二乙三胺、乙醇胺等胺類，二甲基乙醯胺 等醯胺類，乙酸乙酯、乙酸丁酯等之酯類，二甲苯等之烴 p 系溶劑，三氯乙烯等之氯系溶劑，乙酮等之酮類，臭氧水 ，超純水，機能水，此等中2種以上的混合液等之液體。 該機能水於半導體製造領域中係超純水中溶解存在氫及氨 所成之液體。 構成本發明的移送流體用構件之層合物之方法並沒有 特別的限制，可列舉例如（1 ) 共同壓出層〔P〕的材料 與層〔Q〕的材料之方法、（2 )將構成外管件的高分子 材料熔融壓出而被覆於預先所形成的內管件上之方法、（ φ 3 )將預先個別形成的內管件及外管件之該內管件插入該 外管件中後藉由熱融而層合之方法，依其所使用的材料及 目的之移送流體用構件的形狀，可使用該（1 )的方法、 該（2 )的方法之任一，但以該（1 )的方法爲佳，移送流 體用構件爲管件狀時，依其用途以該（2 )的方法爲佳， 該方法（1)及（2)中，該層〔P〕爲內管件、層〔Q〕 爲外管件，可適合使用任一方法。 該層〔P〕係本發明的移送流體用構件中相當於接液 部之最內層者爲佳，因爲是最內層，故可活用其具有含氟 -32- 200538472 (29) 聚合物之耐藥品性等的特性。 本發明之層合物可作成薄膜形狀、薄片形狀、管件狀 、軟管狀、瓶狀、桶狀等的各種形狀，該薄膜形狀、薄片 形狀、管件狀、軟管狀亦可爲蛇腹（c 〇 r r U g a t e d )形狀或 螺旋（convoluted)形狀。 本發明的移送流體用構件並沒有特別的限制，可列舉 例如tube (管件）、接頭等之配管材料、隔膜栗所使用的 ^ 薄膜等。 該移送流體用構件由可充分發揮該CTFE共聚物的耐 藥品性、成形性及藥液低透過性等優異的特性之觀點而言 ，作爲半導體製造裝置所使用的構件爲佳，其中較佳爲半 導體製造裝置用管件、半導體製造裝置用薄片或半導體製 造裝置用薄膜，該半導體製造用薄膜或半導體製造裝置用 薄膜係隔膜泵用者爲佳。 該移送流體用構件又以充分發揮該CTFE共聚物的優 φ 異特性之觀點而言，可成形爲袋狀及桶狀而作爲藥液的容 器使用，此外，亦可作爲藥液容器、廢液桶等裏襯構件使 用。 該移送流體用構件爲裏襯管件體時，穿透裏襯層之藥 液，係在裏襯層與管件體之間有空間時（鬆動配管時）， 因爲與金屬基材反應而產生氫，而此壓力使裏襯層的內面 側膨漲，而會產生無法確保適當流量的問題；此外，裏襯 層介由黏著劑層與管件體黏合時，使黏著劑層劣化而產生 排氣，與上述同樣的產生膨漲問題，同樣的腐蝕金屬管件 -33- 200538472 (30) 體’最壞的情況爲金屬管件體產生貫通孔’而發生自外部 流入雨水。相對於此適當使用本發明之低穿透材料，因爲 大幅降低穿透裏襯層的藥物，而可使其長壽命化，此處所 適用的形態係可列舉管件、薄片，可以此等爲主進行壓出 成形。 即使爲裏襯罐體形態的桶，使用如同該穿透性高的藥 液時，穿透的藥液會產生同樣的的問題，但若適當使用本 φ 發明之低穿透材料則可使桶的壽命延長，另一方面，本發 明之低穿透材料，由對於鐵、SUS等金屬基材，在適當的 溫度下只在微弱面賦予壓力即顯示出1 5N/cm以上的剥離 強度這一點看來，可省略黏著劑層，可對桶製造的低成本 化有貢獻。此時的溫度以1 9 0〜2 5 0 °C爲佳，可使用熱風 加熱機、加熱槍等加熱，其形態並不限制於此等者，此外 ，加壓時使用加熱槍可簡化步驟操作，壓力以0.0 5 MPa以 上爲佳，剥離強度的評估方法依據JIS C 5016進行爲佳。 φ 緩衝用桶係一般而言大部分用樹脂單體所構成，此樹 脂中若適當使用本發明之低穿透樹脂可降低藥液的穿透， 減輕對周邊構件的損害，關於如此的桶，可用吹出成形、 旋轉成形等，但吹出成形以MFR爲1〜3g/ 10分鐘者爲 佳，旋轉成形以4〜8g/ 10分鐘爲佳，此外作出厚度更厚 的成形品時，揮發分係在3 0 (TC、1小時的揮發分重量減 少以0.08質量％以下爲佳。 感應器類在控制藥液管件線上非常重要，因爲藥液的 滲透而使檢測部受到損傷，及基礎檢測値上昇，而造成維 -34- 200538472 (31) 修非常煩雜且成本上亦產生問題。例如感壓感應器，被設 置在藥液流動路線的旁通路線上之隔膜的變形，可用金屬 製的感壓裝置測量而檢測。但是因爲藥液的穿透而使感壓 裝置腐蝕，而使正常的檢測變困難。同樣的問題，使厚度 薄的隔膜進行極微動之壓電元件驅動型隔膜泵等，亦因爲 穿透隔膜的藥液而造成壓電元件損傷，爲正常的操作帶來 障礙。此外，藥液的濃度感應器使用超越透明管件之分光 φ 法的手法，以檢測特定吸收的增減來檢測藥液的濃度，管 件內藥液滲透進來則基礎檢測値就跟著上昇，最後會有超 出檢測範圍外的問題，若使用本發明之低穿透樹脂，可減 少此等問題的影響，供給至此等用途的形態可考慮管件、 薄片、隔膜等之形態，但應依據檢測手法來選擇其形態， 並非僅限於此等。 此外，使藥液流通時藉由過濾器去除異物是不可或缺 的，但特別是過濾器筐體，因爲藥液高溫加熱的情況很多 φ ，而使穿透量變得更多而其周圍的構件受到的損傷亦更大 。想要減少藥液穿透則必須成形厚度更厚的成形品，但隨 著厚度化而易產生裂紋，而使因爲本身重量所產生的變形 也令人無法不在意，若使用本發明之成形品，因爲可用厚 度較薄的成形品來降低藥液穿透，而且比起以往所使用的 PTFE、PFA及FEP等具有高彈性率，可減少因爲本身重 量的彈性變形，如此的過濾筐體多半藉由射出成形進行成 形，但所使用的樹脂的MFR以10〜20g/ 10分鐘爲佳。 -35- 200538472 (32) 〔發明的效果〕 本發明的移送流體用構件，因爲由如上述的構成所成 ’故可爲兼具耐應力裂紋性及藥液低穿透性，同時亦具備 耐藥品性、成形時所必需的耐熱性者。 【實施方式】 以下列示實施例具體的說明本發明，但本發明並非限 於此等實施例。 實施例1 可收納400kg水之具外罩攪拌式聚合槽中，裝入 l〇〇kg之去除礦物質的純水，內部空間用純氮氣充分取代 後，排除氮氣成爲真空；接著壓入2 0 0kg的八氟環丁烷、 9.13kg的氯三氟乙烯〔CTFE〕 、20kg的四氟乙烯〔TFE 〕、l〇kg的全氟（丙基乙烯醚）〔PPVE〕，溫度調整至 φ 35 °C後開始攪拌。此時添加作爲聚合起始劑之0.5kg的 二-η-丙基過氧化二碳酸酯〔NPP〕的50重量％甲醇溶液 後開始聚合，聚合中一方面爲了維持槽內壓力爲0.68ΜΡ a 而追加裝入調製成與所希望的聚合物組成具同組成之混合 單體，另一方面聚合至總追加裝入量達到對溶劑比約1〇 質量％後，排出槽內的殘留氣體而取出所生成的聚合物， 用去除礦物質的純水洗淨、乾燥後得到25.7kg的粒狀粉 末的CTFE共聚物A。所得到的CTFE共聚物A進行如下 述的物性評估，結果列示於表2。 -36· 200538472 (33) 〔熱分解開始溫度〕 使用差示熱•熱重量測量裝置〔T G - D T A〕（商品名 :TG/DTA6200，SEIKO電子公司製），將10mg的試樣 以1 〇°C /分鐘昇溫速度昇溫至室溫，試樣減少i質量％時 的溫度定爲分解開始溫度。 〔熔點〕 使用差示掃描熱量計〔DSC〕（商品名：rDC220， SEIKO電子公司製），將3mg的試樣以i〇°c /分鐘昇溫 速度昇溫至室溫，熔融波峰的溫度定爲熔點。 〔MFR〕 依據 ASTM D3 3 07-0 1，使用熔融指數量測儀（東洋 精機社製），比熔點高70°C的溫度、5kg的載重下由內徑 2mm、長度8mm的噴嘴每10分鐘單位所流出的聚合物的 質量（g/ 10分鐘）。 〔各共聚用單體的含量〕 依成份〔A〕的種類適當的組合NMR、FT-IR、兀素 分析、螢光X射線分析而計算出單體單元的含量’例如 CTFE、TFE、PPVE三元共聚物時，用19F-NMR法與碳（ 二十 C )的元素分析法所得到的分析値，經由使用以T $ 5 式可計算出各共聚用單體的含量。 -37- 200538472 (34) 〔數1〕 Χ = 11646 9 + 149.565Ζ - ( 2402.2 + 36.0ggj ) \ 16-455 \ \ 0.01 Me / / y = 1〇〇 - χ - z x = TFE含量（莫耳％) y: CTFE含量（莫耳％) z: PPVE含 量（莫耳％ ) Me : C含量（wt% ) 上式中，PPVE含量（z )爲經由19F-NMR法所計算 出，碳（C )的含量（Me )係經由元素分析所計算出，再 使用此等數値由上式計算出TFE含量（χ )及CTFE含量 (y) ° 〔薄片的35質量％鹽酸穿透係數〕 藉由使用比熔點高50°C〜70°C的成形溫度、5MPa的 成形壓力進行壓縮成形，得到厚度合計爲0.2:1:0.0 3 mm的 薄片，將所得到的薄片使用氟橡膠製的0形圈1 3挾在圖 1所示的2個玻璃容器12a及12b (皆爲容量20 0ml)的 中央，薄片的單側的容器12a中裝入200ml的35質量％ 的鹽酸，另一側的容器12b中裝入200ml的純水，靜置於 25t的恒溫槽內（此時樣本薄片11的接液面爲70mm(〇 。以此狀態放置，自純水側的容器1 2b的取樣口 1 4取樣 1 m 1，此純水中所含的氯離子濃度Y ( p p m )使用離子色 譜儀（商品名：1C 70 00-E，橫河電氣社製）定量，鹽酸穿 透係數X ( g · c m ) / ( c m2 ·秒）係使用下述式計算。 -38- 200538472 (35) χ= ( /3 χ膜厚）/截面積 yS :相對於τ標繪α時，α相對於T爲直線的變化 期間（h )的斜面。 α :穿透總量（單位：g ) =YxWxl(T6 (單位：g /秒 ) W :純水量（單位：m 1 ) T :穿透開始至取樣爲止的經過時間（單位：秒） 膜厚：薄片的厚度或管件的厚度（單位：cm ) 截面積：於穿透試驗機中，與試樣薄片或管件的純水 接觸部分的面積（單位：cm2) 〔薄片的MIT彎曲壽命〕 使用比熔點高50°C〜70°C的成形溫度、5MPa的成形 壓力進行成形寬13 mm、厚210〜230//m之CTFE共聚物 ，關於PFA、PCTFE使用MIT耐揉疲勞試驗機（東洋精 機製作所製），依據AS TM D-2 176的條件重覆折凹彎曲 ，測量達到破壞斷裂的次數，結果列示於表2。 〔層合管件A的製作〕 使用裝有多層分歧管件模頭（multimanifolddie)之2 種2層的管件壓出裝置，管件的外層爲CTFE共聚物A， 內層爲PFA (商品名：NEOFLON AP231SH，大金工業公 司製），外層及內層用的擠壓機中，各自供給經顆粒化的 CTFE共聚物A及PFA顆粒連續成形外徑19.1mm、內徑 -39- 200538472 (36) 15.9mm、外層厚度〇.2mm的管件而得到層合管件a，成 形時的溫度條件列示於表2。 〔測量與PFA的黏著強度〕 自層合管件A切取lcm寬的測試片，使用 TENCIRON萬能試驗機，進行25mm/分鐘的速度進行 1 80 °剥離試驗，伸長量-拉伸強度圖中計算極大5點的平 均作爲初期黏著強度（N / c m )，結果列示於表2。 〔測量與FEP的黏著強度〕 用比CTFE共聚物及FEP(商品名·· NEOFLON FEP NP30，大金工業公司製）樹脂的熔點高50〜70°C的成形 溫度、5 MP a的成形壓力進行壓縮成形，得到厚度合計爲 0.5±0.05mm的薄片，將所得到的薄片以〇.2MPa的成形 壓力、3 4 0 °C的成形溫度進行壓縮成形，自此層合結構的 φ 壓縮成形試樣切取寬1 cm的測試片，使用TENCIRON萬 能試驗機，進行2 5 mm /分鐘的速度進行1 8 0。剥離試驗 ，伸長量-拉伸強度圖中計算極大5點的平均作爲初期黏 著強度（N/cm )，結果列示於表2。 〔層合管件B的製作〕 自層合管件A切取長度30cm，一端用 SWAGELOK 公司製的蓋子封住後裝滿純水，另一端的端部接上馬達而 構成加壓裝置，此加壓裝置整體的溫度調整至25 °C之恒 -40 - 200538472 (37) 溫槽內，接著對層合管件A進行的0〜2 Μ P a的加減壓操 作設定爲1秒/循環自動控制，開始對層合管件A進行 重覆加壓試驗，加減壓操作進行1 〇萬次循環後停止馬達 取出管件，使其乾燥，將此定爲層合管件B。 〔層合管件A、B的35質量％鹽酸穿透係數〕 關於表2的層合管件A及B，如圖2所示用下述方法 | 調查35質量％鹽酸穿透係數，首先先切取30cm長的層合 管件，管件21的單側末端經由熱熔封住，在管件21內中 裝入52ml的35質量％鹽酸後，另一端的管件末端亦熱熔 封住，裝入鹽酸的管件21插入玻璃管22中，使用氟橡膠 製的墊片23固定。接著自取樣口 24裝入純水110ml，放 置於25 °C的恒溫槽內，此時墊片23間的管件與純水接液 ，接液部分的長度爲18.5cm，以此狀態放置，自取樣口 24取樣約lml，此純水中所含有氯離子濃度進行與薄片的 0 同樣的穿透試驗，用離子色譜儀定量。 〔比重的變化率〕 用切薄片機切削自表2記載的層合管件A的外層的 表面至深度100// m，此時試樣形狀爲最大厚度1〇〇// m、 壓出方向3mm、圓周方向1mm的薄長方形，由1種層合 管件作出1 〇片此薄長方形試樣，此等的試樣的比重使用 密度梯度管進行測量，取1 〇點的平均値將層合管件A外 層的比重定爲比重Xi。此外，關於表2記載的樹脂，由 -41 - 200538472 (38) 別的方式，藉由比各樹脂的熔點高50°C〜7(TC 度、5MPa的成形壓力進行壓縮成形，得到厚度名 ± 0 . 0 3 mm的薄片，所得到的薄片切削成最大厚β 、壓出方向3mm、圓周方向1mm的薄長方形， 片作出1 〇片此薄長方形試樣，關於此等的試樣 合管件的比重X:同樣的使用密度梯度管進行測: 點的平均値將壓縮成形薄片的比重定爲比重Y。 | 化率D由下述式計算。 D= Xj/Yx 100 ( % ) 如此計算出的D列示於表2。 實施例2 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲 TFE定爲13kg以外， 其它與實施例1同樣的進行聚合及後處 20.6kg的粒狀粉末的CTFE共聚物B。所得到的 聚物B因爲熔點比較低，故將層合管件的內層改 PFA更低的下述比較例4所記載的四氟乙烯/全 乙烯醚）共聚物〔MFA〕，不進行測量與PFA、 著強度，進行測量與PTFE的黏著強度。其它與 進行同樣的物性評估，結果列示於表2。 〔測量與PTFE的黏著強度〕 用比CTFE共聚物的熔點高50〜…^的成 的成形溫 $計爲0.2 I \00 β m 由1種薄 亦與該層 匱，取10 比重的變 19.3kg、 理，得到 CTFE 共 爲熔點比 氟（甲基 FEP的黏 實施例1 形溫度、 -42- 200538472 (39) 5MPa的成形壓力進行壓縮成形，得到厚度合計爲〇.5 土 0.05mm的薄片，將所得到的薄片與PTFE薄片（商品名 :NEW POLYFLON PTFE Ml 12，大金工業公司製），以 樹脂0.2MPa的成形壓力、340°C的成形溫度進行壓縮成形 ，自此層合結構的壓縮成形試樣切取寬1 cm的測試片， 使用TENCIRON萬能試驗機，進行25mm/分鐘的速度進 行1 80 °剥離試驗，伸長量-拉伸強度圖中計算極大5點的 平均作爲初期黏著強度（N/cm )，結果列示於表2。 實施例3 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲5.8kg、TFE 定爲49.6kg以外， 其它與實施例1同樣的進行聚合及後處理，得到 24.6kg的粒狀粉末的 CTFE共聚物 C。關於所得到的 CTFE共聚物C與實施例1進行同樣的物性評估，結果列 示於表2。 實施例4 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲2.4kg、TFE 定爲24.2kg以外， 其它與實施例1同樣的進行聚合及後處理，得到 23.8kg的粒狀粉末的CTFE共聚物D。關於所得到的 C T F E共聚物D，不進行層合管B的製作’此外與實施例 1進行同樣的物性評估’結果列示於表2 ° -43· 200538472 (40) 實施例5 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲41.:5kg、 TFE定爲4.6kg以外’ 其它與實施例1同樣的進行聚合及後處理’ ί辱到 22.6kg的粒狀粉末的CTFE共聚物Ε ’此時的聚合速度降 爲實施例2的71 %。關於所得到的CTFE共聚物E，不進 行測量ΜIT彎曲壽命、測量與P T F E的黏著強度’此外與 實施例2進行同樣的物性評估，結果列示於表2。 實施例6 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲9.2kg、TFE 定爲21.1kg、PPVE定爲3.1kg以外，其它與實施例1同 樣的進行聚合及後處理，得到24.8kg的粒狀粉末的CTFE 共聚物F。關於所得到的CTFE共聚物F ’不進行測量與 PFA、FEP、PTF的黏著強度，此外與實施例1進行同樣 的物性評估，結果列示於表2。 實施例7 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲7.1kg、TFE 定爲18.3kg、PPVE定爲31.3kg以外，其它與實施例1同 樣的進行聚合及後處理，得到23.7kg的粒狀粉末的CTFE 共聚物G，此時的聚合速度降爲實施例1的65%。關於所 得到的CTFE共聚物G，不進行測量與PTFE的黏著強度 -44 - 200538472 (41) ，此外與實施例2進行同樣的物性評估，結果列 實施例8 除了不使用PPVE ’且將初期的單體裝入量中二 定爲29.3kg、TFE定爲8.6kg、乙儲定爲〇.5kg以 它與實施例1同樣的進行聚合及後處理，得到2 6 _ 粒狀粉末的CTFE共聚物H °關於所得到的CTFE G，不進行測量MIT彎曲壽命、測量與PTFE的黏 ，此外與實施例2進行同樣的物性評估，結果列示 實施例9 除了不使用八氟環丁烷及PPVE，且將初期的 入量中之CTFE定爲3.9kg、TFE定爲20.4kg、六 〔HFP〕定爲202kg以外，其它與實施例1同樣的 合及後處理，得到25.8kg的粒狀粉末的CTFE共聚 關於所得到的CTFE共聚物I ’不進行測量MIT彎 、測量與PFA、FEP、PTFE的黏著強度，此外與實 進行同樣的物性評估，結果列示於表2。 實施例1 0 除了不使用PPVE，且將初期的單體裝入量中二 定爲2.7kg、TFE定爲22.8kg以外，其它與實施例 於表2 ：CTFE 外，其 3kg的 共聚物 著強度 於表2 單體裝 氟丙烯 進行聚 物I 〇 曲壽命 施例1 CTFE 1同樣 -45-

200538472 (42) 的進行聚合及後處理，得到22.4kg的粒狀粉末的 共聚物J。關於所得到的CTFE共聚物J，不進] MIT彎曲壽命測量與PFA、FEP、PTFE的黏著強度 與實施例1進行同樣的物性評估，結果列示於表2。 實施例Η 除了不使用PPVE，且將初期的單體裝入量中之 定爲 19.3kg、TFE 定爲 13kg、 〔 H2P〕( CFCF2CF2CF2H)定爲7.4kg以外，其它與實施例1 的進行聚合及後處理，得到20.6kg的粒狀粉末的 共聚物K。關於所得到的CTFE共聚物K，與實施例 行同樣的物性評估，結果列示於表2。 比較例1 除了將初期的單體裝入量中之CTFE定爲6.6kg 定爲12.7kg、PPVE定爲69.2kg以外，其它與實施f 樣的進行聚合’但因爲聚合速度極端地變慢成實施必 2 0%以下，聚合8.2小時後結束。此外’關於所得3 狀粉末的CTFE共聚物，進行組成分析，確認其爲^ 的共聚物組成，結果列不於表2。 比較例2 除了不使用PPVE，且將初期的單體裝入量中之 定爲21.8kg、TFE定爲14.3kg、乙烯定爲2kg以外 CTFE 測量 此外 CTFE CH2 = 同樣 CTFE 2進 、TFE "同 丨2的 !1的粒 ί希望 CTFE 其它 -46 - 200538472 (43) 與實施例1同樣的進行聚合及後處理，得到2 3 k g的粒狀 粉末的C T F E共聚物L。所得到的c T F E共聚物L的熔點 降得太低，無法製作層合管件，結果列示於表2。 比較例3 除了不使用八氟環丁烷及P P V E，且將初期的單體裝 入量中之CTFE定爲5.4kg、TFE定爲5.8kg、HFP定爲 205.1 kg以外，其它與實施例1同樣的進行聚合，但因爲 聚合速度極端地變慢成實施例8的30 %以下，聚合8.0小 時後結束。此外，關於所得到的粒狀粉末的CTFE共聚物 ，進行組成分析，確認其爲所希望的共聚物組成，結果列 不於表2。 比較例4 可收納 174kg水之具外罩攪拌式聚合槽中，裝入 φ 5 1 kg之去除礦物質的純水，內部空間用純氮氣充分取代 後，排除氮氣成爲真空；接著壓入35kg的八氟環丁烷、 l〇kg的全氟（甲基乙烯醚），溫度調整至35 °C後開始攪 拌，之後壓入TFE至達〇.78MPa爲止。此時添加作爲聚 合起始劑之〇.38kg的NPP的50重量％甲醇溶液後開始聚 合，聚合中一方面爲了維持槽內壓力爲0.7 8MPa而追加裝 入調製成與所希望的聚合物組成具同組成之混合單體，另 一方面聚合至總追加裝入量達到對溶劑比約1 〇〇質量％後 ，排出槽內的殘留氣體而取出所生成的聚合物，用去除礦 -47- 200538472 (44) 物質的純水洗淨、乾燥後得到3 0kg的粒狀 烯/全氟（甲基乙烯醚）共聚物〔MFA〕。 MFA，不進行測量MIT彎曲壽命及測量與 PTFE的黏著強度，此外與實施例1進行同 ，但是此MFA不作爲外層材料使用，作爲 爲與熔點較低的CTFE共聚物B、E、G、Η 之層合管件的內層使用，單層管件的物性評 例1同樣的物性評估，結果列示於表2。 比較例5 關於PCTFE顆粒（商品名：NEOFLON 大金工業公司製），作成層合管件Β，及 PFA、FEP、PTFE的黏著強度，此外與實施 的物性評估，結果列示於表2。 比較例6

關於PCTFE顆粒（商品名：NEOFLON 大金工業公司製），不進行測量與PTFE的 外與實施例2進行同樣的物性評估，結果列 比較例7 關於四氟乙烯/全氟（丙基乙烯醚）共 品名：NEOFLON PFA AP231SH，大金工業 進行測量與PFA、FEP、PTFE的黏著強度， 粉末的四氟乙 關於所得到的 PFA 、 FEP 、 樣的物性評估 單層管件或作 、K 或 PCTFE 估進行與實施 TFE M300P ， 不進行測量與 例1進行同樣 TFE M300P ， 黏著強度，此 示於表2。 聚物顆粒（商 公司製），不 此外與實施例 -48- 200538472 (45) 1進行同樣的物性評估。但; ，作爲單層管件或作爲與熔 、D、F、I、J 或 PCTFE 之 件的物性評估進行與實施例 於表2。 i此PFA不作爲外層材料使用 點較高的CTFE共聚物 A、C 層合管件的內層使用，單層管 1同樣的物性評估，結果列示 -49- 200538472 (46)

US 齡管件A成形條件 各層的厚度 內層 [nun] $ o - o 00 00 00 oo rn ON m 1 1 1 1.39 卜 cn 〇N 外層 [mm] 0.20 0.20 0.20 0.21 0.20 !〇,〇 0.20 0.20 0.20 0.23 (N 1 1 1 0.21 CN -1 0.21 丨 管件拉 取速度 [m/分] in 〇 o \r, o o d o \n ο ΙΛ d 〇 yrs 〇 1 1 1 o d \n 〇_ o' 模頭 雛 rc] ON m 290 395 ON γλ 290 \n On g CN 290 ON m ON 290 1 1 1 290 395 290 395 麵 | P 380 270 380 380 270 380 270 270 380 380 270 1 1 1 270 380 270 380 外層 rc] § 280 s 380 280 360 290 260 320 340 280 1 1 | 1 290 290 1 m 顆 i羅 PFA MFA PFA PFA MFA !pFA MFA MFA PFA PFA MFA 1 1 1 MFA PFA 1 MFA i J PFA 齡管件B η 5 3〜50 3〜50 3〜50 1 3~50 3-50 3〜50 3~50 3〜50 3〜20 3~50 1 1 1 3~20 1 -1 3-20 3~20 1 ^ £ 式连 〇〇 · W I® ^ Mc ^ i '〇 1 ^ 2L 〜 0.89 0.48 0.98 1 0.53 1 2.79 1 1.83 2.26 2.79 OS 0.38 1 1 1 6.14(單層） 1 5.28 6.11(單屑） 比重的 變化率 [%】 o o o — es o 7 〇 o 1 1 1 o o 與 PTFE mm 触 1 00 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 與FEP 著 搬 1 CO 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 丨 與PFA _著 搬 1 00 r-) 1 1 1 I 1 1 1 i 1 1 I 1 1 1 齢管件A Η巨 3-50 3~50 3~50 3~50 3~50 3-50 3~50 3〜50 1 3~50 3~50 3~50 1 1 1 3~20 3~20 3〜50 3〜20 麗_ 1 f 賽顏I ! 0.85 0.29 2.89 0.22 I 1.03 1.95 1.03 2.58 2.18 0.29 1 1 1 5.92(單層） 6.27 0.35 6.21(單層） MIT 彎曲壽命 [萬次】 2 CM Ά >250 1 >250 1 1 1 >250 1 1 1 1 0.02 Ί 0.02 >250 薄片 H S 3~30 3~30 3~30 3~30 3~30 3~30 3〜30 3~30 3~30 3~30 3〜30 1 3~30 1 3~30 3~30 2-6 I 1 I f _讓1 1 0.25 0.07 0.68 0.98 0.05 0.29 0.42 0.09 0.80 0.51 0.06 1 0, 1 5.85 0.03 1 0.03 6.20 1 MFR _分] \q o Os m o 00 寸 00 12.0 I 00 1 00 so 1 1 駿ig g V-> o Ά 282 Os CN 8 <N (N cs 00 <r\ (N 202 1 o 1 224 ΓΛ CS 2 fS § mm 開始點 rc] § s m 430 442 382 410 00 m g \Tt Os m 1 00 m 1 § <N v〇 S I 1 » m 1 驾繫 Μ η H2P 1 1 1 1 1 丨 i 1 1 1 1 ! 1 MFA PCTFE 1 PCTFE PFA i 1 1 1 1 ! 1 1 1 κη <> 1 1 1 1 00 iS 1 1 1 1 1 ! 1 〇< 1 ! 1 I 沄 1 PPVE i CN 卜 七 1 1 1 1 2 1 1 64.0 ι- |37.0 73.0 v〇 00 yn 64.5 63.6 S 70.3 37.4 52.5 17.1 客 CTFE 34.5 61.6 24.7 12.4 35.1 卜 68.7 17.5 29.7 S’ 34.5 i 52.9 00 ι < 03 u Q Ο I - ¥ 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 實施例5 實施例ό 實施例7 實施例8 實施例9 實施例10 實施例11 比麵1 比酬2 比綱3 比酬4 比_5 比觀6 1 比麵7 -50- 200538472 (47)

表2中所示的物性評估中，薄膜薄片的鹽酸穿透係數 表示使用比CTFE共聚物、PFA、MFA、或PCTFE的熔點 高5 0。(：〜7 0 °C的溫度之比較.穩定成形溫度所成形時的鹽 酸穿透係數，但CFTE共聚物或PCTFE的薄膜薄片的穿 透係數係由 PFA或MFA的單層所成的薄片的1/6至 1 /1 0 0，明顯的具有優異的低藥液穿透係數，雖然因共單 體而有所不同，但已知CTFE的比率高則穿透係數有變低 的傾向。接著看層合管件A的評估結果’知道相對於厚 度約1.4mm的PFA層或MFA層，只要層合約0.2mm厚度 的CTFE共聚合，即可賦予PFA單層管件的1/2至1/50 之優異低藥物穿透性，但是儘管比較例5的PCTFE，薄膜 薄片顯示出非常優異的低藥液穿透性，與PFA層合化後 所得到的層合管件A中，一點也沒有發揮低藥液穿透性 。外觀目視可看到外層發泡，此爲本實施例及比較例中之 共同壓出成形中，因爲分解開始溫度3 62 °C的PCTFE曝露 於PFA成形所需要的模頭溫度3 95 °C的高溫中，而使 PCTFE熱分解而發生層內發泡，經由比重的變化率所推論 。比較例6中之共同壓出最高成形溫度低於PCTFE之 MFA時，知道所得到的層合管件A顯示具有可與該CTFE 共聚物匹敵的優良的低藥物穿透性。 而且藉由層合管件A加入動態的應力，所得到的層 合管件B中，測試其外層的應力裂紋，因爲藥液供給配管 在實際使用時承受各種應力，故層合管件的外層具有充分 的耐應力裂紋性這一點很重要。應力係例如移送藥液的內 -51 - 200538472 (48) 壓，層合管件B只要維持層合管件A的穿透係數，其外 層的耐應力裂紋性相對的亦優良。已知該比較例6之 P C T F E作爲層合管件A時具有優良的低藥液穿透性，但 是層合管件B則穿透係數突然上昇，已知與Mfa單層比 較無法發揮P C T F E本身所具有的低藥物穿透性，此爲因 爲重覆的動態的操作而使PCTFE外層產生裂紋，經由外 觀目視可看到表層的泛白。 | 然而實施例中所列舉之由CTFE共聚物所成的層合管 件B皆維持優良的層合管件A的透過係數程度，CTFE共 聚物之所具有的低藥物穿透性完全發揮，亦即藉由外層使 用CTFE共聚物’與使用PCTFE比較後，知道明顯的改 善耐應力裂紋性。 提昇耐應力裂紋性時，例如PPVE的情況，適量的共 聚合很重要，例如不使用PPVE則如實施例10在要求耐 應力裂紋性的用途可能無法充分維持藥液屏障性能，但是 0 此情況甚至與比較例 5的 PCTFE比較，爲了提昇 CTFE/TFE共聚物本身的耐熱性，即使曝露於高溫的成形 條件表現出較優良的穿透係數，但是像比較例1其PPVE 太多時，知道聚合速度會大幅降低而有損生產性。 此外，知道本發明的CTFE共聚物與PFA及FEP的 黏著性，本發明的CTFE共聚物中CTFE單元所佔有的莫 耳％愈低有愈提昇的傾向，特別是發現CTFE單元的莫耳 %爲35莫耳％以下則優良的黏著，30莫耳％以下則更堅固 的黏著，由此結果，因爲用途而層間的黏著性爲必要時， -52- 200538472 (49) 在該CTFE單元的莫耳％範圍內可兼具優異的穿透係數及 黏著性。 本發明的移送流體用構件因爲由如上述的構成所成， 故可爲兼具耐應力裂紋性及藥液低穿透性，同時亦具備耐 藥品性、成形時所必需的耐熱性者。 〔產業上的可利用性〕 本發明的移送流體用構件可適合作爲例如要求兼具有 耐應力裂紋性及藥液低穿透性之藥液低穿透性管件使用。 【圖式簡單說明】 〔圖1〕圖1係薄片的3 5質量％鹽酸穿透試驗中所使 用的實驗裝置的模式圖。 〔圖2〕圖2係管件的3 5質量％鹽酸穿透試驗中所使 用的實驗裝置的模式圖。 【主要元件符號說明】 1 1 :試樣薄片 12a:玻璃容器（裝入35質量％鹽酸） 12b :玻璃容器（裝入純水） 13 : 形圈 1 4 :取樣口 21 :管件 22 :玻璃管 -53- 200538472 (50) 2 3 :墊片 2 4 :取樣口

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Claims (1)

1. 200538472 (1) 十、申請專利範圍 1·一種移送流體用構件，其特徵爲含有由含氟聚合物 及/或非含氟有機材料所成之層〔p〕、及由氯三氟乙烯 共聚物所成之層〔Q〕之層合物所成者。 2·如申請專利範圍第丨項之移送流體用構件，其中含 氟聚合物係至少1種選自由四氟乙烯/全氟（烷基乙烯醚 )共聚物、四氟乙烯/六氟丙烯共聚物、乙烯/四氟乙烯 _ 共聚物、聚氯三氟乙烯、乙烯/氯三氟乙烯共聚物及聚偏 氟乙烯所成之群。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之移送流體用構件 ’其中層〔P〕爲最內層。 4 ·如申請專利範圍第丨、2或3項之移送流體用構件 ’其中含氟聚合物係每106個碳數的不安定末端基爲8〇 個以下。 5 ·如申請專利範圍第丨、2、3或4項之移送流體用構 φ 件，其中氯三氟乙烯共聚物係每1〇6個碳數的不安定末端 基爲8 0個以下。 6·如申g靑專利軔圍第1、2、3、4或5項之移送流體 用構件’其中含氟聚合物係由四氟乙烯/全氟（烷基乙烯 醚）共聚物所成者。 7 ·如申spg專利軺圍第1、2、3、4、5或6項之移送流 體用構件，其中氯三氟乙烯共聚物係由2〜98莫耳％之氯 三氟乙烯單元、及98〜2莫耳％之來自可與氯三氟乙烯共 聚的單體〔A〕之單體〔A〕單元所構成者。 -55- 200538472 (2) 8 .如申請專利範圍第7項之移送流體用構件，其中單 體〔A〕係至少〗種選自由四氟乙烯、乙烯、偏氟乙烯、 全氟（丨元基乙嫌醚）、及下述一般式（I)所示之乙燦單 體所成之群’ CX3X4 = CX1(CF2)nX2 ( I) (式中’ X1、X3、X4可相同或相異’表示氫原子或 氟原子，X2表示氫原子、氟原子或氯原子，η表示丨〜10 / 的整數）。 9 ·如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之移送流 體用構件，其中氯三氟乙烯共聚物係由氯三氟乙烯單元、 四氟乙烯單元、及來自可與氯三氟乙烯與四氟乙烯共聚的 單體〔Β〕之單體〔Β〕單元所構成之氯三氟乙烯共聚物 ，該氯三氟乙烯單元及該四氟乙烯單元合計爲90〜99.9 莫耳％，該單體〔Β〕單元爲10〜0.1莫耳％。 1 0.如申請專利範圍第9項之移送流體用構件，其中 單體〔Β〕係至少1種選自由乙烯、偏氟乙烯、全氟（烷 基乙烯醚）、及下述一般式（I)所示之乙烯基單體所成 之群， CX3X4 = CX1(CF2)nX2 ( I) (式中，X1、X3、X4可相同或相異，表示氫原子或 每原子’ X表不氣原子、翁原子或氯原子，η表不1〜1〇 的整數）。 1 1 ·如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8、9 或1 0項之移送流體用構件，其中氯三氟乙烯共聚物係分 -56- 200538472 (3) 解1質量％的溫度爲3 70 °C以上。 12 ·如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8、9、 10或11項之移送流體用構件，其爲半導體製造裝置用管 件。 1 3 ·如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8、9、 10或11項之移送流體用構件，其爲半導體製造裝置用薄 片或半導體製造裝置用薄膜。 -57-