KR20110030692A - 시계용 기어 시스템 - Google Patents

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KR20110030692A
KR20110030692A KR1020117003449A KR20117003449A KR20110030692A KR 20110030692 A KR20110030692 A KR 20110030692A KR 1020117003449 A KR1020117003449 A KR 1020117003449A KR 20117003449 A KR20117003449 A KR 20117003449A KR 20110030692 A KR20110030692 A KR 20110030692A
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KR
South Korea
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pattern
mask
pinion
gear system
substrate
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Application number
KR1020117003449A
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English (en)
Inventor
마르코 베르나도
티에리 코너스
진-필리페 티에바우트
진-베르나르드 피터스
피에레 쿠신
Original Assignee
니바록스-파 에스.에이.
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Application filed by 니바록스-파 에스.에이. filed Critical 니바록스-파 에스.에이.
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    • G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
    • G04D3/0069—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for working with non-mechanical means, e.g. chemical, electrochemical, metallising, vapourising; with electron beams, laser beams
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B13/00—Gearwork
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Abstract

본 발명은 피봇회전 아버(3)에 대해 동축을 이루도록 장착된 톱니형 휠(7)과 피니언(5)을 포함하는 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따라서, 기어 시스템(1)은 서로에 대한 임의의 상대 운동을 방지하기 위해 상기 피니언과 상기 휠 사이에 고정 장치(21)를 포함한다.
또한, 본 발명은 상기 기어 시스템(1)의 최종 조립체와 톱니형 휠(7)을 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 시계 분야에 관한 것이다.

Description

시계용 기어 시스템{GEARING SYSTEM FOR A TIMEPIECE}
본 발명은, 예를 들면 시계용 실리콘-금속과 같은 복합재 기어 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로 전단 응력을 방지될 수 있는 고정 장치를 포함한 타입의 시스템에 관한 것이다.
전단 응력을 방지하기 위해, 시계학 분야에서는 아버 홀이 다각형 섹션과 일치되는 형태를 가진 부품을 회전구동시키기 위해 다각형, 즉 비원형 섹션을 가진 아버를 이용하는 것으로 공지되었다. 그러나, 이러한 형상은 특히, 기어 트레인의 경우 시계 무브먼트의 등시 운동에 부정적인 영향을 미치며, 동일한 형태의 아버 홀을 장착하기 위해 동일한 아버에 고정된 그 외의 다른 기어 트레인이 필요하다.
게다가, 복합재 시계 부재, 즉 톱니형 휠-피니언 타입의 기어 시스템과 같은 2가지 타입의 재료를 포함하는 부재의 경우, 재료들 중 한 재료가 결정질 실리콘, 결정질 알루미나 또는 결정질 실리카와 같은 매우 제한된 플라스틱 범위를 포함하는 경우 이를 깨트리지 않고 다각형 아버에 부재를 부착시키기가 어렵다.
본 발명의 목적은 전단 응력을 방지할 수 있으며, 원형 섹션의 원통형 아버에 장착될 수 있는, 고정 장치를 포함하는 기어 시스템을 제안함으로써 상기 언급된 모든 단점 또는 일부를 극복하는 데 있다.
따라서, 본 발명은 피봇회전 아버(pivoting arbour)에 대해 동축을 이루도록 장착된 톱니형 휠과 피니언을 포함하는 기어 시스템에 관한 것으로, 상기 기어 시스템은 서로에 대한 임의의 상대 운동을 방지하기 위해 상기 피니언과 상기 휠 사이에 고정 장치를 포함한다.
본 발명의 그 외의 다른 선호되는 특징에 따라서,
-상기 고정 장치는 임프레션 또는 패턴 캐비티를 포함하고, 상기 임프레션 또는 패턴 캐비티의 형태는 회전 시 상기 피니언과 휠을 고정하기 위하여 상기 휠의 허브 상에 형성된 상기 피니언의 섹션과 적어도 부분적으로 일치되며,
-임프레션은 피니언을 부분적으로 둘러쌈으로써 임의의 상대 운동을 방지하기 위해 상기 허브의 두께의 일부분으로 형성되고,
-원형 섹션을 포함하는 아버는 대략 원통형이며,
-아버와 피니언은 금속 재료로 제조되고,
-피니언은 아버와 일체구성되며,
-톱니형 휠은 미세-가공가능한 재료로 제조되고,
-미세-가공가능한 재료는 결정질 실리콘, 결정질 알루미나 및 결정질 실리카를 포함하는 그룹으로부터 선택되며,
-고정 장치는 상기 장치의 고정력을 증가시키기 위해 피니언과 휠 사이에 배치되는 접착제 또는 접착 재료를 추가로 포함한다.
또한, 본 발명은 시계에 관한 것으로, 전술한 변형예들 중 하나에 따르는 기어 시스템을 포함하는 것을 특징으로 한다.
최종적으로, 본 발명은
a) 미세-기계가공가능한 재료로 제조된 기판을 제공하는 단계 및
b) 상기 기판의 표면에 제 1 패턴을 포함하는 마스크를 구조화하는 단계를 포함하는, 몇몇의 수준의 미세-기계가공가능한 재료로 시계 부재를 제조하는 방법에 관한 것으로, 상기 방법은
c) 상기 제 1 마스크와 상기 기판의 표면에 제 2 마스크를 구조화하는 단계를 포함하고, 상기 제 2 마스크는 상기 제 1 마스크의 제 1 패턴보다 작은 제 2 패턴을 포함하고,
d) 기판의 제 1 두께 이상으로 제 2 패턴을 에칭하기 위해 이방성 에칭을 수행하는 단계를 포함하며,
e) 제 2 마스크를 제거하는 단계를 포함하고,
f) 제 2 패턴을 따라 에칭을 지속하고, 기판의 제 2 두께 이상으로 제 1 패턴을 따라 에칭을 개시하기 위해 제 2 이방성 에칭을 수행하는 단계를 포함하고,
g) 제 1 마스크를 제거하는 단계를 포함하며 및
h) 기판으로부터 시계 부재를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 그 외의 다른 선호되는 특징에 따라서,
-제 2 패턴은 기판의 전체 두께로 에칭되고,
-제 2 패턴은 톱니형 휠의 형태를 가지며, 상기 휠의 허브는 아버 홀을 포함하며,
-제 1 패턴은 기판의 두께로 부분적으로 에칭되고, 톱니형 링의 형태를 가지며,
-제 1 마스크는 실리콘 옥사이드로 제조되고, 제 2 마스크는 감광성 수지로 제조되고,
-몇몇의 부재는 동일한 기판상에 제조된다.
그 외의 다른 세부사항과 장점이 첨부된 도면에 따르는 비-제한적인 실례에 따르는 하기 기술 내용으로부터 명확해진다.
도 1 내지 도 6은 본 발명에 따르는 시계 부재를 제조하는 일련의 단계를 도시한 도면.
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따르는 기어 시스템의 최종 조립의 일련의 단계를 도시하는 도면.
도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 통상적으로 도면부호(1)로 도시된 기어 시스템(gear system)에 관한 것이다. 상기 기어 시스템은 아버(arbour, 3), 피니언(pinion, 5) 및 톱니형 휠(toothed wheel, 7)을 포함한다. 도 7 내지 도 9에 도시된 실시예에서, 피니언(5)과 휠(7)은 동일한 아버(3) 상에 동축을 이루도록 장착된다. 예를 들어, 이러한 타입의 기어 시스템(1)은 예를 들어 이스케이프 휠(escape wheel) 또는 트랜스미션 휠 세트(transmission wheel set)에 적용될 수 있다. 물론, 본 발명은 그 외의 다른 시계 부재 또는 비-시계학상 부재(non-horological member)에도 적용될 수 있다.
도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 아버(3)는 원형 섹션을 포함하는 대략 원통형이며, 즉 하기에서 기술되어 지는 바와 같이 통상적인 방식으로 2개의 베어링(도시되지 않음) 사이에 장착이 되도록 완전한 대칭 구조이다.
피니언(5)은 원통형 형태의 본체를 가지며, 상기 본체의 내측 직경 섹션은 아버(3)의 외측 직경과 대략 일치된다. 피니언(5)은 또 다른 톱니형 부재(도시되지 않음)와 협력하도록 상기 본체로부터 반경방향으로 연장되는 윙(wing, 9)을 포함한다. 도 7 내지 도 9에 도시된 실례에서, 피니언(5)은 20개 정도의 윙(9)을 갖지만 기어 시스템(1)의 이용 분야에 의존하여 개수가 많아지거나 또는 적어질 수 있다.
휠(7)은 겉테(felloe, 11), 다각형 또는 원통형 아버 홀(15)이 천공된 허브(13) 및 상기 허브와 상기 겉테를 연결하는 4개의 암(17)을 포함한다. 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 겉테(11)는 또 다른 톱니형 부재(도시되지 않음)와 협력하도록 상기 겉테로부터 반경방향으로 연장되는 주변 톱니(peripheral toothing, 19)를 가진다. 물론, 겉테(11)와 허브(13)를 연결하는 암(17)의 개수는 적용 분야에 의존하여 많아지거나 또는 줄어들 수 있다.
본 발명에 따라서, 바람직하게 허브(13)는 전단 응력이 감소되도록 피니언(5)에 대해 휠(7)의 임의의 상대 움직임을 방지하기 위한 고정 장치(21)를 포함한다. 본 발명에 따라서, 고정 장치(21)는 피니언의 하측 부분을 부분적으로 덮음으로써 피니언(5)의 하측 부분과 협력하는 허브(13) 상에 형성된 패턴 캐비티(pattern cavity, 23)를 포함한다.
바람직하게는, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 패턴 캐비티(23)는 허브(13) 내에서 파내어진다. 게다가, 패턴 캐비티(23)는 피니언(5)의 하측 부부의 섹션, 즉, 피니언(5)의 본체와 윙(9)의 하나 이상의 부분이 상기 피니언의 높이의 일부분 위에서 끼워맞춤되는 톱날(toothing)을 포함하는 링과 적어도 부분적으로 일치되는 형태를 포함한다. 따라서, 피니언(5)의 하측 부분이 패턴 캐비티(23) 내부로 미끄러질 때, 이러한 조립체는 피니언(5)과 휠(7) 사이에서 임의의 각 변위가 제한되어 임의의 전단 응력이 방지된다.
도 7 내지 도 9에 도시된 실례에서, 패턴 캐비티(23)는 피니언(5)의 섹션과 정확히 일치되는 형태를 가진다. 그러나, 패턴 캐비티(23)는 피니언(5)의 윙(9)보다 적은 개수의 톱니를 포함할 수 있으며, 여전히 임의의 전단 응력을 방지한다. 이러한 패턴 캐비티는 예를 들면 피니언(5)이 윙(9)을 가질 때보다 2배 더 적은 개수의 톱니를 갖는 톱날로 구성될 수 있다.
바람직하게는, 기어 시스템(1)은 복합재 타입, 즉 적어도 2가지 타입의 재료로 제조될 수 있다. 따라서, 바람직하게는 이러한 부재들 중 한 부재는 미세가공성 재료(micro-machinable material)로 제조되고, 그외의 다른 부재는 금속 재료로 제조된다. 본 발명에 따라서, 미세가공성 재료는 미크론 미만의 제조 정밀도에 따른 이점을 제공하기 위해 이용된다. 이러한 재료는 결정질 실리콘, 결정질 알루미나 또는 결정질 실리카를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 그 외의 다른 부재가 금속성 재료로 제조되는데, 이는 상기 금속 재료로 구현가능한 것보다 더 정밀한 치수를 가질 필요가 없을 경우이다.
본 발명에 따라서, 바람직하게는 휠(7)은 미세-가공가능한 재료로 제조되는 반면 아버(3)와 피니언(5)은 예를 들어 스틸 또는 황동과 같은 금속 재료로 제조된다. 특히, 이러한 형상은 상당히 정밀한 패턴 캐비티(23)와 임펄스 톱날(impulse toothing, 19)을 수득하기 위한 이스케이프 휠 타입(escape wheel type)의 설비에서 유용할 수 있다. 게다가, 도 7에 도시된 바와 같이, 휠(7)은 패턴 캐비티(23)를 위한 중간 에칭 깊이(intermediate etch depth)와 상기 부재의 나머지 부분을 위한 토탈 에칭(total etch)을 가진다.
본 발명의 변형예에 따라서, 고정 장치(21)는 상기 장치의 고정력을 향상시키기 위해 피니언(5)와 임프레션(impression, 23) 사이에 장착된 접착 재료를 추가로 포함한다. 이러한 재료는, 예를 들면 땜납 또는 접착제일 수 있다. 게다가, 통상적으로 접착 재료를 이용하는 연결은 잡아당김(traction) 시에는 우수하게 기능을 하지만 전단(shearing) 시에는 빈약하다. 따라서, 고정 장치(21)의 형상으로 인해, 패턴 캐비티(23)에 의해 부분적인 커버링(partial covering)의 전단 이점(shearing advantage)과 접착 재료의 상기 잡아당김 이점(traction advantage)으로 인해 고정력에 도움이 된다.
예를 들면, 접착 재료는 피니언(5)의 하측과 패턴 캐비티(23)의 하측 사이에 위치될 수 있다. 접착 재료는 패턴 캐비티(23)의 톱날과 윙(9)의 주변부 사이에 균일하게 위치될 수 있다. 상기 언급된 바와 같이, 상기 톱날의 형상은 패턴 캐비티(23)의 형태가 피니언(5)의 섹션과 정확히 일치되지 않을 경우 특히 선호된다.
몇몇의 단계에 따라 미세-가공가능한 재료로 이러한 부재를 제조하는 방법이 도 1 내지 도 6에 따라 기술되어 진다. 상기에서 설명된 바와 같이, 바람직하게는 미세-가공가능한 재료로 제조된 부재는 톱니형 휠(7)이다. 몇몇의 단계에서 에칭의 설명에 주안점을 두고 상기 도면을 단순화하기 위해, 허브(13)의 단지 하나의 부분만이 횡단면도로 도시된다. 물론, 전체적으로 에칭된 아버 홀(15)에 추가하여, 그 외의 다른 캐비티가 허브(13), 암(17), 겉테(11) 및 톱날(19)을 획정하기 위해 전체적으로 형성된다.
제 1 단계에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 예를 들면, 바람직하게 결정질 실리콘, 결정질 알루미나 또는 결정질 실리카와 같은 미세-가공가능한 재료로 구성되는 기판이 제공된다. 이러한 단계는 기판(31)의 두께(eT)를 최종 부재, 즉, 휠(7)의 두께에 적합해지도록 하는 기계식 및/또는 화학식 백랩핑 단계(backlapping phase)를 포함할 수 있다.
제 2 단계에서, 제 1 보호 마스크(33)가 기판(31)의 상측부에서 구조화된다. 이러한 단계는, 예를 들면 상기 마스크가 정해진 높이로 형성되도록 실리콘 옥사이드를 성장시키기 위해 기판(31)의 표면에서의 선택적 산화에 의해 수행될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크(33)에는 기판(31)의 두께의 일부분(e2)이 에칭되어 진 패턴 캐비티(23)의 패턴(32)이 보여진다.
제 3 단계에서, 제 2 보호 마스크(35)는 제 2 단계에서 형성된 마스크(33)를 오버랩핑하도록 구조화된다. 이러한 단계는 감광성 수지의 포토리소그래피(photolithography)에 의해 수행될 수 있다. 그 뒤, 제 1 단계에서 감광성 수지는 기판(31)과 보호 마스크(33) 상에 증착된다. 그 뒤, 제 2 단계에서 수지는 부분적으로 불투명한 마스크를 통한 방사선을 이용하여 선택적으로 노출된다. 최종적으로, 기판(31)의 두께로 에칭될 휠(7)의 전체적인 캐비티와 아버 홀(15)의 패턴(34)을 도시하는 도 3에서 도시된 바와 같이 보호 마스크(35)만 남겨지도록 선택적으로 조사된 감광성 수지가 현상된다.
변형예에 따라서, 또한 제 2 마스크(35)는 상기 마스크가 사전정해진 높이로 형성되도록 실리콘 옥사이드를 성장시키기 위해 기판(31)의 표면의 선택적인 산화에 의해 형성될 수 있다.
제 4 단계에서, 도 4에 도시된 바와 같이 제 2 보호 마스크(35)의 패턴(34)을 따라 기판(31) 상에서 이방성 에칭(anisotropic etch)이 수행된다. 이러한 에칭은 건식이거나 또는 습식일 수 있다. 바람직하게는, 깊은 반응성 이온 에칭(DRIE)이 이용될 것이다. 상기 설명된 바와 같이, 에칭은 아버 홀(15)과 휠의 그 외의 다른 전체적인 캐비티의 에칭이 개시될 수 있음을 의미한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 에칭이 끝날 때, 기판(31)은 두께(eT)의 일부분(e1) 이상으로 패턴(34)을 따라 에칭된다.
제 5 단계에서, 제 2 마스크(35)가 제거된다. 제 2 마스크(35)의 특성에 의존하여, 이러한 단계는 구조화된 수지를 제거하는 단계 또는 패턴(32)이 노출될 때까지 실리콘 옥사이드 층을 에칭하는 단계로 각각 구성될 수 있다.
제 6 단계에서, 제 2 이방성 에칭이 제 1 보호 마스크(33)의 패턴(32)을 따라 기판(31) 상에서 수행된다. 이러한 에칭은 건식이거나 또는 습식일 수 있다. 제 4 단계와 유사한 방식으로, 제 2 에칭에서는 아버 홀(15)의 에칭이 지속되고, 휠(7)의 그 외의 다른 전체적인 홀의 에칭이 계속되며, 패턴 캐비티(23)의 에칭이 시작된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제 2 에칭이 끝날 때, 기판(31)은 패턴(32)을 따라서 자신의 두께의 일부분(e2) 이상으로 그리고 패턴(34)을 따라서 전체 두께(eT) 이상으로 에칭된다.
바람직하게 본 발명에 따라서, 제 2 마스크(35)의 패턴(34)의 섹션은 허브(13)에서 도 3 또는 도 4에 도시된 바와 같이 제 1 마스크(33)의 패턴(32)의 섹션보다 작다. 이는 패턴(34)이 단독으로 에칭될 수 있으며 그 뒤 패턴(34)과 패턴(32)이 함께 에칭될 수 있음을 의미한다. 제 7 및 최종 단계에서, 최종 형성된 휠(7)이 기판(31)으로부터 분리된다.
패턴 캐비티(23)의 깊이(e2)와 기판(31)의 전체 두께(eT)에 의존하여 시계 부재(7)에 대한 제조 방법을 읽음으로써, 제 4 단계에서 최소 에칭 깊이(e1)가 감소될 수 있음에 따라 아버 홀(15)과 암(17), 겉테(11) 및 톱날(19)을 획정하는 그 외의 다른 캐비티가 기판(31)의 전체 두께로 에칭된다. 또한, 바람직하게 이러한 제조 방법에 따라 몇몇의 부재(7)는 동일한 기판(31) 상에 형성될 수 있다.
최종 조립 방법은 도 7 내지 도 9에 따라 설명될 것이다. 우선, 피니언(5)은 아버(3) 상에 고정되게 장착된다. 바람직하게는, 본 발명에 따라 상기 조립 방법을 단순화하고, 피니언(5)과 아버(3) 사이의 임의의 미끄러짐을 제한하기 위해, 제 1 마스크는 제 2 마스크와 일체구성되어 단일의 부분으로 형성된다. 물론, 예를 들면 드라이빙 인, 본딩 또는 용접과 같은 그 외의 다른 타입의 조립이 가능하다.
제 2 단계에서, 피니언(5)-아버(3) 조립체는 복합재 기어 시스템(1)을 형성하기 위해 상기에서 기술된 제조 방법에 따라 제조된 시계 부재(7), 실례로 톱니형 쉴 상에 장착된다. 제 1 단계에서, 피니언(5)-아버(3) 조립체는 부재(7)를 향하여 이동되어 아버(3)의 하측 단부가 도 7에 도시된 바와 같이 휠(7)의 아버 홀(15)과 마주본다. 제 2 단계에서, 이러한 조립체가 부재(7)를 향하여 지속적으로 이동됨에 따라 아버(3)는 제 3 단계에서 피니언(5)의 하측이 휠(7)의 허브(13)에서 파내어진 임프레션(23) 내에 끼워맞춤될 때까지 푸쉬 피트 방식(push fit manner)으로 아버 홀(15)을 통해 미끄러진다.
상기 언급된 바와 같이, 본 발명의 변형예에 따라서, 접착 재료가 피니언(5)과 휠(7)을 고정하는 힘을 증대시키기 위해 이용될 수 있다. 이러한 변형예에서, 2개의 추가 단계가 추가될 수 있다. 최종 조립 방법의 제 2 단계와 제 3 단계 사이의 중간 간계는 패턴 캐비티(23)의 하측에 상기 재료를 증착하는 단계를 포함할 수 있다. 이러한 재료는 폴리머 접착제와 같은 접착제 및/또는 땜납일 수 있다. 그 뒤, 제 3 단계 이후 최종 단계가 수반되며, 이러한 최종 단계는, 예를 들면 상기 접착제를 폴리머화하고 및/또는 상기 땜납을 용융시킴으로써 접착 재료를 활성화시킬 수 있다.
2가지의 최종 단계가 고려될 수 있다. 제 1의 최종 단계는 피니언(5)의 윙(9)과 패턴 캐비티(23)의 톱날 사이에 상기 재료를 증착시키는 단계로 구성될 수 있다. 이러한 재료는 폴리머 접착제와 같은 접착제 및/또는 땜납일 수 있다. 그 뒤, 제 2의 최종 단계는, 예를 들면 상기 접착제를 폴리머화하고 및/또는 상기 땜납을 용융시킴으로써 접착 재료를 활성화시킬 수 있다. 이러한 실시예는 패턴 캐비티(23)의 형태가 상기 언급된 바와 같이 피니언(5)의 섹션과 정확히 일치되지 않을 때 특히 선호된다.
도 9에 도시된 바와 같이, 시계 내에 일체구성될 수 있으며, 미세-가공가능한 재료로 제조된 휠(7)을 포함하고, 겉테(11)가 톱날(19)을 가지며, 허브(13)는 고정 장치(21)에 의해 아버(3)-피니언(5) 조립체에 결합되는 톱니형 휠 및 피니언 타입의 복합재 기어 시스템(1)이 수득된다.
물론, 본 발명은 본 발명은 도시된 실시예에 제한되지 않지만 종래 기술의 당업자에게 자명한 다양한 변형예와 개조예를 포함할 수 있다. 특히, 패턴 캐비티(23)는 허브(13)로부터 적어도 부분적으로 돌출될 수 있다. 게다가, 이는 허브(13)와 아버(3) 사이의 접촉 면적을 증가시켜 아버(3)에 대한 휠(7)의 안내가 향상될 수 있다. 심지어 이러한 접촉 면적은 휠(7)의 전체 높이와 일치되며, 그 뒤 패턴 캐비티(23)는 적어도 부분적으로 만입되는 대신에 휠(7)의 허브(13)로부터 전체적으로 돌출될 수 있다.

Claims (16)

  1. 피봇회전 아버(3)에 대해 동축을 이루도록 장착된 톱니형 휠(7)과 피니언(5), 및 서로에 대한 임의의 상대 운동을 방지하기 위해 상기 피니언과 상기 휠 사이에 고정 장치(21)를 포함하는 기어 시스템(1)에 있어서, 상기 고정 장치(21)는 패턴 캐비티(23)를 포함하고, 상기 패턴 캐비티의 형태는 회전 시 상기 피니언과 휠을 고정하기 위하여 상기 휠의 허브(13) 상에 형성된 상기 피니언의 섹션과 적어도 부분적으로 일치되는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  2. 제 1 항에 있어서, 패턴 캐비티(23)는 피니언(5)을 부분적으로 둘러쌈으로써 임의의 상대 운동을 방지하기 위해 상기 허브의 두께(e2)의 일부분으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  3. 전 항들 중 어느 한 항에 있어서, 원형 섹션을 포함하는 아버(3)는 대략 원통형인 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  4. 전 항들 중 어느 한 항에 있어서, 아버(3)와 피니언(5)은 금속 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  5. 전 항들 중 어느 한 항에 있어서, 피니언(5)은 아버(3)와 일체구성되는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  6. 전 항들 중 어느 한 항에 있어서, 톱니형 휠(7)은 미세-가공가능한 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  7. 제 6 항에 있어서, 미세-가공가능한 재료는 결정질 실리콘, 결정질 알루미나 및 결정질 실리카를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  8. 전 항들 중 어느 한 항에 있어서, 고정 장치(21)는 상기 장치의 고정력을 증가시키기 위해 피니언(5)과 휠(7) 사이에 배치되는 접착 재료를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기어 시스템(1).
  9. 시계로서, 전 항들 중 어느 한 항에 따르는 기어 시스템(1)을 포함하는 것을 특징으로 하는 시계.
  10. a) 미세-기계가공가능한 재료로 제조된 기판(31)을 제공하는 단계 및
    b) 상기 기판의 표면에 제 1 패턴(32)을 포함하는 마스크(33)를 구조화하는 단계를 포함하는, 몇몇의 수준의 미세-기계가공가능한 재료로 기어 시스템의 부재(7)를 제조하는 방법에 있어서, 상기 방법은
    c) 상기 제 1 마스크(33)와 상기 기판의 표면에 제 2 마스크(35)를 구조화하는 단계를 포함하고, 상기 제 2 마스크는 상기 제 1 마스크의 제 1 패턴(32)보다 작은 제 2 패턴(34)을 포함하고,
    d) 기판(31)의 제 1 두께(e1) 이상으로 제 2 패턴을 에칭하기 위해 이방성 에칭을 수행하는 단계를 포함하며,
    e) 제 2 마스크(35)를 제거하는 단계를 포함하고,
    f) 제 2 패턴(34)을 따라 에칭을 지속하고, 기판(31)의 제 2 두께(e2) 이상으로 제 1 패턴(32)을 따라 에칭을 개시하기 위해 제 2 이방성 에칭을 수행하는 단계를 포함하고,
    g) 제 1 마스크(33)를 제거하는 단계를 포함하며 및
    h) 기판(31)으로부터 시계 부재(7)를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 제 2 패턴(34)은 기판(31)의 전체 두께(eT)로 에칭되는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 제 2 패턴(34)은 톱니형 휠(7)의 형태를 가지며, 상기 휠의 허브(13)는 아버 홀(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 제 1 패턴(32)은 기판(31)의 두께(e2)로 부분적으로 에칭된 톱니형 링(23)의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 제 1 마스크(33)는 실리콘 옥사이드로 제조되고, 제 2 마스크(35)는 감광성 수지로 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 제 1 마스크(33)와 제 2 마스크(35)는 실리콘 옥사이드로 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제 10 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 몇몇의 부재(7)는 동일한 기판(31) 상에서 제조되는 것을 특징으로 하는 방법.
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