RU2540585C2 - Осветительная система для применения в стереолитографическом устройстве - Google Patents

Осветительная система для применения в стереолитографическом устройстве Download PDF

Info

Publication number
RU2540585C2
RU2540585C2 RU2011135992/05A RU2011135992A RU2540585C2 RU 2540585 C2 RU2540585 C2 RU 2540585C2 RU 2011135992/05 A RU2011135992/05 A RU 2011135992/05A RU 2011135992 A RU2011135992 A RU 2011135992A RU 2540585 C2 RU2540585 C2 RU 2540585C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
leds
lighting system
led
conductors
alignment
Prior art date
Application number
RU2011135992/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2011135992A (ru
Inventor
Марк Герман Элсе ВАС
Герман Хендрикус МАЛДЕРИНК
Адрианус Йоханнес Петрус Мариа ВЕРМЕР
Якобус Хюбертус Теодор ЯМАР
Антониус Хюбертус Йоаннес Герардус ЛОММЕН
Андрис РЕЙФЕРС
Original Assignee
Недерландсе Органисати Вор Тугепастнатюрветенсхаппелейк Ондерзук Тно
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Недерландсе Органисати Вор Тугепастнатюрветенсхаппелейк Ондерзук Тно filed Critical Недерландсе Органисати Вор Тугепастнатюрветенсхаппелейк Ондерзук Тно
Publication of RU2011135992A publication Critical patent/RU2011135992A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2540585C2 publication Critical patent/RU2540585C2/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/106Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
    • B29C64/124Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified
    • B29C64/129Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S362/00Illumination
    • Y10S362/80Light emitting diode

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Fastening Of Light Sources Or Lamp Holders (AREA)
  • Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области стереолитографии, а именно к осветительной системе для применения в стереолитографическом устройстве. Техническим результатом заявленного изобретения является разработка осветительной системы на основе СИДов, с возможностью использования совместно с оптической системой, имеющей большую числовую апертуру. Технический результат достигается осветительной системой, содержащей множество светоизлучающих диодов (СИДов). Причем каждый СИД имеет первую светоизлучающую поверхность и вторую поверхность, при этом одна из первой и второй поверхностей является плоской. Множество токопроводов, избирательно соединенных с соответствующими СИДами таким образом, что каждым СИДом можно управлять индивидуально. Выравнивающая поверхность, которая является плоской и находится в выравнивающем контакте с упомянутой плоской поверхностью каждого СИДа, так что в плоскости, параллельной выравнивающей поверхности, простирается двумерная матрица СИДов. При этом выравнивающая поверхность снабжена жестким несущим телом. Причем поверхность несущего тела снабжена пазами, которые ограничены промежуточными ребрами и в которых проложены токопроводы, а СИДы расположены на промежуточных ребрах, которые обеспечивают выравнивающую поверхность. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

Изобретение относится к области стереолитографии, а более конкретно - к осветительной системе для применения в стереолитографическом устройстве.
Стереолитография, также известная как стереоскопическая печать, представляет собой технологию быстрого макетирования, предназначенную для изготовления деталей с высокой точностью. В ее простом воплощении, стереолитография может предусматривать использование бака жидкой светоотверждаемой фотополимерной смолы и управляемого компьютером лазера ультрафиолетового диапазона (УФ-лазера) для отверждения смолы по одному слою за раз. Процесс конфигурирования является, по существу, циклическим. Для каждого слоя, который соответствует тонкому слою изготавливаемой детали, пятно лазерного луча отслеживает соответствующую структуру поперечного сечения на поверхности жидкой смолы. Воздействие лазерным светом лазера делает твердой отслеживаемую структуру и приклеивает ее к нижележащему слою. Сразу же после отверждения слоя изготавливаемую деталь - которая может находиться на платформе подъемника, погруженной в бак фотополимерной смолы, - можно опустить на толщину одного слоя таким образом, что ее верхний слой снова расположится как раз под поверхностью смолы, позволяя нарастить следующий слой. Эту последовательность этапов повторяют до тех пока, пока деталь не окажется готовой.
Вместо использования лазера, стереолитографическое устройство может быть оснащено осветительной системой, содержащей двумерные матрицы светоизлучающих диодов (СИДов) и линз для обеспечения избирательного освещения фотополимерной смолы. Осветительная система в целом может быть расположена с возможностью перемещения относительно места нахождения заготовки, а СИДы могут быть жестко соединены друг с другом и линзами. Линзы могут служить для отображения светоизлучающих поверхностей СИДов на поверхность фотополимерной смолы. В предпочтительном варианте, каждый СИД связан со своим собственным пятном изображения, так что матрица, содержащая некоторой количество СИДов, может создавать столько же пятен изображения. Во время изготовления, осветительную систему можно избирательно перемещать относительно бака, содержащего фотополимерную смолу, а отдельные СИДы можно избирательно включать и выключать, освещая поверхность смолы в соответствии со структурой поперечного сечения отверждаемого слоя. По сравнению с лазером, осветительная система, основанная на освещении СИДами, оказывается относительно недорогой. Кроме того, она дает такую же высокую точность при больших скоростях изготовления.
Обнаружилось, что экономичное производство надежной осветительной системы является проблематичным. Основной причиной этого является то, что осветительная система, выполненная с возможностью освещать фотополимерную смолу с достижением высокой точности, чтобы обеспечить получение даже очень мелких признаков (элементов) заготовки, должна быть выполнена с возможностью получения достаточно ярких пятен изображения с точно определенными размерами в точно определенных положениях. Требование достаточной яркости к оптимальной системе с большой числовой апертурой гарантирует, что оптическая система будет собирать больше света от СИДов. Однако большая числовая апертура может сопровождаться высокой чувствительностью размеров пятна изображения к точным положениям СИДов.
Задача данного изобретения состоит в том, чтобы разработать экономично изготавливаемую осветительную систему на основе СИДов, конструкция которой обеспечивает ее использование совместно с оптической системой, имеющей большую числовую апертуру.
С этой целью, в изобретении предложена осветительная система, пригодная для применения в стереолитографическом устройстве, содержащая: множество светоизлучающих диодов (СИДов), причем каждый СИД имеет, по меньшей мере, первую светоизлучающую поверхность и вторую поверхность, причем, по меньшей мере, одна из первой и второй поверхностей является, по существу, плоской; множество токопроводов, избирательно соединенных с соответствующими СИДами таким образом, что каждым СИДом можно управлять индивидуально; и выравнивающую поверхность, при этом выравнивающая поверхность является, по существу, плоской и находится в выравнивающем контакте с упомянутой, по меньшей мере, одной, по существу, плоской поверхностью каждого СИДа, так что в плоскости, параллельной выравнивающей поверхности, простирается двумерная матрица СИДов.
Чтобы получить желаемую точность в направлении z, СИДы введены в выравнивающий контакт с, по существу, плоской выравнивающей поверхностью. Термин "по существу, плоская" означает поверхности, имеющие плоскостность поверхности, меньшую чем примерно 10 мкм, а предпочтительно - меньшую чем 5 мкм. Такая степень плоскостности поверхности может быть достигнута, например, посредством оптического полирования. Выравнивающую поверхность может обеспечить, например, механический носитель или несущее тело, либо многолинзовая матрица, как будет рассмотрено ниже. Отметим, что выравнивающая поверхность может быть составлена из многочисленных отдельных выравнивающих поверхностей, которые простираются в одной и той же плоскости. Таким образом, термин "выравнивающая поверхность" необязательно считать обозначающим единственную непрерывную поверхность. См., например, фиг. 2 и ее обсуждение ниже.
Чтобы получить достаточную позиционную точность в плоскости "x-y", т.е. в плоскости двумерной матрицы СИДов, или повысить позиционную точность в этой плоскости, осветительную систему, соответствующую изобретению, можно изготавливать с использованием разрезанных, но не упакованных СИДов: так называемых бескорпусных кристаллов. В основе этого лежит интуитивное понимание того, что обычные СИДы с поверхностным монтажом внедрены в корпус интегральной схемы (ИС), причем ее корпус, когда им манипулирует подъемно-транспортный робот, служит в качестве поверхности отсчета. Поскольку внешние размеры корпуса ИС могут явно превышать желаемый позиционный допуск для упакованных внутри СИДов, у робота может не оказаться возможности позиционировать с желаемой точностью СИДы с поверхностным монтажом. Вместе с тем, при отсутствии мешающего корпуса ИС, подъемно-транспортный робот может определить точное место нахождения бескорпусного кристалла и соответственно позиционировать его. По сравнению с примером использования монолитной матрицы разрезание подложки обеспечивает очень эффективное использование материала подложки и тем самым вносит вклад в экономичный процесс изготовления. Избавление от корпуса ИС также означает устранение термически изолирующего барьера между реальным СИДом и несущим телом, с которым термически связан этот СИД. Поэтому рабочую температуру СИДа можно сделать ниже, что выгодно для его срока службы и светоотдачи.
В соответствии с одним аспектом изобретения, выравнивающая поверхность снабжена, по существу, жестким несущим телом, которое содержит, по меньшей мере, первый слой, который обеспечивает выравнивающую поверхность и который содержит материал, имеющий теплопроводность, по меньшей мере, 150 Вт/(м·К).
Известно, что СИДы демонстрируют чувствительность светоотдачи к температуре и что из свойства фактически постоянно ухудшаются избыточной температурой. Чтобы способствовать продлению ожидаемого срока службы матрицы СИДов и - что одинаково важно - равномерности их светоотдачи, приходится принять меры, чтобы гарантировать, что СИДы не подвергаются избыточному и/или неравномерному нагреву. С этой целью, выравнивающая поверхность, с которой термически связаны СИДы, в предпочтительном варианте может содержать материал, имеющий высокую теплопроводность, например, превышающую 150 Вт/(м·К), такой как медь или алюминий. В некоторых вариантах осуществления, несущее тело может содержать несколько слоев. Несущее тело может, например, содержать основу из инвара, покрытую относительно тонким слоем меди, который обеспечивает выравнивающую поверхность. Слой меди, который обладает теплопроводностью, превышающей 150 Вт/(м·К), может контактировать со вторыми поверхностями СИДов и обеспечивать устранение нагрева СИДов. Слой меди будет рассеивать тепло, и передавать его основе из инвара, которая обладает меньшей теплопроводностью, но более благоприятным (т.е. меньшим) коэффициентом теплового расширения. Основа из инвара будет ограничивать изменения относительных положений СИДов из-за равномерного или неравномерного нагревания основы СИДами. Вообще говоря, любой слой такой основы предпочтительно имеет линейный коэффициент теплового расширения (т.е. незначительное увеличение длины на градус изменения температуры), составляющий 5·10-6/K или менее.
В качестве альтернативы или дополнения к вариантам выбора материала отметим, что можно наделить, по существу, жесткое несущее тело конструктивными характеристиками, которые обеспечивают ему возможность подходящей передачи тепла. Например, несущее тело может быть снабжено одним или несколькими каналами охлаждения, по которым - при использовании - может циркулировать охлаждающая текучая среда, и/или охлаждающими ребрами, выполненными с возможностью рассеяния тепла, генерируемого СИДами.
Вышеупомянутые и другие признаки и преимущества изобретения станут совершенно ясными из нижеследующего подробного описания некоторых вариантов осуществления изобретения, приводимых со ссылками на прилагаемые чертежи, которые предназначены для иллюстрации изобретения, а не ограничения объема его притязаний.
Краткое описание чертежей
На фиг. 1 представлено схематическое сечение возможного фотолитографического устройства, в котором может быть применена осветительная система, соответствующая данному изобретению, и
фиг. 2-4 схематически иллюстрируют некоторые варианты осуществления осветительной системы, соответствующей данному изобретению.
На фиг. 5А и 5В показаны схематический вид сбоку и перспективное изображение дополнительного варианта осуществления.
На чертежах одинаковые позиции обозначают сходные элементы. Размеры, формы, относительные положения и углы элементов на чертежах не обязательно показаны в масштабе, и некоторые из этих элементов могут быть произвольно увеличены и расположены для повышения доходчивости чертежей. Кроме того, конкретные показанные формы элементов не следует считать несущими какую-либо информацию, касающуюся фактической формы конкретных элементов, т.е. они могут быть выбраны просто для простоты их узнавания на чертежах.
Подробное описание
Обратимся сначала к фиг. 1, где показано сечение на виде сбоку возможного стереолитографического устройства (СЛУ) 1, в котором можно воплотить осветительную систему, соответствующую данному изобретению. СЛУ 1 можно использовать для послойного изготовления материального объекта 2, такого как макет или модель изделия производства. СЛУ 1 содержит несущую плиту 4, резервуар 10 жидкости и осветительную систему 30.
Во время изготовления, материальный объект 2 свисает с несущей плиты 4, к которой приклеен первый конструктивный слой объекта 2 и косвенно - также любые последующие слои. Несущая плита 4 выполнена с возможностью перемещения в направлении 6 посредством механизма привода (не показан) и перемещается на толщину одного слоя вверх каждый раз, когда сконфигурирован новый слой.
Резервуар 10 жидкости наполнен жидкой светоотверждаемой смолой 14. Нижняя плита 12 резервуара 10 жидкости оптически прозрачна для света, излучаемого осветительной системой 30, которая будет описана ниже. Нижняя плита 12 также функционирует как конструкционный профиль, который ограничивает одну сторону слоя 16 жидкости, подлежащего (частично) отвержению. Должно быть ясно, что как только сконфигурировали слой и переместили несущую плиту 4 вверх на толщину одного слоя, пространство между последним сконфигурированным слоем и нижней плитой 12 заполняется смолой 14, вследствие чего и образуется упомянутый слой 16 жидкости.
СЛУ 1 также содержит осветительную систему 30, которая выполнена с возможностью избирательного освещения заранее определенной области слоя 16 жидкости. В результате этого освещения, можно получить твердый слой 18 материального объекта, причем упомянутый слой 18 имеет заранее определенную форму с рисунком прикладываемого освещения. Осветительная система 30 включает в себя матрицу 32 СИДов и формирующую изображение систему, которая содержит две многолинзовые матрицы 40, 42. В других вариантах осуществления, формирующая изображение система может содержать другое количество многолинзовых матриц, например всего одну, и/или другие элементы, в зависимости от желаемой конфигурации. При большой числовой апертуре, например числовой апертуре в диапазоне 0,3-0,8 или даже более 0,8, небольшие изменения в положении СИДа может оказывать усиленные влияния на размеры сопряженного с этим СИДом пятна изображения. В качестве примера, отметим следующее: пятна изображения, о которых идет речь, могут иметь диаметр порядка 100 мкм, вследствие чего можно достичь расстояний эффективного разнесения пятен порядка 50 мкм. Если бы СИД располагался в 10 мкм от своего идеального положения (в направлении, параллельном оптической оси оптической системы), то это отклонение могло бы вызвать увеличение диметра пятна изображения примерно на 30 мкм. Очевидно, что это значительная и фактически неприемлемая аберрация. Отклонения СИДов от своих идеальных положений в направлениях, перпендикулярных оптической оси оптической системы, могут быть и не увеличенными, а просто переходящими на изображение. И вновь, имея в виду расстояние эффективного разнесения пятен, составляющее 50 мкм или менее, отклонения величиной 10 мкм могут серьезно снизить разрешение системы.
Таким образом, желание воспользоваться оптической системой, имеющей большую числовую апертуру, приводит, между прочим, к относительным допускам позиционирования для СИДов. Как показано на чертежах, желаемые в настоящее время позиционные допуски для СИДов меньше 10 мкм в каждом из направлений "x", "y" и "z", при этом плоскость "x-y" является плоскостью двумерной матрицы СИДов, а направление "z" проходит в направлении, перпендикулярном ей. Такое точное позиционирование представляется недостижимым с использованием обычных СИДов с поверхностным монтажом, устанавливаемых на (многослойных) печатных платах. Размерные допуски СИДов запросто могут превышать вышеупомянутые 10 мкм, не давая подъемно транспортному роботу позиционировать их с желаемой точностью, тогда как многослойные печатные платы - которые обеспечивают электрические соединения для каждого отдельного СИДа - трудно сделать плоскими на относительно больших площадях поверхностей, требуемых матрицами СИДов. В отличие от этого, монолитная матрица СИДов, т.е. вся подложка (секция), содержащая множество СИДов, дает альтернативу, которая лучше по точности позиционирования отдельных СИДов. Вот почему сам процесс изготовления подложек гарантирует точность. Вместе с тем, когда желаемое расстояние разделения между соседними СИДами в матрице увеличивается, больше материала прецизионных подложке идет в отходы. При типичных расстояниях разделения примерно 1 мм или более издержки использования монолитной матрицы становятся неприемлемо высокими.
Хотя позиционная точность СИДов сама по себе является принципиальной проблемой, следует удовлетворять также дополнительные конструкторские требования. Эти требования включают в себя дополнительную управляемость каждого СИДа, которая требует индивидуальных токопроводов для каждого СИДа и хорошей системы теплового управления, которая предотвращает быстрое и/или неравномерное ухудшение свойств СИДов из-за неблагоприятной чувствительности к высоким температурам.
Матрица 32 СИДов содержит множество СИДов 34. СИДы 34 расположены в двумерной плоскости, предпочтительно в виде сетки, так что эти СИДы составляют эквидистантные и перпендикулярно ориентированные строки и столбцы, а каждый СИД определяет узел сетки. Каждый из СИДов 34 обладает светоизлучающей поверхностью 36, которая обращена к нижней плите 12 резервуара 10 жидкости, которая, по существу, параллельна двумерной плоскости матрицы 32 СИДов. Для управления, например, включением и выключением (с желаемой интенсивностью) индивидуальных СИДов в матрице 32 можно предусмотреть контроллер 38, чтобы создавать изменяющийся во времени двумерный рисунок светящихся СИДов, который можно проецировать на слой 16 жидкой смолы.
Между светоизлучающими поверхностями 36 СИДов 34 и избирательно отверждаемым слоем 16 жидкости расположены, по существу, планарные многолинзовые матрицы 40, 42. Каждая из матриц 40, 42 содержит множество линз 44, предпочтительно по одной для каждого Сида 34. Линзы 44 предпочтительно могут быть расположены в соответствии с компоновкой СИДов 34 в матрице 32. Многолинзовые матрицы 40, 42 могут быть матрицами плосковыпуклого типа, имея вследствие этого одну плоскую сторону 46, которая ограничивает плоскую сторону всех линз 44, и множество выпуклых секций 48, имеющих частично сфероидальную форму, по одной для каждой линзы 42. Многолинзовые матрицы 40, 42 могут быть противоположно ориентированными, как показано на фиг. 1. Многолинзовые матрицы 40, 42 совместно образуют формирующую изображение систему, которая выполнена с возможностью отображать рисунок светящихся СИДов на слой 16 жидкости таким образом, что каждый светящийся СИД создает отдельное, сопряженное пятно на заранее определенной площади слоя 16 жидкости. Многолинзовые матрицы 40, 42 могут быть выполнены из множества материалов, включая обычное стекло, кварцевое стекло и пластмассу.
Осветительная система 30 может быть расположена с возможностью перемещения под нижней плитой 12 резервуара 10 жидкости, так что она сможет перемещаться в направлении 8 параллельно нижней плите 12 резервуара 10 жидкости. Перемещением осветительной системы 30 можно управлять посредством вышеупомянутого контроллера 38, который также управляет свечением СИДов 34. При использовании, осветительная система 30 может перемещаться прямолинейно в направлении, которое проходит под углом к направлениям строк и столбцов матрицы 32 СИДов для повышения эффективного разрешения системы.
Этот метод описан подробнее в одновременно рассматриваемой заявке EP 07150447.6, которая подана от имени того же заявителя и упоминается здесь для справок в целях получения дополнительной информации касательно этого аспекта.
Теперь, когда прояснен эксплуатационный контекст осветительной системы 30, обратимся к фиг. 2-4, где некоторые ее варианты осуществления показаны подробнее.
На фиг. 2 представлено схематическое сечение согласно варианту осуществления осветительной системы 30 в соответствии с данным изобретением. Помимо СИДов 34 и многолинзовых матриц 40, 42, уже показанных на фиг. 1, на фиг. 2 изображены несущее тело 50 и токопроводы 56.
СИДы 34, которые в варианте осуществления согласно фиг. 2 представляют собой бескорпусные кристаллы, находятся в механическом и термическом контакте с несущим телом 50 посредством своих вторых поверхностей 37. Несущее тело 50, которое может быть плоским или имеющим другую подходящую форму телом, в частности, может быть выполнено из материала, обладающего высокой теплопроводностью, например, превышающей 150 Вт/(м·К), такого как алюминий или медь. Хорошая теплопроводность позволяет несущему телу служить в качестве теплоотвода и отводить избыточное тепло от СИДов 34, чтобы увеличить их ожидаемый срок службы и предотвратить снижение из светоотдачи. Это также может предотвратить взаимно неравномерное нагревание СИДов 34, которое могло бы привести к неравномерному генерированию света по матрице 32. Во время изготовления, верхнюю поверхностью несущего тела полируют, например оптически, чтобы получить гладкую и, по существу, плоскую выравнивающую поверхность 52. Плоскостность поверхности, присущая полированной выравнивающей поверхности 52, может быть меньше 10 мкм, а предпочтительно меньше 5 мкм. После обработки полированием, можно - путем механической обработки - заглубить пазы в верхнюю сторону несущего тела 50. В варианте осуществления согласно фиг. 2, в этих пазах заключены токопроводы 56, а ребра 54 между ними обеспечивают механическую опору СИДов 34. Благодаря этому способу изготовления, ребра 54 имеют, по существу, плоские верхние поверхности 52, и все эти поверхности простираются в одной и той же плоскости. Вместе с тем, их вследствие этого можно рассматривать как "выравнивающую поверхность" в данном контексте. По существу, плоские вторые поверхности 37 СИДов 34 могут быть прикреплены к выравнивающей поверхности 52 посредством тонкого слоя клея. В предпочтительном варианте, клей может быть теплопроводным. Если это желательно, то клей также может содержать распорки, такие как стеклянные или полистирольные сферы, чтобы способствовать установлению желаемого расстояния между выравнивающей поверхностью 52 и вторыми поверхностями 37 СИДов 34. Точное расстояние разнесения не только вносит вклад в позиционную точность СИДов, но и точно определяет толщину связующего слоя между СИДами и выравнивающей поверхностью 52. Поскольку толщина связующего слоя приблизительно пропорциональна тепловому сопротивлению этого слоя, постоянство толщины связующего слоя для всех СИДов является особенностью, которая противодействует их неравномерному нагреву и ухудшению их свойств.
Электрические токопроводы 56 могут быть предусмотрены в форме многослойной печатной платы (ПП). Многослойные ПП обеспечивают высокую плотность токопроводов 56, которая является насущным требованием из-за относительно плотной упаковки СИДов 34. Например, в типичном случае каждые 1-2 мм2 выравнивающей поверхности 52 можно снабдить СИДом 34, а осветительная система 30 может содержать в целом много тысяч индивидуально управляемых СИДов. Как упоминалось выше, токопроводы 56, по меньшей мере, частично расположены в пазах между ребрами 54. Эта конфигурация предотвращает образование токопроводами 56 препятствия свету, который излучается СИДами 34 по направлению к многолинзовой матрице 40. Электрические соединения СИДов 34 токопроводов 56 можно осуществлять посредством проводных соединений 58, которые могут избирательно соединять электрические контактные площадки СИДов на основе бескорпусных кристаллов с токопроводами 56.
На фиг. 3 показан второй, альтернативный вариант осуществления осветительной системы 30. В этом варианте осуществления используется керамическое несущее тело 50, обладающее высокой теплопроводностью. Для дальнейшего способствования отводу тепла несущее тело 50 может быть дополнительно оснащено одним или более каналами 60, по которым может циркулировать охлаждающая текучая среда. В отличие от варианта осуществления согласно фиг. 2, керамическое несущее тело 50, показанное на фиг. 3, имеет единственную, непрерывную выравнивающую поверхность 52. Эта выравнивающая поверхность 52 отполирована для получения желаемой степени плоскостности поверхности. В несущем теле 50 во время изготовления не проделаны посредством механической обработки пазы для заключения в них токопроводов 56. Вместо этого, токопроводов 56 обеспечиваются слоями толстой пленки, которые можно наносить на выравнивающую поверхность 52, например, посредством трафаретной печати. Схематически изображенные стэки слоев, показанные на фиг. 3, могут быть составлены из чередующихся проводящих и непроводящих слоев. Для избирательного соединения электрических контактных площадок СИДов 34 на основе бескорпусных кристаллов с соответствующими проводящими слоями можно использовать проводные соединения. Как и в варианте осуществления, согласно фиг. 2, СИДы 34 могут быть прикреплены к выравнивающей поверхности 52 посредством предпочтительно теплопроводного клея, содержащего или не содержащего распорки.
В вариантах осуществления согласно фиг. 2 и 3, несущее тело 50 обеспечивает механическую опору и термическое охлаждение СИДов 34. Подача электропитания осуществляется посредством токопроводов 56. Эту ситуацию следует отличать от более традиционной сборки, при которой СИДы с поверхностным монтажом просто помещаются в печатную плату (ПП), а эта ПП должна выполнять все три функции. Такая сборка не обеспечивает точное позиционирование СИДов, в частности, потому, что многослойные ПП обычно имеют неприемлемо большой допуск в направлении "z".
На фиг. 4 показан вариант осуществления, в котором СИДы 34 все же расположены на многослойной ПП, которая сама по себе предусмотрена на верхней поверхности несущего тела 50. Точная ориентация СИДов 34 в направлении "z" достигается не посредством ПП, а посредством крепления СИДов 34 к плоской стороне 46 многолинзовой матрицы 40, а эта поверхность 46 служит в качестве выравнивающей поверхности. Чтобы обеспечить такую конфигурацию, применяемые СИДы 34 предпочтительно являются так называемыми перевернутыми кристаллами (бескорпусными кристаллами). Их светоизлучающие поверхности 36 не содержат электрических контактных площадок и поэтому являются, по существу, плоскими. В одном варианте осуществления, светоизлучающие поверхности 36 СИДов 34 на основе перевернутых кристаллов можно приклеивать к, по существу, плоской стороне 46 многолинзовой матрицы 40, пользуясь оптически прозрачным клеем, чтобы получить надлежащую ориентацию в направлении "z". Во время изготовления СИДы 34 можно сначала крепить к плоской стороне 46 многолинзовой матрицы 40, а затем - после того, как весь клей застыл, а относительные положения СИДов 34 оказались зафиксированными - соединять с токопроводами 56 ПП, например, используя пайку ультразвуком или анизотропный проводящий клей. В альтернативном варианте осуществления, можно не приклеивать СИДы к многолинзовой матрице. Их можно, например, сначала соединять с токопроводами 56 ПП, вследствие чего можно наносить пластифицированный клей между вторыми поверхностями 37 СИДов 34 и верхней поверхностью ПП. Затем можно установить на место многолинзовую матрицу 40, вследствие чего ее плоская сторона будет оказывать небольшой нажим на светоизлучающие поверхности 36 СИДов 34, ориентируя их в направлении "z". Когда все СИДы 34 ориентированы надлежащим образом, можно вызвать отверждение пластифицированного клея, что приведет к постоянной фиксации относительных ориентаций СИДов. Преимущество первого варианта осуществления заключается в том, что СИДы 34 оказываются прикрепленными к многолинзовой матрице 40 с высокой точностью позиционирования. Соответственно, оказывается ненужной раздельная ориентация СИДов 34 и многолинзовой матрицы 40, а различия в коэффициентах теплового расширения между многолинзовой матрицей, с одной стороны, и несущим телом и/или ПП, с другой стороны, больше не смогут вызывать разориентацию СИДов относительно многолинзовой матрицы.
На фиг. 5A и 5B показаны схематический вид сбоку и перспективное изображение, соответственно, дополнительного варианта осуществления, предусматривающего наличие пазов 55, в которых заключены ПП 56, а ребра 54 между пазами 55 обеспечивают механическую опору СИДов 34. Показано, что многочисленные СИДы 34 могут быть предусмотрены на поверхности 52, которые групповым образом управляются с помощью электрической схемы, расположенной на ПП 56 в пазах 55. Это обеспечивает тепловую выгоду, поскольку не предусматривается позиционирование каждого из СИДов на узких ребрах, размеры которых согласованы с расстоянием между СИДами, что в противном случае могло бы ограничить теплопередачу в каналы 60 охлаждения.
Структуры токопроводов 56 на ПП можно укладывать стопой в вертикальной конфигурации, то есть на ПП простирающейся в плоскости, проходящей поперек выравнивающей поверхности 52. Это оптимизирует расстояние зазора, которое можно поддерживать минимальным между последовательными СИДами 34.
Таким образом, за счет использования паза 55 для расширения планарной области ПП, простая одно- или двухслойная структура ПП оказывается достаточной для обеспечения всех токопроводов от СИДов к ИС 57. В дополнение к расположению схемы 57 возбуждения в пазу 55 можно сократить расстояние между ИС 57 возбуждения и СИДами. Кроме того, в предпочтительном варианте осуществления, иллюстрируемая структура 56 ПП простирается в плоскости выравнивающей поверхности 56 и имеет отверстия 59 для заключения в них СИДов 34, которые предусмотрены непосредственно на выравнивающей поверхности. Эти отверстия сделаны существенно превышающими размер СИДов, так что допуск на положение ПП относительно СИДов оказывается большим. ПП 56 является гибкой ПП и загнута так, что, по меньшей мере, часть с ИС 57 сидит в пазах 55, а часть с отверстиями для СИДов лежит плоско на подложке 50.
Хотя иллюстративные варианты осуществления данного изобретения описаны со ссылками на прилагаемые чертежи, следует понять, что изобретение не ограничивается этими вариантами осуществления. Специалист в данной области техники сможет внести изменение и модификации в рамках объема притязаний или существа изобретения, охарактеризованных в прилагаемой формуле изобретения. Кроме того, отметим, что применение вышеописанной осветительной системы не ограничивается областью стереолитографии. Оно также применимо, например, в других областях полиграфической промышленности.
Перечень элементов
1 Стереолитографическое устройство (СЛУ)
2 Материальный объект
4 Несущая плита
6 Направление перемещения несущей плиты
8 Направление перемещения осветительной системы
10 Резервуар жидкости
12 Нижняя плита резервуара жидкости
14 Светоотверждаемая смола
16 Слой жидкости
18 Твердый слой материального объекта 2
30 Осветительная система
32 Матрица СИДов
34 СИД
36 Светоизлучающая поверхность СИДа
38 Контроллер
40 Многолинзовая матрица
42 Многолинзовая матрица
44 Линза
46 Плоская сторона линзы
48 Выпуклая сторона линзы
50 Несущее тело
52 Поверхность несущего тела
54 Ребро
56 Токопроводы
58 Проводное соединение
60 Каналы охлаждения

Claims (13)

1. Осветительная система (30), содержащая
- множество светоизлучающих диодов (СИДов) (34), причем каждый СИД имеет, по меньшей мере, первую светоизлучающую поверхность (36) и вторую поверхность (37), причем, по меньшей мере, одна из первой и второй поверхностей является, по существу, плоской,
- множество токопроводов (56), избирательно соединенных с соответствующими СИДами таким образом, что каждым СИДом можно управлять индивидуально, и
- выравнивающую поверхность (46, 52), при этом выравнивающая поверхность является, по существу, плоской и находится в выравнивающем контакте с упомянутой, по меньшей мере, одной, по существу, плоской поверхностью (37, 36) каждого СИДа, так что в плоскости, параллельной выравнивающей поверхности, простирается двумерная матрица СИДов, отличающаяся тем, что выравнивающая поверхность (52) снабжена жестким несущим телом (50), причем поверхность несущего тела (50) снабжена пазами, которые ограничены промежуточными ребрами (54) и в которых, по меньшей мере, частично проложены токопроводы (56), а СИДы (34) расположены на промежуточных ребрах (54), которые обеспечивают выравнивающую поверхность (52).
2. Осветительная система по п.1, в которой выравнивающая поверхность (46, 52) имеет плоскостность поверхности, по меньшей мере, 10 мкм, предпочтительнее, по меньшей мере, 5 мкм.
3. Осветительная система по п.1 или 2, в которой СИДы (34) представляют собой бескорпусные кристаллы.
4. Осветительная система по п.1 или 2, в которой упомянутая по меньшей мере одна, по существу, плоская поверхность каждого СИДа (34) соединена с выравнивающей поверхностью (46, 52) посредством клея.
5. Осветительная система по п.4, в которой клей содержит распорки, а упомянутые распорки представляют собой сферы из стекла или полистирола.
6. Осветительная система по п.1, в которой несущее тело (50) содержит, по меньшей мере, первый слой, который обеспечивает выравнивающую поверхность (52) и который содержит материал, имеющий теплопроводность, по меньшей мере, 150 Вт/(м·К).
7. Осветительная система по п.6, в которой несущее тело (50) содержит второй слой, содержащий материал, имеющий линейный коэффициент теплового расширения, составляющий 5·10-6/K или менее.
8. Осветительная система по п.1 или 2, в которой и СИДы (34), и токопроводы (56) предусмотрены на выравнивающей поверхности, так что токопроводы проходят, по меньшей мере, частично между СИДами, вследствие чего токопроводы обеспечиваются посредством толстопленочной технологии, например трафаретной печати.
9. Осветительная система по одному из пп.1, 6 или 7, в которой токопроводы (56) предусмотрены в форме печатной платы.
10. Осветительная система по п.1, в которой СИДы (34) являются перевернутыми кристаллами, имеющими, по существу, плоские светоизлучающие поверхности (36) и имеющими свои электрические соединения на соответствующих вторых поверхностях (37), и при этом плоская сторона (46) многолинзовой матрицы (40) обеспечивает выравнивающую поверхность (46), так что указанные светоизлучающие поверхности (36) СИДов находятся в выравнивающем контакте с плоской стороной многолинзовой матрицы.
11. Осветительная система по п.10, в которой токопроводы (56), с которыми соединены СИДы (34) своими вторыми поверхностями (37), по меньшей мере, частично выполнены в форме печатной платы (50).
12. Осветительная система по п.10 или 11, в которой линзы (44) многолинзовой матрицы (40) расположены в соответствии с компоновкой СИДов (34), так что светоизлучающая поверхность (36) каждого СИДа связана главным образом с одной линзой (44) многолинзовой матрицы (40).
13. Стереолитографическое устройство (1), содержащее осветительную систему (30) по любому из предыдущих пунктов.
RU2011135992/05A 2009-01-30 2010-01-29 Осветительная система для применения в стереолитографическом устройстве RU2540585C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP09151794A EP2218571A1 (en) 2009-01-30 2009-01-30 Illumination system for use in a stereolithography apparatus
EP09151794.6 2009-01-30
PCT/NL2010/050043 WO2010087708A1 (en) 2009-01-30 2010-01-29 Illumination system for use in a stereolithography apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011135992A RU2011135992A (ru) 2013-03-10
RU2540585C2 true RU2540585C2 (ru) 2015-02-10

Family

ID=40863603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011135992/05A RU2540585C2 (ru) 2009-01-30 2010-01-29 Осветительная система для применения в стереолитографическом устройстве

Country Status (10)

Country Link
US (1) US8915620B2 (ru)
EP (2) EP2218571A1 (ru)
JP (1) JP5555720B2 (ru)
KR (1) KR20110113739A (ru)
CN (1) CN102300698B (ru)
BR (1) BRPI1007004A2 (ru)
CA (1) CA2750587C (ru)
ES (1) ES2419704T3 (ru)
RU (1) RU2540585C2 (ru)
WO (1) WO2010087708A1 (ru)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8678805B2 (en) 2008-12-22 2014-03-25 Dsm Ip Assets Bv System and method for layerwise production of a tangible object
US8777602B2 (en) 2008-12-22 2014-07-15 Nederlandse Organisatie Voor Tobgepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO Method and apparatus for layerwise production of a 3D object
CN102325644B (zh) 2008-12-22 2014-12-10 荷兰应用科学研究会(Tno) 用于3d物体的分层生产的方法及设备
ITVI20110302A1 (it) * 2011-11-23 2013-05-24 Dws Srl Oggetto tridimensionale perfezionato ottenuto tramite procedimento stereolitografico e metodo per la progettazione grafica computerizzata di detto oggetto
ITVI20120183A1 (it) * 2012-07-27 2014-01-28 Dws Srl Cartuccia per macchina stereolitografica, macchina stereolitografica comprendente tale cartuccia e metodo di produzione di tale cartuccia
WO2015072921A1 (en) * 2013-11-14 2015-05-21 Structo Pte. Ltd Additive manufacturing device and method
JP6316991B2 (ja) 2014-06-20 2018-04-25 ヴェロ・スリー・ディー・インコーポレイテッド 3次元物体を生成するための方法
US20170203363A1 (en) * 2014-07-09 2017-07-20 Applied Materials ,Inc. Layerwise heating, linewise heating, plasma heating and multiple feed materials in additive manufacturing
GB201413578D0 (en) * 2014-07-31 2014-09-17 Infiniled Ltd A colour iled display on silicon
US9873223B2 (en) 2014-10-05 2018-01-23 X Development Llc Shifting a curing location during 3D printing
WO2016077250A1 (en) * 2014-11-10 2016-05-19 Velo3D, Inc. Systems, apparatuses and methods for generating three-dimensional objects with scaffold features
US9840045B2 (en) * 2014-12-31 2017-12-12 X Development Llc Voxel 3D printer
GB201501382D0 (en) 2015-01-28 2015-03-11 Structo Pte Ltd Additive manufacturing device with release mechanism
KR20160112797A (ko) * 2015-03-20 2016-09-28 엘지전자 주식회사 3d 프린터
GB201508178D0 (en) * 2015-05-13 2015-06-24 Photocentric Ltd Method for making an object
GB2545362B (en) * 2015-06-15 2021-08-11 Halliburton Energy Services Inc Downhole tools comprising aqueous-degradable sealing elements of thermoplastic rubber
ITUB20154169A1 (it) 2015-10-02 2017-04-02 Thelyn S R L Metodo e apparato di foto-indurimento a substrato auto-lubrificante per la formazione di oggetti tridimensionali.
CN107013857B (zh) * 2015-11-06 2023-12-12 利萨·德雷克塞迈尔有限责任公司 用于车辆的照明装置以及照明装置的制造方法
US9676145B2 (en) 2015-11-06 2017-06-13 Velo3D, Inc. Adept three-dimensional printing
JP2019507236A (ja) 2015-12-10 2019-03-14 ヴェロ・スリー・ディー・インコーポレイテッド 性能向上した3次元印刷
WO2017143077A1 (en) 2016-02-18 2017-08-24 Velo3D, Inc. Accurate three-dimensional printing
US10252336B2 (en) 2016-06-29 2019-04-09 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing and three-dimensional printers
US11691343B2 (en) 2016-06-29 2023-07-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing and three-dimensional printers
DE102016118996A1 (de) * 2016-10-06 2018-04-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Herstellung von sensoren
US10661341B2 (en) 2016-11-07 2020-05-26 Velo3D, Inc. Gas flow in three-dimensional printing
US10611092B2 (en) 2017-01-05 2020-04-07 Velo3D, Inc. Optics in three-dimensional printing
IL267976B (en) * 2017-01-25 2022-08-01 Nexa3D Inc Method and device using a light source for radiation curing of liquid polymers to create three-dimensional objects
WO2018160807A1 (en) 2017-03-02 2018-09-07 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing of three dimensional objects
US20180281282A1 (en) 2017-03-28 2018-10-04 Velo3D, Inc. Material manipulation in three-dimensional printing
WO2019079450A1 (en) 2017-10-20 2019-04-25 Formlabs, Inc. TECHNIQUES FOR LIGHT APPLICATION IN ADDITIVE MANUFACTURING AND ASSOCIATED SYSTEMS AND METHODS
US10272525B1 (en) 2017-12-27 2019-04-30 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing systems and methods of their use
US10144176B1 (en) 2018-01-15 2018-12-04 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing systems and methods of their use
US11167491B2 (en) 2018-06-01 2021-11-09 Formlabs, Inc. Multi-film containers for additive fabrication and related systems and methods
WO2020014344A1 (en) 2018-07-10 2020-01-16 3D Systems, Inc. Three dimensional (3d) printer with high resolution light engine
KR101990431B1 (ko) * 2018-11-09 2019-06-19 주식회사 쓰리딜라이트 마이크로 led를 이용한 3d프린터
KR20220031745A (ko) 2019-07-26 2022-03-11 벨로3디, 인크. 3차원 물체 형상화에 대한 품질 보증
EP4025411A4 (en) * 2019-10-14 2023-10-04 Structo Pte. Ltd. IRRADIATION SYSTEMS AND PROCESSES FOR ADDITIVE MANUFACTURING
CN111605191A (zh) * 2020-06-24 2020-09-01 深圳市智能派科技有限公司 一种多尺寸光固化3d打印机拼接光源

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5655189A (en) * 1994-05-27 1997-08-05 Kyocera Corporation Image device having thermally stable light emitting/receiving arrays and opposing lenses
US6214432B1 (en) * 1999-06-02 2001-04-10 Sony Corporation, Method for controlling the bonding layer thickness in an optical storage apparatus and optical storage apparatus resulting therefrom
RU2189523C2 (ru) * 1998-12-30 2002-09-20 Открытое акционерное общество "ЛОМО" Светодиодное осветительное устройство

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS636853A (ja) 1986-06-26 1988-01-12 Nec Corp 多ピン型セラミツク集積回路装置
JPH0435178Y2 (ru) * 1986-06-26 1992-08-20
US4942405A (en) 1988-10-11 1990-07-17 Hewlett-Packard Company Light emitting diode print head assembly
US5175612A (en) 1989-12-19 1992-12-29 Lsi Logic Corporation Heat sink for semiconductor device assembly
US5317344A (en) * 1989-12-22 1994-05-31 Eastman Kodak Company Light emitting diode printhead having improved signal distribution apparatus
JP2805534B2 (ja) 1990-06-30 1998-09-30 京セラ株式会社 画像素子アレイチップの搭載方法
US5173759A (en) * 1990-02-06 1992-12-22 Kyocera Corporation Array of light emitting devices or photo detectors with marker regions
US5453145A (en) 1991-03-04 1995-09-26 Eastman Kodak Company Z-axis dimensional control in manufacturing an LED printhead
JPH05323230A (ja) * 1992-05-26 1993-12-07 Kyocera Corp 画像装置
US5857767A (en) 1996-09-23 1999-01-12 Relume Corporation Thermal management system for L.E.D. arrays
JP4145978B2 (ja) 1997-11-11 2008-09-03 ナブテスコ株式会社 光造形装置及び方法
JP2001063142A (ja) 1999-08-31 2001-03-13 Sanyo Electric Co Ltd Ledプリントヘッド及びチップアレイの高さ補正方法
CA2332190A1 (en) * 2001-01-25 2002-07-25 Efos Inc. Addressable semiconductor array light source for localized radiation delivery
JP2005093649A (ja) * 2003-09-17 2005-04-07 Oki Data Corp 半導体複合装置、ledプリントヘッド、及び、それを用いた画像形成装置
EP2280430B1 (en) * 2005-03-11 2020-01-01 Seoul Semiconductor Co., Ltd. LED package having an array of light emitting cells coupled in series
JP4955422B2 (ja) * 2006-03-08 2012-06-20 三菱電機株式会社 発光装置
DE102006019963B4 (de) * 2006-04-28 2023-12-07 Envisiontec Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Objekts durch schichtweises Verfestigen eines unter Einwirkung von elektromagnetischer Strahlung verfestigbaren Materials mittels Maskenbelichtung
JPWO2008081846A1 (ja) 2006-12-26 2010-04-30 京セラ株式会社 光プリンタヘッドおよびそれを備えた画像形成装置
DE602007011610D1 (de) * 2007-09-14 2011-02-10 Punch Graphix Int Nv Lichtemittierendes Array zum Drucken oder Kopieren

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5655189A (en) * 1994-05-27 1997-08-05 Kyocera Corporation Image device having thermally stable light emitting/receiving arrays and opposing lenses
RU2189523C2 (ru) * 1998-12-30 2002-09-20 Открытое акционерное общество "ЛОМО" Светодиодное осветительное устройство
US6214432B1 (en) * 1999-06-02 2001-04-10 Sony Corporation, Method for controlling the bonding layer thickness in an optical storage apparatus and optical storage apparatus resulting therefrom

Also Published As

Publication number Publication date
EP2391498A1 (en) 2011-12-07
US20120106150A1 (en) 2012-05-03
CA2750587A1 (en) 2010-08-05
CN102300698B (zh) 2014-06-04
RU2011135992A (ru) 2013-03-10
KR20110113739A (ko) 2011-10-18
JP5555720B2 (ja) 2014-07-23
US8915620B2 (en) 2014-12-23
EP2218571A1 (en) 2010-08-18
CN102300698A (zh) 2011-12-28
WO2010087708A1 (en) 2010-08-05
ES2419704T3 (es) 2013-08-21
EP2391498B1 (en) 2013-05-15
BRPI1007004A2 (pt) 2016-03-22
CA2750587C (en) 2019-05-14
JP2012516539A (ja) 2012-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2540585C2 (ru) Осветительная система для применения в стереолитографическом устройстве
CN102414624B (zh) 用于立体平版印刷设备中的照明系统
CN103975436A (zh) 制造无源光学器件和包含该无源光学器件的装置的方法
WO2007112663A1 (en) Illumination system and display device
US20240109251A1 (en) Irradiation systems and method for additive manufacturing
JP6191308B2 (ja) ライン光源用発光装置
JP2011064929A (ja) 光照射装置
KR20120018799A (ko) 모노리식 발광 다이오드 어레이를 사용한 고해상도 이미지 제공 시스템 및 방법
JP2023501765A (ja) ウェハプロセス、物品を製造する装置および方法
KR102294336B1 (ko) 3d 프린팅을 이용한 led 조명장치 및 그 제조방법
KR20200106701A (ko) Led 어레이 패키지 및 그 제조방법
TW202029528A (zh) 發光二極體照明配置
JP6212510B2 (ja) 発光構造体
JP7269548B2 (ja) 保持部材、転写部材、チップ基板、転写部材の製造方法及び製造装置、発光基板の製造方法
JP5417109B2 (ja) パターン描画装置および光源
JP2006003563A (ja) アライメント接合方法、アライメント接合装置
KR20130086892A (ko) 발광 모듈 및 그것을 제조하는 방법
KR20210042666A (ko) 3d 프린팅을 이용한 배광제어용 led 조명장치 및 그 제조방법
TW201304081A (zh) 用以安裝複數個發光元件之基板
JP2011186490A (ja) ロッドレンズアレイ製造方法
JP2006039499A (ja) 光伝送体アレイの製造方法
TW201916426A (zh) 紫外線照射裝置
JP2015035499A (ja) アライメントマーク形成方法及び形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160130