RU2011124886A - Способ очистки для установок для нанесения покрытий - Google Patents

Способ очистки для установок для нанесения покрытий Download PDF

Info

Publication number
RU2011124886A
RU2011124886A RU2011124886/05A RU2011124886A RU2011124886A RU 2011124886 A RU2011124886 A RU 2011124886A RU 2011124886/05 A RU2011124886/05 A RU 2011124886/05A RU 2011124886 A RU2011124886 A RU 2011124886A RU 2011124886 A RU2011124886 A RU 2011124886A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
release layer
treatment
powder
auxiliary surfaces
Prior art date
Application number
RU2011124886/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2510664C2 (ru
Inventor
Арно МООСБРУГГЕР
Марио ВАЛЬХ
Зигфрид КРАССНИТЦЕР
Штефан КАЗЕМАНН
Юрген ГВЕХЕНБЕРГЕР
Original Assignee
Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=41567208&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2011124886(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах filed Critical Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Publication of RU2011124886A publication Critical patent/RU2011124886A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2510664C2 publication Critical patent/RU2510664C2/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/32Processes for applying liquids or other fluent materials using means for protecting parts of a surface not to be coated, e.g. using stencils, resists
    • B05D1/322Removable films used as masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/60Deposition of organic layers from vapour phase
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/08Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

1. Способ предварительной обработки для способов нанесения покрытий, отличающийся тем, что вспомогательные поверхности установки для нанесения покрытий еще перед процессом нанесения покрытия подвергают предварительной обработке таким образом, что при последующем процессе нанесения покрытия сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях существенно снижается по сравнению с его сцеплением без предварительной обработки.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в ходе предварительной обработки на вспомогательные поверхности наносится антиадгезионный слой.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что антиадгезионный слой включает в себя суспензию, состоящую из порошка в летучем растворителе, предпочтительно в легколетучем растворителе.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что материалом порошка является графитный порошок, предпочтительно, в основном, чистый графитный порошок.5. Способ по одному из пп.2-4, отличающийся тем, что антиадгезионный слой напыляют с помощью распылительного пистолета.6. Способ, который включает в себя способ предварительной обработки согласно одному из пп.2-5, а также проводимый после него способ нанесения покрытия, отличающийся тем, что антиадгезионный слой удаляют после одного или нескольких циклов нанесения покрытия.

Claims (6)

1. Способ предварительной обработки для способов нанесения покрытий, отличающийся тем, что вспомогательные поверхности установки для нанесения покрытий еще перед процессом нанесения покрытия подвергают предварительной обработке таким образом, что при последующем процессе нанесения покрытия сцепление материала покрытия на вспомогательных поверхностях существенно снижается по сравнению с его сцеплением без предварительной обработки.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в ходе предварительной обработки на вспомогательные поверхности наносится антиадгезионный слой.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что антиадгезионный слой включает в себя суспензию, состоящую из порошка в летучем растворителе, предпочтительно в легколетучем растворителе.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что материалом порошка является графитный порошок, предпочтительно, в основном, чистый графитный порошок.
5. Способ по одному из пп.2-4, отличающийся тем, что антиадгезионный слой напыляют с помощью распылительного пистолета.
6. Способ, который включает в себя способ предварительной обработки согласно одному из пп.2-5, а также проводимый после него способ нанесения покрытия, отличающийся тем, что антиадгезионный слой удаляют после одного или нескольких циклов нанесения покрытия.
RU2011124886/04A 2008-11-20 2009-11-11 Способ очистки для установок для нанесения покрытий RU2510664C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11646108P 2008-11-20 2008-11-20
US61/116,461 2008-11-20
PCT/CH2009/000355 WO2010057323A1 (de) 2008-11-20 2009-11-11 Reinigungsverfahren für beschichtungsanlagen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011124886A true RU2011124886A (ru) 2012-12-27
RU2510664C2 RU2510664C2 (ru) 2014-04-10

Family

ID=41567208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011124886/04A RU2510664C2 (ru) 2008-11-20 2009-11-11 Способ очистки для установок для нанесения покрытий

Country Status (13)

Country Link
US (1) US8765214B2 (ru)
EP (1) EP2358483B1 (ru)
JP (1) JP5736317B2 (ru)
KR (1) KR101736508B1 (ru)
CN (1) CN102223956B (ru)
BR (1) BRPI0920910B1 (ru)
CA (1) CA2744032C (ru)
ES (1) ES2541586T3 (ru)
HU (1) HUE026933T2 (ru)
MX (1) MX2011005203A (ru)
PL (1) PL2358483T3 (ru)
RU (1) RU2510664C2 (ru)
WO (1) WO2010057323A1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010005762A1 (de) * 2010-01-25 2011-07-28 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Reinigungsverfahren für Beschichtungsanlagen
DE102012000288A1 (de) * 2011-11-18 2013-05-23 Thomas Mayer Bestandteil einer Oberflächenbeschichtungsanlage
JP5743010B1 (ja) * 2014-06-20 2015-07-01 富士ゼロックス株式会社 画像形成装置、塗布装置、塗布剤、及び搬送装置
WO2017031571A1 (en) * 2015-08-22 2017-03-02 Novena Tec Inc. Process chamber shielding system and method

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2991188A (en) * 1958-05-21 1961-07-04 Dow Chemical Co Spray coating method and coated spray booth
US4548967A (en) * 1984-04-19 1985-10-22 Nalco Chemical Company Masking agent for paint spray booths
JPS60227868A (ja) * 1984-04-27 1985-11-13 Honda Motor Co Ltd 樹脂成形品の部分塗装方法
US4895630A (en) * 1985-08-28 1990-01-23 W. H. Brady Co. Rapidly removable undercoating for vacuum deposition of patterned layers onto substrates
US4748049A (en) 1986-03-27 1988-05-31 Chemfil Corporation Clear paint booth coating composition and method
JPH01162546A (ja) * 1987-12-16 1989-06-27 Sumitomo Metal Ind Ltd ベルトキャスターのコーティング剤塗布方法
SU1722610A1 (ru) * 1989-01-19 1992-03-30 В.Г.Вохм нин Способ получени покрыти
JPH06170735A (ja) * 1992-12-03 1994-06-21 Shin Etsu Chem Co Ltd 多結晶ダイヤモンド砥石の製造方法
JPH0751865A (ja) * 1993-08-16 1995-02-28 Toyota Motor Corp 抵抗溶接電極用保護シート及びその製造方法並びにその使用方法
EP0648861A1 (en) * 1993-10-15 1995-04-19 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing apparatus
JP3362552B2 (ja) * 1995-03-10 2003-01-07 東京エレクトロン株式会社 成膜処理装置
KR100213110B1 (ko) * 1997-06-12 1999-08-02 윤종용 박막형 발열 히터 및 그 제조방법
JPH1136061A (ja) * 1997-07-17 1999-02-09 Mitsubishi Materials Corp 物理蒸着装置のマスキング治具
RU2182914C2 (ru) * 2000-08-14 2002-05-27 Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) Композиция для получения антикоррозионных, антиадгезионных, антипригарных покрытий на металлических поверхностях способом диффузиофореза
US6790242B2 (en) * 2000-12-29 2004-09-14 Lam Research Corporation Fullerene coated component of semiconductor processing equipment and method of manufacturing thereof
DE10326815A1 (de) * 2003-06-13 2004-12-30 Institut für Neue Materialien Gemeinnützige GmbH Antiadhäsive Hochtemperaturschichten
US7491508B2 (en) 2003-06-20 2009-02-17 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Methods of generating chimeric adenoviruses and uses for such chimeric adenoviruses
DE20316044U1 (de) 2003-10-18 2005-03-17 Daub Joachim Kunststoffbeschichtung zur Verwendung als Korrosionsschutz und als Trennmittel
US20050221020A1 (en) 2004-03-30 2005-10-06 Tokyo Electron Limited Method of improving the wafer to wafer uniformity and defectivity of a deposited dielectric film
EP1772529A1 (de) * 2005-10-07 2007-04-11 Siemens Aktiengesellschaft Trockene Zusammensetzung, Verwendung derer, Schichtsystem und Verfahren zur Beschichtung
WO2007064520A1 (en) 2005-12-01 2007-06-07 Cardinal Cg Company Transport rollers

Also Published As

Publication number Publication date
BRPI0920910B1 (pt) 2019-09-17
KR20110095259A (ko) 2011-08-24
PL2358483T3 (pl) 2015-09-30
CN102223956A (zh) 2011-10-19
US20110281026A1 (en) 2011-11-17
KR101736508B1 (ko) 2017-05-16
JP2012509164A (ja) 2012-04-19
JP5736317B2 (ja) 2015-06-17
ES2541586T3 (es) 2015-07-22
CA2744032C (en) 2018-07-31
EP2358483B1 (de) 2015-04-08
EP2358483A1 (de) 2011-08-24
CA2744032A1 (en) 2010-05-27
RU2510664C2 (ru) 2014-04-10
HUE026933T2 (en) 2016-07-28
MX2011005203A (es) 2011-06-01
CN102223956B (zh) 2015-05-06
US8765214B2 (en) 2014-07-01
BRPI0920910A2 (pt) 2017-07-11
WO2010057323A1 (de) 2010-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA201390169A1 (ru) Способ получения материала, содержащего основу, снабженную покрытием
EP2161316A4 (en) ANTI-TACHE COATING COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING THE COMPOSITION, ANTI-TACHE COATING FILM FORMED FROM THE COMPOSITION, COATED OBJECT COMPRISING THE COATING FILM ON THE SURFACE, AND ANTI-TACHE TREATMENT METHOD BY FORMING THE COATING FILM
MX2016008419A (es) Fibras de carbono y fibras de alto rendimiento para aplicaciones compuestas.
SG129408A1 (en) Method and apparatus for the application of twin wire arc spray coatings
PL1727624T3 (pl) Sposób nanoszenia powłoki na stronę soczewki optycznej i układ do jego implementacji
MX2009011551A (es) Proceso y aparato para secar y curar un recubrimiento de recipiente y recipientes producidos a traves de ellos.
EP2191930A3 (en) Repair Method For TBC Coated Turbine Components
MX2016011120A (es) Proceso para recubrir superficies metalicas de sustratos y articulos recubiertos mediante este proceso.
MX2010007327A (es) Composiciones curables por radiacion directas a metal.
WO2009039299A3 (en) Partial coating of intraocular lenses and partially coated lens
WO2011146278A3 (en) Textured coating on a component surface
RU2011124886A (ru) Способ очистки для установок для нанесения покрытий
EA201101662A1 (ru) Устройство для нанесения покрытий и способ нанесения покрытий
ATE270589T1 (de) Verfahren zur beschichtung metallischer substratoberflächen und beschichtete oberfläche
RU2012136472A (ru) Способ очистки для установок нанесения покрытий
WO2007145739A3 (en) Partially coated workpieces; methods and systems for making partially coated workpieces
BRPI0917600A2 (pt) composição de revestimento, artigo revestido, processo para produzir uma composição de revestimento e método para reparar um artigo revestido
RU2014117532A (ru) Кислотные очистители для металлических подложек и связанные с ними способы очистки и нанесения покрытий на металлические подложки
NZ611941A (en) Control of coating of members
EP2169100A3 (en) Methods for coating filaments
DE602008004458D1 (de) Verfahren zur verringerung der belagbildung von wässrigen beschichtungszusammensetzungen
WO2011126292A3 (ko) Cnt 대전 방지 처리된 작업 스테이지의 수선 방법
MX2021012663A (es) Metodos para adhesion mejorada de revestimiento para superficie de sustrato y articulos hechos a partir de esto.
MX341979B (es) Pretratamiento de superficies de metal antes de pintar usando partículas de polianilina.
US10040955B2 (en) Method for removing substrates provided with organic coatings