RU2012144268A - Мишень из диборида титана - Google Patents
Мишень из диборида титана Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012144268A RU2012144268A RU2012144268/02A RU2012144268A RU2012144268A RU 2012144268 A RU2012144268 A RU 2012144268A RU 2012144268/02 A RU2012144268/02 A RU 2012144268/02A RU 2012144268 A RU2012144268 A RU 2012144268A RU 2012144268 A RU2012144268 A RU 2012144268A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- titanium diboride
- tib
- powder
- target
- carbon
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/067—Borides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
- B22F3/15—Hot isostatic pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/5805—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on borides
- C04B35/58064—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on borides based on refractory borides
- C04B35/58071—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on borides based on refractory borides based on titanium borides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3804—Borides
- C04B2235/3813—Refractory metal borides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Hybrid Cells (AREA)
Abstract
1. Мишень из диборида титана для физического осаждения из паровой фазы, содержащая частицы одного или более металлов из группы, состоящей из железа, никеля, кобальта и хрома, а также содержащая углерод, отличающаяся тем, чтосредний размер зерен TiBсоставляет от 1 мкм до 20 мкм,содержание углерода составляет от 0,1 до 5 мас.%,общее содержание Fe, Ni, Со и/или Cсоставляет от 500 до 3000 мкг/г,углерод распределен в свободном состоянии на границах зерен TiBтаким образом, что среднее расстояние между отдельными частицами углерода составляет менее 20 мкм,пористость составляет менее 5 об.%.2. Мишень из диборида титана по п.1, отличающаяся тем, что содержание углерода составляет от 0,5 до 3 мас.%.3. Мишень из диборида титана по п.1, отличающаяся тем, что средний размер зерен TiBсоставляет от 2 мкм до 10 мкм.4. Мишень из диборида титана по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что она содержит Fe в количестве от 1000 до 2000 мкг/г.5. Способ получения мишени из диборида титана по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что исходную порошковую смесь из порошка TiBи порошка графита измельчают в устройстве для измельчения с помощью мелющих шаров, которые содержат один или более металлов из группы, состоящей из Fe, Ni, Со и Cr, до достижения общего количества Fe, Ni, Со и/или Cот 500 до 3000 мкг/г, и полностью измельченную порошковую смесь уплотняют путем горячего прессования при давлении прессования от 10 МПа до 40 МПа и температуре от 1600°С до 2000°С.6. Способ получения источника испарения из диборида титана по п.4, отличающийся тем, что исходную порошковую смесь из порошка TiBи порошка графита измельчают в аттриторе с помощью железных мелющих шаров до достижения содержания железа от 1000 до 2000 мкг/
Claims (6)
1. Мишень из диборида титана для физического осаждения из паровой фазы, содержащая частицы одного или более металлов из группы, состоящей из железа, никеля, кобальта и хрома, а также содержащая углерод, отличающаяся тем, что
средний размер зерен TiB2 составляет от 1 мкм до 20 мкм,
содержание углерода составляет от 0,1 до 5 мас.%,
общее содержание Fe, Ni, Со и/или Cr составляет от 500 до 3000 мкг/г,
углерод распределен в свободном состоянии на границах зерен TiB2 таким образом, что среднее расстояние между отдельными частицами углерода составляет менее 20 мкм,
пористость составляет менее 5 об.%.
2. Мишень из диборида титана по п.1, отличающаяся тем, что содержание углерода составляет от 0,5 до 3 мас.%.
3. Мишень из диборида титана по п.1, отличающаяся тем, что средний размер зерен TiB2 составляет от 2 мкм до 10 мкм.
4. Мишень из диборида титана по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что она содержит Fe в количестве от 1000 до 2000 мкг/г.
5. Способ получения мишени из диборида титана по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что исходную порошковую смесь из порошка TiB2 и порошка графита измельчают в устройстве для измельчения с помощью мелющих шаров, которые содержат один или более металлов из группы, состоящей из Fe, Ni, Со и Cr, до достижения общего количества Fe, Ni, Со и/или Cr от 500 до 3000 мкг/г, и полностью измельченную порошковую смесь уплотняют путем горячего прессования при давлении прессования от 10 МПа до 40 МПа и температуре от 1600°С до 2000°С.
6. Способ получения источника испарения из диборида титана по п.4, отличающийся тем, что исходную порошковую смесь из порошка TiB2 и порошка графита измельчают в аттриторе с помощью железных мелющих шаров до достижения содержания железа от 1000 до 2000 мкг/г и измельченную порошковую смесь уплотняют путем горячего прессования при давлении прессования от 25 МПа до 35 МПа и температуре от 1600°С до 1850°С.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT0028810U AT11884U1 (de) | 2010-05-04 | 2010-05-04 | Target |
| ATGM288/2010 | 2010-05-04 | ||
| PCT/AT2011/000209 WO2011137472A1 (de) | 2010-05-04 | 2011-05-02 | Titandiborid-target |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012144268A true RU2012144268A (ru) | 2014-06-10 |
| RU2561624C2 RU2561624C2 (ru) | 2015-08-27 |
Family
ID=43825220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012144268/02A RU2561624C2 (ru) | 2010-05-04 | 2011-05-02 | Мишень из диборида титана |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9481925B2 (ru) |
| EP (1) | EP2567000B1 (ru) |
| JP (1) | JP5815678B2 (ru) |
| CN (1) | CN102869807B (ru) |
| AT (1) | AT11884U1 (ru) |
| RU (1) | RU2561624C2 (ru) |
| WO (1) | WO2011137472A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9992917B2 (en) | 2014-03-10 | 2018-06-05 | Vulcan GMS | 3-D printing method for producing tungsten-based shielding parts |
| AT14701U1 (de) * | 2015-03-19 | 2016-04-15 | Plansee Composite Mat Gmbh | Beschichtungsquelle zur Herstellung dotierter Kohlenstoffschichten |
| CN105693252B (zh) * | 2016-01-22 | 2018-06-19 | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 | 热压工艺制备硼化物溅射靶材 |
| RU2743536C1 (ru) | 2017-04-21 | 2021-02-19 | Планзее Композит Матириалз Гмбх | Распыляемая мишень из суперсплава |
| EP3556901B1 (en) | 2018-04-20 | 2021-03-31 | Plansee Composite Materials Gmbh | Vacuum arc source |
| AT16481U1 (de) * | 2018-04-20 | 2019-10-15 | Plansee Composite Mat Gmbh | Target und Verfahren zur Herstellung eines Targets |
| CN114105649A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-01 | 北京理工大学重庆创新中心 | 一种二硼化钛基金属复合陶瓷材料及其热压制备方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4325806Y1 (ru) | 1965-12-25 | 1968-10-29 | ||
| US4209375A (en) | 1979-08-02 | 1980-06-24 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Sputter target |
| JPS6442575A (en) | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Kobe Steel Ltd | Ceramic target having high melting point for vacuum deposition with arc |
| JPS6442575U (ru) | 1987-09-09 | 1989-03-14 | ||
| US4925346A (en) * | 1987-12-21 | 1990-05-15 | Ford Motor Company | Method of increasing useful life of tool steel cutting tools |
| JPH0745342B2 (ja) | 1988-11-17 | 1995-05-17 | ユニオン・カーバイド・コーポレーション | 制御された粒寸を有する焼結成形体のための方法 |
| US5045269A (en) | 1988-11-17 | 1991-09-03 | Union Carbide Coatings Service Technology Corporation | Method for sintered shapes with controlled grain size |
| JPH05195199A (ja) | 1991-10-04 | 1993-08-03 | Toyo Kohan Co Ltd | 耐摩耗性、耐食性に優れた硼化物系超硬質コーティン グ薄膜の製造方法 |
| RU2017846C1 (ru) * | 1992-06-25 | 1994-08-15 | Научно-производственное объединение "Металл" | Способ изготовления изделий из композиционных материалов |
| DE4237423A1 (de) | 1992-11-05 | 1994-05-11 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Verbundwerkstoffe auf der Basis von Titandiborid und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| JPH06248446A (ja) | 1993-02-26 | 1994-09-06 | Mitsubishi Materials Corp | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法 |
| JPH07109173A (ja) | 1993-10-07 | 1995-04-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ホウ化チタンセラミックス焼結体並びにそれを用いた製品 |
| JP3560737B2 (ja) | 1996-07-23 | 2004-09-02 | 三菱電機株式会社 | インバータ装置 |
| JP2000226648A (ja) | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Nihon Seimitsu Co Ltd | ＴｉＢ２の蒸発方法 |
| RU2305717C2 (ru) * | 2005-11-14 | 2007-09-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный институт стали и сплавов" (технологический университет) | Мишень для получения функциональных покрытий и способ ее изготовления |
| DE102006013746A1 (de) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg | Gesinterter verschleißbeständiger Werkstoff, sinterfähige Pulvermischung, Verfahren zur Herstellung des Werkstoffs und dessen Verwendung |
-
2010
- 2010-05-04 AT AT0028810U patent/AT11884U1/de not_active IP Right Cessation
-
2011
- 2011-05-02 WO PCT/AT2011/000209 patent/WO2011137472A1/de not_active Ceased
- 2011-05-02 US US13/696,117 patent/US9481925B2/en active Active
- 2011-05-02 EP EP11726642.9A patent/EP2567000B1/de active Active
- 2011-05-02 RU RU2012144268/02A patent/RU2561624C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-05-02 CN CN201180021702.2A patent/CN102869807B/zh active Active
- 2011-05-02 JP JP2013508328A patent/JP5815678B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US9481925B2 (en) | 2016-11-01 |
| JP2013528704A (ja) | 2013-07-11 |
| JP5815678B2 (ja) | 2015-11-17 |
| US20130233705A1 (en) | 2013-09-12 |
| WO2011137472A1 (de) | 2011-11-10 |
| EP2567000B1 (de) | 2014-04-23 |
| RU2561624C2 (ru) | 2015-08-27 |
| AT11884U1 (de) | 2011-06-15 |
| CN102869807A (zh) | 2013-01-09 |
| CN102869807B (zh) | 2015-12-16 |
| EP2567000A1 (de) | 2013-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012144268A (ru) | Мишень из диборида титана | |
| JP2013528704A5 (ru) | ||
| Lv et al. | Effect of Ni content on microstructural evolution and hydrogen storage properties of Mg–xNi–3La (x= 5, 10, 15, 20 at.%) alloys | |
| JP2015180763A5 (ru) | ||
| CN102320856A (zh) | 一种制备多孔氮化硅陶瓷材料的方法 | |
| CN103074533A (zh) | 一种热喷涂用硬度均匀耐磨耐蚀喷涂材料的制备方法 | |
| CN107904474A (zh) | 一种钼钴硼三元硼化物基金属陶瓷材料及其制备方法 | |
| JP2012523271A5 (ru) | ||
| CN103922360A (zh) | 低温制备棒状硼化锆粉体的工艺 | |
| GB201306992D0 (en) | Synthetic diamond crystals | |
| CN101691671B (zh) | 二硼化钛晶须材料及其制备方法 | |
| RU2016132469A (ru) | S-кристаллическая форма хлористоводородного ивабрадина, способ ее получения и фармацевтическая композиция на основе этой формы | |
| JP2016532010A5 (ru) | ||
| CN106498314A (zh) | 一种WC‑TaC‑Csf强韧性材料及其制备方法 | |
| MY170548A (en) | Cr alloy and sputtering target material for magnetic recording, and perpendicular magnetic recording medium using the same | |
| Luo et al. | Influence of metllic additives on densification behaviour of hot-pressed TiB 2 | |
| VÂRBAN et al. | Monitoring Satureja Hortensis L. within Conventional System of Agriculture. | |
| Choi | Ammonia decomposition over titanium carbides | |
| RU2016123591A (ru) | Способ получения высокотемпературного порошкового композиционного материала на основе карбидов кремния и титана | |
| Jia | COS 42-9: CANCELLED-Decadal changes of primary production in Inner Mongolia steppe under bioclimate and grazing regimes | |
| Kulagin | Effect of temperature of charcoal briquets treatment of their structure. | |
| CN108212081A (zh) | 一种西帕依固龈液药渣制备生物炭的方法和生物炭的应用 | |
| Hulkoti et al. | Effect of various physico-chemical factors on synthesis of biogenic silver nanoparticles using leaf extract of Cananga odorata (Lam) Hook. f. & Thomson. and its anti-bacterial effect | |
| Li et al. | Microstructure and properties of Ni85Al15 composite material blended with tungsten concentrate powder by laser synthesis | |
| RU2019144436A (ru) | Способ изготовления магнитов небольшого размера на основе сплава системы Fe-Cr-Co |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180503 |