JPH1136061A - 物理蒸着装置のマスキング治具 - Google Patents
物理蒸着装置のマスキング治具Info
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- JPH1136061A JPH1136061A JP19238097A JP19238097A JPH1136061A JP H1136061 A JPH1136061 A JP H1136061A JP 19238097 A JP19238097 A JP 19238097A JP 19238097 A JP19238097 A JP 19238097A JP H1136061 A JPH1136061 A JP H1136061A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 物理蒸着装置を使用してＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ
−ＲまたはＣＤ−Ｅ基板に金属、特に貴金属物理蒸着膜
を形成するに際し、物理蒸着膜を付着させない個所に使
用するマスキング治具を提供する。 【解決手段】 マスキング治具２の基体表面に、水で洗
浄することにより除去できる水溶性樹脂コーティング剤
膜またはカーボン離型剤膜を形成してなる。
−ＲまたはＣＤ−Ｅ基板に金属、特に貴金属物理蒸着膜
を形成するに際し、物理蒸着膜を付着させない個所に使
用するマスキング治具を提供する。 【解決手段】 マスキング治具２の基体表面に、水で洗
浄することにより除去できる水溶性樹脂コーティング剤
膜またはカーボン離型剤膜を形成してなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、物理蒸着装置を
使用してＣＤ−ＲＯＭ（メモリー専用コンパクトディス
ク）、ＣＤ−Ｒ（記録・再生可能なコンパクトディス
ク）またはＣＤ−Ｅ（消去可能なコンパクトディスク）
など（以下、これらをＣＤと総称する）の基板の表面に
反射膜としての金属物理蒸着膜、特に貴金属物理蒸着膜
を形成するに際し、物理蒸着膜を付着させたくない個所
に使用するマスキング治具に関するものであり、この発
明は、貴金属物理蒸着膜の内でも特にＡｕを物理蒸着す
る際に使用するマスキング治具に関するものである。
使用してＣＤ−ＲＯＭ（メモリー専用コンパクトディス
ク）、ＣＤ−Ｒ（記録・再生可能なコンパクトディス
ク）またはＣＤ−Ｅ（消去可能なコンパクトディスク）
など（以下、これらをＣＤと総称する）の基板の表面に
反射膜としての金属物理蒸着膜、特に貴金属物理蒸着膜
を形成するに際し、物理蒸着膜を付着させたくない個所
に使用するマスキング治具に関するものであり、この発
明は、貴金属物理蒸着膜の内でも特にＡｕを物理蒸着す
る際に使用するマスキング治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＤの基板の表面に反射膜として
Ａｕ物理蒸着膜を形成して作製することは良く知られて
いるところであり、そのためのＡｕ物理蒸着装置は、図
１に示されるように、Ａｕ物理蒸着装置の容器（図示せ
ず）の内壁にＡｕ物理蒸着膜が付着するのを防止するた
めのシールドリング５、ＣＤ基板１の表面にリング状の
Ａｕ物理蒸着膜４を形成してＣＤを作製したのち新しい
ＣＤ基板１と交換する時にＡｕターゲットから発生した
活性Ａｕ金属７の流れを一時遮断するためのシャッター
６などを有している。
Ａｕ物理蒸着膜を形成して作製することは良く知られて
いるところであり、そのためのＡｕ物理蒸着装置は、図
１に示されるように、Ａｕ物理蒸着装置の容器（図示せ
ず）の内壁にＡｕ物理蒸着膜が付着するのを防止するた
めのシールドリング５、ＣＤ基板１の表面にリング状の
Ａｕ物理蒸着膜４を形成してＣＤを作製したのち新しい
ＣＤ基板１と交換する時にＡｕターゲットから発生した
活性Ａｕ金属７の流れを一時遮断するためのシャッター
６などを有している。
【０００３】前記Ａｕ物理蒸着装置を用いてＣＤ基板１
の表面にリング状のＡｕ物理蒸着膜４を形成するには、
図１に示されるように、ＣＤ基板１の上にマスキング治
具２を載置した状態でＡｕ物理蒸着装置のシールドリン
グ５内に設置し、Ａｕターゲット３から発生した活性Ａ
ｕ金属７をＣＤ基板１に物理蒸着させる。
の表面にリング状のＡｕ物理蒸着膜４を形成するには、
図１に示されるように、ＣＤ基板１の上にマスキング治
具２を載置した状態でＡｕ物理蒸着装置のシールドリン
グ５内に設置し、Ａｕターゲット３から発生した活性Ａ
ｕ金属７をＣＤ基板１に物理蒸着させる。
【０００４】前記ＣＤ基板１に載置するマスキング治具
２は、いかなる金属材料で製造することも可能である
が、主としてＣｕまたはＣｕ合金で作られており、図２
の斜視図に示されるように、円板状の中央遮蔽板２１と
リング状の外周遮蔽板２２を有しており、中央遮蔽板２
１とリング状外周遮蔽板２２とは同心円状にかつ中央遮
蔽板２１と外周遮蔽板２２の間にリング状開口２３を形
成するように取り付けられており、さらに前記中央遮蔽
板２１は外周胴２４から伸びた支持腕２５により支柱２
６を介して支持されている構造になっている。
２は、いかなる金属材料で製造することも可能である
が、主としてＣｕまたはＣｕ合金で作られており、図２
の斜視図に示されるように、円板状の中央遮蔽板２１と
リング状の外周遮蔽板２２を有しており、中央遮蔽板２
１とリング状外周遮蔽板２２とは同心円状にかつ中央遮
蔽板２１と外周遮蔽板２２の間にリング状開口２３を形
成するように取り付けられており、さらに前記中央遮蔽
板２１は外周胴２４から伸びた支持腕２５により支柱２
６を介して支持されている構造になっている。
【０００５】かかる構造のマスキング治具２をＣＤ基板
１の上に載置してＣＤ基板１の表面にリング状のＡｕ物
理蒸着膜４を形成すると、載置したマスキング治具２の
表面にも当然Ａｕ物理蒸着膜４は付着する。このマスキ
ング治具２の表面に付着したＡｕ物理蒸着膜４は回収す
るが、その回収方法として（イ）サンドブラスト処理な
どの機械的剥離による回収方法、（ロ）マスキング治具
の表面にアルミニウム膜を形成しておき、このアルミニ
ウム膜をＮａＯＨ水溶液により溶解することによりアル
ミニウム膜の上に形成されたＡｕ物理蒸着膜を回収する
方法、（ハ）表面に白金族金属（Ｐｔ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒ
ｕなど）の電気メッキ層を形成したマスキング治具を使
用し、このマスキング治具の表面に物理蒸着したＡｕを
市販の金剥離剤を用いて回収する方法、などが知られて
いる。
１の上に載置してＣＤ基板１の表面にリング状のＡｕ物
理蒸着膜４を形成すると、載置したマスキング治具２の
表面にも当然Ａｕ物理蒸着膜４は付着する。このマスキ
ング治具２の表面に付着したＡｕ物理蒸着膜４は回収す
るが、その回収方法として（イ）サンドブラスト処理な
どの機械的剥離による回収方法、（ロ）マスキング治具
の表面にアルミニウム膜を形成しておき、このアルミニ
ウム膜をＮａＯＨ水溶液により溶解することによりアル
ミニウム膜の上に形成されたＡｕ物理蒸着膜を回収する
方法、（ハ）表面に白金族金属（Ｐｔ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒ
ｕなど）の電気メッキ層を形成したマスキング治具を使
用し、このマスキング治具の表面に物理蒸着したＡｕを
市販の金剥離剤を用いて回収する方法、などが知られて
いる。
【０００６】これらの方法により物理蒸着したＡｕを回
収除去した後、マスキング治具は再利用される。したが
って、従来のマスキング治具としては、ＣｕまたはＣｕ
合金からなるマスキング治具基体のみからなるマスキン
グ治具、ＣｕまたはＣｕ合金からなるマスキング治具基
体の表面にアルミニウム膜を形成したマスキング治具、
ＣｕまたはＣｕ合金からなるマスキング治具基体の表面
に白金族金属（Ｐｔ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｕなど）の電気メ
ッキ層を形成したマスキング治具などが知られている。
収除去した後、マスキング治具は再利用される。したが
って、従来のマスキング治具としては、ＣｕまたはＣｕ
合金からなるマスキング治具基体のみからなるマスキン
グ治具、ＣｕまたはＣｕ合金からなるマスキング治具基
体の表面にアルミニウム膜を形成したマスキング治具、
ＣｕまたはＣｕ合金からなるマスキング治具基体の表面
に白金族金属（Ｐｔ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｕなど）の電気メ
ッキ層を形成したマスキング治具などが知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の
（イ）〜（ハ）に示した回収方法は、いずれも工程が複
雑であると共に特殊な設備を必要とし、さらにマスキン
グ治具基体に付着したＡｕを回収するには長時間かか
り、簡単にできるものではない。例えば、サンドブラス
ト処理などの機械的剥離による回収方法は、何度も繰り
返し回収を行うと、精密な寸法精度および水平度が要求
されるマスキング治具が変形したり寸法が小さくなった
りして使用寿命が極めて短くなり、高価なマスキング治
具を長期間再利用するには好ましくない。また、サンド
ブラスト処理粉からのＡｕ回収はマスキング治具のＣｕ
またはＣｕ合金も含まれているために、回収に多くの工
程を必要とするので効率が悪い。
（イ）〜（ハ）に示した回収方法は、いずれも工程が複
雑であると共に特殊な設備を必要とし、さらにマスキン
グ治具基体に付着したＡｕを回収するには長時間かか
り、簡単にできるものではない。例えば、サンドブラス
ト処理などの機械的剥離による回収方法は、何度も繰り
返し回収を行うと、精密な寸法精度および水平度が要求
されるマスキング治具が変形したり寸法が小さくなった
りして使用寿命が極めて短くなり、高価なマスキング治
具を長期間再利用するには好ましくない。また、サンド
ブラスト処理粉からのＡｕ回収はマスキング治具のＣｕ
またはＣｕ合金も含まれているために、回収に多くの工
程を必要とするので効率が悪い。
【０００８】一方、マスキング治具の表面にアルミニウ
ム膜を物理蒸着等により形成し、その上にＡｕを物理蒸
着する方法では、Ａｕ物理蒸着膜を回収してマスキング
治具を再利用するたびにアルミニウム膜を形成する必要
があり、アルミニウム膜を形成するには時間がかかると
ともに、形成したアルミニウム膜はアルミナ被膜になり
やすいので保管に注意が必要であり、また回収の際のＮ
ａＯＨ溶液への浸漬によりＣｕ素地が腐食するという欠
点がある。
ム膜を物理蒸着等により形成し、その上にＡｕを物理蒸
着する方法では、Ａｕ物理蒸着膜を回収してマスキング
治具を再利用するたびにアルミニウム膜を形成する必要
があり、アルミニウム膜を形成するには時間がかかると
ともに、形成したアルミニウム膜はアルミナ被膜になり
やすいので保管に注意が必要であり、また回収の際のＮ
ａＯＨ溶液への浸漬によりＣｕ素地が腐食するという欠
点がある。
【０００９】したがって、現在では白金族金属の電気メ
ッキ層を形成したマスキング治具を使用し、Ａｕ物理蒸
着のマスキング治具を市販の金剥離剤とＫＣＮとＮａＯ
Ｈを溶解した水溶液に温度：５０℃以下に保ちながら浸
漬し、物理蒸着したＡｕをシアン錯体として回収する前
記（ハ）の方法が最も多く使用されている。しかしこの
回収方法は、ＫＣＮなど毒薬を使用するために管理と特
殊な設備を必要とするところから設備費と回収コストが
かかり、簡単に安価にマスキング治具基体に付着したＡ
ｕを回収できるものではなかった。
ッキ層を形成したマスキング治具を使用し、Ａｕ物理蒸
着のマスキング治具を市販の金剥離剤とＫＣＮとＮａＯ
Ｈを溶解した水溶液に温度：５０℃以下に保ちながら浸
漬し、物理蒸着したＡｕをシアン錯体として回収する前
記（ハ）の方法が最も多く使用されている。しかしこの
回収方法は、ＫＣＮなど毒薬を使用するために管理と特
殊な設備を必要とするところから設備費と回収コストが
かかり、簡単に安価にマスキング治具基体に付着したＡ
ｕを回収できるものではなかった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
前記従来よりも簡単に安価にＡｕ物理蒸着膜の回収が行
えて何回も再利用可能なマスキング治具を得るべく研究
を行った結果、（ａ）ＣｕまたはＣｕ合金製マスキング
治具基体の表面に水で洗浄することにより除去できる離
型剤膜を形成しておくと、離型剤膜表面にＡｕ物理蒸着
膜が付着しても、離型剤膜は水で簡単に洗浄することに
より除去できるところから、このＡｕ物理蒸着膜が付着
したマスキング治具を水に浸漬し、必要に応じて揺動ま
たは振動させることによりマスキング治具基体表面の離
型剤膜を短時間で簡単に除去することができ、したがっ
て、離型剤膜の除去と同時に離型剤膜の表面に付着した
Ａｕ物理蒸着膜も短時間で簡単に剥離することができ
る、（ｂ）この時、ＣｕまたはＣｕ合金製マスキング治
具基体の表面に形成する離型剤膜は、水に簡単に短時間
で溶解する水溶性樹脂コーティング剤膜が好ましく、こ
の水溶性樹脂コーティング剤膜は、 脂肪酸エステル：６〜８重量％、ポリエチレングリコー
ル：４〜６重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤の塗布膜、 脂肪酸エステル：６〜８重量％、アルキルアミン：２〜
３重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤の塗布膜、 ポリエチレングリコール：５〜７重量％、アルキルアミ
ン：２〜３重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤の塗布膜、 脂肪酸エステル：１０〜１１重量％を含有し、残部が水
からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜、 ポリエチレングリコール：７〜９重量％を含有し、残部
が水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布
膜、 の内のいずれかの水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜で
あることが好ましい、（ｃ）また、ＣｕまたはＣｕ合金
製マスキング治具基体の表面に形成する離型剤膜は、カ
ーボン離型剤膜であることが好ましく、前記カーボン離
型剤膜は、ノルマルヘキサン：２３〜２６重量％、イソ
プロピルアルコール：７〜９重量％を含有し、残部が黒
鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤の塗布膜であるこ
とが好ましい、などの知見を得たのである。
前記従来よりも簡単に安価にＡｕ物理蒸着膜の回収が行
えて何回も再利用可能なマスキング治具を得るべく研究
を行った結果、（ａ）ＣｕまたはＣｕ合金製マスキング
治具基体の表面に水で洗浄することにより除去できる離
型剤膜を形成しておくと、離型剤膜表面にＡｕ物理蒸着
膜が付着しても、離型剤膜は水で簡単に洗浄することに
より除去できるところから、このＡｕ物理蒸着膜が付着
したマスキング治具を水に浸漬し、必要に応じて揺動ま
たは振動させることによりマスキング治具基体表面の離
型剤膜を短時間で簡単に除去することができ、したがっ
て、離型剤膜の除去と同時に離型剤膜の表面に付着した
Ａｕ物理蒸着膜も短時間で簡単に剥離することができ
る、（ｂ）この時、ＣｕまたはＣｕ合金製マスキング治
具基体の表面に形成する離型剤膜は、水に簡単に短時間
で溶解する水溶性樹脂コーティング剤膜が好ましく、こ
の水溶性樹脂コーティング剤膜は、 脂肪酸エステル：６〜８重量％、ポリエチレングリコー
ル：４〜６重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤の塗布膜、 脂肪酸エステル：６〜８重量％、アルキルアミン：２〜
３重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤の塗布膜、 ポリエチレングリコール：５〜７重量％、アルキルアミ
ン：２〜３重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤の塗布膜、 脂肪酸エステル：１０〜１１重量％を含有し、残部が水
からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜、 ポリエチレングリコール：７〜９重量％を含有し、残部
が水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布
膜、 の内のいずれかの水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜で
あることが好ましい、（ｃ）また、ＣｕまたはＣｕ合金
製マスキング治具基体の表面に形成する離型剤膜は、カ
ーボン離型剤膜であることが好ましく、前記カーボン離
型剤膜は、ノルマルヘキサン：２３〜２６重量％、イソ
プロピルアルコール：７〜９重量％を含有し、残部が黒
鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤の塗布膜であるこ
とが好ましい、などの知見を得たのである。
【００１１】この発明は、かかる知見に基づいてなされ
たものであって、（１）マスキング治具基体の表面に、
水で洗浄することにより除去できる離型剤膜を形成して
なる物理蒸着装置のマスキング治具、（２）マスキング
治具基体の表面に、水で洗浄することにより除去できる
水溶性樹脂コーティング剤膜を形成してなる物理蒸着装
置のマスキング治具、（３）マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：６〜８重量％、ポリエチレングリ
コール：４〜６重量％を含有し、残部が水からなる組成
の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成してなる物
理蒸着装置のマスキング治具、（４）マスキング治具基
体の表面に、脂肪酸エステル：６〜８重量％、アルキル
アミン：２〜３重量％を含有し、残部が水からなる組成
の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成してなる物
理蒸着装置のマスキング治具、（５）マスキング治具基
体の表面に、ポリエチレングリコール：５〜７重量％、
アルキルアミン：２〜３重量％を含有し、残部が水から
なる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成し
てなる物理蒸着装置のマスキング治具、（６）マスキン
グ治具基体の表面に、脂肪酸エステル：１０〜１１重量
％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コーテ
ィング剤の塗布膜を形成してなる物理蒸着装置のマスキ
ング治具、（７）マスキング治具基体の表面に、ポリエ
チレングリコール：７〜９重量％を含有し、残部が水か
らなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成
してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（８）マスキ
ング治具基体の表面に、水で洗浄することにより除去で
きるカーボン離型剤膜を形成してなる物理蒸着装置のマ
スキング治具、（９）マスキング治具基体の表面に、ノ
ルマルヘキサン：２３〜２６重量％、イソプロピルアル
コール：７〜９重量％を含有し、残部が黒鉛粉末からな
る組成のカーボン離型剤の塗布膜を形成してなる物理蒸
着装置のマスキング治具、に特徴を有するものである。
たものであって、（１）マスキング治具基体の表面に、
水で洗浄することにより除去できる離型剤膜を形成して
なる物理蒸着装置のマスキング治具、（２）マスキング
治具基体の表面に、水で洗浄することにより除去できる
水溶性樹脂コーティング剤膜を形成してなる物理蒸着装
置のマスキング治具、（３）マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：６〜８重量％、ポリエチレングリ
コール：４〜６重量％を含有し、残部が水からなる組成
の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成してなる物
理蒸着装置のマスキング治具、（４）マスキング治具基
体の表面に、脂肪酸エステル：６〜８重量％、アルキル
アミン：２〜３重量％を含有し、残部が水からなる組成
の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成してなる物
理蒸着装置のマスキング治具、（５）マスキング治具基
体の表面に、ポリエチレングリコール：５〜７重量％、
アルキルアミン：２〜３重量％を含有し、残部が水から
なる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成し
てなる物理蒸着装置のマスキング治具、（６）マスキン
グ治具基体の表面に、脂肪酸エステル：１０〜１１重量
％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コーテ
ィング剤の塗布膜を形成してなる物理蒸着装置のマスキ
ング治具、（７）マスキング治具基体の表面に、ポリエ
チレングリコール：７〜９重量％を含有し、残部が水か
らなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜を形成
してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（８）マスキ
ング治具基体の表面に、水で洗浄することにより除去で
きるカーボン離型剤膜を形成してなる物理蒸着装置のマ
スキング治具、（９）マスキング治具基体の表面に、ノ
ルマルヘキサン：２３〜２６重量％、イソプロピルアル
コール：７〜９重量％を含有し、残部が黒鉛粉末からな
る組成のカーボン離型剤の塗布膜を形成してなる物理蒸
着装置のマスキング治具、に特徴を有するものである。
【００１２】また、本発明者等は、離型剤膜をＣｕまた
はＣｕ合金製マスキング治具基体の表面全面に形成して
得られたマスキング治具は、貴金属蒸着膜が離型剤膜か
ら極めて分離しやすいところから、貴金属蒸着膜が付着
したマスキング治具を物理蒸着装置から取り出す際に微
小の振動または衝撃を与えるとマスキング治具基体の表
面に付着した貴金属蒸着膜は隔離して落下することがあ
る。これを解決するためには、離型剤を縞または格子の
ように一定間隔をおいて塗布し、ＣｕまたはＣｕ合金製
マスキング治具基体の表面の一部が露出するように塗布
すると、マスキング治具基体の表面付着した貴金属蒸着
膜の一部はマスキング治具基体の地肌表面に直接強固に
付着する部分が生じ、微小の振動で貴金属蒸着膜が落下
することはない、という知見を得たのである。
はＣｕ合金製マスキング治具基体の表面全面に形成して
得られたマスキング治具は、貴金属蒸着膜が離型剤膜か
ら極めて分離しやすいところから、貴金属蒸着膜が付着
したマスキング治具を物理蒸着装置から取り出す際に微
小の振動または衝撃を与えるとマスキング治具基体の表
面に付着した貴金属蒸着膜は隔離して落下することがあ
る。これを解決するためには、離型剤を縞または格子の
ように一定間隔をおいて塗布し、ＣｕまたはＣｕ合金製
マスキング治具基体の表面の一部が露出するように塗布
すると、マスキング治具基体の表面付着した貴金属蒸着
膜の一部はマスキング治具基体の地肌表面に直接強固に
付着する部分が生じ、微小の振動で貴金属蒸着膜が落下
することはない、という知見を得たのである。
【００１３】この発明は、かかる知見に基づいてなされ
たものであって、（１０）マスキング治具基体の表面
に、水で洗浄することにより除去できる離型剤膜を一定
間隔をおいて形成してなる物理蒸着装置のマスキング治
具、（１１）マスキング治具基体の表面に、水で洗浄す
ることにより除去できる離型剤膜を縞状に一定間隔をお
いて形成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（１
２）マスキング治具基体の表面に、水で洗浄することに
より除去できる離型剤膜を格子状に一定間隔をおいて形
成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（１３）マ
スキング治具基体の表面に、水で洗浄することにより除
去できる水溶性樹脂コーティング剤を一定間隔をおいて
形成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（１４）
マスキング治具基体の表面に、水で洗浄することにより
除去できる水溶性樹脂コーティング剤を縞状に一定間隔
をおいて形成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、
（１５）マスキング治具基体の表面に、水で洗浄するこ
とにより除去できる水溶性樹脂コーティング剤を格子状
に一定間隔をおいて形成してなる物理蒸着装置のマスキ
ング治具、に特徴を有するものである。
たものであって、（１０）マスキング治具基体の表面
に、水で洗浄することにより除去できる離型剤膜を一定
間隔をおいて形成してなる物理蒸着装置のマスキング治
具、（１１）マスキング治具基体の表面に、水で洗浄す
ることにより除去できる離型剤膜を縞状に一定間隔をお
いて形成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（１
２）マスキング治具基体の表面に、水で洗浄することに
より除去できる離型剤膜を格子状に一定間隔をおいて形
成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（１３）マ
スキング治具基体の表面に、水で洗浄することにより除
去できる水溶性樹脂コーティング剤を一定間隔をおいて
形成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、（１４）
マスキング治具基体の表面に、水で洗浄することにより
除去できる水溶性樹脂コーティング剤を縞状に一定間隔
をおいて形成してなる物理蒸着装置のマスキング治具、
（１５）マスキング治具基体の表面に、水で洗浄するこ
とにより除去できる水溶性樹脂コーティング剤を格子状
に一定間隔をおいて形成してなる物理蒸着装置のマスキ
ング治具、に特徴を有するものである。
【００１４】前記水で洗浄することにより除去できる水
溶性樹脂コーティング剤としては、（イ）脂肪酸エステ
ル：６〜８重量％、ポリエチレングリコール：４〜６重
量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コー
ティング剤、（ロ）脂肪酸エステル：６〜８重量％、ア
ルキルアミン：２〜３重量％を含有し、残部が水からな
る組成の水溶性樹脂コーティング剤、（ハ）ポリエチレ
ングリコール：５〜７重量％、アルキルアミン：２〜３
重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コ
ーティング剤、（ニ）脂肪酸エステル：１０〜１１重量
％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コーテ
ィング剤、（ホ）ポリエチレングリコール：７〜９重量
％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コーテ
ィング剤、などがある。
溶性樹脂コーティング剤としては、（イ）脂肪酸エステ
ル：６〜８重量％、ポリエチレングリコール：４〜６重
量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コー
ティング剤、（ロ）脂肪酸エステル：６〜８重量％、ア
ルキルアミン：２〜３重量％を含有し、残部が水からな
る組成の水溶性樹脂コーティング剤、（ハ）ポリエチレ
ングリコール：５〜７重量％、アルキルアミン：２〜３
重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コ
ーティング剤、（ニ）脂肪酸エステル：１０〜１１重量
％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コーテ
ィング剤、（ホ）ポリエチレングリコール：７〜９重量
％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コーテ
ィング剤、などがある。
【００１５】さらに、この発明は、（１６）マスキング
治具基体の表面に、水で洗浄することにより除去できる
カーボン離型剤を一定間隔をおいて形成してなる物理蒸
着装置のマスキング治具、（１７）マスキング治具基体
の表面に、水で洗浄することにより除去できるカーボン
離型剤を縞状に一定間隔をおいて形成してなる物理蒸着
装置のマスキング治具、（１８）マスキング治具基体の
表面に、水で洗浄することにより除去できるカーボン離
型剤を格子状に一定間隔をおいて形成してなる物理蒸着
装置のマスキング治具、に特徴を有するものである。
治具基体の表面に、水で洗浄することにより除去できる
カーボン離型剤を一定間隔をおいて形成してなる物理蒸
着装置のマスキング治具、（１７）マスキング治具基体
の表面に、水で洗浄することにより除去できるカーボン
離型剤を縞状に一定間隔をおいて形成してなる物理蒸着
装置のマスキング治具、（１８）マスキング治具基体の
表面に、水で洗浄することにより除去できるカーボン離
型剤を格子状に一定間隔をおいて形成してなる物理蒸着
装置のマスキング治具、に特徴を有するものである。
【００１６】前記水で洗浄することにより除去できるカ
ーボン離型剤としては、ノルマルヘキサン：２３〜２６
重量％、イソプロピルアルコール：７〜９重量％を含有
し、残部が黒鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤があ
る、
ーボン離型剤としては、ノルマルヘキサン：２３〜２６
重量％、イソプロピルアルコール：７〜９重量％を含有
し、残部が黒鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤があ
る、
【００１７】マスキング治具基体、特にＣｕまたはＣｕ
合金製マスキング治具基体の表面に形成する水で洗浄す
ることにより除去できる離型剤膜の膜厚は、水溶性樹脂
コーティング剤の塗布膜である場合は、０．１〜２μｍ
の範囲内にあることが好ましい。その理由は、水溶性樹
脂コーティング剤の膜厚が０．１μｍ未満ではマスキン
グ治具基体の表面を十分に保護することができず、一
方、２μｍを越えると水溶性樹脂コーティング剤の塗布
に時間がかかりすぎるので好ましくないことによるもの
である。
合金製マスキング治具基体の表面に形成する水で洗浄す
ることにより除去できる離型剤膜の膜厚は、水溶性樹脂
コーティング剤の塗布膜である場合は、０．１〜２μｍ
の範囲内にあることが好ましい。その理由は、水溶性樹
脂コーティング剤の膜厚が０．１μｍ未満ではマスキン
グ治具基体の表面を十分に保護することができず、一
方、２μｍを越えると水溶性樹脂コーティング剤の塗布
に時間がかかりすぎるので好ましくないことによるもの
である。
【００１８】また、マスキング治具基体、特にＣｕまた
はＣｕ合金製マスキング治具基体の表面に形成する離型
剤膜の膜厚が、カーボン離型剤の塗布膜である場合は、
５〜２０μｍの範囲内にあることが好ましい。その理由
は、カーボン離型剤の膜厚が５μｍ未満の厚さにカーボ
ン離型剤を塗布することは難しく、一方、カーボン離型
剤の塗布膜の厚さが２０μｍを越えるとエッジ部の寸法
が規格から外れるので好ましくないことによるものであ
る。
はＣｕ合金製マスキング治具基体の表面に形成する離型
剤膜の膜厚が、カーボン離型剤の塗布膜である場合は、
５〜２０μｍの範囲内にあることが好ましい。その理由
は、カーボン離型剤の膜厚が５μｍ未満の厚さにカーボ
ン離型剤を塗布することは難しく、一方、カーボン離型
剤の塗布膜の厚さが２０μｍを越えるとエッジ部の寸法
が規格から外れるので好ましくないことによるものであ
る。
【００１９】この発明のマスキング治具基体の表面の離
型剤の塗布膜は、離型剤を刷毛またはスプレーによりマ
スキング治具基体表面の全面に塗布したのち乾燥するこ
とにより得られる。また、離型剤の塗布膜はマスキング
治具基体表面に１５〜２０ｍｍの間隔をおいて縞状また
は格子状に刷毛またはスプレーにより離型剤を塗布した
のち乾燥することにより得られる。この縞状または格子
状の離型剤膜を有するマスキング治具は、微小の振動ま
たは衝撃を加えても付着した貴金属膜が剥がれることが
なく、運搬中などに不注意に微小の振動または衝撃を加
えても付着した貴金属膜が脱落することがないので好ま
しい。しかし、離型剤膜の間隔が２０ｍｍを越えると、
離型剤膜を形成した効果が薄れてくるので好ましくな
い。
型剤の塗布膜は、離型剤を刷毛またはスプレーによりマ
スキング治具基体表面の全面に塗布したのち乾燥するこ
とにより得られる。また、離型剤の塗布膜はマスキング
治具基体表面に１５〜２０ｍｍの間隔をおいて縞状また
は格子状に刷毛またはスプレーにより離型剤を塗布した
のち乾燥することにより得られる。この縞状または格子
状の離型剤膜を有するマスキング治具は、微小の振動ま
たは衝撃を加えても付着した貴金属膜が剥がれることが
なく、運搬中などに不注意に微小の振動または衝撃を加
えても付着した貴金属膜が脱落することがないので好ま
しい。しかし、離型剤膜の間隔が２０ｍｍを越えると、
離型剤膜を形成した効果が薄れてくるので好ましくな
い。
【００２０】金属製マスキング治具基体は、耐熱性に優
れたいかなる金属材料で作製することもできるが、熱伝
導性、価格などを考慮すると、ＣｕまたはＣｕ合金で作
ることが好ましい。また、この発明の離型剤膜を有する
マスキング治具の表面に物理蒸着を施すことにより付着
した貴金属膜を除去するには、貴金属膜が付着したマス
キング治具を水中に浸漬し、必要に応じて振動させれば
良い。この場合、貴金属膜が付着したマスキング治具を
水中に浸漬し、２０〜１００ＫＨＺ（好ましくは、３０
〜５０ＫＨＺ）で超音波洗浄することが好ましい。
れたいかなる金属材料で作製することもできるが、熱伝
導性、価格などを考慮すると、ＣｕまたはＣｕ合金で作
ることが好ましい。また、この発明の離型剤膜を有する
マスキング治具の表面に物理蒸着を施すことにより付着
した貴金属膜を除去するには、貴金属膜が付着したマス
キング治具を水中に浸漬し、必要に応じて振動させれば
良い。この場合、貴金属膜が付着したマスキング治具を
水中に浸漬し、２０〜１００ＫＨＺ（好ましくは、３０
〜５０ＫＨＺ）で超音波洗浄することが好ましい。
【００２１】
実施例１ 旋盤仕上げ（３．２−Ｓ）のＣｕ製マスキング治具基体
を用意した。このＣｕ製マスキング治具基体の表面に、
脂肪酸エステル：７重量％、ポリエチレングリコール：
５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤を刷毛で塗布し、平均膜厚：１μｍの水
溶性樹脂コーティング剤膜を形成することにより本発明
マスキング治具１を作製した。この本発明マスキング治
具１をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理
蒸着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作
製し、本発明マスキング治具１の表面に１mmのＡｕ物理
蒸着膜が付着した時点でこのマスキング治具を取り出
し、水に浸漬し、超音波振動数：４０ＫＨＺをかけなが
ら超音波洗浄を行った。
を用意した。このＣｕ製マスキング治具基体の表面に、
脂肪酸エステル：７重量％、ポリエチレングリコール：
５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤を刷毛で塗布し、平均膜厚：１μｍの水
溶性樹脂コーティング剤膜を形成することにより本発明
マスキング治具１を作製した。この本発明マスキング治
具１をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理
蒸着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作
製し、本発明マスキング治具１の表面に１mmのＡｕ物理
蒸着膜が付着した時点でこのマスキング治具を取り出
し、水に浸漬し、超音波振動数：４０ＫＨＺをかけなが
ら超音波洗浄を行った。
【００２２】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２５分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は、加熱して水を除
去し、水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去すること
により容易に回収することができた。この様なＡｕ回収
操作およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行い、
マスキング治具基体の寸法精度および変形がなくマスキ
ング治具基体を再利用しうる回数（以下、再利用回数と
いう）を測定した結果、本発明マスキング治具１の再利
用回数は１９３回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２５分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は、加熱して水を除
去し、水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去すること
により容易に回収することができた。この様なＡｕ回収
操作およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行い、
マスキング治具基体の寸法精度および変形がなくマスキ
ング治具基体を再利用しうる回数（以下、再利用回数と
いう）を測定した結果、本発明マスキング治具１の再利
用回数は１９３回であった。
【００２３】実施例２ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：７重量％、アルキルアミン：２．
５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤を刷毛で塗布し、平均膜厚：１μｍの水
溶性樹脂コーティング剤膜を形成することにより本発明
マスキング治具２を作製した。この本発明マスキング治
具２をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理
蒸着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作
製し、本発明マスキング治具２の表面に１mmのＡｕ物理
蒸着膜が付着した時点でこのマスキング治具を取り出
し、水に浸漬し、超音波振動数：４５ＫＨＺをかけなが
ら超音波洗浄を行った。
に、脂肪酸エステル：７重量％、アルキルアミン：２．
５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤を刷毛で塗布し、平均膜厚：１μｍの水
溶性樹脂コーティング剤膜を形成することにより本発明
マスキング治具２を作製した。この本発明マスキング治
具２をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理
蒸着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作
製し、本発明マスキング治具２の表面に１mmのＡｕ物理
蒸着膜が付着した時点でこのマスキング治具を取り出
し、水に浸漬し、超音波振動数：４５ＫＨＺをかけなが
ら超音波洗浄を行った。
【００２４】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は、加熱して水を除
去し、水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去すること
により容易に回収することができた。この様なＡｕ回収
操作およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うこ
とのできる再利用回数を測定した結果、本発明マスキン
グ治具２の再利用回数は１９０回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は、加熱して水を除
去し、水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去すること
により容易に回収することができた。この様なＡｕ回収
操作およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うこ
とのできる再利用回数を測定した結果、本発明マスキン
グ治具２の再利用回数は１９０回であった。
【００２５】実施例３ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、ポリエチレングリコール：６重量％、アルキルアミ
ン：２．５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤を刷毛で塗布し、平均膜厚：１
μｍの水溶性樹脂コーティング剤膜を形成することによ
り本発明マスキング治具３を作製した。この本発明マス
キング治具３をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態で
Ａｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録
媒体を作製し、本発明マスキング治具３の表面に１mmの
Ａｕ物理蒸着膜が付着した時点でこのマスキング治具を
取り出し、水に浸漬し、超音波振動数：５０ＫＨＺをか
けながら超音波洗浄を行った。
に、ポリエチレングリコール：６重量％、アルキルアミ
ン：２．５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤を刷毛で塗布し、平均膜厚：１
μｍの水溶性樹脂コーティング剤膜を形成することによ
り本発明マスキング治具３を作製した。この本発明マス
キング治具３をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態で
Ａｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録
媒体を作製し、本発明マスキング治具３の表面に１mmの
Ａｕ物理蒸着膜が付着した時点でこのマスキング治具を
取り出し、水に浸漬し、超音波振動数：５０ＫＨＺをか
けながら超音波洗浄を行った。
【００２６】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に１９分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具３の再利用回数は１８９回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に１９分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具３の再利用回数は１８９回であった。
【００２７】実施例４ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：１０．５重量％を含有し、残部が
水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で塗
布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティング剤膜
を形成することにより本発明マスキング治具４を作製し
た。この本発明マスキング治具４をＣＤ−ＲＯＭ基板表
面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することによ
りＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング治
具４の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点でこ
のマスキング治具を取り出し、水に浸漬し、超音波振動
数：３５ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
に、脂肪酸エステル：１０．５重量％を含有し、残部が
水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で塗
布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティング剤膜
を形成することにより本発明マスキング治具４を作製し
た。この本発明マスキング治具４をＣＤ−ＲＯＭ基板表
面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することによ
りＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング治
具４の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点でこ
のマスキング治具を取り出し、水に浸漬し、超音波振動
数：３５ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
【００２８】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２５分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具４の再利用回数は１９５回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２５分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具４の再利用回数は１９５回であった。
【００２９】実施例５ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、ポリエチレングリコール：８重量％を含有し、残部
が水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で
塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティング剤
膜を形成することにより本発明マスキング治具５を作製
した。この本発明マスキング治具５をＣＤ−ＲＯＭ基板
表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することに
よりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング
治具５の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点で
このマスキング治具を取り出し、水に浸漬し、超音波振
動数：３０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
に、ポリエチレングリコール：８重量％を含有し、残部
が水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で
塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティング剤
膜を形成することにより本発明マスキング治具５を作製
した。この本発明マスキング治具５をＣＤ−ＲＯＭ基板
表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することに
よりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング
治具５の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点で
このマスキング治具を取り出し、水に浸漬し、超音波振
動数：３０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
【００３０】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具５の再利用回数は２０５回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具５の再利用回数は２０５回であった。
【００３１】実施例６ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、ノルマルヘキサン：２５重量％、イソプロピルアル
コール：８重量％を含有し、残部が平均粒径：０．７μ
ｍの黒鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤を刷毛で塗
布し、平均膜厚：１３μｍのカーボン離型剤膜を形成す
ることにより本発明マスキング治具６を作製した。この
本発明マスキング治具６をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置
した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−
ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング治具６の表
面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点でこのマスキ
ング治具を取り出し、水に浸漬し、超音波振動数：４０
ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
に、ノルマルヘキサン：２５重量％、イソプロピルアル
コール：８重量％を含有し、残部が平均粒径：０．７μ
ｍの黒鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤を刷毛で塗
布し、平均膜厚：１３μｍのカーボン離型剤膜を形成す
ることにより本発明マスキング治具６を作製した。この
本発明マスキング治具６をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置
した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−
ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング治具６の表
面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点でこのマスキ
ング治具を取り出し、水に浸漬し、超音波振動数：４０
ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
【００３２】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３５分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具５の再利用回数は２０３回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３５分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具５の再利用回数は２０３回であった。
【００３３】実施例７ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：７重量％、ポリエチレングリコー
ル：５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性
樹脂コーティング剤を刷毛で１８ｍｍの間隔をおいて縞
状に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティン
グ剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキング治
具７を作製した。この本発明マスキング治具７をＣＤ−
ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成
することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明
マスキング治具１の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着
した時点でこのマスキング治具を物理蒸着装置から取り
出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下するこ
とはなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、超音
波振動数：４０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行っ
た。
に、脂肪酸エステル：７重量％、ポリエチレングリコー
ル：５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性
樹脂コーティング剤を刷毛で１８ｍｍの間隔をおいて縞
状に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティン
グ剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキング治
具７を作製した。この本発明マスキング治具７をＣＤ−
ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成
することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明
マスキング治具１の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着
した時点でこのマスキング治具を物理蒸着装置から取り
出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下するこ
とはなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、超音
波振動数：４０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行っ
た。
【００３４】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に４０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行い、再利
用回数を測定した結果、本発明マスキング治具７の再利
用回数は１７５回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に４０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行い、再利
用回数を測定した結果、本発明マスキング治具７の再利
用回数は１７５回であった。
【００３５】実施例８ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：７重量％、アルキルアミン：２．
５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤を刷毛で１８ｍｍの間隔をおいて格子状
に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティング
剤の格子状膜を形成することにより本発明マスキング治
具８を作製した。この本発明マスキング治具８をＣＤ−
ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成
することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明
マスキング治具８の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着
した時点でこのマスキング治具を物理蒸着装置から取り
出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下するこ
とはなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、超音
波振動数：４５ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行っ
た。
に、脂肪酸エステル：７重量％、アルキルアミン：２．
５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂
コーティング剤を刷毛で１８ｍｍの間隔をおいて格子状
に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティング
剤の格子状膜を形成することにより本発明マスキング治
具８を作製した。この本発明マスキング治具８をＣＤ−
ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成
することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明
マスキング治具８の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着
した時点でこのマスキング治具を物理蒸着装置から取り
出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下するこ
とはなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、超音
波振動数：４５ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行っ
た。
【００３６】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に４０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具８の再利用回数は１６０回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に４０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具８の再利用回数は１６０回であった。
【００３７】実施例９ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、ポリエチレングリコール：６重量％、アルキルアミ
ン：２．５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤を刷毛で１８ｍｍの間隔をおい
て縞状に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーテ
ィング剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキン
グ治具９を作製した。この本発明マスキング治具９をＣ
Ｄ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を
形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本
発明マスキング治具３表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付
着した時点でマスキング治具を物理蒸着装置から取り出
し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下すること
はなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、超音波
振動数：５０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
に、ポリエチレングリコール：６重量％、アルキルアミ
ン：２．５重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤を刷毛で１８ｍｍの間隔をおい
て縞状に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーテ
ィング剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキン
グ治具９を作製した。この本発明マスキング治具９をＣ
Ｄ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜を
形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、本
発明マスキング治具３表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付
着した時点でマスキング治具を物理蒸着装置から取り出
し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下すること
はなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、超音波
振動数：５０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行った。
【００３８】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２６分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具３の再利用回数は１８３回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に２６分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具３の再利用回数は１８３回であった。
【００３９】実施例１０ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、脂肪酸エステル：１０．５重量％を含有し、残部が
水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で１
８ｍｍの間隔をおいて格子状に塗布し、平均膜厚：１μ
ｍの水溶性樹脂コーティング剤の格子状膜を形成するこ
とにより本発明マスキング治具１０を作製した。この本
発明マスキング治具１０をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置
した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−
ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング治具１０の
表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点でマスキン
グ治具を物理蒸着装置から取り出し、軽い衝撃を加えた
がＡｕ物理蒸着膜が落下することはなかった。このマス
キング治具を水に浸漬し、超音波振動数：３５ＫＨＺを
かけながら超音波洗浄を行った。
に、脂肪酸エステル：１０．５重量％を含有し、残部が
水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で１
８ｍｍの間隔をおいて格子状に塗布し、平均膜厚：１μ
ｍの水溶性樹脂コーティング剤の格子状膜を形成するこ
とにより本発明マスキング治具１０を作製した。この本
発明マスキング治具１０をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置
した状態でＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−
ＲＯＭ記録媒体を作製し、本発明マスキング治具１０の
表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点でマスキン
グ治具を物理蒸着装置から取り出し、軽い衝撃を加えた
がＡｕ物理蒸着膜が落下することはなかった。このマス
キング治具を水に浸漬し、超音波振動数：３５ＫＨＺを
かけながら超音波洗浄を行った。
【００４０】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具１０の再利用回数は１８５回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具１０の再利用回数は１８５回であった。
【００４１】実施例１１ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、ポリエチレングリコール：８重量％を含有し、残部
が水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で
縞状に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティ
ング剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキング
治具１１を作製した。この本発明マスキング治具１１を
ＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜
を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、
本発明マスキング治具１１の表面に１mmのＡｕ物理蒸着
膜が付着した時点でマスキング治具を物理蒸着装置から
取り出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下す
ることはなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、
超音波振動数：３０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行
った。
に、ポリエチレングリコール：８重量％を含有し、残部
が水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤を刷毛で
縞状に塗布し、平均膜厚：１μｍの水溶性樹脂コーティ
ング剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキング
治具１１を作製した。この本発明マスキング治具１１を
ＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸着膜
を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製し、
本発明マスキング治具１１の表面に１mmのＡｕ物理蒸着
膜が付着した時点でマスキング治具を物理蒸着装置から
取り出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落下す
ることはなかった。このマスキング治具を水に浸漬し、
超音波振動数：３０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄を行
った。
【００４２】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具５の再利用回数は２１０回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に３０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具５の再利用回数は２１０回であった。
【００４３】実施例１２ 実施例１で用意したＣｕ製マスキング治具基体の表面
に、ノルマルヘキサン：２５重量％、イソプロピルアル
コール：８重量％を含有し、残部が平均粒径：０．７μ
ｍの黒鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤を刷毛また
はスプレーで縞状に塗布し、平均膜厚：１３μｍのカー
ボン離型剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキ
ング治具１２を作製した。この本発明マスキング治具１
２をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸
着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製
し、本発明マスキング治具１２の表面に１mmのＡｕ物理
蒸着膜が付着した時点でマスキング治具を物理蒸着装置
から取り出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落
下することはなかった。このマスキング治具を水に浸漬
し、超音波振動数：４０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄
を行った。
に、ノルマルヘキサン：２５重量％、イソプロピルアル
コール：８重量％を含有し、残部が平均粒径：０．７μ
ｍの黒鉛粉末からなる組成のカーボン離型剤を刷毛また
はスプレーで縞状に塗布し、平均膜厚：１３μｍのカー
ボン離型剤の縞状膜を形成することにより本発明マスキ
ング治具１２を作製した。この本発明マスキング治具１
２をＣＤ−ＲＯＭ基板表面に載置した状態でＡｕ物理蒸
着膜を形成することによりＣＤ−ＲＯＭ記録媒体を作製
し、本発明マスキング治具１２の表面に１mmのＡｕ物理
蒸着膜が付着した時点でマスキング治具を物理蒸着装置
から取り出し、軽い衝撃を加えたがＡｕ物理蒸着膜が落
下することはなかった。このマスキング治具を水に浸漬
し、超音波振動数：４０ＫＨＺをかけながら超音波洗浄
を行った。
【００４４】その結果、マスキング治具基体表面の水溶
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に４０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具１２の再利用回数は１９８回であった。
性樹脂コーティング剤膜は水で洗浄されて除去され、付
着したＡｕ物理蒸着膜は水中に４０分で完全に脱落し
た。水中に脱落したＡｕ物理蒸着膜は加熱して水を除去
し水溶性樹脂コーティング剤を燃焼し除去することによ
り容易に回収することができた。この様なＡｕ回収操作
およびマスキング治具基体の再生を繰り返し行うことの
できる再利用回数を測定した結果、本発明マスキング治
具１２の再利用回数は１９８回であった。
【００４５】従来例１ 実施例１で用意したＣＤ−ＲＯＭ製造用Ｃｕ製マスキン
グ治具基体の表面に、通常の電気メッキ条件で厚さ：１
μｍのＲｈ膜を形成し、従来マスキング治具１を作製し
た。この従来マスキング治具１を使用してＣＤ−ＲＯＭ
基板表面にＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−
ＲＯＭを作製し、従来マスキング治具１の表面に１mmの
Ａｕ物理蒸着膜が付着した時点でこれらマスキング治具
を市販の金剥離剤を溶解した金剥離液（液温：３０℃）
に５時間浸漬し、Ａｕを回収するとともにマスキング治
具を再生を繰り返し行い、従来マスキング治具１の再利
用回数を測定した結果、再利用回数は８回であった。
グ治具基体の表面に、通常の電気メッキ条件で厚さ：１
μｍのＲｈ膜を形成し、従来マスキング治具１を作製し
た。この従来マスキング治具１を使用してＣＤ−ＲＯＭ
基板表面にＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ−
ＲＯＭを作製し、従来マスキング治具１の表面に１mmの
Ａｕ物理蒸着膜が付着した時点でこれらマスキング治具
を市販の金剥離剤を溶解した金剥離液（液温：３０℃）
に５時間浸漬し、Ａｕを回収するとともにマスキング治
具を再生を繰り返し行い、従来マスキング治具１の再利
用回数を測定した結果、再利用回数は８回であった。
【００４６】従来例２ 実施例１で用意したＣＤ−ＲＯＭ製造用Ｃｕ製マスキン
グ治具基体の表面に通常の電気メッキ条件で厚さ：０．
５μｍのＰｔ膜を形成し、従来マスキング治具２を作製
した。この従来マスキング治具２を使用してＣＤ−ＲＯ
Ｍ基板表面にＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ
−ＲＯＭ、ＣＤ−ＲまたはＣＤを作製し、従来マスキン
グ治具２の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点
でこれらマスキング治具を市販の金剥離剤を溶解した金
剥離液（液温：３０℃）に５時間浸漬し、Ａｕを回収す
るとともにマスキング治具を再生を繰り返し行い、従来
マスキング治具１の再利用回数を測定した結果、再利用
回数は９回であった。
グ治具基体の表面に通常の電気メッキ条件で厚さ：０．
５μｍのＰｔ膜を形成し、従来マスキング治具２を作製
した。この従来マスキング治具２を使用してＣＤ−ＲＯ
Ｍ基板表面にＡｕ物理蒸着膜を形成することによりＣＤ
−ＲＯＭ、ＣＤ−ＲまたはＣＤを作製し、従来マスキン
グ治具２の表面に１mmのＡｕ物理蒸着膜が付着した時点
でこれらマスキング治具を市販の金剥離剤を溶解した金
剥離液（液温：３０℃）に５時間浸漬し、Ａｕを回収す
るとともにマスキング治具を再生を繰り返し行い、従来
マスキング治具１の再利用回数を測定した結果、再利用
回数は９回であった。
【００４７】実施例１〜１２および従来例１〜２に示さ
れる結果から、（イ）水で洗浄できる離形剤膜を形成し
た本発明マスキング治具１〜１２は、白金族膜を形成し
た従来マスキング治具１〜２に比べていずれも再利用回
数が大幅に増加する、（ロ）厚さ：１mmの付着したＡｕ
物理蒸着膜を除去する時間は、白金族膜を形成した従来
マスキング治具１〜２の場合、５時間を必要としている
のに対し、本発明マスキング治具１〜１２は、２０〜６
０分で剥離が可能であり、剥離に要する時間が極めて短
く効率的であり、さらにマスキング治具の寿命について
も、従来マスキング治具１〜２の再利用は１０回以下で
あるに対し、本発明マスキング治具１〜１２は１６０〜
２５０回の再利用が可能であるところから、大幅に伸び
ていることが分かる。
れる結果から、（イ）水で洗浄できる離形剤膜を形成し
た本発明マスキング治具１〜１２は、白金族膜を形成し
た従来マスキング治具１〜２に比べていずれも再利用回
数が大幅に増加する、（ロ）厚さ：１mmの付着したＡｕ
物理蒸着膜を除去する時間は、白金族膜を形成した従来
マスキング治具１〜２の場合、５時間を必要としている
のに対し、本発明マスキング治具１〜１２は、２０〜６
０分で剥離が可能であり、剥離に要する時間が極めて短
く効率的であり、さらにマスキング治具の寿命について
も、従来マスキング治具１〜２の再利用は１０回以下で
あるに対し、本発明マスキング治具１〜１２は１６０〜
２５０回の再利用が可能であるところから、大幅に伸び
ていることが分かる。
【００４８】以上、物理蒸着装置のマスキング治具に付
着したＡｕ物理蒸着膜をマスキング治具から剥離する実
施例を従来例と比較しながら詳述したが、この発明は、
Ａｕを物理蒸着する装置のマスキング治具に限定される
ものではなく、Ａｕ以外の貴金属（Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄ、
Ｒｈ）、さらにＣｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｕなどの金属を物
理蒸着する装置のマスキング治具としても適用すること
ができる。
着したＡｕ物理蒸着膜をマスキング治具から剥離する実
施例を従来例と比較しながら詳述したが、この発明は、
Ａｕを物理蒸着する装置のマスキング治具に限定される
ものではなく、Ａｕ以外の貴金属（Ａｇ、Ｐｔ、Ｐｄ、
Ｒｈ）、さらにＣｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｕなどの金属を物
理蒸着する装置のマスキング治具としても適用すること
ができる。
【００４９】
【発明の効果】上述のように、この発明のハンダ膜が形
成されている物理蒸着装置の防着部品、特にマスキング
治具は、再利用回数が大幅に増加し、さらに付着した物
理蒸着膜を短時間で除去することができるのでコストの
削減に大いに貢献しうるものである。
成されている物理蒸着装置の防着部品、特にマスキング
治具は、再利用回数が大幅に増加し、さらに付着した物
理蒸着膜を短時間で除去することができるのでコストの
削減に大いに貢献しうるものである。
【図１】Ａｕ物理蒸着装置の構造を示す断面概略図であ
る。
る。
【図２】マスキング治具の斜視図である。
１ ＣＤ基板 ２ マスキング治具 ３ Ａｕターゲット ４ Ａｕ物理蒸着膜 ５ シールドリング ６ シャッター ７ 活性Ａｕ金属 ２１ 中央遮蔽板 ２２ 外周遮蔽板 ２３ リング状開口 ２４ 外周胴 ２５ 支持腕 ２６ 支柱
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 頼重 兵庫県三田市テクノパ−ク12−６ 三菱マ テリアル株式会社三田工場内
Claims (10)
- 【請求項１】 マスキング治具基体の表面に水で洗浄す
ることにより除去できる離型剤膜を形成してなることを
特徴とする物理蒸着装置のマスキング治具。 - 【請求項２】 マスキング治具基体の表面に水で洗浄す
ることにより除去できる離型剤膜を一定間隔をおいて形
成してなることを特徴とする物理蒸着装置のマスキング
治具。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の水で洗浄するこ
とにより除去できる離型剤膜は、水溶性樹脂コーティン
グ剤膜であることを特徴とする物理蒸着装置のマスキン
グ治具。 - 【請求項４】 前記水溶性樹脂コーティング剤膜は、脂
肪酸エステル：６〜８重量％、ポリエチレングリコー
ル：４〜６重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤の塗布膜であることを特徴とす
る請求項３記載の物理蒸着装置のマスキング治具。 - 【請求項５】 前記水溶性樹脂コーティング剤膜は、脂
肪酸エステル：６〜８重量％、アルキルアミン：２〜３
重量％を含有し、残部が水からなる組成の水溶性樹脂コ
ーティング剤の塗布膜であることを特徴とする請求項３
記載の物理蒸着装置のマスキング治具。 - 【請求項６】 前記水溶性樹脂コーティング剤膜は、ポ
リエチレングリコール：５〜７重量％、アルキルアミ
ン：２〜３重量％を含有し、残部が水からなる組成の水
溶性樹脂コーティング剤の塗布膜であることを特徴とす
る請求項３記載の物理蒸着装置のマスキング治具。 - 【請求項７】 前記水溶性樹脂コーティング剤膜は、脂
肪酸エステル：１０〜１１重量％を含有し、残部が水か
らなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜である
ことを特徴とする請求項３記載の物理蒸着装置のマスキ
ング治具。 - 【請求項８】 前記水溶性樹脂コーティング剤膜は、ポ
リエチレングリコール：７〜９重量％を含有し、残部が
水からなる組成の水溶性樹脂コーティング剤の塗布膜で
あることを特徴とする請求項３記載の物理蒸着装置のマ
スキング治具。 - 【請求項９】 請求項１または２記載の水で洗浄するこ
とにより除去できる離型剤膜は、カーボン離型剤膜であ
ることを特徴とする物理蒸着装置のマスキング治具。 - 【請求項１０】 前記カーボン離型剤膜は、ノルマルヘ
キサン：２３〜２６重量％、イソプロピルアルコール：
７〜９重量％を含有し、残部が黒鉛粉末からなる組成の
カーボン離型剤の塗布膜であることを特徴とする請求項
９記載の物理蒸着装置のマスキング治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19238097A JPH1136061A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 物理蒸着装置のマスキング治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19238097A JPH1136061A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 物理蒸着装置のマスキング治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1136061A true JPH1136061A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16290342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19238097A Withdrawn JPH1136061A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 物理蒸着装置のマスキング治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1136061A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004300495A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Nippon Seiki Co Ltd | 蒸着マスク及びこれを用いた蒸着方法 |
| EP1609879A1 (en) * | 2004-06-21 | 2005-12-28 | Seiko Epson Corporation | Method for producing a mask |
| JP2007238996A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Sumco Corp | パターン形成用マスクおよびその洗浄方法 |
| JP2012509164A (ja) * | 2008-11-20 | 2012-04-19 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ | コーティング設備のための洗浄方法 |
| WO2013058230A1 (ja) * | 2011-10-17 | 2013-04-25 | スタンレー電気株式会社 | リフレクタアレイ光学装置及びその作製方法 |
| JP2013088556A (ja) * | 2011-10-17 | 2013-05-13 | National Institute Of Information & Communication Technology | リフレクタアレイ光学装置及びその作製方法 |
| JP2013518177A (ja) * | 2010-01-25 | 2013-05-20 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ | コーティング設備の洗浄方法 |
| JP2013195983A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-09-30 | National Institute Of Information & Communication Technology | リフレクタアレイ光学装置及びその作製方法 |
-
1997
- 1997-07-17 JP JP19238097A patent/JPH1136061A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN100389479C (zh) * | 2004-06-21 | 2008-05-21 | 精工爱普生株式会社 | 掩模及其制造方法、成膜方法、电子器件、以及电子仪器 |
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| US9638843B2 (en) | 2011-10-17 | 2017-05-02 | Stanley Electric Co., Ltd. | Reflector array optical device and method for manufacturing the same |
| JP2013195983A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-09-30 | National Institute Of Information & Communication Technology | リフレクタアレイ光学装置及びその作製方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |