RU2498383C2 - Система шестерен для часов - Google Patents
Система шестерен для часов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2498383C2 RU2498383C2 RU2011109457/28A RU2011109457A RU2498383C2 RU 2498383 C2 RU2498383 C2 RU 2498383C2 RU 2011109457/28 A RU2011109457/28 A RU 2011109457/28A RU 2011109457 A RU2011109457 A RU 2011109457A RU 2498383 C2 RU2498383 C2 RU 2498383C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gear
- mask
- substrate
- wheel
- axis
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 33
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
- G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
- G04D3/0069—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for working with non-mechanical means, e.g. chemical, electrochemical, metallising, vapourising; with electron beams, laser beams
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B13/00—Gearwork
- G04B13/02—Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
-
- G04B13/026—
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Gears, Cams (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области часовой промышленности, а именно к системе шестерен, которая включает в себя крепежное устройство, предотвращающее возникновение напряжения сдвига, что обеспечивается за счет того, что система шестерен включает в себя шестерню и зубчатое колесо, соосно установленные относительно поворотной оси, и крепежное устройство между вышеуказанной шестерней и вышеуказанным колесом для предотвращения относительного перемещения одного из них относительно другого. При этом согласно изобретению крепежное устройство включает в себя фасонное углубление, форма которого, по меньшей мере, частично согласуется с сечением вышеуказанной секции и которое выполнено на ступице вышеуказанного колеса для крепления вышеуказанной шестерни и колеса при вращении. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 9 ил.
Description
Область техники, к которой относится изобретение
Настоящее изобретение относится к составной системе шестерен, например кремний - металл для часов и, конкретнее к системе этого типа, которая включает в себя крепежное устройство, которое может предотвращать возникновение напряжения сдвига.
Уровень техники
Известно, что для предотвращения напряжения сдвига в часовых механизмах используют оси, имеющие многоугольное, т.е. некруглое сечение, так чтобы приводить во вращение деталь, в которой отверстие под ось имеет форму, согласованную с вышеуказанным многоугольным сечением. Однако эта конфигурация, в частности, в случае системы шестерен, вызывает асимметрию оси, что отрицательно влияет на изохронизм хода часов и требует применения других систем шестерен, прикрепленных к той же оси для адаптации отверстий под оси, имеющих такую же форму.
Кроме того, в случае составного элемента часов, т.е. элемента, который включает в себя два типа материала, например, системы шестерен типа зубчатое колесо - шестерня, элемент трудно прикрепить к многоугольной оси без поломки, если один из материалов включает в себя участок с очень ограниченным диапазоном пластической деформации, например, кристаллический кремний, кристаллический глинозем или кристаллический кремнезем.
Раскрытие изобретения
Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы устранить все или часть вышеуказанных недостатков с помощью системы шестерен, включающей в себя крепежное устройство, которое может предотвратить возникновение напряжения сдвига и может быть адаптировано к цилиндрической оси круглого сечения.
Таким образом, изобретение относится к системе шестерен, содержащей шестерню и зубчатое колесо, установленные соосно относительно поворотной оси; отличающейся тем, что она включает в себя крепежное устройство между вышеуказанной шестерней и вышеуказанным колесом для предотвращения относительного перемещения одного из них относительно другого.
По другим преимущественным характеристикам изобретения:
- крепежное устройство включает в себя выемку или фасонное углубление, форма которого, по меньшей мере, частично согласуется с сечением вышеуказанной шестерни и которое выполнено на ступице вышеуказанного колеса для крепления вышеуказанной шестерни и колеса при вращении;
- выемка выполнена на части толщины вышеуказанной ступицы, так чтобы блокировать относительное перемещение посредством частичного окружения шестерни;
- ось является приблизительно цилиндрической с круглым сечением;
- ось и шестерня изготовлены из металлического материала;
- шестерня объединена с осью;
- зубчатое колесо изготовлено из материала, подвергающегося микрообработке;
- материал, подвергающийся микрообработке, выбирается из группы, включающей в себя кристаллический кремний, кристаллический глинозем или кристаллический кремнезем;
- крепежное устройство дополнительно включает в себя вязкий или адгезивный материал, который наносится между колесом и шестерней для повышения усилия крепления вышеуказанного устройства.
Изобретение также относится к часам, отличающимся тем, что они включают в себя систему шестерней по одному из предыдущих вариантов.
И, наконец, изобретение относится к способу изготовления элемента часов из материала, подвергающегося микрообработке с несколькими уровнями, который включает в себя следующие этапы:
a) обеспечение подложки, выполненной из материала, подвергающегося микрообработке;
b) нанесение маски, которая включает в себя первый контур на поверхности вышеуказанной подложки;
отличающемуся тем, что он включает в себя следующие этапы:
c) нанесение второй маски на поверхность вышеуказанной подложки и вышеуказанной первой маски, при этом вышеуказанная вторая маска включает в себя второй контур, который меньше, первого контура вышеуказанной первой маски;
d) выполнение анизотропного травления для травления второго контура по первой толщине подложки;
e) удаление второй маски;
f) выполнение второго анизотропного травления для продолжения травления по второму контуру и начала травления по первому контуру по второй толщине подложки;
g) удаление первой маски;
h) освобождение элемента часов от подложки.
По другим преимущественным характеристикам изобретения:
- второй контур травится по всей толщине подложки;
- второй контур имеет форму зубчатого колеса, ступица которого включает в себя отверстие под ось;
- первый контур имеет форму зубчатого кольца и частично травится по толщине подложки;
- первая маска выполняется из окиси кремния, и вторая маска выполняется из фоточувствительной смолы;
- несколько элементов изготавливаются на одной и той же подложке.
Краткое описание чертежей
Другие отличительные особенности и преимущества станут понятными из следующего описания, которое приводится с помощью неограничительного пояснения со ссылкой на приложенные чертежи, на которых:
фиг 1-6 - последовательные этапы изготовления элемента часов по изобретению;
фиг.7-9 - последовательные этапы окончательной сборки системы шестерен по изобретению.
Осуществление изобретения
Как показано на фиг.7-9, изобретение относится к системе шестерен, в общем обозначенной как поз.1. Она включает в себя ось, шестерню 5 и зубчатое колесо 7. В примере, показанном на фиг.7-9, шестерня 5 и зубчатое колесо 7 предназначены для соосной установки на одной оси 3. Этот тип системы 1 шестерен, например, может использоваться для анкерного колеса в сборе или передающего колеса в сборе. Разумеется, изобретение может применяться для других элементов часов или элементов, не относящихся к часовому делу.
Как показано на фиг.7-9, ось 3 является приблизительно цилиндрической и имеет круглое сечение, т.е. является полностью симметричной при установке между двумя опорами (не показано) стандартным образом, как объясняется выше.
Шестерня 5 имеет корпус цилиндрической формы, внутренний диаметр которого приблизительно согласуется с наружным диаметром оси 3. Шестерня 5 включает в себя зубья 9, которые продолжаются радиально от вышеуказанного корпуса для взаимодействия с другим зубчатым элементом (не показано). В примере, показанном на фиг.7-9, шестерня 5 имеет 20 зубьев 9 или около этого, однако, в зависимости от применения системы 1 шестерен, количество зубьев может быть большим или меньшим.
Колесо 7 включает в себя обод 11, ступицу 13 с многоугольным или цилиндрическим отверстием 15 под ось и четыре плеча 17, соединяющих вышеуказанную ступицу и вышеуказанный обод. Как показано на фиг.7-9, обод 11 имеет на периферии зубья 19, которые продолжаются радиально от вышеуказанного обола 11 для взаимодействия с другим зубчатым элементом (не показано). Разумеется, количество плеч 17, соединяющих обод 11 и ступицу 13 может быть большим и ли меньшим в зависимости от применения.
По изобретению ступица 13 предпочтительно включает в себя крепежное устройство 21 для предотвращения относительного перемещения колеса 7 относительно шестерни 5 с целью уменьшения напряжение сдвига. По изобретению крепежное устройство 21 в основном, включает в себя фасонное углубление 23, образованное на ступице 13, для взаимодействия с нижней частью шестерни 5 за счет ее частичного закрывания.
Предпочтительно, как показано на фиг.7-9, фасонное углубление 23 выполнено в ступице 13. Кроме того, фасонное углубление 23 включает в себя форму, которая, по меньшей мере, частично, согласована с сечением нижней части шестерни 5, т.е. кольцо, включающее в себя зубья, в которое входят, по меньшей мере, некоторая часть зубьев 9 и корпус шестерни 5 на некоторой части высоты вышеуказанной шестерни. Таким образом, понятно, что когда нижняя часть шестерни 5 входит в фасонное углубление 23, эта сборочная единица ограничивает любые угловые перемещения между шестерней 5 и колесом 7, соответственно, предотвращая возникновение напряжения сдвига.
В примере, показанном на фиг.7-9, фасонное углубление 23 имеет форму, которая точно согласована с сечением шестерни 5. Однако понятно, что фасонное углубление 23 может включать в себя меньшее количество зубьев, чем количество зубьев, имеющееся на шестерне 5, и все-таки может препятствовать образованию напряжений сдвига. Это фасонное углубление может, например, содержать количество зубьев вдвое меньше количества зубьев 9 на шестерне 5.
Предпочтительно, система 1 шестерен является системой составного типа, т.е. образована, по меньшей мере, из двух типов материала. Соответственно, один из элементов предпочтительно образован из материала, подвергаемого микрообработке, а другие - из металлических материалов. По изобретению материал, подвергаемый микрообработке, используется для получения выгоды от изготовления с точностью менее микрона. Этот материал может содержать кристаллический кремний, кристаллический глинозем или кристаллический кремнезем. Другие элементы предпочтительно изготавливаются из металлических материалов, когда не требуется, чтобы они имели более точные размеры, чем те, которые можно получить при обработке вышеуказанных металлических материалов.
По изобретению колесо 7 предпочтительно образовано из материала, подвергаемого микрообработке, в то время как ось 3 и шестерня 5 изготовлены из металлического материала, например, из стали или латуни. Эта конфигурация может быть полезной, в частности, для применения анкерного колеса, так чтобы получить высокоточные импульсные зубья 19, а также фасонное углубление 23. Фактически, как видно из фиг.7, колесо 7 имеет промежуточную глубину травления фасонного углубления 23 и общее травление остального материала элемента.
По варианту изобретения крепежное устройство 21 дополнительно включает в себя адгезивное вещество, которое наносится между фасонным углублением 23 и шестерней 5, так чтобы увеличить крепежное усилие вышеуказанного устройства. Этот материал может быть, например, припоем или адгезивом. Фактически, соединение, использующее адгезивный материал, в общем, эффективно работает на растяжение, но плохо на сдвиг. Таким образом, понятно, что из за конфигурации крепежного устройства 21 крепежное усилие повышается за счет преимуществ вышеуказанного растяжения и преимуществ сдвига от частичного закрывания с помощью фасонного углубления 23.
Адгезивный материал может быть помещен, например, между нижней частью фасонного углубления 23 и нижней частью шестерни 5. С таким же успехом адгезивный материал может быть помещен между периферией зубьев 9 и зубьев фасонного углубления 23. Эта последняя конфигурация является особо преимущественной, когда форма фасонного углубления 23 не согласуется точно с сечением шестерни 5, как объясняется выше.
Способ изготовления элемента из материала, подвергаемого микрообработке и имеющего несколько уровней, будет объяснен со ссылкой на фиг.1-6. Как объясняется выше, элементом, изготавливаемым из материала, подвергаемого микрообработке, является зубчатое колесо 7. Для того, чтобы упростить вышеуказанные фигуры и сконцентрировать внимание на объяснении травления на нескольких уровнях, на разрезе показана только часть ступицы 13. Разумеется, что помимо отверстия 15 под ось, которое травится на всю глубину, изготавливаются другие сквозные выемки для ограничения ступицы 13, плеч 17, обода 11 и зубьев 19.
На первом этапе, как показано фиг.1, обеспечивается подложка 31 из материала, подвергаемого микрообработке, предпочтительно, например, из кристаллического кремния, кристаллического глинозема или кристаллического кремнезема. Этот этап может включать в себя фазу механического и/или химического полирования с целью адаптации толщины еТ подложки 31 к толщине готового элемента, т.е. колеса 7.
На втором этапе на верхней части подложки 31 получают первую защитную маску 33. Этот этап выполняется, например, посредством выборочного окисления поверхности подложки 31 для увеличения слоя окиси кремния и образования вышеуказанной маски заданной толщины. Как видно из фиг.2, маска 33 показывает контур 32 фасонного углубления 23, которое должно быть вытравлено на части е2 толщины подложки 31.
На третьем этапе получают вторую защитную маску 35, перекрывающую маску 33, изготовленную на втором этапе. Этот этап может быть выполнен с помощью фотолитографии фоточувствительной смолы. Во время первой фазы фоточувствительная смола наносится на подложку 31 и на защитную маску 33. Во время второй фазы смола избирательно подвергается воздействию излучения через частично непрозрачную маску. И, наконец, избирательно просвеченная фоточувствительная смола проявляется, чтобы оставить только защитную маску 35, показанную на фиг.3, которая указывает контур 34 отверстия 15 под ось и другие сквозные выемки в колесе 7, подвергаемые травлению по толщине подложки 31.
По варианту выполнения вторая маска 35 также может быть получена за счет избирательного окисления поверхности подложки 31 для увеличения слоя окиси кремния и образования вышеуказанной маски заданной толщины.
На четвертом этапе, как показано на фиг.4, на подложке 31 выполняется анизотропное травление по контуру 34 второй защитной маски 35. Травление может быть сухим или влажным. Предпочтительно используется глубинное реактивное ионное травление (DRIE). Как объясняется выше, в колесе 7 может выполняться как травление отверстия 15 под ось, так и травление других сквозных выемок. Как показано на фиг.4, в конце травления подложка 31 должна быть протравлена по контуру 3 на части e1 ее толщины еТ.
На пятом этапе удаляется вторая маска 35. В зависимости от типа второй маски 35 это может представлять собой соответственно удаление нанесенной смолы или травление слоя окиси кремния до тех пор, пока воздействию не будет подвергнут контур 32.
На шестом этапе выполняется второе анизотропное травление на подложке 31 по контуру 32 первой защитной маски 33. Травление также может быть сухим или влажным. Аналогично четвертому этапу во время второго травления продолжается травление отверстия 15 под ось, а также других сквозных отверстий в колесе 7, и начинается травление фасонного углубления 23. Как показано на фиг.5, в конце второго травления подложка 31 должна быть протравлена по всей толщине еТ и по контуру 34 и по части е2 ее толщины по контуру 32.
По изобретению предпочтительно, чтобы сечение контура 34 второй маски 35 у ступицы 13 было меньше, как показано на фиг.3 и 4, чем сечение контура 32 первой маски 33. Это означает, что контур 34 может подвергаться отдельному травлению, а затем контуры 34 и 32 могут подвергаться совместному травлению. На седьмом и заключительном этапе готовое колесо 7 можно освободить от подложки 31.
Из описания способа изготовления элемента 7 часов понятно, что в зависимости от общей толщины еТ подложки 31 и глубины е2 фасонного углубления 23 можно определить минимальную глубину e1 травления, которое должно быть выполнено на четвертом этапе, так чтобы отверстие 15 под ось и другие выемки, ограничивающие ступицу 11, плечи 17, обод 11 и зубья 19 были протравлены на всю толщину подложки 31. Также понятно, что преимущественно способ изготовления позволяет изготавливать несколько элементов 7 на одной и той же подложке 31.
Способ окончательной сборки будет объяснен со ссылкой фиг.7-9. Прежде всего, шестерня 5 должна быть неподвижно закреплена на оси 3. Предпочтительно по изобретению для упрощения вышеуказанного способа сборки, а также для ограничения скольжения между шестерней 5 и осью 3 первая деталь объединяется со второй деталью для образования одного компонента. Разумеется, что возможны другие типы сборки, например, ввертывание, склеивание или пайка.
На втором этапе сборочная единица шестерня 5 - ось 3 устанавливается на элемент 7 часов, изготовленный по способу изготовления, объясненному выше, в данном примере на зубчатое колесо, для образования составной системы 1 шестерней. Во время первой фазы сборочная единица шестерня 5 - ось 3 перемещается к элементу 7, так чтобы нижний конец оси 3 находился напротив отверстия 15 под ось в колесе 7, как показано на фиг.7. Во время второй фазы ось 3, продолжая перемещаться к элементу 7, скользит через отверстие 15 под ось по плотной посадке, как показано на фиг.8, до тех пор, пока нижняя часть шестерни 5 не войдет в фасонное углубление 23 в ступице 13 колеса 7.
Как объясняется выше, по варианту выполнения изобретения для повышения усилия крепления шестерни 5 и колеса 7 может использоваться адгезивный материал. В этом варианте могут быть добавлены две дополнительных фазы. Промежуточная фаза между второй и третьей фазами способа окончательной сборки может состоять в нанесении вышеуказанного материала в нижнюю часть фасонного углубления 23. Этот материал может быть припоем и/или адгезивом, например, полимерным адгезивом. Заключительная фаза может следовать за третьей фазой и будет активировать адгезивный материал, например, посредством расплавления вышеуказанного припоя и/или полимеризации вышеуказанного адгезива.
Также могут быть предусмотрены две заключительных фазы. Первая фаза может состоять в нанесении вышеуказанного материала между зубьями фасонного углубления 23 и зубьями 9 шестерни 5. Этот материал также может быть припоем и/или адгезивом, например, полимерным адгезивом. Вторая заключительная фаза может активировать адгезивный материал, например, посредством расплавления вышеуказанного припоя и/или полимеризации вышеуказанного адгезива. Этот вариант выполнения является особо преимущественным, когда форма фасонного углубления 23 не согласуется точно с сечением шестерни 5, как объясняется выше.
Как показано на фиг.9, получена составная система 1 шестерен из зубчатого колеса и шестерни, которая может быть установлена в часы и которая включает в себя колесо 7, изготовленное из материала, подвергаемого микрообработке, при этом его обод 11 имеет зубья 19, и ступица 13 преимущественно связана со сборочной единицей ось 3 - шестерня 5 с помощью крепежного устройства 21.
Разумеется, что настоящее изобретение не ограничивается до пояснительного примера, а может подвергаться различным изменениям, которые будут понятны специалистам в этой области техники. В частности, фасонное углубление 23 может, по меньшей мере, частично выступать из ступицы 13. Фактически, это увеличило бы зону контакта между осью 3 и ступицей 13, что улучшило бы направление колеса 7 относительно оси 3. Вышеуказанная зона контакта могла бы соответствовать полной высоте колеса 7, и фасонное углубление 23 полностью выступало бы из ступицы 13 колеса 7 вместо, по меньшей мере, частичного углубления.
Claims (16)
1. Система (1) шестерен, включающая в себя шестерню (5) и зубчатое колесо (7), соосно установленные относительно поворотной оси (3), и крепежное устройство (21) между вышеуказанной шестерней и вышеуказанным колесом для предотвращения относительного перемещения одного из них относительно другого, отличающаяся тем, что крепежное устройство (21) включает в себя фасонное углубление (23), форма которого, по меньшей мере, частично согласуется с сечением вышеуказанной секции и которое выполнено на ступице (13) вышеуказанного колеса для крепления вышеуказанной шестерни и колеса при вращении.
2. Система (1) по п.1, отличающаяся тем, что фасонное углубление (23) выполнено на части толщины (е2) вышеуказанной ступицы для блокирования относительного перемещения посредством частичного окружения шестерни (5).
3. Система (1) по п.1, отличающаяся тем, что ось (3) является приблизительно цилиндрической с круглым сечением.
4. Система (1) по п.1, отличающаяся тем, что ось (3) и шестерня (5) изготовлены из металлического материала.
5. Система (1) по п.1, отличающаяся тем, что шестерня (5) объединена с осью (3).
6. Система (1) по п.1, отличающаяся тем, что зубчатое колесо (7) изготовлено из материала, подвергающегося микрообработке.
7. Система (1) по п.6, отличающаяся тем, что материал, подвергающийся микрообработке, выбирается из группы, включающей в себя кристаллический кремний, кристаллический глинозем или кристаллический кремнезем.
8. Система (1) по п.1, отличающаяся тем, что крепежное устройство (21) дополнительно включает в себя адгезивный материал, который наносится между колесом (7) и шестерней (5) для повышения крепежного усилия вышеуказанного устройства.
9. Часы, включающие в себя систему (1) шестерен по любому из пп.1-8.
10. Способ изготовления зубчатого элемента (7) системы шестерен (1) из материала, подвергающегося микрообработке на нескольких уровнях, который включает в себя следующие этапы:
a) обеспечение подложки (31), выполненной из материала, подвергающегося микрообработке;
b) нанесение маски (33), которая включает в себя первый контур (32) на поверхности вышеуказанной подложки;
отличающийся тем, что он включает в себя следующие этапы:
c) нанесение второй маски (35) на поверхность вышеуказанной подложки и вышеуказанной первой маски (33), при этом вышеуказанная вторая маска включает в себя второй контур (34), который меньше первого контура (32) вышеуказанной первой маски;
d) выполнение анизотропного травления для травления второго контура (34) по первой толщине (e1) подложки (31);
e) удаление второй маски (35);
f) выполнение второго анизотропного травления для продолжения травления по второму контуру (34) и начала травления по первому контуру (32) по второй толщине (е2) подложки (31);
g) удаление первой маски (33);
h) освобождение элемента (7) часов от подложки (31).
a) обеспечение подложки (31), выполненной из материала, подвергающегося микрообработке;
b) нанесение маски (33), которая включает в себя первый контур (32) на поверхности вышеуказанной подложки;
отличающийся тем, что он включает в себя следующие этапы:
c) нанесение второй маски (35) на поверхность вышеуказанной подложки и вышеуказанной первой маски (33), при этом вышеуказанная вторая маска включает в себя второй контур (34), который меньше первого контура (32) вышеуказанной первой маски;
d) выполнение анизотропного травления для травления второго контура (34) по первой толщине (e1) подложки (31);
e) удаление второй маски (35);
f) выполнение второго анизотропного травления для продолжения травления по второму контуру (34) и начала травления по первому контуру (32) по второй толщине (е2) подложки (31);
g) удаление первой маски (33);
h) освобождение элемента (7) часов от подложки (31).
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что второй контур (34) травится по всей толщине (еT) подложки (31).
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что второй контур (34) имеет форму зубчатого колеса (7), ступица (13) которого включает в себя отверстие (15) под ось.
13. Способ по п.10, отличающийся тем, что первый контур (32) имеет форму зубчатого кольца (23) и частично травится по толщине (е2) подложки (31).
14. Способ по п.10, отличающийся тем, что первая маска (33) выполнена из окиси кремния, и вторая маска (35) выполнена из фоточувствительной смолы.
15. Способ по п.10, отличающийся тем, что первая (33) и вторая (35) маски выполнены из окиси кремния.
16. Способ по любому из пп.10-15, отличающийся тем, что несколько элементов (7) изготавливаются на одной и той же подложке (31).
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP08162475A EP2154582A1 (fr) | 2008-08-15 | 2008-08-15 | Procédé d'engrenage pour pièce d'horlogerie |
EP08162475.1 | 2008-08-15 | ||
PCT/EP2009/059477 WO2010018051A1 (fr) | 2008-08-15 | 2009-07-23 | Système d'engrenage pour une pièce d'horlogerie |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2011109457A RU2011109457A (ru) | 2012-09-20 |
RU2498383C2 true RU2498383C2 (ru) | 2013-11-10 |
Family
ID=40428254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011109457/28A RU2498383C2 (ru) | 2008-08-15 | 2009-07-23 | Система шестерен для часов |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9310770B2 (ru) |
EP (2) | EP2154582A1 (ru) |
JP (1) | JP5395174B2 (ru) |
KR (1) | KR20110030692A (ru) |
CN (1) | CN102124415B (ru) |
HK (1) | HK1160233A1 (ru) |
RU (1) | RU2498383C2 (ru) |
TW (1) | TWI486729B (ru) |
WO (1) | WO2010018051A1 (ru) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5872181B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2016-03-01 | セイコーインスツル株式会社 | 機械部品、機械組立体および時計 |
JP2012215183A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Seiko Instruments Inc | 機械部品組立体、機械部品組立体の製造方法、および時計 |
KR101867998B1 (ko) * | 2011-06-14 | 2018-06-15 | 삼성전자주식회사 | 패턴 형성 방법 |
EP2579104B1 (fr) * | 2011-10-07 | 2014-06-25 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Procédé de réalisation d'une pièce d'horlogerie composite |
JP6222725B2 (ja) * | 2013-07-25 | 2017-11-01 | セイコーインスツル株式会社 | 時計用歯車、脱進機構、時計用ムーブメントおよび機械式時計 |
EP2937311B1 (fr) * | 2014-04-25 | 2019-08-21 | Rolex Sa | Procédé de fabrication d'un composant horloger renforcé, composant horloger et pièce d'horlogerie correspondants |
DE102014117436B3 (de) * | 2014-11-27 | 2015-11-05 | Lange Uhren Gmbh | Schrittschalteinrichtung |
CH712261B1 (fr) * | 2016-03-16 | 2020-11-30 | Gfpi S A | Système d'affichage pour pièce d'horlogerie. |
JP2018155523A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | セイコーインスツル株式会社 | 時計部品、ムーブメントおよび時計 |
EP3495894B1 (fr) * | 2017-12-05 | 2023-01-04 | Rolex Sa | Procédé de fabrication d'un composant horloger |
US11686381B1 (en) | 2020-05-08 | 2023-06-27 | Cornerstone Research Group, Inc. | Composite gear assembly and method of making same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH694465A5 (de) * | 2004-05-10 | 2005-01-31 | Prec Engineering Ag | Verfahren zum Bearbeiten von metallischen Körpern, insbesondere von Uhrenbestandteilen. |
RU2275667C2 (ru) * | 2003-03-12 | 2006-04-27 | Пьер Кунц С.А. | Подвижная деталь, предназначенная для введения в контакт с другим подвижным или неподвижным элементом |
EP1705533A1 (fr) * | 2005-03-22 | 2006-09-27 | Patek Philippe S.A. | Assemblage d'une pièce sur un axe |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US217291A (en) * | 1879-07-08 | Improvement in watch and clock pinions | ||
US2917955A (en) * | 1956-11-19 | 1959-12-22 | Sterling Multi Products Inc | Testing device for self-winding mechanisms |
JPS55948Y2 (ru) * | 1975-07-14 | 1980-01-11 | ||
JPS59135385A (ja) * | 1983-01-25 | 1984-08-03 | Seiko Epson Corp | 指針表示式時計の番車スベリ機構 |
JPS61253488A (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-11 | Seiko Epson Corp | 番車構造 |
JPH0283487U (ru) * | 1988-12-19 | 1990-06-28 | ||
US5585864A (en) * | 1992-06-24 | 1996-12-17 | Seiko Epson Corporation | Apparatus for effecting high speed transfer of video data into a video memory using direct memory access |
FR2731715B1 (fr) * | 1995-03-17 | 1997-05-16 | Suisse Electronique Microtech | Piece de micro-mecanique et procede de realisation |
US5703607A (en) * | 1996-03-27 | 1997-12-30 | Acer Peripherals, Inc. | Drive circuit for displaying seven-segment decimal digit |
CA2265032A1 (en) * | 1998-04-24 | 1999-10-24 | J.J. Mackay Canada Limited | Multiple electronic purse parking meter |
EP0994398B1 (fr) * | 1998-10-15 | 2009-01-21 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Procédé de fabrication d'un mobile d'horlogerie et mobile d'horlogerie fabriqué selon ce procédé |
USD440583S1 (en) * | 2000-06-10 | 2001-04-17 | George J. Greene, Jr. | Watch winder |
US6967900B2 (en) * | 2001-10-22 | 2005-11-22 | Maverick Industries, Inc. | Combination clock radio, weather station and message organizer |
JP2004072374A (ja) * | 2002-08-06 | 2004-03-04 | Casio Comput Co Ltd | 電子スチルカメラ及び撮像方法 |
ITMI20030270U1 (it) * | 2003-06-09 | 2004-12-10 | S C S & Co S R L | Struttura di supporto e per la ricarica particolarmente per orologi da polso automatici |
CN2692715Y (zh) * | 2004-03-19 | 2005-04-13 | 高金妹 | 一种石英钟/表的分针轮 |
US6964513B1 (en) * | 2004-12-09 | 2005-11-15 | Charles Agnoff | Cylinder watch winder |
JP2006234437A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Seiko Instruments Inc | 歯車構造体及びこれを備えた時計 |
US20070159929A1 (en) * | 2006-01-06 | 2007-07-12 | Louie Lip M | Watch-winding apparatus |
EP1835050A1 (fr) * | 2006-03-15 | 2007-09-19 | Doniar S.A. | Procédé de fabrication par LIGA-UV d'une structure métallique multicouche à couches adjacentes non entièrement superposées, et structure obtenue |
DE602006007807D1 (de) * | 2006-04-07 | 2009-08-27 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Mechanischer Wechsler zum Drehantreiben eines Rades aus einer einzelnen Richtung |
DE602006019612D1 (de) * | 2006-11-13 | 2011-02-24 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | MEMS-Mikromotor und mit diesem Mikromotor ausgerüstete Uhr |
CN201075165Y (zh) * | 2007-08-21 | 2008-06-18 | 深圳市精瑞机芯有限公司 | 一种手表分轮部件的新型组合结构 |
-
2008
- 2008-08-15 EP EP08162475A patent/EP2154582A1/fr not_active Withdrawn
-
2009
- 2009-07-23 JP JP2011522460A patent/JP5395174B2/ja active Active
- 2009-07-23 KR KR1020117003449A patent/KR20110030692A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-07-23 CN CN2009801316418A patent/CN102124415B/zh active Active
- 2009-07-23 WO PCT/EP2009/059477 patent/WO2010018051A1/fr active Application Filing
- 2009-07-23 US US13/059,216 patent/US9310770B2/en active Active
- 2009-07-23 EP EP09806405.8A patent/EP2326995B1/fr active Active
- 2009-07-23 RU RU2011109457/28A patent/RU2498383C2/ru active
- 2009-07-28 TW TW098125412A patent/TWI486729B/zh active
-
2012
- 2012-01-12 HK HK12100380.4A patent/HK1160233A1/xx unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2275667C2 (ru) * | 2003-03-12 | 2006-04-27 | Пьер Кунц С.А. | Подвижная деталь, предназначенная для введения в контакт с другим подвижным или неподвижным элементом |
CH694465A5 (de) * | 2004-05-10 | 2005-01-31 | Prec Engineering Ag | Verfahren zum Bearbeiten von metallischen Körpern, insbesondere von Uhrenbestandteilen. |
EP1705533A1 (fr) * | 2005-03-22 | 2006-09-27 | Patek Philippe S.A. | Assemblage d'une pièce sur un axe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201011481A (en) | 2010-03-16 |
WO2010018051A1 (fr) | 2010-02-18 |
HK1160233A1 (en) | 2012-08-10 |
KR20110030692A (ko) | 2011-03-23 |
US20110141860A1 (en) | 2011-06-16 |
EP2326995B1 (fr) | 2013-06-19 |
TWI486729B (zh) | 2015-06-01 |
EP2154582A1 (fr) | 2010-02-17 |
JP5395174B2 (ja) | 2014-01-22 |
CN102124415B (zh) | 2012-12-19 |
JP2012500386A (ja) | 2012-01-05 |
EP2326995A1 (fr) | 2011-06-01 |
RU2011109457A (ru) | 2012-09-20 |
US9310770B2 (en) | 2016-04-12 |
CN102124415A (zh) | 2011-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2498383C2 (ru) | Система шестерен для часов | |
JP5478498B2 (ja) | シリコン/金属複合体マイクロメカニカル構成要素およびこれを製造する方法 | |
JP4894052B2 (ja) | シャフトへ組立挿入する変形した開口を有する微細機械加工部品 | |
KR101245025B1 (ko) | 조립체 요소 및 이를 포함하는 시계 | |
RU2718761C2 (ru) | Часовое колесико с устраняемым мертвым ходом | |
RU2525321C2 (ru) | Устройство для радиального зажима детали в часах | |
JP6772790B2 (ja) | 時計部品の製造方法、及び時計の製造方法 | |
CN103979483B (zh) | 制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件的方法 | |
JP2008122385A (ja) | フォーク形状弾性構造体を備える組立要素およびそれを備える時計 | |
JP5872181B2 (ja) | 機械部品、機械組立体および時計 | |
JP6364062B2 (ja) | 受圧弾性手段を備えた複合部品 | |
US20080112276A1 (en) | Assembly element including two series of elastic structures and timepiece fitted with the same | |
JP6891646B2 (ja) | 機械式部品、時計 | |
JP6915602B2 (ja) | 時計部品および時計 | |
US10761483B2 (en) | Mechanical part, timepiece, and method of manufacturing a mechanical part | |
RU2598395C2 (ru) | Сложная микромеханическая деталь | |
US20140041477A1 (en) | Freely mounted wheel set made of micro-machinable material and method of fabricating the same | |
KR20080063503A (ko) | 유성 기어 드라이브를 포함하는 아날로그 디스플레이 장치 | |
CN107215846B (zh) | 具有至少一个视错觉图案的硅基部件的制造方法 | |
JP2006064575A (ja) | 時計用部品、時計用組立部品、および時計 | |
JP6743619B2 (ja) | 機械部品の製造方法、及び時計の製造方法 | |
JP6738165B2 (ja) | 機械部品、ムーブメントおよび時計 | |
JP6919166B2 (ja) | 機械部品の製造方法、及び時計の製造方法 | |
JP2018044835A (ja) | 機械部品の製造方法、及び時計の製造方法 | |
JP2017053706A (ja) | 時計用部品及びその製造方法 |