RU2510664C2 - Способ очистки для установок для нанесения покрытий - Google Patents
Способ очистки для установок для нанесения покрытий Download PDFInfo
- Publication number
- RU2510664C2 RU2510664C2 RU2011124886/04A RU2011124886A RU2510664C2 RU 2510664 C2 RU2510664 C2 RU 2510664C2 RU 2011124886/04 A RU2011124886/04 A RU 2011124886/04A RU 2011124886 A RU2011124886 A RU 2011124886A RU 2510664 C2 RU2510664 C2 RU 2510664C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- release layer
- auxiliary surfaces
- treatment
- cleaning
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 72
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 40
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 15
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 4
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLQPHQFNMLZJMP-UHFFFAOYSA-N Fentrazamide Chemical compound N1=NN(C=2C(=CC=CC=2)Cl)C(=O)N1C(=O)N(CC)C1CCCCC1 LLQPHQFNMLZJMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010410 dusting Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000546 pharmaceutical excipient Substances 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 1
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/32—Processes for applying liquids or other fluent materials using means for protecting parts of a surface not to be coated, e.g. using stencils, resists
- B05D1/322—Removable films used as masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/60—Deposition of organic layers from vapour phase
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D5/00—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
- B05D5/08—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способу предварительной обработки вспомогательных поверхностей установки для нанесения покрытий. Вспомогательные поверхности установки для нанесения покрытий еще перед процессом нанесения покрытия подвергают предварительной обработке путем нанесения на вышеуказанные вспомогательные поверхности антиадгезионного слоя, в качестве которого используют суспензию графитового порошка в легколетучем растворителе. При последующем процессе нанесения покрытия сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях существенно снижается по сравнению с его сцеплением без предварительной обработки. Технический результат - упрощение способа очистки установки для нанесения покрытий после процесса нанесения покрытия. 2 н. и 2 з. п. ф-лы, 4 ил.
Description
Изобретение относится к способу очистки для установок для нанесения покрытий, в частности в отношении установок для нанесения покрытий в вакууме. При нанесении покрытий, как правило, в камере для нанесения покрытия принудительно покрываются поверхности, покрытие которых нежелательно. Такими поверхностями могут быть, например, части камеры, а также части покрываемых субстратов, а также и поверхности держателей и прочие вспомогательные поверхности. После нанесения одного или нескольких покрытий эти поверхности, как правило, следует подвергнуть очистке, что осуществляется не без трудностей. Это особенно необходимо в том случае, если в частях, покрытие которых нежелательно, при нанесении покрытия возникает проблема в отношении их поверхностных свойств, например электрической проводимости. С помощью способа согласно изобретению эта очистка сильно упрощается. В рамках данной заявки на изобретение поверхности, покрытие которых нежелательно, обозначаются как "вспомогательные поверхности", в то время как поверхности, покрытие которых желательно, называются "целевыми поверхностями".
Предшествующий уровень техники
Согласно уровню техники известно, что такие нежелательные покрытия можно удалять с помощью различных способов, например пескоструйная обработка, шлифование, зачистка щетками или даже механическая обработка или химические процессы для удаления покрытия. Все эти способы имеют широкое применение на практике. Ввиду сильного в частых случаях сцепления этих нежелательных покрытий со вспомогательными поверхностями их удаление почти всегда связано с большими временными затратами. С одной стороны, в некоторых случаях вспомогательные поверхности следует подвергать очистке после каждого процесса нанесения покрытия (партия).
В то же время получается, что все абразивные способы очистки (пескоструйная обработка, шлифование и т.д.) вызывают дополнительный сильный износ обрабатываемых компонентов. Это приводит дополнительно к высоким затратам по обслуживанию (замена изношенных компонентов).
Кроме того, износ материала приводит к снижению надежности процесса, так как при этом при некоторых обстоятельствах больше не выдерживаются механические допуски, релевантные для процесса нанесения покрытия.
Наиболее близкое к заявляемому изобретению решение известного уровня техники раскрыто в патенте US5622565. Указанное решение касается аппаратов для обработки полупроводников, а также способа предотвращения образования загрязнений на рабочих поверхностях аппарата, включая реакционную камеру и подключенные к ней вакуумные трубопроводы. Решение состоит в том, что внутренние стенки указанного аппарата покрыты пленкой из галогенированного полимерного материала, предпочтительно из низкомолекулярных политетрафторэтиленовых полимеров, таких как политетрафторэтилен и полихлортрифторэтилен. Указанное изобретение позволяет снизить нарастание слоя примесей на рабочих поверхностях и увеличить период времени между их чистками, необходимыми для поддержания поверхностей в удовлетворительном рабочем состоянии.
Однако в данной области техники по-прежнему сохраняется потребность в эффективных методах снижения или даже исключения загрязнения поверхностей примесями, негативно влияющими на нормальное протекание процесса.
Постановка технической задачи настоящего изобретения
В связи с этим было бы желательно иметь в распоряжении способ, который, по меньшей мере отчасти, преодолевал бы недостатки уровня техники. Конкретно, было бы желательно иметь в распоряжении упрощенный способ очистки вспомогательных поверхностей, который можно было бы осуществлять дополнительно со значительно меньшими затратами времени и который не приводил бы к износу материала очищаемых компонентов.
Данные общего решения или пути решения
Основная идея настоящего изобретения состоит в том, что вспомогательные поверхности еще перед проведением процесса нанесения покрытия следует подвергнуть предварительной обработке такого вида, чтобы в процессе нанесения покрытия, проводимом после нее, сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях было значительно меньше по сравнению со сцеплением без предварительной обработки. Таким образом, очистка сильно упрощается.
Такая предварительная обработка согласно изобретению может состоять, например, в том, что на вспомогательные поверхности наносится соответствующий "антиадгезионный слой". Антиадгезионный слой отличается небольшим сцеплением со вспомогательными поверхностями. Так как антиадгезионный слой после нанесения собственно покрытия находится между вспомогательной поверхностью и материалом, нанесенным в процессе нанесения покрытия, то сцепление материала покрытия эффективно снижается. В зависимости от типа процесса нанесения покрытия антиадгезионный слой должен быть устойчивым при воздействии повышенных температур, электропроводным и, без сомнений, применяемым в вакуумной технике. В частности, применимость в вакуумной технике создает условия для PVD-процесса. Предпочтительно нанесение антиадгезионного слоя не должно оказывать никакого негативного влияния на свойства собственно покрытия на целевых поверхностях.
Подробное описание изобретения
Изобретение теперь подробно поясняется на основе примеров и с помощью фигур.
Фиг.1 показывает эскиз способа предварительной обработки согласно изобретению;
фиг.2 показывает эскиз примера применения маскировочного шаблона;
фиг.3 показывает эскиз облегченного процесса очистки после процесса нанесения покрытия;
фиг.4 показывает поперечное сечение поверхности, снабженной антиадгезионным слоем и покрытием.
Нижеследующее описание ограничивается процессом PVD, причем объем изобретения не должен из-за этого ограничиваться таким процессом.
Для такого PVD-процесса важно, чтобы антиадгезионный слой был пригодным в вакууме. Это означает, что в антиадгезионном слое не должно содержаться никаких связующих или аналогичных вспомогательных веществ.
Изобретатели нашли, что этого можно достичь, если при нанесении антиадгезионного слоя на вспомогательные поверхности использовать суспензию порошка в легколетучем растворителе с соответствующим соотношением компонентов смеси. Легколетучий растворитель не может образовывать никакую химическую связь с применяемым порошком или обрабатываемой поверхностью. Благодаря применению летучего растворителя в качестве среды-носителя суспензии обеспечено, что растворитель непосредственно после процесса опрыскивания уже полностью улетучивается и на поверхности остается слой порошка, обладающий лишь исключительно малым сцеплением. В качестве растворителя пригоден, например, изопропанол.
Изобретатели, далее, нашли, что в качестве материала порошка пригоден чистый графит. Графитовый порошок, в частности, в вакууме достаточно устойчив против воздействия высоких температур, электропроводен, пригоден для применения в вакууме и выполняет условие свойства несцепляемости и поэтому может использоваться в PVD-процессе.
Нанесение осуществляется, например, путем напыления с помощью распылительного пистолета. Это может осуществляться без помощи газа или с помощью газа. В последнем случае среди прочих пригоден воздух, азот или также CO2. Влияющие величины, характерные для способа напыления (например, давление напыления, размер сопла пистолета, соотношение компонентов суспензии, расстояние до напыляемого предмета и продолжительность напыления) могут подгоняться в широких пределах, чтобы для большого числа случаев применения обеспечить гомогенное нанесение слоя соответствующей толщины. В зависимости от случая применения возможны также другие способы нанесения (кистью, окунанием и т.д.).
Антиадгезионный слой способствует тому, чтобы материал покрытия, нанесенного во время PVD-процесса на обрабатываемый материал, после PVD-процесса мог, в основном, полностью удаляться путем простого отсасывания и/или смывания. Другой дополнительной обработки не требуется, вспомогательные поверхности могут тут же снова снабжаться новым антиадгезионным слоем для последующего использования.
На основе неожиданно высокой эффективности и простоты в использовании возможны многогранные применения в PVD-процессе:
В связи с испарением в электрической дуге часто могут найти применение так называемые ограничивающие кольца. Они окружают мишень источника испарения, содержащую материал покрытия, и обеспечивают, чтобы электрическая дуга осталась ограниченной областью поверхности мишени. Ввиду своей близости к материалу мишени они подвержены интенсивному нанесению материала при PVD-процессе нанесения покрытия, и для их очистки требовались до настоящего времени крайне агрессивные методы, например, пескоструйная обработка или даже дополнительная обработка со снятием стружки. Благодаря нанесению графитного порошка сохраняется необходимая электропроводность. Материал покрытия, нанесенный во время PVD-процесса, накладывается на графитовый слой. Покрытие, включающее в себя графитный слой, можно удалить простым способом с ограничивающего кольца.
Аналогичное действительно для держателей субстрата, которые удерживают субстраты, подлежащие покрытию, во время процесса нанесения покрытия. На основе своей пространственной близости к покрываемым субстратам они также подвергаются интенсивному образованию покрытия. После нанесения покрытия держатели субстрата до настоящего времени должны были обрабатываться пескоструйной обработкой с большими временными затратами и тем самым с высокими издержками. Пескоструйная обработка приводит к высокому износу. Поэтому наряду со сниженной надежностью процесса приходится часто заменять дорогие держатели. Если держатели субстрата согласно изобретению подвергаются предварительной обработке с нанесением антиадгезионного слоя, то их можно после процесса PVD очищать просто и быстро и без износа.
Соответствующее действительно для карусельной установки и листов PVD-установки, защищающих от напыления. Если установка включает в себя дополнительно аноды для подготовки разрядки плазмы, например Sputterquellen, разрядки низковольтной дуги и травильные устройства, то также их можно предпочтительно предварительно обрабатывать путем нанесения антиадгезионного слоя перед операцией нанесения покрытия.
В качестве конкретного примера выполнения, далее, описывается способ, используемый согласно изобретению для очистки покрытых поверхностей анодов, которые являются частью травильной установки, предусмотренной в установке для нанесения покрытий.
Возникающая при этом проблема состоит в том, что при каждом PVD-процессе поверхности анодов сильно покрываются материалом покрытия, обладающим прочным сцеплением. Если в процессе последующего нанесения покрытий на него продолжать наносить покрытия, то со временем получается очень толстое и чрезвычайно трудно удаляемое отложение, требующее больших временных затрат.
Если наносятся покрытия, обладающие низкой электропроводностью или не обладающие электропроводностью, то электропроводные или неэлектропроводные отложения на аноде приводят к тому, что уже после одного процесса нанесения покрытия больше нельзя гарантировать функционирование анода, так что при таких процессах очистка анодов принудительно нужна после каждой загрузки.
Для того чтобы проводить эту очистку, нужно, например, осуществлять следующие этапы.
Исходной точкой является анод, свободный от отложений и осадков, т.е. "нетронутый" анод еще перед процессом нанесения покрытия или после обработки очисткой.
На первом этапе покрываются и/или маскируются, например, непосредственно окружающие области поверхности анодов, подвергаемые покрытию антиадгезионным слоем, которые в этом случае представляют собой вспомогательные поверхности согласно определению, установленному в этом описании. Здесь речь может идти, например, о листовом шаблоне с соответствующим вырезом и нужной геометрией. Шаблон устанавливается, чтобы антиадгезионным слоем снабжались лишь желательные участки.
На втором этапе, например, наносится антиадгезионный слой способом напыления с помощью распыляющего пистолета. При этом суспензия, содержащая материал антиадгезионного слоя, напыляется на маскированный анод.
Для составления распыляемой суспензии графитовый порошок вводится в изопропанол. В описанном примере для анода речь идет о металлической поверхности, размещенной вертикально. Поэтому следует обратить внимание на то, чтобы расстояние напыления и толщина нанесенного слоя выбиралось таким образом, что исключается стекание вниз излишнего растворителя по поверхности. При этом очень предпочтительно, если легколетучий растворитель может в достаточной степени распыляться в аэрозоль уже между распылительным соплом и обрабатываемой поверхностью. Таким образом, получается оптимальное покрытие графитным порошком. Для этого, разумеется, играет роль также соотношение компонентов смеси растворителя и графитного порошка. Чтобы исключить стекание вниз, доля графита должна быть как можно большей. Разумеется, следует обратить внимание на то, чтобы сопло распылительного пистолета не засорялось. Подходящим оказывается соотношение от 50 до 150 мл изопропанола на 10 г графитного порошка. Предпочтительно используют 100 мл изопропанола (IPA) на 10 г графитного порошка.
Применяемый графитный порошок должен быть в достаточной степени свободен от примесей связующих или других добавок. В настоящем примере используется материал с чистотой 99,9%. Для величины зерна благоприятной оказалась максимальная величина зерна 0,2-150 мкм. Предпочтительным образом используется графитный порошок, зерно которого не больше 20 мкм.
В качестве распылительного пистолета был использован пистолет обычной торговой марки с проточным стаканом. Величина сопла лежит, например, между 0,3 и 2 мм и составляет предпочтительно 0,8 мм.
В качестве среды для приведения в действие процесса напыления применяется сжатый воздух при давлении 0,2-1,0 бар, предпочтительно 0,5-0,7 бар. Сжатый воздух должен быть свободен от масла и, по возможности, от частиц, чтобы не вносить в суспензию и, тем самым, в антиадгезионный слой никаких загрязнений. Особенно следует обратить внимание на то, чтобы не вносила загрязнения пневматическая система пистолета.
Перед каждым применением суспензию гомогенизируют. Это можно осуществить путем встряхивания, вибрации с помощью ультразвуковой обработки или другими известными специалисту методами.
Толщина наносимого антиадгезионного слоя лежит, например, в диапазоне 0,05 и 2,0 мм. В данном примере оказался пригодным и ввиду своей простоты также предпочтительным, критерий "покрывающий поверхность видимым образом". По меньшей мере, если вспомогательные поверхности сами не являются графитными поверхностями, то это может быть хорошо реализовано на основе оптических свойств графитного порошка. Нанесение антиадгезионного слоя осуществляется в примере в несколько этапов напыления, предпочтительно проводимых равномерно.
После нанесения антиадгезионного слоя предпочтительно нужно учесть следующее. Так как слой порошка сцепляется с поверхностью, в сущности, с помощью адгезионных сил, то после напыления следует, по возможности, избегать касаний покрытых вспомогательных поверхностей. Поэтому предпочтительно - там, где это возможно - подвергать компоненты обработке в полностью смонтированном состоянии или использовать соответствующие приспособления и/или инструменты ("средства манипуляции") так, чтобы избежать повреждений антиадгезионного слоя.
На третьем этапе удаляются листовые шаблоны, применяемые для маскировки. Следует еще раз указать на то, что не в каждом случае нужна такая маскировка, хотя она нашла применение в примере.
На этом предварительная обработка заканчивается, и можно осуществить собственно нанесение покрытия PVD обычным способом. Т.е. в камеру для нанесения покрытия загружают детали, камеру закрывают и откачивают, проводится нанесение покрытия, например, распыление с помощью электрической дуги, и камеру для нанесения покрытия затем наполняют воздухом и открывают. При этом предварительная обработка анода согласно изобретению не оказывает никакого негативного влияния на покрытие.
После открытия камеры для нанесения покрытия антиадгезионный слой вместе с осажденными на него отложениями просто отсасывается, например, с помощью промышленного вытяжного вентилятора. Там, где это требуется или желательно, анод можно также еще протереть очищающим спиртом.
Перед следующим процессом нанесения покрытия анод снова подвергается предварительной обработке по этапам 1-3.
В идеальном случае эта процедура проводится после каждого процесса нанесения покрытия. Разумеется, можно также отказаться от отсасывания антиадгезионного слоя после процесса нанесения покрытия и возобновлять антиадгезионный слой лишь после нескольких циклов нанесения покрытия.
Изобретение описано в качестве примера на основе установки для нанесения покрытий PVD и предварительной обработки IET-анода, расположенного в вакуумной камере (ITE означает innova etching technology). В этом примере затраты (времени) на очистку можно было сократить с прежних 20 мин до нескольких минут. Кроме того, с помощью процедур согласно изобретению удается сэкономить аноды. Предварительная обработка согласно изобретению может предпочтительно применяться при других способах нанесения покрытий, в частности при других способах нанесения покрытий в вакууме. Если необходимо, материал можно было бы затем привести в соответствие с антиадгезионным слоем.
Другие области применения уже были обсуждены. В частности, изобретение, однако, может также предпочтительно применяться для субстратов, подлежащих нанесению покрытия, если, например, должна покрываться лишь часть поверхности субстрата. До настоящего времени поверхности субстрата, не подлежащие покрытию, экранировали с помощью держателей. Напротив, с помощью процедур согласно изобретению части поверхности субстрата, не подвергаемые покрытию, могут покрываться антиадгезионным слоем, который после нанесения покрытия можно простым образом откачать и/или стереть.
Для часто повторяемых, однотипных обработок с нанесением антиадгезионного слоя (например, карусельных устройств, держателей субстрата, субстратов и т.д.) в улучшенном варианте выполнения настоящего изобретения предпочтительно применение напыляющего устройства, работающего автоматически.
Настоящее изобретение можно в первом приближении обобщить в следующих пунктах:
Пункт 1: Способ предварительной обработки для способов нанесения покрытий, отличающийся тем, что вспомогательные поверхности установки для нанесения покрытий еще перед процессом нанесения покрытия подвергаются предварительной обработке такого вида, что при последующем процессе нанесения покрытия сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях существенно меньше по сравнению со сцеплением без предварительной обработки.
Пункт 2: Способ по п.1, отличающийся тем, что в ходе предварительной обработки на вспомогательные поверхности наносится антиадгезионный слой.
Пункт 3: Способ по п.2, отличающийся тем, что антиадгезионный слой включает в себя суспензию, состоящую из порошка в летучем растворителе, предпочтительно в легколетучем растворителе.
Пункт 4: Способ по п.3, отличающийся тем, что материалом порошка является графитный порошок, предпочтительно, в основном, чистый графитный порошок.
Пункт 5: Способ по одному из пп.2-4, отличающийся тем, что антиадгезионный слой напыляется с помощью распылительного пистолета.
Пункт 6: Способ, который включает в себя способ предварительной обработки согласно одному из пп.2-5, а также проводимый после него способ нанесения покрытия, отличающийся тем, что антиадгезионный слой удаляется после одного или нескольких циклов нанесения покрытия.
Перечень обозначений для фигур
1 проточный стакан распыляющего пистолета
2 подача сжатого воздуха
3 суспензия
4 распылительное сопло
5 вспомогательная поверхность
6 маскировочный шаблон
7 туман, образующийся при распылении
8 сопло отсасывающего устройства для пыли
9 антиадгезионный слой, нагруженный отложениями
10 антиадгезионный слой
11 отложения из PVD-процесса
Claims (4)
1. Способ предварительной обработки вспомогательных поверхностей установки для нанесения покрытий, отличающийся тем, что вспомогательные поверхности установки для нанесения покрытий еще перед процессом нанесения покрытия подвергают предварительной обработке путем нанесения на вышеуказанные вспомогательные поверхности антиадгезионного слоя, в качестве которого используют суспензию графитового порошка в легколетучем растворителе, причем при последующем процессе нанесения покрытия сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях существенно снижается по сравнению с его сцеплением без предварительной обработки.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что материалом порошка является чистый графитный порошок.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что антиадгезионный слой напыляют с помощью распылительного пистолета.
4. Способ, который включает способ предварительной обработки согласно одному из пп.1-3, а также проводимый после него способ нанесения покрытия, отличающийся тем, что антиадгезионный слой удаляют после одного или нескольких циклов нанесения покрытия.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US11646108P | 2008-11-20 | 2008-11-20 | |
| US61/116,461 | 2008-11-20 | ||
| PCT/CH2009/000355 WO2010057323A1 (de) | 2008-11-20 | 2009-11-11 | Reinigungsverfahren für beschichtungsanlagen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011124886A RU2011124886A (ru) | 2012-12-27 |
| RU2510664C2 true RU2510664C2 (ru) | 2014-04-10 |
Family
ID=41567208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011124886/04A RU2510664C2 (ru) | 2008-11-20 | 2009-11-11 | Способ очистки для установок для нанесения покрытий |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8765214B2 (ru) |
| EP (1) | EP2358483B1 (ru) |
| JP (1) | JP5736317B2 (ru) |
| KR (1) | KR101736508B1 (ru) |
| CN (1) | CN102223956B (ru) |
| BR (1) | BRPI0920910B1 (ru) |
| CA (1) | CA2744032C (ru) |
| ES (1) | ES2541586T3 (ru) |
| HU (1) | HUE026933T2 (ru) |
| MX (1) | MX2011005203A (ru) |
| PL (1) | PL2358483T3 (ru) |
| RU (1) | RU2510664C2 (ru) |
| WO (1) | WO2010057323A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010005762A1 (de) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Reinigungsverfahren für Beschichtungsanlagen |
| DE102012000288A1 (de) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | Thomas Mayer | Bestandteil einer Oberflächenbeschichtungsanlage |
| JP5743010B1 (ja) * | 2014-06-20 | 2015-07-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像形成装置、塗布装置、塗布剤、及び搬送装置 |
| WO2017031571A1 (en) * | 2015-08-22 | 2017-03-02 | Novena Tec Inc. | Process chamber shielding system and method |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU358340A1 (ru) * | , Ташкентский политехнический институт , Московский институт тонкой | Эмаль для антиадгезионных покрытий рабочих поверхностей металлических форм | ||
| GB2158368A (en) * | 1984-04-27 | 1985-11-13 | Honda Motor Co Ltd | Method of partially painting an article |
| US4748049A (en) * | 1986-03-27 | 1988-05-31 | Chemfil Corporation | Clear paint booth coating composition and method |
| US4895630A (en) * | 1985-08-28 | 1990-01-23 | W. H. Brady Co. | Rapidly removable undercoating for vacuum deposition of patterned layers onto substrates |
| SU1722610A1 (ru) * | 1989-01-19 | 1992-03-30 | В.Г.Вохм нин | Способ получени покрыти |
| US5622565A (en) * | 1993-10-15 | 1997-04-22 | Applied Materials, Inc. | Reduction of contaminant buildup in semiconductor apparatus |
| RU2182914C2 (ru) * | 2000-08-14 | 2002-05-27 | Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) | Композиция для получения антикоррозионных, антиадгезионных, антипригарных покрытий на металлических поверхностях способом диффузиофореза |
| DE20316044U1 (de) * | 2003-10-18 | 2005-03-17 | Daub Joachim | Kunststoffbeschichtung zur Verwendung als Korrosionsschutz und als Trennmittel |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2991188A (en) * | 1958-05-21 | 1961-07-04 | Dow Chemical Co | Spray coating method and coated spray booth |
| US4548967A (en) * | 1984-04-19 | 1985-10-22 | Nalco Chemical Company | Masking agent for paint spray booths |
| JPH01162546A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-27 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ベルトキャスターのコーティング剤塗布方法 |
| JPH06170735A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-06-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多結晶ダイヤモンド砥石の製造方法 |
| JPH0751865A (ja) * | 1993-08-16 | 1995-02-28 | Toyota Motor Corp | 抵抗溶接電極用保護シート及びその製造方法並びにその使用方法 |
| JP3362552B2 (ja) * | 1995-03-10 | 2003-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜処理装置 |
| KR100213110B1 (ko) * | 1997-06-12 | 1999-08-02 | 윤종용 | 박막형 발열 히터 및 그 제조방법 |
| JPH1136061A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Mitsubishi Materials Corp | 物理蒸着装置のマスキング治具 |
| US6790242B2 (en) * | 2000-12-29 | 2004-09-14 | Lam Research Corporation | Fullerene coated component of semiconductor processing equipment and method of manufacturing thereof |
| DE10326815A1 (de) * | 2003-06-13 | 2004-12-30 | Institut für Neue Materialien Gemeinnützige GmbH | Antiadhäsive Hochtemperaturschichten |
| EP1636370B1 (en) | 2003-06-20 | 2014-04-16 | The Trustees of The University of Pennsylvania | Methods of generating chimeric adenoviruses and uses for such chimeric adenoviruses |
| US20050221020A1 (en) | 2004-03-30 | 2005-10-06 | Tokyo Electron Limited | Method of improving the wafer to wafer uniformity and defectivity of a deposited dielectric film |
| EP1772529A1 (de) * | 2005-10-07 | 2007-04-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Trockene Zusammensetzung, Verwendung derer, Schichtsystem und Verfahren zur Beschichtung |
| CA2628124A1 (en) * | 2005-12-01 | 2007-06-07 | Cardinal Cg Company | Transport rollers |
-
2009
- 2009-11-11 RU RU2011124886/04A patent/RU2510664C2/ru active
- 2009-11-11 CA CA2744032A patent/CA2744032C/en active Active
- 2009-11-11 JP JP2011536719A patent/JP5736317B2/ja active Active
- 2009-11-11 KR KR1020117010669A patent/KR101736508B1/ko active IP Right Grant
- 2009-11-11 PL PL09756655T patent/PL2358483T3/pl unknown
- 2009-11-11 ES ES09756655.8T patent/ES2541586T3/es active Active
- 2009-11-11 US US13/130,091 patent/US8765214B2/en active Active
- 2009-11-11 CN CN200980147115.0A patent/CN102223956B/zh active Active
- 2009-11-11 HU HUE09756655A patent/HUE026933T2/en unknown
- 2009-11-11 WO PCT/CH2009/000355 patent/WO2010057323A1/de active Application Filing
- 2009-11-11 BR BRPI0920910-7A patent/BRPI0920910B1/pt active IP Right Grant
- 2009-11-11 EP EP09756655.8A patent/EP2358483B1/de active Active
- 2009-11-11 MX MX2011005203A patent/MX2011005203A/es active IP Right Grant
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU358340A1 (ru) * | , Ташкентский политехнический институт , Московский институт тонкой | Эмаль для антиадгезионных покрытий рабочих поверхностей металлических форм | ||
| GB2158368A (en) * | 1984-04-27 | 1985-11-13 | Honda Motor Co Ltd | Method of partially painting an article |
| US4895630A (en) * | 1985-08-28 | 1990-01-23 | W. H. Brady Co. | Rapidly removable undercoating for vacuum deposition of patterned layers onto substrates |
| US4748049A (en) * | 1986-03-27 | 1988-05-31 | Chemfil Corporation | Clear paint booth coating composition and method |
| SU1722610A1 (ru) * | 1989-01-19 | 1992-03-30 | В.Г.Вохм нин | Способ получени покрыти |
| US5622565A (en) * | 1993-10-15 | 1997-04-22 | Applied Materials, Inc. | Reduction of contaminant buildup in semiconductor apparatus |
| RU2182914C2 (ru) * | 2000-08-14 | 2002-05-27 | Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) | Композиция для получения антикоррозионных, антиадгезионных, антипригарных покрытий на металлических поверхностях способом диффузиофореза |
| DE20316044U1 (de) * | 2003-10-18 | 2005-03-17 | Daub Joachim | Kunststoffbeschichtung zur Verwendung als Korrosionsschutz und als Trennmittel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2744032C (en) | 2018-07-31 |
| HUE026933T2 (en) | 2016-07-28 |
| CA2744032A1 (en) | 2010-05-27 |
| CN102223956B (zh) | 2015-05-06 |
| WO2010057323A1 (de) | 2010-05-27 |
| KR20110095259A (ko) | 2011-08-24 |
| EP2358483A1 (de) | 2011-08-24 |
| PL2358483T3 (pl) | 2015-09-30 |
| BRPI0920910B1 (pt) | 2019-09-17 |
| US8765214B2 (en) | 2014-07-01 |
| US20110281026A1 (en) | 2011-11-17 |
| BRPI0920910A2 (pt) | 2017-07-11 |
| ES2541586T3 (es) | 2015-07-22 |
| CN102223956A (zh) | 2011-10-19 |
| JP2012509164A (ja) | 2012-04-19 |
| EP2358483B1 (de) | 2015-04-08 |
| RU2011124886A (ru) | 2012-12-27 |
| MX2011005203A (es) | 2011-06-01 |
| JP5736317B2 (ja) | 2015-06-17 |
| KR101736508B1 (ko) | 2017-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2568371B2 (ja) | 真空チャンバ用の新規な蓋および扉、並びにそれに対する前処理 | |
| US7732056B2 (en) | Corrosion-resistant aluminum component having multi-layer coating | |
| JP4623055B2 (ja) | メタル成膜装置におけるメタル膜剥離防止構造及び当該構造を用いる半導体装置の製造方法 | |
| RU2554838C2 (ru) | Способ очистки для установок нанесения покрытий | |
| RU2510664C2 (ru) | Способ очистки для установок для нанесения покрытий | |
| JP3030287B1 (ja) | 成膜装置のクリーニング方法、スパッタリングターゲットのクリーニング方法及びこれらに使用するクリーニング装置 | |
| CN110098101B (zh) | 选择性图案化用于抗等离子体陶瓷涂层施加的表面的方法 | |
| JP2720966B2 (ja) | 薄膜を付着した部品の再生利用方法 | |
| RU2052540C1 (ru) | Способ нанесения пленочного покрытия | |
| US7176140B1 (en) | Adhesion promotion for etch by-products | |
| JP5614873B2 (ja) | 半導体加工装置用部材およびその製造方法 | |
| US20240017299A1 (en) | Methods for removing deposits on the surface of a chamber component | |
| KR102164394B1 (ko) | 터빈 부품의 표면 처리 방법 및 그 방법에 의해 표면 처리된 터빈 부품 | |
| US20230197417A1 (en) | Corrosion resistant polymer coatings for manufacturing equipment components | |
| JP2003049260A (ja) | 成膜装置用部材およびその製造方法 | |
| KR20040110845A (ko) | 기판 처리 챔버 내부 장착용 부품표면 가공방법 | |
| CN102082071A (zh) | 陶瓷喷涂部件制造方法 |