RU2016122443A - Биодатчики для биологического или химического анализа и способы их изготовления - Google Patents

Биодатчики для биологического или химического анализа и способы их изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2016122443A
RU2016122443A RU2016122443A RU2016122443A RU2016122443A RU 2016122443 A RU2016122443 A RU 2016122443A RU 2016122443 A RU2016122443 A RU 2016122443A RU 2016122443 A RU2016122443 A RU 2016122443A RU 2016122443 A RU2016122443 A RU 2016122443A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical fibers
base
crosstalk
protective layer
filter material
Prior art date
Application number
RU2016122443A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2675775C1 (ru
Inventor
Чэн Франк ЧЖУН
Ход ФИНКЕЛШТЕЙН
Боян БОЯНОВ
Дитрих ДЕЛИНГЕР
Даррен СИГЕЙЛ
Original Assignee
Иллумина, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Иллумина, Инк. filed Critical Иллумина, Инк.
Publication of RU2016122443A publication Critical patent/RU2016122443A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2675775C1 publication Critical patent/RU2675775C1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N21/05—Flow-through cuvettes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
    • G01N21/6454—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates using an integrated detector array
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
    • G01N27/4145—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for biomolecules, e.g. gate electrode with immobilised receptors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/53—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
    • G01N33/543—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
    • G01N33/54366—Apparatus specially adapted for solid-phase testing
    • G01N33/54373—Apparatus specially adapted for solid-phase testing involving physiochemical end-point determination, e.g. wave-guides, FETS, gratings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
    • H01L27/085—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
    • H01L27/088—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144—Devices controlled by radiation
    • H01L27/146—Imager structures
    • H01L27/14601—Structural or functional details thereof
    • H01L27/1462—Coatings
    • H01L27/14623—Optical shielding
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • C12Q1/6869—Methods for sequencing
    • C12Q1/6874—Methods for sequencing involving nucleic acid arrays, e.g. sequencing by hybridisation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
    • G01N2021/6439—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes" with indicators, stains, dyes, tags, labels, marks
    • G01N2021/6441—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes" with indicators, stains, dyes, tags, labels, marks with two or more labels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N2021/6482—Sample cells, cuvettes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/061—Sources
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/064—Stray light conditioning
    • G01N2201/0642—Light traps; baffles

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Cell Biology (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Claims (56)

1. Биодатчик, содержащий:
проточную кювету; и
устройство обнаружения с присоединенной к ней проточной кюветой, при этом проточная кювета и устройство обнаружения формируют проточный канал, который выполнен имеющим биологические или химические вещества, находящиеся в нем, которые генерируют световые излучения в ответ на свет возбуждения, при этом устройство обнаружения включает в себя:
основу устройства, имеющую матрицу светочувствительных датчиков и матрицу световодов, при этом световоды имеют области входа, которые выполнены с возможностью приема света возбуждения и световых излучений из проточного канала, при этом световоды простираются в основу устройства от областей входа к соответствующим светочувствительным датчикам и имеют фильтрующий материал, который предназначен для фильтрации света возбуждения и обеспечения возможности распространения световых излучений к соответствующим светочувствительным датчикам, при этом основа устройства содержит схему устройства, электрически соединенную со светочувствительными датчиками и выполненную с возможностью передачи сигналов данных, основанных на фотонах, обнаруженных светочувствительными датчиками; и
защитный слой, простирающийся между проточным каналом и основой устройства и имеющий отверстия, позиционированные относительно областей входа соответствующих световодов таким образом, что световые излучения распространяются через отверстия в соответствующие области входа, при этом защитный слой простирается между смежными отверстиями и предназначен для блокирования света возбуждения и световых излучений, падающих на защитный слой между смежными отверстиями.
2. Биодатчик по п. 1, в котором области входа световодов расположены в пределах соответствующих отверстий защитного слоя или расположены на глубине в основе устройства.
3. Биодатчик по п. 1, дополнительно содержащий пассивирующий слой, который простирается вдоль защитного слоя таким образом, что защитный слой находится между пассивирующим слоем и основой устройства, при этом пассивирующий слой простирается поперек отверстий.
4. Биодатчик по п. 3, в котором фильтрующий материал световодов представляет собой органический фильтрующий материал, при этом пассивирующий слой простирается непосредственно вдоль областей входа световодов и изолирует органический фильтрующий материал от защитного слоя.
5. Биодатчик по п. 3, в котором пассивирующий слой простирается непосредственно вдоль областей входа световодов на поверхностях раздела соответствующих материалов, при этом поверхности раздела материалов расположены в пределах соответствующих отверстий защитного слоя или расположены на глубине в основе устройства.
6. Биодатчик по п. 3, в котором пассивирующий слой простирается в отверстия и формирует матрицу углублений для реакций, при этом углубления для реакций простираются в направлении или расположены в пределах соответствующих отверстий.
7. Биодатчик по п. 6, в котором биологические или химические вещества предназначены для размещения в пределах углублений для реакций.
8. Биодатчик по п. 6, в котором углубления для реакций имеют соответствующие опорные поверхности, расположенные в пределах отверстия или расположенные на глубине в основе устройства.
9. Биодатчик по п. 1, в котором основа устройства содержит периферические экраны от перекрестных помех, при этом каждый из экранов от перекрестных помех окружает один из соответствующих световодов, при этом экраны от перекрестных помех выполнены с возможностью снижения оптических перекрестных помех между смежными светочувствительными датчиками.
10. Биодатчик по п. 1, при этом биодатчик является безлинзовым, так что биодатчик не содержит оптический элемент, который фокусирует световые излучения в фокальной точке.
11. Биодатчик, содержащий:
проточную кювету; и
устройство обнаружения с присоединенной к нему проточной кюветой, при этом проточная кювета и устройство обнаружения формируют проточный канал, который выполнен имеющим биологические или химические вещества, находящиеся в нем, которые генерируют световые излучения в ответ на свет возбуждения, при этом устройство обнаружения включает в себя:
основу устройства, имеющую матрицу светочувствительных датчиков и матрицу световодов, при этом световоды выполнены с возможностью приема света возбуждения и световых излучений из проточного канала, при этом каждый из световодов простирается в основу устройства вдоль центральной продольной оси от области входа световода к соответствующему светочувствительному датчику из матрицы датчиков, при этом световоды содержат фильтрующий материал, который предназначен для фильтрации света возбуждения и обеспечения возможности распространения световых излучений через него к соответствующим светочувствительным датчикам, при этом основа устройства содержит схему устройства, электрически соединенную со светочувствительными датчиками и выполненную с возможностью передачи сигналов данных, основанных на фотонах, обнаруженных светочувствительными датчиками;
при этом основа устройства содержит размещенные в ней периферические экраны от перекрестных помех, которые, по меньшей мере частично, окружают соответствующие световоды из матрицы световодов, при этом экраны от перекрестных помех, по меньшей мере частично, окружают соответствующие световоды вокруг соответствующей продольной оси для снижения оптических перекрестных помех между смежными светочувствительными датчиками.
12. Биодатчик по п. 11, в котором экраны от перекрестных помех окружают области входа соответствующих световодов.
13. Биодатчик по п. 11, в котором экраны от перекрестных помех содержат кольца от перекрестных помех, которые окружают соответствующий световод по окружности.
14. Биодатчик по п. 11, в котором основа устройства содержит комплементарную структуру металл-оксид-полупроводник (КМОП) и схему устройства, и при этом экраны от перекрестных помех содержат металлические элементы, расположенные в пределах диэлектрических слоев основы устройства, при этом экраны от перекрестных помех электрически отделены от схемы устройства.
15. Биодатчик по п. 11, дополнительно содержащий защитный слой, простирающийся между проточным каналом и основой устройства и имеющий отверстия, которые позиционированы относительно областей входа соответствующих световодов из матрицы световодов и обеспечивают возможность распространения световых излучений через них в области входа, при этом защитный слой простирается между смежными отверстиями и предназначен для блокирования света возбуждения и световых излучений, падающих на защитный слой между смежными отверстиями.
16. Биодатчик по п. 15, в котором области входа световодов расположены в пределах соответствующих отверстий защитного слоя или расположены на глубине в основе устройства.
17. Биодатчик по п. 15, дополнительно содержащий пассивирующий слой, который простирается вдоль защитного слоя таким образом, что защитный слой находится между пассивирующим слоем и основой устройства, и поперек отверстий.
18. Биодатчик по п. 15, в котором экран от перекрестных помех примыкает или является непосредственно смежным с защитным слоем.
19. Биодатчик по п. 11, в котором экраны от перекрестных помех представляют собой первые экраны от перекрестных помех, при этом основа устройства содержит вторые экраны от перекрестных помех, при этом каждый из световодов из матрицы световодов, по меньшей мере частично, окружены соответствующими первыми и вторыми экранами от перекрестных помех.
20. Биодатчик по п. 19, в котором первые и вторые экраны от перекрестных помех разнесены друг от друга вдоль соответствующей продольной оси.
21. Биодатчик по п. 19, в котором первые и вторые экраны от перекрестных помех имеют различные размеры.
22. Способ изготовления биодатчика, включающий:
обеспечение основы устройства, имеющей матрицу светочувствительных датчиков и схему устройства, которая электрически соединена со светочувствительными датчикам и выполнена с возможностью передачи сигналов данных, основанных на фотонах, обнаруженных светочувствительными датчиками, при этом основа устройства имеет наружную поверхность;
нанесение защитного слоя на наружную поверхность основы устройства;
формирование отверстий через защитный слой;
формирование полостей световодов, которые простираются от соответствующих отверстий к соответствующему светочувствительному датчику из матрицы датчиков;
осаждение фильтрующего материала в пределах полостей световодов, при этом часть фильтрующего материала простирается вдоль защитного слоя;
отверждение фильтрующего материала;
удаление фильтрующего материала с защитного слоя, при этом фильтрующий материал в пределах полостей световодов формирует световоды; и
нанесение пассивирующего слоя на защитный слой таким образом, что пассивирующий слой простирается непосредственно вдоль защитного слоя и поперек отверстий.
23. Способ по п. 22, при этом удаление фильтрующего материала из защитного слоя включает в себя удаление части фильтрующего материала в пределах полостей световодов таким образом, что слой фильтрующего материала располагается в пределах отверстия или на глубине ниже защитного слоя.
24. Способ по п. 22, при этом пассивирующий слой простирается непосредственно вдоль световодов на поверхностях раздела соответствующих материалов, при этом поверхности раздела материалов располагаются в пределах соответствующих отверстий или располагаются на глубине в основе устройства.
25. Способ по п. 22, при этом фильтрующий материал световодов представляет собой органический фильтрующий материал, при этом пассивирующий слой простирается непосредственно вдоль световодов и изолирует органический фильтрующий материал от защитного слоя.
26. Способ по п. 22, при этом пассивирующий слой формирует матрицу из углублений для реакций, при этом реакционные углубления простираются к соответствующим отверстиям или расположены в них.
27. Способ по п. 26, при этом углубления для реакций имеют соответствующие опорные поверхности, расположенные в пределах отверстия или расположенные на глубине в основе устройства.
28. Способ по п. 22, дополнительно включающий в себя присоединение проточной кюветы к основе устройства для формирования проточного канала между пассивирующим слоем и проточной кюветой.
29. Способ по п. 22, при этом удаление фильтрующего материала из защитного слоя включает в себя по меньшей мере одно из травления фильтрующего материала или химической полировки фильтрующего материала.
30. Способ по п. 22, при этом пассивирующий слой содержит пятиокись тантала (Ta2O5).
31. Способ по п. 30, при этом пассивирующий слой содержит множественные подслои, при этом по меньшей мере один из подслоев содержит пятиокись тантала (Ta2O5).
32. Способ по п. 31, при этом подслои включают в себя два слоя пятиокиси тантала с низкотемпературной пленкой между ними.
33. Способ по п. 22, при этом основа устройства имеет области световодов, которые содержат материал подложки до формирования полостей световодов, при этом смежные области световодов разделены областями схемы, которые содержат схему устройства, при этом формирование полостей световодов включает в себя удаление материала подложки из областей световодов.
34. Способ по п. 33, при этом основа устройства включает в себя периферические экраны от перекрестных помех, которые окружают области световодов до формирования полостей световодов, при этом экраны от перекрестных помех по меньшей мере частично окружают соответствующие световоды после формирования световодов, при этом экраны от перекрестных помех выполнены с возможностью снижения оптических перекрестных помех между смежными светочувствительными датчиками.
35. Биодатчик, содержащий:
основу устройства, имеющую матрицу светочувствительных датчиков и матрицу световодов, при этом основа устройства имеет наружную поверхность, световоды имеют области входа, которые выполнены с возможностью приема света возбуждения и световых излучений, сгенерированных биологическими или химическими веществами вблизи наружной поверхности, при этом световоды простираются в основу устройства от областей входа к соответствующим светочувствительным датчикам и имеют фильтрующий материал, который предназначен для фильтрации света возбуждения и обеспечения возможности распространения световых излучений к соответствующим светочувствительным датчикам, при этом основа устройства содержит схему устройства, электрически соединенную со светочувствительными датчиками и выполненную с возможностью передачи сигналов данных, основанных на фотонах, обнаруженных светочувствительными датчиками; и
защитный слой, простирающийся вдоль наружной поверхности основы устройства и имеющий отверстия, позиционированные относительно областей входа соответствующих световодов таким образом, что световые излучения распространяются через отверстия в соответствующие области входа, при этом защитный слой простирается между смежными отверстиями и предназначен для блокирования света возбуждения и световых излучений, падающих на защитный слой между смежными отверстиями.
36. Биодатчик, содержащий:
основу устройства, имеющую матрицу светочувствительных датчиков и матрицу световодов, при этом основа имеет наружную поверхность, световоды выполнены с возможностью приема света возбуждения и световых излучений, сгенерированных биологическими или химическими веществами вблизи этой наружной поверхности, при этом каждый из световодов простирается в основу устройства вдоль центральной продольной оси от области входа световода к соответствующему светочувствительному датчику из матрицы датчиков, при этом световод содержит фильтрующий материал, который предназначен для фильтрации света возбуждения и обеспечения возможности распространения световых излучений через него к соответствующим светочувствительным датчикам, при этом основа устройства содержит схему устройства, которая электрически соединена со светочувствительными датчиками и выполнена с возможностью передачи сигналов данных, основанных на фотонах, обнаруженных светочувствительными датчиками;
при этом основа устройства содержит размещенные в ней периферические экраны от перекрестных помех, которые окружают соответствующие световоды из матрицы световодов, при этом экраны от перекрестных помех, по меньшей мере частично, окружают соответствующие световоды вокруг соответствующей продольной оси с целью по меньшей мере одного из блокирования или отражения отклоненных лучей света для снижения оптических перекрестных помех между смежными светочувствительными датчиками.
RU2016122443A 2013-12-10 2014-12-09 Биодатчики для биологического или химического анализа и способы их изготовления RU2675775C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361914275P 2013-12-10 2013-12-10
US61/914,275 2013-12-10
PCT/US2014/069373 WO2015089092A1 (en) 2013-12-10 2014-12-09 Biosensors for biological or chemical analysis and methods of manufacturing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2016122443A true RU2016122443A (ru) 2018-01-23
RU2675775C1 RU2675775C1 (ru) 2018-12-24

Family

ID=53371771

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016122443A RU2675775C1 (ru) 2013-12-10 2014-12-09 Биодатчики для биологического или химического анализа и способы их изготовления

Country Status (19)

Country Link
US (4) US10254225B2 (ru)
EP (2) EP4220137A1 (ru)
JP (3) JP6672149B2 (ru)
KR (3) KR102374536B1 (ru)
CN (2) CN105980832B (ru)
AU (2) AU2014364006B2 (ru)
BR (2) BR122020010030B1 (ru)
CA (2) CA3133543C (ru)
CL (1) CL2016001389A1 (ru)
DK (1) DK3080585T3 (ru)
ES (1) ES2971473T3 (ru)
IL (1) IL246060B (ru)
MX (1) MX360883B (ru)
NZ (1) NZ720871A (ru)
RU (1) RU2675775C1 (ru)
SA (1) SA516371289B1 (ru)
SG (3) SG10202010045QA (ru)
WO (1) WO2015089092A1 (ru)
ZA (3) ZA201603872B (ru)

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8906320B1 (en) 2012-04-16 2014-12-09 Illumina, Inc. Biosensors for biological or chemical analysis and systems and methods for same
EP2932619A4 (en) 2012-12-11 2016-08-03 Univ Southern California PASSIVE LEAKAGE SUPPRESSION NETWORKS FOR DUPLEX AND COEXISTANT WIRELESS COMMUNICATION SYSTEMS
CN105814737B (zh) 2013-12-10 2019-06-04 南加利福尼亚大学 增强混合式抵消网络和双工器中的隔离和阻抗匹配
KR102374536B1 (ko) 2013-12-10 2022-03-14 일루미나, 인코포레이티드 생물학적 또는 화학적 분석을 위한 바이오센서들 및 이를 제조하기 위한 방법
US9843302B2 (en) 2014-02-14 2017-12-12 University Of Southern California Reflection and hybrid reflection filters
WO2015123668A1 (en) 2014-02-14 2015-08-20 University Of Southern California Hybrid-based cancellation in presence of antenna mismatch
CN106031076B (zh) 2014-02-19 2020-03-06 南加利福尼亚大学 基于微型声谐振器的滤波器和双工器
ES2775607T3 (es) 2014-06-05 2020-07-27 Illumina Inc Sistemas y métodos que incluyen una válvula rotatoria para al menos uno de preparación de muestras o análisis de muestras
EP3283870B1 (en) 2015-04-14 2020-05-06 Illumina, Inc. Structured substrates for improving detection of light emissions and methods relating to the same
MX2018001829A (es) 2015-08-14 2018-05-28 Illumina Inc Sistemas y metodos que utilizan detectores magneticamente sensibles para determinar una caracteristica genetica.
US20170059517A1 (en) * 2015-08-25 2017-03-02 Life Technologies Corporation Deep microwell designs and methods of making the same
WO2017045107A1 (en) * 2015-09-14 2017-03-23 Shenzhen Genorivision Technology Co. Ltd. Biosensor
RU2771563C2 (ru) 2016-10-14 2022-05-05 Иллюмина, Инк. Картриджный узел
US10890528B2 (en) * 2016-10-27 2021-01-12 Sharp Kabushiki Kaisha Fluorescent testing system, molecular testing method, and fluorescent testing method
EP4123293A3 (en) * 2016-11-03 2023-04-05 MGI Tech Co., Ltd. Biosensor and method of manufacturing the same
KR102373741B1 (ko) * 2017-03-07 2022-03-11 일루미나, 인코포레이티드 단일 광원, 2-광학 채널 서열분석
AU2018237066B2 (en) 2017-03-20 2022-09-15 Mgi Tech Co., Ltd. Biosensors for biological or chemical analysis and methods of manufacturing the same
NL2019043B1 (en) 2017-04-25 2018-11-05 Illumina Inc Sensors having integrated protection circuitry
WO2019035897A1 (en) 2017-08-15 2019-02-21 Omniome, Inc. SCANNING APPARATUS AND METHODS USEFUL FOR DETECTION OF CHEMICAL OR BIOLOGICAL ANALYTES
WO2019060177A1 (en) * 2017-09-19 2019-03-28 Complete Genomics, Inc. MANUFACTURE OF SEQUENCING FLOW CELLS AT THE WAFER
NL2020612B1 (en) 2017-12-22 2019-07-02 Illumina Inc Light detection devices with protective liner and methods of manufacturing same
US10793963B2 (en) 2017-12-22 2020-10-06 Illumina, Inc. Passivating fissures in substrates
NL2020625B1 (en) * 2017-12-22 2019-07-02 Illumina Inc Two-filter light detection devices and methods of manufacturing same
CN111095558B (zh) * 2017-12-26 2021-06-18 伊鲁米纳公司 传感器系统
NL2020615B1 (en) * 2017-12-26 2019-07-02 Illumina Inc Image sensor structure
TWI698638B (zh) * 2017-12-28 2020-07-11 美商伊路米納有限公司 具有降低的螢光範圍雜訊的檢測器以及用於降低螢光範圍雜訊的方法
NL2020636B1 (en) * 2017-12-28 2019-07-08 Illumina Inc Light energy fluorescence excitation
NL2020621B1 (en) * 2018-01-08 2019-07-15 Illumina Inc Multiplexing of an active sensor detector using structured illumination
WO2019136376A1 (en) * 2018-01-08 2019-07-11 Illumina, Inc. High-throughput sequencing with semiconductor-based detection
CA3065780A1 (en) * 2018-01-08 2019-07-11 Illumina, Inc. Systems and devices for high-throughput sequencing with semiconductor-based detection
CN110044854A (zh) * 2018-01-16 2019-07-23 伊鲁米那股份有限公司 图样角度空间选择结构照明成像
MX2020014055A (es) * 2018-09-14 2021-05-27 Illumina Inc Celdas de flujo y metodos relacionados con las mismas.
US20200164360A1 (en) 2018-11-26 2020-05-28 Illumina, Inc. Flow cell systems and methods related to same
US11573109B2 (en) * 2018-12-26 2023-02-07 Houghton Technical Corp. Measurement of fluid parameters
WO2020172444A1 (en) 2019-02-20 2020-08-27 Omniome, Inc. Scanning apparatus and methods for detecting chemical and biological analytes
US11783917B2 (en) 2019-03-21 2023-10-10 Illumina, Inc. Artificial intelligence-based base calling
US11210554B2 (en) 2019-03-21 2021-12-28 Illumina, Inc. Artificial intelligence-based generation of sequencing metadata
CN110066723A (zh) * 2019-05-05 2019-07-30 京东方科技集团股份有限公司 基因测序芯片、设备、制造方法
US11593649B2 (en) 2019-05-16 2023-02-28 Illumina, Inc. Base calling using convolutions
CN113994192B (zh) 2019-05-17 2023-12-05 上海芯像生物科技有限公司 用于分子检测和感测的分析系统
CN112673251A (zh) 2019-05-31 2021-04-16 伊鲁米那股份有限公司 核苷酸选择性沉积或激活的流通池
US11137385B2 (en) 2019-05-31 2021-10-05 Illumina, Inc. Obtaining information from a biological sample in a flow cell
EP3977456A4 (en) 2019-05-31 2023-05-31 Illumina Inc STORAGE DEVICE, SYSTEM, AND METHOD
WO2020243076A1 (en) 2019-05-31 2020-12-03 Illumina, Inc. System and method for storage
WO2020243077A1 (en) 2019-05-31 2020-12-03 Illumina, Inc. Flow cell with one or more barrier features
CN112654719A (zh) 2019-05-31 2021-04-13 伊鲁米纳公司 使用流动池进行信息存储和检索的系统和方法
CN110229747A (zh) * 2019-06-18 2019-09-13 京东方科技集团股份有限公司 基因测序芯片、设备及制备方法
US20210055255A1 (en) * 2019-08-21 2021-02-25 Life Technologies Corporation Devices incorporating multilane flow cell
TWI709773B (zh) * 2019-09-20 2020-11-11 銘傳大學 基於損耗模態共振之極性控制式生物感測器、感測系統及其使用方法
EP4042481A4 (en) * 2019-10-09 2023-10-18 Illumina, Inc. IMAGE SENSOR STRUCTURE
US11705472B2 (en) * 2019-10-10 2023-07-18 Visera Technologies Company Limited Biosensor and method of distinguishing a light
US11630062B2 (en) 2019-10-10 2023-04-18 Visera Technologies Company Limited Biosensor and method of forming the same
US11105745B2 (en) 2019-10-10 2021-08-31 Visera Technologies Company Limited Biosensor
JP7469338B2 (ja) * 2019-11-13 2024-04-16 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 検出チップ及びその製造方法、ならびに使用方法、反応システム
EP4052018A4 (en) * 2020-01-21 2022-11-02 Hewlett-Packard Development Company L.P. MICROFLUIDIC REACTION CHAMBER WITH REACTION CHAMBER CIRCUIT
EP4107735A2 (en) 2020-02-20 2022-12-28 Illumina, Inc. Artificial intelligence-based many-to-many base calling
CN113711368A (zh) 2020-03-20 2021-11-26 上海芯像生物科技有限公司 用于分子检测和感测的高通量分析系统
US20210379578A1 (en) * 2020-06-04 2021-12-09 Illumina, Inc. Apparatus with a sensor having an active surface
RU2749698C1 (ru) * 2020-11-17 2021-06-16 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Биомолекулярный сенсор с микроэлектронным генератором электромагнитной волны
US20220336054A1 (en) 2021-04-15 2022-10-20 Illumina, Inc. Deep Convolutional Neural Networks to Predict Variant Pathogenicity using Three-Dimensional (3D) Protein Structures
RU2764964C1 (ru) * 2021-04-16 2022-01-24 Татьяна Анатольевна Кучменко Мобильное устройство на основе массива сенсоров для анализа биопроб малого объема
KR102497632B1 (ko) * 2021-05-31 2023-02-08 호산테크 주식회사 나노버블 소멸장치
WO2023122137A1 (en) * 2021-12-23 2023-06-29 Illumina, Inc. Systems and related temperature calibration methods
JP7479590B2 (ja) 2022-01-21 2024-05-09 国立大学法人 熊本大学 導光ユニット、吸光度測定装置、およびインキュベータ
WO2023170695A1 (en) * 2022-03-10 2023-09-14 Watersight Ltd System and apparatus for fluid monitoring

Family Cites Families (171)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4762413A (en) * 1984-09-07 1988-08-09 Olympus Optical Co., Ltd. Method and apparatus for measuring immunological reaction with the aid of fluctuation in intensity of scattered light
AT390677B (de) 1986-10-10 1990-06-11 Avl Verbrennungskraft Messtech Sensorelement zur bestimmung von stoffkonzentrationen
EP0450060A1 (en) 1989-10-26 1991-10-09 Sri International Dna sequencing
US5605662A (en) 1993-11-01 1997-02-25 Nanogen, Inc. Active programmable electronic devices for molecular biological analysis and diagnostics
US5846708A (en) 1991-11-19 1998-12-08 Massachusetts Institiute Of Technology Optical and electrical methods and apparatus for molecule detection
JPH069818A (ja) 1992-06-22 1994-01-18 Tokyo Seihin Kaihatsu Kenkyusho:Kk 有機光学材料
US5298741A (en) 1993-01-13 1994-03-29 Trustees Of Tufts College Thin film fiber optic sensor array and apparatus for concurrent viewing and chemical sensing of a sample
JPH0745805A (ja) 1993-07-29 1995-02-14 Olympus Optical Co Ltd オンチップマイクロレンズを備えた固体撮像装置
ATE214633T1 (de) 1993-10-28 2002-04-15 Houston Advanced Res Ct Mikrofabriziertes poröses durchflussgerät
US5965452A (en) 1996-07-09 1999-10-12 Nanogen, Inc. Multiplexed active biologic array
US5485277A (en) * 1994-07-26 1996-01-16 Physical Optics Corporation Surface plasmon resonance sensor and methods for the utilization thereof
US5641658A (en) 1994-08-03 1997-06-24 Mosaic Technologies, Inc. Method for performing amplification of nucleic acid with two primers bound to a single solid support
US6090592A (en) 1994-08-03 2000-07-18 Mosaic Technologies, Inc. Method for performing amplification of nucleic acid on supports
US5672881A (en) 1994-09-14 1997-09-30 Glyko, Inc. Charge-coupled device imaging apparatus
AU4379197A (en) 1996-08-16 1998-03-06 Novartis Ag Optical detector
US5854684A (en) 1996-09-26 1998-12-29 Sarnoff Corporation Massively parallel detection
US5872623A (en) 1996-09-26 1999-02-16 Sarnoff Corporation Massively parallel detection
US6111248A (en) 1996-10-01 2000-08-29 Texas Instruments Incorporated Self-contained optical sensor system
WO1998026277A2 (en) 1996-12-12 1998-06-18 Prolume, Ltd. Apparatus and method for detecting and identifying infectious agents
JP4663824B2 (ja) 1996-12-31 2011-04-06 ハイ スループット ジェノミクス インコーポレイテッド 多重化分子分析装置および方法
US6122042A (en) 1997-02-07 2000-09-19 Wunderman; Irwin Devices and methods for optically identifying characteristics of material objects
DE69824716D1 (de) 1997-04-01 2004-07-29 Manteia S A Methode zur sequenzierung von nukleinsäuren
ES2563643T3 (es) 1997-04-01 2016-03-15 Illumina Cambridge Limited Método de secuenciación de ácido nucleico
US6235471B1 (en) 1997-04-04 2001-05-22 Caliper Technologies Corp. Closed-loop biochemical analyzers
US5942775A (en) 1997-04-30 1999-08-24 Lucent Technologies Inc. Photosensing device with improved spectral response and low thermal leakage
US5894351A (en) 1997-05-13 1999-04-13 Colvin, Jr.; Arthur E. Fluorescence sensing device
US6222619B1 (en) * 1997-09-18 2001-04-24 University Of Utah Research Foundation Diagnostic device and method
US6117643A (en) 1997-11-25 2000-09-12 Ut Battelle, Llc Bioluminescent bioreporter integrated circuit
US6197503B1 (en) 1997-11-26 2001-03-06 Ut-Battelle, Llc Integrated circuit biochip microsystem containing lens
US6686150B1 (en) 1998-01-27 2004-02-03 Clinical Micro Sensors, Inc. Amplification of nucleic acids with electronic detection
US6485905B2 (en) 1998-02-02 2002-11-26 Signature Bioscience, Inc. Bio-assay device
GB9810350D0 (en) * 1998-05-14 1998-07-15 Ciba Geigy Ag Organic compounds
US6908770B1 (en) 1998-07-16 2005-06-21 Board Of Regents, The University Of Texas System Fluid based analysis of multiple analytes by a sensor array
AR021833A1 (es) 1998-09-30 2002-08-07 Applied Research Systems Metodos de amplificacion y secuenciacion de acido nucleico
AU2740000A (en) 1999-01-25 2000-08-07 Lockheed Martin Energy Research Corporation Multifunctional and multispectral biosensor devices and methods of use
CA2360932A1 (en) * 1999-02-01 2000-08-10 Vir A/S A surface plasmon resonance sensor
AU3005400A (en) 1999-02-23 2000-09-14 Ljl Biosystems, Inc. Frequency-domain light detection device
US20050191698A1 (en) 1999-04-20 2005-09-01 Illumina, Inc. Nucleic acid sequencing using microsphere arrays
US6899137B2 (en) 1999-06-28 2005-05-31 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
CN1316636C (zh) * 1999-08-02 2007-05-16 卡西欧计算机株式会社 光传感器和光传感器系统
US6867851B2 (en) 1999-11-04 2005-03-15 Regents Of The University Of Minnesota Scanning of biological samples
US6784982B1 (en) 1999-11-04 2004-08-31 Regents Of The University Of Minnesota Direct mapping of DNA chips to detector arrays
US6323944B1 (en) 1999-11-19 2001-11-27 Jobin Yvon, Inc. Compact spectrofluorometer
JP2003515129A (ja) 1999-11-19 2003-04-22 ジョビン イヴォン、インコーポレーテッド コンパクトな分光蛍光計
TW463525B (en) 2000-06-01 2001-11-11 Ind Tech Res Inst Organic electroluminescent device and the manufacturing method of the same
IT1317969B1 (it) 2000-06-09 2003-07-21 Nora Elettrodi De Elettrodo caratterizzato da elevata adesione di uno strato cataliticosuperficiale.
CN101525660A (zh) 2000-07-07 2009-09-09 维西根生物技术公司 实时序列测定
JP4030710B2 (ja) 2000-08-07 2008-01-09 富士フイルム株式会社 画像読取装置
EP1182602B1 (en) 2000-08-25 2007-04-25 STMicroelectronics S.r.l. A system for the automatic analysis of DNA microarray images
AU2001289914A1 (en) 2000-09-25 2002-04-02 Sensovation Ag Image sensor device, apparatus and method for optical measurements
JP3672085B2 (ja) 2000-10-11 2005-07-13 シャープ株式会社 固体撮像素子およびその製造方法
AU2002227156A1 (en) 2000-12-01 2002-06-11 Visigen Biotechnologies, Inc. Enzymatic nucleic acid synthesis: compositions and methods for altering monomer incorporation fidelity
US6403970B1 (en) 2000-12-05 2002-06-11 Industrial Technology Research Institute Matrix biochip sensing system
AR031640A1 (es) 2000-12-08 2003-09-24 Applied Research Systems Amplificacion isotermica de acidos nucleicos en un soporte solido
US7214295B2 (en) 2001-04-09 2007-05-08 Vishay Dale Electronics, Inc. Method for tantalum pentoxide moisture barrier in film resistors
US6844563B2 (en) 2001-05-22 2005-01-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Fluorescence detecting device with integrated circuit and photodiode, and detection method
US6653083B2 (en) 2001-05-22 2003-11-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Fluorescence detecting device, method for producing the same, and fluorescence detecting method employing the same
US7075104B2 (en) 2001-09-12 2006-07-11 Reveo, Inc. Microchannel plates and biochip arrays, and methods of making same
US6982519B2 (en) 2001-09-18 2006-01-03 Ut-Battelle Llc Individually electrically addressable vertically aligned carbon nanofibers on insulating substrates
US7057026B2 (en) 2001-12-04 2006-06-06 Solexa Limited Labelled nucleotides
TWI293363B (en) 2001-12-11 2008-02-11 Sensors For Med & Science Inc High performance fluorescent optical sensor
US20030178641A1 (en) * 2002-01-23 2003-09-25 Blair Steven M. Microfluidic platforms for use with specific binding assays, specific binding assays that employ microfluidics, and methods
US20030136921A1 (en) 2002-01-23 2003-07-24 Reel Richard T Methods for fluorescence detection that minimizes undesirable background fluorescence
US7524459B2 (en) 2002-01-24 2009-04-28 California Institute Of Technology In Pasadena Optoelectronic and microfluidic integration for miniaturized spectroscopic devices
JP3909419B2 (ja) 2002-02-27 2007-04-25 セルテック コー．，エルティーディー フォトダイオードを用いた遺伝物質及びたんぱく質物質の自動分析装置
US20040002090A1 (en) 2002-03-05 2004-01-01 Pascal Mayer Methods for detecting genome-wide sequence variations associated with a phenotype
US7604981B1 (en) 2002-03-08 2009-10-20 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Excitable target marker detection
US7179654B2 (en) 2002-03-18 2007-02-20 Agilent Technologies, Inc. Biochemical assay with programmable array detection
US6946286B2 (en) 2002-05-09 2005-09-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for detecting DNA hybridization
JP3641619B2 (ja) 2002-05-14 2005-04-27 株式会社日立製作所 生体試料検査装置
US7005264B2 (en) 2002-05-20 2006-02-28 Intel Corporation Method and apparatus for nucleic acid sequencing and identification
US6867420B2 (en) 2002-06-03 2005-03-15 The Regents Of The University Of California Solid-state detector and optical system for microchip analyzers
US6975251B2 (en) 2002-06-20 2005-12-13 Dakota Technologies, Inc. System for digitizing transient signals with waveform accumulator
AU2003259350A1 (en) 2002-08-23 2004-03-11 Solexa Limited Modified nucleotides for polynucleotide sequencing
US7414116B2 (en) 2002-08-23 2008-08-19 Illumina Cambridge Limited Labelled nucleotides
US7595883B1 (en) 2002-09-16 2009-09-29 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Biological analysis arrangement and approach therefor
TW594006B (en) 2003-07-04 2004-06-21 Veutron Corp Biosensor with multi-channel A/D conversion and a method thereof
US7170605B2 (en) 2003-08-25 2007-01-30 Evan Francis Cromwell Active sensor and method for optical illumination and detection
US7361919B2 (en) * 2003-09-05 2008-04-22 Authentec, Inc. Multi-biometric finger sensor having different selectivities and associated methods
GB0321306D0 (en) 2003-09-11 2003-10-15 Solexa Ltd Modified polymerases for improved incorporation of nucleotide analogues
EP1692488B1 (en) * 2003-12-10 2011-07-20 GE Healthcare Bio-Sciences AB Sample flow positioning method
WO2005065814A1 (en) 2004-01-07 2005-07-21 Solexa Limited Modified molecular arrays
US7221455B2 (en) 2004-01-20 2007-05-22 The Regents Of The Unversity Of California Integrated, fluorescence-detecting microanalytical system
WO2005069737A2 (en) 2004-01-27 2005-08-04 Ramot At Tel Aviv University Ltd. Method and system for detecting analytes
DE102004009012A1 (de) * 2004-02-25 2005-09-15 Roche Diagnostics Gmbh Testelement mit einer Kapillare zum Transport einer flüssigen Probe
US7489401B2 (en) 2004-03-01 2009-02-10 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Device for detecting emission light of micro-object
WO2006025866A2 (en) * 2004-03-05 2006-03-09 Creatv Microtech, Inc. Integrated multistep biosensor
US7258731B2 (en) 2004-07-27 2007-08-21 Ut Battelle, Llc Composite, nanostructured, super-hydrophobic material
EP1782477A1 (en) * 2004-08-20 2007-05-09 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Microelectronic system with a passivation layer
JP2008513782A (ja) 2004-09-17 2008-05-01 パシフィック バイオサイエンシーズ オブ カリフォルニア， インコーポレイテッド 分子解析のための装置及び方法
FR2876185B1 (fr) 2004-10-01 2008-01-11 Centre Nat Rech Scient Cnrse Detection des emissions de fluorescence induite par un laser
US7585664B2 (en) 2004-10-14 2009-09-08 The Hong Kong University Of Science And Technology Integrated circuit optical detector for biological detection
AU2005327903A1 (en) 2004-10-18 2006-08-31 Macquarie University Fluorescence detection
US7193289B2 (en) 2004-11-30 2007-03-20 International Business Machines Corporation Damascene copper wiring image sensor
US7483140B1 (en) * 2004-12-10 2009-01-27 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Micro integrated planar optical waveguide type SPR sensor
EP1828412B2 (en) 2004-12-13 2019-01-09 Illumina Cambridge Limited Improved method of nucleotide detection
US7483065B2 (en) * 2004-12-15 2009-01-27 Aptina Imaging Corporation Multi-lens imaging systems and methods using optical filters having mosaic patterns
US7280201B2 (en) 2004-12-17 2007-10-09 Avago Technologies General Ip Pte Ltd Sensor having integrated light detector and/or light source
JP4806197B2 (ja) 2005-01-17 2011-11-02 パナソニック株式会社 固体撮像装置
JP4701739B2 (ja) 2005-02-17 2011-06-15 パナソニック株式会社 蛍光測定装置
US7308292B2 (en) 2005-04-15 2007-12-11 Sensors For Medicine And Science, Inc. Optical-based sensing devices
US7738086B2 (en) 2005-05-09 2010-06-15 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Active CMOS biosensor chip for fluorescent-based detection
EP1888743B1 (en) 2005-05-10 2011-08-03 Illumina Cambridge Limited Improved polymerases
US7466409B2 (en) 2005-06-08 2008-12-16 California Institute Of Technology Method and apparatus for CMOS imagers and spectroscopy
SG162795A1 (en) 2005-06-15 2010-07-29 Callida Genomics Inc Single molecule arrays for genetic and chemical analysis
GB0514936D0 (en) 2005-07-20 2005-08-24 Solexa Ltd Preparation of templates for nucleic acid sequencing
US7683407B2 (en) * 2005-08-01 2010-03-23 Aptina Imaging Corporation Structure and method for building a light tunnel for use with imaging devices
GB0517097D0 (en) 2005-08-19 2005-09-28 Solexa Ltd Modified nucleosides and nucleotides and uses thereof
US7405281B2 (en) 2005-09-29 2008-07-29 Pacific Biosciences Of California, Inc. Fluorescent nucleotide analogs and uses therefor
FR2892196B1 (fr) * 2005-10-18 2008-06-20 Genewave Soc Par Actions Simpl Procede de fabrication d'un biocapteur a detection integree
GB0522310D0 (en) 2005-11-01 2005-12-07 Solexa Ltd Methods of preparing libraries of template polynucleotides
US7433552B2 (en) 2005-12-22 2008-10-07 Palo Alto Research Center Incorporated Obtaining analyte information
US7547904B2 (en) 2005-12-22 2009-06-16 Palo Alto Research Center Incorporated Sensing photon energies emanating from channels or moving objects
EP1826554A1 (en) 2006-02-23 2007-08-29 STMicroelectronics (Research & Development) Limited Improved fluorescence biosensor
EP1999444A1 (en) 2006-03-02 2008-12-10 Chemimage Corporation System and method for structured illumination and collection for improved optical confocality of raman fiber array spectral translator imaging and interactive raman probing
EP2021503A1 (en) 2006-03-17 2009-02-11 Solexa Ltd. Isothermal methods for creating clonal single molecule arrays
EP2002241A1 (en) 2006-03-28 2008-12-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. Integrated device having an array of photodetectors and an array of sample sites
EP4105644A3 (en) 2006-03-31 2022-12-28 Illumina, Inc. Systems and devices for sequence by synthesis analysis
WO2007119067A1 (en) 2006-04-19 2007-10-25 It-Is International Ltd Reaction monitoring
WO2007135368A2 (en) 2006-05-18 2007-11-29 Solexa Limited Dye compounds and the use of their labelled conjugates
US7463353B2 (en) 2006-05-31 2008-12-09 Uchicago Argonne, Llc Modular, micro-scale, optical array and biodetection system
US9133504B2 (en) 2006-06-05 2015-09-15 California Institute Of Technology Real time microarrays
US8637436B2 (en) 2006-08-24 2014-01-28 California Institute Of Technology Integrated semiconductor bioarray
WO2007141700A2 (en) 2006-06-08 2007-12-13 Koninklijke Philips Electronics N. V. Microelectronic sensor device for dna detection
JP2009540325A (ja) * 2006-06-15 2009-11-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 光検出器を有する集積バイオセンサ
CN101490534A (zh) 2006-07-20 2009-07-22 皇家飞利浦电子股份有限公司 使用消逝场激发的辐射探测器
US8048626B2 (en) 2006-07-28 2011-11-01 California Institute Of Technology Multiplex Q-PCR arrays
US7638182B2 (en) 2006-07-28 2009-12-29 Ut-Battelle, Llc Method for producing microchannels in drawn material
WO2008051530A2 (en) 2006-10-23 2008-05-02 Pacific Biosciences Of California, Inc. Polymerase enzymes and reagents for enhanced nucleic acid sequencing
US20080242560A1 (en) 2006-11-21 2008-10-02 Gunderson Kevin L Methods for generating amplified nucleic acid arrays
EP2653861B1 (en) 2006-12-14 2014-08-13 Life Technologies Corporation Method for sequencing a nucleic acid using large-scale FET arrays
US7502123B2 (en) 2007-02-05 2009-03-10 Palo Alto Research Center Incorporated Obtaining information from optical cavity output light
US20100055666A1 (en) 2007-02-08 2010-03-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Biosensor with evanescent waveguide and integrated sensor
KR100825808B1 (ko) 2007-02-26 2008-04-29 삼성전자주식회사 후면 조명 구조의 이미지 센서 및 그 이미지 센서 제조방법
WO2008107808A2 (en) * 2007-03-05 2008-09-12 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Improved light detection in a pixelated pet detector
FR2913499A1 (fr) * 2007-03-09 2008-09-12 Genewave Soc Par Actions Simpl Dispositif de lecture de fluorescence.
ITMI20071863A1 (it) 2007-09-28 2009-03-29 Industrie De Nora Spa Dispositivo elettrochimico per trattamento biocida in applicazioni agricole
US7767441B2 (en) 2007-10-25 2010-08-03 Industrial Technology Research Institute Bioassay system including optical detection apparatuses, and method for detecting biomolecules
US7811810B2 (en) 2007-10-25 2010-10-12 Industrial Technology Research Institute Bioassay system including optical detection apparatuses, and method for detecting biomolecules
KR100922367B1 (ko) * 2008-01-18 2009-10-19 중앙대학교 산학협력단 광도파로 형태의 표면 플라즈몬 공명 센서
PT103998B (pt) * 2008-03-20 2011-03-10 Univ Nova De Lisboa Dispositivos electrónicos e optoelectrónicos de efeito de campo compreendendo camadas de fibras naturais, sintéticas ou mistas e respectivo processo de fabrico
JP4544335B2 (ja) 2008-04-15 2010-09-15 ソニー株式会社 反応処理装置
US7782237B2 (en) 2008-06-13 2010-08-24 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Semiconductor sensor circuit arrangement
CN102203597A (zh) * 2008-06-26 2011-09-28 生命技术公司 使用fet阵列检测分子相互作用的方法和装置
FI3629011T3 (fi) 2008-09-16 2024-01-29 Pacific Biosciences California Inc Integroitu optinen laite
US20100301398A1 (en) * 2009-05-29 2010-12-02 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
KR101045206B1 (ko) 2008-10-31 2011-06-30 삼성전자주식회사 여기광 흡수 도파로가 삽입된 집적된 바이오칩 및 그 제조방법
KR101065078B1 (ko) 2008-11-05 2011-09-15 삼성전자주식회사 바이오칩용 기판 및 그 제조 방법
KR101065077B1 (ko) 2008-11-05 2011-09-15 삼성전자주식회사 시료 검출용 기판, 이를 채용한 바이오칩, 시료 검출용 기판의 제조방법 및 바이오 물질 검출장치
US20100122904A1 (en) 2008-11-17 2010-05-20 Board Of Regents, The University Of Texas System Incorporating cmos integrated circuits in the design of affinity-based biosensor systems
IT1392168B1 (it) 2008-12-02 2012-02-22 Industrie De Nora Spa Elettrodo adatto all utilizzo come catodo per evoluzione di idrogeno
WO2010088761A1 (en) 2009-02-06 2010-08-12 Maziyar Khorasani Method and apparatus for manipulating and detecting analytes
KR101059565B1 (ko) 2009-02-11 2011-08-26 어플라이드 프레시젼, 인코포레이티드 밝은 기준점 표지를 갖는 마이크로어레이 및 그로부터 광 데이터를 수집하는 방법
KR101563688B1 (ko) * 2009-02-11 2015-10-28 삼성전자주식회사 집적된 바이오칩 및 이의 제조방법
EP2221606A3 (en) * 2009-02-11 2012-06-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Integrated bio-chip and method of fabricating the integrated bio-chip
US8673627B2 (en) 2009-05-29 2014-03-18 Life Technologies Corporation Apparatus and methods for performing electrochemical reactions
IT1395113B1 (it) 2009-07-28 2012-09-05 Industrie De Nora Spa Elettrodo per evoluzione di ossigeno in processi elettrochimici industriali
US8041221B2 (en) * 2009-11-11 2011-10-18 Elbex Video Ltd. Method and apparatus for coupling optical signal with packaged circuits via optical cables and lightguide couplers
CN104624258B (zh) 2010-02-19 2016-11-09 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司 集成的分析系统和方法
WO2012030995A2 (en) * 2010-08-31 2012-03-08 Canon U.S. Life Sciences, Inc. Optical system for high resolution thermal melt detection
JP2012073701A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Hitachi Displays Ltd 光センサ
US9096899B2 (en) * 2010-10-27 2015-08-04 Illumina, Inc. Microdevices and biosensor cartridges for biological or chemical analysis and systems and methods for the same
CN202649594U (zh) * 2011-01-10 2013-01-02 伊鲁米那股份有限公司 光学组件、激发光模块以及光学成像系统
US8466437B2 (en) 2011-04-28 2013-06-18 Aptina Imaging Corporation High resolution fluorescence detection system
JP2013045857A (ja) * 2011-08-24 2013-03-04 Sony Corp イメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置
JP2013092393A (ja) 2011-10-24 2013-05-16 Sony Corp ケミカルセンサ、生体分子検出装置及び生体分子検出方法
US9373732B2 (en) 2012-02-07 2016-06-21 Semiconductor Components Industries, Llc Image sensors with reflective optical cavity pixels
CN102706954B (zh) * 2012-06-05 2016-06-29 清华大学 自旋阀gmr薄膜结构、具有其的生物传感器及制作方法
US9193998B2 (en) * 2013-03-15 2015-11-24 Illumina, Inc. Super resolution imaging
KR102374536B1 (ko) 2013-12-10 2022-03-14 일루미나, 인코포레이티드 생물학적 또는 화학적 분석을 위한 바이오센서들 및 이를 제조하기 위한 방법
US9799697B2 (en) 2014-04-25 2017-10-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Back side illuminated image sensor with deep trench isolation structures and self-aligned color filters

Also Published As

Publication number Publication date
EP3080585A4 (en) 2017-08-23
JP6672149B2 (ja) 2020-03-25
MX360883B (es) 2018-11-21
BR112016013353A2 (pt) 2017-08-08
CN105980832A (zh) 2016-09-28
US11181478B2 (en) 2021-11-23
CN110411998B (zh) 2022-06-07
EP4220137A1 (en) 2023-08-02
US11719637B2 (en) 2023-08-08
WO2015089092A1 (en) 2015-06-18
BR112016013353B1 (pt) 2020-11-24
JP7355864B2 (ja) 2023-10-03
CA3133543C (en) 2023-05-02
DK3080585T3 (da) 2024-02-05
EP3080585A1 (en) 2016-10-19
JP2017504789A (ja) 2017-02-09
CN110411998A (zh) 2019-11-05
ES2971473T3 (es) 2024-06-05
AU2019246860B2 (en) 2021-04-08
CN105980832B (zh) 2019-08-16
KR102102934B1 (ko) 2020-04-21
JP2020112560A (ja) 2020-07-27
NZ720871A (en) 2020-03-27
NZ759805A (en) 2021-08-27
KR20210080628A (ko) 2021-06-30
SG10202010045QA (en) 2020-11-27
SG11201604622XA (en) 2016-07-28
CA2932916C (en) 2021-12-07
EP3080585B1 (en) 2023-12-06
US20160356715A1 (en) 2016-12-08
IL246060A0 (en) 2016-07-31
US10254225B2 (en) 2019-04-09
AU2019246860A1 (en) 2019-10-31
ZA201603872B (en) 2019-11-27
KR102271774B1 (ko) 2021-06-30
ZA202206081B (en) 2023-11-29
MX2016007382A (es) 2016-12-20
KR20200042023A (ko) 2020-04-22
AU2014364006B2 (en) 2019-07-11
US20230358678A1 (en) 2023-11-09
JP7013503B2 (ja) 2022-01-31
US20190204225A1 (en) 2019-07-04
US20210381977A1 (en) 2021-12-09
RU2675775C1 (ru) 2018-12-24
AU2014364006A1 (en) 2016-06-23
CL2016001389A1 (es) 2017-04-28
CA2932916A1 (en) 2015-06-18
CA3133543A1 (en) 2015-06-18
KR20160096644A (ko) 2016-08-16
SA516371289B1 (ar) 2020-06-15
KR102374536B1 (ko) 2022-03-14
SG10201804913YA (en) 2018-07-30
JP2022062076A (ja) 2022-04-19
BR122020010030B1 (pt) 2022-02-01
IL246060B (en) 2020-05-31
ZA201903597B (en) 2022-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2016122443A (ru) Биодатчики для биологического или химического анализа и способы их изготовления
JP2017504789A5 (ru)
US10261019B2 (en) Biosensor
KR102521299B1 (ko) 이미지 센서 구조체
EP2772751B1 (en) Chemical sensor, biomolecule detection device, and biomolecule detection method
JP5862025B2 (ja) 光学センサー及び電子機器
US11366062B2 (en) Biosensor
US9258536B2 (en) Imaging systems with plasmonic color filters
JP2017527850A (ja) 統合分析デバイスのアレイ
US20140256030A1 (en) Scalable Biochip and Method for Making
CN103733341B (zh) 图像传感器、其制造方法及检查装置
JP2002202303A (ja) 有機分子検出用半導体素子、有機分子検出用半導体装置及びこれを用いた有機分子の測定方法
US11692938B2 (en) Optical nanostructure rejecter for an integrated device and related methods
KR102017355B1 (ko) 케미컬 센서, 케미컬 센서 모듈, 화학물질 검출 장치 및 화학물질 검출 방법
JP7065900B2 (ja) センサ装置およびその製造方法
US10797109B2 (en) Micro-structured organic sensor device and method for manufacturing same
EP2829865A1 (en) Chemical sensor, chemical sensor manufacturing method, and chemical material detecting apparatus
TW202402659A (zh) 生物晶片、生物偵測系統與生物偵測方法
JP2009192368A (ja) 生体高分子分析チップ