RU2637737C2 - Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя - Google Patents

Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя Download PDF

Info

Publication number
RU2637737C2
RU2637737C2 RU2014145313A RU2014145313A RU2637737C2 RU 2637737 C2 RU2637737 C2 RU 2637737C2 RU 2014145313 A RU2014145313 A RU 2014145313A RU 2014145313 A RU2014145313 A RU 2014145313A RU 2637737 C2 RU2637737 C2 RU 2637737C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
protective coating
hole plate
aerosol
columns
workpiece
Prior art date
Application number
RU2014145313A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2014145313A (ru
Inventor
Брендан ХОГАН
Original Assignee
Стэмфорд Девайсиз Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Стэмфорд Девайсиз Лимитед filed Critical Стэмфорд Девайсиз Лимитед
Publication of RU2014145313A publication Critical patent/RU2014145313A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2637737C2 publication Critical patent/RU2637737C2/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/001—Particle size control
    • A61M11/003—Particle size control by passing the aerosol trough sieves or filters
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/005—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes using ultrasonics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
    • B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00—Electroforming
    • C25D1/08—Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/50—Electroplating: Baths therefor from solutions of platinum group metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/56—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
    • C25D3/567—Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys containing more than 50% by weight of platinum group metals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Abstract

Изобретение относится к изготовлению дырчатых пластин аэрозольных устройств. Изготовление заготовки аэрозолеобразующей дырчатой пластины для ингаляционного распылителя лекарственного средства включает обеспечение матрицы из проводящего материала, нанесение на матрицу защитного покрытия в виде набора столбиков, гальванизацию областей вокруг столбиков, удаление защитного покрытия с получением заготовки из нанесенного гальваническим образом материала с образующими аэрозоль отверстиями в местах, где были столбики защитного покрытия, и удаление заготовки с матрицы. Указанные столбики имеют глубину в диапазоне от 5 до 40 мкм, ширину в плоскости матрицы в диапазоне от 1 до 10 мкм и плотность в диапазоне от 111 до 2500 мм-2. При этом за указанными стадиями нанесения защитного покрытия и гальванизации следует по меньшей мере один последующий цикл нанесения защитного покрытия и гальванизации поверх указанного нанесенного гальваническим образом материала для увеличения толщины заготовки. Общую толщину заготовки в по меньшей мере одном последующем цикле доводят до значения более 50 мкм. По меньшей мере один последующий цикл обеспечивает после удаления защитного покрытия области, по меньшей мере некоторые из которых перекрывают множество образующих аэрозоль отверстий, и нанесенный гальваническим образом материал, который закрывает некоторые из образующих аэрозоль отверстий. Указанный по меньшей мере один последующий цикл выполняют в соответствии с необходимым расходом через дырчатую пластину. В результате обеспечивается увеличение производительности распылителя. 7 н. и 18 з.п. ф-лы, 14 ил., 1 табл.

Description

Изобретение относится к изготовлению дырчатых пластин для аэрозольных устройств (или распылителей, «небулайзеров»). Вибрирующие дырчатые пластины используют в широком диапазоне аэрозольных устройств и обычно они опираются на их обода с помощью вибрирующих основ, которые подвергают вибрации с помощью пьезоэлементов. Также аэрозольные устройства могут содержать пассивные или статические дырчатые пластины, которые действуют, например, с помощью звукового сигнала из рожка, вызывающего поток медикамента, подвергаемого фильтрации через дырчатую пластину.
Дырчатую пластину используют для подачи жидких аэрозольных составов, подавая жидкие капли с регулируемым размером, подходящим для подачи ингаляционного лекарственного средства. Идеальным распылителем является такой распылитель, который обеспечивает устойчивый и точный размер частиц в сочетании с интенсивностью выходящего потока, которые можно изменять для подачи лекарственного средства в целевую область настолько эффективно, насколько это возможно. Подача аэрозоля с глубоким погружением, таким как в области бронхов и бронхиоле, требует небольшого и воспроизводимого размера частиц, обычно находящегося в диапазоне от 2 до 4 мкм. В основном, требуются выходы более 1 мл/мин.
В настоящее время дырчатые пластины получают с помощью множества различных способов, включающих гальванизацию и лазерную прошивку. Гальванизация обычно является наиболее преимущественным способом получения с технической и экономической точки зрения. В US 6235177 (Aerogen) описан подход, основанный на гальванизации, в котором материал заготовки наращивают на матрице с помощью способа электролитического осаждения, в котором металлы в жидком состоянии в электролитической ванне (обычно палладий и никель) перемещают из жидкой формы в твердую форму на заготовке пластины. Материал перемещается на проводящую поверхность на матрице, а не на области фоторезиста, которые являются непроводящими. Области, в которых не требуется наращивание металла, покрывают непроводящим фоторезистом, см. фиг. 1. После завершения процесса гальванизации сборку матрица/заготовка удаляют из ванны и заготовку отслаивают от матрицы для последующей обработки с получением дырчатой пластины.
Однако проблема этого подхода состоит в том, что размер отверстия зависит от продолжительности гальванизации и толщины получаемой заготовки. Регулирование процесса может быть затруднено и при несовершенном регулировании некоторые отверстия могут быть расположены близко или заблокированы, как показано на фиг. 2, или перекрываться, как показано на фиг. 3, и они могут быть за пределом поля допусков изменений размеров отверстий. Также существуют ограничения на количество отверстий на единицу площади. Кроме того, с этой технологией увеличение производительности обычно требует увеличения размера частиц, что обычно может быть нежелательным. Более желательно увеличение производительности без увеличения размера частиц.
Сочетание максимальной погрешности размеров отверстий и количества отверстий на единицу площади может быть значительным определяющим фактором в производительности распылителя и получающемся распределении размеров частиц.
В WO 2011/139233 (Agency for Science, Technology and Research) описано микросито, изготовленное с использованием материала SU8 с помощью фотолитографии.
В US 4844778 (Stork Veco) описано изготовление мембраны для разделения сред и разделяющее устройство, включающее такую мембрану. Способ изготовления включает двухстадийную фотолитографическую технологию.
В ЕР 1199382 (Citizen watch Co., Ltd.) описывают способ получения дырчатой структуры, в котором фоточувствительный материал подвергают облучению во множестве циклов для образования более глубоких отверстий, сужающихся по направлению вверх ввиду их облучения через первые отверстия.
Изобретение направлено на предоставление улучшенного способа изготовления дырчатой пластины для распылителя, направленного на решение указанных выше проблем.
Сущность изобретения
В изобретении предложен способ изготовления заготовки образующей аэрозоль дырчатой пластины, включающий:
обеспечение матрицы из проводящего материала,
нанесение защитного покрытия на матрицу в виде набора столбиков,
гальванизацию областей вокруг столбиков,
удаление защитного покрытия с получением заготовки из нанесенного гальваническим образом материала с образующими аэрозоль отверстиями в местах, где были столбики защитного покрытия,
при этом за указанными стадиями нанесения защитного покрытия и гальванизации следует по меньшей мере один последующий цикл нанесения защитного покрытия и гальванизации для увеличения толщины заготовки,
при этом по меньшей мере в одном последующем цикле доводят общую толщину заготовки до уровня, необходимого согласно требованиям для удаления заготовки от матрицы, и/или необходимой рабочей частоты дырчатой пластины, и/или согласно физическим ограничениям аэрозолирующего привода,
в котором по меньшей мере в одном последующем цикле обеспечивают:
области, по меньшей мере некоторые из которых перекрывают множество образующих аэрозоль отверстий,
и нанесенный гальваническим образом материал, который закрывает некоторые из образующих аэрозоль отверстий, и
в котором по меньшей мере один последующий цикл выполняют в соответствии с необходимым расходом через дырчатую пластину.
В некоторых воплощениях все защитные покрытия всех циклов можно удалить совместно, однако, в других воплощениях защитное покрытие одного цикла можно удалить до последующего цикла нанесения защитного покрытия и гальванизации, и если действуют так, то такая последующая гальванизация более вероятно по меньшей мере частично заполнит некоторые из нижних отверстий.
В одном воплощении столбики имеют глубину от 5 до 40 мкм и предпочтительно от 15 до 25 мкм. В некоторых воплощениях столбики обладают шириной в плоскости матрицы, составляющей от 1 до 10 мкм, предпочтительно от 2 до 6 мкм.
В одном воплощении гальванизацию продолжают до тех пор, пока наносимый гальваническим образом материал по существу не будет находиться на одном уровне с верхними частями столбиков.
В одном воплощении по существу отсутствует перекрывание между наносимым гальваническим образом материалом и материалом защитного покрытия. В одном воплощении по меньшей мере в одном последующем цикле получают общую толщину заготовки более 50 мкм и предпочтительно более 58 мкм. В одном воплощении степень закрытия в каждом последующем цикле выбирают исходя из необходимых механических свойств дырчатой пластины.
В одном воплощении нанесение защитного покрытия и гальванизацию выполняют так, что образующие аэрозоль отверстия сужаются в виде воронки.
В одном воплощении последующие нанесение защитного покрытия и гальванизацию выполняют так, что перекрывающие области сужаются в виде воронки.
В одном воплощении нанесенный гальваническим образом металл включает Ni и/или Pd. В одном воплощении Ni и/или Pd присутствуют на поверхности в концентрации, выбранной исходя из антикоррозионных свойств. В одном воплощении доля Pd составляет от 85 до 93 мас. % и предпочтительно примерно 89 мас. %, остальное по существу составляет Ni. В одном воплощении нанесенный гальваническим образом материал содержит на поверхности Аg и/или Сu в концентрации, выбранной исходя из антибактериальных свойств.
В одном воплощении способ включает дополнительные стадии дальнейшей обработки заготовки для получения дырчатой пластины, готовой для установки в образующее аэрозоль устройство. В одном воплощении заготовке придают форму неплоской дырчатой пластины. В одном воплощении заготовке придают форму с конфигурацией, выбранной согласно необходимым углам распыления аэрозоля. В одном воплощении заготовке образует форму, имеющую рабочую выпуклую часть и фланец для сцепления с приводом. В одном воплощении заготовку отжигают перед приданием ей формы.
В другом аспекте в изобретении предложена дырчатая пластина, включающая корпус из металла, образованная способом, определенным выше в любом воплощении.
В дополнительном аспекте в изобретении предложена дырчатая пластина, образованная способом, определенным выше в любом воплощении.
В другом аспекте в изобретении предложена заготовка дырчатой пластины, включающая нижний слой нанесенного фотолитографическим образом металла с образующими аэрозоль сквозными отверстиями и по меньшей мере один верхний слой нанесенного фотолитографическим образом металла, имеющая области, в которых указанные области перекрывают множество образующих аэрозоль сквозных отверстий, при этом размер и количество образующих аэрозоль отверстий на большое отверстие зависит от необходимого расхода аэрозоля.
В одном воплощении верхний слой закрывает некоторые из отверстий в нижнем слое.
В одном воплощении металл всех слоев является одинаковым.
В одном воплощении нанесенный гальваническим образом металл включает Ni и/или Pd. В одном воплощении Ni и/или Pd присутствуют на поверхности в концентрации, выбранной исходя из антикоррозионных свойств.
В одном воплощении доля Pd составляет от 85 до 93 мас. % и предпочтительно примерно 89 мас. %, по существу остальное является Ni. В одном воплощении нанесенный гальваническим образом металл содержит на поверхности Аg и/или Сu в концентрации, выбранной исходя из антибактериальных свойств.
В другом аспекте в изобретении предложена дырчатая пластина, включающая заготовку, определенную выше в любом воплощении.
В другом аспекте в изобретении предложено образующее аэрозоль устройство, включающее дырчатую пластину, определенную выше в любом воплощении, и привод для приведения ее в состояние вибрации с требуемой частотой для образования аэрозоля.
В другом аспекте в изобретении предложено образующее аэрозоль устройство, включающее дырчатую пластину, определенную выше в любом воплощении, опору дырчатой пластины для пассивного применения дырчатой пластины и рожок, выполненный с возможностью нагнетания волны жидкости через дырчатую пластину.
Подробное описание изобретения
Изобретение будет более понято из последующего описания некоторых его воплощений, приведенного только в качестве примера, со ссылкой на приложенные чертежи, в которых:
Фиг. 1-3 являются видами в разрезе, показывающими в общих чертах описанный выше способ предшествующего уровня техники,
Фиг. 4 (а) и 4 (b) являются поперечными сечениями, показывающими операции нанесения защитного покрытия и гальванизации для первой стадии способа, и фиг. 5 является частичным видом сверху заготовки по этой стадии,
Фиг. 6 (а) и 6 (b) являются поперечными сечениями, показывающими вторую стадию нанесения защитного покрытия и гальванизации, и фиг. 7 является видом сверху,
Фиг. 8 является поперечным сечением после удаления резиста,
на фиг. 9 показана заготовка после пробивки отверстий с получением конечной формы дырчатой пластины,
Фиг. 10 является графиком зависимости размера частиц от расхода для иллюстрации действия дырчатой пластины,
Фиг. 11 (а), 11 (b) и 12 являются видами, эквивалентными фиг. 4 (а), 4 (b) и 5 для второго воплощения, в которых отверстия сужаются к концу, и
Фиг. 13 (а) и 13 (b) являются видами, эквивалентными фиг. 6 (а) и 6 (b) для второго воплощения, и фиг. 14 является плоским видом в области одного большого верхнего отверстия после удаления защитного покрытия из фоторезиста.
Как показано на фиг. 4 (а), матрица 20 содержит фоторезист 21, нанесенный в виде набора вертикальных столбиков, имеющих размеры отверстий или пор получаемой дырчатой пластины. Высота столбиков предпочтительно составляет от 5 до 40 мкм, и более предпочтительно от 5 до 30 мкм, и наиболее предпочтительно от 15 до 25 мкм. Диаметр предпочтительно составляет от 1 до 10 мкм и наиболее предпочтительно от 2 до 6 мкм. Эта схема защитного покрытия обеспечивает отверстия, которые определяют размер частиц аэрозоля. Их намного больше на единицу площади по сравнению с предшествующим уровнем техники; возможно двадцатикратное увеличение, таким образом их количество достигает до 2500 отверстий на кв. мм.
Как показано на фиг. 4 (b) и 5, металл 22 электролитически осаждают в областях вокруг столбиков 21.
Как показано на фиг. 6 (а), присутствует дополнительное нанесение второго фоторезистного покрытия 25, состоящего из намного больших (более широких и высоких) столбиков, покрывающих область, содержащую множество первых столбиков 21. Диаметр отверстия во втором нанесенном гальваническим образом слое составляет от 20 до 400 мкм и более предпочтительно от 40 до 150 мкм. Чтобы обеспечить более высокие расходы, производят отверстия с диаметром около верхнего предела данного диапазона, и чтобы обеспечить более низкие расходы, производят отверстия с диаметром около нижнего предела данного диапазона, чтобы закрыть большую часть меньших отверстий первого слоя.
Как показано на фиг. 6 (b) и 7, области вокруг фоторезиста 25 подвергают гальванизации с получением корпуса 26 заготовки на матрице 20. Когда фоторезист 21 и 25 счищают с помощью установки для удаления фоторезиста и смывают, нанесенный гальваническим образом материал 22 и 26 представляет собой показанную на фиг. 8 заготовку дырчатой пластины или маску 30, имеющую большие верхние отверстия 32 и небольшие нижние отверстия 33. В этом воплощении весь резист 21 и 25 удаляют совместно, однако предусмотрено, что фоторезист 21 можно удалить до последующего цикла нанесения защитного покрытия и гальванизации. В этом случае при последующей гальванизации скорее всего по меньшей мере частично заполняются некоторые из образующих аэрозоль отверстий.
Как показано на фиг. 9, заготовку 30 пробивают в форме диска и придают ей выпуклую форму с получением конечной дырчатой пластины 40.
На этой стадии диаметр выпуклости можно выбрать так, чтобы обеспечить требуемый угол распыления и/или чтобы выбрать оптимальную собственную частоту контроллера привода. Выпуклая форма обеспечивает распыление материала как из воронки, и конкретная форма выпуклой пластины влияет на характеристики распыления.
В альтернативном воплощении дырчатая пластина не является выпуклой, а ее оставляют плоской, подходящей для использования в таком устройстве, как распылитель с пассивной пластиной. В этом типе распылителя сонотрод или рожок расположен в контакте с лекарственным средством на пластине. Пьезоэлемент вызывает быстрое движение преобразующего рожка, который нагнетает волну лекарственного средства через дырчатую пластину, что приводит к потоку фильтруемого через пластину лекарственного средства на выходной стороне в виде аэрозоля.
Большинство преимуществ изготовления дырчатой пластины по изобретению применимы либо к вибрационным, либо к пассивным устройствам.
Более подробно, матрицу 20 покрывают фоторезистом 21 со столбиками, имеющими высоту и ширину, равные размеру целевого отверстия. Это покрытие и последующая ультрафиолетовая (УФ) обработка являются такими, что столбики 21 фоторезиста остаются стоящими на матрице 20. Эти столбики имеют требуемый диаметр и являются настолько высокими, насколько позволяет их жесткость. Так как столбики имеют менее 10 мкм и предпочтительно менее 6 мкм в диаметре, можно получить намного больше столбиков и получающихся отверстий на единицу площади по сравнению с предшествующим уровнем техники. Ожидают, что может быть в двадцать раз больше отверстий, чем в способе гальванизации предшествующего уровня техники. Это создает возможность для существенного увеличения доли пропускного сечения и получаемой производительности распылителя.
Матрицу 20 с селективно сформированным фоторезистом в форме вертикальных столбиков 21 затем помещают в гальваническую ванну, и, затем, посредством способа электролитического осаждения металлы - палладий и никель (PdNi), в жидкой форме обычно наносят на поверхность. Процесс гальванизации останавливают, когда покрытие достигает высоты столбиков. Так как процесс гальванизации останавливают как только достигается высота столбиков фоторезиста, не происходит избыточного нанесения гальванического покрытия. Раствор для гальванизации выбирают так, чтобы он подходил для требуемых размеров дырчатой пластины и рабочих параметров, таких как частота вибрации. Доля палладия может составлять от примерно 85 до 93 мас. %, и в одном воплощении составляет примерно 89 мас. %, все остальное по существу является никелем. Нанесенная гальваническим образом структура предпочтительно имеет микроструктуру из мелких случайным образом расположенных равноосных зерен с размером зерна, например, от 0,2 до 2,0 мкм. Специалист в области электролитического осаждения оценит, какие можно выбрать условия гальванизации для обеих стадий гальванизации, чтобы они соответствовали данным условиям, и все содержание следующих документов включено в данный документ путем ссылки: US 4628165, US 6235117, US 2007023547, US 2001013554, WO 2009/042187, и Lu S.Y., Li J.F., Zhou Y.H., "Grain refinement in the solidification of undercooled Ni-Pd alloys", Journal of Crystal Growth 309, 2007, 103-111, 14 сентября, 2007. Вообще, будут пригодны большинство растворов для гальванизации, содержащих палладий и никель, или только с никелем, или, конечно, с фосфором и никелем (14:86), или с платиной. Возможно, что на поверхность не содержащий палладий заготовки пластины можно нанести гальваническое покрытие (с толщиной от 0,5 до 5,0 мкм, предпочтительно от 1,0 до 3,0 мкм) PdNi для придания большей коррозионной стойкости. Это также должно уменьшить размеры отверстий, если были желательны более мелкие отверстия.
После удаления из гальванической ванны толщина заготовки обычно составляет от 5 до 40 мкм в зависимости от высоты столбиков. Отслаивание заготовки на этой стадии должно давать очень тонкую заготовку по сравнению со стандартной толщиной в 60 мкм согласно предшествующему уровню техники. Заготовка такой толщины будет иметь недостаточную жесткость, ее обработка будет очень трудной, и она потребует сложных и затратных изменений в механической сборке ядра распылителя для достижения собственной частоты колебаний, эквивалентной уровню техники, такой, при которой были бы пригодны для применения существующие электронные контроллеры привода, которые в некоторых случаях включены в дыхательные аппараты. Использование другого контроллера привода было бы значительным экономическим барьером для восприятия товара рынком ввиду включаемых затрат.
Эту проблему решают, путем обработки матрицы с нанесенным гальваническим образом покрытием в процессе второго нанесения фоторезиста. В одном воплощении фоторезист помещают на глубину, равную той, которая требуется для доведения общей толщины заготовки пластины до приблизительно 60 мкм (аналогично толщине заготовки пластины предшествующего уровня техники). Для многих применений высота второго защитного покрытия предпочтительно составляет от 40 до 50 мкм. Его затем обрабатывают, чтобы обеспечить большие столбики, стоящие на покрытой гальваническим образом поверхности. Они обычно имеют диаметр от 40 до 100 мкм, но он может быть больше или меньше. Дополнительная высота от второй гальванизации способствует отщеплению от матрицы, однако важно отметить, что она также достигает конкретной толщины, которая эквивалентна толщине дырчатой пластины предшествующего уровня техники, что позволяет электрически приводить в движение конечную дырчатую пластину 40 с помощью существующих в продаже контроллеров. Это создает согласование собственной частоты колебаний для достижения правильной вибрации для генерирования аэрозоля. Вообще, вторая стадия гальванизации обеспечивает толщину, более подходящую для применения в распылителе по жесткости, гибкости и прочности на изгиб. Другой аспект состоит в том, что она перекрывает некоторые из более мелких отверстий, при этом достигая улучшенного регулирования расхода. Следовательно, вторую стадию нанесения защитного покрытия и гальванизации можно использовать для «настройки» конечной дырчатой пластины в соответствии с требуемым расходом. Также ее можно быстро изменять в пределах небольших партий, чтобы обеспечить широкий диапазон различным образом настроенных пластин.
Заготовку затем аккуратно отслаивают от подложки без помощи каких-либо последующих процессов, таких как травление или лазерная резка. Это легкое отслаивание имеет преимущество, состоящее в том, что не нужно прикладывать дополнительные механические напряжения к еще хрупкой заготовке. Заготовку затем промывают и ополаскивают средством для удаления фоторезиста перед метрологическим контролем.
В заготовке дырчатой пластины или маске 30 отверстия 33 имеют глубину, равную первому нанесенному гальваническим образом слою, и конечная толщина заготовки пластины равна сумме обоих нанесенных гальваническим образом слоев, см. фиг. 8 и 9. Она затем готова для отжига, пробивки отверстий и формирования куполообразной формы для образования вибрирующей пластины 40, показанной на фиг. 9.
Могут присутствовать дополнительные стадии для улучшения свойств мембраны для некоторых применений. Например, мембрана может состоять из изготовленного гальваническим образом никелевого материала подложки, который покрыт сверху стойкими к коррозии материалами, такими как медь, серебро, палладий, платина и/или сплавы PdNi. Медь и серебро преимущественно обладают антибактериальными свойствами.
Следует понимать, что в изобретении предложена дырчатая пластина, имеющая первый слой из полученного гальваническим образом металла с множеством образующих аэрозоль сквозных отверстий, которые определяют размер выпускаемых капель, и второй верхний слой из такого же или другого изготовленного гальваническим образом материала с большим диаметром отверстий или областей поверх образующих аэрозоль отверстий, причем нанесенный гальваническим образом материал второго слоя закрывает некоторые из отверстий первого слоя.
В различных воплощениях второй слой имеет множество отверстий или областей с диаметрами, выбранным так, что они перекрывают предварительно заданное количество образующих размер капель отверстий первого слоя, что определяет количество активных отверстий и, таким образом, определяет количество жидкости, выпускаемой в виде аэрозоля в единицу времени.
Размер и количество отверстий в обоих слоях можно независимо изменять для достижения требуемых диапазонов размеров капель и распределения расхода, что невозможно с помощью определенной в предшествующем уровне техники технологии гальванизации.
Также следует понимать, что в изобретении предоставляют возможность образования намного большего количества отверстий на единицу площади по сравнению с предшествующим уровнем техники. Например, возможно двадцати кратное увеличение, таким образом можно достичь до 2500 отверстий на кв. мм.
Также в различных воплощениях второй слой по меньшей мере частично или полностью заполняет некоторые из образующих аэрозоль отверстий в первом слое, таким образом образуя механическое сцепление обоих слоев, что способствует достижению требований по усталостной долговечности.
Далее представлена таблица, содержащая примеры различных конфигураций отверстий дырчатых пластин (ДП) с диаметром 5 мм.
Figure 00000001
Преимущественные аспекты изобретения.
(1) Возможно большее количество отверстий на единицу площади.
(2) Возможны более мелкие и более точные по диаметру отверстия.
(3) Аналогичная для имеющихся в продаже существующих пластин толщина, что облегчает обременительную потребность в повторном конструировании распылителя, чтобы он соответствовал частоте, подходящей для существующих контроллеров активации генератора аэрозоля.
(4) Требуются только два нанесенных гальваническим образом слоя или только две стадии гальванизации.
(5) Также заготовку пластины легко аккуратно отслоить от подложки матрицы.
(6) Можно использовать существующие электронные контроллеры для приведения в движение дырчатой пластины, достигающей аналогичной толщины, при соответствии собственных частот.
(7) Можно достичь более мелкого и более регулируемого размера частиц (2-4 мкм).
(8) Можно достичь более высоких расходов (от 0,5 до 2,5 мл/мин, чаще 0,75-1,5 мл/мин).
(9) Можно достичь расходов и размеров частиц, более независимых друг от друга по сравнению с описанным предшествующим уровнем техники (обычно в предшествующем уровне техники увеличение расхода обычно требует увеличения размера частиц и наоборот). Эти преимущества проиллюстрированы на фиг. 10.
В отношении фиг. 11-14, во втором воплощении обработка является почти такой же, как и в приведенном выше воплощении. Однако в этом случае оба набора столбиков фоторезиста являются суженными так, что получающиеся отверстия сужаются для того, чтобы улучшить поток жидкого аэрозоля. Присутствуют матрица 50, столбики 51 первого защитного покрытия и между ними нанесенное гальваническим образом покрытие 52. Второе защитное покрытие включает сужающиеся столбики 55 и области между ними, покрытые металлом 56. Для стадий гальванизации требуется более осторожное обращение, чтобы обеспечить надлежащие нанесение покрытия под выступами защитного покрытия. На фиг. 14 показан вид сверху, в данном случае после удаления фоторезиста. Можно видеть, что на каждое большое верхнее отверстие 65 приходится несколько малых отверстий 61 в корпусе 56/52 из PdNi. Верхнее отверстие обладает эффектом воронки, сужающейся вниз к малым отверстиям 61, которые сами имеют форму воронки.
Изобретение не ограничивается описанными воплощениями, но может быть различным по своей структуре и в отдельных частях. Например, предусматривают, что может не потребоваться второй цикл нанесения защитного покрытия и гальванизации, если заготовку пластины можно удалить с матрицы, либо ввиду того, что требуемой глубины заготовки пластины достигают на первой стадии, либо ввиду того, что доступны улучшенные технологии удаления заготовки пластины. К тому же, можно нанести третий слой для обеспечения большей механической жесткости дырчатой пластины. Также, в описанных выше воплощениях слои состоят из одинакового металла. Однако предусматривают, что они могут быть различными, и, конечно, металл в каждом образующем отверстия слое может включать подслои различных металлов. Например, состав на одной или на обеих поверхностях может быть различным для большей коррозионной стойкости и/или для определенных гидрофильных или гидрофобных свойств. Также может присутствовать дополнительная стадия гальванизации для верхнего поверхностного слоя толщиной от 1 до 5 мкм или от 1 до 3 мкм.

Claims (39)

1. Способ изготовления заготовки (30) аэрозолеобразующей дырчатой пластины для ингаляционного распылителя лекарственного средства, включающий:
обеспечение матрицы (20) из проводящего материала,
нанесение на матрицу защитного покрытия в форме вертикальных столбиков (21), причем указанные столбики имеют высоту в диапазоне от 5 до 40 мкм, ширину в плоскости матрицы в диапазоне от 1 до 10 мкм и плотность в диапазоне от 111 до 2500 мм-2,
гальванизацию (22) областей вокруг столбиков защитного покрытия,
удаление защитного покрытия с получением заготовки из нанесенного гальваническим образом материала с образующими аэрозоль отверстиями в местах расположения столбиков защитного покрытия,
при этом за указанными стадиями нанесения защитного покрытия и гальванизации следует по меньшей мере один последующий цикл нанесения защитного покрытия (25) и гальванизации (26) поверх указанного нанесенного гальваническим образом материала для увеличения толщины заготовки,
причем в указанном по меньшей мере одном последующем цикле доводят общую толщину заготовки до значения более 50 мкм, и
удаление заготовки с матрицы;
в котором указанный по меньшей мере один последующий цикл обеспечивает после удаления защитного покрытия:
области (32), по меньшей мере некоторые из которых перекрывают множество образующих аэрозоль отверстий (33), и
нанесенный гальваническим образом материал (31), который закрывает некоторые из образующих аэрозоль отверстий (33), и
в котором указанный по меньшей мере один последующий цикл выполняют в соответствии с необходимым расходом через дырчатую пластину.
2. Способ по п. 1, в котором столбики (21) имеют высоту в диапазоне от 15 до 25 мкм.
3. Способ по п. 1 или 2, в котором столбики (21) имеют ширину в плоскости матрицы в диапазоне от 2 до 6 мкм.
4. Способ по п. 1, в котором гальванизацию продолжают до тех пор, пока нанесенный гальваническим образом материал не будет находиться на одном уровне с верхними частями столбиков (21).
5. Способ по п. 1, в котором отсутствует перекрывание нанесенного гальваническим образом материала (22) и материала защитного покрытия (21).
6. Способ по п. 1, в котором по меньшей мере в одном последующем цикле получают общую толщину заготовки выше 58 мкм.
7. Способ по п. 1, в котором степень закрытия в конкретном последующем цикле или в каждом последующем цикле выбирают исходя из необходимых механических свойств дырчатой пластины.
8. Способ по п. 1, в котором первое нанесение защитного покрытия и гальванизацию выполняют так, что образующие аэрозоль отверстия (51) сужаются в форме воронки.
9. Способ по п. 1, в котором последующее нанесение защитного покрытия и гальванизацию выполняют так, что перекрывающие области (55) сужаются в форме воронки.
10. Способ по п. 1, в котором нанесенный гальваническим образом металл включает Ni и/или Pd.
11. Способ по п. 10, в котором Ni и/или Pd присутствуют на поверхности.
12. Способ по п. 10 или 11, в котором доля Pd находится в диапазоне от 85 до 93 мас.% и предпочтительно составляет примерно 89 мас.%, при этом остальное составляет Ni.
13. Способ по п. 1, в котором нанесенный гальваническим образом материал включает Ag и/или Cu на поверхности.
14. Способ получения дырчатой пластины, готовой для установки в ингаляционный распылитель лекарственного средства, включающий изготовление заготовки способом по любому из пп. 1-13 и придание ей формы, имеющей рабочую выпуклую часть и фланец для сцепления с приводом ингаляционного распылителя лекарственного средства.
15. Способ по п. 14, в котором заготовку отжигают перед приданием ей формы.
16. Заготовка аэрозолеобразующей дырчатой пластины для ингаляционного распылителя лекарственного средства, представляющая собой металлический корпус и изготовленная способом по любому из пп. 1-13.
17. Аэрозолеобразующая дырчатая пластина для ингаляционного распылителя лекарственного средства, содержащая рабочую выпуклую часть и фланец для сцепления с приводом ингаляционного распылителя лекарственного средства, изготовленная из заготовки по п. 16 способом по п. 14 или 15.
18. Ингаляционный распылитель лекарственного средства, содержащий аэрозолеобразующую дырчатую пластину по п. 17 и привод, сцепленный с пластиной, для приведения ее в состояние вибрации с требуемой частотой для образования аэрозоля.
19. Ингаляционный распылитель лекарственного средства, содержащий аэрозолеобразующую дырчатую пластину по п. 17, опору дырчатой пластины для пассивного применения дырчатой пластины и рожок, выполненный с возможностью нагнетания волны жидкости через дырчатую пластину для образования капель.
20. Заготовка (30) аэрозолеобразующей дырчатой пластины для ингаляционного распылителя лекарственного средства, содержащая нижний слой (31) нанесенного гальваническим образом металла с образующими аэрозоль отверстиями (33) и по меньшей мере один верхний слой нанесенного гальваническим образом металла (31), имеющий области (32), которые перекрывают некоторые из образующих аэрозоль отверстий (33),
при этом верхний слой закрывает некоторые из отверстий (33) в нижнем слое,
при этом указанные отверстия имеют глубину в диапазоне от 5 до 40 мкм, ширину в диапазоне от 1 до 10 мкм и плотность в диапазоне от 111 до 2500 мм-2; и
при этом заготовка выполнена толщиной более 50 мкм.
21. Заготовка по п. 20, в которой металл всех слоев является одинаковым.
22. Заготовка по п. 20, в которой нанесенный гальваническим образом металл включает Ni и/или Pd.
23. Заготовка по п. 22, в которой Ni и/или Pd присутствуют на поверхности.
24. Заготовка по п. 23, в которой доля Pd находится в диапазоне от 85 до 93 мас.% и предпочтительно составляет примерно 89 мас.%, при этом остальное составляет Ni.
25. Заготовка по п. 20, в которой нанесенный гальваническим образом металл включает Ag и/или Cu на поверхности.
RU2014145313A 2012-06-11 2013-05-24 Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя RU2637737C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201261658054P 2012-06-11 2012-06-11
US61/658,054 2012-06-11
PCT/EP2013/060803 WO2013186031A2 (en) 2012-06-11 2013-05-24 A method of producing an aperture plate for a nebulizer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014145313A RU2014145313A (ru) 2016-07-27
RU2637737C2 true RU2637737C2 (ru) 2017-12-06

Family

ID=48539126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014145313A RU2637737C2 (ru) 2012-06-11 2013-05-24 Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя

Country Status (8)

Country Link
US (4) US10512736B2 (ru)
EP (2) EP2859137B1 (ru)
JP (3) JP6385922B2 (ru)
CN (1) CN104350182B (ru)
BR (1) BR112014027624B1 (ru)
HK (1) HK1205771A1 (ru)
RU (1) RU2637737C2 (ru)
WO (1) WO2013186031A2 (ru)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012092163A1 (en) 2010-12-28 2012-07-05 Novartis Ag Photodefined aperture plate and method for producing the same
RU2637737C2 (ru) 2012-06-11 2017-12-06 Стэмфорд Девайсиз Лимитед Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя
EP2886185A1 (en) * 2013-12-20 2015-06-24 Activaero GmbH Perforated membrane and process for its preparation
WO2015177311A1 (en) 2014-05-23 2015-11-26 Stamford Devices Limited A method for producing an aperture plate
EP2947181B1 (en) 2014-05-23 2017-02-22 Stamford Devices Limited A method for producing an aperture plate
AU2016275720B2 (en) 2015-06-10 2020-11-19 Stamford Devices Limited Aerosol generation
CN109475707A (zh) 2016-05-03 2019-03-15 精呼吸股份有限公司 用于输送流体到肺部系统的液滴输送装置及其使用方法
KR101953970B1 (ko) * 2016-06-29 2019-03-05 동국대학교 경주캠퍼스 산학협력단 미세분무용 다공성 필터의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 다공성 필터
EP4088768B1 (en) * 2017-03-23 2024-04-10 Stamford Devices Limited Aerosol delivery system
CN110799231B (zh) 2017-05-19 2022-08-02 精呼吸股份有限公司 干粉输送装置及其使用方法
CN111526914A (zh) 2017-10-04 2020-08-11 精呼吸股份有限公司 电子呼吸致动式直线型液滴输送装置及其使用方法
CA3079189A1 (en) 2017-10-17 2019-04-25 Pneuma Respiratory, Inc. Nasal drug delivery apparatus and methods of use
CA3082192A1 (en) 2017-11-08 2019-05-16 Pneuma Respiratory, Inc. Electronic breath actuated in-line droplet delivery device with small volume ampoule and methods of use
EP3950141A1 (en) 2017-12-14 2022-02-09 Stamford Devices Limited Mounting of an aerosol generator aperture plate to a support
JP6973051B2 (ja) * 2017-12-26 2021-11-24 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
CN112020397B (zh) * 2018-05-16 2022-10-28 菲利普莫里斯生产公司 用于雾化器组件的双层网格元件
US11173258B2 (en) 2018-08-30 2021-11-16 Analog Devices, Inc. Using piezoelectric electrodes as active surfaces for electroplating process
JP7111184B2 (ja) 2019-01-07 2022-08-02 株式会社村田製作所 濾過フィルタ
CN110055567B (zh) * 2019-04-18 2021-05-07 中国科学院化学研究所 微孔膜材料的电沉积制备方法和微孔膜材料及其应用
US20230104205A1 (en) 2020-03-24 2023-04-06 Stamford Devices Limited Vibrating aperture plate nebulizer
CN116133957A (zh) 2020-07-14 2023-05-16 斯坦福设备有限公司 疫苗配给设备和方法
KR102581043B1 (ko) * 2021-01-25 2023-09-22 한국과학기술연구원 다공성 박막을 이용한 메쉬형 분무 장치 및 이의 제조방법
EP4088822A1 (en) * 2021-05-12 2022-11-16 PARI Pharma GmbH Nebulizing device for an inhalator
EP4359046A1 (en) 2021-06-22 2024-05-01 Pneuma Respiratory, Inc. Droplet delivery device with push ejection
EP4197646A1 (en) 2021-12-17 2023-06-21 Stamford Devices Limited A nebulizer with plume detection
WO2023110407A1 (en) 2021-12-17 2023-06-22 Stamford Devices Limited A nebulizer with plume detection
WO2024094429A1 (en) 2022-11-03 2024-05-10 Stamford Devices Limited A method of manufacturing nebuliser aperture plates

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2050285A1 (en) * 1970-10-13 1972-05-25 Siemens Ag Screen printing plate - produced using intermediate photo-sensitive polymeric foil
US4379737A (en) * 1981-11-18 1983-04-12 Armstrong World Industries, Inc. Method to make a built up area rotary printing screen
RU2158846C2 (ru) * 1995-03-29 2000-11-10 Роберт Бош Гмбх Диск с отверстиями, в частности, для клапанных форсунок и способ изготовления диска с отверстиями
WO2011083380A1 (en) * 2010-01-11 2011-07-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetic coupling for aerosol generating apparatus

Family Cites Families (88)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2226706A (en) 1937-11-29 1940-12-31 Hazeltine Corp Periodic wave-generating system
US3130487A (en) * 1962-12-17 1964-04-28 Norman B Mears Method of making fine mesh dome-shaped grids
US3325319A (en) 1963-12-18 1967-06-13 Buckbee Mears Co Process for etching arcuately shaped metal sheets
US4184925A (en) * 1977-12-19 1980-01-22 The Mead Corporation Solid metal orifice plate for a jet drop recorder
US4430784A (en) * 1980-02-22 1984-02-14 Celanese Corporation Manufacturing process for orifice nozzle devices for ink jet printing apparati
US4628165A (en) 1985-09-11 1986-12-09 Learonal, Inc. Electrical contacts and methods of making contacts by electrodeposition
US4849303A (en) * 1986-07-01 1989-07-18 E. I. Du Pont De Nemours And Company Alloy coatings for electrical contacts
US4773971A (en) 1986-10-30 1988-09-27 Hewlett-Packard Company Thin film mandrel
NL8603278A (nl) 1986-12-23 1988-07-18 Stork Veco Bv Membraan met perforaties en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijk membraan.
US4839001A (en) * 1988-03-16 1989-06-13 Dynamics Research Corporation Orifice plate and method of fabrication
US4972204A (en) 1989-08-21 1990-11-20 Eastman Kodak Company Laminate, electroformed ink jet orifice plate construction
DE3928832C2 (de) 1989-08-31 1995-04-20 Blasberg Oberflaechentech Verfahren zur Herstellung von durchkontaktierten Leiterplatten und Leiterplatten-Halbzeug
US5152456A (en) * 1989-12-12 1992-10-06 Bespak, Plc Dispensing apparatus having a perforate outlet member and a vibrating device
JP2992645B2 (ja) 1990-11-19 1999-12-20 九州日立マクセル株式会社 透孔を有する電鋳製品の製造方法
DE69127826T2 (de) 1990-12-17 1998-04-09 Minnesota Mining & Mfg Inhalationsgerät
JP2723690B2 (ja) 1991-04-22 1998-03-09 耕司 戸田 超音波カラーオルガン
US5164740A (en) 1991-04-24 1992-11-17 Yehuda Ivri High frequency printing mechanism
US6629646B1 (en) 1991-04-24 2003-10-07 Aerogen, Inc. Droplet ejector with oscillating tapered aperture
JPH05177834A (ja) 1991-06-04 1993-07-20 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッド
US5180482A (en) * 1991-07-22 1993-01-19 At&T Bell Laboratories Thermal annealing of palladium alloys
JPH0574669A (ja) 1991-09-18 1993-03-26 Rohm Co Ltd 半導体装置の製造方法
JP3200923B2 (ja) * 1992-03-02 2001-08-20 株式会社村田製作所 エレクトロフォーミング方法
JP2544634Y2 (ja) * 1992-03-10 1997-08-20 ティーディーケイ株式会社 超音波霧化器
JPH07329304A (ja) 1994-04-11 1995-12-19 Fujitsu Ltd インクジェット記録装置、その記録ヘッド用ノズル板およびそのノズル板の製造方法
US5565113A (en) 1994-05-18 1996-10-15 Xerox Corporation Lithographically defined ejection units
US5443713A (en) 1994-11-08 1995-08-22 Hewlett-Packard Corporation Thin-film structure method of fabrication
US5560837A (en) 1994-11-08 1996-10-01 Hewlett-Packard Company Method of making ink-jet component
US5685491A (en) * 1995-01-11 1997-11-11 Amtx, Inc. Electroformed multilayer spray director and a process for the preparation thereof
EP0787254B1 (de) 1995-03-29 2002-06-12 Robert Bosch Gmbh Lochscheibe, insbesondere für einspritzventile
WO1996030645A1 (de) 1995-03-29 1996-10-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung einer lochscheibe
US6427682B1 (en) * 1995-04-05 2002-08-06 Aerogen, Inc. Methods and apparatus for aerosolizing a substance
US5586550A (en) 1995-08-31 1996-12-24 Fluid Propulsion Technologies, Inc. Apparatus and methods for the delivery of therapeutic liquids to the respiratory system
US6205999B1 (en) 1995-04-05 2001-03-27 Aerogen, Inc. Methods and apparatus for storing chemical compounds in a portable inhaler
US5758637A (en) 1995-08-31 1998-06-02 Aerogen, Inc. Liquid dispensing apparatus and methods
US6074543A (en) 1995-04-14 2000-06-13 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing liquid ejecting head
DE19527846A1 (de) 1995-07-29 1997-01-30 Bosch Gmbh Robert Ventil, insbesondere Brennstoffeinspritzventil
US5837960A (en) 1995-08-14 1998-11-17 The Regents Of The University Of California Laser production of articles from powders
DE19639506A1 (de) 1996-09-26 1998-04-02 Bosch Gmbh Robert Lochscheibe und Ventil mit einer Lochscheibe
JP3934723B2 (ja) * 1997-02-13 2007-06-20 株式会社オプトニクス精密 メタルマスクの製造方法
WO1999014487A1 (de) 1997-09-16 1999-03-25 Robert Bosch Gmbh Lochscheibe bzw. zerstäuberscheibe und einspritzventil mit einer lochscheibe bzw. zerstäuberscheibe
JPH11138827A (ja) 1997-11-10 1999-05-25 Citizen Watch Co Ltd 微細部品の製造方法
US6235117B1 (en) 1998-11-06 2001-05-22 Eamon P. McDonald Squeegee roll for thin sheet handling system
US6310641B1 (en) 1999-06-11 2001-10-30 Lexmark International, Inc. Integrated nozzle plate for an inkjet print head formed using a photolithographic method
US6235177B1 (en) 1999-09-09 2001-05-22 Aerogen, Inc. Method for the construction of an aperture plate for dispensing liquid droplets
US6357677B1 (en) 1999-10-13 2002-03-19 Siemens Automotive Corporation Fuel injection valve with multiple nozzle plates
JP4712264B2 (ja) * 1999-12-08 2011-06-29 バクスター・インターナショナル・インコーポレイテッド 微小多孔性フィルター膜、微小多孔性フィルター膜を作製するための方法、および微小多孔性フィルター膜を使用する分離器
KR100421774B1 (ko) 1999-12-16 2004-03-10 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지 및 그 제조 방법
JP4497779B2 (ja) * 2000-03-22 2010-07-07 シチズンホールディングス株式会社 孔構造体及び孔構造体製造方法
JP4527250B2 (ja) 2000-07-10 2010-08-18 九州日立マクセル株式会社 ノズル体の製造方法
US6586112B1 (en) 2000-08-01 2003-07-01 Hewlett-Packard Company Mandrel and orifice plates electroformed using the same
JP3751523B2 (ja) 2000-11-30 2006-03-01 三菱電機株式会社 液滴吐出装置
JP4671255B2 (ja) 2000-12-20 2011-04-13 九州日立マクセル株式会社 電鋳製メタルマスクの製造方法
JP2002289097A (ja) * 2001-03-23 2002-10-04 Sumitomo Metal Mining Co Ltd アパチャーグリルの製造方法
US7259640B2 (en) * 2001-12-03 2007-08-21 Microfabrica Miniature RF and microwave components and methods for fabricating such components
WO2003059424A1 (en) * 2002-01-15 2003-07-24 Aerogen, Inc. Methods and systems for operating an aerosol generator
TW589253B (en) 2002-02-01 2004-06-01 Nanodynamics Inc Method for producing nozzle plate of ink-jet print head by photolithography
US7334580B2 (en) * 2002-05-07 2008-02-26 Smaldone Gerald C Methods, devices and formulations for targeted endobronchial therapy
KR100510124B1 (ko) 2002-06-17 2005-08-25 삼성전자주식회사 잉크제트 프린트 헤드의 제조 방법
JP2004290426A (ja) 2003-03-27 2004-10-21 Mitsubishi Materials Corp 超音波式吸入器用メッシュ
JP2006056151A (ja) * 2004-08-20 2006-03-02 Alps Electric Co Ltd クリーム半田印刷装置
KR100624692B1 (ko) 2004-09-13 2006-09-15 삼성전자주식회사 잉크젯 헤드용 필터 플레이트, 상기 필터 플레이트를구비하는 잉크젯 헤드 및 상기 필터 플레이트의 제조방법
JP3723201B1 (ja) 2004-10-18 2005-12-07 独立行政法人食品総合研究所 貫通孔を有する金属製基板を用いたマイクロスフィアの製造方法
US7097776B2 (en) 2004-10-22 2006-08-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of fabricating microneedles
US7104475B2 (en) 2004-11-05 2006-09-12 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
JP2006150993A (ja) 2004-11-25 2006-06-15 Kinugawa Rubber Ind Co Ltd 自動車用ウエザーストリップ
US7501228B2 (en) 2005-03-10 2009-03-10 Eastman Kodak Company Annular nozzle structure for high density inkjet printheads
JP2006297226A (ja) * 2005-04-18 2006-11-02 Sumitomo Electric Ind Ltd 噴霧器用メッシュノズルおよび噴霧器
JP2006297688A (ja) 2005-04-19 2006-11-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd ノズル板の製造方法、そのノズル板の製造方法を用いたノズル板およびそのノズル板を用いたインクジェットヘッド
JP4689340B2 (ja) 2005-05-02 2011-05-25 キヤノン株式会社 吐出用液体医薬組成物
CA2607747C (en) 2005-05-25 2015-12-01 Aerogen, Inc. Vibration systems and methods
JP2007245364A (ja) 2006-03-13 2007-09-27 Fujifilm Corp ノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに画像形成装置
EP1835050A1 (fr) * 2006-03-15 2007-09-19 Doniar S.A. Procédé de fabrication par LIGA-UV d'une structure métallique multicouche à couches adjacentes non entièrement superposées, et structure obtenue
US8991389B2 (en) 2006-04-20 2015-03-31 Ric Investments, Llc Drug solution level sensor for an ultrasonic nebulizer
US20080023572A1 (en) 2006-07-28 2008-01-31 Nalux Co., Ltd. Porous plate with micro openings, method of producing the same, and atomizer having the same
CN101873851A (zh) * 2007-09-25 2010-10-27 诺瓦提斯公司 用气雾化药物如万古霉素治疗肺部疾病
JP2009195669A (ja) 2008-01-25 2009-09-03 Canon Inc 薬剤吐出装置及びその制御方法
US20100055045A1 (en) * 2008-02-26 2010-03-04 William Gerhart Method and system for the treatment of chronic obstructive pulmonary disease with nebulized anticholinergic administrations
WO2010011329A2 (en) 2008-07-23 2010-01-28 Map Pharmaceuticals, Inc. The delivery of powdered drug via inhalation
ITTO20080980A1 (it) 2008-12-23 2010-06-24 St Microelectronics Srl Processo di fabbricazione di una membrana di ugelli integrata in tecnologia mems per un dispositivo di nebulizzazione e dispositivo di nebulizzazione che utilizza tale membrana
US7938522B2 (en) 2009-05-19 2011-05-10 Eastman Kodak Company Printhead with porous catcher
US20110000481A1 (en) * 2009-07-01 2011-01-06 Anand Gumaste Nebulizer for infants and respiratory compromised patients
EP2482901B1 (en) 2009-09-30 2019-10-23 Sanofi-Aventis Deutschland GmbH Injection device
CN103002975A (zh) 2010-05-04 2013-03-27 新加坡科技研究局 细胞和颗粒过滤用的微筛
US20130252020A1 (en) 2010-12-07 2013-09-26 George Hradil Electro-Depositing Metal Layers of Uniform Thickness
WO2012092163A1 (en) 2010-12-28 2012-07-05 Novartis Ag Photodefined aperture plate and method for producing the same
RU2637737C2 (ru) 2012-06-11 2017-12-06 Стэмфорд Девайсиз Лимитед Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя
GB2508558A (en) 2014-03-17 2014-06-04 Anthony Gibbons Forming a perforate membrane by laser and reaming
WO2015177311A1 (en) 2014-05-23 2015-11-26 Stamford Devices Limited A method for producing an aperture plate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2050285A1 (en) * 1970-10-13 1972-05-25 Siemens Ag Screen printing plate - produced using intermediate photo-sensitive polymeric foil
US4379737A (en) * 1981-11-18 1983-04-12 Armstrong World Industries, Inc. Method to make a built up area rotary printing screen
RU2158846C2 (ru) * 1995-03-29 2000-11-10 Роберт Бош Гмбх Диск с отверстиями, в частности, для клапанных форсунок и способ изготовления диска с отверстиями
WO2011083380A1 (en) * 2010-01-11 2011-07-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetic coupling for aerosol generating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US20200078536A1 (en) 2020-03-12
WO2013186031A2 (en) 2013-12-19
RU2014145313A (ru) 2016-07-27
JP6835991B2 (ja) 2021-02-24
JP2020096900A (ja) 2020-06-25
BR112014027624A2 (pt) 2017-08-22
CN104350182A (zh) 2015-02-11
JP2018158150A (ja) 2018-10-11
US10512736B2 (en) 2019-12-24
US11679209B2 (en) 2023-06-20
HK1205771A1 (en) 2015-12-24
EP3476982A1 (en) 2019-05-01
US20150101596A1 (en) 2015-04-16
CN104350182B (zh) 2020-04-21
JP6385922B2 (ja) 2018-09-05
JP2015527481A (ja) 2015-09-17
US9981090B2 (en) 2018-05-29
BR112014027624B1 (pt) 2021-01-19
WO2013186031A3 (en) 2014-07-24
EP2859137A2 (en) 2015-04-15
US20240001048A1 (en) 2024-01-04
EP2859137B1 (en) 2018-12-05
US20130334338A1 (en) 2013-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2637737C2 (ru) Способ изготовления дырчатой пластины для распылителя
US6235177B1 (en) Method for the construction of an aperture plate for dispensing liquid droplets
US20020121274A1 (en) Laminated electroformed aperture plate
US11440030B2 (en) Method for producing an aperture plate
EP2886185A1 (en) Perforated membrane and process for its preparation
CN104302813B (zh) 气溶胶发生器
US9889261B2 (en) Nebulizer mesh and production method thereof
EP2607524B1 (en) Aerosol generators
JP6244318B2 (ja) 噴霧機用メッシュおよびその製造方法
EP2947181B1 (en) A method for producing an aperture plate