TW200406088A - Electrostatic holding device and electrostatic tweezers using same - Google Patents

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200406088 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明’係有關利用靜電吸引力 物以接觸或非接觸的狀態保持之靜電 1板專保持對象 靜電頂針組件。 ”、裳置及使用其之 【先前技術】 習知，一般而言係採用真空夾頭來作 之保持裝置，細薄板為對象的情形，若採用^保持用 :周邊彎曲㈣點。對此，若利用靜電夾頭等靜; 置，由於可錯電極面全體的靜電力I保持對、、 使將薄板保持亦不會發生周邊彎、 ，因此即 & 0Β τ (例如，參閱曰本專利 特開平7-257751號公報、特開平 2謝-9766號公報）。 千9 32伽號公報及特開 作為該靜電保持裝置，已知例如第13圖、第 第17圖所示者。 we 在此，於第1 3圖所示夕拉細加丨y 口所不之接觸型靜電保持裝置（靜電夾 頭ΜΠΚ)，符號ΠΠ係用來安裝電極（靜電電極⑽之基座 構件，由電極元件職、1G3b所構成的電極（電極群組 )1〇3係以絕緣材1〇2被覆且固定於基座構件1()1。在此， 各也極τΜ牛103a、1 〇3b可分別係複數個，在複數個的情 形，則各電極元件〗〇 、1 η ο u 、 干1Uda 103b分別稱為電極元件群組 103a、103b。 該等電極1G3係連接於控制部nG5，該控制部ιι〇5 200406088 連接於開關SW。該控制邻nnR及—丄 利4 1105，係精由開關SW之導通 (on)、切斷（0f f )的择作， ’、乍如弟14圖所示，在導通時，輸 一 在電極凡件1 03a係+ v 1伏特、在電 極疋件1 03b係-VI伏特），在切斷時，將該等電壓切斷。 猎此’當開關sw導通時，電極（電極面）1()3與保持對象物 1〇4之間產生靜電吸引力，而以靜電吸引力來吸引、保持 絕緣材102的保持面（吸附保持面）购。又，當開關SW 切斷時，則該等靜電吸引力被解除。以靜電吸引力來吸引 半：體或高電阻體等保持對象物1〇4，或解除靜電吸引力 藉此使孩靜電保持裝置110 0發揮靜電央頭的機能。 又，在第15圖所示之浮動型靜電保持裝置（靜電夾頭 ) 1 200，電極1〇3表面（電極面1〇3)係以絕緣材被覆， 。亥絕緣材102係固定於底板1〇1。電極面1〇3與導體、半 導體或高電阻體等保持對象物1〇4間的間距g，以即時回 授的方式來設置移位感測器2〇6。 移位感測器206，係通過貫通孔2〇7來測定保持對象 物104與電極面1〇3之間的間距g後，回授至控制器丨2〇5 。控制态1 205，係依據所測得的間距g來控制施加電壓， 俾將間距g維持在預先指定的既定值。例如，如第丨6圖 所示，當間距g比目標間距大的情形（間距 > 目標），則施 加既定的直流電壓，產生靜電吸引力，將保持對象物1〇4 吸引，而使間距g縮小。 另方面’當間距g比目標間距小的情形（間距 < 目標 )’則將施加於各電極的電壓切斷（成為〇ν)，消去對保持 200406088 對象物104所施加的吸引力，以自重使保持對象物ι〇4下 降，而使間距g增大。藉由重複以上動作，可將保持對象 物104保持在既定間距g。 又，在第17圖所示之靜電保持裝置13〇〇，一對電極 元件群組503a、503b係以絕緣材1〇2被覆且固定於基座 構件101，對該等電極元件群組503a、5〇3b施加來自控制 部1305的一定電壓。藉此， 象物1 04吸附、保持於絕緣材 俾產生靜電力，而將保持對 102之面（保持面i〇2a)。 【發明内容】 然而，在第13圖或第15圖所示之靜電夾頭n〇〇或 ’可觀察出隨著作業而使靜電吸引力（以下亦有僅稱 為吸引力的情形）降低。又’該吸引力的降低，會因使用 方法而產生差別。 例如，在將靜電夹頭安裝於自動機而作業的情形，吸 引力的降低雖不顯著，㈣手動作業來保持該靜電夹頭的 情形，可觀察出吸引力的降低較為明暴頁。當吸引力降低， 則無法進行必要的保持。因&，期望能提供即使以手動作 業來進行保持，且能產生足夠的靜電吸引力之靜電 置。 、 又，在習知所揭示的靜電夾頭，絕緣材1〇2必須呈有 高電阻。此係由於在絕緣材102的電阻不足夠的情形:、不 僅會對電極面持續施加電壓，而且會隨時間的經過而使一 旦產生的靜電吸引力降低。此係電阻若不足夠，在電極元 200406088 件103a與電極元株1Λ 凡件103b之間會有微電流通過，因此，導 致電極103表面與俾拉# $仏in/ s ^ 、/、持對象物1 〇 4之間的靜電場會隨時間 的經過而降彳氏。7 ^ y * ’该奍電力的降低，亦可經由夾頭盥侔 持對象物104去為w ^ 未又到物理性破壞程度的小短路現象來加以 確認。 方面，就以絕緣材1〇2來被覆電極1〇3表面而言 、’可透過黏著劑在電極103的一面側貼附絕緣膜的絕緣； 、及知用蒸鍍等手法在電極i G3的—面側直接形成絕 緣材層的絕緣方法。 前者採用黏著劑的絕緣方法，雖能以低成本藉絕緣材 層來被覆電極103的保持面1〇2a侧，惟在電極元件⑽ 、腿之間會介有黏著劑層。由於該黏著劑層一般並未具 有高電阻，因此，該方法雖能在電極1〇3纟面與保持對象 物m之間以絕緣膜絕緣，惟，在電極元件ma、i〇3b 間僅以黏著劑層來絕緣’故絕緣性未必高。^，在電極 兀件103a、l〇3b間會有微小電流通過，由於隨著該各電 極元件103a、l〇3b間微小電流的通過，導致靜電場混亂 。此外，當各電極元件l〇3a、103b間通過大電流，會有 電極1 0 3表面本體受到破壞的情形。 在採用後者之蒸鍍等絕緣方法，雖可維持高絕緣電阻 ，惟，將吸附保持® 1G2a的絕緣層厚度（絕緣材的厚度 )d(參照第17圖），以15〇 程度薄厚度全面且均一地形 成之加工的成本昂貴’結果造成靜電保持裳置的價格高昂 200406088 因此，本發明之目的，係提供一種靜電保持裝置，即 使任意使用也不會使靜電吸引力降低。 又，本發明之另一目的，係提供一種靜電夾頭，即使 以手工作業也不會使靜電吸引力降低。 又，本發明之目的，係提供一種靜電保持裝置，即使 採用絕緣電阻較低的絕緣材料，亦能產生充分的靜電場及 靜電力。 為解決上述問題，本發明者等精心研究的結果查明， 在以手工作業而使用靜電保持裝置的情形之吸引力降低的 原因在於，經常在保持對㈣1G4未接近的㈣、就將 電保持裝置以開關導通（on)的狀態放置。 例如’在採用體積電阻為1()15ω . 的材料作為絕緣 材102之靜電保持震置1100，保持對象物1〇4在近距離 (1_以下）的狀態下’吸引力的降低雖並不顯著，惟，保 持對象物104在未存在的狀態下持續施加3分鐘左右的電 壓:則即使接著施加電壓’對保持對象物m的吸引力亦 :θ產生作用。又，該吸引力雖會隨著時間而復原，惟該 復原需要花數小時。 因此’本發明者等推定出，其理由在於用來被覆電極 表面之絕緣材102的内部極化。 即’絕緣材為了滿足絕緣目的而採用高電阻值的材料 :雔此，絕緣#的内部極化—般係由電子極化、原子極化 又極子極化及空間 間电何極化寺所構成。其中，電子極化 原子極化由於係分別與電子振動及原子振動的速度相當 200406088 ，因此，若將外部電場切斷（切斷施加電壓），則由於内部 電極會瞬間地消去，故實質上並不會產生影響。然而，在 雙極子極化或空間電荷極化，對於内部極化的產生或進行 方面需要強外部電場，並且，在一旦内部極化的產生、進 行的情形，在該内部極化消去之前所需的緩和時間為數小 時的程度。 推定即使對習知靜電保持裝置的絕緣材而言 囚此 因該雙極子極化或空間電荷極化的產生、進行，會對該内 部極化產生影響。即’在絕緣材的内部極化存在的狀態下 ，即使欲施加電壓來吸引保持對象物1G4，則因電輕亂 而減弱對保持對象物1〇4的靜電吸引力。該靜電吸引力的 減弱程度’雖係受到絕緣材的雙極子極化及空間電荷極化 的存在程度所左右，惟該雙極子極化及空間電荷極化的進 ㈣度除了取決於絕緣材的構成成分、外部電場（施加電 壓與電極形狀）之外，亦取決於其施加時間。 μ該雙極子極化或Μ電荷極化在無反方向的外部電場 狀^内部電極的消去雖需要數小時左右的長緩和時間， :;肖=加與極化方向反方向的外部電場’則可瞬時地 匕本發明者等針對該吸引力降低的靜電保持裝置 好t極群組，施加與事先施加於同_電極群組的施 二極性的電壓，結果發現吸引力可馬上恢復，因 而元成本發明。 即’本發明係靜電保持裝置之改良，其係以被絕緣材 200406088 被復的複數個電極所構成的電極群組作為保持面，並對該 電極群組施加既定電壓，藉靜電力將保持對象物予以接觸x 地保持或非接觸地浮動保持。 第1 I明之靜電保持裝置，其特徵在於，具備： 内部極化消去機構，係對施加於該電極群組的電堡極 進行刀換冑將在n緣材内所產生的内部極化消去。 第2發明之靜電保持裝置，其特徵在於，具備： >施加電壓控制部，係作為施加電磨切換機構而動作， :亥：加電壓切換機構係在每次從切斷該電極群組的施加電 =攸切換為&加時’對同_電極群組施加與前次的施加電 壓呈反極性的電壓。 第3發明之靜電保持裝置，其特徵在於，具備： &加電壓控制部’係作為反極性電屢產生機構而動作 加電壓切換機構係在保持（handlin :Γ=群組的電壓呈反極性的電壓；在靜電力降低的 生的反極性電亥壓電極群組施加藉該反極性電壓產生機構所產 第4發明之靜電保持裝置，其特徵在於，且備. 施加電壓控制部，係作為電壓施加機構而動作 :施加機構係對該電極群組的施加電壓進行反極二替： 伴持電保持裝置，可藉由保持面的靜電力，將 持對象物予以接觸或非接觸地（靜電浮動）保持。 又’如第1發明’若具備内部極化消去機構，對施加 12 200406088 於該電極群組的電遷極性進行切換，將在該絕緣材内所產 生=内部極化消去，則即使在未將保持對象物加以保持的 狀態下▲，對電極群組施加電屢，在絕緣材内進行内部極化 由於》亥内部極化受到内部極化消去機構的消去或緩和， 故可馬上恢復吸引力。 又，如帛2發日月，若採用施加電屢控制部作為施加電 壓切換機構而動作’該施加電壓切換機構係在每次從切斷 該隸群組的施加電㈣換為施加時，對同―電極群組施 加與前次的施加電壓呈反極性的電壓，則由於對同一電極 群組施加與前次的施加電壓呈反極性的電慶，目此，即使 在絕緣材㈣行⑽極化，亦可使該㈣極化消去或緩和 ’而馬上恢復吸引力。 又，如第3發日月，若採用施加電壓控制部作為反極性 電壓產生機構而動作，該施加電壓切換機構係在保持 (handling)時，產生與施加於該電極群組的電壓呈反極性 的電壓；在靜電力降低的情況’可對該電極群組施加藉該 反極性電壓產生機構所產生的反極性電壓，則即使因絕緣 材内的内部極化而產生靜電吸引力降低的情形，藉由反極 性電壓產生機構所產生的反極性電壓積極地施加於電極群 組，可使該内部極化消去或緩和，而馬上恢復吸引力。 又’如第4發明，若具備施加電壓控制部作為電壓施 加機構而動作，該電壓施加機構係對該電極群組的施加電 壓進行反極性交替變換，則由於對電極群組交替施加正負 反極性的電壓，因在匕’可去除在絕緣材内產生内部極化， ^vy-rv7UU〇〇 而可r止因r極化所造成之靜電吸引力的降低。 圓等二:：電保持裝置’由於可作為用來把持半導體晶 Η專各種薄膜的把持機構，並且可體曰曰 可期待作為對半導體日圓膜上± 4穩疋地保持，故 ^ ®曝光時用來保持半導Π进 台（保持幻的有用性。此外，亦 f = 之載 薄膜之搬送裝置的應用。 ’’乍為半導體晶圓等 保二保持對象物未存在於 極面的靜電夹頭等，在以手工電塵施加於電 形能特別有效第加以利用。乍業處理靜電保持裝置的情 又’本發明之靜電保持裝 加電m之控制部，^靜電^ #、具備用以控制電極施 或非接觸地浮動保持，其特徵在於： 接觸地保持 對的ΪΓΓ及：透過絕緣區域而鄰接排列的-對或複數 對的電極A及電極B所構成； 該控制部，係對該電極 電壓，並且，對同^ _ B她加互為反極性的 。 電極凡件交替施加正負反極性的電壓 藉由此種構成，不僅 極性的電壓，且對同對電極A及電極B施加互為反 μ μ , ° :亟兀件交替施加正負反極性的電 昼，糟此，可將絕緣電阻鲈 电 ^ . , ^ ^低的絕緣層内的微小電流抑制 夢此在電極面與保持對象物間維持高靜電場。 : 、"吏採用絕緣電阻較低的絕緣層，亦可產生充 份的靜電場與靜電六，从H ^ 欠可提供利用靜電力以接觸或非接 14 200406088 騎保符對象物保持 觸的狀態下 裝置。 該靜電保持裝置，後θ ^ 係八備稷數個電極模組（具備該電極 )’並且’ 5亥電極可公Η丨 刀別具備一對或複數對的電極A及雷 極B，藉此，可作為用來 電 裝置。 巧用；保持大面積的保持對象物之保持 又 〜Π呆持裝置’可藉由電極面全體的 ，以㈣t非接觸(靜電浮動)地將對象物予以保持，即使 保持¥間k長亦能以既^的保持力保肖，並且，即使保持 缚板亦不會受到周邊的干擾。此外，由於能以適當的手法 來使薄膜移動’且可作為用來保把持半導體晶圓等各種薄 持機構’並可長時間穩定地保持，故可期待作為對 7 ®曝光時用來保持半導體晶圓之載台（保持台）的 用性。此外，亦可期待作為半導體晶圓等薄膜之 置的應用。 衣 依本發明，可提供一種靜電保持裝置，即使任意使用 不會使靜電吸引力降低。又，該靜電保持裝置，由於即 作業也不會使靜電吸引力降低’故可利用作為靜 会么又，依本發明，可提供一種靜電保持裝置，即使使用 絕緣$阻較低的絕緣材料，亦能產生充分的靜電場及靜電 力之實用上有益的效果。 【實施方式】 15 200406088 以下，依據圖絲說明本發明之靜電保持裳置。此外 ’實質上同-乃至均等的部位構件附有同_符號者則省略 其詳細說明。 第1圖係說明本發明之實施形態之接觸支樓型靜電保 持裳置之概念® ’並表示使靜電保持裝置對電極面通過呈 正交的中心之截面切割的情形之截面圖。 在第1圖中，符?虎1 〇〇係接觸型靜電保持裝置，在底 座構件1〇1的-面設置絕緣材102，在該絕緣材1〇2埋設 將其周圍被覆之電極群組103。該電極群組1〇3係由二個 電極元件群組103a、103b所構成。在此，絕緣材ι〇2由 於係用於電極元件群組103a與電極元件群組1〇扑之間、 以及電極群組1G3與保持對象物1G4之間的絕緣，故採用 具有高絕緣電阻的材料。 又，此柃所產生的靜電吸引力，係和保持對象物^ Μ 與電極群組1G3表面的距離（間距g，在此情形係與絕緣材 的厚度d相同）的2次方成反比，為了產生足夠的靜電吸 弓丨力，絕緣材的厚度d只要能滿足絕緣耐壓，使其盡量形 成薄係極為重要，一般係1 00 # m程度。 在電極群組1〇3(電極元件群組1〇3a、1〇3b)連接控制 。。：105。忒控制斋1 〇5，如第2圖所示，係與開關sw連動 ，當對電極群組1〇3(電極元件群組1〇3a、1〇3b)的施加電 壓k切斷切換成施加時，用來對同一電極施加與前次的施 加電壓呈反極性的電壓。在此，該控制器丨〇5，係構成作 為電壓切換機構而動作之施加電壓控制部。

16 200406088 1。4:二金說明關於採用該靜電保持裝置之保持對象物 104的負載與卸载。 在使保持對象物104與作為保持面ma的絕緣 ”大恶下，將開關SW從切斷(〇⑴狀態切換成 施加㈣狀態1將此時的時點設為u，則如第2圖所示 ，在…卜從控制器105的輸出1(output υ施加正電 屢+V1伏特於電極元件群組心，又，從輸出2(output 2)將與輸^ !反極性的負電M_V1伏特輸出至電極元件群 藉此在電極群組1 〇3表面與保持對象物J 〇4之 間產生靜電’導體、半導體、高電阻體等保持對象物104 可精由㈣吸引力而吸引、支樓（負載）於絕緣材102。 其次，在時點t2，當使開關sw切斷（〇ff)時，來自各 輸出1及輸出2的輸出為〇伏特，靜電吸引力消去，而可 解除保持對象物104的保持（卸载）。 其次’在時點t3,不小心（或誤動作）而在保持對象物 104未存在於附近的狀態下，長時間使開關別導通。 結在無保持對象物104的狀態下，持續施加既定電壓 於包極1 03。在無保持對象物！ 〇4的狀態下，例如，若持 續施加既定電壓於電極3分鐘以上，則在電極群組1〇3表 面的絕緣材102，對應於各極性的内部極化會隨著時間而 一起進行。即，在電極元件群組1〇3a附近的絕緣材1〇2 進行依據輪出1 (output 1 )的負電壓之内部極化，而在電 極元件群組103b附近的絕緣材102進行依據輸出 2(〇utput 2)的正電壓之内部極化。結果，產生在作為保 17 200406088

然後，即使將保持 出2的靜電吸引力 變弱’故無法將保持對象& 1〇4吸附保持。 口此在打點t4 ’暫時使開關sw切斷，於使保持斜

藉此，藉由施加將在電極群組1〇3表面的絕緣材1〇2所進 订的内部極化解消的電壓，使内部極化瞬間消去。又，在 本發明，由於施加反極性電壓的目的係使内部極化瞬間消 去，因此，若係極性不同，則未必使V1與V2的覺對值相 藉此，藉於時點15所施加的電壓，在電極群組丄〇 3表 面與保持對象物104之間正常地產生靜電，導體、半導體 、高電阻體等保持對象物1〇4能再度以靜電吸引力吸引保 持於絕緣材1〇2(負載）。 即，在本發明所使用的控制器丨〇5，係按照開關sw的 導通（on)、切斷（〇f f)來作以下控制：在開關sw導通的情 形，施加與前次開關SW切斷之前施加於各電極元件群組 1 0 3a與電極元件群組i〇3b的電壓呈反極性的電壓，藉此 200406088 ’在絕緣材1G2内，即使緩和時間長的雙極子極化或空間 電荷極化產生、進行，亦可瞬間將該等内部極化消去，而 可將保持對象物104予以保持。 藉此，在習知之靜電保持裝置，在無保持對象物1〇4 的狀態下，由於不小心使開關sw導通，而在作為保持面 的絕緣材1〇2中產生内部極化’因而使對保持對象物刚 的保持能力降低，然而，在本發明之靜電保持裝置⑽， 藉由將開關SW再操作一次，可將在絕緣請中的内部 極化瞬間消去，而能經常維持所欲的靜電吸引力。 又，在無保持對象物104的狀態下，不小心使開關別 導通的操作，於裝置的維修、調整時較容易發生。一旦產 生内部極化’則靜電吸引力會極端地降低，惟，在本二明 之貫施形態的裝置，僅藉由細SW再操作—次，可將 =極化解消，且可馬上恢復實用的靜電吸引力，故可獲 得貫用且有意義的效果。 又 變形例1 以下’根據圖式就本發明之實施形態之靜電保 之艾形例’况明非接觸型(浮動型）之靜電保持裝置：、 與，明之實施形態實質上同一乃至均等的部位構件附 上相同符號來說明。 、 〃圖係況明本發明之實施形態變形例 型靜電保持裝置的概念之概念困，表示將從靜，保= 與電極面正交的中心通過的截面截斷的情形之截面圖。 依變形例1之靜電保持裳置200,電極面103係以絕 19 200406088 緣材102被覆’且固定於底板ι〇丨。以電極面丨〇3與導體 、半導體、高電阻體等保持對象物丨04間的間距g即時回 授的方式，來設置移位感測器2〇6。移位感測器2〇6，係 通過貫通孔2 0 7來測定保持對象物丨〇 4與電極面1 〇 3間的 間距g，將間距g較既定值大或小的信號資訊（signal)A · 以on資訊或of f資訊回授至控制器205。 在此，該變形例1之控制器2〇5係作為本發明之施加 電壓切換機構而動作之施加電壓控制部，如第4圖所示， 依據該信號資訊A，當間距g較目標間距大的情況（間距〉_ 目標），則輸入來自信號（signal)A之〇n資訊，而從控制 器205之輸出1、2輸出既定的施加電壓，當間距g較目 標間距小的情況（間距 < 目標），則輸入來自信號 (s：Lgnai)A之0ff資訊，而從控制器2〇5之輸出i2切斷 。在每次輸入該on資訊時，從輸出1(或輸出2)所輸出的 施加電壓的正負係反轉。 &例如’在時點to ’對保持對象物1〇4保持之足夠近狀 悲下，使主開關導通，而使含控制器205之靜鲁 200動作。 不付衣置 重落下，故於時點11， 保持對象物104，由於係以 間距g會變大且較目標為大。 ▲在此’於時點tl，用以使其較目標間距為大 讯A係〇n資訊而輸入至控制器2〇5。 1 、

=器，，係使間距g變小的方式來感應，從輸出〗 輸出既疋的正電麼+ V1伏特，而從輸出2輸出與輸出U 20 200406088 反極性的負電壓-V1伏特，在保持糊m與電極面 103間產/靜電吸引力而吸引保持對象物104。 丄其次’在時點t2 ’間距g係較目標間距小在該情形 ’ "is说A係輪出。f f咨士 貝成’邊輸出資訊係輸入至控制器 205。控制器205，係使間距變 的方式來感應，依據該 '〇ff貝汛而將她加於各電極的電壓切斷（呈0V)，使 保持對象物1 〇 4盥電極面〗n q y /、玉椏面l〇3的靜電吸引力消失，保持對 象物1 0 4以自重下降。 其次’在時點t3’間距g係再度變成較目標間距大， 在該情形’信冑A係輸出〇n資訊，該輸出資訊係輸入至 控制器205。控制器2〇5，依據該輸入之〇n資訊而將既定 電壓施加於各電極。在此，施加與在時點u戶斤施加的前 次施加於各電極軌1〇3a、1G3b的電壓呈反極性的電壓 °即’從輸出1輸出既μ負電壓—V2伏特，而從輸出2 輸出與前次的施加電壓呈反極性的正電壓+ v2伏特。 在此’攸各輸出1、2所輸出的電壓，若係與前次的施 加電壓呈反極性’則V1與V2的絕對值可相同或相異。例 如，若從輸出1所輪出的電壓為負，則與事先所施加的電 壓+ νι伏特的絕對值相等之_V1伏特亦可。 精此’以使間距g變小的方式來感應，在保持對象物 1〇4與電極面103間產生靜電吸引力而吸引保持對象物 10[又，當在絕緣材102具有内部極化的情形，由於係 對各電極1G3施加反極性的電壓，故可使内部極化緩和或 消去。 21 200406088 其次’在時點t4，間距g係較目標間距小，在該情形 ’ ^號A係輸出〇f f資訊，該輸出資訊係輸入至控制器 2〇5。控制器2〇5，係使間距g變大的方式來感應，依據該 輸入之of f貧訊而將施加於各電極的電壓切斷（呈〇v)，使 保持對象物104與電極面103的靜電吸引力消失，保持對 象物1 0 4以自重下降。 其次，在時點t5，間距g係再度變成較目標間距大， 在该情形，信號A係輸出on資訊，該輸出資訊係輸入至 才工制态205。控制器205，依據該輸入之〇n資訊，而施加 與在時點t3施加於前次各電極元件群組1()3a、i〇3b的電 [呈反極性的電壓。藉此，以使間距g變小的方式來感應 ’在保持對象⑯104與電極面1Q3間產生靜電吸引力而吸 引保持對象物1〇4。又，當在絕緣材102 #有内部極化的 情形’由於係料電極103施加反極性的㈣，故可使内 部極化緩和或消去。 >其次’在時點t6，間距g係較目標間距小，在該情形 ，信號A係輸出off資訊，該輸出資訊係輸入至控制器 2 0 5 ’依據该輸出資訊仅^主犯& 貝σ凡保持對象物104係以使間距g變 大的方式來感應。 以下同樣地，在時點t7，由於M π尨$产 田於間距g係再度變成較目 才示間距大，故依據信號A之 資 、， 貝讯而轭加與在時點15 6一 / 件群組1〇3a、10儿的電壓呈反極性 的電壓，保持對象物〗〇4係 你以使間距g變小的方式來感應 Ο 22 34 200406088 依上述的靜電保持裝置謂，由於自控制器2〇5輸出 的電壓’係與施加電壓從切斷切換為施加時，對同一電極 施加與前次的施加電壓呈不同極性（反極性）的電壓，故在 絕緣材m不會進行内部極化，或是，即使有内部極化的 情形’亦可將内部極化緩和或消去。 變形例2 以下，根據圖式就本發明之實施形態之靜電保持裝置 卜說明接觸型靜電保持裝置。與發明之實施形態 貫質上同-乃至均等的部位構件附上相同符號來說明。 第5圖係說明本發明之實施形態變形例之靜電保持裝 置的概念之概念圖，表示將從靜電保持裝置與電極面正交 的中心通過的截面截斷的情形之截面圖。 孩k形例2之靜電保持裝置3〇〇，係改變第}圖之靜 電保持裝置1 00之由開關sw與控制器i 〇5所構成的施加 電壓控制部，而採用由二個開關SW1及SW2與控制器i 〇5 所構成的作為反極性電壓產生機構而動作的施加電壓控制 部。 依該施加電壓控制部，藉由開關SW1及SW2之on、 〇Π的操作，如第6圖所示，輸出l(output 1)及輸出 2(output 2)可輸出施加電壓。 依遠靜電保持裝置300，藉由將開關swi予以on、of f ，而可從輸出1及輸出2輸出互為反極性的施加電壓，藉 此’在開關SW1為〇n狀態（時點tl — t2及時點t3 — t4間 )’可對電極元件群組1 〇3a施加正的施加電壓+ vi伏特， 23 200406088 而對電極元件群組1 〇3b施加負的施加電壓—v 1伏特，藉 此’在電極面103與保持對象物1〇4之間使靜電吸引力^ 生作用’而可將保持對象物1〇4保持於保持面。又，藉由 將開關SW1設為off(時點t2或t4)，將輸出丨及輸：2 的施加電壓切斷，而可進行消去靜電吸引力，解消保持力 ，而將保持對象物104負載、卸載之保持操作。以下，'將 藉由開關SW1所進行的負載、卸載的狀態簡稱為保持操作 來作說明。 μ 又，當開關SW1為off狀態（時點t4 — t7)時，將開關 SW2設為。n狀態(時點⑸，藉此，可從輸出i輪出：保 持操作時不同極性的負電壓_V2，而從輸出2輸出與保持 操作時不同極性的正電壓+ V2。藉此，該變形合"的施加 電麼控制部亦可作為反極性電壓產生機構來料，來產生 於保持時與施加於電極1〇3的電壓呈反極性的電壓。 依上述之靜電保持裝置3〇〇，在保持操作時，藉由對 同”電極7G件群組！ 〇3a或】㈣施加同一極性的電壓，當 在、巴緣材1 02產生内部極化而使靜電保持力變弱的情形 ’藉由將開關SW2設為。n狀態，即可恢復靜電保持力Γ P、藉由5亥變形例2之反極性電壓產生機構，若在 關SW1為0f f狀態下，將開關SW2設為on，則可對各電極 103施加與保持操作時不同極性的電壓。藉此，可將 使靜電保持力減弱的原因之絕緣# m之内部極化消4 緩和：而恢復靜電保持裝置的靜電吸引力。 變形例3 24 200406088 、下根據圖式就本發明之實施形態之靜電保持裝置 =變形例，說明非接觸型（浮動型）之靜電保持裝置與 1 2具貝上同一乃至均等的部位構件附上相同符號爽 說明。 τ现+ 弟7圖係說明本發明之實施形態變形例之非接觸浮動 ^奸電保持裝置400的概念之概念圖，表示將從靜電保持 裝置與電極面正交的中心通過的截面截斷的情形之截面圖 〇 在該變形例3之靜電保持裝置4〇〇，除了採用由第3 ::靜電保持裝置2〇。之控制器205所構成的施加電壓控 =部之外，還加上藉開關SW2的控制信號而可進行施加電 壓拴制的控制器405作為施加電壓切換機構而動作的施加 電壓控制部。 依該施加電壓控制部，藉由信號Λ的cm、〇ff資訊及 開關SW2的貧訊，輸出KQutput 1)及輸出2(output 2) 可輸出如第8圖所示之施加電壓。 一 P依"亥靜電保持裝置400，依據信號a的on、of f 了攸輸出1及輸出2輸出互為反極性的施加電壓。 P在開關SW2 $ of f狀態時，例如，在時點11，輸入有 " 的〇n為矾之控制器405係從輸出1輸出正電壓+ V1伏特，而從輪出2輸出負電壓—V1伏特，使靜電吸引 產生作用’而使間距g縮小。又，在時點12，藉由輸入 乜唬A的〇f f資訊而將施加電壓切斷（輸出1及輸出2皆 為〇伏特），藉此，使保持對象物104以自重落下，並使

25 200406088 間距g變大。 八’在時點 筏p蛉山， μ UIi貝役制器405 係伙輸出1輸出正電壓+ VI伏特， πι 竹而從輸出2輪出負電壓 —V1伏特。又，在時點14，藉由於人产哚Λ 1 稽田輸入^唬Α的off資訊 其次，在開關SW2為〇n狀態時，例如， 輸入有信號A的on資訊之控制器405係從輸 電壓~vi伏特，而從輸出2輸出正電壓+ νι 電吸引力產生作用，而使間距g縮小。 而將施加電壓切斷（輸出1及輸出2皆為〇伏特）。、° 在時點t5， 出1輸出負 伏特’使靜

在時點t6，藉由輸入信號A的〇ff資訊而將施加電壓 切斷（輸出i及輸出2皆為〇伏特），藉此，使保持對象物 1 〇4以自重落下，並使間距g變大。 又，輸入有信號A的on資訊之控制器4〇5係從輸出工 再度輸出正電壓+VH犬特，而從輸出2輸出負電壓— Η 伏特。又，在時點t8，藉由輸人信號Α的Qff f訊而將施 加電壓切斷（輸出1及輸出2皆為〇伏特）。

藉由重複進行上述的控制，能以離既定距離的方式將 保持對象物1 0 4加以保持。 在此，該變形例3之靜電保持裝置4〇〇 ,於開關SW2 為on狀態的時點t5- t6間所輸出的施加電壓，係與時點 tl- t4間所施加的電壓呈反極性，藉此，即使在時點u —t4間，於絕緣材102内產生内部極化而進行，藉由施加 在時點t5- t6間的反極性的電壓，可將内部極化緩和或 消去。 26 200406088 如此，在保持操作時，藉由對同一電極元件群組103a 或1〇3b施加同-極性的電壓’當在絕緣材102產生内部 極化而使靜電保持力變弱的情形時，藉由將開_…設為 〇n狀’"、巾對各電極1G3施加反極性的電壓，可將内部極 化消去或緩和，而可恢復靜電保持裝置之靜電保持力。 _ 又在此’雖藉由操作開關SW2，俾變更對同一電極 所施加電遷的極性而控制，惟該控制的形式及時點係自由 的。例如’不藉由操作開關娜，而在保持操作時間每經 過依定時間即將施加電麼的正負反轉來進行施加控制亦可# 變形例4乃j 以下，根據圖式說明本發明之實施形態之變形例4及 5。與實施形態丨及變形例〗 上相同符號來說明。 乃至均等的部位構件附 =此，第9圖及第關說明本發明之實施形態變形 列之奸電保持裝置的概念之概念，^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 罢命+ & ^ 衣不將攸靜電保持裝 、“虽面正交的中心通過的截面截斷的情形之截面圖。 在此’第9圖係表示接觸支撐型靜電保持裝置，第1 〇 係表示非接觸支撐型（浮動型）靜電保持裝置。 (接觸型靜電保持裝置） 座構=二中’符號MO係接觸型靜電保持裝置，在底 座構件ΗΠ的-面形成絕緣材1〇2。在該絕緣材1〇2 將其周圍被覆之電極i 03。該f # ^ 必电往1U3係由二個雷極 群組103a、l〇3b所構成。在各電 ^ iUd(電極元件群組 27 200406088 103a、103b)連接控制器705以產生如第9圖所示之波形 的施加電壓。 即’在該控制器705，對電極元件群組103a及電極元 件群組1 03b施加正、負反極性的電壓，並且，對同一電 極元件交替施加正負反極性的電壓（施加交變電場）。 ‘ 若具備该控制，器7 0 5，則藉由將施加電壓作反極性轉 換，俾在保持對象物1 〇4表面瞬間地感應出反極性的電荷 ，因此，在絕緣材102的内部不會產生内部極化，而可獲 得一定的靜電吸引力。 春 該施加電壓的轉換頻率並未特別限制，例如，可為數 百Hz以下。又，交替電場的波形較佳係如第g圖所示之 矩形波。 4 (浮動型靜電保持裝置） 在第10圖所示之本發明的變形例5之靜電保持裝置， 係採用控制器805,俾對同一電極元件交替施加正極與負 極的電壓。

藉由採用該控制器805,當欲使與保持對象物1〇4 間距g(距離）擴大時，將施加電壓切斷，以自重使保持 象物1〇4落下’當欲縮小間距"夺，如第1〇圖所：般 若交替施加極性不同的2電壓，則在絕緣# 1()2的内部 會產生内部極化，防止靜電吸引力的連續降低，而可每 穩定的浮動支撐。 Θ 若採用上述實施形態及變形例所說明之靜電保持裝 ’則不必使用把持機構’而能自由地將對象物保持或= 28 保持解除，因此，可f 7 動系統等的利用，作3待對薄膜構件的保持裝置、靜電浮 種系統、精密機械或：子束加工或曝光裝置的定位之各 電浮動裝置的利用介的防振等、或是作為硬碟等之靜 π用亦可期待。 依以上的靜電保持 狀態下，即使將開關設 "，在無保持對象物接近的 内部極化消去杏堪4 〇η，亦可將在絕緣材内所產生的 π A 4毅和，或县 穩定的靜電保持力。— 吏内部極化產生，故可獲得 ，例如，應用到以靜：二:藉由！本發明之靜電保持裝置 义置上，亦可獲得本發明的效果。作業來進订保持的 以下’依據圖式爽％ 第q… 末5兄明本發明之實施形態。 弟9圖及弟1 〇圖俏 #„4 ^ 係说明本發明之實施形態之靜電伴 符裊置的概念之概冬圖 野电保 τ ^ ® 表示將從靜電保持裝置盥電極而 正交的中心通過的截面 / 于我置-電極面 m 戮斬的情形之截面圖。在挤，笙η 圖係表示接觸支撐型靜# 接網士产，" 持裝置700,第10圖係表示非 接觸支撐型（浮動型）靜雷 T 丁非 绪从 D硭電保持裝置800。在任一例，於 緣材102皆含有黏著劑等 、、、邑 & βη ^ ^ ^ ^阻並不尚，亦能將絕綾 ln , 』哏度，而可維持保持對象物104盥 電極103表面間的高電場。 /、 (接觸型靜電保持褒置） 在第9圖中’符號7〇〇係接觸型靜電保持裝置，在 座構件m的-面形成絕緣材1〇2。在該絕緣材1〇2形成 將其周圍被覆之如03。該電極1〇3係由二個電極元件 29 200406088 群組103a、l〇3b所構成。 藉由在電極103表面(電極面1〇3)與保持對象物m 間產生靜電’而能以靜電吸引力將保持對象物叫吸附支 撐於絕緣材1G2的保持面1G2a。作為該保持對象物1〇4, 如導體、半導體或高電阻體等任一材料皆可保持。 在此，由於此時所產生的靜電吸引力，係與保持對象 物104和電極1〇3之間的距離（絕緣枯的厚度d或間距y 勺2人方成反比，因此，為了產生足夠的靜電力，絕緣材 1 〇 2只要能滿足絕緣耐壓，盡量形成薄形係十分重要。例 如，在將lkV的電壓施加於電極面時，絕緣材的厚度（絕 緣層的厚度）d約為150# m，且要求2〇# m以内的公差。 為將要求該薄尺寸規格的絕緣膜全面形成於表面積lm2的 電極面，透過黏著層將絕緣薄膜固定於電極面係既簡單且 低成本的方式。 二而，右採用黏者劑來形成絕緣層，則會使絕緣性降 低。此係考慮到黏著劑方面，為了提高黏著力而含有微量 的各種溶劑成分，而該等溶劑成分會使絕緣電阻降低。 在相鄰的極性不同的二個電極元件群組1 〇3a、1 〇3b間 、或在電極面與保持對象物104間介有黏著材層的情形， 如第19圖所示，靜電力會隨著時間而降低。此係若絕緣 性部充份，則内部極化會隨著時間而進行，同時，會有微 電流通過之故。該微電流的通過會隨著黏著劑層之内部極 化的進行而急遽地變大，並使電極面與保持對象物1 〇 4間 一旦形成的靜電場混亂，因而將在保持對象物丨04所產生 30 200406088 的靜電吸引力減弱。又，依情況，隨著絕緣層的完全破壞 ，會產生瞬間的大電流，並且發生電極面或保持對象物 1 0 4的物理性破壞。 因此，在對各電極元件群組103a、103b分別施加不同 的電壓來使該電壓的極性經常為同一極性的情形，即使以 一定電壓持續施加，亦會使一旦產生的靜電力隨著時間而 降低。 在此，作為本發明之另一實施形態所使用的控制器 705,係採用即使在絕緣層内有微電流通過，在該微電流 的通過值（破壞電流）變為某值以上之前即變更施加電壓的 極性。該控制器705,如第n圖所示，係產生極性交互反 轉的波形之施加電壓，以防止靜電力隨時間而降低。 如上述般，靜電力降低的原因，係由於介於電極元件 間的絕緣層會隨著長時間持續施加強的同一電場，導致因 弱絕緣破壞之電流（以下稱為破壞電流）的增大。因該破壞 電流的增大，導致靜電場混亂、靜電力降低。 本發明之另一實施㈣所使用的控♦!!!! 705,係對電 極元件群組lG3a、電極元件群組1G3b施加正、負互為反 極性的電|’並且’對同一電極元件交替施加正負反極性 的電壓（施加交替電場）。 依該控制器705,即使絕緣層的絕緣不充份、在絕緣 層内有微電流通過’可在在該微電流的通過值(破壞電流) 變：某值以上之前即變更施加電麼的極性。即，在破壞電 抓文為某值以上之前，#以使電極元件間的電場進行正 31 200406088 反轉的方式來施加電壓，則可將介於電極元件間的絕緣層 的極化方向反轉，故可解消絕緣破壞、阻止破壞電流。 又，藉由將施加電壓進行反極性轉換，可於保持對象 物104表面瞬間感應反極性的電荷，而再度恢復原來的靜 電吸引力。藉由重複上述動#，即使經過長時間，亦不會 使靜電力降低，而可確實地將保持對象 藉此，可將靜電力維持在-定值以上。 予保持 該施加電虔的轉換頻率係取決於絕緣層的絕緣電阻的 大小（絕對值）。藉此，絕緣層的電阻越低越需提高頻率， 惟，若絕緣層的電阻不A ’則頻率低亦無妨…般的實施 例所採用的頻率的標準在數百Hz以下即已足夠。 ’惟可防止靜電力的降低。又 第11圖所示之矩形波。 即，若錢料間以内使施加電壓的極性交互轉換的 方式來形成施加電壓，則不但可將破壞電流抑制在某值以 内’並且’如帛11圖所示，在某的範圍内雖有變動 交替電場的波形較佳係如 亥接觸型月争電保持裝置7〇 〇，由於不必使用把持機構 而可自由地將保持對象物i04予以保持或將該保持解除 故可期待對半導體晶圓等薄膜的靜電搬送裝置、薄膜的 保持裝置等的應用。 又，若採用該接觸型靜電保持裝置700，亦可期待對 不曰使大面積的薄膜·幫曲而可進行長時間保持之把持機構 、或保持纟，例如，在包含電子束加卫之各種曝光裝置用 來長時間保持半導體晶圓的載台等的應用。 200406088 (浮動型靜電保持裝置） 依第18圖所示之浮動型靜電保持裝置1 400(與第15 圖所不之靜電保持裝置1200實質上相同），電極面1〇3係 以絕緣材1〇2被覆且固定於底板101。電極面103與導體 、半導體或高電阻體等保持對象物1 04間的間距g，以即 時回授的方式來設置移位感測器206。 移位感測器2 0 6，係通過貫通孔2 〇 7來測定保持對象 〇4 /、電極面103之間的間距δ後，回授至控制器1405 Γ 14 0 5係依據所測得的間距g來控制施加電壓， 俾將間距g維持在預先指定的既定值。例如，如第18圖 斤丁田間距g比目標間距大的情形（間距 > 目標），則施 4 U ^ ：ϋ w電壓’產生靜電吸引力’將保持對象物⑽ 吸引1而使間⑮g縮小。另-方面，當間距g比目標間距 小的情形（間距 < 目才票），則將施加於各電極的電遷降低（ 、：’、、）％低對保持對象物j 〇4所施加的吸引力，而使 間距g增大。藉由重福 持在既定間距g。 上動作’可將保持對象物m保 隨著欄續施加一定電壓 無法獲得既定支樓力的 然而，當絕緣層的電阻較低， ’會有使-旦產生的靜電力降低而 情形。 對此，在第1 Q圖所示 # m 4 ^即 之本發明之靜電保持裝置800係 採用控制器8 0 5，藉由對间 枚从+广 對同一電極元件交替施加正極與負 極的電壓，即使在絕緣層 百从電流通過，可在為锋料雷 流的通過值（破壞電流）變 ^ …、某值以上之前即變更施加電壓 ZUU4U0U88 的極性。 :此’即使採用絕緣電阻較低的絕緣層，亦可實現穩 供士 Γ動保持。當欲使與保持對象物104的間距g(距離） f冬/將知加電屋切斷，以自重使保持對象物104落下 ^ j間距g日寸’如第1 〇圖及第12圖所示般，若交 二：極性不同的2電壓，則可防止靜電力的連續降低， 可貫現穩定的浮動支撐。 該浮動型靜電保持裝置_，由於磨損或產生灰塵的 糸’對期望非接觸方式之各種靜電夾頭的應關可 〇 進❿’若採用該靜電保持裝s 800’由於不必使用把 :機構’ 1¾能自由地將對象物保持或將該保持解除，因此 ，可期待對薄膜構件的保持裳置、靜電浮動系統等的利用 為電子束加I或曝光裝置的定位之各種載台、精密機 成或構件的防振等、或是作為硬碟等之靜電浮動裝置的利 用亦可期待。 *若採用該浮動型靜電保持裝置800，由於不必使用把 持機構，而能在對象物浮動的狀態下自由地將對象物保持 或㈣保持解除’因此，可期待對半導體晶圓等薄膜的保 持裝置、靜電搬送裝置、各種浮動系統等的利用。 以上’雖以圖式來詳述本發明’惟，具體的構成並未 侷限於該實施形態，在未脫離本發明要旨的範圍之設計變 更等皆包含於本發明。 34 200406088 【圖式簡單說明】 (一）圖式部分 第1圖係以截面來說明本發明夕拉細…^ 知a之接觸型靜電保持裝置 之一例之圖。 第2圖係說明施加於第1圖之靜 M <靜電保持裝置的電極之 電壓波形之圖。 第3圖係以截面來說明本發明眘 奴乃 < 貫施形態之浮動型靜 電保持裝置之一例之圖。 第4圖係說明施加於第3圖之鎳雪位4 士处 口 < e電保持裝置的電極之 電壓波形之圖。 型靜電保持裝置 第5圖係以截面來說明本發明之接觸 之一例之圖。 極之 第6圖係說明施加於第5圖之靜電保持裝置的雷 電壓波形之圖。 | 第7圖係以截面來說明本發明 之一例之圖。 《月之-動型静電保持裝置 極之 第8圖係說明施加於第7圖之靜電保持裝 電壓波形之圖。 、、 型靜電保持裝置 第9圖係以截面來說明本發明之接觸 之一例之圖。 置之 第1〇圖以截面來說明本發明之浮動型靜 一例之圖。 守犮 圖的靜 第11圖係表示本發明另一實施形態，使用第9 電夾碩的情形之靜電力的時間變化圖。 35 200406088 第12圖係表示本發明另一實施形態，使用第1〇圖的 靜電夾頭的情形之靜電力的時間變化圖。 弟13圖係說明習知之靜電夾頭之圖。 第14圖係說明施加於第丨3圖之靜電夾頭的電極之電 壓波形之圖。 第15圖係說明習知之浮動型靜電夾頭之圖。 第1 6圖係說明施加於第15圖之靜電夾頭的電極之電 壓波形之圖。 第17圖係說明習知之薄板的吸附保持型靜電央頭之圖 _ 〇 第18圖係說明習知之薄板的浮動保持型靜電夾頭之圖 〇 第19圖表示習知之靜電夾頭之產生靜電力的時間變化 ， (二）元件代表符號 1〇〇 、 200 、 300 、 400 、 700 、 800 、 1100 、 1200 、 1300 1400 :靜電保持裝置（靜電夾頭） 1 〇 1 :底座構件（底板） 1 0 2 ·絕緣材 1 0 2a :絕緣材的保持面 1 0 3 :電極、電極群組或該等之電極面 l〇3a、l〇3b :電極元件或電極元件群組 1〇4 :保持對象物 36 200406088 105 、 205 、 305 、 405 、 705 、 805 、 1105 、 1205 、 1305 、1 405 :控制部（控制器） 206 :移位感測器 207 :貫通孔

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Claims (1)

1. 200406088 拾、申請專利範圍： 種月f電保持裝置，係以被絕緣材被覆的複數個電 v斤構成的電極群組作為保持面，並對該電極群組施加既 定電壓，藉靜電力將保持對象物予以接觸地保持或非接觸 地冷動保持，其特徵在於，具備： 内P極化消去機才冓，係董子施加於該電極群組的電壓極 性進行切換，俾將在該絕緣材内所產生的㈣極化消去。 2、 -種靜電保持裝置，係以被絕緣材被覆的複數個電 ，所構成的電極群組作為保持面，並對該電極群組施加既 疋電壓，猎靜電力將保持對象物予以接觸地保持或非接觸 地浮動保持，其特徵在於，具備·· 知加電堡控制部，係作為施加電壓切換機構而動作， 該施加電壓切換機構係在每次從切斷該電極群組的施加電 壓切換為施加時，對同—電極群組施加與前次的施加電壓 呈反極性的電壓。 3、 一種靜電保持裝置，係以被絕緣材被覆的複數個電 極所構成的電極群組作為保持面，並對該電極群組施加既 疋電壓，藉靜電力將保持對象物予以接觸地保持或非接觸 地浮動保持，其特徵在於，具備·· 施加電壓控制部，係作為反極性電壓產生機構而動作 孩施加電壓切換機構係在保持時，產生與施加於該電極 群組的電壓呈反極性的電壓；在靜電力降低的情況，可對 該電極群組施加藉該反極性電壓產生機構所產生的反極性 電壓。 38 200406088 種靜電保持裝置，係以被絕緣材被覆的複數個電 ，所構成的電極群組作為保持面，並對該電極群組施加既 疋電麼’精靜電力將保持對象物予以接觸地保持或非接觸 地洋動保持，其特徵在於，具備·· 施加電廢控制部，係作為電遷施加機構而動作，該電 麗施加機構係對該電極群組的施加電麼進行反極性交替變 3、一種靜電頂針組件，i姓佩—士人 ^ 八特徵在於··係使用申請專利 =弟卜4項中任一項之靜電保持裝置，並將 為頂針組件吸引部。 T W W 6、一種靜電保持裝置，係具備用以控制電極施加電壓 =:，藉靜電力將保持對象物予以接觸 觸地洋動保持，其特徵在於·· 安 對柽係、由透過絕緣區域而鄰接排列的一對或複數 對的電極Α及電極Β所構成； 該控制部，係對該電極A及 電壓，且對因一發士 __ ^ 電極B轭加互為反極性的 、亟兀件父替施加正負反極性的電壓。 伴持對專利範圍第1項之靜電保持裝置，其中，該 持對象物係保持成直接或透過其他構件來與該電極接觸 σ曱凊專利範圍第1項之笔 備跖Mu, 固乐1項之静電保持裝置，其中， ，哕拎制# 布双則w亥電極與保持對象物間的距 訊，來將該保持對象物浮動伴：構所檢測出的距離 象物牙動保持成與該電極離既定距離 39 200406088 9、一種運送裝置，其特徵在於：係採用申請專利範圍 第1〜4項及第6項中任一項之靜電保持裝置而成者。 拾壹、圖式： 如次頁