RU2011118231A

RU2011118231A - Способ получения трихлорсилана и тетрахлорсилана

Info

Publication number: RU2011118231A
Application number: RU2011118231/04A
Authority: RU
Inventors: Патрик Джеймс ХАРДЕР; Артур Джеймс ЦЕЛЕПИС
Original assignee: Доу Корнинг Корпорейшн; Хемлок Семикэндактор Корпорейшн
Priority date: 2008-12-03
Filing date: 2009-11-17
Publication date: 2013-01-10
Also published as: TWI466827B; CN102232080A; RU2499801C2; TW201029923A; CA2743246A1; WO2010065287A1; EP2367832A1; US20110250116A1; KR20110100249A

Abstract

1. Способ, включающий стадию а) рециркуляции чистой смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан, в дистилляционный аппарат, и крекинг полихлорсилана и/или полихлорсилоксана, в результате чего получают трихлорсилан, тетрахлорсилан или их комбинации.2. Способ по п.1, где чистую смесь получают способом, включающим:б) получение смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан; ивозможно в) удаление твердых частиц из смеси с получением чистой смеси.3. Способ по п.1, где чистую смесь рециркулируют в отстойник дистилляционного аппарата.4. Способ по п.1, где чистую смесь рециркулируют в ребойлер дистилляционного аппарата.5. Способ по п.1, в котором используют стадию в), и твердые вещества рециркулируют в реактор с псевдоожиженным слоем для получения трихлорсилана.6. Способ по п.1, где полихлорсилан выбран из группы, состоящей из гексахлордисилана, пентахлордисилана, тетрахлордисилана и их комбинации.7. Способ по п.1, где полихлорсилоксан выбран из группы, состоящей из тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана и их комбинации.8. Способ по п.1, где дистилляционный аппарат работает при температуре от 130°С до 280°С, когда время пребывания составляет от 10 суток до 1 часа при давлении от 25 бар (2,5 МПа) до 40 бар (4 МПа).9. Способ по п.2, дополнительно включающий: г) подачу стока из реактора с псевдоожиженным слоем, производящего трихлорсилан, в дистилляционный аппарат перед стадией б).10. Способ по п.9, где сток представляет собой поток неочищенного продукта, содержащий тетрахлорсилан, трихлорсилан, твердые частицы кремния и водород.11. Способ по п.9, дополнительно включающий: д) удаление твердых частиц кремн

Claims

1. Способ, включающий стадию а) рециркуляции чистой смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан, в дистилляционный аппарат, и крекинг полихлорсилана и/или полихлорсилоксана, в результате чего получают трихлорсилан, тетрахлорсилан или их комбинации.

2. Способ по п.1, где чистую смесь получают способом, включающим:

б) получение смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан; и

возможно в) удаление твердых частиц из смеси с получением чистой смеси.

3. Способ по п.1, где чистую смесь рециркулируют в отстойник дистилляционного аппарата.

4. Способ по п.1, где чистую смесь рециркулируют в ребойлер дистилляционного аппарата.

5. Способ по п.1, в котором используют стадию в), и твердые вещества рециркулируют в реактор с псевдоожиженным слоем для получения трихлорсилана.

6. Способ по п.1, где полихлорсилан выбран из группы, состоящей из гексахлордисилана, пентахлордисилана, тетрахлордисилана и их комбинации.

7. Способ по п.1, где полихлорсилоксан выбран из группы, состоящей из тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана и их комбинации.

8. Способ по п.1, где дистилляционный аппарат работает при температуре от 130°С до 280°С, когда время пребывания составляет от 10 суток до 1 часа при давлении от 25 бар (2,5 МПа) до 40 бар (4 МПа).

9. Способ по п.2, дополнительно включающий: г) подачу стока из реактора с псевдоожиженным слоем, производящего трихлорсилан, в дистилляционный аппарат перед стадией б).

10. Способ по п.9, где сток представляет собой поток неочищенного продукта, содержащий тетрахлорсилан, трихлорсилан, твердые частицы кремния и водород.

11. Способ по п.9, дополнительно включающий: д) удаление твердых частиц кремния из стока перед стадией г).

12. Способ по п.1, где катализатор находится в ребойлере.

13. Способ по п.12, где катализатор выбран из группы, состоящей из хлорида титана, олова, алюминия или их комбинации.

14. Способ по п.12, где катализатор содержит металл платиновой группы.