JP2000326242A - 帯電ピンセット - Google Patents
帯電ピンセットInfo
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- JP2000326242A JP2000326242A JP13556399A JP13556399A JP2000326242A JP 2000326242 A JP2000326242 A JP 2000326242A JP 13556399 A JP13556399 A JP 13556399A JP 13556399 A JP13556399 A JP 13556399A JP 2000326242 A JP2000326242 A JP 2000326242A
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- Japan
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- charged
- charging
- support
- charged part
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 簡単な構造で各種形状の微小物を確実に保持
可能な帯電ピンセットを提供する。 【解決手段】 棒状の支持体１の先端に誘電体からなる
帯電部２を設け、この帯電部で微小物を静電吸着して保
持する帯電ピンセット。また保持した微小物を外すため
のスリーブを支持体に沿ってスライド可能に装着した。
また、支持体は、コンデンサと、放電部および切換えス
イッチを有する。
可能な帯電ピンセットを提供する。 【解決手段】 棒状の支持体１の先端に誘電体からなる
帯電部２を設け、この帯電部で微小物を静電吸着して保
持する帯電ピンセット。また保持した微小物を外すため
のスリーブを支持体に沿ってスライド可能に装着した。
また、支持体は、コンデンサと、放電部および切換えス
イッチを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は帯電ピンセットに関
する。より詳しくは、静電気力を利用した微小物保持用
の帯電ピンセットに関するものである。
する。より詳しくは、静電気力を利用した微小物保持用
の帯電ピンセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】数ミリ程度の微小物を掴んで保持するた
めの器具として、摘み式のピンセットや真空ピンセット
が用いられている。摘み式のピンセットは、二股の機械
的構成のピンセットによりその先端で微小物を挟んで保
持するものであり、真空ピンセットは、真空作用により
真空吸着口に微小物を吸着して保持するものである。
めの器具として、摘み式のピンセットや真空ピンセット
が用いられている。摘み式のピンセットは、二股の機械
的構成のピンセットによりその先端で微小物を挟んで保
持するものであり、真空ピンセットは、真空作用により
真空吸着口に微小物を吸着して保持するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、摘み式
のピンセットで微小物を挟んで保持する場合、丸い形状
の物体や薄い形状の物体は挟むことが困難であり、挟ん
だとしても保持中に脱落したり弾き飛ばすことがある。
また、薄いシリコンウェーハなどのへき開しやすい物質
や、ワックスなどの軟らかい物質の場合には、ピンセッ
トで挟むことによって割れたり欠けたりし或いは潰れた
りするという問題がある。
のピンセットで微小物を挟んで保持する場合、丸い形状
の物体や薄い形状の物体は挟むことが困難であり、挟ん
だとしても保持中に脱落したり弾き飛ばすことがある。
また、薄いシリコンウェーハなどのへき開しやすい物質
や、ワックスなどの軟らかい物質の場合には、ピンセッ
トで挟むことによって割れたり欠けたりし或いは潰れた
りするという問題がある。
【０００４】また、真空ピンセットを用いる場合には、
吸引される物体の吸引部分が比較的平坦であることが必
要であり、また真空吸着口より小さい物体は吸込まれて
しまうという問題がある。
吸引される物体の吸引部分が比較的平坦であることが必
要であり、また真空吸着口より小さい物体は吸込まれて
しまうという問題がある。
【０００５】一方、粘着ピンセット（特開平８−１５２
９号公報）や圧電式ピンセット（特開昭６２−１９３７
９号公報）が提案されている。しかしながら、粘着ピン
セットでは、保持した微小物の取外しが面倒であり粘着
材によっては適用できない物質もある。また、圧電式ピ
ンセットでは、圧電力の調整が面倒になり制御構成が複
雑になる。
９号公報）や圧電式ピンセット（特開昭６２−１９３７
９号公報）が提案されている。しかしながら、粘着ピン
セットでは、保持した微小物の取外しが面倒であり粘着
材によっては適用できない物質もある。また、圧電式ピ
ンセットでは、圧電力の調整が面倒になり制御構成が複
雑になる。
【０００６】本発明は上記従来技術を考慮したものであ
って、簡単な構造で各種形状の微小物を確実に保持可能
な帯電ピンセットの提供を目的とする。
って、簡単な構造で各種形状の微小物を確実に保持可能
な帯電ピンセットの提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、棒状の支持体の先端に誘電体からなる
帯電部を設け、この帯電部で微小物を静電吸着して保持
することを特徴とする帯電ピンセットを提供する。
め、本発明では、棒状の支持体の先端に誘電体からなる
帯電部を設け、この帯電部で微小物を静電吸着して保持
することを特徴とする帯電ピンセットを提供する。
【０００８】この構成によれば、静電気による静電吸着
力によって微小物が帯電部に吸着されて保持されるた
め、形状や材質等にかかわらず損傷を与えることなく確
実に微小物を保持することができ、またスイッチ操作等
によって、静電気の印加およびその解除あるいは逆極性
の静電気印加により容易に帯電部への微小物の着脱がで
きる。
力によって微小物が帯電部に吸着されて保持されるた
め、形状や材質等にかかわらず損傷を与えることなく確
実に微小物を保持することができ、またスイッチ操作等
によって、静電気の印加およびその解除あるいは逆極性
の静電気印加により容易に帯電部への微小物の着脱がで
きる。
【０００９】好ましい構成例では、保持した微小物を外
すためのスリーブを前記支持体に沿ってスライド可能に
装着したことを特徴としている。
すためのスリーブを前記支持体に沿ってスライド可能に
装着したことを特徴としている。
【００１０】この構成によれば、スリーブを支持体から
帯電部までスライドさせて帯電部に吸着されている微小
物を脱落させることができ、取扱い性が向上する。
帯電部までスライドさせて帯電部に吸着されている微小
物を脱落させることができ、取扱い性が向上する。
【００１１】さらに好ましい構成例では、前記支持体
は、コンデンサ、放電部および切換えスイッチを有する
ことを特徴としている。
は、コンデンサ、放電部および切換えスイッチを有する
ことを特徴としている。
【００１２】この構成によれば、例えばバッテリーによ
りコンデンサを充電し、この充電されたコンデンサで静
電気力が帯電部に付与され、コンデンサの充電極性を切
換えて逆極性の静電気力を付与することができ、また放
電により帯電部の静電吸着力を解除することができる。
りコンデンサを充電し、この充電されたコンデンサで静
電気力が帯電部に付与され、コンデンサの充電極性を切
換えて逆極性の静電気力を付与することができ、また放
電により帯電部の静電吸着力を解除することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。図１は、本発明の実施の形態
に係る帯電ピンセットの外観図である。棒状の支持体１
の先端にエボナイト等の誘電体からなる帯電部２が備
る。帯電部２の形状は、図示したように、先端が丸く全
体が曲面状であることが望ましい。この帯電部２を布等
で摩擦して帯電させ、その静電気力によって、微小物を
この帯電部２に静電気的に吸着して保持する。帯電部２
は誘電体であれば他の部材例えばエポキシ樹脂等であっ
てもよい。
の形態について説明する。図１は、本発明の実施の形態
に係る帯電ピンセットの外観図である。棒状の支持体１
の先端にエボナイト等の誘電体からなる帯電部２が備
る。帯電部２の形状は、図示したように、先端が丸く全
体が曲面状であることが望ましい。この帯電部２を布等
で摩擦して帯電させ、その静電気力によって、微小物を
この帯電部２に静電気的に吸着して保持する。帯電部２
は誘電体であれば他の部材例えばエポキシ樹脂等であっ
てもよい。
【００１４】図２は、本発明の別の実施の形態の外観図
である。この実施形態は、支持体１の外面に沿って矢印
Ａのようにスライド可能なスリーブ３を装着したもので
ある。このスリーブ３を帯電部２までスライドさせるこ
とにより、帯電部２に吸着保持されている微小物（図示
しない）を機械的に脱落させて取外すことができる。
である。この実施形態は、支持体１の外面に沿って矢印
Ａのようにスライド可能なスリーブ３を装着したもので
ある。このスリーブ３を帯電部２までスライドさせるこ
とにより、帯電部２に吸着保持されている微小物（図示
しない）を機械的に脱落させて取外すことができる。
【００１５】図３は、本発明のさらに別の実施の形態の
構成図である。この実施形態では、導線４をエポキシ樹
脂等の誘電体でコーティングして２つの帯電部２を構成
したものである。この帯電部２の導線４は、支持体１に
設けた操作部５の切換えスイッチ６を介して、コンデン
サ７およびバッテリー８に接続されている。またこの導
線４は切換えスイッチ６により、アースされた放電部９
に接続可能である。コンデンサ７およびバッテリー８は
ともに支持体１の内部に備えていてもよいし、あるいは
バッテリー８は外部に備えて必要に応じて支持体１内の
コンデンサ７を充電するように構成してもよい。
構成図である。この実施形態では、導線４をエポキシ樹
脂等の誘電体でコーティングして２つの帯電部２を構成
したものである。この帯電部２の導線４は、支持体１に
設けた操作部５の切換えスイッチ６を介して、コンデン
サ７およびバッテリー８に接続されている。またこの導
線４は切換えスイッチ６により、アースされた放電部９
に接続可能である。コンデンサ７およびバッテリー８は
ともに支持体１の内部に備えていてもよいし、あるいは
バッテリー８は外部に備えて必要に応じて支持体１内の
コンデンサ７を充電するように構成してもよい。
【００１６】このバッテリー８によりチャージされたコ
ンデンサ７から２つの帯電部２，２間にそれぞれ逆極性
の＋，−の電荷を付与して両帯電部２，２間に静電気力
を発生させることができるあるいは、２つの帯電部２が
それぞれ独立に静電気力を発生するように構成してもよ
い。帯電部を３つあるいはそれ以上設けてもよい。この
ように複数の帯電部２を有することにより、吸着保持機
能が高められる。この場合、各帯電部２を着脱可能に構
成して必要な数の帯電部を使用できるようにしてもよ
い。
ンデンサ７から２つの帯電部２，２間にそれぞれ逆極性
の＋，−の電荷を付与して両帯電部２，２間に静電気力
を発生させることができるあるいは、２つの帯電部２が
それぞれ独立に静電気力を発生するように構成してもよ
い。帯電部を３つあるいはそれ以上設けてもよい。この
ように複数の帯電部２を有することにより、吸着保持機
能が高められる。この場合、各帯電部２を着脱可能に構
成して必要な数の帯電部を使用できるようにしてもよ
い。
【００１７】バッテリー８によりコンデンサ７を充電
し、切換えスイッチ６を操作して充電されたコンデンサ
７により帯電部２に静電気を発生させる。切換えスイッ
チ６の操作により導線４を放電部９に接続することによ
り、帯電部２の静電気がアースに逃されて静電気力によ
る保持力が解除される。また切換えスイッチ６によりコ
ンデンサ７にバッテリー８から逆極性の電荷をチャージ
して逆極性の静電気力を印加させることもできる。
し、切換えスイッチ６を操作して充電されたコンデンサ
７により帯電部２に静電気を発生させる。切換えスイッ
チ６の操作により導線４を放電部９に接続することによ
り、帯電部２の静電気がアースに逃されて静電気力によ
る保持力が解除される。また切換えスイッチ６によりコ
ンデンサ７にバッテリー８から逆極性の電荷をチャージ
して逆極性の静電気力を印加させることもできる。
【００１８】上記構成の帯電ピンセットにより、最大長
さ部分が２〜３ｍｍ程度のワックス片を保持した場合、
および約５ｍｍ×１０ｍｍ程度のシリコン片を吸着した
ところ、損傷を与えることなく容易に確実に吸着保持す
ることができ、また吸着解除も簡単に行うことができ
た。
さ部分が２〜３ｍｍ程度のワックス片を保持した場合、
および約５ｍｍ×１０ｍｍ程度のシリコン片を吸着した
ところ、損傷を与えることなく容易に確実に吸着保持す
ることができ、また吸着解除も簡単に行うことができ
た。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、静電
気による静電吸着力によって微小物が帯電部に吸着され
て保持されるため、形状や材質等にかかわらず損傷を与
えることなく確実に微小物を保持することができ、また
スイッチ操作等によって、静電気の印加およびその解除
あるいは逆極性の静電気印加により容易に帯電部への微
小物の着脱ができ、取扱い性が向上する。
気による静電吸着力によって微小物が帯電部に吸着され
て保持されるため、形状や材質等にかかわらず損傷を与
えることなく確実に微小物を保持することができ、また
スイッチ操作等によって、静電気の印加およびその解除
あるいは逆極性の静電気印加により容易に帯電部への微
小物の着脱ができ、取扱い性が向上する。
【図１】 本発明の実施の形態に係る帯電ピンセットの
構成図。
構成図。
【図２】 本発明の別の実施の形態に係る帯電ピンセッ
トの構成図。
トの構成図。
【図３】 本発明のさらに別の実施の形態に係る帯電ピ
ンセットの構成図。
ンセットの構成図。
１：支持体、２：帯電部、３：スリーブ、４：導線、
５：操作部、６：切換えスイッチ、７：コンデンサ、
８：バッテリー、９：放電部。
５：操作部、６：切換えスイッチ、７：コンデンサ、
８：バッテリー、９：放電部。
Claims (3)
- 【請求項１】棒状の支持体の先端に誘電体からなる帯電
部を設け、この帯電部で微小物を静電吸着して保持する
ことを特徴とする帯電ピンセット。 - 【請求項２】保持した微小物を外すためのスリーブを前
記支持体に沿ってスライド可能に装着したことを特徴と
する請求項１に記載の帯電ピンセット。 - 【請求項３】前記支持体は、コンデンサと、放電部およ
び切換えスイッチを有することを特徴とする請求項１に
記載の帯電ピンセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13556399A JP2000326242A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 帯電ピンセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13556399A JP2000326242A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 帯電ピンセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000326242A true JP2000326242A (ja) | 2000-11-28 |
Family
ID=15154746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13556399A Pending JP2000326242A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 帯電ピンセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000326242A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004030197A1 (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-08 | Tsukuba Seiko Ltd. | 静電保持装置及びそれを用いた静電ピンセット |
| EP1855166A1 (fr) * | 2006-05-12 | 2007-11-14 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Brucelles et système de préhension |
-
1999
- 1999-05-17 JP JP13556399A patent/JP2000326242A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004030197A1 (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-08 | Tsukuba Seiko Ltd. | 静電保持装置及びそれを用いた静電ピンセット |
| US7259955B2 (en) | 2002-09-27 | 2007-08-21 | Tsukuba Seiko Ltd. | Electrostatic holding device and electrostatic tweezers using the same |
| EP1855166A1 (fr) * | 2006-05-12 | 2007-11-14 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Brucelles et système de préhension |
| JP2007301718A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 把持具と把持システム |
| US7775569B2 (en) | 2006-05-12 | 2010-08-17 | Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse | Tweezers and grasping system |
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