RU2307801C2 - Способ изготовления заготовки оптического волокна (варианты) - Google Patents

Способ изготовления заготовки оптического волокна (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU2307801C2
RU2307801C2 RU2004130442/03A RU2004130442A RU2307801C2 RU 2307801 C2 RU2307801 C2 RU 2307801C2 RU 2004130442/03 A RU2004130442/03 A RU 2004130442/03A RU 2004130442 A RU2004130442 A RU 2004130442A RU 2307801 C2 RU2307801 C2 RU 2307801C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
plasma flame
carbon black
tubular element
chemicals
Prior art date
Application number
RU2004130442/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2004130442A (ru
Inventor
Михаил И. ГУСЬКОВ (RU)
Михаил И. ГУСЬКОВ
Евгений Б. ДАНИЛОВ (RU)
Евгений Б. ДАНИЛОВ
Вольфганг ХАММЕРЛЕ (DE)
Вольфганг ХАММЕРЛЕ
Мохд А. АСЛАМИ (US)
Мохд А. АСЛАМИ
Дау ВУ (US)
Дау ВУ
Original Assignee
Фиберкор, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=28039263&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2307801(C2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Фиберкор, Инк. filed Critical Фиберкор, Инк.
Publication of RU2004130442A publication Critical patent/RU2004130442A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2307801C2 publication Critical patent/RU2307801C2/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
    • C03B37/01823—Plasma deposition burners or heating means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C03B37/01426—Plasma deposition burners or torches
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01861—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
    • C03B37/01869—Collapsing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

В изобретении предложены способ и устройство для изготовления заготовки оптического волокна с использованием одновременного плазменного осаждения на внутренней и внешней поверхностях исходной трубки. При вращении исходного трубчатого элемента производят избирательное инжектирование химикатов в плазменную горелку и химикатов, протекающих через полость трубки. Плазменную горелку перемещают вдоль трубчатого элемента для одновременного осаждения сажи на внутренней и внешней поверхностях. Сажа на одной или обеих поверхностях может быть уплотнена в слой кварцевого стекла после ее осаждения. Затем плазменную горелку вновь перемещают для осаждения дополнительной сажи и/или уплотнения ранее осажденной сажи на одной или обеих поверхностях. Процесс повторяют до тех пор, пока не будет осаждено достаточное количество диоксида кремния на трубчатом элементе. После этого трубчатый элемент сплющивают. Дополнительное плазменное осаждение может быть произведено в течение этого сплющивания или после него. Техническая задача изобретения - повышение производительности при производстве заготовок оптического волокна и волокна большого диаметра. 8 н. и 27 з.п. ф-лы, 7 ил.

Description

Текст описания приведен в факсимильном виде
Figure 00000001
Figure 00000002
Figure 00000003
Figure 00000004
Figure 00000005
Figure 00000006
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000010
Figure 00000011
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
Figure 00000017
Figure 00000018
Figure 00000019
Figure 00000020
Figure 00000021
Figure 00000022
Figure 00000023
Figure 00000024
Figure 00000025
Figure 00000026
Figure 00000027
Figure 00000028
Figure 00000029
Figure 00000030
Figure 00000031
Figure 00000032
Figure 00000033
Figure 00000034
Figure 00000035
Figure 00000036
Figure 00000037
Figure 00000038
Figure 00000039
Figure 00000040
Figure 00000041
Figure 00000042
Figure 00000043
Figure 00000044
Figure 00000045
Figure 00000046
Figure 00000047

Claims (35)

1. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;
(c) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности;
(d) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и
(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
2. Способ по п.1, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с первой скоростью перемещения (TF1), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором скорость TF1 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение и уплотнение на внутренней поверхности трубчатого элемента, одновременно с осаждением и уплотнением на внешней поверхности.
3. Способ по п.1, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности со второй скоростью TR1, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя, в котором скорость TR1 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, без существенного уплотнения.
4. Способ по п.2, в котором в операции (d) производят инжектирование химикатов в плазменное пламя в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
5. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;
(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, путем
(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;
(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и
(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;
(d) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности;
(e) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и
(f) повторение операций (d) и (е) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
6. Способ по п.5, в котором операция (е) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с первой скоростью перемещения (TF1), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF1 выбирают таким образом, что плазменное пламя вызывает осаждение и уплотнение на внутренней поверхности нового трубчатого элемента, одновременно с осаждением и уплотнением на указанной внешней поверхности.
7. Способ по п.1, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль внешней поверхности со второй скоростью TR1, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя, в котором TR1 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния, в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, без существенного уплотнения.
8. Способ по п.6, в котором в операции (е) производят инжектирование CFIT химикатов, протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
9. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;
(c) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности, одновременно с осаждением второго слоя сажи из диоксида кремния на внутренней поверхности;
(d) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи и второго внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и
(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
10. Способ по п.9, в котором операция (d) включает в себя следующие операции: генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с
первой скоростью перемещения (TF1), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF1 выбирают таким образом, что плазменное пламя вызывает указанное осаждение и уплотнение на внутренней поверхности трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на внешней поверхности.
11. Способ по п.9, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль внешней поверхности со второй скоростью TR2, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, в котором TR2 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя без существенного уплотнения, и осаждение второго внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в полость, без существенного уплотнения.
12. Способ по п.10, в котором инжектирование химикатов в полость в операции (d) производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
13. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;
(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, за счет
(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;
(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и
(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока указанный трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем указанный новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом указанная внутренняя поверхность и указанная внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на указанной внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;
(d) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и второго слоя сажи из диоксида кремния на указанной внутренней поверхности;
(e) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на указанной внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи и указанного второго внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и
(f) повторение операций (d) и (е) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
14. Способ по п.13, в котором операция (е) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с третьей скоростью (TF2), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, в котором TF2 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное осаждение и уплотнение на внутренней поверхности нового трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на указанной внешней поверхности.
15. Способ по п.13, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с четвертой скоростью перемещения TR2, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя с первой скоростью, в котором TR2 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя без существенного уплотнения, и осаждение второго внутреннего слоя сажи из диоксида кремния, без существенного уплотнения.
16. Способ по п.14, в котором в операции (е) инжектирование химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
17. Способ по п.15, в котором в операции (d) инжектирование химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
18. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи;
(c) одновременное уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла и внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла; и
(d) повторение операций (b) и (с) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
19. Способ по п.18, в котором операция (b) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с пятой скоростью перемещения (TF3), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектрованными в плазменное пламя, и осаждение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в полость.
20. Способ по п.18, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с шестой скоростью TR3, в котором TR3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное уплотнение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния и указанное уплотнение указанного внешнего слоя сажи из диоксида кремния.
21. Способ по п.19, в котором инжектирование химикатов в полость в операции (b) производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
22. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;
(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, за счет
(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;
(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и (b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока указанный трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем указанный новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом указанная внутренняя поверхность и указанная внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи на указанной внутренней поверхности;
(d) одновременное уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла и внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и
(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
23. Способ по п.22, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с пятой скоростью перемещения (TF3), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, и осаждение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в полость.
24. Способ по п.22, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с шестой скоростью TR3, в котором TR3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное уплотнение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния и указанное уплотнение указанного внешнего слоя сажи из диоксида кремния.
25. Способ по п.23, в котором в операции (с) производят инжектирование CFIT химикатов, протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
26. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния на внутренней поверхности;
(c) одновременное осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение легирующих примесей на указанный внутренний слой сажи, и уплотнение внутреннего слоя сажи и легирующих примесей в слой кварцевого стекла, легированного в соответствии с указанными легирующими примесями; и
(d) повторение операций (b) и (с) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
27. Способ по п.26, в котором операция (b) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с седьмой скоростью перемещения (TF4), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF4 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение указанной легирующей примеси и
уплотнение на внутренней поверхности трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на внешней поверхности.
28. Способ по п.26, в котором операция (b) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с восьмой скоростью перемещения TR4, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, причем TR4 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, без существенного уплотнения, и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния, без существенного уплотнения, при этом химикаты, инжектированными в полость, главным образом содержат SiCl4.
29. Способ по п.27, в котором инжектирование CFIT химикатов в полость в операции (b) производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в обратном направлении относительно направления потока.
30. Способ по п.27, в котором инжектирование CFIT химикатов в полость в операции (с) производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
31. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:
(а) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;
(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, за счет
(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;
(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и
(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока указанный трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем указанный новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом указанная внутренняя поверхность и указанная внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;
(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния на внутренней поверхности;
(d) одновременное осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение легирующих примесей на указанный внутренний слой сажи и уплотнение внутреннего слоя сажи и легирующих примесей в слой кварцевого стекла, легированного в соответствии с указанными легирующими примесями; и
(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.
32. Способ по п.31, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с седьмой скоростью перемещения (TF4), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF4 выбирают таким образом, что плазменное пламя вызывает указанное осаждение и уплотнение легирующей примеси на внутренней поверхности нового трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на указанной внешней поверхности.
33. Способ по п.31, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:
генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;
вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и
перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с восьмой скоростью перемещения TR4, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, причем TR4 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя без существенного уплотнения, и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния, без существенного уплотнения, причем химикаты, инжектированные в полость, главным образом состоят из SiCl4.
34. Способ по п.32, в котором в операции (с) инжектирование CFIT химикатов в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в обратном направлении относительно направления потока.
35. Способ по п.33, в котором в операции (d) инжектирование CFIT химикатов в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.
RU2004130442/03A 2002-03-15 2003-03-14 Способ изготовления заготовки оптического волокна (варианты) RU2307801C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/097,857 US6769275B2 (en) 2002-03-15 2002-03-15 Method for making optical fiber preform using simultaneous inside and outside deposition
US10/097,857 2002-03-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004130442A RU2004130442A (ru) 2005-04-20
RU2307801C2 true RU2307801C2 (ru) 2007-10-10

Family

ID=28039263

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004130442/03A RU2307801C2 (ru) 2002-03-15 2003-03-14 Способ изготовления заготовки оптического волокна (варианты)

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6769275B2 (ru)
EP (2) EP1494976A4 (ru)
JP (2) JP4494798B2 (ru)
CN (1) CN1301926C (ru)
AU (1) AU2003220266A1 (ru)
BR (1) BRPI0308479A2 (ru)
RU (1) RU2307801C2 (ru)
WO (1) WO2003078341A1 (ru)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6793775B2 (en) * 2001-03-13 2004-09-21 Mikhail I. Gouskov Multiple torch—multiple target method and apparatus for plasma outside chemical vapor deposition
US20040159124A1 (en) * 2003-02-14 2004-08-19 Atkins Robert M. Optical fiber manufacture
US7793612B2 (en) * 2003-08-01 2010-09-14 Silica Tech, Llc Ring plasma jet method and apparatus for making an optical fiber preform
KR100624251B1 (ko) * 2005-03-30 2006-09-19 엘에스전선 주식회사 광섬유 모재 제조 과정에서 모재의 축방향 표면거리를제어하는 방법 및 그 시스템
US20080053155A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Sanket Shah Optical fiber preform having large size soot porous body and its method of preparation
FI123122B (fi) * 2009-02-16 2012-11-15 Optogear Oy Laitteisto lasimateriaalin valmistamiseksi
US20110138861A1 (en) * 2009-12-15 2011-06-16 Baker Hughes Incorporated Optical fiber manufacturing method and apparatus
NL2004544C2 (nl) * 2010-04-13 2011-10-17 Draka Comteq Bv Inwendig dampdepositieproces.
NL2006472C2 (en) * 2011-03-25 2012-09-26 Draka Comteq Bv Method of manufacturing an optical fibre, preform and optical fibre.
DE102011108612A1 (de) * 2011-07-27 2013-01-31 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Plasma-Abscheideprozess zur Herstellung einer optischen Vorform mit einer Mantelglasschicht aus fluordotiertem Quarzglas
NL2011077C2 (en) * 2013-07-01 2015-01-05 Draka Comteq Bv A method for manufacturing a precursor for a primary preform for optical fibres by means of an internal plasma chemical vapour deposition (pcvd) process.
CN105271699B (zh) * 2015-11-16 2019-02-22 江苏通鼎光棒有限公司 一种用于沉积ovd疏松体的装置及其应用
EP3423419B1 (en) * 2016-03-03 2022-05-04 Prysmian S.p.A. A method for manufacturing a preform for optical fibers

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3737292A (en) 1972-01-03 1973-06-05 Corning Glass Works Method of forming optical waveguide fibers
US3823995A (en) * 1972-03-30 1974-07-16 Corning Glass Works Method of forming light focusing fiber waveguide
US4909816A (en) * 1974-02-22 1990-03-20 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Optical fiber fabrication and resulting product
CA1050833A (en) * 1974-02-22 1979-03-20 John B. Macchesney Optical fiber fabrication involving homogeneous reaction within a moving hot zone
US4217027A (en) 1974-02-22 1980-08-12 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber fabrication and resulting product
US3932162A (en) 1974-06-21 1976-01-13 Corning Glass Works Method of making glass optical waveguide
US3982916A (en) 1975-12-24 1976-09-28 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method for forming optical fiber preform
JPS52121341A (en) 1976-04-06 1977-10-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Production of optical fiber base materials and production apparatus fo r the same
JPS5927728B2 (ja) 1977-08-11 1984-07-07 日本電信電話株式会社 煤状ガラスロッドの製造方法
FR2446264A1 (fr) * 1979-01-10 1980-08-08 Quartz & Silice Procede de preparation d'une preforme pour guide d'onde optique
US4262035A (en) 1980-03-07 1981-04-14 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Modified chemical vapor deposition of an optical fiber using an rf plasma
US4331462A (en) 1980-04-25 1982-05-25 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber fabrication by a plasma generator
JPS5845131A (ja) * 1981-09-10 1983-03-16 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ガラス層の堆積方法
US4596589A (en) 1984-02-09 1986-06-24 Perry Gregory A Method for producing a single mode fiber preform
DE3445239A1 (de) 1984-12-12 1986-06-19 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Verfahren zur herstellung von lichtleitfasern
US4820322A (en) 1986-04-28 1989-04-11 American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories Method of and apparatus for overcladding a glass rod
DE3635034A1 (de) 1986-10-15 1988-04-21 Philips Patentverwaltung Verfahren zur herstellung von lichtleitfasern
DD266794A1 (de) * 1987-09-28 1989-04-12 Adw Ddr Verfahren zur herstellung von lichtwellenleiter-vorformen
DE69031571T2 (de) * 1989-10-31 1998-02-26 Fujitsu Ltd Verfahren zum Herstellen einer optischen Faservorform
US5000771A (en) * 1989-12-29 1991-03-19 At&T Bell Laboratories Method for manufacturing an article comprising a refractory dielectric body
US5221306A (en) * 1989-12-29 1993-06-22 At&T Bell Laboratories Method and apparatus for modifying the transverse cross section of a body
AU640996B2 (en) * 1990-03-29 1993-09-09 Societe Anonyme Dite Alcatel Alsthom Compagnie Generale D'electricite A method of fabricating preforms for making optical fibers by drawing
DE4236578A1 (de) * 1992-10-29 1994-06-23 Deutsche Bundespost Telekom Verfahren und Vorrichtung zur Vorformherstellung für Quarzglas- Lichtwellenleiter
US5296012A (en) * 1992-12-28 1994-03-22 Corning Incorporated Method of making optical waveguide preforms
EP0656325B1 (en) 1993-11-29 1999-09-22 AT&T Corp. Method for making optical fiber preforms
US5397372A (en) 1993-11-30 1995-03-14 At&T Corp. MCVD method of making a low OH fiber preform with a hydrogen-free heat source
FR2713621B1 (fr) 1993-12-14 1996-01-05 Alcatel Fibres Optiques Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé.
US5596668A (en) * 1995-06-30 1997-01-21 Lucent Technologies Inc. Single mode optical transmission fiber, and method of making the fiber
US6131415A (en) * 1997-06-20 2000-10-17 Lucent Technologies Inc. Method of making a fiber having low loss at 1385 nm by cladding a VAD preform with a D/d<7.5
US6253580B1 (en) * 1997-12-19 2001-07-03 Fibercore, Inc. Method of making a tubular member for optical fiber production using plasma outside vapor deposition
FR2774678B1 (fr) * 1998-02-12 2000-03-03 Alsthom Cge Alcatel Procede de recharge d'une preforme de fibre optique a l'aide de grains de silice dopes en aluminium
US6536240B1 (en) * 1998-04-10 2003-03-25 Mikhail Ivanovich Gouskov Method of making an optical fiber preform via multiple plasma depositing and sintering steps
BR9909569B1 (pt) * 1998-04-10 2010-07-27 processo de preparação de uma pré-forma de fibra óptica utilizando processo de deposição de vapor externo de plasma.
US6105396A (en) 1998-07-14 2000-08-22 Lucent Technologies Inc. Method of making a large MCVD single mode fiber preform by varying internal pressure to control preform straightness
US6215092B1 (en) * 1999-06-08 2001-04-10 Alcatel Plasma overcladding process and apparatus having multiple plasma torches
WO2002098806A1 (en) * 2001-05-31 2002-12-12 Corning Incorporated Method of manufacturing an optical fiber from a perform and optical fiber made by the method
WO2002098808A1 (en) * 2001-05-31 2002-12-12 Corning Incorporated Method of low pmd optical fiber manufacture
US6574994B2 (en) * 2001-06-18 2003-06-10 Corning Incorporated Method of manufacturing multi-segmented optical fiber and preform

Also Published As

Publication number Publication date
AU2003220266A1 (en) 2003-09-29
CN1301926C (zh) 2007-02-28
JP2005520764A (ja) 2005-07-14
BRPI0308479A2 (pt) 2016-11-16
JP2009221102A (ja) 2009-10-01
JP4494798B2 (ja) 2010-06-30
EP2272805A1 (en) 2011-01-12
RU2004130442A (ru) 2005-04-20
WO2003078341A1 (en) 2003-09-25
US20030172681A1 (en) 2003-09-18
CN1653005A (zh) 2005-08-10
US6769275B2 (en) 2004-08-03
EP1494976A4 (en) 2006-02-01
EP1494976A1 (en) 2005-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2307801C2 (ru) Способ изготовления заготовки оптического волокна (варианты)
JP5490379B2 (ja) 光ファイバ用の母材を気相成長プロセスによって製造する方法
US5152818A (en) Method of making polarization retaining fiber
JP4822125B2 (ja) 光ファイバーおよびプリフォームおよびそれらの製造方法
EP0196671B1 (en) Method of producing glass preform for optical fiber
CN103380091B (zh) 制造光纤玻璃预制件的方法
CN1243811A (zh) 分层纤芯光波导预制棒的制造方法
KR101248270B1 (ko) 광학적 예비성형체를 제조하기 위한 방법 및 장치
CN109133607A (zh) 一种套管法制造特种光纤预制棒外包层的方法
US20020157426A1 (en) Method of preparing preforms for optical fibers
JP2554131B2 (ja) 光ファイバの製造方法
JP2005520764A5 (ru)
JPH04219338A (ja) 光ファイバ製造用プリフォームの製造方法
KR102235333B1 (ko) 기재 튜브의 제거를 포함한 플라즈마 침착 공정
ATE456543T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von optischen vorformen und dadurch erhaltene optischen fasern
JP2695644B2 (ja) 光学繊維の製造方法
US20090260400A1 (en) Method for Producing a Tubular Semifinished Product From Fluorine-Doped Quartz Glass
JP6400955B2 (ja) プラズマ蒸着プロセスにより光ファイバ用一次プリフォームの前駆体を製造する方法
KR100315475B1 (ko) 광섬유 모재의 제조방법
CN1894169A (zh) 用于制造低衰减光导纤维的方法
US20040099013A1 (en) Optical fibers and methods of fabrication
KR100800813B1 (ko) 광섬유 모재의 제조 방법, 이 방법에 의해 제조된 광섬유모재 및 광섬유
JPS6012981B2 (ja) 光フアイバ母材の製造法
JP2005179179A (ja) 光ファイバプリフォームの製造方法、光ファイバプリフォームとそれに関連する光ファイバ
CN105084726B (zh) 用于制造光学预制件的方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120315