TW200525555A - Thick film conductor paste compositions for LTCC tape - Google Patents
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Description
200525555 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用於LTCC(低溫共燒陶瓷)帶之厚膜導電组 合物,該組合物併入各種氧化物添加物以提高在等溫及蕰 度循環條件下焊接點之黏著力及熱力學穩定性。 【先前技術】 LTCC設計之互連電路板為由大量電及機械互連之極小 電路元件製造的電子電路或子系統之物理實現。經常希望 將此等互異電子組件排序組合以便它們可物理上分離且在 一單一緊致封裝中彼此相鄰安裝並電學上相互連接及/或 連接至延伸出該封裝之一般連接點。 複雜鉤電子電路通常要求由以絕緣介電層隔離之若干導 電層來構成該電路。該等導電層在各水平面間藉由電傳導 路徑(稱為通道)穿過一介電層相互連接。該多層結構藉由 容許垂直集成來使一電路比傳統Al2〇3基板更加緊致。 LTCC帶因其多層、共燒及靈活設計能力已廣泛用於汽 車及電#工業。成功應用該等材料之一關鍵性因素為表面 導體在熱老化(在150°C下恆溫貯存)及熱循環(通常在-55 至-40°C範圍内之低溫與在1〇〇至15(rc範圍内之高溫間)條 件下需要有良好的焊接黏著力。該暴露將經常導致用於將 表面黏著組件附著至基板之焊接點中產生應力。此等應力 之主要原因為在包含接合點之各種不同材料熱膨脹中的失 諧,該等材料即為陶瓷、導電金屬、焊接金屬、組成表面 黏著裝置之引線的金屬及用於製造該裝置之金屬。經由仔 97488.doc 200525555 t ^ * 細的線路圖設計及底部填充材料之熟練應用能更加平均地 分散應力及阻止應力集中在任一接合點上。然而不可能完 全消除此等應力。在該暴露過程中保持良好焊接黏著力之 關鍵為所涉及之材料吸收此等應力而不經受任何永久性或 不可恢復性機械損傷的能力。換言之,該等材料機械特性 (即彈性及體積係數),尤其為下列帶材料機械特性之任何 改進將顯著增加在熱暴露過程中總接合點吸收應力之能 力。 在焊接點之熱循環中觀察到的一種最常見之失效模式為 在導體焊墊外圍之帶破裂。隨著暴露繼續該等破裂會擴展 穿過該介電層及導體焊墊自身下方。一些狀況下小於心欠 循環後已經觀察到破裂之肇端。此與典型規格相比較,該 規格要求500次熱循環而沒有陶瓷帶破裂之跡象或沒有= 體與底層帶之間黏合劑之顯著損失。
Lombard等人之U.S.5,431,718提供一種供微火陶瓷用的 高黏著力、可共燒、可焊接之敷銀材料。該敷金屬材料包 含金屬粉末及有機媒劑,及黏著力促進劑。此等成分之組 合提供一種可在燃燒陶瓷基板材料所必需之相對低溫下共 燒的敷金屬材料,其同時為焊接隨後的電路組件至 板上提供一合適基底。 1
Nan*之1)^4,416,932揭示一具有導電圖案塗層之陶瓷基 板,其中該塗層包含貴金屬或合金,低溶點、低黏度之玻 璃,尖晶石形態之金屬氧化物及有機鈦酸鹽的精細分散粒 子掺合物及該相同材料之製備方法。 97488.doc 200525555 以上兩種發明皆不能滿足在熱暴露過程中5〇〇次循環而 沒有介電層之破裂且保持導體對該基板之黏著力的規格。 因此,存在對能超越先前熱循環能力之導電組合物的需 要。具體而言,需要能超過500次熱循環而在帶基板上沒 有破裂或相失黏著力之導電組合物。本發明提供該等導電 組合物。 •【發明内容】 本赉明係關於一種厚膜組合物,其包含··(a)導電粉末; (b)Ti〇2或任何燃燒過程中能產生Ti〇2之化合物丨及卜)有 機介質。 本發明還係關於形成多層電路之方法,其包含··(…在複 數個生竟帶層上形成通道之圖案化陣列;(b)以厚膜組合物 真充步驟⑷之生竟帶層中的通道;⑷在步驟⑻之各經通 道填充之生£帶層表面上印刷至少—層圖案化厚膜功能 層;W在步驟⑷之生竟帶層最外表面印刷至少—層本發 明之厚膜組合物之圖案化層’·⑷層遷步驟⑷之經印刷生 瓷π層以形成總成,其包含複數個由未經燃燒之生瓷帶 分開的未經燃燒之万;查从&爲· μ / 70之互連功月^,且(0共燒步驟⑷之總 成。 【實施方式】 5亥厚膜導電組合物之主要組分為分ϋ A _ + & Θ刀政在有機介質中的導 1 一氣化鈦。該等組分論述於下文中。 1 ·無機組分 本發明之無機組分包含⑴電功能粉末及⑺包含氧化鈦 97488.doc 200525555 或任何能在燃燒過程中產生Ti〇2之化合物的無機黏合劑。 該無機黏合劑可進—步包含額外的無機氧化物黏合劑。 A·電功能粉末 大體上,厚膜組合物包含給予該組合物合適電功能特性 的功能相。該功能相包含分散在有機介質中的電功能粉 末,該有機介質充當形成該組合物之功能相的載體。燃燒 該組合物以燒掉有機相、活化無機黏合劑相且給予電功能 特性。燃燒前,將經印刷之部件乾燥以除去揮發性溶劑。 ”有機物"為用於描述厚膜組合物的聚合物或樹脂組分,以 及溶劑及少量額外有機組分(諸如界面活性劑)之術語。 在本厚膜組合物中之電功能粉末為導電粉末,且可包含 單一種類之金屬粉末、金屬粉末混合物、合金、或若干元 素之化合物。金屬粉末之粒子直徑及形狀不是特別重要, 只要其適合於該應用方法。該等粉末之實例包括金、銀、 翻、鈀及其組合。本發明之電功能粉末有小於約1〇微米之 Dm之典型尺寸。 B ·無機黏合劑-氧化欽 用在本發明中之二氧化鈦有三個可能之功能。第一,它 可擔當黏合劑提供導體對帶之黏著力。第二,它可調節導 體在燃燒過程中之燒結速率以將帶上之應力最小化,且第 三,Ti〇2存在於介面上或殘量Ti〇2擴散至帶中能提高帶之 機械強度。用於本發明之氧化鈦可直接為氧化物形式或在 燃燒條件下自含鈦化合物轉化而纟,例女口元錢、有機欽 酸鹽、或得自玻料之結晶產物。該等含鈦化合物可為二 97488.doc 200525555 元、三元及更高元。Ti〇2可佔總組合物之小於2 〇 w”。。 在-實施例中,TiCM占總組合物之約〇 5至16 wt %範圍 内。在另-實施例中,加2佔總組合物之約1G至約16 Wt·%範圍内。 發現熱循環過程中二氧化鈦在非常寬範圍添加量下能非 常有效地阻止帶破裂。通常之趨勢為當抓含量增加,熱 老化黏著力將提高H當Ti()2含量太高時可焊性受損 害。氧化鈦之最適化量藉由其不引起差焊料潤濕性而同時 在熱循環及熱老化條件下提供充足黏著力之程度來確定。 二氧化鈦含量亦影響該經燃燒厚膜之密度及電導率。 C·可選無機黏合劑組分 發現二氧化鈦、或任何燃燒過程中能產生Ti〇2之化合物 為組合物中提供保#帶之完整性及提高熱循環黏著力:功 月b的主要及最有效組分。然而,氧化物(諸如、 P^〇、Fe2〇3、Sn〇2、Zr〇2、Sb2〇3、Μη〇χ,、Cu〇x及其他 氧化物)與氧化鈦組合時在某種程度上亦可有助於進行黏 著。 _ D·有機介質 通常藉由機械混合將無機組分與有機介質混合以形成稱 為’’糊”之黏性組合物,該組合物具有適合於印刷之黏性及 流變性。廣泛多種惰性流體可用作有機介質。該有機介質 必須為無機組分可以足夠程度之穩定性分散於其中的有機 介質。該介質之流變特性必須使得它們給予組合物良好應 用特性,包括··固體物之穩定分散性、對篩網印刷適當之 97488.doc -10- 200525555 黏f生及觸文性、可接受的未經燃燒之生強度、基板及糊狀 口體物之適备可濕性、良好乾燥速率、及良好燃燒特性。 該有機介質通常為溶劑中之聚合物溶液。另外,諸如界面 活性劑之)里添加劑可為該有機介質的—部分。最常用於 此目的之聚合物為乙基纖維素。聚合物之其他實例包括乙 基搜乙基纖維素、木松香、乙基纖維素與酴酸樹脂之混合 物、低碳醇之聚甲基丙稀酸醋,且亦可使用乙二醇單乙酸 酯之單丁基醚。在厚膜組合物中最廣泛使用的溶劑為酯醇 及萜類例如或心箱品醇或其與諸如煤油、鄰苯二曱酸 一丁 S日丁基卡必醇(butyl carbitol)、丁基卡必醇乙酸 _ 醇及尚7弗點醇及醇酯之其他溶劑的混合物。另 外,該媒劑中可包含用於在塗敷於該基板後提高快速硬化 之揮發性液體。為獲得所需純及揮發性要求調配此等及 其他溶劑之各種組合。 旱膜、’’ a物中之有機介質與該分散液中無機組分之比率 取決於塗敷糊之方法及所用有機介質的種類,且該比率可 變化。通常,為得到良好塗層,該分散液應含有5"5 wt%之無機組分及5_5〇 wt%之有機介質(媒劑)。 應用 本:明之導電組合物可與未固化陶t材料(諸如Green TapeTM)及各種其他糊組分聯合使用,以形成多層電子電 路。Green TapeTM通常用作多層電子電路之介電或絕緣材 料。該未經固化之陶究材料可為一無引線帶;例如在專利 合作條約國際申請案號PCT/US 〇3/17255中揭示—實施 97488.doc 200525555 例,該申請案以引用方式併入本文中。一可用於本發明之 無引線帶實施例由 Ε· I· du P〇nt de Nem〇urs and c〇mpany 識別為產品編號為960。在一實施例中,該無引線生瓷帶 包含含有以莫耳百分數計2-8% Μ之玻璃組合物,其中M係 選自鹼金屬元素及其混合物之群的氧化物,46_66%Si(^、 3-9%Al2〇3、5·9%Β203、〇_8%Mg〇、1-6%&〇 及 η· 22%CaO ’其中SiO/(Mg〇+CaO)之莫耳比率在〇 〇6至〇 45之 間。在另一實施例中,利用上述之玻璃組合物,例外情況 為Si〇2經選自Zr〇2、P2〇5、Ge〇2及其混合物之群的氧化物 邛为置換,該等氧化物在以總組合物莫耳百分數計 4%Zr02、〇-2%p2〇5、〇] 5%(^〇2的範圍内。在又一實施
例中1利用上述起始玻璃組合物,其中SrO、MgO及CaO 部为經CuO置換,其限制條件為Cu〇為總玻璃組合物之〇_ 2.5莫耳%。 在一片Green TapeTM之每一角上鑽出尺寸稍大於實際電 路尺寸之定位孔。在該Green TapeTM上形成通孔以連接該 多層電路之各層。此步驟通常藉由機械沖孔來完成,然而 可利用任何合適之方法。例如,可使用銳聚焦激光以在該 GreenTaWTM上揮發及形成通孔。 藉由以厚膜導電組合物填充該通孔來形成層間互連。在 本毛明之狀況下,厚膜導電組合物不同於本文所揭示之通 常應用者。通常藉由標準篩網印刷技術來塗敷該導電組合 物:、、丨而可採用任何合適之應用技術。通常藉由篩網印刷 導電軌道來完成各層電路系統。亦及,可在經選擇的層上 97488.doc 200525555 印刷電阻墨水或高介電當童 路元件。通常藉由習=形成電阻性或電容性電 電m彳i 師、,罔印刷技術形成導體、電阻器、 電合為及任何其他組件。 層壓之别或之後,本發明 .^ « 導電、、且a物可印刷於該電路 之最外層。該電路之最外層用於來附著組件。通常 線結合、膠黏或焊接至經、 此、w ^ 疋1刀之表面。在焊接組件之 狀況下,本發明之導電組合 入铷w 刃口八Τ具有較先前技術之組 s物更優越之熱老化及熱循環黏著力而尤其有用。 完成各層電路以後,核對及 、☆ ® ^ m l 4 4獨立層。通常使用 文限早軸或均衡壓模以確保 隹丨木’間積確對準。層壓後 等總成修整為合適尺寸。通當 ' 你、、,* 通⑦燃燒在一帶有程控加熱週期 之傳运T爐或箱式爐甲進行。 你Μ 乂過転中該帶受限或未 經燒結。例如,可利用尤 幻用在steinbergiUS 4,654,095 及
Mikeska 之 U.S· 5,254,191 中掘-从 a s4a土 ,91中揭不的方法,中、及其它熟習此 項技術者已知之方法。 本文所用術語’’少秋谱"丨丨音'^田1 Λ 疋忍明在如空氣之氧化氣氛中加熱該 總成至一定溫度,且加埶右¥主 …、充足時間以揮發(燒掉)集合層間 之有機材料且使帶及導驊+ 土 > > 等體兩者之無機組分反應及燒結。 "燃燒”引起層中之無機組分反廊 刀汉應或燒結,且因此使整個總 成緻密,從而形成一經燃燒物品。該經燃燒物品可為一用 於電信及機動應用(諸如機動車⑷之多層化電路。 術語”功能層"係指經印刷之Green TapeTM,其具有導 電、電阻、電容或介電功能性。因此,如上所示,-业型 〇一,層可包含有一或多種導電跡線、導電通道、 97488.doc 200525555 電阻器及/或電容器。 實例 現在將以實際實例(實例1 -9)及對照實例(實例1 〇)進一步 詳細描述本發明。在此等實例中,糊組分及其百分比列於 表1中。 根據下列由實例1之製備方法所詳述之方法來形成實例 1 -10之糊。 藉由在85公克適當溶劑(如萜品醇)中溶解丨5公克乙基纖 維素製成有機混合物。 17-18公克上述有機媒劑之混合物及‘5公克溶劑與19_ A克鉑粕、1·4公克二氧化鈦、及74_75公克銀粉相組 合。用三軸攪拌器充分分散該混合物。接著以適量之上述 介質或溶劑來調配該糊,以達到經Brookfield ΗΒΤ黏度計 所測在10 rpm時為15(M00 PaS之黏度。 用於實例之測試程序 將導電糊印刷到Du Pont 951或無引線(參照專利)帶上, 在120°C乾燥5_1〇分鐘且層壓至所需厚度,且計算層數以 付到0.050央吋之經燃燒厚部件。接著將該帶切割成合適 尺寸以製成1X1英时部分且在Du Pont Gr⑽TapeTM之把準 燃燒條件(85(TC下持續35h)下燃燒。 不 經焊接之黏合強度測試方法 ' 以導電電阻率測試圖形及九個〇鄭〇_英尺焊 刷典型測試圖形。兮道 1 ⑽-亥導體之燃燒後厚度在14至17微米之 間。本文所述之導電組合 勿勺/又有在f上顯示出可見變 97488.doc 200525555 形。 對所有黏著力測試,三個夾狀導線附著橫跨在三個焊塾 之每一列上且進行浸焊。用62/36/2(Sn/Pb/Ag)焊料在22〇〇c 士 5°C之溫度下焊接該951 Green Tape tm部件五秒鐘。使用 95.5/3.8/0.7 (Sn/Ag/Cu)焊料在 260°C±5°C 焊接於無引線帶 上之部件。焊接以後,以Arcosolve自經焊接之導線部件清 除殘留焊接熔劑。接著將該等部件分成用於初始黏著力、 熱老化黏著力(150 °C下浸潰)或熱循環黏著力(·4〇至125 °C ’每循環2小時)之獨立測試樣品。對各測試條件而言一 樣品套組由三至四個部件所組成。 該等部件在進行焊接或自相關熱腔室中移出以後在室、田 下放置16小時。對黏著力測試,將引線彎成與印刷在每一 部件上的·彎曲標記-致之9〇。且量測各焊墊之抗拉強度。 將所量測之三至四個部件之各部件的三(3)料墊平均^用 作塗敷於該基板之厚膜導體之黏合強度。該格◎於所有 黏著力測試-初始、熱老化及熱循環。 熱老化黏合性 _…Ή ,,且在大約· 列時間間隔(小時)下取出該等部件以供測H 250 > 500 > 750 > 1〇〇〇 〇 根據上述測試方法量測老化黏著力。對於各測試,分‘ 員型加以標注,意即分離是否涉及該等導線拔出焊料,^ 體脫離該基板,或基板發生# # " ’ 吐 W。任何超過12 Ν之黏荖_
值均認為是可接受的-任何低於 J 之黏者力值均認為^ 97488.doc 200525555 不可接受的。 熱循環及熱循環黏著力 將部件在焊接及清 丨说之間循環的㈣/ 放於以每兩小時在_4〇與 出部件以供測試。所4 關_%數)下取 250及5DO 所、循%之標準數量為】〇、30、100、 〇及500。所選實際間隔 間測試結果之性質。 个,J且》亥4擇取決於所得中 在拉出該等導線以 件以查看在帶上或谭料::二在顯微鏡下檢查該等部 試後,使用與黏著力值相象上述黏者力測 性。若帶斷裂與非常低之”效模式來評估可接受 下方破裂,即使是視覺上觀A:力值相組合,則其表明該帶 上可觀察卿,則二若在㈣_ 前,沒有視覺裂紋之失效定義;^ 測試。如以 焊料濕潤 失效疋義為黏著力在Μ以下。 將忒無引線附著之測試圖 ^ 鐘。焊料施用後,觀R 下浸入焊料中5秒 — 交規察焊料覆蓋狀態。 藉由焊墊與完全黏著之焊料的比率、隹… 表面看不到焊墊之總數。在本進行置測,以至導體 為是良好的。 在本餐明狀況下,90%或以上認 貫例10為一使用當前 i a兮4人 nT g/pd組合物狀態之對,昭物。 由於该組合物在熱循環 了〜物 独人物言苟-瓷出現裂紋而很快失效。 物亦顯不邊緣熱循環及熱老化黏著。 實例1 _4顯示不同二氧化曲 化鈦》辰度對所主張範圍的影響。 97488.doc 200525555 當二氧化鈦含量增加,熱循環黏著力提高。熱老化黏著力 及焊料潤濕力顯示1.4 %左右之二氧化鈦最大值。 實例5顯示在組合物中加入二氧化鈦及氧化銻兩者之影 響。該添加顯示對比對照物而言在熱循環及熱老化黏著力 上的提高。 實例6-9顯示在組合物中加入二氧化鈦及氧化鈷兩者之 影響。該數據顯示熱循環黏著力相對於該對照組合物顯著 提高。 實例10顯示在無引線帶介電體上使用二氧化鈦及氧化銻 兩者的影響。 使用將74-75% Ag、1.9-2.1% Pt分散在20-22%之有機媒 劑及溶劑中製備出導體1-10。
Ti〇2 C〇3〇4 Sb2〇3 #循環數 熱循環黏 著力 等溫老化 黏著力 可焊性 重量百分數 黏著力(N) 覆蓋% 1 1.4 0 0 >500 >12 >12 >90 2 1.6 0 0 >500 >12 >12 <90 3 1.1 0 0 >500 >12 >12 <90 4 0.6 0 0 >500 >12 <12 >90 5 0.8 0 0.5 >500 >12 >12 >90 6 0.6 0.1 0 >500 >12 <12 _ 7 0.6 0.3 0 >500 >12 <12 - 8 0.8 0.1 0 >500 >12 <12 9 0.1 0.6 0 400 >12 <12 - 10 0.7 0 0.7 >500 >12 >12 >90 對照物:市售可焊性Ag-Pd導體 50 <12 >12 >90 97488.doc 17-
Claims (1)
- 200525555 十、申請專利範圍: 1· 一種厚膜組合物,其特徵在於該組合物由下列各物所組成: a) 導電性粉末; b) 無機黏合劑,其係選自Ti〇2或任何可在燃燒過程 中產生Ti02之化合物;及 c) 有機介質。 2·如請求項丨之厚膜組合物,其特徵進一步在於該無機黏 合劑由下列各物所組成:Ti〇2、任何可在燃燒過程中產 生Ti〇2之化合物,及一或多種選自由、 Pb〇、Fe2〇3、Sn〇2、Zr〇2、Mn〇、Cu〇x及其混合物所組 成之群的化合物。 3·如請求項2之組合物,其中該導電性粉末係選自金、 銀、鉑、鈀及其混合物與合金。 4· 一種形成多層電路之方法,其包括: 幻在複數個生瓷帶層上形成一通道之圖案化陣列; b)以厚膜組合物填充步驟(“之生瓷帶層中的通道; 0在步驟(b)之經填充通道的生究帶層之各層表面上 印刷至少一層圖案化之厚膜功能層; 句在步驟(c)之生究帶層的最外表面上印刷至少一圖 案化層如請求項1之厚膜組合物,· e) 層麼步驟⑷之經印刷生究帶層,以形成一包含複 數個由未經燃燒之生究帶所分隔的未經燃燒之互連功能 層的集合;及 f) 共燒步驟(e)之集合。 97488.doc 200525555 七、指定代表圖: (一) 本案指定代表圖為:(無)。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明: 八、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學式: (無) 97488.doc
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