RU97108678A

RU97108678A - Изолирующее покрытие для керамического волокнистого материала и способ его нанесения

Info

Publication number: RU97108678A
Application number: RU97108678/03A
Authority: RU
Inventors: Майкл Брэндон Доуэлл; Артур Уильям Мур
Original assignee: Эдванст Сирэмикс Копэрейшн
Priority date: 1994-11-01
Filing date: 1995-10-24
Publication date: 1999-05-10

Claims

1. Изолирующее покрытые для керамического волокнистого материала, состоящее из кремнийсодержащего нитрида бора общей формулы BSi_xN_1+1,33x со стекловидной или аморфной структурой, и содержащее кремний в количестве от 2 до 42% по массе, причем весь кремний находится в связанном состоянии.

2. Изолирующее покрытие по п. 1, отличающееся тем, что упомянутый волокнистый материал представляет собой неоксидное волокно или керамическое одножильное волокно, относящееся к классу волокон из карборунда и нитрида кремния.

3. Изолирующее покрытие по п. 2, отличающееся тем, что массовое содержание кремния в его составе превышает 5%.

4. Изолирующее покрытие по п. 3, отличающееся тем, что массовое содержание кремния в его составе находится в пределах от 15 до 40%, а толщина изолирующего покрытия меньше, чем 1 мкм.

5. Способ нанесения изолирующего покрытия на керамический волокнистый материал, предусматривающий помещение волокнистого материала, предназначенного для нанесения на него изолирующего покрытия, в реакционной камере печи, отличающийся тем, что осуществляют нагрев воздуха в камере до равномерно распределенной температуры 1300 -1750^oС, снижение давления в камере до 0,1 - 1,5 мм рт. ст., введение в камеру парообразных реагентов, представляющих собой, главным образом, аммиак и газообразный источник бора и кремния с расходом, обеспечивающим осаждение нитрида на волокнистый материал, в результате чего образуется кремнийсодержащее боро-нитридное покрытие с массовым содержанием кремния, равным 2-42%, находящегося в практически полностью связанном состоянии.

6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что источником бора является треххлористый бор, а источником кремния - трихлорсилан.

7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что расход реагентов, направляемых в камеру, обеспечивает отношение расхода аммиака к расходу смеси треххлористого бора с трихлорсиланом, находящееся в пределах от 1,3 до 3,0.

8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что отношение расходов газов находится в пределах от 1,5 до 2,5.

9. Способ по п.6, отличающийся тем, что мольная доля трихлорсилана в суммарном объеме подаваемых газов составляет от 0,05 до 0,2.

10. Способ по п. 9, отличающийся тем, что отношение расхода треххлористого бора к расходу смеси треххлористого бора с трихлорсиланом находится в пределах от 0,2 до 0,5.