RU2013117461A - Покрытое изделие, имеющее затравочный слой на основе легированного бором оксида цинка с улучшенной долговечностью под функциональным слоем, и способ его изготовления - Google Patents

Покрытое изделие, имеющее затравочный слой на основе легированного бором оксида цинка с улучшенной долговечностью под функциональным слоем, и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2013117461A
RU2013117461A RU2013117461/03A RU2013117461A RU2013117461A RU 2013117461 A RU2013117461 A RU 2013117461A RU 2013117461/03 A RU2013117461/03 A RU 2013117461/03A RU 2013117461 A RU2013117461 A RU 2013117461A RU 2013117461 A RU2013117461 A RU 2013117461A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
zinc oxide
boron
layer
aluminum
gallium
Prior art date
Application number
RU2013117461/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2598007C2 (ru
Inventor
Мухаммад ИМРАН
Ричард БЛЭКЕР
Original Assignee
Гардиан Индастриз Корп.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Гардиан Индастриз Корп. filed Critical Гардиан Индастриз Корп.
Publication of RU2013117461A publication Critical patent/RU2013117461A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2598007C2 publication Critical patent/RU2598007C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3613—Coatings of type glass/inorganic compound/metal/inorganic compound/metal/other
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/086—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58—After-treatment
    • C23C14/584—Non-reactive treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

1. Покрытое изделие, включающее поддерживаемое стеклянной подложкой покрытие, причем покрытие содержит по меньшей мере следующие слои, двигаясь от стеклянной подложки:диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и/или алюминия;отражающий инфракрасное (ИК) излучение слой, содержащий серебро и/или золото, расположенный на подложке над и непосредственно контактирующим со слоем, содержащим легированный бором оксид цинка;диэлектрический слой на подложке поверх по меньшей мере отражающего ИК-излучение слоя; ипри этом слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, включает от примерно 0,01 до 8% бора.2. Покрытое изделие по п. 1, причем в состав слоя, содержащего легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, входит от примерно 0,02 до 5% бора.3. Покрытое изделие по п. 1, причем слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, включает от примерно 0,5 до 3% бора.4. Покрытое изделие по п. 1, причем диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, является практически прозрачным.5. Покрытое изделие по п. 1, причем диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка, дополнительно содержит галлий.6. Покрытое изделие по п. 1, причем диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка, дополнительно содержит алюминий.7. Оконный блок, содержащий покрытое изделие по п. 1.8. Покрытое изделие по п. 1, причем покрытие является низкоизлучательным (low-E) покрытием.9. Покрытое изделие по п. 1, причем слой, со�

Claims (27)

1. Покрытое изделие, включающее поддерживаемое стеклянной подложкой покрытие, причем покрытие содержит по меньшей мере следующие слои, двигаясь от стеклянной подложки:
диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и/или алюминия;
отражающий инфракрасное (ИК) излучение слой, содержащий серебро и/или золото, расположенный на подложке над и непосредственно контактирующим со слоем, содержащим легированный бором оксид цинка;
диэлектрический слой на подложке поверх по меньшей мере отражающего ИК-излучение слоя; и
при этом слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, включает от примерно 0,01 до 8% бора.
2. Покрытое изделие по п. 1, причем в состав слоя, содержащего легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, входит от примерно 0,02 до 5% бора.
3. Покрытое изделие по п. 1, причем слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, включает от примерно 0,5 до 3% бора.
4. Покрытое изделие по п. 1, причем диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, является практически прозрачным.
5. Покрытое изделие по п. 1, причем диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка, дополнительно содержит галлий.
6. Покрытое изделие по п. 1, причем диэлектрический слой, содержащий легированный бором оксид цинка, дополнительно содержит алюминий.
7. Оконный блок, содержащий покрытое изделие по п. 1.
8. Покрытое изделие по п. 1, причем покрытие является низкоизлучательным (low-E) покрытием.
9. Покрытое изделие по п. 1, причем слой, содержащий легированный бором оксид цинка, состоит, по существу, из легированного бором оксида цинка и по меньшей мере одного из галлия и алюминия.
10. Покрытое изделие по п. 1, причем слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, имеет твердость по меньшей мере 9 ГПа.
11. Покрытое изделие по п. 1, дополнительно содержащее контактный слой, расположенный над и контактирующим с отражающим ИК-излучение слоем.
12. Покрытое изделие по п. 11, причем контактный слой содержит легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия.
13. Покрытое изделие по п. 11, причем контактный слой содержит оксид Ni и/или Cr.
14. Покрытое изделие по п. 1, причем слой, содержащий легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия, составляет примерно 10-300 ангстрем в толщину.
15. Покрытое изделие по п. 1, причем покрытие содержит по меньшей мере первый и второй отражающие ИК-излучение слои, содержащие серебро, и каждый из этих первого и второго отражающих ИК-излучение слоев, содержащих серебро, расположен над и контактирующим с соответствующим слоем, содержащим легированный бором оксид цинка и по меньшей мере один из галлия и алюминия.
16. Покрытое изделие, содержащее поддерживаемое подложкой покрытие, причем покрытие содержит по меньшей мере следующие слои, двигаясь от подложки:
практически прозрачный диэлектрический затравочный слой, содержащий первый материал и второй материал, причем диэлектрический затравочный слой имеет твердость по меньшей мере примерно 9 ГПа;
слой, содержащий серебро и/или золото, расположенный на подложке над и непосредственно контактирующим с затравочным слоем;
по меньшей мере один диэлектрический слой поверх по меньшей мере слоя, содержащего серебро и/или золото;
при этом первый материал является металлом, а второй материал используется для легирования оксида первого материала в затравочном слое.
17. Покрытое изделие по п. 16, причем второй материал является бором.
18. Покрытое изделие по п. 16, причем второй материал является алюминием.
19. Покрытое изделие по п. 16, причем первый материал является цинком.
20. Способ изготовления покрытого изделия, включающий в себя этапы:
осаждение распылением из практически металлической мишени диэлектрического слоя, содержащего оксид цинка и бор, на стеклянную подложку поверх по меньшей мере одного диэлектрического слоя, причем практически металлическая мишень содержит по меньшей мере примерно 85% цинка и примерно 0,01-8% бора; и
осаждение распылением отражающего ИК-излучение слоя, содержащего серебро и/или золото, на стеклянную подложку над и непосредственно контактирующим со слоем, содержащим легированный бором оксид цинка.
21. Способ по п. 20, причем практически металлическая мишень содержит по меньшей мере примерно 90% цинка.
22. Способ по п. 20, причем практически металлическая мишень содержит от примерно 0,2 до 5% бора, более предпочтительно от примерно 0,5 до 3% бора.
23. Способ по п. 20, причем практически металлическая мишень дополнительно содержит галлий.
24. Способ по п. 20, причем практически металлическая мишень дополнительно содержит алюминий.
25. Распыляемая мишень для осаждения распылением диэлектрического слоя, содержащего легированный бором оксид цинка, причем мишень является практически металлической и содержит по меньшей мере примерно 85% цинка и от примерно 0,02 до 5% бора.
26. Способ изготовления покрытого изделия, включающий в себя этапы:
осаждение распылением диэлектрического слоя, содержащего легированный бором оксид цинка, на стеклянную подложку поверх по меньшей мере одного диэлектрического слоя, причем слой, содержащий легированный бором оксид цинка, осаждают в распылительной атмосфере, содержащей по меньшей мере примерно 50% кислорода, более предпочтительно по меньшей мере примерно 60% кислорода; и
осаждение распылением отражающего ИК-излучение слоя, содержащего серебро и/или золото, на стеклянную подложку над и непосредственно контактирующим со слоем, содержащим легированный бором оксид цинка.
27. Способ по п. 26, причем диэлектрический слой, содержащий оксид цинка и бор, дополнительно содержит по меньшей мере один из галлия и/или алюминия.
RU2013117461/03A 2010-09-17 2011-06-07 Покрытое изделие, имеющее затравочный слой на основе легированного бором оксида цинка с улучшенной долговечностью под функциональным слоем, и способ его изготовления RU2598007C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/923,391 US8808882B2 (en) 2010-09-17 2010-09-17 Coated article having boron doped zinc oxide based seed layer with enhanced durability under functional layer and method of making the same
US12/923,391 2010-09-17
PCT/US2011/001023 WO2012036720A1 (en) 2010-09-17 2011-06-07 Coated article having boron doped zinc oxide based seed layer with enhanced durability under functional layer and method of making the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013117461A true RU2013117461A (ru) 2014-10-27
RU2598007C2 RU2598007C2 (ru) 2016-09-20

Family

ID=44513095

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013117461/03A RU2598007C2 (ru) 2010-09-17 2011-06-07 Покрытое изделие, имеющее затравочный слой на основе легированного бором оксида цинка с улучшенной долговечностью под функциональным слоем, и способ его изготовления

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8808882B2 (ru)
EP (1) EP2616403A1 (ru)
BR (1) BR112013006342A2 (ru)
MX (1) MX346942B (ru)
RU (1) RU2598007C2 (ru)
SA (1) SA111320649B1 (ru)
WO (1) WO2012036720A1 (ru)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2975989B1 (fr) * 2011-05-30 2014-04-25 Saint Gobain Couche barriere aux alcalins
DE102012203052A1 (de) * 2011-10-26 2013-05-02 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Transparente Metalloxid-Schicht mit einem galliumdotierten Zinkoxid, Verfahren und Vorrichtung zu deren Herstellung
DE102012203055B4 (de) * 2011-10-26 2016-09-15 Von Ardenne Gmbh Sputtertarget aus einem galliumdotiertes Zink enthaltenden Material und Verfahren zu dessen Herstellung
KR101293647B1 (ko) * 2012-07-27 2013-08-13 삼성코닝정밀소재 주식회사 투명 전도성 산화물 박막 기판, 그 제조방법, 이를 포함하는 유기전계발광소자 및 광전지
US8900729B2 (en) 2012-11-19 2014-12-02 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including zinc oxide inclusive layer(s) with additional metal(s)
US9206078B2 (en) * 2013-03-13 2015-12-08 Intermolecular, Inc. Barrier layers for silver reflective coatings and HPC workflows for rapid screening of materials for such barrier layers
DE102014111190B4 (de) * 2014-04-11 2022-10-20 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Hochtransmissives und kratzfestes, Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102015102496A1 (de) 2014-10-27 2016-04-28 Almeco Gmbh Temperatur- und korrosionsstabiler Oberflächenreflektor
EP3305939A4 (en) * 2015-05-26 2019-03-13 National Institute for Materials Science FRAME-FREE COATING OF ZINC OXIDE THIN LAYER WITH BORED ADDITION AND MICROMATIC MACHINE
DE102017102377B4 (de) 2017-02-07 2019-08-22 Schott Ag Schutzverglasung, thermisches Prozessaggregat und Verfahren zur Herstellung einer Schutzverglasung
EP3728157B1 (en) 2017-12-22 2022-03-16 AGC Glass Europe Coated substrates

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5516554A (en) 1978-07-21 1980-02-05 Toko Inc Manufacture of thin film of zinc oxide
JPH02181304A (ja) 1988-09-22 1990-07-16 Nippon Soken Inc 酸化亜鉛系透明導電膜およびその製膜方法
US5487918A (en) 1990-05-14 1996-01-30 Akhtar; Masud Method of depositing metal oxides
US5532062A (en) 1990-07-05 1996-07-02 Asahi Glass Company Ltd. Low emissivity film
JPH10297962A (ja) 1997-04-28 1998-11-10 Sumitomo Metal Mining Co Ltd スパッタリングターゲット用ＺｎＯ−Ｇａ２Ｏ３系焼結体およびその製造方法
DE19848751C1 (de) * 1998-10-22 1999-12-16 Ver Glaswerke Gmbh Schichtsystem für transparente Substrate
US6261694B1 (en) * 1999-03-17 2001-07-17 General Electric Company Infrared reflecting coatings
US20020084455A1 (en) 1999-03-30 2002-07-04 Jeffery T. Cheung Transparent and conductive zinc oxide film with low growth temperature
JP4109451B2 (ja) * 1999-10-14 2008-07-02 エージーシー フラット グラス ユーロップ エスエー 窓ガラス
US6475626B1 (en) 1999-12-06 2002-11-05 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles and methods of making same
US6576349B2 (en) 2000-07-10 2003-06-10 Guardian Industries Corp. Heat treatable low-E coated articles and methods of making same
KR100905478B1 (ko) 2001-10-05 2009-07-02 가부시키가이샤 브리지스톤 투명 전도성 필름 및 터치패널
DE10155273B4 (de) 2001-11-09 2006-03-23 Guardian Flachglas Gmbh Verwendung einer Verglasungseinheit als Brandschutzglas
US6830817B2 (en) 2001-12-21 2004-12-14 Guardian Industries Corp. Low-e coating with high visible transmission
JP4260494B2 (ja) 2002-02-26 2009-04-30 株式会社フジクラ 透明電極用基材の製法、光電変換素子の製法、及び色素増感太陽電池の製法
US6827977B2 (en) 2002-03-07 2004-12-07 Guardian Industries Corp. Method of making window unit including diamond-like carbon (DLC) coating
US7235160B2 (en) 2003-08-06 2007-06-26 Energy Photovoltaics, Inc. Hollow cathode sputtering apparatus and related method
US7150849B2 (en) 2003-11-04 2006-12-19 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating
US7217460B2 (en) 2004-03-11 2007-05-15 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including tin oxide interlayer
US7229533B2 (en) 2004-06-25 2007-06-12 Guardian Industries Corp. Method of making coated article having low-E coating with ion beam treated and/or formed IR reflecting layer
US7390572B2 (en) 2004-11-05 2008-06-24 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with IR reflecting layer(s) and method of making same
US7153578B2 (en) * 2004-12-06 2006-12-26 Guardian Industries Corp Coated article with low-E coating including zirconium silicon oxynitride and methods of making same
US7537677B2 (en) 2005-01-19 2009-05-26 Guardian Industries Corp. Method of making low-E coating using ceramic zinc inclusive target, and target used in same
KR20070114137A (ko) * 2005-02-24 2007-11-29 필킹톤 노쓰 아메리카, 인코포레이티드 반사방지, 열 절연된 글레이징 물품
US7597962B2 (en) 2005-06-07 2009-10-06 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with IR reflecting layer and method of making same
JP4479609B2 (ja) 2005-06-30 2010-06-09 Ｔｄｋ株式会社 透明導電体及び透明導電材料
US7629742B2 (en) 2006-03-17 2009-12-08 Lexmark International, Inc. Electroluminescent displays, media, and members, and methods associated therewith
DE102006024524A1 (de) * 2006-05-23 2007-12-06 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Infrarotstrahlung reflektierendes, transparentes Schichtsystem
CN104773960A (zh) * 2006-06-05 2015-07-15 皮尔金顿集团有限公司 具有氧化锌涂层的玻璃制品及其制造方法
US7695785B2 (en) 2006-07-14 2010-04-13 Guardian Industries Corp. Coated article with oxides and/or oxynitrides of antimony and/or zinc dielectric layer(s) and corresponding method
US7645487B2 (en) 2006-07-20 2010-01-12 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with zinc-doped zirconium based layer(s) in coating
AU2007290842B2 (en) 2006-08-29 2012-08-23 Arkema, Inc. Method of making low resistivity doped zinc oxide coatings and the articles formed thereby
KR101700286B1 (ko) 2006-09-07 2017-02-13 쌩-고벵 글래스 프랑스 유기 발광 소자용 기판, 상기 기판 및 유기 발광 소자의 제조 방법 및 용도
JP5261397B2 (ja) * 2006-11-17 2013-08-14 サン−ゴバン グラス フランス 有機発光素子用の電極、その酸エッチング、及び、それを組み込んだ有機発光素子
US7655313B2 (en) 2007-03-15 2010-02-02 Guardian Industries Corp. Low-E coated articles and methods of making same
US7648769B2 (en) 2007-09-07 2010-01-19 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating having absorbing layer designed for desirable bluish color at off-axis viewing angles
US8179807B2 (en) * 2007-11-06 2012-05-15 Lsi Corporation In-band communication of alarm status information in a synchronous transport communication system
EP2255372A2 (fr) 2008-02-18 2010-12-01 Saint-Gobain Glass France Cellule photovoltaique et substrat de cellule photovoltaique
EA019368B1 (ru) 2008-03-20 2014-03-31 Агк Гласс Юроп Остекление, обладающее солнцезащитными и низкоэмиссионными свойствами
HUE049451T2 (hu) 2008-03-20 2020-09-28 Agc Glass Europe Vékony rétegekkel bevont üvegezés
WO2009133076A2 (en) 2008-04-30 2009-11-05 Applied Materials Inc., A Corporation Of The State Of Delaware Sputter target, method for manufacturing a layer, particularly a tco (transparent conductive oxide) layer, and method for manufacturing a thin layer solar cell

Also Published As

Publication number Publication date
BR112013006342A2 (pt) 2016-06-21
US20120070672A1 (en) 2012-03-22
RU2598007C2 (ru) 2016-09-20
MX2013002897A (es) 2013-04-10
WO2012036720A1 (en) 2012-03-22
SA111320649B1 (ar) 2015-03-22
US8808882B2 (en) 2014-08-19
EP2616403A1 (en) 2013-07-24
MX346942B (es) 2017-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013117461A (ru) Покрытое изделие, имеющее затравочный слой на основе легированного бором оксида цинка с улучшенной долговечностью под функциональным слоем, и способ его изготовления
RU2013117440A (ru) ПОКРЫТОЕ ИЗДЕЛИЕ, ИМЕЮЩЕЕ ЗАТРАВОЧНЫЙ СЛОЙ ЛЕГИРОВАННОГО Ga ОКСИДА ЦИНКА С УМЕНЬШЕННЫМ НАПРЯЖЕНИЕМ ПОД ФУНКЦИОНАЛЬНЫМ СЛОЕМ, И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
JP6490810B2 (ja) 耐温度性及び耐腐食性の表面反射体
RU2014129764A (ru) Изделия с покрытиями с низкой эмиссионной способностью с системой (системами) барьерных слоев, включающей (включающими) множественные диэлектрические слои, и/или способы их изготовления
TWI597516B (zh) 經塗覆物件及其製造方法
RU2020121405A (ru) Лист стекла, покрытый пакетом тонких слоев и слоем эмали
RU2011148435A (ru) ПОКРЫТОЕ ИЗДЕЛИЕ С НИЗКОЭМИССИОННЫМ ПОКРЫТИЕМ, ИМЕЮЩИМ СЛОЙ ОКСИДА ТИТАНА И/ИЛИ СЛОЙ(И) НА ОСНОВЕ NiCr ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ ЦВЕТОВЫХ ЗНАЧЕНИЙ И/ИЛИ КОЭФФИЦИЕНТА ПРОПУСКАНИЯ, И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
CA2593028A1 (en) Method of making low-e coating using ceramic zinc inclusive target, and target used in same
RU2012149665A (ru) Покрытое изделие, имеющее слабо излучающее покрытие с поглощающим слоем (слоями)
RU2015112590A (ru) Изделие с низкоэмиссионным покрытием, содержащим поглощающие слои для низкого отражения со стороны пленки и низкого пропускания видимого спектра
KR20190123744A (ko) 은 기반 ir 반사 층(들)을 보호하기 위한 도핑된 은 보호층을 갖는 로이 코팅을 갖는 코팅된 물품, 및 이의 제조 방법
RU2014129498A (ru) Изделия, включающие антиконденсатные и/или низкоэмиссионные покрытия, и/или способы их изготовления
RU2011102564A (ru) Изделие, покрытое низкоэмиссионным покрытием, включающим оксид циркония и/или цирконий-кремний оксинитрид, и способы его изготовления
RU2013143140A (ru) Покрытое изделие с низкоизлучательным покрытием, стеклопакет, содержащий покрытое изделие, и/или способ их изготовления
CA2584983A1 (en) Coated article with ir reflecting layer(s) and method of making same
RU2014118757A (ru) Изделие с низкоэмиссионным покрытием, содержащим поглощающий слой поверх функционального слоя, предназначенным для повышения наружного отражения
EA201170518A1 (ru) Способ получения подложек, снабженных пакетом с термическими свойствами, в частности, для изготовления обогреваемых остеклений
CA2548366A1 (en) Coated article with ir reflecting layer and method of making same
RU2011144649A (ru) Низкоэмиссионное стекло и способ его получения
RU2007127629A (ru) Лист стекла, несущий многослойное покрытие
ES2192891T3 (es) Mejoras introducidas en el revestimiento de vidrio.
RU2019130992A (ru) Изделие с низкоэмиссионным покрытием, имеющим отражающий ик-излучение слой или слои и диэлектрический слой или слои из легированного оксида титана, и способ его получения
RU2016130960A (ru) Термообрабатываемое покрытое изделие бронзового цвета, имеющее низкое значение солнечного фактора
KR20160147387A (ko) 내구성이 향상된 열처리 가능한 저방사 유리 및 그 제조방법
KR101968813B1 (ko) 반사성 코팅 기판

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190608