CN1243811A - 分层纤芯光波导预制棒的制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种分层纤芯光波导预制棒的制造方法,用所得预制棒制成的光纤可以防止衰减因氢老化和热老化而增加。第一纤芯区包括至少含有第一掺杂剂的石英玻璃棒,第二纤芯区包括含有第二掺杂剂的石英微粉体,将第一纤芯区插入第二纤芯区。将第一纤芯区和第二纤芯区熔凝在一起,形成分层的纤芯区,并且将包层沉积到分层纤芯区的外表面上。

Description

分层纤芯光波导预制棒的制造方法
本发明涉及一种制造光波导预制棒的方法。具体地说，本发明方法可用于制造低损耗的光波导，尤其可以制造具有分层纤芯分布的光纤。
折射率分布为W-分布、分层纤芯分布等的光纤具有希望有的色散特性。参见美国专利4,715,679和5,031,131号，可以获得各种色散被修正的光纤的原理。通常用化学汽相沉积(CVD)过程诸如等离子CVD过程等制造具有这些类型折射率分布的光纤，所述CVD过程可以制造纤芯包括不同折射率层的单模光纤。这类过程生产出的预制棒相当小。用外部汽相沉积(OVD)过程可以有利地形成色散修正的光纤预制棒，其中所述OVD过程可以生产相对较大的预制棒或拉丝坯棒，以降低制造光纤的成本。
美国专利4,629,485号揭示了一种用于制备这类光纤的典型的OVD过程。依照该专利，制备并拉伸掺氧化锗的石英棒，以减小它的直径。石英棒用作心轴，在心轴上沉积纯的石英玻璃粒子或微粉体。在有含氟气体通过的熔凝(干燥和烧结)炉中对所得的复合结构加热。因此，微粉体中掺杂了氟气，并烧结在石英棒上。在掺氟石英层的外表面上形成一层或多层玻璃层，以制成可以拉出光纤的坯棒。
当按照上述方法烧结微粉体时，仅通过含氟的马弗(muffle)气体将氟气提供给多孔的预制棒，所述氟气浓度(如含氟层的Δ所测得的)不足以提供某些需要的光学特性。当含氟成份是CF4时，通过马弗气体掺杂获得典型的氟气浓度为-0.4％Δ。上述过程产生的CF4的最大Δ值为-0.5％Δ。
如这里所用的，Δa-b表示折射率分别为na和nb的两种材料之间的相对折射率差，其定义为：
Δa-b＝(na 2-nb 2)/(2na 2)                  (1)为了便于表述，通常把Δ表示成百分数的形式，即100乘以Δ。在该讨论中，na是掺氟玻璃的折射率，而nb是石英的折射率。
当掺氟石英管塌缩到掺氧化锗的石英棒上时，或者当掺氧化锗的石英管塌缩到掺氟的石英棒上时，要在这两个部件之间获得令人满意的接触面是极其困难的。这是因为接触面一般包含许多晶种，并所得到的许多预制棒和坯棒不能制作有用的光波导。当这两个部件由其它玻璃结构组成时(诸如熔融掺氟的石英管和纯的石英棒以形成预制棒)，这种晶种的形成就会少些。
美国专利4,675,040号揭示了一种用于将纯石英制成的纤芯玻璃棒插入由掺氟纯石英制成包层材料的微粉体管中的方法，并且烧结纤芯/包层结构，将包层熔融在纯石英纤芯上。美国专利4,668,263号揭示了一种用于使具有掺氟内层的石英管塌缩到石英棒表面上的方法。依照该专利，通过旋转石英管并用来自纵向移动的喷灯的火焰对其加热，来完成塌缩步骤。该技术不能被用来进行修正色散的光纤设计，所述设计是将整个掺氟管(包括外表面)用作光纤之纤芯区或光传播区的一部分。原因是由于火焰会弄湿玻璃，即引入羟基污染，所以会使所得的光纤不适于在因羟基离子造成较大衰减的波长处工作。该方法的另一个缺点是火焰的温度不低于1900℃。在如此高的温度下，过程控制会很难。预制棒的轴会变成非线性或弓形。如果纤芯棒诸如掺氧化锗的玻璃的软玻璃，石英棒可以变得比石英管更软；这将导致纤芯不圆，或者纤芯不与成品光纤的外表面同中心。
美国专利4,846,867号揭示了一种用于使掺氟的石英管塌缩到石英棒表面上的方法。在石英管塌缩步骤之前，当用火焰对石英管加热时，使气相蚀刻剂流过石英棒和石英管之间的缝隙。在实例中，SF4为蚀刻剂，SF6、Cl2和氧气的混合气体(体积比为1∶1∶6)通过石英棒与石英管之间的缝隙。混合气体除去石英棒和石英管之经处理表面上的玻璃，由此在棒/管接触面上形成新的表面。提供足够的氯气以清除含氟蚀刻剂所产生的水。然后，用经干燥、掺氟的石英微粉体粒子涂覆所得到的预制棒的外表面，并烧结以形成将拉出光纤的坯棒。在气相蚀刻步骤中对准石英的火焰将水引入石英管的外表面。水份大时会导致光纤衰减。例如，1380纳米处的衰减为30分贝/千米，这是由氢氧火焰与预制棒接触所造成的。
1997年2月5日提交的共同待批的美国专利申请08/795,687号揭示了一种方法，该方法用于将掺氧化锗的石英玻璃棒插入掺氟的石英玻璃管，以形成组件，并熔凝该组件，以形成没有晶种的接触面。可以用诸如纯石英等包层材料对石英管进行外包层。此美国专利的发明名称为“纤芯区折射率下陷的光纤制造方法”。已经发现，尽管该方法可以避免熔凝的掺氧化锗的石英与掺氟的石英之间存在没有晶种的接触面，但它难以控制衰减因光纤的氢老化和热老化所造成的增长，这里所述光纤是用该方法制造的预制棒拉出的。如这里所用的，术语“氢老化”是指光波导处于一定浓度、压力和温度下的含氢气体中，而造成衰减增长。术语“热老化”是指受热光波导所表现出的衰减增长。
鉴于上述缺点，希望提供一种用于生产分层纤芯光波导预制棒的方法，该方法可以从坯棒内部开始干燥波导预制坯棒的整个光活动区。另外，最好能够提供一种修正色散的光波导，该光波导具有较低的衰减，并且因热老化或氢老化的造成的衰减增长最小或没有。
本发明涉及一种光波导预制棒的制造方法，所述光波导预制棒具有一分层的纤芯区。该方法包括下述步骤：提供第一纤芯区，第一纤芯区包含一玻璃棒，最好是石英玻璃棒，第一纤芯区至少包含第一掺杂剂，最好是用于降低石英玻璃棒折射率的掺杂剂，诸如氟。该方法还包括下述步骤：将含有第二掺杂剂的石英微粉体沉积到心轴上，抽掉心轴，形成有一中心孔穿过的微粉体坯棒，从而提供第二纤芯区。石英微粉体中所含的第二掺杂剂最好是诸如氧化锗的增大折射率的掺杂剂。该方法还包括下述步骤：将第一纤芯区插入第二纤芯区的开孔中，在炉中将第一纤芯区和第二纤芯区熔凝在一起，以提供波导预制棒的分层纤芯区。该方法还包括下述步骤：将含石英微粉体的包层沉积到波导预制棒分层纤芯区的外表面上。
在本发明的一个实施例中，提供第一纤芯区的步骤还包括将玻璃棒插入含有第一掺杂剂的石英玻璃管中以提供一组件，将组件插入炉中，对组件加热，以及在炉中使管子塌缩到棒上。最好，在使管子塌缩到棒上之前，让气体流入管子的第一端、管与棒之间，并到达管子的第二端，所述气体选自100％氯气和与稀释气体混合的氯气。所述棒最好是石英玻璃棒，含有诸如氧化锗等可以增大玻璃折射率的掺杂剂。
可以在氯气流动步骤进行的同一炉子中进行管子塌缩步骤。有利的是，由于当组件在炉内时用所述气体清洁棒和管的相邻表面，所以管子的外表面不受水的污染，如果在气体流动步骤期间用火焰进行加热，那么就会出现水。该方法特别适于形成纤芯有一折射率下凹环形区的光纤、具有W型分布的光纤和分层纤芯光纤，其中共同待批的美国专利申请揭示了第一种光纤，其发明名称为“色散受控制的光纤”，申请日与本申请相同。
本发明的方法的一个特殊优点是在预制棒中，可以从坯棒的内部开始干燥预制棒的整个光活动区。申请人发现，用本发明方法制造的修正色散的光波导表现出因热老化或氢老化引起的衰减增加最小或没有。在以下描述中将叙述本发明的其它特点和长处。应该理解，以上概述和以下详细描述是例举和说明，它们试图为要求保护的发明提供进一步的说明。
图1例示了用本发明方法生产的光纤的折射率分布；
图2例示了用本发明方法生产的光纤的折射率分布，其中纤芯区折射率下凹；
图3示出了在心轴上形成多孔玻璃预制棒；和
图4示出了烧结多孔玻璃预制棒。
本发明的方法可以用来生产具有分层纤芯折射率分布的光波导预制棒。总的来说，该方法包括(a)提供第一纤芯区，第一纤芯区至少包含第一掺杂剂，(b)提供第二纤芯区，第二纤芯区通过以下方式形成，即在心轴上沉积包含第二掺杂剂的石英微粉体，然后抽掉心轴，形成有一中心孔穿过的微粉体坯棒，(c)将第一纤芯区插入第二纤芯中的穿孔，并在一炉中使第一纤芯区和第二纤芯区熔凝在一起，以提供波导预制棒的分层纤芯区，并且(d)将包含石英微粉体的包层沉积在纤芯区的外表面。由波导预制棒拉出的成品光纤的纤芯包括内纤芯区和外纤芯区，并且每个纤芯区都可有选择地包括附加的环形纤芯区。如这里所用的，术语“纤芯”是指波导的光活动区，即波导中传播光的区域。
步骤(a)至(d)不必按上述顺序进行。在一个实施例中，第一纤芯区是所含掺杂剂可以降低玻璃折射率的石英玻璃棒。在另一实施例中，提供第一纤芯区步骤包括将一玻璃管塌缩在一玻璃棒上，最初将棒和管的组件暴露在氯气中，氯气的温度足以清洁石英棒表面和石英管的内表面。在氯气清洁后，将温度升高，在干燥炉中将石英管塌缩并熔融到石英棒上。
本发明的一个实施例涉及制造一种光纤，该光纤具有这样的折射率分布，即纤芯中心区的折射率低于纤芯中心区周围的环形区的折射率。图1例示了用该方法制成的光纤的折射率。在该实施例中，第一纤芯区包含一玻璃棒，最好是含掺杂剂的石英玻璃棒。掺杂剂最好能够降低石英玻璃的折射率。氟是较佳的掺杂剂，因为B2O3造成的衰减会限制光纤在小于大约1200纳米的波长处使用。
可以用任何适于制作波导纤芯的方法来制作第一纤芯区，诸如OVD。VAD等。例如，可以通过在0.25英寸或更大的氧化铝心轴上沉积纯的石英坯棒来制成掺氟的石英棒。抽掉心轴，形成一个贯穿坯棒中心区的中心孔，然后使对坯棒掺氟的大约70cc的CF4、66ccm(每分钟立方厘米)氯气以及一升氦气向下通过中心孔，熔凝坯棒。然后将坯棒逐渐增加地暴露在至少大约1900℃温度下，温度最好大约为2050℃，以形成掺入固体氟的石英棒。石英棒的直径将依赖于由预制棒形成的光纤的所需折射率分布。例如，可以将掺氟石英玻璃棒拉伸到直径大约为8毫米。
如图3所示，用以下方式形成波导预制棒的第二纤芯区，即将含第二掺杂剂的石英微粉体沉积在直径相对较大的心轴10上，然后抽掉心轴，形成贯穿有中心孔的微粉体坯棒。在沉积步骤之前，将心轴插入管状手柄11。当心轴10旋转时，它还相对微粉体发生燃烧器13作平移，从而在心轴上形成用作第二纤芯区的多孔玻璃预制棒12。心轴具有足够大的直径，可以产生具有足够大内直径的管结构，以便在本方法的下一步骤中使用。例如，氧化铝心轴的直径为0.25英寸或更大，就足够了。心轴可以棒或管的形式。美国专利5,180,410号详细描述了在管状心轴上形成多孔预制棒的过程，其内容通过引用包括在此。这可以用于依照本发明方法在熔凝期间进行掺杂的管状多孔预制棒制作步骤。
如上所述，在沉积第二纤芯区期间，心轴旋转并相对微粉体发生燃烧器平移，以便在心轴上形成微粉体预制棒。第二掺杂剂最好是一种增加石英折射率的掺杂剂，诸如氧化锗。第二纤芯区中的掺杂量将依赖于由波导预制棒形成的波导所需的折射率分布。
如图4所示，在从第二纤芯区12中抽掉心轴10以形成具有中心穿孔18的第二纤芯区之后，可以将手柄14固定在第二纤芯区12的一端，以便将第二纤芯区微粉体坯棒悬挂在熔凝炉中。最好，手柄是一个熔融于手柄11的标准球接头手柄14，并且用该手柄将包含第二纤芯区12的组件悬挂在熔凝炉15中。将包含掺氟玻璃棒的第一纤芯区插入贯穿第二纤芯区的中心孔18。可以用任何合适的方法将棒悬挂在第二纤芯区的微粉体坯棒内，诸如在棒的一端制作一个标准的小球，将球悬挂在位于第二纤芯区微粉体坯棒之末端的手柄内(未示出)。将第一纤芯区和第二纤芯区一起放在温度大约为1000℃至1100℃的炉中，在第二纤芯区和第一纤芯区之间沿箭头16方向分别以每分钟大约1升和每分钟大约60立方厘米的速度通氦气和氯气1个小时。如箭头17所示，将最好包含氦气的马弗气体通入炉中。第二纤芯区12的一端可以有选择地包含一毛细管19。然后以大约每分钟5毫米的速度将第一纤芯区和第二纤芯区组件逐渐降低到温度至少约1400℃(最好约1500℃)的炉中，化一小时的时间将第一纤芯区和第二纤芯区熔凝在一起。
在熔凝第一和第二纤芯区，形成预制棒分层纤芯区之后，将一标准的地接头手柄熔于一端，并且将包含石英的包层材料沉积到分层纤芯区的外表面上。在沉积包层材料之前，将分层纤芯区加热到至少大约2050℃的温度，最好大约为2050℃，并将其拉伸到适合外包层步骤的直径。
在另一个实施例中，提供第一纤芯区的步骤包括一些附加步骤。具有较复杂折射率分布的修正色散的光纤会需要更多的处理步骤，来获得较复杂的折射率分布。图2例示了色散补偿光纤的折射率分布。
用本发明的方法可以提供图2所示的折射率分布。在该实施例中，提供第一纤芯区的步骤包括将石英玻璃棒插入至少含第一掺杂剂的石英玻璃管，形成一组件。最好，石英玻璃棒包含诸如氧化锗、P2O5等掺杂剂，以增加石英玻璃棒的折射率。根据所需的折射率分布，可以用各种已知技术中的任何一种形成石英棒，诸如改进的化学汽相沉积法(MCVD)、汽相轴向沉积法(VAD)和外部汽相沉积法(OVD)。至少在石英管中包含的第一掺杂剂最好是诸如氟等可以降低石英管折射率的掺杂剂。将管/棒组件插入温度大约为1000℃至1100℃的炉中。使干燥气体流入石英管的一端、管与棒之间，并到达管的第二端，持续一个小时，以便清洁石英棒的外表面和石英管的内表面，其中所述干燥气体选自由100％氯气和混合了诸如氦气等稀释气体的氯气所组成的组。
传统上，干燥气体包含氯气与诸如氦气等惰性气体的混合物。尽管气流可以包含诸如氦气等惰性气体，但最好用100％的氯气进行清洁。干燥气体组成气流，因此加热处理期间组件附近不存在水。气体可以是买来就是干的；另外，也可以使用作马弗气体的氦气通过干燥器。
石英棒的直径略小于石英管的内直径是有利的，这可以使氯气在整个石英棒的周围向下流动。氯气起热化学清洁剂的作用。氯气清洁步骤在高温下更有效。最好，清洁步骤的温度至少约为1000℃至1500℃，因为在低温下，步骤的持续时间太长，就商业目的而言，是不希望有的。显然，如果处理时间不重要，则可以使用较低的温度。热氯气在管和棒之间流动有利于将两个部件的表面合在一起并且其接触面上不形成晶种。晶种包括诸如泡沫和杂质等缺陷，它们会在成品光纤中产生衰减。
在干燥/清洁气体流了大约一小时后，将管/棒组件的一端逐渐降低到至少约1900℃(最好约2050℃)的炉中，然后使管塌缩到棒上，并将其拉伸到适于插入第二纤芯区之中心孔内的直径。管的手柄处或附近，为棒的上端加上一个增大的末端，它从窄区中悬挂下来。使真空源与手柄相连。在炉区内将管/棒组件的下端加热到大约2050℃。当组件下端通过炉区时，组件的直径缩小，并且石英管塌缩到棒上，并且这两个部件之间的空间抽真空。将组件拉长，拉到第一纤芯区中，在第一纤芯区中，石英管与石英棒熔合。
然后，如前一实施例所述，将第一纤芯区插入第二纤芯区的中心孔中。剩下的处理步骤，即提供第二纤芯区；将第一纤芯区插入穿过第二纤芯区的中心孔；和提供包含石英的包层，都类似于上述实施例中所描述的步骤。
通过把心轴插入管状手柄可以制成在第一纤芯区制作步骤中使用的掺氟玻璃管。为了使石英管具有足够大的内直径以便容纳石英玻璃棒，心轴具有相当大的直径。当心轴旋转时，它还相对微粉体发生燃烧器平移，从而在心轴上形成多孔玻璃预制棒。
从多孔玻璃微粉体预制棒中抽掉心轴，形成有一中心孔穿过的管状预制棒。将一标准的球接头手柄熔于管状手柄，并且通过该球接头手柄将预制棒悬挂在熔凝炉中。在包括诸如SiF4、CF4、C2F6等含氟中线气体(centerline gas)的气氛中进行烧结。SiF4往往使掺氟量较高(一般产生-0.7％Δ，偶而产生约-0.8％Δ)，但是掺杂剂使所得玻璃中的水含量增加。如果光纤纤芯相对石英包层具有相当大的Δ值，那么光功率几乎不会在光纤的环形含氟区中传播，由此可以允许含氟玻璃中的水含量增加。CF4产生更干的玻璃，但掺杂量不如SiF4所给的高。
因为多孔微粉体预制棒是由纯石英制成的，即不存在诸如氧化锗等会在坯棒中不利扩散的掺杂剂，所以在该过程中可以使用高浓度氟。由于含氟气体流入管的中心孔，并且通过多孔玻璃预制棒的孔流出，致使气体与整个多孔玻璃作最大接触，所以所得的经烧结的石英管含有浓度相当高的氟。马弗气体最好包含诸如氦气和足量氯气等稀释气体，以便干燥预制棒。
中心流动的气体最好还包含一种或多种诸如氦气和氯气等稀释气体。在获得所需水含量之后，多孔预制棒烧结之前，可以使氯气流不连续。拉伸所得的掺氟管，使内直径降至所需的大小。如果拉伸了石英管，则将其切成适于在上面沉积微粉体的长度。
掺硼管比掺氟管易于制作。例如，如上述关于掺氟管所述的，在心轴上形成多孔SiO2-B2O3预制棒，将BCl3与SiCl4一起馈送给燃烧器。抽掉心轴，留下纵向中心孔，并且将该预制棒放到熔凝炉中。由40splm(每分钟标准升)的氦气构成的马弗气体向上流过马弗炉，并且由1slpm的氦气和75sccm(每分钟标准立方厘米)构成的气体流入中心孔。在干燥了预制棒之后，对其烧结。如上所述拉伸所得的管子。
1997年2月5日提交的共同待批的美国专利申请08/795,687号更详细地描述了制作多孔预制棒、形成纤芯棒、对多孔预制棒掺杂以及为预制棒固定手柄等步骤，该发明的名称为“纤芯区折射率下陷的光纤制造方法”，其内容被依赖并通过引用包括在此。
由于在第一纤芯区和第二纤芯区之间的接触面上晶种数较少，所以用本发明方法生产的光纤呈现较低的衰减。由于不用火焰对石英管加热，所以对于本发明方法生产的光纤，在1380纳米水波峰处的衰减较小。用本发明方法生产的光纤在大约1380纳米水波峰处具有大约1分贝/千米过度损耗。
用本发明方法制造的光纤还具有较小的热老化和氢老化。将依照本发明生产的光纤放在200℃下24小时，对热老化进行测量，光纤表现出的衰减小于大约0.02分贝/千米。将本发明方法制造的光纤放在85℃的大约1％的氢气中1个星期，对氢老化进行测量，光纤表现出的衰减小于大约0.03分贝/千米。因此，依照本发明生产的光纤具有极佳的抗氢老化性和抗热老化性。依照本发明生产的光纤的优点在于，光纤不需要用密封涂层来防止氢老化和热老化。
显然，本领域的熟练技术人员可以不偏离本发明的精神和范围对本发明方法进行各种改变和变化。因此，试图使本发明覆盖对本发明的变化和改变，只要它们落在所附权利要求书以其等同情况的范围内。

Claims (18)

1.一种用于制造光波导预制棒的方法，所述光波导预制棒具有分层的纤芯区，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
提供第一纤芯区，所述第一纤芯区包括一玻璃棒，并且至少含有第一掺杂剂；
将含有第二掺杂剂的石英微粉体沉积在心轴上，抽掉心轴，形成有一中心孔穿过的微粉体坯棒，从而提供第二纤芯区；
将第一纤芯区插入第二纤芯区的中心孔，并且在炉中将第一纤芯区和第二纤芯区熔凝在一起，从而提供波导预制棒的分层纤芯区，该分层纤芯具有一外表面；并且
将包含石英微粉体的包层沉积在分层纤芯区的外表面上。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃棒是石英玻璃棒，并且所述至少第一掺杂剂降低石英玻璃的折射率。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述至少第一掺杂剂包含氟。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第二掺杂剂增大第二纤芯区的折射率。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，第二掺杂剂包含氧化锗。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述光波导预制棒是光纤预制棒。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，提供第一纤芯区的步骤还包括以下步骤：
将玻璃棒插入至少含第一掺杂剂的玻璃管中以提供一组件；将组件插入炉中；对组件加热；使气体流入管的第一端、管与棒之间并到达管的第二端，所述气体选自100％的氯气和与一种稀释气体混合的氯气；以及在炉中将管子塌缩到棒上。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述玻璃管是石英玻璃，所述至少第一掺杂剂降低石英玻璃的折射率。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，第一掺杂剂包含氟。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，第二掺杂剂增大第二纤芯区的折射率。
11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，第二掺杂包含氧化锗。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述玻璃棒是石英玻璃，并且包含可以增大石英玻璃折射率的掺杂剂。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，棒中所含的掺杂剂包含氧化锗。
14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，波导预制棒是光纤预制棒。
15.一种制造修正色散的光波导预制棒的方法，所述光波导预制棒具有分层纤芯区，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
将一石英玻璃棒插入一石英玻璃管中以提供一组件，所述石英玻璃棒含有可以增大石英玻璃折射率的掺杂剂，所述石英玻璃管含有可以降低石英玻璃折射率的掺杂剂，将所述组件插入炉中，将组件至少加热到大约1000℃，使气体流入所述管的第一端、管与棒之间，并到达管的第二端，所述气体选自100％的氯气和与一种稀释气体混合的氯气，以及将组件逐渐降低到温度至少大约为1900℃的炉区中，使所述管塌缩到所述棒上，从而提供第一纤芯区，
将所含掺杂剂可以增大石英折射率的石英微粉体沉积到心轴上，抽掉心轴，形成有一中心孔穿过的微粉体坯棒，从而提供第二纤芯区；
将第一纤芯区插入第二纤芯区的中心孔中，并且在炉中将第一纤芯区与第二纤芯区熔凝在一起，以提供波导预制棒的分层纤芯区，所述分层纤芯区具有一外表面；以及
将包含石英的包层沉积在分层纤芯约的外表面上。
16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，增大石英玻璃棒折射率的掺杂剂和增大石英微粉体折射率的掺杂剂包含氧化锗。
17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，降低石英玻璃管折射率的掺杂剂包含氟。
18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，光波导预制棒是光纤预制棒。
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