JPH08176852A - チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法 - Google Patents

チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法

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JPH08176852A
JPH08176852A JP33612494A JP33612494A JPH08176852A JP H08176852 A JPH08176852 A JP H08176852A JP 33612494 A JP33612494 A JP 33612494A JP 33612494 A JP33612494 A JP 33612494A JP H08176852 A JPH08176852 A JP H08176852A
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titanium
pretreatment
platinum
platinum plating
weight
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Takayuki Kimura
孝行 木村
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Tanaka Kikinzoku Kogyo KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 短時間に簡単にチタニウム及びチタニウム合
金の表面を前処理できて作業性が良く、また白金めっき
を施した際、均一、緻密で密着性の優れためっき被覆を
得ることができるようにした前処理液及び前処理方法を
提供する。 【構成】 4N以上12N以下の硝酸、2N以上24N以下
の硫酸又は4N以上12N以下の塩酸のいずれかよりな
り、フッ化物を0.05重量%以上 0.5重量%以下含有して
いる白金めっき前処理用粗面化エッチング液。表面の酸
化物層を除去した後、前記エッチング液にて表面を均一
に細かくエッチングする白金めっき前処理用エッチング
方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、めっき用電極、アルカ
リイオン水用電極などに用いられる白金/チタニウム電
極などを製作するとき行われる、チタニウム及びチタニ
ウム合金上の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並
びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来よりチタニウム及びチタニウム合金
に白金めっきを施す場合には、素地とめっき被覆との密
着性を高めるため、Al2 3 粉末等のエメリー粒子を
用いたサンドブラスト法により処理し、素地を梨地状に
荒らすか、又は90℃以上の修酸水溶液を用いて90分以上
化学エッチングすることによって素地を荒らしていた。
【0003】ところで、エメリー粒子を用いたサンドブ
ラスト法では、得られる素地の凹凸が用いるエメリー粒
子の径によって決まるが、一般的には5μm前後の凹凸
となり素地が荒れすぎてしまうため、特に白金めっき層
が薄い場合、均一に電着しないという問題がある。白金
めっきの特徴として素地のシャープな突起から析出する
特徴があり、表面の凹凸が大きすぎると窪みの底までめ
っきがまわりきれず、めっきの付かない部分ができてく
るもので、これは特に薄めっきの場合顕著である。また
サンドブラスト法ではエメリー粒子が素地にくい込んで
素地上に残り、その部分はめっきが着かないという問題
もある。
【0004】修酸水溶液による化学エッチング方法は、
高温の修酸水溶液で長時間処理しなければならない為、
処理が大変であり、また液の劣化が早く頻繁に液の交換
をしなければならないという問題がある。さらにチタニ
ウム及びチタニウム合金の白金めっき用前処理として、
フッ化物単体による処理が用いられることもあるが、こ
の方法では素地を溶解するだけで、あまり粗面となら
ず、密着性はあまり向上しない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、短時
間に簡単にチタニウム及びチタニウム合金の表面を均一
に細かくエッチングでき、白金めっきをした際、均一で
密着性の優れためっき被覆が得られるような、白金めっ
き前処理用粗面化エッチング液及びエッチング方法を提
供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のチタニウム及びチタニウム合金の白金めっき
前処理用粗面化エッチング液は、4N以上12N以下の硝
酸、2N以上24N以下の硫酸又は4N以上12N以下の塩
酸のいずれかよりなり、フッ化物を0.05重量%以上 0.5
重量%以下含有していることを特徴とするものである。
ここで言うフッ化物としてはHF、NaF、KF、NH
4 F、NH4 HF2 、H2 SiF6 、HBF4 並びにH
2 SiF6 のアルカリ金属塩及びアンモニウム塩並びに
HBF4 のアルカリ金属塩及びアンモニウム塩より選択
される1種以上などが用いられる。
【0007】また本発明のチタニウム及びチタニウム合
金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液は、4N以
上16N以下の硫酸よりなり、NH4 HF2 を 0.1重量%
以上0.3重量%以下含有していることを特徴とするもの
である。
【0008】さらに本発明のチタニウム及びチタニウム
合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液は、4N
以上9N以下の塩酸よりなり、NH4 HF2 を 0.1重量
%以上 0.3重量%以下含有していることを特徴とするも
のである。
【0009】また上記課題を解決するための本発明のチ
タニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面
化エッチング方法は、チタニウム及びチタニウム合金の
表面の酸化物層を除去した後、前記の白金めっき前処理
用粗面化エッチング液を用いて、チタニウム又はチタニ
ウム合金の表面を均一に細かくエッチングすることを特
徴とするものである。エッチング液による処理温度は20
℃以上80℃以下が好ましく、20℃未満ではエッチング速
度が遅すぎて処理に時間がかかりすぎ、また80℃を超え
るとエッチング速度が速すぎ、凹凸が大きくなりすぎて
好ましくない。さらに室温変化による浴温度への影響を
なくし、作業性を良くする観点からは30℃以上が、また
特に薄めっき時に好適な微細な凹凸を得る観点からは50
℃以下が望ましい。
【0010】さらにチタニウム及びチタニウム合金を前
記エッチング液にて均一に細かくエッチングした後、表
面に活性化処理を施すことにより、密着性がさらに向上
するものである。このときの活性化処理方法としては従
来より公知のものなら何でもよいが、例えば0.05重量%
以上 0.5重量%以下のNH4 HF水溶液への浸漬処理な
どが好適である。NH4 HF水溶液の場合、 0.5重量%
を超えると素地の溶解速度が大きくなり、前工程で作製
した素地表面の細かな凹凸が消滅してしまい好ましくな
く、0.05重量%未満になると浴寿命が短くなりこれも好
ましくない。本発明のチタニウム及びチタニウム合金の
白金めっき前処理用粗面化エッチング方法において、エ
ッチング前に行われる酸化膜除去は、チタニウム及びチ
タニウム合金表面に生成している酸化膜を実質的に除去
できれば良く、公知の方法、例えば2乃至10重量%程度
のフッ化物溶液又は硝酸と3乃至10重量%程度のフッ化
物との混合液により達成される。
【0011】
【作用】従来行われたサンドブラストによる処理では、
チタニウム及びチタニウム合金1の表面の凹凸は図2の
ように30μm程度と荒いものであった。ここへ白金めっ
き2を行った場合、めっきの析出は凹凸のシャープな突
起部への析出となる。そのため白金めっき2が成長して
いっても、図2のように白金めっきで覆われず、不均一
な外観となってしまった。さらにサンドブラストに用い
たエメリー粒子3の一部はチタニウム及びチタニウム合
金1にくい込み、この上には白金がまったく析出しなか
った。
【0012】一方、本発明のチタニウム及びチタニウム
合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液にて処理
すると、チタニウム及びチタニウム合金1の表面は図1
に見られるように、非常に細かく均一な粗面となる。そ
してこの表面へ白金めっき2を行うと、白金めっき2は
図1のようにまず細かな突起部へ析出し、白金めっきの
成長とともにめっき同士がつながり、均一なめっき外観
が得られる。本発明のチタニウム及びチタニウム合金の
白金めっき前処理用粗面化エッチング液により得られる
素地表面の凹凸は、おおむね0.05μm乃至 0.5μmの細
かな凹凸であり、白金めっきの析出する素地として非常
に好ましいものである。
【0013】このエッチング液の主成分となる酸は、硝
酸、硫酸又は塩酸のいずれかが用いられる。この中でも
特に好ましいのは硫酸、塩酸であり、特に硫酸は広い濃
度範囲で一様な効果が得られることより使いやすい。塩
酸は使用中に塩化水素ガスが発生して作業性を悪くする
という欠点がある反面、フッ素の排水処理時に、硫酸の
ように硫酸カルシウムを生じないで排水処理が容易だと
いう利点がある。硝酸は溶解速度が速すぎるため凹凸が
得にくく、やや制御がむずかしい。
【0014】これらの酸の濃度としては硫酸の場合4N
以上12N以下、より好ましくは4N以上16N以下のもの
が、塩酸の場合4N以上12N以下、より好ましくは4N
以上9N以下のものがそれぞれ好ましい。酸濃度がこれ
らの値より高くなると、作業性が悪くなり、またエッチ
ング速度が速くなって細かな凹凸の制御が難しくなって
好ましくなく、これらの値より低くなるとエッチングが
進まず、作業に時間がかかって好ましくない。
【0015】これらの酸に添加するフッ化物は特に限定
されるものではないが、中でもNH4 HF2 は有害なフ
ッ化水素ガスを発生させないので作業性が良い。フッ化
物の濃度は0.05重量%以上 0.5重量%以下が好ましく、
0.5重量%を超えると、溶解力が強すぎて細かな凹凸が
得難く、0.05重量%未満では液寿命が短くなる。液寿
命、良好な粗面を得る観点からは 0.1重量%以上 0.3重
量%以下の濃度がより望ましい。
【0016】前記エッチング液によるチタニウム及びチ
タニウム合金の処理温度は20℃以上80℃以下が実用的で
ある。温度が高いと得られる粗面の凹凸が深く、逆に温
度が低くなるとエッチング速度が遅くなる。夏冬の温度
差に関係なく一定の温度で作業するには、30℃以上で管
理するのが作業上楽である。また 0.3μm乃至 0.8μm
といった薄い白金めっきを行う場合はより微細な粗面が
必要となり、50℃以下の温度で処理するのが望ましい。
なお1μm以上といった厚い白金めっきを行う場合な
ど、エッチングの凹凸を深くする意味から、50℃乃至80
℃の温度で処理する方が好ましい場合もある。
【0017】
【実施例】本発明のチタニウム及びチタニウム合金の白
金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき
前処理用粗面化エッチング方法の実施例と比較例、従来
例について説明する。
【0018】
【実施例1】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 1
50mm)をイートレックス♯11、50g/l (日本エレクトロ
プレイティング・エンジニヤース社製)にて60℃で1分
間アルカリ脱脂し、水洗した後、NH4 HF2 50g/l +
硝酸3%にて室温で5分間化学研摩して表面の酸化物層
を除去し、次いで水洗後、本発明の白金めっき前処理用
粗面化エッチング液の一例である 4.5N硫酸+NH4
2 (2.5g/l)で35℃にて2分間エッチングし、次に水
洗後、NH4 HF2 5g/l にて室温で2分間浸漬して活
性化し、次いで水洗後、10%硫酸、室温で1分間酸処理
し、水洗した。
【0019】
【実施例2】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 1
50mm)をイートレックス♯11、50g/l にて60℃で1分間
アルカリ脱脂し、水洗した後、NH4 HF2 50g/l +硝
酸3%にて室温で5分間化学研摩して表面の酸化物層を
除去し、次いで水洗後、本発明の白金めっき前処理用粗
面化エッチング液の他の一例である19N硫酸+NH4
2 ( 2.5g/l )にて35℃で2分間エッチングし、次に
水洗後、HBF4 5g/l 、室温で2分間浸漬して活性化
し、次いで水洗後、10%硫酸、室温で1分間酸処理し、
水洗した。
【0020】
【実施例3】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 1
50mm)をイートレックス♯11、50g/l 、60℃で1分間ア
ルカリ脱脂し、水洗した後、NH4 HF2 50g/l +硝酸
3%、室温で5分間化学研摩して表面の酸化物層を除去
し、次いで水洗後本発明の白金めっき前処理用粗面化エ
ッチング液の他の一例である10N塩酸+NH4 HF
2 ( 2.5g/l )にて35℃で2分間エッチングし、次に水
洗後、HF5g/l 、室温で2分間かけて活性化し、次い
で水洗後、10%硫酸、室温にて1分間酸処理し、水洗し
た。
【0021】
【実施例4】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 1
50mm)をイートレックス♯11、50g/l 、60℃で1分間ア
ルカリ脱脂し、水洗した後、NH4 HF2 50g/l +硝酸
3%、室温にて5分間化学研摩して表面の酸化物層を除
去し、次いで水洗後、本発明の白金めっき前処理用粗面
化エッチング液の他の一例である8N塩酸+NH4 HF
2 ( 2.5g/l )、にて35℃で2分間エッチングし、次に
水洗後、NH4 HF2 5g/l 、室温にて2分間かけて活
性化し、次いで水洗後、10%硫酸、室温で1分間酸処理
し、水洗した。
【0022】
【実施例5】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 1
50mm)をイートレックス♯11、50g/l 、60℃で1分間ア
ルカリ脱脂し、水洗した後、NH4 HF2 50g/l +硝酸
3%、室温にて2分間化学研摩して表面の酸化物層を除
去し、次いで水洗後、本発明の白金めっき前処理用粗面
化エッチング液の他の一例である6N硝酸+NH4 HF
2 ( 2.5g/l )、にて35℃で3分間エッチングし、次に
水洗後NH4HF2 5g/l 、室温にて2分間かけ活性化
し、次いで水洗後、10%硫酸、室温で1分間酸処理し、
水洗した。
【0023】
【比較例】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 150
mm)をイートレックス♯11、50g/l 、60℃で1分間アル
カリ脱脂し、水洗した後、NH4 HF2 50g/l +硝酸3
%、室温にて5分間化学研摩して表面の酸化物層を除去
し、次いで水洗後、 7.5N硫酸+NH4 HF2 (30g/l
)、35℃で5分間エッチングし、次に水洗後、H2
iF6 1g/l 、室温で3分間かけて活性化し、次いで水
洗後、10%硫酸、室温で1分間酸処理し、水洗した。
【0024】
【従来例】チタニウム板(厚さ1mm、縦 100mm、横 150
mm)をAl2 3 粉でサンドブラスト処理し、水洗した
後、イートレックス♯11、50g/l 、60℃で1分間アルカ
リ脱脂し、次に水洗後、NH4 HF2 5g/l 、室温にて
30秒間かけて活性化し、次いで水洗後、10%硫酸、室温
で1分間酸処理し、水洗した。このように処理を行った
実施例1〜5、比較例及び従来例のチタニウム板の外観
を走査型電子顕微鏡により観察し、凹凸の大きさを測定
した。また同様に処理したチタニウム板に直ちに白金め
っきを 0.5μm施し、そのめっき被覆を検査した。それ
らの結果を表1に示す。
【0025】
【表1】
【0026】上記の表1より明らかなように、実施例1
〜5で処理したチタニウム板は全面均一に細かくエッチ
ングされており、また白金めっき後のめっき被覆は、外
観、均一電着性、緻密性、密着性全ての点で良好であっ
た。
【0027】
【発明の効果】以上の通り本発明のチタニウム及びチタ
ニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並
びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法によれ
ば、チタニウム及びチタニウム合金の表面を均一に細か
くエッチングできるので、白金めっきを施した際、均
一、緻密で密着性の優れためっき被覆を得ることができ
る。まためっき前処理が室温で且つ短時間に簡単にでき
るので、作業性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の白金めっき前処理用粗面化エッチング
方法により処理した後、白金めっきを施したチタニウム
及びチタニウム板の断面の模式図である。
【図2】従来の白金めっき前処理方法により処理した
後、白金めっきを施したチタニウム及びチタニウム板の
断面の模式図である。
【符号の説明】
1 チタニウム及びチタニウム合金素材 2 白金めっき 3 Al2 3

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 4N以上12N以下の硝酸、2N以上24N
    以下の硫酸又は4N以上12N以下の塩酸のいずれかより
    なり、フッ化物を0.05重量%以上 0.5重量%以下含有し
    ていることを特徴とする、チタニウム及びチタニウム合
    金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液。
  2. 【請求項2】 フッ化物が、HF、NaF、KF、NH
    4 F、NH4 HF2、H2 SiF6 、HBF4 並びにH
    2 SiF6 のアルカリ金属塩及びアンモニウム塩並びに
    HBF4 のアルカリ金属塩及びアンモニウム塩より選択
    される1種以上であることを特徴とする請求項1記載の
    チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗
    面化エッチング液。
  3. 【請求項3】 4N以上16N以下の硫酸よりなり、NH
    4 HF2 を 0.1重量%以上 0.3重量%以下含有している
    ことを特徴とする請求項2記載のチタニウム及びチタニ
    ウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液。
  4. 【請求項4】 4N以上9N以下の塩酸よりなり、NH
    4 HF2 を 0.1重量%以上 0.3重量%以下含有している
    ことを特徴とする請求項2記載のチタニウム及びチタニ
    ウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液。
  5. 【請求項5】 チタニウム及びチタニウム合金の表面の
    酸化物層を除去した後、請求項1から4のいずれか記載
    の白金めっき前処理用粗面化エッチング液を用いて、チ
    タニウム又はチタニウム合金の表面を均一に細かくエッ
    チングすることを特徴とするチタニウム及びチタニウム
    合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング方法。
  6. 【請求項6】 白金めっき前処理用粗面化エッチング液
    での処理温度を20℃以上80℃以下とすることを特徴とす
    る請求項5記載のチタニウム及びチタニウム合金の白金
    めっき前処理用粗面化エッチング方法。
  7. 【請求項7】 白金めっき前処理用粗面化エッチング液
    での処理温度を30℃以上50℃以下とすることを特徴とす
    る請求項6記載のチタニウム及びチタニウム合金の白金
    めっき前処理用粗面化エッチング方法。
  8. 【請求項8】 チタニウム及びチタニウム合金の表面を
    均一に細かくエッチングした後、さらに活性化処理を施
    すことを特徴とする請求項5、6又は7記載のチタニウ
    ム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッ
    チング方法。
  9. 【請求項9】 前記活性化処理が、0.05重量%以上 0.5
    重量%以下のNH4 HF水溶液への浸漬であることを特
    徴とする請求項8記載のチタニウム及びチタニウム合金
    の白金めっき前処理用粗面化エッチング方法。
JP33612494A 1994-12-24 1994-12-24 チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法 Pending JPH08176852A (ja)

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