RU2019579C1 - Раствор для травления покрытий из нитрида титана - Google Patents

Раствор для травления покрытий из нитрида титана Download PDF

Info

Publication number
RU2019579C1
RU2019579C1 SU4836592A RU2019579C1 RU 2019579 C1 RU2019579 C1 RU 2019579C1 SU 4836592 A SU4836592 A SU 4836592A RU 2019579 C1 RU2019579 C1 RU 2019579C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
titanium nitride
etching
solution
coatings
base
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
А.М. Полянский
С.В. Ружьева
Original Assignee
Научно-исследовательский институт измерительной техники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт измерительной техники filed Critical Научно-исследовательский институт измерительной техники
Priority to SU4836592 priority Critical patent/RU2019579C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2019579C1 publication Critical patent/RU2019579C1/ru

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G1/00Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
    • C23G1/02Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
    • C23G1/08Iron or steel
    • C23G1/086Iron or steel solutions containing HF

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Сущность изобретения: раствор для травления покрытий из нитрида титана, нанесенных на основу из нержавеющей стали с припоем Пср-37,5, содержит, мас. % : кислота плавиковая 20 - 25, кислота азотная 20 - 25, кислота серная 25 - 30, пероксид водорода 25 - 30. 1 табл.

Description

Изобретение относится к области химического травления металлов и сплавов, в частности покрытий из нитрида титана, и может быть использовано для стравливания дефектных покрытий из нитрида титана, которые наносятся на коронки зубов из нержавеющей стали, соединенные в мосты припоем Пср-37,5.
Известно введение в травильные растворы для очистки сплавов меди от окалины пероксида водорода для снижения растравливания металла. Недостатком данного раствора является то, что при травлении образуется шлам, который загрязняет поверхность основы, и требуется дополнительная обработка основы для повторного использования.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению и достигаемому результату является раствор для удаления покрытий из нитрида титана с поверхности стальных изделий, содержащий смесь азотной, плавиковой и серной кислот.
Недостатком данного раствора является то, что при травлении растравливается основа из нержавеющей стали и припой из-за невозможности определения окончания процесса стравливания дефектного покрытия. Кроме того, основа требует дополнительной обработки для повторного использования.
Цель изобретения - улучшение качества травления дефектных покрытий путем снижения растравливания основы и припоя и химической полировки основы из нержавеющей стали.
Поставленная цель достигается тем, что раствор для травления покрытий титановых сплавов, содержащий плавиковую кислоту, азотную кислоту и серную кислоту, дополнительно содержит серную кислоту и пероксид водорода, при следующем соотношении компонентов, мас.%: Кислота плавиковая 10-25 Кислота азотная 20-25 Кислота серная 25-30 Пероксид водорода 25-30
Введение в раствор пероксида водорода обеспечивает химическую полировку поверхности основы в процессе травления, кроме того, позволяет определить окончание процесса травления покрытия нитрида титана по прекращению газовыделения в момент полного стравливания нитрида титана, т.е. предотвращает растравливание основы и припоя. Введение в раствор серной кислоты уменьшает скорость травления припоя Пср-37,5 в три раза.
Таким образом, данный состав компонентов придает предлагаемому раствору для травления покрытий из нитрида титана новые свойства, а именно снижают растравливание основы и припоя, обеспечивает полировку поверхности основы, исключает ее загрязнение.
При использовании данного раствора измерение скорости травления нитрида титана и основы проводили на образцах из нержавеющей стали Х18Н10Т, размер образцов 1,6х1,6х0,2 см. Hапыление нитрида титана осуществляли на вакуумно-дуговой установке ВУ-IБ. Толщина напыленного слоя из нитрида титана составляла 20 мкм. Скорость растворения припоя Пср-37,5 определяли на проволочных образцах диаметром 1 мм, длиной 60 мм. Скорость растворения нитрида титана, основы из нержавеющей стали Х18Н10Т и припоя Пср-37,5 определяли гравитационным методом.
Результаты сведены в таблицу.
Из представленных в таблице данных видно, что повышение концентрации серной кислоты приводит к уменьшению травления припоя Пср-37,5. При концентрации серной кислоты 25 мас.% и более скорость травления припоя стабилизируется на уровне 3,4 мкм/ч.
Повышение концентрации пероксида водорода уменьшает растравливание основы из Х18Н10Т, а при концентрациях свыше 15 мас.% приводит к химической полировке поверхности основы, а при концентрации 25 мас.% и выше скорость травления основы стабилизируется на уровне 1,5 мкм/ч.
Исходя из скорости травления нитрида титана, оптимальными концентрациями как плавиковой, так и азотной, кислот являются концентрации порядка 20-25 мас.%.
Рассматривая действие компонентов раствора в их совокупности (скорость травления нитрида титана, Х18Н10Т, припоя Прс-37,5, качество поверхности основы) можно сделать вывод, что оптимальными растворами являются растворы N 4 и N 5.
Для экспериментальной проверки предлагаемого раствора состава, мас.%: кислота плавиковая 20, кислота азотная 25, кислота серная 30, пероксид водорода 25. Травлению подвергали образцы коронок зубов, соединенных в мосты припоем Пср-37,5 с нанесенным покрытием из нитрида титана толщиной 20 мкм. Нанесение покрытий из нитрида титана осуществляли в вакуумной установке ВУ-1Б.
Травление нитрида титана сопровождалось газовыделением, которое прекращалось после удаления с основы всего нитрида титана, и было использовано в качестве параметра, характеризующего время окончания процесса травления. Поверхность основы после удаления покрытия из нитрида титана была полированной, без шлама. Образцы подвергали межоперационной очистке, после чего на них повторно напыляли покрытие из нитрида титана. Полученное покрытие было равномерно окрашено и имело высокую адгезию к поверхности основы.

Claims (1)

  1. РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ НИТРИДА ТИТАНА, нанесенных на основу из нержавеющей стали с припоем Пср-37,5, содержащий плавиковую, азотную и серную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества травления дефектных покрытий путем снижения растравливания основы и припоя и химической полировки основы из нержавеющей стали, он дополнительно содержит пероксид водорода при следующем соотношении компонентов, мас.%:
    Плавиковая кислота 20 - 25
    Азотная кислота 20 - 25
    Серная кислота 25 - 30
    Пероксид водорода 25 - 30
SU4836592 1990-06-07 1990-06-07 Раствор для травления покрытий из нитрида титана RU2019579C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4836592 RU2019579C1 (ru) 1990-06-07 1990-06-07 Раствор для травления покрытий из нитрида титана

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4836592 RU2019579C1 (ru) 1990-06-07 1990-06-07 Раствор для травления покрытий из нитрида титана

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2019579C1 true RU2019579C1 (ru) 1994-09-15

Family

ID=21519468

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4836592 RU2019579C1 (ru) 1990-06-07 1990-06-07 Раствор для травления покрытий из нитрида титана

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2019579C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003074764A1 (en) 2002-03-01 2003-09-12 Ngk Insulators, Ltd. Method for removing titanium based coating film or oxide of titanium
RU2464646C2 (ru) * 2009-04-15 2012-10-20 Марсель Закиевич Миргазизов Метод глубокого травления

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N 1382043, кл. C 26G 1/02, 1986 (временно непубликуемое). *
Грилихес С.Я. Обезжиривание, травление и полирование металлов, Л.: Машиностроение, 1983, с.62. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003074764A1 (en) 2002-03-01 2003-09-12 Ngk Insulators, Ltd. Method for removing titanium based coating film or oxide of titanium
EP1484434A4 (en) * 2002-03-01 2008-07-09 Ngk Insulators Ltd PROCESS FOR REMOVING A COATING LAYER BASED ON TITANIUM OR TITANIUM OXIDE
RU2464646C2 (ru) * 2009-04-15 2012-10-20 Марсель Закиевич Миргазизов Метод глубокого травления

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2337374A1 (en) Composition for desmutting aluminum
US6309556B1 (en) Method of manufacturing enhanced finish sputtering targets
JP2000117208A (ja) 電子材料の洗浄方法
RU2019579C1 (ru) Раствор для травления покрытий из нитрида титана
JP4367816B2 (ja) 石英ガラスの表面処理方法
JP2597931B2 (ja) 高速度工具鋼のチタンコーティング被膜の除去剤
JPH08176852A (ja) チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法
JP3824299B2 (ja) 石英ガラス表面のフロスト処理液及びフロスト処理方法
JPH08218185A (ja) チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法
JPS6320489A (ja) めつきの剥離方法
RU2177053C2 (ru) Состав для чистки изделий из сплавов цветных и благородных металлов, поверхности драгоценных камней и хрусталя и способ чистки составом
USRE33800E (en) Method for electroplating nickel onto titanium alloys
JPH09217197A (ja) アルミナ膜形成方法及びアルミニウム製品
JPH10265974A (ja) チタン又はチタン合金へのめっき前処理用エッチング液及びチタン又はチタン合金へのめっき前処理方法
RU2039851C1 (ru) Способ удаления пленки нитрида титана с поверхности изделий из нержавеющей стали
JPH03111600A (ja) Ni―Ti合金の電解研摩浴
SU1715887A1 (ru) Раствор дл химического полировани поверхности титана и его сплавов
US5535904A (en) Surface preparation for bonding iron
JP4703803B2 (ja) アルミニウム材の電解研磨処理方法
SU1208091A1 (ru) Состав дл химического виброабразивного шлифовани нержавеющих сталей
JP2004315864A (ja) アルミ鋳物素地の表面処理方法
SU1666579A1 (ru) Раствор дл одновременного обезжиривани и травлени поверхности алюминиевых сплавов
SU1696583A1 (ru) Раствор дл удалени оксидных пленок с поверхности титана и его сплавов
SU1624055A1 (ru) Способ очистки металлической поверхности
JP3262696B2 (ja) ガラス状カーボン被膜を有するシリカガラス部材