SE521729C2 - Ugnsuppvärmd kristallresonator och oscillatorenhet - Google Patents

Ugnsuppvärmd kristallresonator och oscillatorenhet

Info

Publication number
SE521729C2
SE521729C2 SE0004487A SE0004487A SE521729C2 SE 521729 C2 SE521729 C2 SE 521729C2 SE 0004487 A SE0004487 A SE 0004487A SE 0004487 A SE0004487 A SE 0004487A SE 521729 C2 SE521729 C2 SE 521729C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
heat
substrate
crystal resonator
base element
resonator
Prior art date
Application number
SE0004487A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0004487L (sv
SE0004487D0 (sv
Inventor
Roger L Clark
Samuel Shniper
Jacob M Li
David Lane
Otmar Boser
Original Assignee
Capital Formation Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Capital Formation Inc filed Critical Capital Formation Inc
Publication of SE0004487D0 publication Critical patent/SE0004487D0/sv
Publication of SE0004487L publication Critical patent/SE0004487L/xx
Publication of SE521729C2 publication Critical patent/SE521729C2/sv

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/08Holders with means for regulating temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

30 35 2001-02-07 P:\4385005S .dOC MJ/AF Ãven om dessa kända enheter kan vara användbara till portabla tillämpningar, uppstår ett problem genom ineffek- tiv uppvärmning av resonatorn och den därav följande minsk- ningen av den användbara livslängden hos en batteriladd- ning.
Samanfattning av uppfinningen Det är därför ett syfte med uppfinningen att till- handahålla en ugnsstyrd kristallresonator som är avsedd för användning i en oscillator och som använder ugnsgenererad värme på ett effektivt sätt. Ett ytterligare syfte med upp- finningen är att tillhandahålla en infraröduppvärmd OCXO, vilken är effektiv så att dess förbrukning av matnings- batterier reduceras och deras användbara laddning utökas.
I en ugnsstyrd kristallresonator i enlighet med upp- finningen är resonatorn fastsatt på ett värmeledande sätt över ett värmeledande baselement, som i sin tur är fastsatt på ett värmeisolerande sätt över ett underlag. Baselementet är gjort av ett värmeledande material och innehåller ett eller flera värmeelement. Värmen från värmeelementen och det uppvärmda baselementet leds till resonatorn för att dess önskade temperatur ska uppnås, medan den isolerade strukturen med underlaget motverkar överflödig värmeför- lust. På detta sätt kan resonatorn hållas vid en förhöjd temperatur utan omàttlig förbrukning av batterienergi.
Ett hölje är i kontakt med underlaget och innesluter reso- natorn, baselementet samt de elektriska ledarna, vilka ansluter baselementet till ledare på underlaget. De elek- triska ledarna är gjorda av väldigt tunna ledningar för att begränsa värmeledning genom dessa. Pä så sätt begrän- sas värmeförluster från resonatorn.
Dessa och andra fördelar samt syften med uppfinningen kommer att framgå av den följande beskrivningen av flera utföringsformer av uppfinningen, såsom illustreras i rit- ningarna. 10 15 20 25 30 35 521 72%) 3 2001-02 07 P:\438S0O5S.d0C MJ/AF Kort beskrivning av ritningarna FIG. 1 är en tvärsnittsvy av en ugnsstyrd kristall- resonator i enlighet med uppfinningen; FIG. 2 är en horisontalsektionsvy av den ugnsstyrda kristallresonatorn i FIG. i FIG. l; 1 tagen längs med linjen 2-2 FIG. 3 är en tvärsnittsvy av en annan ugnsstyrd kristallresonator i enlighet med uppfinningen; FIG. 4 är en tvärsnittsvy av en kristallstyrd oscil- lator, vilken använder en ugnsstyrd kristallresonator i enlighet med uppfinningen; FIG. 5 är en tvärsnittsvy av en annan utformning av en kristallstyrd oscillator i enlighet med uppfinningen.
Detaljerad beskrivning Med hänvisning till FIG. 1 och 2 visas en ugnsstyrd kristallresonator 10, som utgörs av en vanlig kristallreso- nator 12, såsom en piezoelektrisk kristall 14. Kristallen 14 är gjord av ett material, vilket är välkänt och som har en plan konstruktion med elektroderna 16 och 18 på motsatta 22 av kristallen 14. Elektroderna 16, slutna till elektriskt ledande, styva klämmor 24, sidor 20, 18 är an- 26, leder värme bra, vilka i sin tur är fastsatta på ett bas- som element 28. Baselementet 28 är i sin tur fastsatt på ett underlag 30 med styva, icke-värmeledande isolatorer 32.1-3.
Baselementet 28 är format av ett bra värmeledande men elektriskt isolerande keramiskt material, såsom beryllium- oxid, aluminiumnitrid eller något annat liknande, lämpligt material. Det keramiska baselementet 28 kännetecknas av en väldigt låg temperaturgradient tvärs över planet, dvs ytan 34 hos baselementet 28.
Ett eller flera värmeelement 40 är fastsatta på det värmeledande baselementet 28 och är elektriskt °“^“utna till en kraftkälla via ledare 42.1 samt 42.2. Dessa ledare 42 är tillverkade med ett så litet tvärsnitt som möjligt, W 20 25 30 01 ba _.å \J BJ \C 2001-02-07 P:\43BS005S.doC MJ/ÅF sä att lite värme leds bort frän baselement 28 via ledare 42. Pà samma sätt ansluter ledare 44.1 samt 44.2 klämmorna 24 respektive 26 till lämpliga ledningsytor 46.1 och 46.2 pä underlaget 30. Ett hölje 48 omsluter kristallresonator- enheten 12 för att tillsammans med underlaget 30 bilda en sluten kammare, vilken kan fyllas med gas eller evakueras i enlighet med välkända tekniker, som används vid till- verkningen av kristalloscillatorer. En temperatursensor 49 är placerad på det uppvärmda baselementet 28 som en del av en konventionell styrkrets, vilken är kopplad till detta och till värmeelementen 40 för att reglera baselementets 28 temperatur.
Underlaget 30 kan vara gjort av keramik, metall eller annat lämpligt material. De dåligt värmeledande termiska isolationsstöden 32 kan vara gjorda av glas och är fast- smälta i underlaget 30 eller limmade fast i detta. Höljet 48 kan vara av metall och sluta tätt mot underlaget 30.
Klämmorna kan vara fästa pä det keramiska baselementet 28 med ett lämpligt värmeledande epoxymaterial.
Med en kristallresonator i enlighet med uppfinningen erhälls en betydlig förbättring av verkningsgraden p g a att ungefär 5% till 10% av värmen, som krävs för konven- tionella enheter, kan användas för att driva kristallreso- natorn vid den önskade temperaturen.
FIG. 3 illustrerar en kristallresonator 12, vilken liknar den i FIG. 1, men med ytorna 46 ersätta av ledare 50, som sträcker sig genom underlaget 30. En sådan struktur kan exempelvis användas för att ansluta kristalloscillatorn till en oscillatorkrets 52, vilken finns placerad under underlaget 30, säsom visas i FIG. 5. FIG. 4 illustrerar en kristalloscillatorenhet 56, vari en kristallresonator 12 enligt illustration i FIG. 1 visas, som i sin tur är . . . . ._# A* e 58, vilket aven innesiuter ei 3 oscillatorkrets 60 pä en utökad del 62 av underlaget 30. 10 en r~ ~ -a-.à ¶7 f _] CJ 2001-02-07 P:\438500SS .doC MJ/AF Temperaturkänsliga oscillatorkomponenter 49 kan även pla- ceras pà det uppvärmda baselementet 28 och kopplas till konventionella styrkretsar 64, som kan placeras pà segment- et 62. Kretsen 64 är i sin tur kopplad i syfte att driva värmeelementen 40 för att upprätta en önskad temperatur pà baselementet 28.
Efter beskrivning av flera utföringsformer i enlig- het med uppfinningen kan dess fördelar inses. Förändring- ar i ritningarna och beskrivningarna kan göras utan avvik- else fràn uppfinningens omfång, sàsom detta bestäms av de bifogade kraven. Exempelvis kan resonatorn 12 vara en ytakustisk vàgenhet, som är direkt bunden till det upp- värmda baselementet 28.

Claims (9)

W Ü 20 25 30 521 729 2001-02-07 P:\4385005S.doC MJ/AF PATENTKRAV
1. Ugnsstyrd resonatorenhet innefattande: ett underlag; ett värmeledande, elektriskt isolerande baselement, som har en yta med en làg temperaturgradientkarakteristik; baselementet stöds över underlaget av en màngfald av styva värmeisolerande stöd; ett värmeelement, som är fastsatt pà baselementet för att värma detta till en önskad temperatur och som sträcker sig i huvudsak jämnt över ytan för att tillhandahålla strälnings- och ledningsvärme frän nämnda baselementyta; en kristallresonator, vilken har anslutningar och en i huvudsak flat konstruktion; nämnda kristallresonator är fastsatt i huvudsak parallellt med ytan hos baselementet med värmeledande och elektriskt ledande komponenter, som sträcker sig frän baselementet till kristallresonatorn, varvid kristallresonatorn är placerad nära baselementet för att därigenom bli jämnt uppvärmd till en önskad temperatur; elektriska ledningar, vilka ansluter elektriska led- are, som finns pà underlaget, till elektriska ledare pà nämnda baselement; nämnda elektriska ledningar är dimen- sionerade för att begränsa värmeledning genom dessa; och ett hölje, vilket omsluter nämnda kristallresonator samt nämnda baselement och nämnda elektriska ledningar för att med nämnda underlag bilda en sluten kammare; varvid nämnda kristallresonator kan bli jämnt upp- värmd till nämnda önskade temperatur på ett effektivt sätt med liten värmeförlust.
2. Ugnsstyrd resonatorenhet enligt krav l, vari nämnda stöd utgörs av glasstavar, som är fastsmälta i nämnda underlag och nämnda värmeledande, elektriskt iso- lerande baselement. 10 20 25 30 35 521 729 7 2001 02f07 P:\4385005S.dOC MJ/AF
3. Ugnsstyrd resonator enligt krav l, vari nämnda stöd utgörs av glasstavar, vilka är limmade till nämnda underlag och nämnda baselement.
4. Ugnsstyrd resonator enligt krav l, vari nämnda värmeelement är ett infrarödutstrålande element, som är operativt riktat mot nämnda kristallresonator för att värma denna med infraröd strålning och att värma nämnda basele- ment genom värmeledning från nämnda infrarödutstrålande element.
5. Ugnsstyrd resonator enligt krav 4, vari nämnda infrarödutstrålande element innefattar en infrarödutstràl- ande diod, vilken är riktad att sända infraröd strålning mot nämnda kristallresonator.
6. Ugnsstyrd resonator enligt krav l, vidare inne- fattande kretsmedel, som är fastsatt pà nämnda baselement för att styra emissionen av nämnda strålning fràn nämnda yta samt nämnda värmeledning för att upprätthålla nämnda önskade temperatur hos kristallresonatorn.
7. Ugnsstyrd resonator enligt krav 1, vari utrymmet, vilket är omslutet av höljet och underlaget, är under vakuum.
8. Ugnsstyrd resonator enligt krav 1, vidare inne- fattande en temperatursensor, som är operativt placerad pà baselementet, samt kretsmedel, vilket är anslutet till detta och till nämnda värmeelement för att reglera den däri producerade värmen och upprätta nämnda önskade temperatur hos nämnda baselement.
9. Ugnsstyrd oscillator inbegripande: ett underlag; 10 20 25 30 35 5:21 21:29 j - _ . i L zooi-oz-ov P=\43a5oo5s.d@c MJ/AF 1 ; ; 3 I i *i ' ett värmeledande, elektriskt isolerande baselement, som har en yta med en làg temperaturgradientkarakteristik; baselementet stöds över underlaget av en mångfald av styva värmeisolerande stöd; ett värmeelement, vilket är fastsatt pà baselement- et för att värma det till en önskad temperatur, och som sträcker sig i huvudsak jämnt över ytan för att tillhanda- hälla stràlnings- och ledningsvärme fràn nämnda baselement- yta; en temperatursensor är fastsatt pà nämnda baselement; en kristallresonator, vilken har anslutningar och en i huvudsak flat konstruktion; nämnda kristallresonator är fastsatt i huvudsak parallellt med ytan hos baselementet med värmeledande och elektriskt ledande komponenter, som sträcker sig från baselementet till kristallresonatorn, varvid kristallresonatorn är placerad nära baselementet för att därigenom bli jämnt uppvärmd till en önskad temperatur; elektriska ledningar, vilka ansluter elektriska ledare, som finns pä underlaget, till elektriska ledare pà nämnda baselement; nämnda elektriska ledningar är anslutna till nämnda värmeelement och nämnda temperatursensor; nämnda elektriska ledare är dimensionerade för att begränsa värmeledning genom dessa; en oscillatorkrets och en temperaturstyrningskrets, vilka är fastsatta pà nämnda underlag och elektriskt an- slutna till nämnda elektriska ledningar för att upprätt- hälla nämnda önskade temperatur pà nämnda baselement; täckmedel, vilket innesluter nämnda kristallresonator och nämnda baselement, nämnda elektriska ledare samt nämnda oscillatorkrets för att med nämnda underlag bilda en sluten kammare; varvid nämnda kristalloscillator kan drivas vid en exakt styrd frekvens under en läng tid fràn en batteri- källa genom att värma resonatoin jämn ill nämnda önskade tt temperatur pà ett effektivt sätt med liten värmeförlust.
SE0004487A 1998-06-11 2000-12-06 Ugnsuppvärmd kristallresonator och oscillatorenhet SE521729C2 (sv)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/096,026 US5917272A (en) 1998-06-11 1998-06-11 Oven-heated crystal resonator and oscillator assembly
PCT/US1999/012101 WO1999065087A1 (en) 1998-06-11 1999-06-01 Oven-heated crystal resonator and oscillator assembly

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE0004487D0 SE0004487D0 (sv) 2000-12-06
SE0004487L SE0004487L (sv) 2001-02-08
SE521729C2 true SE521729C2 (sv) 2003-12-02

Family

ID=22254774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0004487A SE521729C2 (sv) 1998-06-11 2000-12-06 Ugnsuppvärmd kristallresonator och oscillatorenhet

Country Status (10)

Country Link
US (1) US5917272A (sv)
JP (1) JP3284469B2 (sv)
AT (1) AT410497B (sv)
AU (1) AU4324699A (sv)
CH (1) CH691247A5 (sv)
DE (1) DE19983298B4 (sv)
GB (1) GB2353634B (sv)
IL (1) IL139837A (sv)
SE (1) SE521729C2 (sv)
WO (1) WO1999065087A1 (sv)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5994679A (en) * 1997-12-19 1999-11-30 Lucent Technologies Inc. Thermal housing for optical circuits
EP0969591B1 (en) * 1998-01-20 2006-10-18 Toyo Communication Equipment Co. Ltd. Piezo-oscillator
US6060692A (en) * 1998-09-02 2000-05-09 Cts Corporation Low power compact heater for piezoelectric device
US6133674A (en) * 1998-10-27 2000-10-17 Cts Low profile integrated oscillator having a stepped cavity
US6215862B1 (en) * 1998-12-21 2001-04-10 Lucent Technologies Inc. Automated time synchronization of peripheral devices using a telephone
US6144013A (en) * 1999-07-01 2000-11-07 International Business Machines Corporation Local humidity control system for low temperature electronic module
US6236145B1 (en) * 2000-02-29 2001-05-22 Cts Corporation High thermal resistivity crystal resonator support structure and oscillator package
US6621361B1 (en) * 2000-10-17 2003-09-16 Cts Corporation Dual oven oscillator using a thermoelectric module
US6731180B1 (en) 2000-10-20 2004-05-04 Deleware Capital Formation Inc. Evacuated hybrid ovenized oscillator
US6606009B2 (en) 2001-03-08 2003-08-12 Schlumberger Technology Corporation Self-compensating ovenized clock adapted for wellbore applications
US6486440B1 (en) * 2001-07-09 2002-11-26 Jds Uniphase Corporation Redundant package for optical components
US6664511B2 (en) 2001-07-09 2003-12-16 Jds Uniphase Corporation Package for optical components
US20030112710A1 (en) * 2001-12-18 2003-06-19 Eidson John C. Reducing thermal drift in electronic components
US6559728B1 (en) 2001-12-19 2003-05-06 Cts Corporation Miniature ovenized crystal oscillator
US6784756B2 (en) * 2001-12-21 2004-08-31 Corning Incorporated On-board processor compensated oven controlled crystal oscillator
JP2003287631A (ja) * 2002-01-24 2003-10-10 Ibiden Co Ltd 導波路型光モジュールおよびその温調部品ならびに温調素子
TW200302363A (en) * 2002-01-24 2003-08-01 Ibiden Co Ltd Temperature control element, temperature control component, and waveguide optical module
US6697553B2 (en) 2002-02-15 2004-02-24 Jds Uniphase Corporation Compact, low insertion loss, high yield arrayed waveguide grating
WO2004004117A2 (en) * 2002-06-28 2004-01-08 Vectron International Low profile temperature-compensated low-stress crystal mount structure
US7116182B2 (en) * 2003-06-03 2006-10-03 Halliburton Energy Services, Inc. Method and system for downhole clock having compensation
WO2005020288A2 (en) * 2003-08-19 2005-03-03 Vectron International Multiple cavity/compartment package
US6998587B2 (en) * 2003-12-18 2006-02-14 Intel Corporation Apparatus and method for heating micro-components mounted on a substrate
US7113051B2 (en) * 2004-01-07 2006-09-26 Schlumberger Technology Corporation Frequency characterization of quartz crystals
US7345552B2 (en) 2004-05-19 2008-03-18 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Constant temperature type crystal oscillator
JP4499478B2 (ja) * 2004-05-27 2010-07-07 日本電波工業株式会社 表面実装用の水晶振動子を用いた恒温型の水晶発振器
TWM264748U (en) * 2004-06-08 2005-05-11 Midas Wei Trading Co Ltd Improved piezoelectric transformer carrier
JP4354347B2 (ja) 2004-06-29 2009-10-28 日本電波工業株式会社 水晶発振器
DE602005027217D1 (de) * 2004-07-13 2011-05-12 Draper Lab Charles S Vorrichtung zum aussetzen einer vorrichtung in chipgrösse und einem atomuhrensystem
US20060022556A1 (en) * 2004-07-29 2006-02-02 Bail David L Quartz resonator package having a housing with thermally coupled internal heating element
JP2006093893A (ja) 2004-09-21 2006-04-06 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器及び水晶発振器に於ける保温方法
CN101589543B (zh) * 2005-05-18 2012-10-31 科隆科技公司 微机电换能器
WO2007015219A2 (en) * 2005-08-03 2007-02-08 Kolo Technologies, Inc. Micro-electro-mechanical transducer having a surface plate
CN101517496B (zh) * 2006-08-22 2013-06-05 丛林网络公司 封装外壳内印刷电路板上安装的电子元件的热稳定的设备和方法
US7649426B2 (en) * 2006-09-12 2010-01-19 Cts Corporation Apparatus and method for temperature compensation of crystal oscillators
US20080224786A1 (en) * 2007-03-13 2008-09-18 Stolpman James L Apparatus and method for temperature compensating an ovenized oscillator
US8049326B2 (en) * 2007-06-07 2011-11-01 The Regents Of The University Of Michigan Environment-resistant module, micropackage and methods of manufacturing same
US10266392B2 (en) 2007-06-07 2019-04-23 E-Pack, Inc. Environment-resistant module, micropackage and methods of manufacturing same
US7782147B2 (en) * 2007-06-20 2010-08-24 Motorola, Inc. Apparatus for providing oscillator frequency stability
GB2455918B (en) 2007-06-27 2010-07-07 Fluke Corp Method of providing a thermally stabilized fixed frequency piezoelectric optical modulator
US20090051447A1 (en) * 2007-08-24 2009-02-26 Mccracken Jeffrey A Ovenized oscillator
US7821346B2 (en) * 2007-08-24 2010-10-26 Cts Corporation Ovenized oscillator
JP2009188633A (ja) * 2008-02-05 2009-08-20 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装発振器
US8022777B2 (en) * 2008-02-28 2011-09-20 Cts Corporation Ovenized crystal oscillator assembly
US8035454B2 (en) * 2009-03-09 2011-10-11 Micro Crystal Ag Oscillator device comprising a thermally-controlled piezoelectric resonator
ATE534191T1 (de) * 2009-03-09 2011-12-15 Micro Crystal Ag Oszillatorvorrichtung, die einen wärmegesteuerten piezoeletrischen quarz umfasst
JP5387842B2 (ja) * 2009-05-14 2014-01-15 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
KR101655302B1 (ko) * 2009-09-22 2016-09-07 삼성전자주식회사 표면 탄성파 센서 시스템
JP5020340B2 (ja) * 2010-02-05 2012-09-05 日本電波工業株式会社 表面実装用とした恒温型の水晶発振器
EP2695188A4 (en) * 2011-04-01 2014-10-15 Services Petroliers Schlumberger PACKAGING HIGH DENSITY MICROELECTRONIC EQUIPMENT
CN104040725B (zh) 2011-08-17 2017-08-22 公共服务解决方案公司 用于成像系统的无源检测器
US8922302B2 (en) 2011-08-24 2014-12-30 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator formed on a pedestal
EP2568496A3 (en) * 2011-09-09 2017-12-06 Assa Abloy Ab Method and apparatus for maintaining operational temperature of an integrated circuit
ITTO20111100A1 (it) * 2011-11-30 2013-05-31 St Microelectronics Srl Dispositivo oscillatore e procedimento di fabbricazione dello stesso
US9667218B2 (en) 2012-01-30 2017-05-30 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Temperature controlled acoustic resonator comprising feedback circuit
US9154103B2 (en) 2012-01-30 2015-10-06 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Temperature controlled acoustic resonator
US9608592B2 (en) 2014-01-21 2017-03-28 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic wave resonator (FBAR) having stress-relief
US9667220B2 (en) 2012-01-30 2017-05-30 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Temperature controlled acoustic resonator comprising heater and sense resistors
JP6118091B2 (ja) * 2012-12-10 2017-04-19 日本電波工業株式会社 発振装置
JP2014197730A (ja) 2013-03-29 2014-10-16 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器、移動体
JP6191220B2 (ja) * 2013-04-25 2017-09-06 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および移動体
JP2015033065A (ja) * 2013-08-06 2015-02-16 日本電波工業株式会社 水晶振動子及び水晶発振器
JP6349722B2 (ja) * 2013-12-25 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器、および移動体
JP6376330B2 (ja) * 2014-03-25 2018-08-22 セイコーエプソン株式会社 電子部品、電子機器および移動体
JP6442899B2 (ja) * 2014-07-30 2018-12-26 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器、および移動体
US10732652B2 (en) * 2015-10-26 2020-08-04 Micro Inertial Llc System and method for ovenized device temperature control
US10185335B2 (en) 2015-10-27 2019-01-22 Eviga Systems, Inc. System and method for ovenized device temperature control
US20180131324A1 (en) * 2016-08-15 2018-05-10 Bliley Technologies, Inc. High-Efficiency Ovenized Oscillator
CN109827570B (zh) * 2019-02-22 2021-08-31 上海戴世智能科技有限公司 惯性测量模块
US11588470B2 (en) * 2020-02-18 2023-02-21 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package structure and method of manufacturing the same

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB698076A (en) * 1949-08-05 1953-10-07 Pye Ltd Improvements in or relating to thermostatically controlled quartz crystals
US2952786A (en) * 1957-04-12 1960-09-13 Minnesota Mining & Mfg Temperature compensated crystal device
US3382452A (en) * 1965-04-15 1968-05-07 Varian Associates Frequency stabilization apparatus
US3431392A (en) * 1967-01-13 1969-03-04 Hughes Aircraft Co Internally heated crystal devices
US3619806A (en) * 1969-11-21 1971-11-09 Us Navy Temperature-controlled crystal oscillator
US3715653A (en) * 1971-01-04 1973-02-06 Schlumberger Technology Corp Well logging methods and apparatus for converting spatial derivative measurements to time derivative measurements
US3715563A (en) * 1971-04-19 1973-02-06 Frequency Electronics Inc Contact heaters for quartz crystals in evacuated enclosures
US4259606A (en) * 1979-05-25 1981-03-31 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Fast warm-up oven controlled piezoelectric oscillator
FR2462055A1 (fr) * 1979-07-18 1981-02-06 France Etat Oscillateur haute frequence autothermostate
US4396892A (en) * 1981-01-21 1983-08-02 Rockwell International Corporation Accelerated warm-up crystal oven
SU980251A1 (ru) * 1981-07-10 1982-12-07 Предприятие П/Я Г-4149 Прецизионный кварцевый резонатор
JPS59168713A (ja) * 1983-03-14 1984-09-22 Fujitsu Ltd 温度補償形振動子
FR2553538B1 (fr) * 1983-10-18 1985-12-27 Cepe Procede et dispositif permettant le reglage du chauffage d'une enceinte thermostatee d'un oscillateur notamment a quartz
US4586006A (en) * 1984-06-25 1986-04-29 Frequency And Time Systems, Inc. Crystal oscillator assembly
US4627533A (en) * 1984-10-29 1986-12-09 Hughes Aircraft Company Ceramic package for compensated crystal oscillator
US4748367A (en) * 1985-05-28 1988-05-31 Frequency Electronics, Inc. Contact heater for piezoelectric effect resonator crystal
US4845337A (en) * 1988-02-02 1989-07-04 Eg&G, Inc. Ovenized oscillator assembly
US4839613A (en) * 1988-05-31 1989-06-13 Austron, Inc. Temperature compensation for a disciplined frequency standard
FR2633465B1 (fr) * 1988-06-24 1993-09-10 Cepe Oscillateur ultrastable fonctionnant a pression atmospherique et sous vide
US5004987A (en) * 1989-05-19 1991-04-02 Piezo Crystal Company Temperature compensated crystal resonator found in a dual-mode oscillator
US5041800A (en) * 1989-05-19 1991-08-20 Ppa Industries, Inc. Lower power oscillator with heated resonator (S), with dual mode or other temperature sensing, possibly with an insulative support structure disposed between the resonator (S) and a resonator enclosure
US4985687A (en) * 1990-02-27 1991-01-15 Ppa Industries, Inc. Low power temperature-controlled frequency-stabilized oscillator
JPH0468903A (ja) * 1990-07-07 1992-03-04 Asahi Denpa Kk 温度検知機能を有する発振器および水晶発振素子並びに温度検出方法
US5180942A (en) * 1992-02-14 1993-01-19 Motorola, Inc. Thermally isolated ovenized crystal oscillator
FR2688954B1 (fr) * 1992-03-17 1994-06-17 Ecole Nale Sup Artes Metiers Resonateur pour oscillateur thermostate a faible consommation et chauffage rapide.
US5438219A (en) * 1993-11-30 1995-08-01 Motorola, Inc. Double-sided oscillator package and method of coupling components thereto
JP3579842B2 (ja) * 1994-10-21 2004-10-20 株式会社ケンウッド 非常用位置指示無線標識
US5656189A (en) * 1994-12-02 1997-08-12 Efratom Time And Frequency Products, Inc. Heater controller for atomic frequency standards
US5500628A (en) * 1995-01-24 1996-03-19 Motorola, Inc. Double-sided oscillator package and method of coupling components thereto
US5530408A (en) * 1995-05-25 1996-06-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of making an oven controlled crystal oscillator the frequency of which remains ultrastable under temperature variations
GB2302446B (en) * 1995-06-17 1999-04-21 Motorola Israel Ltd Ovenized crystal assembly.
US5659270A (en) * 1996-05-16 1997-08-19 Motorola, Inc. Apparatus and method for a temperature-controlled frequency source using a programmable IC
US5729181A (en) * 1996-08-23 1998-03-17 Hewlett-Packard Company High thermal gain oven with reduced probability of temperature gradient formation for the operation of a thermally stable oscillator

Also Published As

Publication number Publication date
US5917272A (en) 1999-06-29
GB2353634A (en) 2001-02-28
DE19983298T1 (de) 2001-08-30
CH691247A5 (it) 2001-05-31
ATA903699A (de) 2002-09-15
WO1999065087A1 (en) 1999-12-16
JP3284469B2 (ja) 2002-05-20
GB2353634B (en) 2002-08-28
GB2353634A8 (en) 2001-06-04
GB0029527D0 (en) 2001-01-17
IL139837A (en) 2004-02-19
SE0004487L (sv) 2001-02-08
IL139837A0 (en) 2002-02-10
AT410497B (de) 2003-05-26
AU4324699A (en) 1999-12-30
JP2001500715A (ja) 2001-01-16
SE0004487D0 (sv) 2000-12-06
DE19983298B4 (de) 2007-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE521729C2 (sv) Ugnsuppvärmd kristallresonator och oscillatorenhet
US6875962B2 (en) Electric heating system for a motor vehicle
US7732917B2 (en) Power module
JP5271487B2 (ja) 電力変換装置
JP7022901B2 (ja) 半導体レーザ装置
CN1700589A (zh) 恒温型晶体振荡器
US20020162338A1 (en) Laser module, peltier module, and peltier module integrated heat spreader
KR20190110376A (ko) 양면냉각형 파워 모듈 및 그의 제조 방법
JP7273055B2 (ja) 半導体装置
JP7204779B2 (ja) 半導体装置
JP2010157645A (ja) 熱電発電ユニット
CN102187456A (zh) 半导体装置的冷却结构及具备该冷却结构的电力变换装置
KR20020019786A (ko) 온도센서가 일체형으로 부착된 열전 모듈.
JP2005341191A (ja) 表面実装用の水晶振動子を用いた恒温型の水晶発振器
WO2016147345A1 (ja) 電源モジュールおよびそれを用いたエアコンディショナ室外機
KR200235499Y1 (ko) 정 특성 서미스터 소자를 이용한 히터
JP2002164585A (ja) 熱電変換モジュール
RU167515U1 (ru) Кварцевый резонатор-термостат
CN106898945A (zh) 一种可实现波长稳定的高功率半导体激光器封装结构
JP2014090391A (ja) 恒温槽付水晶発振器
JP2800207B2 (ja) 正特性サーミスタ発熱体
CN220156493U (zh) 一种石英晶体振荡器结构
JP3219722U (ja) ヒータ
JP2001518722A (ja) 半導体レーザーダイオードバー組立体
JPH10294618A (ja) 恒温構造を有する高安定水晶発振器

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed