RU96118914A - Дисплей с плоским экраном с автоэлектронным эмиттером, содержащий газопоглотитель, и процесс его получения - Google Patents

Дисплей с плоским экраном с автоэлектронным эмиттером, содержащий газопоглотитель, и процесс его получения

Info

Publication number
RU96118914A
RU96118914A RU96118914/09A RU96118914A RU96118914A RU 96118914 A RU96118914 A RU 96118914A RU 96118914/09 A RU96118914/09 A RU 96118914/09A RU 96118914 A RU96118914 A RU 96118914A RU 96118914 A RU96118914 A RU 96118914A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
getter material
alloys
layer
substrate
display
Prior art date
Application number
RU96118914/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2137245C1 (ru
Inventor
Карелла Серджио
Боффито Клаудио
Original Assignee
С.А.Е.С. Геттерс С.п.А.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from ITMI940359A external-priority patent/IT1273349B/it
Application filed by С.А.Е.С. Геттерс С.п.А. filed Critical С.А.Е.С. Геттерс С.п.А.
Publication of RU96118914A publication Critical patent/RU96118914A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2137245C1 publication Critical patent/RU2137245C1/ru

Links

Claims (19)

1. Дисплей с плоским экраном и автоэлектронным эмиттером, имеющий внутреннее вакуумное пространство, в котором размещены a) слой возбуждаемых люминофоров и множество микрокатодов (МК), которые испускают электроны, возбуждаемые сильным электрическим полем, и b) множество электрических межслойных соединений (P) и вакуумный стабилизатор (G), отличающийся тем, что упомянутый вакуумный стабилизатор (G) по существу образован из пористого поддерживаемого слоя неиспаряющегося газопоглотительного материала толщиной 20 - 180 мкм (предпочтительно 20 - 150 мкм), причем упомянутый слой размещен в зоне, по существу свободной от микрокатодов, люминофоров и межслойных соединений.
2. Дисплей по п. 1, отличающийся тем, что упомянутое внутреннее пространство определяется двумя тонкими пластинками (SCH, S), изготовленными из изоляционного и/или неметаллического проводящего материала, по существу параллельными друг другу, термически уплотненными по периферии и разделенными высоковакуумным пространством, имеющим толщину несколько десятков или сотен микрометров, где первая пластинка (SCH) поддерживает упомянутые люминофоры, а вторая пластинка (S) поддерживает упомянутые микрокатоды (МТ) и возможно также множество электродов сеток, которые генерируют упомянутое сильное электрическое поле, а также один или более упомянутые пористые слои неиспаряющегося газопоглотительного материала (G) в виде неотъемлемой части дисплея.
3. Дисплей по п. 1 или 2, отличающийся тем, что упомянутый газопоглотительный материал (G) по существу образуют из синтерированной смеси частиц, выбираемых из следующих двух групп: A) цирконий, и/или титан, и/или торий, и/или соответственные гидриды, и/или их соединения, B) газопоглотительные сплавы на основе циркония и/или титана, выбираемые из: I) сплавов Zr - Al, и/или Zr - Ni, и/или сплавов Zr - Fe, II) сплавов Zr - M1-M2 (где M1 выбирают из V и Nb, а M2 выбирают из Fe и Ni) и/или сплавов Zr - Ti - Fe, III) сплавов, содержащих цирконий и ванадий, и в частности сплавов Zr - V - Fe, и IV) их сочетаний.
4. Дисплей по п. 1, отличающийся тем, что пористый слой неиспаряющегося газопоглотительного материала поддерживается на подложке, по существу образованной из монометаллической или многометаллической тонкой полоски (NS), предпочтительно толщиной 5 - 50 мкм.
5. Дисплей по п. 4, отличающийся тем, что упомянутая полоска (NS) по существу изготовлена из одного или более металлов, выбираемых из никеля, титана, молибдена, циркония, никеля, никель-хромовых сплавов и основанных на железе сплавов.
6. Дисплей по п. 4, отличающийся тем, что упомянутая полоска (NS) содержит отверстия или прорези.
7. Дисплей по п. 1, отличающийся тем, что пористый слой неиспаряющегося газопоглотительного материала (G) поддерживается на подложке (S), по существу образованной из изоляционного материала, или неметаллической проводящей подложке, предпочтительно отделенной от упомянутого газопоглотительного материала (G) посредством введенного монометаллического или многометаллического закрепляющего слоя, полностью аналогичного соответствующей п. 4 подложке (NS).
8. Дисплей по п. 7, отличающийся тем, что упомянутая изоляционная подложка имеет квадратную, прямоугольную или, по меньшей мере, частично многоугольную форму и поддерживает, по меньшей мере, пористый слой упомянутого неиспаряющегося газопоглотительного материала (G), где упомянутый слой имеет, по меньшей мере, прямоугольную поверхность, боковые стороны которой по существу параллельны одной из боковых сторон подложки.
9. Дисплей по п. 8, отличающийся тем, что упомянутая подложка (S) имеет квадратную или прямоугольную форму и поддерживает два упомянутых взаимно перпендикулярных слоя, имеющих одинаковые или различные длины.
10. Дисплей по п. 3, отличающийся тем, что пористый слой газопоглотительного материала состоит из последовательности элементарных перекрывающихся слоев, имеющих одинаковый или различный состав.
11. Дисплей по п. 10, отличающийся тем, что один или более элементарные слои среди первых слоев на боковой стороне поддерживающей подложки (S) по существу изготовлены только из частиц титана.
12. Способ создания соответствующего п. 1 или 2 дисплея, при котором a) упомянутый пористый слой получают посредством нанесения неиспаряющегося газопоглотительного материала (G) на подложке (S, NS) и посредством синтерирования нанесенного слоя материала в соответственной вакуумной печи, b) полученный таким образом поддерживающий слой размещают в упомянутом внутреннем пространстве вместе с другими внутренними компонентами дисплея и c) упомянутое внутреннее пространство откачивают с помощью вакуумного насоса и герметически уплотняют во время откачивания, отличающийся тем, что нанесение слоя упомянутого газопоглотительного материала на упомянутой подложке выполняют посредством электрофореза или посредством ручного или механического нанесения, предпочтительно напыления, суспензии частиц упомянутого газопоглотительного материала в суспендирующей среде.
13. Способ по п. 12, отличающийся тем, что пористый слой неиспаряющегося газопоглотительного материала (G) активируют термическим способом посредством подсоединения слоя к одному или более межслойным соединениям (P) и посредством использования электрического удельного сопротивления самого слоя.
14. Способ по п. 12, отличающийся тем, что упомянутое внутреннее пространство герметически уплотняют посредством операции уплотнения фриттированием при вакуумном откачивании, с предшествующей операцией обезгаживания, также при вакуумном откачивании, где упомянутые операции выполняют при высоких температурах, которые термическим образом активируют газопоглотительный материал.
15. Способ по п. 12, отличающийся тем, что поддерживаемый пористый слой газопоглотительного материала получают посредством a) приготовления суспензии частиц неиспаряющегося газопоглотительного материала (G) в суспендирующем средстве, b) покрытия поддерживающей подложки посредством упомянутой суспензии методом покрытия напылением и c) синтерирования полученного таким образом покрытия.
16. Способ по п. 14, отличающийся тем, что упомянутые частицы представляют собой смесь, по существу состоящую из H) частиц гидрида титана, имеющих средний размер, по существу находящийся между 1 и 15 (предпочтительно 3 - 5) мкм, и площадь поверхности 1 - 8,5 (предпочтительно 7 - 8) м2/г, и K) частиц газопоглотительного сплава, имеющих средний размер, по существу находящийся между 5 и 15 (предпочтительно 8 - 10) мкм и площадь поверхности 0,5 - 2,5 м2/г, где упомянутый газопоглотительный сплав выбирают из сплавов Zr - Al, сплавов Zr - V, сплавов Zr - V - Fe и их компонентов, и где отношение по весу между частицами H и частицами К находится в пределах от 1:10 до 10:1 и предпочтительно от 1:1 до 3:1.
17. Процесс по п. 15, отличающийся тем, что поверхность подложки напыляют один или более раз (циклов) в течение заранее заданного времени, и за каждым напылением следует перерыв, который позволяет осуществлять удовлетворительное испарение компонентов суспендирующего средства, где время каждого перерыва более длительное, чем предшествующее время напыления.
18. Способ по п. 17, отличающийся тем, что используемые в единичных циклах суспензии, по меньшей мере, частично различаются.
19. Способ по п. 18, отличающийся тем, что первый цикл (или первые 2 - 3 цикла) напыления выполняют суспензией, содержащей только частицы гидрида титана.
RU96118914A 1994-02-28 1995-02-27 Дисплей с плоским экраном с автоэлектронным эмиттером, содержащий газопоглотитель, и процесс его получения RU2137245C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ITMI94A000359 1994-02-28
ITMI940359A IT1273349B (it) 1994-02-28 1994-02-28 Visualizzatore piatto ad emissione di campo contenente un getter e procedimento per il suo ottenimento
PCT/IT1995/000031 WO1995023425A1 (en) 1994-02-28 1995-02-27 Field emitter flat display containing a getter and process for obtaining it

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU96118914A true RU96118914A (ru) 1998-11-27
RU2137245C1 RU2137245C1 (ru) 1999-09-10

Family

ID=11368010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96118914A RU2137245C1 (ru) 1994-02-28 1995-02-27 Дисплей с плоским экраном с автоэлектронным эмиттером, содержащий газопоглотитель, и процесс его получения

Country Status (10)

Country Link
US (2) US5934964A (ru)
EP (1) EP0748513B1 (ru)
JP (1) JP3103115B2 (ru)
KR (1) KR100234857B1 (ru)
CN (1) CN1092395C (ru)
CA (1) CA2174962C (ru)
DE (1) DE69517019T2 (ru)
IT (1) IT1273349B (ru)
RU (1) RU2137245C1 (ru)
WO (1) WO1995023425A1 (ru)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5731660A (en) * 1995-12-18 1998-03-24 Motorola, Inc. Flat panel display spacer structure
US5688708A (en) * 1996-06-24 1997-11-18 Motorola Method of making an ultra-high vacuum field emission display
IT1283484B1 (it) * 1996-07-23 1998-04-21 Getters Spa Metodo per la produzione di strati sottili supportati di materiale getter non-evaporabile e dispositivi getter cosi' prodotti
US5894193A (en) * 1997-03-05 1999-04-13 Motorola Inc. Field emission display with getter frame and spacer-frame assembly
IT1290471B1 (it) * 1997-03-25 1998-12-04 Getters Spa Processo per la produzione di griglie per schermi piatti ricoperte con materiali getter non evaporabili e griglie cosi' ottenute
IT1295366B1 (it) * 1997-10-20 1999-05-12 Getters Spa Sistema getter per pannelli piatti al plasma impiegati come schermi
IT1297013B1 (it) 1997-12-23 1999-08-03 Getters Spa Sistema getter per la purificazione dell'atmosfera di lavoro nei processi di deposizione fisica da vapore
US6186849B1 (en) 1998-03-24 2001-02-13 Saes Getters S.P.A. Process for the production of flat-screen grids coated with non-evaporable getter materials and grids thereby obtained
JP3420520B2 (ja) * 1999-01-13 2003-06-23 キヤノン株式会社 非蒸発性ゲッターの製造方法及び画像形成装置
IT1312248B1 (it) * 1999-04-12 2002-04-09 Getters Spa Metodo per aumentare la produttivita' di processi di deposizione distrati sottili su un substrato e dispositivi getter per la
US6876145B1 (en) 1999-09-30 2005-04-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Organic electroluminescent display device
JP2001210225A (ja) * 1999-11-12 2001-08-03 Sony Corp ゲッター、平面型表示装置及び平面型表示装置の製造方法
US6633119B1 (en) * 2000-05-17 2003-10-14 Motorola, Inc. Field emission device having metal hydride hydrogen source
KR100473000B1 (ko) * 2001-01-22 2005-03-08 후다바 덴시 고교 가부시키가이샤 전자관과 그 제조 방법
US6534850B2 (en) * 2001-04-16 2003-03-18 Hewlett-Packard Company Electronic device sealed under vacuum containing a getter and method of operation
JP2003068235A (ja) * 2001-08-23 2003-03-07 Canon Inc 非蒸発型ゲッタとその製造方法、及び、表示装置
KR100446623B1 (ko) * 2002-01-30 2004-09-04 삼성에스디아이 주식회사 전계 방출 표시장치 및 그 제조방법
US6887733B2 (en) * 2002-09-11 2005-05-03 Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd Method of fabricating electronic devices
US7224116B2 (en) 2002-09-11 2007-05-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Encapsulation of active electronic devices
US20040048033A1 (en) * 2002-09-11 2004-03-11 Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd. Oled devices with improved encapsulation
US7193364B2 (en) * 2002-09-12 2007-03-20 Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd Encapsulation for organic devices
JP4235429B2 (ja) 2002-10-17 2009-03-11 キヤノン株式会社 密封容器のガス測定方法、並びに密封容器及び画像表示装置の製造方法
US6988924B2 (en) * 2003-04-14 2006-01-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of making a getter structure
US7045958B2 (en) * 2003-04-14 2006-05-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Vacuum device having a getter
US20040238846A1 (en) * 2003-05-30 2004-12-02 Georg Wittmann Organic electronic device
ITMI20032208A1 (it) * 2003-11-14 2005-05-15 Getters Spa Catodo con getter integrato e bassa funzione lavoro per lampade a catodo freddo.
WO2005124813A1 (ja) * 2004-06-18 2005-12-29 Kabushiki Kaisha Toshiba 画像表示装置および画像表示装置の製造方法
JP4327747B2 (ja) * 2005-02-21 2009-09-09 双葉電子工業株式会社 非蒸発ゲッターを備えた電子デバイス及びその電子デバイスの製造方法
US20070074245A1 (en) * 2005-09-26 2007-03-29 Microsoft Corporation Virtual channels
ITMI20060390A1 (it) * 2006-03-03 2007-09-04 Getters Spa Metodo per formare strati di materiale getter su parti in vetro
CN100573809C (zh) * 2006-03-24 2009-12-23 清华大学 场发射平面显示光源及其制造方法
US8558364B2 (en) * 2010-09-22 2013-10-15 Innovative Micro Technology Inductive getter activation for high vacuum packaging
US8395229B2 (en) 2011-03-11 2013-03-12 Institut National D'optique MEMS-based getter microdevice
ITMI20111870A1 (it) * 2011-10-14 2013-04-15 Getters Spa Composizioni di getter non evaporabili che possono essere riattivate a bassa temperatura dopo l'esposizione a gas reattivi ad una temperatura maggiore
CN109225119A (zh) * 2018-10-11 2019-01-18 南京恩瑞科技有限公司 一种锆类非蒸散型吸气剂的制备方法
CN109941955A (zh) * 2019-02-18 2019-06-28 合肥晶鼎光电科技有限公司 一种提高吸气效率的吸气剂及其制备方法
US11921010B2 (en) * 2021-07-28 2024-03-05 Manufacturing Resources International, Inc. Display assemblies with differential pressure sensors
US11965804B2 (en) * 2021-07-28 2024-04-23 Manufacturing Resources International, Inc. Display assemblies with differential pressure sensors

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3203901A (en) * 1962-02-15 1965-08-31 Porta Paolo Della Method of manufacturing zirconiumaluminum alloy getters
DE1614505C3 (de) * 1966-04-28 1975-09-04 S.A.E.S. Getters S.P.A., Mailand (Italien) Vorrichtung für ein exothermes Getter für Bildröhren
US3620645A (en) * 1970-05-01 1971-11-16 Getters Spa Getter device
IT1009546B (it) * 1974-01-07 1976-12-20 Getters Spa Struttura di parete per involucri sotto vuoto particolarmente per val vole termoioniche e acceleratori di particell
IT1110109B (it) * 1979-02-05 1985-12-23 Getters Spa Metodo per la produzione di leghe ternarie getteranti non evaporabili
IT1115156B (it) * 1979-04-06 1986-02-03 Getters Spa Leghe zr-fe per l'assorbimento di idrogeno a basse temperature
IT1198325B (it) * 1980-06-04 1988-12-21 Getters Spa Struttura e composizione getteranti,particolarmente adatti per basse temperature
DE3623079A1 (de) * 1986-07-09 1988-02-04 Thema Federn Gmbh & Co Kg Indu Maschine zum wickeln von federn
IT1201540B (it) * 1986-12-22 1989-02-02 Getters Spa Dispositivo getter non evaporabile comprendente un supporto ceramico e metodo per la sua fabbricazione
JPH02100242A (ja) * 1988-10-07 1990-04-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子管
DE69116209T2 (de) * 1990-04-28 1996-08-29 Sony Corp Flache Anzeigevorrichtung
JP3057529B2 (ja) * 1991-10-29 2000-06-26 ソニー株式会社 薄型平面表示装置
JP3423511B2 (ja) * 1994-12-14 2003-07-07 キヤノン株式会社 画像形成装置及びゲッタ材の活性化方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU96118914A (ru) Дисплей с плоским экраном с автоэлектронным эмиттером, содержащий газопоглотитель, и процесс его получения
US5934964A (en) Field emitter flat display containing a getter and process for obtaining it
RU2253695C2 (ru) Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления
US6100627A (en) Method for creating and maintaining a reducing atmosphere in a field emitter device
US4628198A (en) Image intensifier with an electrophoretic getter device
CA2467790C (en) Non-evaporable getter multilayer deposits obtained by cathodic deposition and process for their manufacturing
US5764004A (en) Emissive flat panel display with improved regenerative cathode
US20040256975A1 (en) Electrode and associated devices and methods
CA1085907A (en) Thermionic electron source with bonded control grid
JP3023350B2 (ja) スクリーンとして使用されるプラズマフラットパネル用のゲッタシステム
CA2193330C (en) Image display apparatus
GB2143080A (en) Hydrocarbon getter pump
US4940300A (en) Cathode ray tube with an electrophoretic getter
US6722936B2 (en) Method for producing a field emission display
JP4722354B2 (ja) 汚染物質を除去する装置
JPS63181248A (ja) 電子管の製造法
KR100371992B1 (ko) 비휘발성게터물질로 코팅된 평면-스크린그리드 및 그 제조방법
US6186849B1 (en) Process for the production of flat-screen grids coated with non-evaporable getter materials and grids thereby obtained
JPH065198A (ja) 陰極素子を含む陰極
JP3323606B2 (ja) 画像表示装置
JP3907571B2 (ja) 画像表示装置の製造方法および装置
JP2007275703A (ja) ゲッタ部材、画像表示装置、及び画像表示装置の製造方法