SA111320649B1 - مادة مطلية لها طبقة بذر أساسها أكسيد زنك مُشاب ببورون ذات متانة محسنة تحت طبقة وظيفية وطريقة لتصنيعها - Google Patents
مادة مطلية لها طبقة بذر أساسها أكسيد زنك مُشاب ببورون ذات متانة محسنة تحت طبقة وظيفية وطريقة لتصنيعها Download PDFInfo
- Publication number
- SA111320649B1 SA111320649B1 SA111320649A SA111320649A SA111320649B1 SA 111320649 B1 SA111320649 B1 SA 111320649B1 SA 111320649 A SA111320649 A SA 111320649A SA 111320649 A SA111320649 A SA 111320649A SA 111320649 B1 SA111320649 B1 SA 111320649B1
- Authority
- SA
- Saudi Arabia
- Prior art keywords
- layer
- boron
- doped
- gallium
- coating
- Prior art date
Links
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 102
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 102
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 146
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 title claims description 69
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 title abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 57
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 47
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 45
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 45
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 claims abstract description 22
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 22
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 7
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-IGMARMGPSA-N boron-11 atom Chemical compound [11B] ZOXJGFHDIHLPTG-IGMARMGPSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 257
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 abstract description 5
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical group [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 8
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 4
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 4
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- UVGLBOPDEUYYCS-UHFFFAOYSA-N silicon zirconium Chemical compound [Si].[Zr] UVGLBOPDEUYYCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 235000008001 rakum palm Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000125205 Anethum Species 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001263809 Roombia Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003087 TiOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-OUBTZVSYSA-N gallium-71 Chemical compound [71Ga] GYHNNYVSQQEPJS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- -1 oxy zirconium oxide Chemical compound 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N tioxidazole Chemical compound CCCOC1=CC=C2N=C(NC(=O)OC)SC2=C1 HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical group [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3613—Coatings of type glass/inorganic compound/metal/inorganic compound/metal/other
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/584—Non-reactive treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
الملخص: يتعلق الاختراع بتوفير مادة مطلية coated article ذات طبقة وظيفية واحدة على الأقل، مثل طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer من أو تتضمن الفضة silver و/ أو الذهب gold . ويتم تزويد طبقة بذر عازلة كهربيا وشفافة dielectric and substantially إلى حد كبير تحت وتلامس مباشرة الطبقة الوظيفية functional layer . في نماذج تمثيلية معينة، تشتمل طبقة البذر على oxide من zinc وboron لزيادة صلابة الطبقة، وبالتالي تحسين متانة الطلاء ككل. وقد تشتمل طبقة البذر كذلك على aluminum و / أو gallium ، لتحسين الخصائص الكهربائية و / أو تخفيض الإجهاد في الطلاء الناتج. ويمكن وضع طبقة البذر بواسطة هدف معدني إلى حد كبير في وجود oxygen في أمثلة معينة.
Description
لا مادة مطلية لها طبقة بذر أساسها أكسيد زنك مُشاب ببورون ذات متانة محسنة تحت طبقة وظيفية وطريقة لتصنيعها Coated article having boron doped zinc oxide based seed layer with enhanced durability under functional layer and method of making the same الوصف الكامل خلفية الاختراع الطلاءات متخفضة الانبعاثية معروفة في الفن. وتشتمل الطلاءات منخفضة الانبعاثية عادة على طبقة وظيفية واحدة على الأقل مثل طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer وقد تكون الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء cinfrared reflecting (IR) layers أو © الطبقة الوظيفية؛ أو يكون أساسها الفضة silver أو الذهب gold في حالات نمطية. وتستخدم الطلاءات منخفضة الاتبعاثية عادة في تطبيقات النوافذ Jie في وحدات نوافذ 16 (الزجاج العازل) IG (insulating glass) window units » التوافذ على شكل قطعة واحدة؛ والنوافذ المعمارية؛ و / أو نوافذ السيارات. وغالبا ما تستخدم الطبقات الرقيقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) Tayer(s) ٠ (على سبيل المثال؛ أساسها الفضة silver ) لتعكس الأشعة تحت الحمراء. هذه الطبقات التى أساسها الفضة silver تكون عرضة للضرر؛ وعموما تتطلب طبقات واقية من كلا الجانيين لحمايتها. والطبقة التي تقع مباشرة تحت وتلامس طبقة الفضة silver التي تعكس الأشعة تحت الحمرا م18 infrared reflecting (IR) تكون في بعض الحالات من zine oxide ؛ ويمكن أن يشار إليها بطبقة البذر. هذه الطبقة التي أساسها zine oxide يمكن أن نُشاب بالالومنيوم doped with aluminum ٠
دسم ومع ذلك فإن الطبقة التي أساسها 200 قد تكون لينة نسبياء وهو ما ينتج عنه نقص في المتانة الكيميائية والميكانيكية ALY chemical and mechanical durability للطبقة والطلاء. أيضاء يمكن للطبقة التي أساسها 700 وغير مُشابة؛ أو طبقة أساسها 700/1 ومُشابة أن يحدث لها إجهاد في رصة منخفضة الانبعاثية low E-stack . وهذا يمكن أن يؤدي إلى تكوين بقع ضعيفة؛ © ويسهم في متانة ضعيفة عموماء بما في ذلك JST الطلاء. يمكن أن تصبح الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء؛ تالفة كيميائيا و / أو ميكانيكيا «chemically and/or mechanically وذلك بسبب مثل هذا الإجهاد في الطبقة التي أساسها ZnO:AL ويمكن أن يصبح إجهاد الطلاء مشكلة خاصة أثناء أو نتيجة للتطبيع الحراري؛ عندما تسخن الركيزة الزجاجية glass substrate مع الطلاء الموجود عليها إلى درجة حرارة عالية (على سبيل المثال؛ ما لا يقل عن 080 درجة مئوية)؛ ثم يتم ٠ تبريدها بسرعة. وبالتالي» فإن هناك حاجة في الفن لوجود مادة مطلية لها طبقة؛ ليتم وضعها بجوار أو بالقرب من (على سبيل المثال» تحت) طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer و أو طبقة أساسها الفضة silver ؛ وهو ما يمكن المادة المطلية من تحقيق متانة و / أو خصائص ضوئية محسنة. ١ الوصف العام للاختراع في نماذج تمثيلية Ame من هذا الاختراع؛ يتم توفير مادة مطلية coated article تتضمن طلاءا مدعما بواسطة ركيزة زجاجية cglass substrate ويشتمل الطلاء على الأقل على الطبقات aul بالابتعاد عن الركيزة الزجاجية dada: glass substrate عازلة كهربيا تشتمل على zinc oxide مُشاب ب boron وواحد على الأقل من gallium و / أو ا لألومنيوم ٠ طبقة تعكس الأشعة تحت ٠٠ الحمراء reflecting (IR) layer 41 تشتمل على الفضة silver و / أو الذهب gold
موضوعة على الركيزة وتلامس مباشرة الطبقة التي تشتمل على zine oxide المُشاب ب boron وطبقة عازلة كهربيا على الركيزة فوق الطبقة الواحد على الأقل التي تعكس الأشعة تحت الحمراء؛ وحيث تشتمل الطبقة المشتملة على zine oxide المُشاب ب boron من حوالي ٠.0٠ إلى / 7 بورون. ويمكن أن تسمى الطبقة التي تشتمل على boron s zine بطبقة "بذر" لأنها تكون مباشرة © تحت وتلامس الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer و | أو الطبقة التي تشتمل على الفضة silver وفي نماذج مثال آخر من هذا الاختراع؛ يتم توفير مادة مطلية coated article تتضمن طلاءا مدعم بواسط ركيزة؛ ويشتمل الطلاء على الأقل على الطبقات التالية بالابتعاد عن الركيزة : طبقة بذر شفافة إلى حد كبير تشتمل على مادة أولى ومادة (dill حيث يكون لطبقة البذر العازلة كهربيا ٠ صلابة حوالى 9 جيجا باسكال على الأقل؛ طبقة تشتمل على الفضة silver موضوعة على الركيزة فوق وتلامس مباشرة طبقة البذر؛ طبقة عازلة كهربيا واحدة على الأقل فوق الطبقة المشتملة على الفضة silver الواحدة على الأقل؛ حيث تكون المادة الأولى هي معدن؛ ويتم استخدام المادة الثانية لإشابة oxide المادة الأولى في طبقة البذر. ويمكن أو لا يمكن معالجة sald) المطلية حراريا (على سبيل المثال» تطبيعها حراريا). ويمكن أن تكون المادة الثانية هى boron في نماذج ٠ تمثيلية معينة؛ وإن كان من الممكن استخدام sala أخرى aluminum of | gallium Jie بدلا من ذلك. في نموذج مثال آخر على هذا الاختراع؛ يتم توفير طريقة لصنع مادة مطلية coated article « والطريقة تشتمل على خطوات الترسيب عن طريق الطلاء بالرشرشة الكاتودية sputtering target من هدف معدني إلى حد كبير لطبقة عازلة كهربيا تشتمل على boron zine oxide على ركيزة ٠ (جاجية substrate 5 فوق طبقة عازلة كهربيا واحدة على الأقل» حيث يشتمل الهدف المعدتي
اج إلى حد كبير على ما لا يقل عن حوالى AS 7 زنك وحوالي ١,0٠ حتي A 7 بورون» والترسيب عن طريق الطلاء بالرشرشة الكاثودية sputtering target لطبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء reflecting (IR) layer 10 تشتمل على الفضة silver و | أو الذهب gold على الركيزة الزجاجية glass substrate 358( وتلامس مباشرة الطبقة المشتملة على zine oxide مُشاب ب
boron ° . في نموذج مثال آخر أيضا من هذا الاختراع» يتم توفير هدف للطلاء بالرشرشة الكاثودية sputtering target للترسيب عن طريق الطلاء بالرشرشة الكاثودية sputtering target لطبقة عازلة كهربيا تشتمل على zine oxide مُشاب ب boron ؛ حيث يكون الهدف معدنيا إلى حد كبيرء
ويشتمل على ما لا يقل عن حوالي LAS من عتند ومن حوالي ٠.07 إلى © من boron ٠ في تموذج مثال AT أيضا من هذا الاختراع؛ يتم توفير طريقة لصنع مادة مطلية article 0284660 والطريقة تشتمل على خطوات الترسيب عن طريق الطلاء بالرشرشة الكاتودية sputtering target لطبقة عازلة كهربيا dielectric layer تشتمل على zine oxide مُشاب ب boron على ركيزة زجاجية glass substrate فوق طبقة عازلة كهربيا واحدة على الأقل ؛» حيث يتم ترسيب الطبقة المشتملة على zine oxide المُشاب ب boron في جو بثق يشتمل على ما لا يقل عن 5٠ 7 oxygen ٠ ¢ والترسيب عن طريق الطلاء بالرشرشة الكاثودية sputtering target لطبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared (IR) reflecting layer تشتمل على الفضة silver و / أو الذهب gold على الركيزة الزجاجية glass substrate فوق وتلامس مباشرة الطبقة المشتملة على oxide zinc المُشاب ب boron .
شرح مختصر للرسومات الشكل ١ منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية coated article وفقا لنموذج مثال أول من هذا الاختراع. الشكل ؟ منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية وفقا لنموذج مثال ثان من هذا الاختراع. © الشكل ؟ منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية وفقا لنموذج مثال ثالث من هذا الاختراع. الشكل £ منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية وفقا لنموذج مثال رابع من هذا الاختراع. الشكل © منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية وفقا لنموذج مثال خامس من هذا الاختراع. الشكل ١ منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية وفقا لنموذج مثال سادس من هذا الاختراع. الشكل V منظر لمقطع عرضي لمادة مطلية وفقا لنموذج مثال سابع من هذا الاختراع. ٠ الوصف التفصيلي بالرجوع الآن بشكل خاص أكثر إلى الرسومات المرفقة والتي بها مثل تشير الأرقام المرجعية المتماثلة إلى أجزاء أو طبقات متماثلة في جميع أنحاء المناظر المختلفة. قد (Say استخدام المواد المطلية هنا في تطبيقات المواد المطلية Jie الطلاءات منخفضة الاتبعاثية للنوافذ التي على كل قطعة واحدة» و وحدات نوافذ «IG window units ونوافذ المركبات vehicle windows ٠6 و | أو أي تطبيق آخر مناسب يشتمل على ركيزة واحدة أو ركائز متعددة مثل ركائز Jie zal مرشح لجهاز الكتروني filter for an electronic device .
0 تتعلق نماذج معينة من هذا الاختراع بمادة مطلية coated article والتي تشتمل على ركيزة واحدة على الأقل Je) سبيل المثال؛ ركيزة زجاج (glass substrate تدعم طلاء متعدد الطبقات. والطلاء يكون له عادة ما لا يقل عن طبقة وظيفية واحدة Jie طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer والتي تعكس و | أو تحجب على الأقل بعض الأشعة تحت الحمراء. وقد © تكون الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء أو تشتمل على مادة مثل الفضة silver ؛ أو الذهب gold ؛ أو ما شابه ذلك في نماذج مختلفة من هذا الاختراع. وغالباء تكون الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء للطلاء منخفض الاتبعاثية منحصرة على الأقل بين الطبقتين الأولى والثانية العازلتين كهربيا من الطلاء. والطبقة السفلى» وغالبا ما تكون طبقة عازلة كهربياء توجد مباشرة تحت وتلامس طبقة وظيفية (على سبيل المثال» طبقة تشتمل على الفضة (silver قد ٠ بشار اليها بطبقة البذر. وعادة ما تكون الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء وطبقة البذر شفافة للضوء المري بدرجة كبيرة (على سبيل المثالء ما لا يقل عن حوالي BEE 7 Te ويفضل أكثر ما لا يقل عن حوالي 64 7 شفافية؛ ويفضل أكثر أيضا ما لا يقل عن حوالي on 7 شفافية؛ والأكثر تفضيلا ما لا يقل عن حوالى 6١0 7 أو ve 7 شفافية). في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع» وجد على نحو مثير للدهشة أن توفير طبقة تتكون ٠ أساسا cow أو تشتمل على oxide من Lik zine ب boron كطبقة البذر في مثل الطلاء الذي يحسن بشكل غير متوقع المتانة الفيزيائية والكيميائية للطلاء بالطريقة التي لا تدهور بشكل ملحوظ الخصائص الكهربائية الأخرى للمادة المطلية؛ أو خصائصها البصرية مثل الانتقال المرئي visible transmission و / أو الذون. ويمكن تزويد واحدة أو أكثر من طبقات البذر هذه التي أساسها أوكسيد زنك doped zine oxide based alii ب boron في طلاء معين في نماذج مختلفة من هذا ٠ الاختراع. وفي أي نموذج تتم مناقشته هناء قد تشتمل طبقة البذر التي أساسها أوكسيد زنك مُشاب boron doped zinc oxide based أيضا على مواد أخرى تستعمل كعامل إشابة؛ aluminum Jie
م - و / أو gallium . وعلاوة على ذلك؛ ويمكن تزويد الطبقة التي أساسها أوكسيد زنك doped Lis zinc oxide based ب boron في أي نوع من طلاءات السيطرة الشمسية أو منخفضة الانبعاتثية في نماذج مختلفة من هذا الاختراع» وتكون الطلاءات النوعية منخفضة الانبعاثية الموصوفة هنا هي لأغراض المثال فقط إلا إذا ذكرت في عنصر الحماية. في الأشكال؛ يشار إلى طبقات المثال من © أو التي تتضمن zine oxide المُشاب ب boron بالأرقام المرجعية ١ و 1. ويشتمل طلاء نموذجي أساسه الفضة silver على طبقة وظيفية رقيقة واحدة على الأقل أساسها الفضة silver تحميها طبقة شفافة واحدة على الأقل على كل جانب. الطبقة التي أساسها الفضة silver (9؛ 4‘( تكون معدنية بشكل كبير أو معدنية في نماذج تمثيلية معينةة. في بعض الحالات؛ يتم ترسيب الطبقة التي أساسها الفضة silver )64 4') طبقة بذر Ale كهربيا شفافة بدرجة كبيرة (VV) والتي ٠ يمكن أن تتضمن أو تتكون أساسا من oxide من boron s (Zn) zine (8)؛ فضلا عن مواد إشابة أخرى (Al) aluminum Jie و | أو (GA) gallium وفي نماذج تمثيلية معينةة؛ قد تشتمل طبقة البذر على zine oxide ؛ مع اتجاه بلوري معين في حالات ماثل معينة؛ لضمان أن الطبقة لها الأداء الكهربائي والضوئي الأمتل. يستخدم zine oxide أو zine oxide المُشاب ب aluminum للترسيب التفاعلي sale كمادة اختيار Ne لطبقة البذر الموجودة مباشرة تحت الطبقة التي تعكس 18 التي أساسها الفضة silver في الطلاءات المبثوقة (على سبيل (JU بشق DC المجنطروني بمنطقة واسعة). يتم تزويد aluminum كعامل إشابة في zine oxide جزتيا على الأقل بسبب وجود متطب موصلية كهربائية معينة لهدف البثق من خلال هدف الترسيب. وقد وجد Lay يثير الدهشة أن 5(B) boron / أو (GA) gallium قد يكون بدلا من أو يستخدم أيضا لإشابة الطبقة التي أساسها zinc oxide ٠١ _للترسب التفاعلي؛ مما يؤدي إلى تحسين المتانة.
IP
من الاجهاد في رصة الطلاءء مما aluminum المُشاب ب zine أو zinc oxide قد تعاني طبقة والذي يمكن أن يشمل كذلك JSS يؤدي إلى تكوين بقع ضعيفة؛ ويسهم في نقص متانة الطلاء تآكل الطلاء. ويصبح اجهاد الطلاء واضحا بشكل خاص خلال المعالجة الحرارية مثل التطبيع لدرجات Lede مع الطلاء الموجود glass substrate الحراري» عندما يتم تسخين الركيزة الزجاجية درجة مثوية)؛ وتبريدها بسرعة. ©8 ٠ سبيل المثال؛ ما لا يقل عن حوالي Je) حرارة عالية © أو 0 المُشاب هو عدم تطابق بين أنصاف zinc oxide وقد تبين أن سبب الاجهاد في طبقة وتلك الخاصة بجسيمات عامل الإشابة. ويكون نصف القطر zine الأقطار الأيونية لجسيمات بيكومتر (<م)؛ في حين أن نصف القطر VE هو ما يقرب من «zine الأيوني ل "المضيف"؛ الأيوني لعامل (عوامل) الإشابة؛ قد يكون أصغرء في نماذج معينة. ونتيجة لعدم تطابق هذا في بعامل إشابة قد يسبب انكماش الهيكل الشبكي للمضيف (على zine الحجم؛ فإن الاستعاضة عن Ve وهذا بدوره قد يسبب الإجهاد في الطبقة التي of zine oxide سبيل المثال؛ الهيكل الشبكي ل وفي رصة الطلاء بالكامل. silver ؛ والطبقة التي أساسها الفضة zine oxide أساسها الذي قد يكون zine oxide (أي؛ Zn0:Ga_s ZnO:Al «ZnO ويعتقد أن الطبقات التي أساسها
V=0 نسبيا. وتفيد التقارير أن 200 له صلابة من حوالي Aud تكون مواد (AL مُشابا ب 68 و / أو 1ه:200» و / أو 200:08 ب «ZnO يثير الدهشة أن إشابة Lay ang جيجا بسكال. ومع ذلك؛ فقد VO جيجا بسكال. هذه الصلابة قريبة ١7-4 يمكن أن تزيد الصلابة بما يصل إلى حوالي (B) boron ففي JA .200 من Likes ؛ والتي هي أكثر دواما TaN )-15 GPa) 5 Si (-12 GPa) من صلابة ستؤدي بشكل مفيد boron و / أو 8 بي ¢Zn0:Al ZnO نماذج تمثيلية معينة؛ فإن إشابة chemical and mechanical durability إلى طبقة أكثر صلابة مع متانة ميكانيكية و كيميائية أكبر وفقا لنماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع. ٠
= - : وقد وجد بما يلفت النظر أن <ZnO:Al «ZnO و | أو 200:08 المُشاب ب boron يمكن استخدامه في نماذج تمثيلية معينة من أجل تشكيل طلاء أكثر متانة ميكانيكيا و / أو كيميائيا. ويمكن تزويد طبقة تشتمل على <ZnO:Al ZnO و | أو 8 المُشاب ب boron (متل؛ ("YY مباشرة تحت وتلامس طبقة وظيفية تشتمل على الفضة silver أو الذهب (Ja) gold 9 4) في نماذج © تمثيلية معينة. وفي نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن استخدام هذه الطبقة التي تشتمل على 200؛ <ZnO:Al و | أو 58 المُشاب ب boron (7» 7 ') كطبقة بذر عازلة كهربيا وشفافة dielectric and substantially بدرجة كبيرة في المادة المطلية التي يمكن أن تستخدم في وحدات النوافذ كطلاء منخفض الانبعاثية أو في جهاز إلكتروني؛ على سبيل المثال. هذه الطبقة التي أساسها zine oxide مُشاب ب boron (مثل»ء ١ VY ') قد تكون عازلة كهربيا في نماذج تمثيلية Ve معينة. في نماذج تمثيلية معينة؛ قد يشتمل هدف zine المعدني بدرجة كبيرة كذلك على و / أو يتضمن 8 . في نماذج تمثيلية معينة؛ قد يشتمل هدف zine المعدني بدرجة كبيرة على ما لا يقل عن 7 بالوزن من zine ويفضل أكثر على الأقل حوالي 90 7 بالوزن من zine ؛ والأكثر تفضيلا ما لا يقل عن 97 7 من الوزن. وقد يشتمل الهدف كذلك على الأقل على حوالى 0-020٠ 7 VO بالوزن بورون؛ ويفضل أكثر من 5-٠, 7 بالوزن من boron ؛ ويفضل أكثر من حوالي ٠.67 إلى ؟ 7 بالوزن boron » والأكثر تفضيلا من حوالي 3-٠, 7 بالوزن boron ويمكن أيضا احتواء مواد أخرى في هذا الهدف؛ على سبيل المثال وبدون تحديدء gallium و / أى aluminum . وتجدر الإشارة إلى أن كميات boron و | أو aluminum و | أو gallium في مادة (Fy الهدف
تميل أيضا إلى تنتهي في طبقة oxide عدت الشاملة الناتجة على الركيزة بكميات مماثلة.
١١ - - ويمكن استخدام هدف zine المشتمل على boron للترسيب بباثق لطبقة بذر تشتمل علىء أو تتكون أساسا من lik zine oxide ب boron . هذه الطبقة التي أساسها zine oxide المُشاب ب boron قد تشتمل كذلك على مواد أخرى في تماذج تمثيلية Shima ويمكن تريسيب boron s zine بباثق في وجود oxygen ؛ للترسيب (Bo Je lil) بعض الحالات. في نماذج تمثيلية معينةة؛ يكون © .ما لا يقل عن حوالي ٠ » ويفضل أكثر ما لا يقل عن حوالي 60 7 من إجمالي الغاز في غرفة
EL عبارة عن أوكسجين (نسبة مولارية). لكن بطريقة أخرى»؛ في نماذج تمثيلية معينة؛ يتم ترسيب طبقة تتضمن «ZnO 700:1 و | أو 548 مُشاب ب boron في جو بثق يشتمل على ما لا يقل عن حوالي oxygen 7 5٠ ؛ ويفضل أكثر ما لا يقل عن oxygen Vv في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع؛ يتم توليف طبقة من أو تتضمن ZnO 200:81 و / أو
٠ - 200:08 مُشاب ب boron بطريقة ما وذلك لزيادة صلابة و / أو متانة الطبقة. وعلاوة على ذلكء فمن المتوقع أن إضافة boron إلى الطبقة التي تتضمن ZnO:Al ZnO و / أو 200:68 لن تؤثر سلبا على الإجهاد في الطبقة. وقد وجد أن «ZnO 700:81 و / أو Zn0:Ga العُشاب ب boron له متانة ميكانيكية محسنة نتيجة للصلابة المحسنة مقارنة بإذا لم يكن B موجوداء وذلك لزيادة المتانة العامة دون تغيير كبير في المظهر المرئي للمادة المطلية أو بيانات أداء معينة.
7Zn0:Al «ZnO ٠ و / أو 528 المشاب ب boron في نماذج تمثيلية معينةة سوف يؤدي إلى بلورية محسنة تجاه بنية Waurtzite البلورية لمستوى 700 الكتلي؛ وأن تكون الحبيبات أكثر انتظاما عن تلك الخاصة بالطبقات الرقيقة التي أساسها «ZnO 700:1 و / أو .700:08 غير مُشاب ب 3 في نماذج تمثيلية معينة؛ تكون مقاومية 7:0 أعلى من تلك الخاصة بالطبقات الرقيقة التي أساسها ZnO المُشاب ب boron ؛ وذلك بسبب امتصاص الأوكسجين في الحدود الخارجية لحبيبات
٠٠ | 200. وتكون قيم المقاومية للطبقات التي أساسها 700 الغير مُشاب ب 3 والمُشاب ب boron في
١7 أوم سم و £70 أوم سم على التوالي. وهكذاء في نماذج تمثيلية معينة؛ فإن YY حدود من سوف تحسن التركيب المجهري والخصائص الكهربائية للطبقات الرقيقة بالإضافة boron إضافة إلى تحسين الصلابة والمتانة الميكانيكية. هذا يمكن أن يؤدي على نحو مفيد إلى خصائص محسنة و / أو الطبقات الرقيقة ذات الطلاءات منخفضة الانبعاثية. وهكذاء في Ag طبقات المشتملة على و | أو 700:08 مُشاب ب ZnO:Al نماذج تمثيلية معينة؛ تستخدم الطبقة التي أساسها قد © silver على نح مفيد كطبقة بذر لطبقة واحدة أو رصه من طبقات متعددة أساسها الفضة 8 infrared (IR) منخفضة الانبعاثية؛ مباشرة تحت وتلامس الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء . silver ع1160100(8تمن أو التي تتضمن الفضة layer boron ب zinc oxide للطبقات 7» 7" يمكن إشابة (JU في نماذج تمثيلية معينة؛ على سبيل ؛ و gallium « boron وممستاامع و | أو بمزيج من boron وا لألومنيوم؛ أو ب boron أو ب cad ٠ 200:08 و / أو ZnO:Al «ZnO في الطبقة التي أساسها boron وقد يكون تركيز . aluminum إلى © 7 بالوزن؛ ويفضل أكثر ١.07 ويفضل أكثر من حوالي eile 7 8 إلى ١.0٠ من حوالى بالوزن. في نماذج LY Ave والأكثر تفضيلا من حوالى cep TF الى ١.07 من حوالي zine oxide فإن الطبقة التي أساسها ¢ boron تمثيلية معينة؛ وبالإضافة إلى كونها مُشابة ب ؛ ويفضل يكون aluminum بالوزن 7 ٠١ إلى ٠,78 يمكن زيادة إشابتها بحوالى boron مُشاب ب ٠ ؛ والأكثر تفضيلا من حوالي )= 0 7 بالوزن aluminum © إلى 7 ٠,5 أكثر من حوالى فإن الطبقة التي ¢ boron في نماذج تمثيلية معينة؛ وبالإضافة إلى كونها مُشابة ب aluminum بالوزن 7 ٠١ إلى ٠,79 يمكن زيادة إشابتها بحوالى boron ب lds zine oxide أساسها والأكثر تفضيلا من حوالي » gallium 7 © ويفضل أكثر من حوالى 0,+ إلى (Ga) gallium ؛ boron في نماذج مثال أخرى أيضاء وبالإضافة إلى كونها مُشابة ب . gallium بالوزن 2 0-١ Ye و Al يمكن زيادة إشابتها بمزيج من كل من boron ب lie zine oxide الطبقة التي أساسها Ok
Cy و / أو 200:1 ZnO بالكميات الموصوفة أعلاه . ويمكن ترسيب الطبقة التي أساسها Ga ببائق؛ في نماذج تمثيلية معينة. (VV (على سبيل المثال؛ 8 واختياريا على الأقل بعض boron المُشاب ب zine وقد تكون إشابة الطبقة التي أساسها أوكسيد مفيدة وخاصة في نماذج تمثيلية معينة؛ حيث أن هذا سوف يقلل من إجهاد الطبقة gallium boron ب ZnO:Al of ZnO بالإضافة إلى زيادة صلابتها ومتانتها الميكانيكية. ومع ذلك؛ فإن إشابة © سوف تؤدي إلى النتائج المرغوبة في نماذج تمثيلية معينة كذلك. أو 700:08 ب | 5 Zn0O:Al ZnO في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع؛ تؤدي إشابة هو المادة boron إلى بنية بلورية محسنة وصلابة أكبر ؛ مع متانة محسنة. وفي حين أن boron فهذا الاختراع لا يقتصر على ذلك؛ ويمكن استخدام مواد إشابة أخرى تنتج ZnO المفضلة لإشابة و / أو 200:81 ZnO في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع» يمكن استخدام Alas صلابة ٠ و | أو 200:08 أو أية ZnO:Al «ZnO ليحل محل طبقة بذر من boron المُشاب ب 4 gold و / أو الذهب silver طبقة أخرى مزودة مباشرة تحت وتلامس طبقة وظيفية أساسها الفضة أو 710:08 المُشاب ب | 5ZnO:Al «ZnO يثير الدهشة أن استخدام طبقة من La ولقد وجد ٠ في هذا الصدد يحسن المتانة الكيميائية والكهربائية والميكانيكية للمادة المطلية. boron 700 لتشكيل طبقة أساسها zine في نماذج تمثيلية معينة؛ يتم تزويد هدف البثق الذي أساسه عن طريق البثق التفاعلي) 7؛ «JB (على سبيل boron و / أو 200:08 المُشاب ب ZnO:Al على FL ويمكن أن يكون الهدف المستخدم إما من المعدن أو الخزف. وقد تحتوي غرفة SY من oxide و | أو غاز الارجون أثناء عملية البثق؛ من أجل بثق طبقة بذر تشتمل على oxygen و | أو aluminum على zinc وقد يحتوي الهدف الذي أساسه ٠ على الأقل boron المُشاب ب zine zine «تتللهع_لتسهيل البثق التفاعلي؛ في نماذج تمثيلية معينة. وقد يحتوي الهدف الذي أساسه | ٠
Coys
أيضا على boron بكميات مشابهة لكميات boron التي تنتهي على الطبقة التي أساسها oxide LEA zine ب VB و ". في نماذج تمثيلية معينة؛ فإن هدف zine للترسيب بباثق لطبقة 7 7'
قد تحتوي على حوالي 0X ,0 بالوزن 7 من boron ؛ ويفضل أكثر من حوالي ا بالوزن بورون؛ والأكثر تفضيلا من حوالي ٠,5 إلى 7 7 بالوزن بورون. وقد يشتمل هدف zine ؛
© في نماذج تمثيلية معينة؛ أيضا اختياريا من حوالي Yo إلى gallium 7 ٠١ (بالوزن)؛ ويفضل SS من حوالى 0-76 / gallium (بالوزن)؛ والأكثر تفضيلا من حوالي em) 2 أو Lay
gallium (بالوزن).
الركيزة ١ (على سبيل المثال؛ الركيزة الزجاجية glass substrate ) التي يترسب عليها الطلاء Yo المشتمل على طبقة تتضن Zn0:Al «ZnO و | أو Zn0:Ga مُشاب ب boron يمكن؛ خلال
٠ الترسيب» أن تحفظ في درجة Bia الغرفة أو يمكن تسخينها في نماذج تمثيلية معينة. ويفضل أن تكون الركيزة ١ في درجة حرارة تقل عن حوالى Tor درجة مئوية؛ ويفضل أكثر أقل من ٠٠١
درجة مئوية؛ والأكثر تفضيلا أقل من ٠9١0 درجة مثوية؛ وغالبا في درجة ha الغرفة تقريبا.
والمادة المطلية التي تم وصفها هنا (على سبيل المثال؛ انظر الشكلين (0m) قد يتم أو قد لا يتم معالجتها حراريا (على سبيل المثال» تطبيعها حراريا) في نماذج تمثيلية معينة. Jie هذه المعالجة
Ve الحرارية عادة ما تتطلب استخدام درجة حرارة لات عن حوالي 80© درجة مئوية؛ ويفضل أكثر لا تقل عن ٠00 درجة مئوية ويفضل أكثر أيضا ما لا يقل عن 17١0 درجة Asie وتعني مصطلحات "المعالجة الحرارية" و"معالجة بالحرارة" كما تستخدم هنا تسخين المادة إلى درجة حرارة كافية لتحقيق التطبيع (ball و / أو التقوية الحرارية لمادة شاملة الزجاج. ويشمل هذا التعريف؛
Sle تسخين مادة مطلية coated article في فرن أو لافحة عند درجة حرارة لا تقل عن حوالى
Ye 000 درجة مئوية؛ ويفضل أكثر ما لا يقل عن حوالي OAs درجة مئوية؛ ويفضل أكثر ما لا يقل
yo - - عن حوالي 10١0 درجة مئوية؛ ويفضل أكثر ما لا يقل عن حوالي 17١ درجة مئوية لمدة كافية للسماح بالتطبيع و / أو التقوية الحرارية. ويمكن أن يتم ذلك لمدة لا تقل عن دقيقتين؛ أو ما يصل إلى حوالي ٠١ دقائق؛ في نماذج تمثيلية معينة. وتحقق طبقات ZnO:Al «ZnO و | أو 8 المٌُشابة boron وفقا لنماذج مختلفة من هذا © الاختراع متانة ميكانيكية وكيميائية جيدة. وبالتالي؛ فإن المواد المطلية المشتملة على مثل هذه الطبقات تكون مفيدة من حيث أنها لها قدر أكبر من الصلابة والمتانة الميكانيكية عن الطبقات التي أساسها ZnO غير المُشابة ب boron . وعلاوة على ذلك؛ عندما يتم أيضا إشابة 700 ب aluminum » فإنه سيحتفظ بخواص كهربائية جيدة؛ وعندما يتم إشابة ZnO أيضا ب gallium » أو aluminum 5 gallium ¢ فإنه يحتفظ بخصائص كهربائية جيدة؛ و بالإضافة إلى ذلك فإنه سوف ٠ يوفر رص طبقة ومادة مطلية coated article أقل إجهاداء وأكثر متانة. بالإضافة إلى استخدامها كطبقة بذرء فإن ZnO:Al «ZnO liga و / أو 200:02 المُشابة boron وفقا لنماذج مثال مختلفة من هذا ١ لاختراع يمكن استخدامها في مواقع مختلفة؛ مثل فوق وتلامس طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء Je) infrared reflecting (IR) layer سبيل المثال؛ الشكل (VY المواد المطلية للمثال الموصوفة أدناه والمبينة في الأشكال 7-١ مزودة لأغراض المثال فقط. Yo شكل ١ هو منظر مقطعي عرضي لمادة مطلية coated article وفقا لنموذج مثال هذا الاختراع. وتشتمل المادة المطلية على ركيزة زجاجية glass substrate (على سبيل المثال» ركيزة زجاج alas glass substrate | أخضر » برونزي؛ أو أزرق - أخضر lady من حوالي ٠.١ حتي ٠٠٠١ مم؛ ويفضل أكثر leds من حوالي ٠١ مم إلى 1.0 مم)؛ وطلاء متعدد الطبقات (أو نظام طبقي) مزود على الركيزة LW بشكل مباشر أو غير مباشر. وكما هو مبين في الشكل ١؛ يشتمل الطلاء Yo Yo على طبقة عازلة كهربيا oF طبقة بذر شاملة ZnO مُشاب ب boron 7ء طبقة تعكس الأشعة
١١ - - تحت الحمراءزة1 infrared reflecting (IR) 9 من أو تتضمن الفضة silver ¢ الذهب gold ¢ أو ما شابه ذلك؛ طبقة تلامس علوية ١١ من أو تتضمن oxide من 15و / أو Cr (على سبيل المثال» *«100:0) أو ما شابه cell طبقة عازلة كهربيا ٠ وطبقة عازلة كهربيا 10 من أو تتضمن مادة zirconium oxide + silicon nitride Jie + و / أو silicon oxynitride والتي يمكن © أن تكون في حالات مثال معينة Ble عن طلاء علوي واق. ويمكن Lad تزويد طبقات و / أو مواد أخرى في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع؛ ومن الممكن أيضا إزالة طبقات معينة أو فصلها في حالات مثال معينة. واختيارياء في نموذج الشكل ١ يمكن تزويد طبقة (لا تظهر) من أو تتضمن Zn0:Al ZnO و أو 8 المُشاب boron (على سبيل (JU على غرار الطبقة V الموصوفة هنا) بين ٠ الطبقات ١١ و ١ في نماذج تمثيلية معينة. ولا تزال الاشارة إلى نموذج الشكل ١؛ ولأغراض المثال فقط»ء فقد تكون إحدى أو كلتا الطبقتين 7 » VV من أو تشمل silicon nitride في نماذج . تمثيلية معينة. وفي نماذج معينة؛ قد تشتمل الطبقة 7 و / أى VY على silicon oxynitride و / أو zirconium oxide » أو غيرها من المواد التي يفضل أن تكون عازلة كهربيا (على سبيل المثال؛ يمكن أن تكون الطبقة ؟ من أو تتضمن oxide من titanium ). في أحد نماذج المثال؛ تكون كلتا Vo الطبقتين ؟ و VY من أو تشمل «silicon nitride في نموذج مثال آخرء تكون كلتا الطبقتين ؟ و ٠ من أو تشمل zirconium silicon oxynitride . وفي نموذج مثال آخر Lad من هذا الاختراع» تكون الطبقة ١ من أو تشتمل على zirconium silicon oxynitride وتكون الطبقة YY من أو تشتمل على oxide القصدير أو silicon nitride . وفي نموذج مثال Lad aT من هذا الاختراع؛ تكون الطبقة ١١ من أو تشتمل على zirconium silicon oxynitride وتكون الطبقة ؟ من أو ٠ | تشتمل على titanium oxide (على سبيل المثال» (Ti02 أو nitride «دعثلنه . هذه التراكيب التمثيلية Filial و ١١ ليست تحديدية» وهى فقط لأغراض المثال.
١ - - وطبقة البذر ١ العازلة كهربيا بدرجة منخفضة والشفافة إلى حد كبير في بعض نماذج هذا الاختراع تكون من أو تشتمل على oxide من zine (على سبيل المثال». (ZnO مُشاب ب «(B) boron واختياريا يكون مُشابا كذلك ب Al و / أو 68؛ على سبيل (JU لتشكيل واحد أو أكثر من ZnBOx أو «ZnO : B أو ZnBA10x «ZnO:Ga;B أو 8. وعلى سبيل Jd © في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع؛ يمكن إشابة الطبقة التي أساسها ZnO 9 (و / (YS بحوالي ١.0٠ إلى 8 7 بالوزن boron ؛ ويفضل أكثر من حوالى vin X =0 7 بالوزن بورون؛ ويفضل أكثر من حوالى 7-٠07 بالوزن boron » والأكثر تفضيلا من حوالي 7-٠, / بالوزن 00:08. واختيارياء في نماذج تمثيلية معينة؛ بالإضافة إلى كونها مُشابة ب boron ¢ فإن الطبقة التي أساسها 200 مُشاب ب boron 7 (و / (Vf يمكن إشابتها كذلك بحوالي ٠.7٠ إلى 2٠ Ve بالوزن aluminum ؛ ويفضل أكثر من حوالى ١.5 إلى © 7 بالوزن ألومنيوم» ويفضل أكثر من حوالي 5-١ 7 بالوزن aluminum » و / أو بحوالي ٠,78 إلى ٠١ 7 بالوزن gallium (ه0)؛ ويفضل أكثر من حوالى 0+ إلى © 7 gallium » ويفضل أكثر من حوالي 0-١ 7 بالوزن gallium . واستخدام طبقة ZnO المُشابة ب ١ boron تحت وتلامس مباشرة الطبقة الوظيفية functional layer التي أساسها الفضة silver (مثل الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء) A Vo يسمح بتحقيق جودة ممتازة من الفضة silver (على سبيل المثال؛ تحقيق مقاومة منخفضة للوح الرقيق وابتعاثية منخفضة؛ ومتانة أفضل نظرا للصلابة الزائدة لطبقة 700 المُشابة ب boron ). وقد تحتوي طبقة 7200 ١ على مواد أخرى كذلك في نماذج تمثيلية معينة. وفي نماذج تمثيلية معينة؛ يمكن أيضا استخدام طبقة شاملة 200 مُشابة ب boron كطبقة تلامس علوية (الطبقة .)١١ عندما . يتم استخدام طبقة شاملة ZnO مُشابة ب boron كطبقة تلامس علوية VY فإن الوصف المتعلق هنا ٠ بالطبقة ١ ينطبق أيضا على الطبقة التي أساسها LA ZnO ب .١١ boron
١8 - | - الطبقة الوظيفية functional layer 4 عادة ما تكون طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer والتي يفضل أن تكون معدنية بدرجة كبيرة أو معدنية بالكامل و / أو موصلة؛ ويمكن أن تشمل أو تتكون أساسا من الفضة silver ¢ أو الذهب gold ؛ أو أي مادة مناسبة أخرى تعكس الأشعة تحت الحمراء. والطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء 4 تساعد © على السماح بأن يكون للطلاء انبعاثية منتخفضة و / أو خصائص جيدة للتحكم بالطاقة الشمسية Jia الانبعاث المنخفض؛ مقاومة المنخفضة للوح الرقيق؛ وهكذا. وقد تتأكسد الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء 9 بشكل طفيف في بعض نماذج هذا الاختراع؛ واختياريا يمكن إشابتها. وقد تكون طبقة التلامس العلوية ١١ من أو تشتمل على oxide من 15و / أو :©. وفي نماذج تمثيلية معينة؛ قد تكون طبقة التلامس العلوية ١١ من أو تشتمل على nickel (Ni) oxide « chromium/chrome (Cr) oxide ٠ » أو اكسيد سبائك nickel Jie nickel nickel alloy oxide chrome oxide (NiCrOx) « أو أية مادة أخرى مناسبة Jie كما 11 أو oxide من 11. وقد تتأكسد الطبقة ١١ بشكل كامل في بعض نماذج من هذا الاختراع (أي متكافئة تماما)؛ أو بدلا من ذلك تتأكسد جزئيا فقط. وفي بعض الحالات؛ قد تتأكسد طبقة ١١ NiCrOx بنسبة حوالى ٠ © / على الأقل . طبقة التلامس ١١ (على سبيل المثال؛ من أو تتضمن oxide من sNi | أو (Cr قد تكون VO أو لا تكون متدرجة الأكسدة oxidation graded في نماذج مختلفة من هذا الاختراع. تدرج الأكسدة يعني أن درجة الأكسدة في الطبقة تتغير في جميع أنحاء dled الطبقة بحيث على سبيل المثال قد تكون طبقة التلامس متدرجة بحيث تكون أقل تأكسدا عند سطح التلامس مع الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared (IR) reflecting layer المجاورة مباشرة عنها عند eda من طبقة التلامس التالية أو الأكثر بُعدا / الأبعد من الطبقة المجاورة مباشرة التي تعكس الأشعة تحت ٠ الحمراء. ويرد وصفا لأنواع مختلفة من طبقات التلامس متدرجة الأكسدة في براءة الاختراع الأمريكية رقم lly TOY ED تم إدراج الكشف الخاص بها هنا كمرجع.
-و١ - ويمكن أو لا يمكن أن تكون طبقة التلامس ١١ (على سبيل المثال؛ من أو تتضمن oxide من Ni و / أو (Cr مستمرة في نماذج مختلفة من هذا الاختراع عبر الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer 4 بأسرها . وقد تكون الطبقة العازلة كهربيا ١٠؛ والتي يمكن أن تكون تغطية علوية في حالات مثال معينة؛» من of تشمل silicon nitride (على سبيل © المثال» (SI3N4 أو أي مواد أخرى مناسبة في نماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع silicon Jie
0 واختيارياء يمكن تزويد طبقات أخرى فوق الطبقة zirconium oxide و | أو oxynitride لأغراض المتانة في نماذج تمثيلية معينة؛ وحماية الطبقات السفلية. في نماذج Vo وتزود الطبقة من حوالي 7-1,1,؛ (n) refraction معامل انكسار Vo يمكن أن يكون للطبقة gna تمثيلية ويفضل أكثر من حوالي 7,05-1,40. يمكن أيضا تزويد طبقة (طبقات) أخرى أسفل؛ داخل؛ أو sede الموضح. وهكذاء ففي حين أن نظام الطبقة أو الطلاء يكون "على" أو YO فوق الطلاء ٠ (بشكل مباشر أو غير مباشر)؛ فإنه يمكن تزويد طبقة أخرى بينهما. وهكذاء ١ بواسطة” الركيزة وطبقاته يمكن أن تعتبر "على" و 'مدعمة بواسطة" ١ بالشكل Yo على سبيل المثال؛ فإن الطلاء وعلاوة على ذلك؛ قد تتم إزالة .١ حتى إذا تم تزويد طبقة أخرى بين الطبقة ؟ والركيزة ١ الركيزة طبقات معينة من الطلاء الموضح في نماذج معينة؛ في حين يمكن إضافة أخرى بين الطبقات
٠ المختلفة أو يمكن فصل الطبقة المختلفة مع طبقة غيرها مضافة بين مقاطع الفصل في نماذج ض أخرى من هذا الاختراع دون الخروج عن الفحوى العامة لنماذج معينة من هذا الاختراع. على الرغم من إمكان استخدام قيم سمك مختلفة في نماذج مختلفة من هذا cp Ral) ففيما يلي قيم laa ومواد تمثيلية للطبقات المناظرة على الركيزة الزجاج ١ في نموذج الشكل ١ من الركيزة الزجاج وللخارج. :
:)١ (مواد / قيم مسُمك تمثيلية؛ نموذج الشكل ١ الجدول Ye
و —
et om
«ZrSiOxNy «TiOx باحر (أنجستروم) باح ١ (أنجستروم) نضا (أنجستروم)
و / أو Si3N4 (طبقة (Y
ZrSiOXNy 2 و / أو 5-0 (أنجستروم) | 7٠0-٠٠١ (أنجستروم) | ٠١ (أنجستروم)
4 (طبقة (VY قيم سٌُمك المثال أعلاه للطبقة ١ تنطبق بطبيعة الحال أيضا على نماذج حيث تتم إشابة الطبقة التي أساسها VY ZnO ب 5Ga أو AL بالإضافة إلى 3. وفي نماذج تمثيلية معينةة من هذا الاختراع» يمكن أن يكون للمواد المطلية هنا الانبعاثية المنخفضة التالية والخصائص الشمسية و /
أو البصرية المبينة في الجدول رقم 7 عند قياسها كتلة واحدة. الجدول ١ : خصائص الانبعاثية المنخفضة / الشمسية (متالفة): الخاصية عامة مفضلة أكثر | الأكثر تفضيلا Als
vy — - وعلاوة على ذلك؛ فالمواد المطلية التي تشتمل على طلاءات وفقا لنماذج تمثيلية معينةة من هذا الاختراع يكون لها الخصائص الضوئية التالية (على سبيل المثال؛ عندما يتم تزويد الطلاء على ركيزة زجاجية ١ glass substrate من سيليكا جير الصودا الرائقة Ss clear soda lime silica من can ٠١-١ ويفضل سمك حوالي ؛ مم). في الجدول رقم oF يتم قياس جميع المتغيرات AES © واحدة. الجدول ¥ : خصائص المثال الضوئية (متالفة):
ا - YY - وعلاوة على ذلك؛ فالمواد المطلية التي تشتمل على طلاءات وفقا لنماذج تمثيلية معينة من هذا الاختراع يكون لها الخصائص الضوئية التالية عندما تكون المادة المطلية هي وحدة 16 في تماذج (على سبيل المثال» لأغراض مرجعية؛ عندما يتم توفير الطلاء على ركيزة زجاجية glass substrate ١ © من سيليكا جير الصودا الرائقة Sau clear soda lime silica من can ٠١-١ ويفضل dale
حوالي 4 مم). وتجدر الإشارة إلى أنه يتم قياس قيمة U طبقا للمواصفة 673 EN
الجدول 4 : مثال الخصائص الضوئية (وحدة (IG :
في نموذج الشكل oF تتضح طبقة بذر ١7 (نفسها Jie الطبقة 7 التي نوقشت أعلاه في الشكل )١ تشتمل؛ أو تتكون أساسا من ZnO مُشاب ب boron (تشتمل اختياريا على 68 و / أو اهكما
سر نوقش أعلاه). في نماذج تمثيلية معينة؛ يكون لهذه الطبقة صلابة أكبر من 700 الذي لا يشتمل على boron . يوضح نموذج الشكل ¥ عموما أنه يمكن تزويد الطبقة العازلة كهربيا ¥ من أي sala مناسبة تحت طبقة بذر شاملة ZnO : 3 7ء وأن الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared (IR) reflecting layer ؟ التي تشتمل على الفضة silver و / أو الذهب gold تكون فوق © وتلامس الطبقة التي أساسها 200 : 3 7. ويتم تزويد طبقة التلامس العلوية ١١ فوق الطبقة التي أساسها 200:3 7. في نماذج تمثيلية معينة؛ قد تشتمل الطبقة ١١ على أو تتكون أساسا من nickel و | أو الكروم chromium أو oxide و | أو نيتريد منه. في نماذج مثال Hal ¢ قد تشمل طبقة التلامس العلوية ١١ أيضاء أو تتكون أساسا من طبقة أساسها 700 مُشاب ب boron » معدن «Ti أو oxide 11. ويمكن تزويد طبقة اختيارية عازلة كهربيا ١١ وطبقة تغطية علوية اختيارية ٠ عازلة كهربيا ١١ فوق بقية الطبقات في الرصة في نماذج تمثيلية معينة. وفي حين أن الطبقات ١" و Yo يمكن أن تكون من أي مادة عازلة مناسبة؛ فقد تمت مناقشة مواد تمثيلية للطبقات ١١ و ٠ أعلاه. وعلى سبيل (JUN يمكن أن تكون الطبقة VY من أو تشمل oxide القصدير أو zine oxide ؛ ويمكن أن تكون الطبقة Vo من أو تشمل silicon nitride أو zirconium oxide . ].٠0١[ في الشكل oF تتضح طبقة أساسها ZnO مُشاب ب boron وا لألومنيوم لا. في نماذج V0 تمثيلية معينة؛ سوف يكون ل ZnO:ALB خصائص بنائية؛ وكهربائية؛ وبصرية أفضل؛ مع زيادة ض المتانة الميكانيكية و / أو الكيميائية. ويوضح نموذج الشكل ¥ sale أنه يمكن على الأقل تزويد طبقة عازلة كهربيا ؟ تحت طبقة البذر 7200:81:3 7 وأن الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer التي تكون من أو تتضمن الفضة silver و | أو الذهب gold تكون مباشرة 358( وتلامس طبقة البذر ZnO:ALB 7. ويتم تزويد طبقة التغطية ١١7 فوق الطبقة 4 Yo على الرغم أنه يمكن تزويد طبقات أخرى بينهم؛ Jia طبقات تلامس و / أو طبقات عازلة كهربيا إضافية. وقد تكون طبات التغطية VY من أو تشمل Ni و / أو :© في نماذج تمثيلية معينة؛ أو
كل يمكن أن تكون من Ti أو oxide منه في نماذج مثال آخر. وقد تكون هناك طبقة أخرى بطبيعة Ja بين طبقة التغطية ١7 والطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء 3+ ويمكن تزويد طبقة اختيارية عازلة كهربيا 7١ فوق بقية الطبقات في الرصة؛ وقد تكون من أو تتضمن silicon nitride » أوكسي zirconium oxide « silicon nitride ¢ أو ما شابه ذلك. Ley هو الحال مع نماذج © الأشكال 7-١ و 4؛-0؛ فهذا النموذج في الشكل oF قد يكون به اختياريا رصة فضية مزدوجة بحيث تواجد اثنتين من الطبقات التي تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer 4 (أو 9 و 9') مع طبقة بذر أخرى (Vol) V تكون موجودة تحت كل طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء. في الشكل 4؛ تتضح طبقة البذر أساسها أكيد زنك مُشاب ب gallium s boron 7. في نماذج ٠ تمثيلية Aime سوف يكون ل ZnO:GaiB إجهاد أقل عن الطبقة التي لا تشمل gallium كعامل إشابة. والطبقة التي أساسها 700:08:3 7 قد يكون لها أيضا خصائص بنائية؛ وكهربائية؛ وبصرية أفضل؛ مع زيادة عامة في المتانة الميكانيكية و / أو كيميائية؛ في نماذج تمثيلية معينة. ويوضح نموذج الشكل 4 عموما أنه يمكن تزويد طبقة عازلة كهربيا ؟ تحت طبقة البذر Zn0:Ga:B اء وتكون الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء 9 التي تشتمل على الفضة ©8119 و / أو Vo الذهب gold فوق وتلامس الطبقة التي أساسها Zn0:Ga:B 7. وتزود طبقة التغطية VY فوق الطبقة 4 رغم أنه يمكن تزويد طبقات أخرى بينهم. وكما نوقش ede يمكن أيضا تزويد طبقة
عازلة JY WS في الشكل co تتضح طبقة أساسها 700 مُشاب ب .١ gallium aluminum s « boron في نماذج تمثيلية معينة؛ سيكون ل ZnO:AL:GaB إجهاد أقل عن الطبقة التي لا تشمل gallium 7١ ٠ كعامل إشابة. والطبقة التي أساسها :7200:81:08 ١ قد يكون لها أيضا خصائص بنائية؛
دولا - وكهربائية؛ وبصرية أفضل؛ مع زيادة عامة في المتانة الميكانيكية و / أو كيميائية؛ في نماذج ويوضح نموذج الشكل © عموما أنه يمكن تزويد طبقة عازلة كهربيا ؟ تحت طبقة البذر “١ 8 وتكون الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء 4 التي تشتمل على الفضة silver © و | أو الذهب gold فوق وتلامس الطبقة التي أساسها ZnO:ALGaB 7. وتزود طبقة التغطية ١١7 (على سبيل المثال؛ من أو تتضمن oxide من Ni 5 / أو ©؛ أو ما شابه ذلك) فوق الطبقة 9؛ رغم أنه يمكن تزويد طبقات أخرى بينهم. وكما نوقش أعلاه؛ يمكن اختياريا أيضا تزويد طبقة عازلة كهربيا .7١ في الشكل 1 تتضح مادة مطلية coated article لها رصة مزدوجة من الفضة silver ¢ أو طبقات متعددة تعكس الأشعة تحت الحمراءيه1 infrared reflecting (IR) ك ١ 0٠ تشتمل على الفضة ©8018 . وتوضح نماذج الشكل ١ أنه في نماذج تمثيلية Aime يمكن استخدام أكثر من طبقة واحدة أساسها ZnO مُشاب ب V boron و 7 ولا سيما حيث تكون هناك أكثر من طبقة واحدة تعكس الأشعة تحت الحمراء 9؛ ومع ذلك؛ فإن عدد الطبقات الشاملة ZnO المُشاب ب boron غير لا يعتمد على عدد الطبقات التي تعكس الأشعة تحت الحمراء (على سبيل المثال» يمكن تزويد طبقة أساسها ZnO مُشاب ب boron فوق طبقة أساسها الفضة silver - ٠ أيضا) . وتشمل الطبقة الشاملة لأوكسيد zine مُشاب ب boron 7 و 7" لنتموذج الشكل أ كذلك على gallium و / أو الألومنيوم في نماذج مثال أخرى. كما يتم Loaf تزويد طبقات عازلة كهربيا ؟ و ؛ و ١١ و ١١ في نموذج الشكل 1« وموضح مواد المثال لهذه الطبقات في الشكل. واختيارياء في نموذج الشكل 6؛ يمكن تزويد طبقة (لا تظهر) من أو تتضمن ZnO:Al ,700 مُشاب ب boron » و / أو 8 (على سبيل (JG على غرار الطبقة ١ الموصوفة هنا) بين Ye الطبقات ١١ و 4 و / أو بين الطبقات "١١ و AY
لا في الشكل 7؛ تتضح مادة مطلية coated article لها أكثر من طبقة واحدة أساسها zinc oxide المُشاب ب boron ؛ في اتصال مع طلاء له طبقة واحدة تعكس الأشعة تحت الحمراء 4. هذا JE هو لأغراض تبين أنه يمكن أن يكون هناك من طبقة أساسها 700 مُشاب ب boron )١١ »( أكثر من الطبقة التي تمكس الأشعة تحت الحمراء 4 في الطلاء؛ في نماذج تمثيلية © معينة؛ أو أن lid) ZnO ب ١١ boron يمكن تزويده فوق الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء التي أساسها الفضة silver 49. وعلى سبيل المثال لا الحصر؛ يمكن استخدام طبقة أساسها 200 مُشاب ب boron كطبقة بذر ١ تحت الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء 4؛ فضلا عن (n) طبقة تلامس (علوية) ١١ تقع فوق الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء. وقد يشتمل أى من نماذج الشكل 7 لطبقات ZnO المُشاب ب boron و / أو ١١ كذلك على gallium ٠ و / أو Aaluminum نماذج مثال AT على النحو الذي نوقش أعلاه فيما يتعلق بنماذج أخرى. في حين قد تم وصف الاختراع فييما يتعلق بما يعتبر في الوقت الحاضر النموذج العملي والمفضل» فإنه يجب أن يكون مفهوما أن الاختراع لا ينبغي أن يقتصر على النموذج المكشوف aie بل على العكس من ذلك؛ فهو يهدف إلى تغطية مختلف التعديلات والترتيبات المكافئة التي تقع ضمن فحوى ومجال عناصر الحماية الملحقة.
١ - 0 - gallium و / أو متصنستله في نماذج مثال آخر على النحو الذي نوقش أعلاه Lad يتعلق بنماذج أخرى. في حين قد تم وصف الاختراع فييما يتعلق بما يعتبر في الوقت الحاضر النموذج العملي والمفضل؛ فإنه يجب أن يكون مفهوما أن الاختراع لا ينبغي أن يقتصر على النموذج المكشوف © عنه؛ بل على العكس من ذلك؛ فهو يهدف إلى تغطية مختلف التعديلات والترتيبات المكافئة التي > تقع ضمن فحوى ومجال عناصر الحماية الملحقة. ا
Claims (1)
- عناصر الحماية«glass substrate تتضمن طلاءا مدعما بواسطة ركيزة زجاجية coated article مادة مطلية -١ ١ : glass substrate ويشتمل الطلاء على الأقل على الطبقات التالية بالابتعاد عن الركيزة الزجاجية " ¢ gallium على الأقل من boron ب lik zine oxide طبقة عازلة كهربيا تشتمل على ¥؛ طبقة تعكس الأشعة تحت الحمراء infrared reflecting (IR) layer تشتمل على الفضة silver و © /أو الذهب gold موضوعة على الركيزة وتلامس مباشرة الطبقة التي تشتمل على zinc oxide 1 المُشاب ب boron ومستتااقعا طبقة عازلة كهربيا على الركيزة فوق طبقة واحدة على الأقل التي تعكس الأشعة تحت الحمراء؛ A وحيث تشتمل الطبقة المشتملة على zine oxide المُشاب ب gallium s boron ؛ تتضمن من vv) 4 إلى boron 7 A (بالوزن)؛ ٠ حيث بالوزن تتضمن الطبقة التي تشتمل على zine oxide المُشابة ب boron والجالسيوم نسبة boron ١١ أقل من gallium .١ ؟- المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية ١؛ حيث تشتمل الطبقة التي تشتمل على 700 مُشاب ب boron ¥ وستتلامع ¢ على ٠.07 إلى © 7 boron (بالوزن).١ #- المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية ٠؛ حيث تشتمل الطبقة التي تشتمل على 700 مُشاب ب boron ¥ ومستلامع ؛ على ٠# إلى boron 7 ١ (بالوزن).١ >- المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية ١؛ حيث تكون الطبقة العازلة كهربيا التي تشتمل على «lis 7200 ¥ ب gallium s boron شفافة إلى حد كبير.١ +- المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية ١ حيث تكون الطبقة العازلة كهربيا التي تشتمل على 7200 مشاب ب boron وستتلاامع مشتملة كذلك على aluminum ..١ وحدة نافذة تشتمل على المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية -7 ١ low- حيث يكون الطلاء هو طلاء منخفض الانبعاثية ١ الحماية patel المادة المطلية وفقا =A ١.emissivity (low-E) coating ¥ ١ ١ المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية ١ حيث تتكون الطبقة التي تشتمل على zine oxide مُشاب. gallium من boron مُشاب ب zinc oxide ومسستتلمع أساساً من boron 2» Y zine oxide المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية ٠؛ حيث يكون للطبقة التي تشتمل على ٠١ ١ ١ مَشاب ب gallium s boron صلابة لا تقل عن 4 جيجا باسكال. -١١ ١ المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية )¢ حيث تشتمل كذلك على طبقة تلامس موضوعة فوق.infrared (IR) reflecting layer وثلامس الطبقة التي تعكس الأشعة تحت الحمراء YX zine oxide حيث تشتمل طبقة التلامس على VY المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية فيه -١؟ ١ " مُشاب ب boron وواحد على الأقل من gallium و aluminum . ١ ؟١- المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية Cus VY تشتمل طبقة التلامس على oxide من 117 و Y , / أو CrI zinc oxide المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية )¢ حيث يكون للطبقة التي تشتمل على -١؟ ١ أنجستروم. 7٠00-٠١ يتراوح بين Kaw gallium s boron مَشَابٍ ب ¥١٠ ١ - المادة المطلية وفقا لعنصر الحماية )¢ حيث يشتمل الطلاء على الأقل على طبقتين أولى Y وثانية تعكسان الأشعة تحت الحمراء تشتملان على الفضة silver ؛ وتوضع كلا من الطبقتين الأولى والثانية التي تعكس الأشعة تحت الحمراء layer infrared (IR) reflecting وتشتمل على ؛ الفضة silver فوق وتلامس dah مناظرة تشتمل على zinc oxide مُشاب ب boron ومستتاقع.-١١ ١ مادة مطلية coated article تتضمن طلاءا مدعما بواسطة )83:8 ويشتمل الطلاء على الأقل على الطبقات التالية بالابتعاد عن الركيزة :طبقة بذر عازلة كهربائياً شفافة إلى حد كبير تشتمل على zine oxide مُشاب ب0ه:50 وألموتيوم ؛ واحد على الأقل ؛ حيث يكون لطبقة البذر العازلة كهربيا صلابة 9 جيجا باسكال على الأقل؛© طبقة تشتمل على الفضة silver موضوعة على الركيزة فوق وتلامس مباشرة طبقة البذر؛1 طبقة عازلة كهربيا واحدة على الأقل فوق الطبقة المشتملة على الفضة silver و/ أو الذهب gold VY ؛٠,٠١٠ وألمونيوم وتتضمن ما يتراوح من boron lis zinc oxide حيث تشتمل الطبقة على A sboron مُشاب ب zine oxide (بالوزن)؛ حيث بالوزن تتضمن الطبقة boron إلى 768 من 4 . aluminum أقل من boron كمية من aluminum ٠
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/923,391 US8808882B2 (en) | 2010-09-17 | 2010-09-17 | Coated article having boron doped zinc oxide based seed layer with enhanced durability under functional layer and method of making the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SA111320649B1 true SA111320649B1 (ar) | 2015-03-22 |
Family
ID=44513095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SA111320649A SA111320649B1 (ar) | 2010-09-17 | 2011-07-27 | مادة مطلية لها طبقة بذر أساسها أكسيد زنك مُشاب ببورون ذات متانة محسنة تحت طبقة وظيفية وطريقة لتصنيعها |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8808882B2 (ar) |
| EP (1) | EP2616403A1 (ar) |
| BR (1) | BR112013006342A2 (ar) |
| MX (1) | MX346942B (ar) |
| RU (1) | RU2598007C2 (ar) |
| SA (1) | SA111320649B1 (ar) |
| WO (1) | WO2012036720A1 (ar) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2975989B1 (fr) * | 2011-05-30 | 2014-04-25 | Saint Gobain | Couche barriere aux alcalins |
| DE102012203055B4 (de) * | 2011-10-26 | 2016-09-15 | Von Ardenne Gmbh | Sputtertarget aus einem galliumdotiertes Zink enthaltenden Material und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE102012203052A1 (de) * | 2011-10-26 | 2013-05-02 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Transparente Metalloxid-Schicht mit einem galliumdotierten Zinkoxid, Verfahren und Vorrichtung zu deren Herstellung |
| KR101293647B1 (ko) * | 2012-07-27 | 2013-08-13 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 투명 전도성 산화물 박막 기판, 그 제조방법, 이를 포함하는 유기전계발광소자 및 광전지 |
| US8900729B2 (en) | 2012-11-19 | 2014-12-02 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating including zinc oxide inclusive layer(s) with additional metal(s) |
| US9206078B2 (en) * | 2013-03-13 | 2015-12-08 | Intermolecular, Inc. | Barrier layers for silver reflective coatings and HPC workflows for rapid screening of materials for such barrier layers |
| DE102014111190B4 (de) * | 2014-04-11 | 2022-10-20 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Hochtransmissives und kratzfestes, Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE102015102496B4 (de) | 2014-10-27 | 2024-06-20 | Almeco Gmbh | Temperatur- und korrosionsstabiler Oberflächenreflektor |
| JP6548130B2 (ja) * | 2015-05-26 | 2019-07-24 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | ホウ素添加酸化亜鉛薄膜からなる低摩擦コーティングおよびマイクロマシン |
| DE102017102377B4 (de) | 2017-02-07 | 2019-08-22 | Schott Ag | Schutzverglasung, thermisches Prozessaggregat und Verfahren zur Herstellung einer Schutzverglasung |
| WO2019121522A1 (en) | 2017-12-22 | 2019-06-27 | Agc Glass Europe | Coated substrates |
Family Cites Families (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5516554A (en) | 1978-07-21 | 1980-02-05 | Toko Inc | Manufacture of thin film of zinc oxide |
| JPH02181304A (ja) | 1988-09-22 | 1990-07-16 | Nippon Soken Inc | 酸化亜鉛系透明導電膜およびその製膜方法 |
| US5487918A (en) | 1990-05-14 | 1996-01-30 | Akhtar; Masud | Method of depositing metal oxides |
| US5532062A (en) | 1990-07-05 | 1996-07-02 | Asahi Glass Company Ltd. | Low emissivity film |
| JPH10297962A (ja) | 1997-04-28 | 1998-11-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット用ＺｎＯ−Ｇａ２Ｏ３系焼結体およびその製造方法 |
| DE19848751C1 (de) * | 1998-10-22 | 1999-12-16 | Ver Glaswerke Gmbh | Schichtsystem für transparente Substrate |
| US6261694B1 (en) * | 1999-03-17 | 2001-07-17 | General Electric Company | Infrared reflecting coatings |
| US20020084455A1 (en) | 1999-03-30 | 2002-07-04 | Jeffery T. Cheung | Transparent and conductive zinc oxide film with low growth temperature |
| DE60026157T2 (de) * | 1999-10-14 | 2006-11-09 | Glaverbel | Verglasung |
| US6475626B1 (en) | 1999-12-06 | 2002-11-05 | Guardian Industries Corp. | Low-E matchable coated articles and methods of making same |
| US6576349B2 (en) | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
| KR100905478B1 (ko) | 2001-10-05 | 2009-07-02 | 가부시키가이샤 브리지스톤 | 투명 전도성 필름 및 터치패널 |
| DE10155273B4 (de) | 2001-11-09 | 2006-03-23 | Guardian Flachglas Gmbh | Verwendung einer Verglasungseinheit als Brandschutzglas |
| US6830817B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
| JP4260494B2 (ja) | 2002-02-26 | 2009-04-30 | 株式会社フジクラ | 透明電極用基材の製法、光電変換素子の製法、及び色素増感太陽電池の製法 |
| US6827977B2 (en) | 2002-03-07 | 2004-12-07 | Guardian Industries Corp. | Method of making window unit including diamond-like carbon (DLC) coating |
| US7235160B2 (en) | 2003-08-06 | 2007-06-26 | Energy Photovoltaics, Inc. | Hollow cathode sputtering apparatus and related method |
| US7150849B2 (en) | 2003-11-04 | 2006-12-19 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating |
| US7217460B2 (en) | 2004-03-11 | 2007-05-15 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating including tin oxide interlayer |
| US7229533B2 (en) | 2004-06-25 | 2007-06-12 | Guardian Industries Corp. | Method of making coated article having low-E coating with ion beam treated and/or formed IR reflecting layer |
| US7390572B2 (en) | 2004-11-05 | 2008-06-24 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with IR reflecting layer(s) and method of making same |
| US7153578B2 (en) * | 2004-12-06 | 2006-12-26 | Guardian Industries Corp | Coated article with low-E coating including zirconium silicon oxynitride and methods of making same |
| US7537677B2 (en) | 2005-01-19 | 2009-05-26 | Guardian Industries Corp. | Method of making low-E coating using ceramic zinc inclusive target, and target used in same |
| US7887921B2 (en) | 2005-02-24 | 2011-02-15 | Pilkington North America, Inc. | Anti-reflective, thermally insulated glazing articles |
| US7597962B2 (en) | 2005-06-07 | 2009-10-06 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with IR reflecting layer and method of making same |
| JP4479609B2 (ja) | 2005-06-30 | 2010-06-09 | Ｔｄｋ株式会社 | 透明導電体及び透明導電材料 |
| US7629742B2 (en) | 2006-03-17 | 2009-12-08 | Lexmark International, Inc. | Electroluminescent displays, media, and members, and methods associated therewith |
| DE102006024524A1 (de) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Infrarotstrahlung reflektierendes, transparentes Schichtsystem |
| RU2447032C2 (ru) * | 2006-06-05 | 2012-04-10 | Пилкингтон Груп Лимитед | Стеклоизделие с покрытием из оксида цинка и способ его изготовления |
| US7695785B2 (en) | 2006-07-14 | 2010-04-13 | Guardian Industries Corp. | Coated article with oxides and/or oxynitrides of antimony and/or zinc dielectric layer(s) and corresponding method |
| US7645487B2 (en) | 2006-07-20 | 2010-01-12 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with zinc-doped zirconium based layer(s) in coating |
| JP5541921B2 (ja) | 2006-08-29 | 2014-07-09 | ピルキントン グループ リミテッド | 低抵抗率のドープ酸化亜鉛コーティングを作る方法及び当該方法により形成される物品 |
| EP2381743A1 (fr) | 2006-09-07 | 2011-10-26 | Saint-Gobain Glass France | Substrat pour dispositif electroluminescent organique, utilisation et procede de fabrication de ce substrat, ainsi que dispositif electroluminescent organique |
| EP2408269B1 (fr) * | 2006-11-17 | 2017-01-18 | Saint-Gobain Glass France | Electrode pour dispositif electroluminescent organique ainsi que dispositif electroluminescent organique l'incorporant |
| US7655313B2 (en) | 2007-03-15 | 2010-02-02 | Guardian Industries Corp. | Low-E coated articles and methods of making same |
| WO2009103929A2 (fr) | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Saint-Gobain Glass France | Cellule photovoltaique et substrat de cellule photovoltaique |
| US7648769B2 (en) | 2007-09-07 | 2010-01-19 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating having absorbing layer designed for desirable bluish color at off-axis viewing angles |
| US8179807B2 (en) * | 2007-11-06 | 2012-05-15 | Lsi Corporation | In-band communication of alarm status information in a synchronous transport communication system |
| PL3702337T3 (pl) | 2008-03-20 | 2024-03-04 | Agc Glass Europe | Oszklenie pokryte cienkimi warstwami |
| EP2262745B2 (fr) | 2008-03-20 | 2021-11-24 | AGC Glass Europe | Vitrage revetu de couches minces |
| WO2009133076A2 (en) | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Applied Materials Inc., A Corporation Of The State Of Delaware | Sputter target, method for manufacturing a layer, particularly a tco (transparent conductive oxide) layer, and method for manufacturing a thin layer solar cell |
-
2010
- 2010-09-17 US US12/923,391 patent/US8808882B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-07 EP EP11731532.5A patent/EP2616403A1/en not_active Withdrawn
- 2011-06-07 MX MX2013002897A patent/MX346942B/es active IP Right Grant
- 2011-06-07 BR BR112013006342A patent/BR112013006342A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2011-06-07 RU RU2013117461/03A patent/RU2598007C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-06-07 WO PCT/US2011/001023 patent/WO2012036720A1/en active Application Filing
- 2011-07-27 SA SA111320649A patent/SA111320649B1/ar unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013117461A (ru) | 2014-10-27 |
| BR112013006342A2 (pt) | 2016-06-21 |
| WO2012036720A1 (en) | 2012-03-22 |
| US20120070672A1 (en) | 2012-03-22 |
| MX2013002897A (es) | 2013-04-10 |
| US8808882B2 (en) | 2014-08-19 |
| EP2616403A1 (en) | 2013-07-24 |
| RU2598007C2 (ru) | 2016-09-20 |
| MX346942B (es) | 2017-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SA111320649B1 (ar) | مادة مطلية لها طبقة بذر أساسها أكسيد زنك مُشاب ببورون ذات متانة محسنة تحت طبقة وظيفية وطريقة لتصنيعها | |
| US10487010B2 (en) | Barrier layers comprising Ni and/or Ti, coated articles including barrier layers, and methods of making the same | |
| KR101943123B1 (ko) | 저방사율 코팅을 포함하는 코팅된 물품, 코팅된 물품을 포함하는 절연 유리 유닛, 및/또는 이의 제조방법 | |
| CA2706395C (en) | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same | |
| JP6066929B2 (ja) | 熱処理可能な被覆ガラス板 | |
| JP6374395B2 (ja) | 追加金属を有する亜鉛酸化物含有層を含む低放射率コーティングを有する被覆製品 | |
| RU2764973C1 (ru) | Изделие с совместимым низкоэмиссионным покрытием с легированным затравочным слоем под серебром (варианты) | |
| JP6588894B2 (ja) | 熱処理可能な被覆ガラス板 | |
| KR20160088394A (ko) | Ir 반사층 사이의 주석산 아연 기반 층을 갖는 저-e 코팅을 포함하는 열처리 가능한 코팅 제품 및 상응하는 방법 | |
| BRPI0609103A2 (pt) | revestimento de baixa emissividade com baixo coeficiente de aquecimento solar e propriedades quìmicas e mecánicas otimizadas, e processo de produção do mesmo | |
| MX2008002527A (es) | Pilas de recubrimiento delgadas, de baja emisividad (baja e) con capas antidifusion intermedias. | |
| SA111320624B1 (ar) | مادة مطلية ذات طبقة من حبيبات اكسيد الزنك | |
| TW200916424A (en) | Appliance transparency | |
| ES2966817T3 (es) | Sustrato de vidrio recubierto | |
| CN114341075A (zh) | 可强化的涂覆基材 |