SU543248A1 - Способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни - Google Patents
Способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни Download PDFInfo
- Publication number
- SU543248A1 SU543248A1 SU752106092A SU2106092A SU543248A1 SU 543248 A1 SU543248 A1 SU 543248A1 SU 752106092 A SU752106092 A SU 752106092A SU 2106092 A SU2106092 A SU 2106092A SU 543248 A1 SU543248 A1 SU 543248A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- например
- silicon
- oxygen
- producing fine
- plasma
- Prior art date
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОН- . КОДИСПЕРСНОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ путемокислени кремнийсодержащих соединений в кислородной или кислородсодержащей низкотемпературной плазме, отличающийс тем, что, с целью повьшени степени чистоты целевого продукта, в качестве кремнийсодержащих соединений берут ал- коксипроизводные кремни , например, тетраэтоксисилан, и процесс ведут в плазме сверхвысокочастотного разр да.2i Способ по п.1, отличающий с тем, что плазму используют с частотой разр да 1500 - 3000 мГц.Skfl
Description
СЛ
со to
NU
00
t
Изобретение относитс к способам получени тонкодисперсной двуокиси кремни , котора может найти применение в волоконной оптике и дл изготовлени полупроводниковой керамики.
Известен.способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни путем окислени тетрахлорида кремни в потоке низкотемпературной плазмы электродугового разр да.
Недостатком способа вл етс загр знение двуокиси кремни продукта ми эрозии металлических электродов плазменных генераторов электродугового типа и хлором, образумцимс при горении тетрахлорида.
Известен способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни , заключающийс в окисленик.кремнийсодержащих соединений, например тетрахлорида кремни , в кислородной или кислородсодержащей низкотемпературной плазме высокочастотного разр да, осуществл емого в безэлектр.одплазмотроне .
Однако чистота получаемой по этому способу двуокиси кремни не удовлетвор ет требовани м современной оптики и полупроводниковой техники .
43248
Дл повышени степени чистоты целевого продукта по предлагаемому способу в качестве кремнийсодержащих соединений берут алкоксипроиз5 водные кремни ,например, тетраэтоксисилан , и процесс ведут в плазме сверхвысокочастотного разр да (частота разр да 1500-3000 мГц).
Предлагаемый способ обеспечивает получение целевого продукта достаточно высокой степени чистоты (), превышан цей более чем на. пор док чистоту двуокиси кремни , получаемой по известному способу 5 (10--10 %).П р и м е р. В кислородную СВЧплазму со.среднемассовой температурой 5500 С при расходе кислорода
2 ввод т поток аргона со скоростью 0,4 м/ч и пары тетраэтоксисилана с расходом 600 г/ч. Образующа с в плазменном реакторе двуокись кремни конденсируетс у основани реактора с частицами размером 800-1200 А. Получаема двуокись кремни имеет следующее, содержание примесей, вес.%: АС 0,410, |Fe 3, 5,b1oVB 1,3-10, Ni 3,8-10-, Ti 2,3 10 Sn 2,8 1(Г, Cr 0,6-10, Си 5,1-10.
Claims (2)
1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОДИСПЕРСНОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ путем окисления кремнийсодержащих соединений в кислородной или кислородсодержащей низкотемпературной плазме, отличающийся тем, что, с целью повышения степени чистоты целевого продукта, в качестве кремнийсодержащих соединений берут алкоксипроизводные кремния, например, тетраэтоксисилан, и процесс ведут в плазме сверхвысокочастотного разряда.
2ί Способ по п.1, отличающийся тем, что плазму используют с частотой разряда 1500 3000 мГц.
(Л
СП со ю hU
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU752106092A SU543248A1 (ru) | 1975-02-19 | 1975-02-19 | Способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU752106092A SU543248A1 (ru) | 1975-02-19 | 1975-02-19 | Способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU543248A1 true SU543248A1 (ru) | 1986-03-15 |
Family
ID=20610401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU752106092A SU543248A1 (ru) | 1975-02-19 | 1975-02-19 | Способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU543248A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115724433A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-03-03 | 湖北冶金地质研究所(中南冶金地质研究所) | 一种石英砂等离子体气固反应提纯装置及提纯方法 |
-
1975
- 1975-02-19 SU SU752106092A patent/SU543248A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент US № 3481693,кл. 23-1, 2.12.69.Патент US № 3275408, кл. 23-182, 27.09.66. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115724433A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-03-03 | 湖北冶金地质研究所(中南冶金地质研究所) | 一种石英砂等离子体气固反应提纯装置及提纯方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04231406A (ja) | 金属粉末の製造方法 | |
| US3058812A (en) | Process and apparatus for producing silicon | |
| US3203759A (en) | Method of preparing silicon dioxide | |
| JPH0710544A (ja) | 酸化ニッケル粉末の製造方法 | |
| US2369214A (en) | Method of purifying boron trichloride | |
| SU543248A1 (ru) | Способ получени тонкодисперсной двуокиси кремни | |
| US2519385A (en) | Production of titanium tetraiodide | |
| JPS6191335A (ja) | 白金族金属を回収する方法 | |
| US3975187A (en) | Treatment of carbothermically produced aluminum | |
| JPH06226085A (ja) | 酸化物微粒子の製造装置および製造方法 | |
| JPH01298003A (ja) | オゾン発生方法 | |
| JPH1087301A (ja) | エッチング用ガスおよびその製造方法 | |
| JP2004182521A (ja) | 高純度酸化マグネシウム微粉末の製造方法 | |
| JPH04231310A (ja) | 窒化アルミニウムの製法 | |
| JPH075288B2 (ja) | 分割されたけい素をプラズマの下で精製する方法 | |
| US2931709A (en) | Decarburizing silicon tetrachloride | |
| US2929678A (en) | Method of producing zinc selenide | |
| JPH0416504A (ja) | シリコンの精製方法 | |
| JPS63210015A (ja) | 改良された二酸化珪素ルツボの製造方法 | |
| JPS6111140A (ja) | 高純度セラミツクス超微粒子の製造方法 | |
| JPS62234332A (ja) | レジスト除去方法 | |
| RU2002129211A (ru) | Способ получения диоксида титана | |
| RU2174950C1 (ru) | Способ получения силана | |
| SU1436342A1 (ru) | Способ получени ультрадисперсного порошка меди | |
| SU113474A1 (ru) | Способ получени металлического титана |