RU97112635A - Способ для отслеживания кромок перед сваркой и контроля кромок (варианты) и аппарат для его осуществления (варианты) - Google Patents
Способ для отслеживания кромок перед сваркой и контроля кромок (варианты) и аппарат для его осуществления (варианты)Info
- Publication number
- RU97112635A RU97112635A RU97112635/02A RU97112635A RU97112635A RU 97112635 A RU97112635 A RU 97112635A RU 97112635/02 A RU97112635/02 A RU 97112635/02A RU 97112635 A RU97112635 A RU 97112635A RU 97112635 A RU97112635 A RU 97112635A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- lines
- welding
- intensity
- image
- edges
- Prior art date
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 18
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 4
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 3
- 229940116821 SSD Drugs 0.000 claims 1
Claims (14)
1. Способ отслеживания кромок перед сваркой и/или контроля кромок и соответственно контроля сварного шва после сварки при сварном соединении листов (6, 7) вдоль общей кромки (13), причем свет проецируют на листы (6, 7) в форме нескольких линий (5). проходящих поперек через кромку, и оценивают изображение линий, зарегистрированное камерой (3), отличающийся тем, что линии (5) проецируют с отличающейся друг от друга световой интенсивностью.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что линии имеют световую интенсивность в диапазоне 100 - 5%.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что дополнительно проецируют линии с одинаковой интенсивностью.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что проецируют пять линий, причем одна линия имеет интенсивность 100%, две линии - интенсивность 50% и две линии - интенсивность 25%.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что пять линий создают посредством дифракционной решетки, причем линия, лежащая посередине, имеет 100% интенсивности при нулевом порядке дифракции, линии, лежащие по обе стороны от нее, имеют интенсивность 50% при дифракции первого порядка, и крайние линии имеют интенсивность 25% при дифракции второго порядка.
6. Аппарат для отслеживания кромок перед сваркой и/или контроля кромок и, соответственно, контроля сварного шва после сварки при сварном соединении листов (6, 7) вдоль общей кромки (13), содержащее устройство (2) для создания нескольких световых линий, проходящих поперечно через кромку, приемное устройство (3) для приема изображения линий (5) и устройство (14) обработки данных для оценки изображения, отличающийся тем, что устройство (2) для создания линий приспособлено для получения линий различной интенсивности, а устройство (14) обработки данных - для выбора линии по яркости управляемого или отраженного излучения.
7. Аппарат по п. 6, отличающийся тем, что устройство для создания линий включает источник лазерного света и дифракционную решетку.
8. Аппарат по п. 7, отличающийся тем, что применяется устройство для создания пяти дифракционных линий, причем дифракционные линии нулевого порядка имеют интенсивность 100%, дифракционные линии первого порядка имеют интенсивность около 50% и дифракционные линии второго порядка имеют интенсивность около 25%.
9. Аппарат по п. 6, отличающийся тем, что приемное устройство имеет по меньшей мере одну ССД - камеру.
10. Способ отслеживания кромок перед сваркой и/или для контроля кромок и, соответственно, сварного шва после сварки при сварном соединении листов (6, 7) вдоль общей кромки (13), причем на листы (6, 7) проецируют свет в форме нескольких линий (5), проходящих поперечно через кромку, и оценивают изображение линий (5), зарегистрированное камерой (3), отличающийся тем, что устройство (14) обработки данных имеет регулируемое изменяющееся средство контроля за освещенностью, и что при оценке изображения соответствующим образом устанавливают, следует ли изменять освещенность для следующего изображения и если да, то в камеру подают управляющий сигнал для изменения освещенности.
11. Способ по п. 10, отличающийся тем, что применяется ССД - камера и что для контроля освещенности изменяют время интегрирования элемента ССД - камеры или время затвора камеры, причем предпочтительно каждое интегрирование проводят на постоянной выбираемой длине кромок и шва.
12. Аппарат для отслеживания кромок перед сваркой и/или контроля кромок и, соответственно, контроля сварного шва после сварки при сварном соединении листов (6, 7) вдоль общей кромки (13), содержащее устройство (2) для создания нескольких световых линий, проходящих поперечно через кромку, приемное устройство (3) для приема изображения линий (5) и устройство (14) обработки данных при оценке изображения, отличающийся тем, что приемное устройство имеет камеру (3) с регулируемой освещенностью, в частности, ССД - камеру с регулируемым временем интегрирования ССД - элемента и/или регулируемым временем затвора, и что устройство обработки данных выполнено с возможностью подачи управляющего сигнала (20) для приемного устройства.
13. Способ для отслеживания кромок перед сваркой и/или для контроля кромок и, соответственно, сварного шва после сварки при сварном соединении листов (6, 7) вдоль общей кромки (13), причем на листы (6, 7) проецируют свет в форме нескольких линий (5), проходящих поперечно через кромку, и оценивают изображение линий (5), зарегистрированное камерой (3), отличающийся тем, что проецирующее устройство для создания линий выполнено регулируемым по интенсивности света, и что при оценке каждого изображения устанавливают, следует ли изменять яркость линий для следующего изображения и если да, то к проекционному устройству подводят управляющий сигнал, воздействующий на интенсивность.
14. Аппарат для отслеживания кромок перед сваркой и/или для контроля кромок и, соответственно, контроля сварного шва после сварки при сварном соединении листов (6, 7) вдоль общей кромки (13), содержащее устройство (2) для создания нескольких световых линий, проходящих поперечно через кромку, приемное устройство (3) для приема изображения линий (5) и устройство (14) обработки данных при оценке изображения, отличающийся тем, что устройство для создания линий имеет линейное проекционное устройство с управляемым входом сигналов для световой интенсивности источника света и что устройство обработки данных выполнено с возможностью подачи управляющего сигнала для линейного проекционного устройства.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH188296 | 1996-07-29 | ||
CH1882/96 | 1996-07-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97112635A true RU97112635A (ru) | 1999-06-10 |
RU2138374C1 RU2138374C1 (ru) | 1999-09-27 |
Family
ID=4220800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97112635A RU2138374C1 (ru) | 1996-07-29 | 1997-07-28 | Способ отслеживания кромок перед сваркой и контроля кромок (варианты) и аппарат для его осуществления (варианты) |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6909799B1 (ru) |
EP (2) | EP0822389B1 (ru) |
JP (1) | JPH10154014A (ru) |
KR (1) | KR100543433B1 (ru) |
CN (1) | CN1115556C (ru) |
AR (1) | AR007964A1 (ru) |
AT (1) | ATE237793T1 (ru) |
BR (1) | BR9704120A (ru) |
CA (1) | CA2210814A1 (ru) |
DE (1) | DE59709824D1 (ru) |
ES (1) | ES2197266T3 (ru) |
MX (1) | MX9705701A (ru) |
PT (1) | PT822389E (ru) |
RU (1) | RU2138374C1 (ru) |
TW (1) | TW355216B (ru) |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6747745B2 (en) * | 2000-03-31 | 2004-06-08 | Omron Corporation | Displacement sensor |
JP3385363B2 (ja) * | 2000-05-11 | 2003-03-10 | 北海道大学長 | レーザ溶接方法、レーザ溶接装置及びレーザ溶接用ガスシールド装置 |
JP3385362B2 (ja) * | 2000-05-11 | 2003-03-10 | 北海道大学長 | レーザ溶接ヘッド制御システムおよびこれを具えるレーザ溶接ヘッド |
DE10212916B4 (de) * | 2001-03-25 | 2016-12-22 | Omron Corp. | Optischer Versetzungssensor und Verfahren zum Verarbeiten von Bildern unter Verwendung eines optischen Versetzungssensors |
DE10116233A1 (de) * | 2001-04-02 | 2002-05-29 | Forbo Int Sa | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer relativen Längenänderung eines Antriebs-oder Förderbandes |
WO2003041902A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-05-22 | Elpatronic Ag | Verfahren und vorrichtung zur bewertung von fügestellen von werkstücken |
KR20040034003A (ko) * | 2002-10-16 | 2004-04-28 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 검사 장치 |
JP2005003385A (ja) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Mitsutoyo Corp | 画像測定方法、および画像測定装置 |
JP3892838B2 (ja) | 2003-10-16 | 2007-03-14 | ファナック株式会社 | 3次元測定装置 |
CA2463409A1 (en) * | 2004-04-02 | 2005-10-02 | Servo-Robot Inc. | Intelligent laser joining head |
DE102004040345B4 (de) * | 2004-08-20 | 2007-07-26 | Intelligendt Systems & Services Gmbh & Co Kg | Verfahren und Einrichtung zum Überprüfen des Stoßbereiches nebeneinander auf eine Unterlage gelegter Bahnen aus einem Faserverbundwerkstoff |
GB0419059D0 (en) * | 2004-08-26 | 2004-09-29 | Ici Plc | Sediment assessment |
RU2258589C1 (ru) * | 2004-12-30 | 2005-08-20 | Керемжанов Акимжан Фазылжанович | Способ и устройство диагностики и управления качеством лазерной сварки |
KR100797239B1 (ko) * | 2005-12-23 | 2008-01-23 | 주식회사 포스코 | 강판의 용접부 온라인 검출장치 및 방법 |
EP2061621B1 (de) * | 2006-09-06 | 2011-10-26 | Precitec Vision GmbH & Co. KG | Verfahren und vorrichtung zur optischen beurteilung der schweissqualität beim schweissen |
DE102006052827A1 (de) * | 2006-11-09 | 2008-05-15 | Volkswagen Ag | Verfahren zur Fügung von Blechkonstruktionen durch Laserstrahlschweißen |
US7692800B2 (en) * | 2007-08-03 | 2010-04-06 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Multi-level light curtain with structure light sources and imaging sensors |
FR2923295B1 (fr) * | 2007-11-06 | 2009-12-11 | Areva Np | Procede et dispositif de visualisation et de controle du profil d'un cordon de soudure a l'interieur d'un chanfrein menage entre deux pieces metalliques |
EP2062720B1 (de) * | 2007-11-20 | 2009-12-02 | Leister Process Technologies | Verfahren und Schweissautomat zum Verbinden Materialbahnen |
KR100928318B1 (ko) * | 2008-01-03 | 2009-11-25 | 삼성중공업 주식회사 | 엘브이에스에서의 용접비드 에지 검출 방법 |
KR101004718B1 (ko) | 2008-06-16 | 2011-01-04 | 삼성중공업 주식회사 | 곡부재 계측 데이터를 이용한 고정물 위치 인식 장치 및방법 |
EP2163339B1 (de) * | 2008-09-11 | 2016-11-02 | Bystronic Laser AG | Laserschneidanlage zum Schneiden eines Werkstücks mit einem Laserstrahl mit einer variablen Schneidgeschwindigkeit |
CA2743522C (en) * | 2008-11-21 | 2015-05-26 | Precitec Itm Gmbh | Method and device for monitoring a laser processing operation to be performed on a workpiece, and laser processing head having such a device |
JP5243980B2 (ja) * | 2009-01-28 | 2013-07-24 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 二次元測定装置 |
DE102009042986B3 (de) | 2009-09-25 | 2011-03-03 | Precitec Kg | Schweißkopf und Verfahren zum Fügen eines Werkstücks |
JP5718662B2 (ja) | 2011-01-31 | 2015-05-13 | 株式会社ミツトヨ | オートフォーカス装置 |
DE102011116791B4 (de) * | 2011-10-24 | 2014-05-15 | SmartRay GmbH | Optisches Prüfverfahren mit Mehrfach-Auslesung/Einfrieren |
TW201331547A (zh) * | 2011-11-01 | 2013-08-01 | 尼康股份有限公司 | 形狀測定裝置、構造物製造系統、形狀測定方法、構造物製造方法、程式及記錄媒體 |
CN102721366B (zh) * | 2012-06-21 | 2015-01-07 | 张旭 | 一种焊缝跟踪测量方法及其装置 |
CN103537802B (zh) * | 2012-07-11 | 2015-08-05 | 武汉楚天激光(集团)股份有限公司 | 平板太阳能集热器激光焊机加工的定位方法 |
DE102012108902B4 (de) * | 2012-09-21 | 2019-03-28 | SmartRay GmbH | Optischer Kopf sowie Düsenkopf mit einem optischen Kopf und Verfahren für deren Betrieb |
US10368053B2 (en) * | 2012-11-14 | 2019-07-30 | Qualcomm Incorporated | Structured light active depth sensing systems combining multiple images to compensate for differences in reflectivity and/or absorption |
JP2014126943A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Fanuc Ltd | 画像中の対象物を検出するために画像処理を行う画像処理装置及び方法 |
KR101438626B1 (ko) * | 2013-03-26 | 2014-09-05 | 현대자동차 주식회사 | 차량용 갭 및 단차 측정모듈 및 그 제어방법 |
KR20150043021A (ko) * | 2013-10-14 | 2015-04-22 | 동우 화인켐 주식회사 | 윈도우 기판의 절단면 검사 장치 |
CN103567607A (zh) * | 2013-11-06 | 2014-02-12 | 广东德科机器人技术与装备有限公司 | 一种焊缝跟踪方法 |
JP6286276B2 (ja) * | 2014-05-09 | 2018-02-28 | 株式会社アマダホールディングス | 溶接機及びその制御方法 |
CN104148838B (zh) * | 2014-08-12 | 2016-06-08 | 河北工业大学 | 薄钢板焊缝小特征点视觉跟踪与实时质量检测装置 |
CN104266615A (zh) * | 2014-10-14 | 2015-01-07 | 上海电气集团股份有限公司 | 一种管道内壁视觉检测装置及方法 |
CN105157603B (zh) * | 2015-07-29 | 2017-12-01 | 华南理工大学 | 一种线激光传感器 |
DE102016221749A1 (de) * | 2016-11-07 | 2018-05-09 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zum zerstörungsfreien Prüfen von Abdichtnähten |
JP6159005B1 (ja) * | 2016-11-21 | 2017-07-05 | 株式会社中田製作所 | 溶接管製造装置および溶接管製造方法 |
CN106346129B (zh) * | 2016-11-23 | 2017-11-14 | 中国计量大学 | 一种基于激光焊缝跟踪传感器的机器人焊接运动控制方法 |
CN107064169B (zh) * | 2017-01-22 | 2021-11-09 | 太原科技大学 | 一种桥梁裂缝检测装置及检测方法 |
CN107063130A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-08-18 | 西南石油大学 | 一种基于光栅投影三维重构的工件自动焊接方法 |
CN107631699B (zh) * | 2017-08-18 | 2019-07-05 | 中北大学 | 基于网格结构激光的焊缝三维形貌构建方法 |
DE102017126867A1 (de) * | 2017-11-15 | 2019-05-16 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Laserbearbeitungssystem und Verfahren zur Laserbearbeitung |
CN108188548B (zh) * | 2017-12-28 | 2020-06-26 | 江苏杰瑞科技集团有限责任公司 | 一种机器人多层多道焊接方法 |
JP7062049B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-05-02 | 富士フイルム株式会社 | 経皮吸収シート製造用のモールド、針状凸部を有する経皮吸収シートの製造装置及び方法 |
CN112004636A (zh) * | 2018-04-23 | 2020-11-27 | 麦格纳座椅公司 | 具有用于增加接合强度的设计间隙的搭接焊 |
WO2020042030A1 (zh) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 深圳配天智能技术研究院有限公司 | 视觉焊接系统的缝隙检测方法以及系统 |
WO2020042031A1 (zh) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 深圳配天智能技术研究院有限公司 | 视觉焊接系统的缝隙检测方法以及系统 |
CN111922483B (zh) * | 2019-05-13 | 2022-05-17 | 南京理工大学 | 基于学习的线结构光焊缝跟踪与增材路径纠偏装置及方法 |
JP6835151B2 (ja) * | 2019-06-28 | 2021-02-24 | 株式会社安川電機 | 評価装置、評価方法、評価システムおよび評価プログラム |
CN110986758A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-04-10 | 济南易安行信息科技有限公司 | 一种钢轨焊缝错边量在线检测方法 |
CN110814584B (zh) * | 2019-10-29 | 2021-06-04 | 创想智控科技(深圳)有限公司 | 基于预扫描的焊接方法、装置、系统及电子设备 |
CN111692992A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-09-22 | 征图智能科技(江苏)有限公司 | 基于多图分时曝光的高精度2d尺寸测量方法 |
DE102020133791A1 (de) | 2020-12-16 | 2022-06-23 | Benteler Automobiltechnik Gmbh | Verfahren zur Herstellung geschweißter Bauteile |
CN112781522A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-11 | 复旦大学 | 一种基于彩色相移结构光的去高光轮廓仪 |
CN112935541A (zh) * | 2021-02-01 | 2021-06-11 | 西南石油大学 | 一种激光跟踪大型曲面板角焊系统及方法 |
CN113134663A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-20 | 桂林理工大学 | 一种激光成像的二值图像预处理的焊缝跟踪方法 |
CN113649687B (zh) * | 2021-08-31 | 2022-10-25 | 西安交通大学 | 一种基于层间差异的激光加工后壁组合防护方法及系统 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2532072B1 (fr) * | 1982-08-21 | 1987-06-26 | Olympus Optical Co | Appareil photographique a commande de photometrie |
US4491719A (en) * | 1982-12-20 | 1985-01-01 | General Electric Company | Light pattern projector especially for welding |
US4525858A (en) * | 1983-01-03 | 1985-06-25 | General Electric Company | Method and apparatus for reconstruction of three-dimensional surfaces from interference fringes |
JPS635880A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-11 | Kobe Steel Ltd | 作業線自動検出装置 |
US4918517A (en) * | 1989-01-26 | 1990-04-17 | Westinghouse Electric Corp. | System and process for video monitoring a welding operation |
DE3940518C2 (de) * | 1989-12-07 | 1994-04-21 | Fisw Gmbh | Vorrichtung zur Belichtungsregelung für einen Lichtschnittsensor |
JP2938953B2 (ja) * | 1990-09-27 | 1999-08-25 | マツダ株式会社 | 表面欠陥検査装置 |
JP3123146B2 (ja) * | 1991-09-11 | 2001-01-09 | トヨタ自動車株式会社 | 溶接ビードの品質検査装置 |
GB9127139D0 (en) * | 1991-12-20 | 1992-02-19 | 3D Scanners Ltd | Scanning unit |
JP2711042B2 (ja) * | 1992-03-30 | 1998-02-10 | シャープ株式会社 | クリーム半田の印刷状態検査装置 |
US5570186A (en) * | 1992-04-28 | 1996-10-29 | Mtu Motoren- Und Turbinen-Union Munich Gmbh | Method for inspecting the curvature of a profile, such an edge of a turbine blade |
JPH0618245A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Mazda Motor Corp | 表面状態検査装置 |
JP3040607B2 (ja) * | 1992-08-04 | 2000-05-15 | 三菱重工業株式会社 | 光切断方法における異常光除去方法 |
US5313262A (en) * | 1992-09-30 | 1994-05-17 | Imra America, Inc. | Systems and methods for object detection using beam widening optics |
JPH06249788A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Nikon Corp | 異物検査装置 |
US5508521A (en) * | 1994-12-05 | 1996-04-16 | Cardiovascular Diagnostics Inc. | Method and apparatus for detecting liquid presence on a reflecting surface using modulated light |
US5793493A (en) * | 1997-04-04 | 1998-08-11 | Milliken Research Corporation | System for maintaining the cutting condition of double ground knife blades |
-
1997
- 1997-06-06 EP EP97109160A patent/EP0822389B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-06 EP EP02011396A patent/EP1245923A3/de not_active Withdrawn
- 1997-06-06 DE DE59709824T patent/DE59709824D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-06 ES ES97109160T patent/ES2197266T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-06 AT AT97109160T patent/ATE237793T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-06-06 PT PT97109160T patent/PT822389E/pt unknown
- 1997-07-22 AR ARP970103301A patent/AR007964A1/es unknown
- 1997-07-24 US US08/899,848 patent/US6909799B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-07-28 TW TW086110831A patent/TW355216B/zh active
- 1997-07-28 KR KR1019970035529A patent/KR100543433B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-07-28 MX MX9705701A patent/MX9705701A/es not_active IP Right Cessation
- 1997-07-28 RU RU97112635A patent/RU2138374C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1997-07-28 CA CA002210814A patent/CA2210814A1/en not_active Abandoned
- 1997-07-28 JP JP9201613A patent/JPH10154014A/ja active Pending
- 1997-07-29 CN CN97115483A patent/CN1115556C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-07-29 BR BR9704120A patent/BR9704120A/pt not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU97112635A (ru) | Способ для отслеживания кромок перед сваркой и контроля кромок (варианты) и аппарат для его осуществления (варианты) | |
AU626309B2 (en) | Spectral filter module | |
RU2138374C1 (ru) | Способ отслеживания кромок перед сваркой и контроля кромок (варианты) и аппарат для его осуществления (варианты) | |
US4984143A (en) | Color filter changer | |
KR980003671A (ko) | Slm에 기초한 이미지 디스플레이 시스템용 자동 초점 시스템 | |
MXPA97005701A (en) | Method and apparatus for following and inspecting a edge or sea | |
DE69513218D1 (de) | System zur Lichtstärkesteuerung, insbesondere für kinematographische Photographie | |
ATE172290T1 (de) | System zur lichtstärkensteuerung, insbesondere für kinematographische photographie | |
DE10330003B4 (de) | Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Wafer-Inspektion | |
JPWO2017059537A5 (ru) | ||
DK2355483T3 (en) | Lighting unit for image digitization scanners | |
ATE134047T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum abtasten | |
JP2892132B2 (ja) | 疑似太陽光照射装置 | |
EP2335016B1 (de) | Vorrichtung und verfahren für die optische messtechnik zur projektion von phasenverschiebungs-lichtmustern | |
JP2936015B2 (ja) | 表面状態検査方法 | |
US4448505A (en) | Arrangement for addressing rays or planes of light in space | |
US4924260A (en) | Exposure system of image forming apparatus | |
US5560696A (en) | Method and apparatus for establishing an alignment grid or pattern | |
DE933369C (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von gerasterten Negativen | |
WO1994024529A1 (en) | Fluorescence imaging with tunable detection | |
JPS621360A (ja) | 照明装置の露光量調整装置 | |
IT1267075B1 (it) | Dispositivo per illuminazione di palcoscenico | |
KR910001454A (ko) | 마킹 모드 선택 기능을 지니고있는 광학 마킹 시스템 및 그 방법 | |
ES2177466A1 (es) | Metodo y aparato de reconstruccion de frente de ondas interferencia de un haz de luz con una replica difractada. | |
JPS5868602A (ja) | 投影検査機 |